KR19980050105A - 공작물의 비파괴 검사방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 강도롤 변조한 전자기 여기 빔(excitation beam)을 공작물 표면상의 시험지점에 조사(照射)하여, 상기 시험지점에 의해 방출되는 열방사선(thermal radiation)을 검출하고 평가하는 공작물의 비파괴 검사방법을 제공하는데, 상기 여기 빔은 주기적으로 상이한 방향으로 안내되어 그 중의 각각은 공작물 표면 상의 상이한 시험지점에 지향되게 된다. 더욱이, 전자기여기 빔(electromagnetic excitation beam)을 방출하기 위한 여기 원(excitation source)과, 상기 여기 빔의 강도를 변조하여 공작물 표면상의 시험지점에 상기 여기 빔을 지향시키기 위한 광학 수단(opticalmeans) 및 상기 시험지점에 의해 방출되는 열방사선을 검출하기 위한 검출 수단을 구비하는 공작물의 비파괴 검사용 장치가 제공된다. 상기 광학 수단은 상이한 방향으로 상기 여기 빔을 주기적으로 편향시키기 위한 변조 수단과 공작둘 표면상의 상이한 시험지점으로 가는 각 방향으로 상기 여기 빔을 지향시키기 위한 방향유도 수단을 구비한다.

Description

공작물의 비파괴 검사방법 및 장치

도 1는 본 발명의 제 1실시예의 개략도

도 2는 본 발명의 제 2실시예의 개략도

도 3는 본 발명의 제 3실시예의 개략도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10,12 : 공작물, 16,l8 : 외표면,

20 : 여기 원(excitation source) 22,26,28,30 : 반사경,

32,34,36,42,44 : 렌즈, 50,52 : 검출기,

54,56: 필터 부재, S : 레이저 빔.

본 발명은 공작물의 비파괴 검사방법에 관한 것으로서, 강도를 변조한 전자기 여기 빔(excitation beam)을 공작물 표면상의 시험지점에 조사(照射)하여, 상기 시험지점에 의해 방출되는 열 방사선(thermal radiation)을 검출하고 평가하는 비파괴 검사방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 공작물의 비파괴 검사장치에 관한 것으로서, 전자기 여기 빔(electromagnetic excitation beam)을 방출하기 위한 여기 원(excitation source)과, 상기 여기 빔의 강도를 변조하여 공작물 표면상의 시험지점에 상기 여기 빔을 지향시키기 위한 광학 수단(opticalmeans) 및 상기 시험지점에 의해 방출되는 열 방사선을 검출하기 위한 검출 수단을 구비한다.

강도를 변조한 방사선을 가한 후 표면에 의해 방출되는 열 방사선의 시간에 따른 추이를 평가하는, 표면의 열 여기(勵起)에 의한 재료의 비파괴 및 비접촉 검사는 수년간 성공적임이 입증된 방법이다. 또한, 광열 방사측정(photothermal radiometry:PTR)으로도 알려진 기본 원리는 검사될 시편내의 온도파들(temperature waves)의 발생을 기초로 하는데, 이들 파들은 시편 재질의 상태 특성과 층 경계(layer boundaries), 엽렬(delaminations), 균열(fissures), 세공(pores) 등과 같은 열불균일 요소(thernnl inhomogeneities)들로부터 초음파와 유사하게 확산되거나 반사되는 방식으로 퍼져나간다. 초음파 측정법과의 본질적인 차이점은 더 강한 감쇠(attenuation) 및 휠씬 더느린 분산속도(dispersion speed)에 있다. 상기 온도파의 반사 또는 산란 부분은 초기파 또는 여기파와 간섭하여 온도파의 합 벡터를 형성하는데, 상기 합 벡터는 다중 반사 또는 분산에 의거하여 형성되기도 한다. 이 합 벡터는 조사(調杏)대상인 시편에 관한 측정 정보로서 벡터량과 위상을 포함하는데, 상기 벡터량은 측정거리와 방사선 조사 각도 등의 외부인자에 크게 의존하고 있기 때문에 거의 쓸모가 없으며, 산업상 적용시에 상기 측정거리와 방사선 조사 각도를 충분한 정밀도로 조절할 수도 없다. 한편, 위상은 이들 파라미터의 영향을 거의 받지 않으며, 강도를 변조한 여기 방사선의 출력에도 거의 영향을 받지 않으므로 신뢰성을 가지고 평가할 수 있다. 공작물 표면의 조건, 예컨대 두께는, 여기 방사선 조사와 비교하여, 공작물에 의해 방출되는 열방사선의 위상 이동에 기초하여 결정될 수 있다.

파장이 적외선 검출기의 감도 범위 밖에 있도록 여기 방사선을 선택하는 것이 편리하다. 그 경우에, 산란 및/또는 반사된 여기 방사선이 검출기내에서 노이즈 신호를 발생시키는 것을 방지할 수 있다.

광열 방사측정법은 공작물상의 표면 코팅들과 보호충 등의 열적으로 얇은 공작물에 대해 특히 유용한데, 왜냐하면 그때에 온도파들의 간섭이 온도파들을 가장 분명하게 나타내기 때문이다. 광열 방사측정법의 이론적인 면들은, 어플라이드 옵틱스, 권 21, 제 1호,1982.1.1. 일자, 페이지 49에서 54까지의 ''열 파동 간섭법: 광음향 효과의 잠재적 응용에서 C. A. Bennett와 Jr. and R. R. Patty에 의해 논의 되었다.

재료 비파괴 검사용 장치는 EP-A-0 609 193에 의해 알려져 있다. 이 경우, 변조 래이저 빔 또는 기계적인 단속기에 의해(주기적으로 단속됨) 변조된 연속 레이저 빔은 조사대상 표면상에 주기적인 가열이 이루어지도록 그 표면상으로 유도된다. 그 후 이것은 적외선 검출기에 의해 감지되어서 변환되며, 마찰층(frction linings)의 다공도(porosity)를 결정할 수 있도록 평가를 위해 컴퓨터에 적용된다.

재료 또는 층 두께 측정의 광열 검사를 위한 다른 장치는 DE-A-36 31652에 의해 알려져 있다. 그 공보의 도 1는 하방 변조기(downstream modulator)를 가진 열 방사기를 나타내는데, 이 경우 파이버를 통하여, 검사될 표면에 상기 하방 변조기에 의하여 강도를 변조한 방사선이 인가된다.

대체로, 상기 여기 빔을 발생시키기 위해 이러한 시스템에 사용되는 여기 원(勵起源)은 값비싼 구성부품인데, EP-A-0 609 193의 경우와 같이 특히 레이저라면 가격이 대단히 비싸며, 구입 및 유지의 고비용은 제쳐놓고서라도, 대단한 레이저의 저 효율 및 고 에너지소비 때문에, 또한 레이저 냉각에 관련한 과대 비용 때문에 다른 것 중에서도 보통 운전비용이 높다.

광열 검사장치에 대해 언급된 예들의 각각의 경우, 강도를 변조한 여기빔을 발생시키는 여기 원은 기껏해야 50%이상을 이용하지 않는다. EP-A-0 609 193에 따른 레이저의 변조된 작동모드로써 발생된 방사선은 적어도 완전히 이용되나, 레이저 유닛 자체로는 완전히 이용되는 것은 아니다. 반면에, EP-A-0 609 193 및 DE-A-36 31652의 경우에서와 같이, 연속 방사선이 단속기에 의해 변조되는 경우, 발생한 방사에너지의 50%는 이용되지 않은 채로 남는다. 이렇게 방사에너지의 50%가 잘려나가면 장치 내에 열 문제가 발생할 수 있으며, 떠도는 적외선 방사로 인해 신호들을 심지어는 왜곡시킬 수도 있다.

공작물 상의 많은 다른 위치들의 동시 검사가, 많은 산업부문의 적용에 있어서 필요하거나 적어도 바람직하다. 예를 들면 통상의 코팅 설비는, 하나의 공작물의 양면 각각에 또는 한 쌍씩 운반되는 두 개의 공작물 각각의 일면에 니스를 바르는 코팅실을 통하여 공작물을 운반하기 위한 운반시스템으로 구성된다. 코팅 장비의 양측이 완전히 똑 같이 작동하지는 않기 때문에, 즉 동일한 작동 파라미터로 동일한 두께를 자동적으로 제공하지 않기 때문에, 품질을 보장할 목적으로 소정의 측정기술에 의해 코팅의 양측을 모니터 할 필요가 있다.

EP-A-0 609 193나 DE-A-36 31652에 특정된 것과 같은 측정시스템을 적용할 경우, 각 측정 스테이션은 각각 그 자신의 여기 원을 가지는 완전한 측정 또는 검사시스템을 필요로 한다. 검사대상인 공작물 상의 복수개의 지점이 단일 여기 원에 의해 동시에 분석되도록 해주는 장치는 지금까지 어느 것도 없었다.

따라서, 본 발명의 목적은 공작물의 복수지점을 동시에 시험하면서 공작물을 비파괴 방식으로 검사할 수 있는 방법 및 장치를 알리는데 있다. 본 발

명의 다른 목적은 공지된 방법 및 장치와 비교하여 더 낮은 비용으로 구입할 수 있고 운전비용을 절감시킬 수 있도록 당해 종류의 방법과 장치를 제안하는데 있다.

본 발명에 따르면, 본 발명의 목적은 청구항 제1항에 열거된 구성으로 특징 지워지는 방법과 청구항 제5항에 열거된 구성으로 특징 지워지는 장치에 의하여 달성된다. 본 발명에 따른 방법과 장치는 단일 여기 원의 방사출력의 100% 활용에 의해서 하나 또는 그 이상의 공작물의 복수지점을 동시에 시험할 수 있다. 예를 들면, 코팅장치에 있어서 본 발명에 따른 방법과 장치는, 코팅되는 양측에서의 층 두께를 측정할 수 있게 한다. 본 발명에 의한 방법과 장치로써, 여기 원은 적어도 두 방향 또는 각위치(angular positions)(채널)사이에서 적절한 구성부재에 의하여 주기적으로 전환되는 여기 빔을 연속적으로 방출한다. 이 방식으로 여기 원의 방사출력의 100%가 활용되며, 채널중의 어느 하나가 교대로 전환된다.

만약 두 개의 각 위치와 상기 언급된 두 채널이 제공되면, 결과적인 사용률(duty cycle)은 변조여기 방사선의 50%가 된다. 상기 두 채널의 여기빔은 각각에 대해 180。로 위상 이동이 되어있다. 그러므로, 상기 두 채널의 변조된 방사출력은, 적어도 두 개의 서로 다른 검사지점, 예컨대 코팅장치내의 공작물 상의 서로 다른 면,의 열 여기를 위해 이용될 수 있다. 공작물 표면상의 시험지점들은 상기 여기 빔이 시험지점을 가격하므로서 주기적으로 가열된다. 층 두께, 층과 합성물의 접착도 등과 같은 표면 조건의 특징인, 시험대상 지점들의 시간에 따른 온도 거동은 각 지점에 대해 방사측정법에 의해 각각 검출, 측정되고, 그 후 적절한 전자 수단과 소프트웨어에 의해 평가된다. 180。만큼의 여기 방사선의 위상이동은 신호 평가에 아무 문제없이 고려될 수 있다. 측정 및 평가에 이용될 수 있는 지점의 수를 늘리기 위해 각각의 여기 빔은 차례로, 예컨대 빔 스프리터(beam splitter)에 의해 둘 또는 그 이상의 성분 빔으로 분할될 수 있다.

당해 유형의 관련 장치는 CAN. J. PHYS., 권 64,1986년 페이지 1155에서 1164까지에서 S.O. Kanstad에 의한 광열 방사측정법의 실험측면에 기술되어 있다. 이는 금속으로 입혀진 초퍼 휠(chopper wheel)을 이용하여 여기 방사선을 변조하며, 방사선의 50%를 분할하여 출력계에 인가하는데, 그이유는 이 실시예로써 출력시스템이 레이저 출력에 대해 표준화되어야 하기때문이다. 그러나, 전술한 바와 같이, 광열 표면검사에 이용되는 것은 오히려 유도된 온도 진동의 위상이어서, 대개 출력을 측정할 필요는 없다. 결과적으로, 여기 방사선의 대응 부분은 다른 검사지점을 여기시키는 용도로 사용될 수 있다.

단 한 번만 설명될 유사 구성요소를 나타내기 위해 세 개의 도면에서 동일한 참조번호가 사용된다.

도 1는 본 발명의 제 1실시예의 개략도이다. 도 1의 좌측에 두 개의 공작물(10,12)이 나란히 나타나 있다. 그들은 박스(14)로써 단순히 개략적으로 표시된 코팅실로 이입된다. 상기 코팅실에서, 공작물(10,12)의 두 개의 외표면(16,18)은 코팅이 되며, 코팅층 두께의 측정 또는 표면 거칠기의 검사등의 표면 시험을 동시 또는 연속적으로 받게 된다.

여기 원(excitation source)(20)은 전자기 여기 방사선(S)을 발생시킨다.

이 실시예에서 여기 원은 레이저 빔(S)을 방출하는 레이저원으로 가정한다.

그러나, 적외광 또는 상이한 파장을 가진 전자기 방사선을 사용할 수도 있다. 반사경면에 수직으로 회전축을 가진 회전 반사경(22)은 레이저 빔(S)의방출 경로에 배치된다.

반사경(22)은 그 주변부에 함몰부나 절상(cuts)을 가지도록 형성되어 있으며, 계속해서 회전되거나 두 개의 규정된 각위치(angular position)경계 사이에서 진동운동으로 앞뒤로 움직이게 된다. 반사경 표면을 가격하는 여기빔(S)이 함몰부를 만나는 경우, 투과하거나 반사에 의해 편향되는데, 이는 모두 반상경의 위치에 의존한다. 바람직한 실시예에 있어서, 상기 반사경은 원형이며 세그먼트(segment)들은 등간격으로 외주면으로부터 절상되어 있다.

상기 회전 반사경 축은 예를 들면, 모터, 스캐너, 또는 회전 자석의 축이 될 수 있거나, 상기 언급한 수단들 중의 어느 하나에 의해 구동되는 분리 회전축이 될 수도 있다.

반사경(22)의 회전 또는 왕복운동은 대략 50%의 사용률로 연속 여기 빔(S)을 변조하며, 이로 인해 대략 180。로 위상이 이동된 두 개의 여기 빔(A,B)을 제공한다. 또한, 변조 여기 빔(A, B)은 측정채널(A, B)로 생각할 수도있다.

여기 빔(S)이 반사경 축으로부터 가능한 한 멀게 반사경 표면에 입사되도록 하고, 반사경(22)의 전방에 렌즈(32)를 설치함으로써 반사경 표면영역에 가능한 한 작게 빔 횡단면을 형성시키거나 집중시키도록 하면 편리한데, 이는 양 채널(A, B)에 대한 강도 변조 여기 방사선이 시간에 따라 직사각형코스를 이루는 결과가 되기 때문이다. 이러한 방식으로, 여기 방사선이 조사되는 모든 공작물 표면상의 시험 부위나 지점은 유사한 열 여기를 받을 것이다(즉, 동일 사용률과 동일 위상). 세그먼트 절상 등 어떠한 반사경의 구조식 불균일에 의한 영향은, 만약 여기빔이 반사경 축으르부터 먼 거리에서 반사경을 향해 지향될 경우, 최소이다.

이 장치에서, 더 먼 거리를 통해 빔을 유도하도록. 반사경(22) 다음에는 빔을 시준하고, 원한다면 렌즈(32)와 더불어 빔을 확장도 하는 다른 렌즈들(34(채널 A),36(채널 B))이 온다. 반사경(26)은 빔 안내 역할을 한다. 특정적용례 및 사안의 특정한 요건에 따라 빔 안내를 위해 반사경과 같은 부가적인 광학부품들이 필요할 것이다.

형성된 변조 주파수는 반사경(22)에 형성된 절상(cutout) 또는 세그먼트의 수와 반사경에 사용된 구동 수단의 회전속도에 의존한다. 동기성이 탁월한 모터는 1Hz 이하로부터 수 백Hz까지 변조 주파수를 제공할 수 있을 것이다.

최종적으로 양쪽 채널(A, B)의 여기 빔은 각각 측정 헤드(38,40)로 입사된다. 각각의 측정 헤드는 수광된 여기 빔(A 또는 B)을 굴절 및/또는 반사 광학부품인, 반사경(28,30) 및 렌즈(42,44)로 조절하여 각각 공작물(10,12)의 검사 표면(16 또는 18)을 향하게 한다. 시험 지점에서 방출된 열방사선(A', B')은 표면 온도에 좌우되는 직외방사선이고, 결상광학계(46,48)를 통해 각각 대응 검출기(50,52)로 입사된다. 도시된 실시예에서 결상광학계는렌즈로 구체화되어 있지만, 이들은 예컨대 오목 반사경일 수도 있다. 원하지 않는 어떤 방사선, 예컨대 공장 조명에서 발생하는 근적외선 범위에서의 50,60, 또는 100Hz로 변조된 방사선이 침입하는 것을 막기 위해, 차단필터 또는 에지필터 등의 필터부제(54,56)가 각 검출기(50,52) 전면에 설치될 수 있다.

검출기들에 의해 감지된 열 방사선은 예컨대 표면 코팅의 층 두께를 결정하기 위해 하방의 전자적 평가장치(미도시)에 의해 처리된다.

도 2는 본 발명에 따른 검사장치의 다른 실시예를 나타낸다. 도 2에 있어서, 여기 방사선을 변조하는데 사용된 도 1의 회전가능한 반사경은 선회가능한 반사경(60)으로 대체된다. 세그먼트가 형성되지 않은 반사경(60)은 반사경면과 평행하게 연장된 축(62) 상에 탑재되어, 왕복운동하도록 조절되어 있으며, 스캐너나 회전자석의 축 등의 구동유닛에 연결되어 있다. 선회가능한 반사경(60)의 기계축(62)은 불균형을 피할 수 있게 반사경의 무게중심을 관통하여 연장되는 것이 바람직하다.

동작 중에, 여기 방사선(S)에 의해 가격되는 반사경(60)은 두 개의 규정된 각위치(angular positions) 사이에서 앞뒤로 움직이며, 반사경의 두 개의경사 위치간의 각도 차이의 두 배인 각을 경계로 가지는 두 방향 사이에서 상기 여기 빔이 편향된다. 도 1를 참조하여 전술한 바와 같이, 결과적인 두개의 강도변조 여기 빔(A 및 B)은 두 개의 측정헤드(38,40)에 주기적으로 입사된다. 이 실시예로 얻을 수 있는 변조 주파수는 대략 25Hz보다 더 큰데, 그 이유는 왕복운동 시스템의 기계적 관성이 도1에 나타낸 실시예처럼 사용율의 자유 조절을 허용하지 않기 때문이다.

렌즈(32)의 역할은 반사경(60) 상에 여기 빔(S)의 사이즈를 줄이거나 초점을 형성시키는 것이다. 결과로서, 반사경(60)은 작게 만들 수 있고, 또한 기계적 시스템의 왕복운동의 관성은 더 작게 된다. 도 1에 따른 실시예의 경우에서처럼, 렌즈(34,36)는 시준용도로, 원한다면 빔의 확장용도로도 사용되며, 반사경(26,64,66,68)은 빔 안내 부품이다.

본 발명의 또 다른 실시예를 도 3에서 볼 수 있다.

이것은 도 2의 것과 유사하나 여기서는 선회가능한 반사경(70)이 피에조 부품 구동장치(72)에 의하여 조정된다.

매우 빠르고 정교한 위치잡기(positioning)가 피에조 부품에 의하여 이루어져 수백 헤르츠까지의 변조 주파수를 거의 50%의 사용률(duty cycle)에서 얻을 수 있는 장점이 있다. 피에조 부품에 의하여 얻을 수 있는 비교적 작은 각 편차(angular deflection)는 여기 빔(S)을 복수개의 반사경에 연속적으로 충돌시킴으로서 충분히 크게 할 수 있다. 이들 반사경은 피에조 부품에 의하여 동기식으로 구동되고, 전체 각 스윙이 반사경의 수에 의하여 배가된다.

도 3에서 알 수 있는 바와 같이, 또 다른 예로서, 여기 빔이 피에조 부품에 의하여 선회되어져 장착된 반사경(70)과 선회 또는 정적인 다른 반사경(74) 사이에서 결합될 수 있다. 그리고, 그 다음 전후로 몇번 반사되고 나시 결합이 끊어진다. 또한 이 방법으로 다중의 각 편차를 얻을 수 있다. 도 3는 반사경(70)이 채널(A)로 여기 빔(S)을 안내하는 제1 위치에 있을 때 여기 빔(S)이 어떻게 연

속선을 따르는지, 그리고 반사경(70)이 채널(B)로 여기 빔(S)을 안내하는 제2 위치에 있을 때 여기 빔이 어떻게 불연속선을 따르는지를 보여주고 있다. 도 1 및 도 2를 참조하여 상세히 설명한대로, 양쪽 여기 채널은 최종적으로 각각 측정헤드(38,40)에 이른다.

레이저 방사(laser radiation)가 여기 목적을 위하여 적용될 경우, 피에조 부품을 포함하는 실시예가 특히 유용하다. 피에조 부품은 특히 큰 속도와 큰 정확성으로 스위칭하기에 적절하여, 레이저 방사의 사용과 조합하여 그것은 시험장치가 다소 작은 치수로 설계될 수 있도록 해준다.

더 나아가, 이 장치에서 집속 렌즈(collector lens,32)를 또한 구비하는 것이 바람직한데, 그 이유는 이동가능한 반사경 또는 반사경들(70,74) 역시 작은 치수

로 주어질 수 있도록, 선회가능한 반사경(70) 지역에서 빔 횡단면을 감소시키기 때문이다. 더욱이, 심지어 각 편차가 작을 때에도, 초점형성(focussing)에 의해 두 채널의 기하학적 분리가 용이하다.

또 한 번, 집속 렌즈(32,36)는 광선의 시준(collimation)에 제공되고, 필요시 광선의 확장(widening)에도 제공된다.

부가하여, 강도 변조 여 기 방사선(intensity modulated excitation radiation)이 시편표면상의 둘 이상의 다른 시험지점으로 지향될 수 있도록, 모든 실시예는 측정헤드(38 그리고/또는 40) 내에 빔 스프리터(미도시)를 구비할 수 있다.

본 명세서, 도면, 청구범위에 규정된 본 발명의 특징은 본 발명을 개별적으

로 또는 임의의 원하는 조합으로 실시하는데 필수적일 것이다.

Claims (17)

1. 공작물의 비파괴 검사방법으로서, 공작물 표면(16,18)상의 상이한 시험지점에 조사(照射)되는 복수의 강도 변조 빔(A, B)을 제공하기 위해 연속전자기 여기 빔(S)이 상이한 방향에서 주기적으로 조사되고, 상기 시험지점에 의해 방출되는 열방사선이 검출되어 평가됨을 특징으로 하는 공작물의비파괴 검사방법.
2. 제l항에 있어서, 상기 여기 빔(S)은 대략 0.1에서 500Hz범위의 주파수로 편향되는 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사방법.
3. 제1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 여기 빔(S)은 대략 50%의 사용률로 두 방향(A, B)에서 조사되고 대략 180。의 위상으로 두 여기 빔(A, B)이 이동되어 변조됨을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사방법.
4. 제1항 내지 제 3한 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 여기 빔(S, A,B)은 복수의 분할 빔으로 분할됨을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사방법.
5. 공작물의 비파괴 검사용 장치로서, 전자기 여기 빔(S)을 방출하기 위한 여기 원(20)과, 상기 여기 빔(S)의 강도를 변조하여 공작물 표면(16,l8)상의 시험지점에 상기 여기 빔을 조사하기 위한 광학 수단(22,26;60,64,66,68,28;70,74,66,26)과, 시험지점에 의해 방출되는 열 방사선을 검출하는 검출 수단(50,52)을 구비하며,

   상기 광학 수단은,

   -상이한 방향(A, B)으로 상기 여기 빔을 주기적으로 편향시키기 위한 변조 수단(22;60;70)과,

   -공작물 표면(16,l8)상의 상이한 시험지점으로 가는 각 방향(A, B)으로 상기 여기 빔을 지향시키기 위한 방향유도 수단(26;64,66,68,26;74,66,26)을 구비하는 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
6. 제 5항에 있어서, 상기 검출기 수단은 상이한 시험지점에 의해 방출되는 열 방사선을 검출하기 위한 복수의 검출기(50,52)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 변조 수단은 상이한 방향(A, B)으로 상기 여기 빔(S)을 지향하도록 적응시킨 조절 가능한 반사경(22;60;70)을 구비하는 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
8. 제5항 내지 제 7항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 변조 수단은 상기 반사경 축 및 함몰부들에 수직인 회전축을 가지는 동시에 자신의 회전위치에 따라 여기 빔(S)을 투과하거나 반사시키도록 설치된 회전 반사경(22)을 구비하는 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
9. 제 8항에 있어서, 상기 반사경(22)은 원형이고 등간 격으로 그 외주면으로부터 절상된 세그먼트를 가지는 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
10. 제5항 내지 제 7항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 변조 수단은 반사경면과 평행한 선회축을 가지는 동시에 자신의 선회위치에 따라 여기 빔(S)을 투과하거나 반사시키도록 여기 원(20)에 대해 설치된 선회가능한 반사경(60;70)을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
11. 제5항 내지 제 7한 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 변조 수단은 반사경면과 평행한 선회축을 가지는 동시에 자신의 선회위치에 따라 여기 빔(S)을 복수의 규정된 방향중의 어느 하나로 지향시키도록 여기 원(20)에 대해 설치된 선회가능한 반사경(60;70)을 구비하는 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
12. 제11항에 있어서, 상기 변조 수단은 다중반사에 의해 수 개의 규정된 방향들(A, B)중의 하나로 여기 빔(S)을 지향시키도록 서로 거의 대향되게 배치된 복수의 반사경(70,74)을 구비한 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 반사경(70,74)들중의 적어도 하나는 규정된 두 각 위치(angular position)사이에서 피에조 부품(72)에 의하여 앞뒤로 선회되도록 조절된 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
14. 제5항 내지 제13항 -중의 어느 한 항에 있어서 상기 광학 수단은 상기 여기 빔(S, A, B)을 복수의 분할 빔들로 분할하기 위해 적어도 하나의 빔 스프리터(splitter)를 구비함을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
15. 제5항 내지 제14항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 여기 빔(S)을 집중하기 위한 광학수단(22;60;70)과 여기 원(20)의 사이에는 집속 렌즈(32)가 제공된 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
16. 제5항 내지 제15항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 방향지시 수단은 상기 강도 변조 빔(S, A, B)을 시준(colimate)하기 위한 렌즈 어셈블리(34,36)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공작물의 비파괴 검사장치.
17. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 규정된 방법을 구비한 공작물 코팅층의 층 두께 측정 방법.

    18. 제5항 내지 제16항 중의 어느 한 항에 규정된 특징을 구비한, 공작물 코팅층의 층 두께를 측정하기 위한 장치.