DE4343076A1 - Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum photo­ thermischen Prüfen einer Oberfläche eines insbesondere bewegten Prüfkörpers mit einer Beleuchtungsvorrichtung, mit der eine intensitätsmodulierte Anregungsstrahlung erzeugbar ist, mit einer Fokussiervorrichtung, mit der die Oberfläche mit der Anregungsstrahlung in einem Prüfbereich beaufschlagbar ist, mit einem Detektor, dem die von dem Prüfkörper erzeugte Wärmestrahlung aus einem Meßbereich zuführbar ist, wobei der Prüfbereich größer als der Meßbereich ist, und mit einer Kopplungsvor­ richtung, mit der die Anregungsstrahlung und die dem Detektor zugeführte Wärmestrahlung koaxial ausrichtbar sind.

Eine derartige Vorrichtung ist aus der DE 40 03 407 A1 bekannt. Bei der in Fig. 2 dieser Druckschrift dar­ gestellten Vorrichtung ist eine von einem Laser erzeug­ te, intensitätsmodulierte Strahlung einem Ende eines Lichtleitfaserbündel eingespeist. An dem einer zu prüfenden Oberfläche eines bewegten Prüfkörpers zuge­ wandten anderen Ende des Lichtleitfaserbündels ist ein Querschnittswandler vorgesehen, der die austretende Strahlung mittels einer Zylinderlinse auf die Oberfläche des Prüfkörpers in einen länglichen Prüfbereich abbil­ det. Die den Prüfkörper beaufschlagende Anregungsstrah­ lung durchtritt einen zwischen der Oberfläche und der Zylinderlinse angeordneten halbdurchlässigen Spiegel.

Der sich über den gesamten Prüfbereich erstreckende halbdurchlässige Spiegel lenkt die in dem direkten Gesichtsfeld eines Detektors erzeugte Wärmestrahlung aus einem Meßbereich auf die strahlungsempfindliche Fläche des Detektors. Das Ausgangssignal des Detektors ist zum Bestimmen beispielsweise einer Lackschichtdicke des Prüfkörpers auswertbar.

Diese Vorrichtung weist zwar durch den Querschnitts­ wandler und die Zylinderlinse eine einfache Anpassung des Prüfbereiches an verschiedene Meßbedingungen, ins­ besondere verschiedene Bewegungsgeschwindigkeiten des Prüfkörpers, auf, jedoch ergibt sich durch die Verwen­ dung eines halbdurchlässigen Spiegels als Strahlteiler ein unzweckmäßig hoher Verlust von Nutzstrahlung, da der Strahlteiler für die Anregungsstrahlung möglichst durch­ lässig und für die dem Detektor zuzuführende Wärme­ strahlung möglichst reflektiv beschichtet sein muß. Diese von der Beschichtung nur mit merklichen Verlusten für wenigstens eine der Strahlungen zu erfüllende Bedin­ gung führt insbesondere bei spektral eng benachbarter Ausgangsstrahlung und Wärmestrahlung zu einem verminder­ ten Wirkungsgrad.

In einer Variante der oben beschriebenen Vorrichtung ist der Strahlteiler lediglich so groß, daß nur der in dem direkten Gesichtsfeld des Detektors liegende Teil der Wärmestrahlung aus dem Meßbereich in Richtung auf den Detektor reflektiert wird. Der gegenüber dem oben ge­ nannten Ausführungsbeispiel verkleinerte Strahlteiler führt zwar zu geringeren Verlusten in der Intensität der Anregungsstrahlung, aber es ergibt sich zwangsweise wegen einer Teilabschattung der Anregungsstrahlung durch den Strahlteiler eine über die gesamte Erstreckung des Prüfbereiches ungleichmäßige Ausleuchtung des Prüf­ bereiches mit einer unerwünschten ungleichmäßigen Er­ wärmung der Oberfläche.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrich­ tung der eingangs genannten Art zu schaffen, die sich bei verschiedenen, insbesondere spektral eng benach­ barten Frequenzbereichen der Anregungsstrahlung und der zu auszunutzenden Wärmestrahlung neben einer gleich­ mäßigen Ausleuchtung des Prüfbereiches durch einen hohen Gesamtwirkungsgrad auszeichnet.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Kopplungsvorrichtung eine Reflexionsvorrichtung ist, deren Reflexionsfläche für eine der Strahlungen eine hohe Reflektivität aufweist und die von der im wesent­ lichen gesamten Intensität dieser Strahlung beaufschlagt ist, wobei die andere Strahlung die Reflexionsvor­ richtung in einem für diese Strahlung im wesentlichen vollständig durchlässigen Bereich passiert, daß zwischen der Oberfläche und dem Detektor eine Abbildungsvor­ richtung vorgesehen ist, die eine Ausnehmung aufweist, durch die Anregungsstrahlung durchtritt, wobei mit der Abbildungsvorrichtung die in dem Meßbereich erzeugte Wärmestrahlung dem Detektor in einem gegenüber dem direkten Gesichtsfeld des Detektor vergrößerten Winkel­ bereich zuführbar ist.

Dadurch, daß die Kopplungsvorrichtung nunmehr für eine der Strahlungen eine im wesentlichen vollständige Reflektivität bei einer gleichmäßigen Ausleuchtung durch diese Strahlung aufweist, sind die von der Kopplungs­ vorrichtung hervorgerufenen Verluste für diese Strahlung minimiert, während die andere Strahlung die Reflexions­ vorrichtung im wesentlichen verlustfrei passiert. Durch das Vorsehen einer Abbildungsvorrichtung zwischen dem Detektor und der Oberfläche ist der Anteil der aus dem Meßbereich emittierten Wärmestrahlung, die dem Detektor zuführbar ist, wesentlich erhöht. Durch die in der Abbildungsvorrichtung eingebrachte Ausnehmung, durch die die Anregungsstrahlung auf die Oberfläche fällt, ist die Abbildungsvorrichtung bezüglich ihrer optischen Eigen­ schaften der Wärmestrahlung anpaßbar, ohne daß bezüglich der Anregungsstrahlung für den Gesamtwirkungsgrad nach­ teilige Kompromisse eingegangen werden müssen.

Es ist zweckmäßig, die Fokussiervorrichtung so anzuord­ nen, daß ihr Lokalbereich in einem Bereich zwischen der Reflexionsvorrichtung und der Abbildungsvorrichtung und dabei in besonders vorteilhafter Weise im wesentlichen mittig liegt. Dadurch ist einerseits die in der Abbil­ dungsvorrichtung eingebrachte Ausnehmung sehr klein und damit der durch die Abbildungsvorrichtung erfaßte Anteil an Wärmestrahlung durch die Ausnehmung nur geringfügig verringert, andererseits ist die Abschattung durch den für die Wärmestrahlung nicht reflektiven Teil der Refle­ xionsfläche mit entsprechenden Verlusten minimiert.

In einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist die Reflexionsvorrichtung ein kleiner Einkoppelspiegel, dessen Abmessungen im wesentlichen der Größe der Aus­ nehmung in der Abbildungsvorrichtung entsprechen. Der Einkoppelspiegel ist durch die Anregungsstrahlung beauf­ schlagt und für die Wellenlänge der Anregungsstrahlung im wesentlichen vollständig reflektiv. Der Einkoppel­ spiegel ist auf der optischen Achse der Abbildungs­ vorrichtung angeordnet, so daß die durch die Ausnehmung in der Abbildungsvorrichtung und die Reflexionsfläche des Einkoppelspiegels gebildeten Abschattungsbereiche für die Wärmestrahlung im wesentlichen zusammenfallen. Die Wärmestrahlung ist über die Abbildungsvorrichtung und eine Detektorlinse direkt dem Detektor zuführbar.

In einem weiteren Ausführungsbeispiel ist die Kopplungs­ vorrichtung ein Auskoppelspiegel mit einer Ausnehmung, wobei die Ausnehmung des Auskoppelspiegels und die Ausnehmung der Abbildungsvorrichtung auf der optischen Achse der Abbildungsvorrichtung liegen und etwa gleich groß sind. Die Anregungsstrahlung tritt durch die Aus­ nehmung des Auskoppelspiegels. Die Abbildungsvorrichtung leuchtet den Auskoppelspiegel mit dem erfaßten Anteil der Wärmestrahlung aus dem Meßbereich im wesentlichen vollständig aus. Der Auskoppelspiegel ist so ein­ justiert, daß die ihn beaufschlagende Wärmestrahlung über eine Detektorlinse den Detektor beaufschlagt. Die Reflexionseigenschaften des Auskoppelspiegels sind dem Frequenzbereich der zu nutzenden Wärmestrahlung bezüg­ lich einer im wesentlichen vollständigen Reflexion ange­ paßt, so daß im wesentlichen der gesamte ausnutzbare Anteil der von der Abbildungsvorrichtung erfaßten Wärme­ strahlung dem Detektor zuführbar ist.

Weitere Ausgestaltungen und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und der nachfolgen­ den Figurenbeschreibung. Es zeigt:

Fig. 1 eine Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche in einer schematischen Darstel­ lung, bei der ein Anregungsstrahl mit einem Einkoppelspiegel koaxial mit einem Signalstrahl überlagert ist, und

Fig. 2 eine weitere Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche in einer schematischen Darstellung, bei der mit einem Auskoppelspiegel der Signalstrahl von dem Anregungsstrahl trenn­ bar ist.

Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche 1 eines bewegten Prüfkörpers 2. Der Prüfkörper 2 weist an der Oberfläche 1 beispielsweise eine Lackschicht mit einer Solldicke von etwa 100 Mikrometer auf, wobei deren tatsächliche Dicke vor weiteren Verarbeitungsschritten in einer Fertigungsstraße, in welcher der Prüfkörper 2 in einer beispielsweise durch den Pfeil 3 gekennzeichne­ ten Richtung mit einer Geschwindigkeit von etwa 2 Metern pro Sekunde bewegt wird, zu bestimmen ist.

Ein Anregungslaser 4, beispielsweise ein CO₂-Laser, emittiert im infraroten Spektralbereich bei etwa 10 Mikrometer einen intensitätsmodulierten Anregungsstrahl 5. Der Anregungsstrahl 5 ist mit einem Umlenkspiegel 6 um 90 Grad umlenkbar und durchtritt einen in Bezug auf die Richtung des Anregungsstrahles 5 geneigt ange­ ordneten Kontrollspiegel 7, über den mit einem in Fig. 1 nicht dargestellten Kontrollaser sichtbares Licht ko­ axial in den Anregungsstrahl 5 einkoppelbar ist, so daß das für das menschliche Auge nicht sichtbare infrarote Licht des Anregungsstrahles 5 mit sichtbarem Licht zum Erhöhen der Betriebssicherheit überlagert ist. Der Kontrollspiegel 7 transmittiert die im wesentlichen gesamte Intensität des Anregungsstrahles 5, wobei die Intensität des Kontrollasers so gewählt ist, daß sie nicht merklich zu dem Meßsignal beiträgt.

Nach Durchtritt durch den Kontrollspiegel 7 durchläuft der Anregungsstrahl 5 eine Anregungsfokussierlinse 8, in deren Fokalbereich ein Einkoppelspiegel 9 vorgesehen ist. Eine Reflexionsfläche 10 des Einkoppelspiegels 9 ist mit einer für die Wellenlänge des Anregungsstrahles 5 im wesentlichen vollständig reflektiven Beschichtung versehen. Der Abstand zwischen der Anregungsfokussier­ linse 8 und dem Einkoppelspiegel 9 ist so gewählt, daß der Bereich des engsten Strahlquerschnittes des An­ regungsstrahles 5 vorzugsweise einige Millimeter in Strahlrichtung hinter der Reflexionsfläche 10 liegt, um eine die Beschichtung der Reflexionsfläche 10 möglicher­ weise beschädigende direkte Fokussierung auf den Ein­ koppelspiegel 9 zu vermeiden.

Mit dem Einkoppelspiegel 9 ist der Anregungsstrahl 5 durch eine in einer Sammellinse 11 eingebrachte, zen­ trische Ausnehmung 12 durchführbar, so daß der An­ regungsstrahl 5 in einem Prüfbereich 13 die Oberfläche 1 des Prüfkörpers 2 gleichmäßig ausleuchtet. Die Größe der in Fig. 1 der besseren Übersichtlichkeit wegen nicht maßstäblich dargestellten Ausnehmung 12 ist so gewählt, daß etwa 98 Prozent der Intensität des Anregungsstrahles 5 bezogen auf die von dem Einkoppelspiegel 9 reflektierte Intensität die Oberfläche 1 in dem Prüf­ bereich 13 beaufschlagen.

In einer Ausführungsvariante ist die Ausnehmung 12 der Sammellinse 11 mit einem für den Frequenzbereich des Anregungsstrahles 5 im wesentlichen vollständig durch­ lässigen Schutzverschluß versehen, um bei einem Einsatz der Vorrichtung in beispielsweise durch Flugstaub ver­ schmutzten Umgebungen einen schädlichen Staubeintritt durch die Ausnehmung 12 in die üblicherweise durch ein Gehäuse geschützte Vorrichtung zu unterbinden.

Die Intensität des Anregungsstrahles 5 ist in diesem Ausführungsbeispiel mit einer Frequenz von wenigen 100 Hertz mit einem Tastverhältnis von etwa 1 : 1 durch­ moduliert. Durch Wechselwirkung mit der Oberfläche 1 des Prüfkörpers 2 wird ein Teil der eingestrahlten Energie des Anregungsstrahles 5 als Wärmestrahlung aus dem Prüf­ bereich 13 reemittiert. In Abhängigkeit der Schichtdicke sowie der Materialeigenschaften im Oberflächenbereich ergibt sich ein charakteristischer zeitlicher Verlauf der Reemission.

Der aus einem Meßbereich 14 zurückgeworfene Anteil der Wärmestrahlung ist in einem Raumwinkelbereich 15 durch die Sammellinse 11 erfaßbar, die für den auszuwertenden Spektralbereich der Wärmestrahlung auf maximale Trans­ mission ausgelegt ist. Das Verhältnis der Größe des Prüfbereiches 13 zu dem Meßbereich 14 ist so gewählt, daß bei einer gegebenen Geschwindigkeit des Prüfkörpers 2 bei etwa zehn Meßperioden die Meßbereiche 14 in den durch den ersten Impuls der Anregungsstrahlung 5 ausge­ leuchteten Prüfbereich 13 fallen.

Die Sammellinse 11 ist mit einem im wesentlichen ihrer Brennweite entsprechenden Abstand von der Oberfläche 1 angeordnet, so daß ein aus dem Meßbereich 14 reemit­ tierter, divergenter Signalstrahl 16 in einen Parallel­ strahl 17 überführbar ist. Die Größe der Ausnehmung 12 der Sammellinie 11 und die Größe des einen Teil des Parallelstrahles 17 abschattenden Einkoppelspiegels 9 sind im wesentlichen gleich, um die Verluste in dem Signalstrahl 16 und dem Parallelstrahl 17 an ausnutz­ barer Wärmestrahlung zu minimieren.

Der in dem Parallelstrahl 17 geführte Anteil der Wärme­ strahlung ist mit einer Detektorlinse 18 über einen Filter 19 einem Detektor 20 zuführbar. Das Filter 19 hat einen von der Wellenlänge des Anregungsstrahles 5 ver­ schiedenen Transmissionsbereich, der in diesem Aus­ führungsbeispiel bei etwa 2 Mikrometer bis 5 Mikrometer liegt. Mit dem Filter 19 ist somit von der Oberfläche 1 rückreflektierte Intensität des Anregungsstrahles 5 von dem Detektor 20 abschirmbar.

Der Detektor 20 ist an eine in Fig. 1 nicht dargestellte Auswertelektronik angeschlossen, mit der der Anstieg der Intensität und die Phasenverschiebung der maximalen Intensität der Wärmestrahlung gegenüber den Impulsen des Anregungsstrahles 5 erfaßbar sind. Mit diesen Werten ist in an sich bekannter Weise beispielsweise die Schicht­ dicke in dem Oberflächenbereich der Oberfläche 1 be­ stimmbar.

In einer Variante zu dem in Fig. 1 dargestellten Aus­ führungsbeispiel weist der Einkoppelspiegel 9 einen sich über den gesamten Strahlquerschnitt des Parallelstrahles 17 erstreckenden Grundkörper auf, der für den auszu­ nutzenden Spektralbereich der Wärmestrahlung im wesent­ lichen vollständig transmittiv ist. Die Reflexionsfläche 10 des Einkoppelspiegels 9 ist im Auftreffbereich des Anregungsstrahles 5 auf den Grundkörper vorgesehen. Diese Variante weist den Vorteil auf, daß den Grund­ körper haltende, in Fig. 1 nicht dargestellte Be­ festigungsvorrichtungen außerhalb des Parallelstrahles 17 angeordnet werden können und dadurch keine zusätz­ liche Abschattung des Parallelstrahles 17 auftritt.

Fig. 2 zeigt in einer schematischen Darstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche 1, wobei sich in Fig. 1 und in Fig. 2 entsprechende Positionen mit gleichen Bezugszeichen versehen sind. In Fig. 2 durch­ tritt der Anregungsstrahl 5 in seinem Fokalbereich einen Auskoppelspiegel 21 in einer Ausnehmung 22. Der Aus­ koppelspiegel 21 ist so angeordnet, daß der von der Sammellinse 11 erzeugte Parallelstrahl 17 im wesent­ lichen um 90 Grad auf die Detektorlinse 18 fallend umlenkbar ist. Diese Anordnung, bei der der Anregungs­ strahl 5 nach Durchtritt durch die Anregungsfokussier­ linse 8 direkt auf die Oberfläche 1 trifft, ist ins­ besondere dann zweckmäßig, wenn die Intensität des Anregungsstrahles 5 beispielsweise mehrere Watt beträgt, bei der eine Anordnung von Spiegeln in der Nähe eines Fokalbereiches zu Beschädigungen auf möglicherweise ver­ schmutzten Reflexionsflächen führen könnte.

Zum Minimieren der Verluste der in dem Raumwinkelbereich 15 erfaßten Wärmestrahlung ist es zweckmäßig, die Aus­ nehmung 12 der Sammellinse 11 und die Ausnehmung 22 des Auskoppelspiegels 21 im wesentlichen gleich groß auszu­ führen, so daß sich die jeweils abgeschatteten Bereiche des Signalstrahles 16 im wesentlichen entsprechen und der Gesamtverlust minimiert ist. Die Reflexionsfläche 23 des Auskoppelspiegels 21 ist für eine maximale Reflexion des auszunutzenden spektralen Anteiles der Wärme­ strahlung ausgelegt.

In einer Variante des in Fig. 2 dargestellten Aus­ führungsbeispieles weist der Auskoppelspiegel 21 einen durchgehenden Grundkörper auf, wobei die Reflexions­ fläche 23 im Durchtrittsbereich des Anregungsstrahles 5 ausgespart ist. Der Grundkörper des Auskoppelspiegels 21 ist für den Anregungsstrahl 5 im wesentlichen voll­ ständig transmittiv. Bei dieser Variante ist ein ver­ hältnismäßig aufwendiges Einbringen einer Ausnehmung 22 in den Auskoppelspiegel 21 vermieden. Diese Variante ist bei einer den Grundkörper des Auskoppelspiegels 21 nicht beschädigenden Intensität des Fokalbereiches der Fokus­ sierlinse 8 zweckmäßig.

Bei den in Fig. 1 und Fig. 2 dargestellten Ausführungs­ beispielen ist die Anregungsfokussierlinse 8 eine Bikon­ kavlinse mit einer Brennweite von etwa 50 Millimeter. Die Ausnehmung 12 der Sammellinse 11 ist in diesen Ausführungsbeispielen im wesentlichen kreisförmig. Der Einkoppelspiegel 10 gemäß dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 ist ein Rundspiegel und die Ausnehmung 22 des Auskoppelspiegels 21 gemäß dem Ausführungsbeispiel der Fig. 2 eine kreisförmige Bohrung. Der Prüfbereich 13 ist kreisförmig, so daß eine Messung bei beliebigen Be­ wegungsrichtungen des Prüfkörpers 2 durchführbar ist.

Bei einem Einsatz der Vorrichtungen, bei dem sich der Prüfkörper 2 in nur einer einzigen, festgelegten Richtung bewegt, ist die Anregungsfokussierlinse 8 als eine Zylinderlinse vorgesehen. Die Ausnehmung 12 der Sammellinse 11 und die Ausnehmung 22 des Auskoppel­ spiegels 21 sowie der Einkoppelspiegel 9 sind dem läng­ lichen Fokalbereich der zylindrischen Anregungsfokus­ sierlinse 8 durch eine ebenfalls längliche Ausgestaltung angepaßt, so daß die im wesentlichen gesamte Intensität des Anregungsstrahles 5 auf die Oberfläche 1 des Prüf­ körpers 2 in einem länglichen Prüfbereich 13 auftrifft.

Claims (12)

1. Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Ober­ fläche (1) eines insbesondere bewegten Prüfkörpers (2) mit einer Beleuchtungsvorrichtung (4), mit der eine intensitätsmodulierte Anregungsstrahlung (5) erzeugbar ist, mit einer Fokussiervorrichtung (8), mit der die Oberfläche (1) mit der Anregungs­ strahlung (5) in einem Prüfbereich (13) beaufschlag­ bar ist, mit einem Detektor (20), dem von dem Prüf­ bereich erzeugte Wärmestrahlung (16) aus einem Meßbereich (14) zuführbar ist, wobei der Prüfbereich (13) größer als der Meßbereich (14) ist, und mit einer Kopplungsvorrichtung, mit der die Anregungs­ strahlung (5) und die dem Detektor (20) zugeführte Wärmestrahlung (16) koaxial ausrichtbar sind, da­ durch gekennzeichnet, daß die Kopplungsvorrichtung eine Reflexionsvorrichtung (9, 21) ist, deren Re­ flexionsfläche (10, 23) für eine der Strahlungen (5; 16, 17) eine hohe Reflektivität aufweist und die von der im wesentlichen gesamten Intensität dieser Strahlung (5; 16, 17) beaufschlagt ist, wobei die andere Strahlung (16, 17; 5) die Reflexionsvor­ richtung in einem für diese Strahlung im wesent­ lichen vollständig durchlässigen Bereich passiert, daß zwischen der Oberfläche (1) und dem Detektor (20) eine Abbildungsvorrichtung (11) vorgesehen ist, die eine Ausnehmung (12) aufweist, durch die die An­ regungsstrahlung (5) durchtritt, wobei mit der Ab­ bildungsvorrichtung (11) die in dem Meßbereich (14) erzeugte Wärmestrahlung (16, 17) dem Detektor (20) in einem gegenüber dem direkten Gesichtsfeld des Detektor (20) vergrößerten Winkelbereich (16) zu­ führbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Fokalbereich der Fokussiervorrichtung (8) im Bereich zwischen der Reflexionsvorrichtung (9, 21) und der Abbildungsvorrichtung (11) liegt.

3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmung (12) der Abbildungsvorrichtung (11) im Bereich der optischen Achse der Fokussiervorrichtung (8) vorgesehen ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionsvorrich­ tung ein Spiegel (9) ist, dessen Reflexionsfläche (10) von der Anregungsstrahlung (5) beaufschlagt ist und die Intensität der Anregungsstrahlung (5) im wesentlichen vollständig reflektiert.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (9) höchstens so groß wie der durch die Ausnehmung (12) der Abbildungsvorrichtung (11) abgeschattete Bereich der dem Detektor (20) zu­ geführten Wärmestrahlung (16, 17) ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionsvorrich­ tung ein Spiegel (21) ist, dessen Reflexionsfläche (23) im wesentlichen der Oberfläche des Spiegels (21) entspricht und der von dem im wesentlichen gesamten Anteil der von der Abbildungsvorrichtung (11) erfaßten Wärmestrahlung (16) beaufschlagt ist, wobei die für den auszunutzenden Spektralbereich der Wärmestrahlung im wesentlichen vollständig reflek­ tive Reflexionsfläche (23) im Durchtrittsbereich (22) der Anregungsstrahlung (5) ausgespart ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch (6), dadurch gekennzeich­ net, daß der Durchtrittsbereich der Anregungsstrah­ lung (5) eine den Spiegel (21) querende Ausnehmung (22) ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmung (22) des Spiegels (21) höchstens so groß wie der durch die Ausnehmung (12) der Ab­ bildungsvorrichtung (11) abgeschattete Bereich der dem Detektor zugeführten Wärmestrahlung (16, 17) ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß der Fokalbereich der Fokussiervorrichtung (8) im wesentlichen mittig zwischen der Reflexionsvorrichtung (9, 21) und der Abbildungsvorrichtung (11) liegt.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß die Fokussiervorrichtung (8) eine Bikonkavlinse ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß die Fokussiervorrichtung (8) eine Zylinderlinse ist, wobei die Längsrichtung der Zylinderlinse in der Bewegungsrichtung (3) des Prüfkörpers (2) ausgerichtet ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, da­ durch gekennzeichnet, daß die Ausnehmung (12) der Abbildungsvorrichtung (11) mit einem für die An­ regungsstrahlung (5) im wesentlichen durchlässigen Verschluß versehen ist.