DE19651737C2 - Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads einer Linse - Google Patents
Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads einer LinseInfo
- Publication number
- DE19651737C2 DE19651737C2 DE19651737A DE19651737A DE19651737C2 DE 19651737 C2 DE19651737 C2 DE 19651737C2 DE 19651737 A DE19651737 A DE 19651737A DE 19651737 A DE19651737 A DE 19651737A DE 19651737 C2 DE19651737 C2 DE 19651737C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- lens
- beam path
- receiving element
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/22—Apparatus or processes for the manufacture of optical heads, e.g. assembly
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Optical Head (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen des
Neigungsgrads einer Linse, insbesondere des
Neigungsgrades einer für einen optischen Aufnehmer
vorgesehenen Objektivlinse.
In der DE 41 35 959 C2 und in der DE 28 10 025 C2 werden
Vorrichtungen zur Messung der Neigung von Linsen mittels
Laserstrahlen zur Ausrichtung der Linsen in optischen
Systemen beschrieben. Da die auszurichtenden Linsen
jeweils eine Oberflächenkrümmung aufweisen, führt die
Messung an einer Stelle auf der Oberfläche der Linse zu
einer Überlagerung der Ablenkung des reflektierten
Laserstrahls durch die Neigung der Linse und durch die
Krümmung der Oberfläche an der gemessenen Stelle. Daher
müssen jeweils mehrerer Messungen an verschiedenen
Stellen durchgeführt werden, um die Neigung der Linse
selbst zu ermitteln.
Im allgemeinen werden Informationen, die auf einem
Aufzeichnungsmedium eines CD-Spielers (CDP), eines
optischen Videotreibers (VOD) oder eines
Laserplattenspielers (LDP) aufgezeichnet sind, unter
Verwendung eines optischen Aufnehmers gelesen. Der
optische Aufnehmer umfaßt eine Lichtquelle, eine
Objektivlinse zum Konvergieren von Licht, das von der
Lichtquelle ausgesendet wird, und einen Photodetektor zum
Erfassen eines Fehlersignals und eines
Informationssignals durch Empfangen von Licht, das von
dem optischen Aufzeichnungsmedium reflektiert wird.
Die Objektivlinse wird durch ein Stellglied gemäß einem
vom Photodetektor erfaßten Fokusierfehlersignal oder
Spurfehlersignal angetrieben.
Die Größe einer Vertiefung oder eines
Magnetisierungsbereiches, die bzw. der eine auf dem
Aufzeichnungsmedium aufgezeichnete Signalinformation
darstellt, liegt bei Mikrometereinheiten. Um das von der
Lichtquelle ausgesandte Licht genau auf einer gewünschten
Stelle des Aufzeichnungsmediums konvergieren zu lassen,
muß deshalb die Objektivlinse bezüglich des Verlaufs des
von der Lichtquelle ausgesandten Lichts geeignet
positioniert werden.
Zu diesem Zweck muß die Objektivlinse exakt überwacht
werden, wenn diese auf dem Stellglied montiert wird. Beim
Stand der Technik wird der Neigungsgrad der Objektivlinse
unter Verwendung einer in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung
zum Messen des Neigungsgrads einer für einen optischen
Aufnehmer vorgesehenen Objektivlinse gemessen.
Die Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads einer für
einen optischen Aufnehmer vorgesehenen Objektivlinse
umfaßt eine Lichtquelle 1, einen Fluoreszenzschirm 3 und
einen Umlenkspiegel 5. Hierbei ist eine für einen
optischen Aufnehmer vorgesehene Objektivlinse 10 an
einem Stellglied 13 zum Korrigieren der Objektivlinse
gemäß einem erfaßten Fehlersignal befestigt. Die
Objektivlinse 10 weist ein konvexes Teil 11 zum
Konvergieren des Lichts an dessen Mitte und ein planares
bzw. ebenes Teil 12 zum Messen des Neigungsgrads auf, das
längs des Umfangs des konvexen Teils 11 vorgesehen ist.
Die Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads der für
einen optischen Aufnehmer vorgesehenen Objektivlinse
führt einen kohärenten, geradlinigen Laserstrahl mit
hoher Strahlleistung als Lichtquelle 1 ein. Ein von der
Lichtquelle 1 emittierter Lichtstrahl 2 trifft auf das
ebene Teil 12 der Objektivlinse 10 auf. Ist die zentrale
Achse der Objektivlinse 10 parallel zum optischen
Strahlengang des von der Lichtquelle 1 emittierten Lichts
2, so decken sich der Strahlengang des Lichts 2, das auf
das ebene Teil 12 auftrifft, und ein vom ebenen Teil 12
reflektierter Lichtstrahl 4. Ist jedoch die Objektivlinse
10 nicht bezüglich der Bewegungsrichtung des von der
Lichtquelle 1 emittierten Lichtstrahls 2 ausgerichtet, so
weist der vom ebenen Teil 12 der Objektivlinse 10
reflektierte Lichtstrahl 4 einen Strahlengang auf, der
sich von dem des einfallenden Lichtstrahls 2
unterscheidet.
Der Fluoreszenzschirm 3 empfängt den von der
Objektivlinse 10 reflektierten Lichtstrahl 4, wobei
dessen Lichtempfangsteil am Umfang eine andere Helligkeit
aufweist. Der Fluoreszenzschirm 3 ist längs des
Strahlengangs angeordnet, um den von dem ebenen Teil 12
der Objektivlinse 10 reflektierten Lichtstrahl 4 zu
empfangen, und eine Bezugsstelle des Fluoreszenzschirmes
3 ist auf der Grundlage des Falles festgelegt, bei dem
der Strahlengang des auf das ebene Teil 12 einfallenden
Lichts und der Strahlengang des vom ebenen Teil 12
reflektierten Lichts gleich sind.
Die Stelle eines auf dem Fluoreszenzschirm 3
ausgebildeten, sichtbaren Lichtpunkts wird visuell
überprüft und dann wird festgestellt, ob der Fehler
bezüglich der obigen Bezugsstelle innerhalb eines
zulässigen Fehlerbereichs liegt. Liegt hierbei der
festgestellt Fehler innerhalb des zulässigen
Fehlerbereichs, so wird die Objektivlinse als
hervorragend eingestuft. Andererseits wird die
Objektivlinse als minderwertig eingestuft, und die
Neigung der Objektivlinse wird nachjustiert.
Da bei der konventionellen Vorrichtung zum Messen des
Neigungsgrads einer für einen optischen Aufnehmer
vorgesehenen Objektivlinse der Neigungsgrad der
Objektivlinse visuell gemessen wird, kann ein Fehler bei
der Betrachtung auftreten und es ist viel Zeit für die
visuelle Betrachtung erforderlich.
Es ist somit Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zum
Messen des Neigungsgrads einer Linse vorzuschlagen, die
den Neigungsgrad der Linse schnell und exakt messen kann.
Die Lösung dieser Aufgabe ergibt sich anhand der Merkmale
des Patentanspruches 1.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind
Gegenstand der Unteransprüche 2 bis 9.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend
anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung, die die
optische Anordnung einer Vorrichtung zum
Messen des Neigungsgrads einer für einen
optischen Aufnehmer vorgesehenen
Objektivlinse gemäß einem bevorzugten
Ausführungsbeispiel der Erfindung
verdeutlicht;
Fig. 2 eine schematische Darstellung, die die
optische Anordnung einer Vorrichtung zum
Messen des Neigungsgrads einer für einen
optischen Aufnehmer vorgesehenen Objektivlinse
gemäß einem anderen bevorzugten
Ausführungsbeispiel der Erfindung
verdeutlicht; und
Fig. 3 eine schematische Darstellung, die die
optische Anordnung einer konventionellen
Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads
einer für einen optischen Aufnehmer
vorgesehenen Objektivlinse verdeutlicht.
Wie aus Fig. 1 ersichtlich, weist eine Vorrichtung zum
Messen des Neigungsgrads einer für einen optischen
Aufnehmer vorgesehenen Objektivlinse gemäß einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung eine
Lichtquelle 21, einen Kollimator 23, eine Kondensorlinse
33 und eine Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung 30 auf.
Die Lichtquelle 21 erzeugt einen kohärenten, geradlinigen
Laserstrahl mit hoher Strahlleistung. Für die Lichtquelle
21 kann irgendein Laser verwendet werden. Jedoch wird
vorzugsweise ein Halbleiterlaser verwendet, der relativ
wenig Leistung verbraucht.
Der Kollimator 23 ist längs der Strahlengangs der
Lichtquelle 21 angeordnet und schließt wenigstens eine
Lochblende 23a und eine Kollimationslinse 23b ein, die
dem Abdecken von divergenten Strahlen, die von der
Lichtquelle 21 emittiert werden, und dem konvergent
Machen der divergenten Strahlen bzw. dem Kollimieren der
konvergent gemachten Strahlen dienen.
Die Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung 30 dient dem
Umsetzen des Strahlenverlaufs durch Übertragen und
Reflektieren des einfallenden Strahls. D. h., ein Teil des
vom Kollimator 23 kommenden Strahls verläuft zu einem
Lichtempfangselement 35 und der restliche Strahl bewegt
sich zu einer Objektivlinse 10 fort.
Ferner kann entsprechend der optischen Anordnung der
Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads der
Objektivlinse zwischen dem Kollimator 23 und der
Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung 30 ein Umlenkspiegel 25
vorgesehen werden.
Die für den optischen Aufnehmer vorgesehene Objektivlinse
10 weist ein konvexes Teil 11 zum Ausführen ihrer
ursprünglichen Funktion und ein planares Teil 12 auf, das
das konvexe Teil 11 umgibt. Die Objektivlinse 10 wird von
einem Stellglied 13 abgestützt.
Die Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung 30 schließt einen
Strahlenteiler 27, der durch Verbinden von zwei
Rechtwinkelprismen ausgebildete ist, und einen
Umlenkspiegel 28 ein, der in der Nähe einer Seite des
Strahlenteilers 27 vorgesehen ist. Der Strahlenteiler 27
überträgt und reflektiert den einfallenden Strahl an der
Grenzfläche 27a der beiden Rechtwinkelprismen. Der von
der Grenzfläche 27a reflektierte Strahl bewegt sich zur
Kondensorlinse 33 und der durch die Grenzfläche 27a
hindurch übertragene Strahl bewegt sich zum Umlenkspiegel
28, um dort vollständig zum Strahlenteiler 27
zurückreflektiert zu werden. Der vom Umlenkspiegel 28
zurückreflektierte Strahl wird dann von der Grenzfläche
27a reflektiert und bewegt sich zum Lichtempfangselement
35.
Die Kondensorlinse 33 konvergiert den kollimierten und
reflektierten Strahl auf das planare Teil 12 der für den
optischen Aufnehmer vorgesehenen Objektivlinse 10. Ebenso
kollimiert die Kondensorlinse 33 den vom planaren Teil 12
der Objektivlinse 10 reflektierten Strahl zu einem
parallelen Strahl.
Um die Auswirkungen von unterschiedlichen
Reflektionsindizes, die durch verschiedenen Wellenlängen
des auf die Objektivlinse 10 auftreffenden Strahls
hervorgerufen werden, auf ein Signal zu beseitigen, das
vom Lichtempfangselement 35 erfaßt wird, kann längs des
Strahlengangs zwischen der Kondensorlinse 33 und dem
Strahlenteiler 27 ein Filter 31 vorgesehen werden, das
nur eine vorbestimmte Wellenlänge des Strahles überträgt.
Ebenso kann das Filter 31 integral mit der Kondensorlinse
33 ausgebildet werden, indem dieses auf wenigstens einer
Seite der Kondensorlinse 33 als Beschichtung aufgebracht
wird.
Bei dem Lichtempfangselement 35 wird eine Stelle des
Lichts, das direkt auf das Lichtempfangselement 35
einfällt, und nicht über die Objektivlinse 10, als eine
Bezugsstelle bezüglich der Stelle des Lichts, das über
die Objektivlinse 10 auf das Lichtempfangselement 35
fällt, festgelegt. Ebenso vergleicht das
Lichtempfangselement 35 die Stelle des Lichts, das vom
Lichtempfangselement 35 über den Strahlenteiler 27
empfangen wird, nachdem es über die Kondensorlinse 33 auf
das planare Teil 12 der Objektivlinse 10 auftraf und vom
planaren Teil 12 reflektiert wurde, mit der Bezugsstelle.
Vorzugsweise stellt das Lichtempfangselement 35 eine
ladungsgekoppelte Einrichtung (CCD) dar.
Falls der Unterschied zwischen der Stelle des vom
Lichtempfangselement 35 über die Objektivlinse 10
empfangenen Lichts und der Bezugsstelle innerhalb eines
zulässigen Fehlerbereichs liegt, wird der Neigungsgrad
der Objektivlinse 10 als hervorragend eingestuft.
Anderenfalls wird der Neigungsgrad der Objektivlinse 10
als mangelhaft eingestuft. Vorzugsweise stellt das von
der Lichtquelle 21 ausgesandte Licht einen sichtbaren
Strahl dar, damit die Stelle des vom Lichtempfangselement
35 empfangenen Lichts visuell bestimmt werden kann.
Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung, die die
optische Anordnung einer Vorrichtung zum Messen des
Neigungsgrads einer Objektivlinse gemäß einem anderen
bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung
verdeutlicht. Wie aus Fig. 2 ersichtlich, weist die
Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads der
Objektivlinse eine Lichtquelle 21, einen Kollimator 23,
eine Kondensorlinse 33, ein Lichtempfangselement 35 und
eine Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung 30 auf. Hierbei
weisen Bezugszeichen, die denen der Fig. 1 entsprechen,
auf die gleichen Elemente wie in Fig. 1 hin, sodaß eine
detaillierte Beschreibung der gleichen Elemente
entbehrlich ist.
Bei diesem zweiten Ausführungsbeispiel ist der Aufbau der
Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung 30 vereinfacht. D. h.,
die Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung 30 weist einen
Strahlenteiler 27 sowie einen Umlenkspiegel 29 auf, wobei
der Umlenkspiegel 29 an einer Seite des Strahlenteilers
27 integral ausgebildet ist, um einen Teil des über den
Kollimator 23 eingetretenen Strahls zu reflektieren. Wie
oben beschrieben, kann der Aufbau der Vorrichtung zum
Messen des Neigungsgrads der Objektivlinse vereinfacht
werden, indem Strahlenteiler 27 und Umlenkspiegel 29
einstückig ausgebildet werden. Somit kann der
Strahlengang zwischen Strahlenteiler 27 und Umlenkspiegel
29 verkürzt werden, was zu einer Verringerung von
Lichtverlusten führt.
Ein Teil des parallelen Strahls, der den Kollimator 23
nach dem Aussenden von der Lichtquelle 21 durchläuft,
wird mit Hilfe der Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung 30
zum Lichtempfangselement 35 geführt, während der
restliche Teil des Strahles zur Objektivlinse 10 geführt
wird. Die Stelle des Lichts, das in das
Lichtempfangselement 35 eintritt, nachdem es vom planaren
Teil 12 der Objektivlinse 10 reflektiert wurde, wird mit
einer Bezugsstelle verglichen, wobei die Stelle des
Lichts, das direkt nach Aussenden von der Lichtquelle 21
in das Lichtempfangselement 35 eintritt, als Bezugsstelle
festgelegt wird. Der Neigungsgrad der Objektivlinse 10
bezüglich des Stellglieds 13 kann auf der Basis eines
Vergleichs der Lichtstellen gemessen werden.
Ebenso kann das in Verbindung mit dem ersten
Ausführungsbeispiel erörterte und in Fig. 1 gezeigte
Filter 31 längs des Strahlengangs zwischen dem
Strahlenteiler 27 und der Kondensorlinse 33 angeordnet
werden oder das Filter 31 kann als Beschichtung auf
wenigstens einer Seite der Kondensorlinse 33 aufgebracht
werden.
Somit kann der Neigungsgrad der für einen optischen
Aufnehmer vorgesehenen Objektivlinse rasch und genau
gemessen werden, wodurch die Position von Objektivlinsen,
die beim Herstellungsprozess des optischen Aufnehmers
fehlerhaft auf dem Stellglied befestigt wurden, justiert
werden kann.
Claims (9)
1. Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads einer Linse
mit einem besonderen, planaren Bereich, wobei die
Vorrichtung aufweist:
eine Lichtquelle (21);
eine Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung (30), die längs des Strahlengangs zwischen der Lichtquelle (21) und der Linse (10) angeordnet ist; und
ein Lichtempfangselement (35) zum Empfangen von Licht
wobei in der Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung (30) ein Teil des von der Lichtquelle (21) in die Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung eintretenden Lichts zum Lichtempfangselement (35) und der andere Teil des Lichts zur Linse (10) auf den besonderen, planaren Bereich (12) geführt wird,
wobei das Licht nach der Reflexion an dem besonderen, planaren Bereich durch die Strahlverlauf- Umsetzeinrichtung hindurch in das Lichtempfangselement (35) eintritt und
wobei der Unterschied zwischen der Stelle des Lichts, das nach Aussenden von der Lichtquelle (21) direkt in das Lichtempfangselement (35) eintritt, und der Stelle des Lichts, das nach Reflexion an der Linse (10) in das Lichtempfangselement (35) eintritt, zum Messen des Neigungsgrads der Linse (10) erfaßt wird.
eine Lichtquelle (21);
eine Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung (30), die längs des Strahlengangs zwischen der Lichtquelle (21) und der Linse (10) angeordnet ist; und
ein Lichtempfangselement (35) zum Empfangen von Licht
wobei in der Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung (30) ein Teil des von der Lichtquelle (21) in die Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung eintretenden Lichts zum Lichtempfangselement (35) und der andere Teil des Lichts zur Linse (10) auf den besonderen, planaren Bereich (12) geführt wird,
wobei das Licht nach der Reflexion an dem besonderen, planaren Bereich durch die Strahlverlauf- Umsetzeinrichtung hindurch in das Lichtempfangselement (35) eintritt und
wobei der Unterschied zwischen der Stelle des Lichts, das nach Aussenden von der Lichtquelle (21) direkt in das Lichtempfangselement (35) eintritt, und der Stelle des Lichts, das nach Reflexion an der Linse (10) in das Lichtempfangselement (35) eintritt, zum Messen des Neigungsgrads der Linse (10) erfaßt wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Unterschied
zwischen der Stelle des Lichts, das nach Aussenden von
der Lichtquelle (21) direkt in das Lichtempfangselement
(35) eintritt, und der Stelle des Lichts, das nach
Reflexion an der Linse (10) in das Lichtempfangselement
(35) eintritt, als Maß des Neigungsgrads der Linse (10)
bezüglich eines optischen Aufnehmers (13) für die Linse
erfaßt wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, die zwischen der
Lichtquelle (21) und der Linse (10) einen Kollimator (23)
zum Kollimieren des von der Lichtquelle (21) emittierten
Lichts aufweist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, die eine Kondensorlinse
(33) zum Konvergieren des durch den Kollimator (23)
gelaufenen Lichts auf die Linse (10) aufweist, wobei das
Licht nach der Reflexion von der Linse (10) wieder durch
die Kondensorlinse (33) zurückläuft.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei der die Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung (30) einen
Strahlenteiler (27) zum Übertragen eines Teils des in die
Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung eintretenden Lichts und
zum Reflektieren des übrigen Lichts sowie einen in der
Nähe des Strahlenteilers (27) angeordneten Umlenkspiegel
(28) aufweist, der das durch den Strahlenteiler (27)
hindurchgehende Licht reflektiert.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei
der die Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung (30) einen
Strahlenteiler (27) aufweist, dessen eine Seite mit einem
reflektierenden Material beschichtet ist und der einen
Teil des in die Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung (30)
eintretenden Lichts überträgt und den restlichen Teil des
Lichts reflektiert, wobei das reflektierende Material das
übertragene Licht reflektiert.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei der ein Filter (31) längs des Strahlengangs zwischen
der Strahlenverlauf-Umsetzeinrichtung (30) und der Linse
(10) angeordnet ist, das einen sichtbaren Bereich des
Lichts überträgt und die übrigen Bereiche des Lichts
sperrt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der das Filter (31)
als Beschichtung auf wenigstens einer Seite der
Kondensorlinse (33) vorgesehen ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei der sich das von der Lichtquelle (21) ausgesandte
Licht im sichtbaren Spektrum befindet.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/756,642 US5742383A (en) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | Apparatus for measuring degree of inclination of objective lens for optical pickup |
DE19651737A DE19651737C2 (de) | 1996-11-26 | 1996-12-12 | Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads einer Linse |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/756,642 US5742383A (en) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | Apparatus for measuring degree of inclination of objective lens for optical pickup |
DE19651737A DE19651737C2 (de) | 1996-11-26 | 1996-12-12 | Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads einer Linse |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19651737A1 DE19651737A1 (de) | 1998-07-02 |
DE19651737C2 true DE19651737C2 (de) | 1999-02-18 |
Family
ID=26032148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19651737A Expired - Fee Related DE19651737C2 (de) | 1996-11-26 | 1996-12-12 | Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads einer Linse |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5742383A (de) |
DE (1) | DE19651737C2 (de) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5894370A (en) * | 1996-07-26 | 1999-04-13 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Inclination monitoring system |
US5883709A (en) * | 1996-08-22 | 1999-03-16 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Inclination monitoring system including reflection of collimated light |
DE19852101C2 (de) | 1998-11-12 | 2001-05-23 | Mannesmann Vdo Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Justierung eines Strahlenganges eines strahlaussendenden Sensors |
JP3462126B2 (ja) * | 1999-07-19 | 2003-11-05 | シャープ株式会社 | 光ピックアップ装置およびレンズの傾き検出方法 |
CA2429363C (en) * | 2000-11-28 | 2007-08-14 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of and apparatus for adjusting optical component, and optical unit |
US6587204B2 (en) * | 2000-12-27 | 2003-07-01 | Optoplex Corporation | Application of a step-phase interferometer in optical communication |
TWI255447B (en) * | 2002-03-12 | 2006-05-21 | Benq Corp | Method for adjusting a tilt angle for an optical disc player |
CA2771670C (en) * | 2003-03-13 | 2013-04-02 | Synodon Inc. | Remote sensing of gas leaks |
US7133225B1 (en) | 2004-10-18 | 2006-11-07 | Carl Zeiss Smt Ag | Method of manufacturing an optical system |
US7733506B2 (en) * | 2007-03-29 | 2010-06-08 | Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co., Ltd. | Optical tilt monitoring apparatus |
TWI452262B (zh) * | 2011-05-17 | 2014-09-11 | Univ Nat Yunlin Sci & Tech | 同時量測位移及傾角之干涉儀系統 |
CN102819080A (zh) * | 2011-06-09 | 2012-12-12 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镜头模组 |
EP3446066A4 (de) * | 2016-04-19 | 2019-12-18 | ABB Schweiz AG | Neigungsdetektionsvorrichtung und verfahren dafür |
CN106524951A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-03-22 | 福建福晶科技股份有限公司 | 一种测量锗窗片平行度的方法及其装置 |
CN113733160B (zh) * | 2021-09-26 | 2024-01-09 | 关有光 | 工业机器人旋转关节垂直轴轴差的光学测量与调试方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2810025C2 (de) * | 1977-03-08 | 1989-02-09 | Sony Corp., Tokio/Tokyo, Jp | |
DE4135959C2 (de) * | 1991-10-31 | 1994-01-20 | Leica Ag Heerbrugg | Verfahren zur Messung der Neigungen von Grenzflächen in einem optischen System |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1911956A1 (de) * | 1969-03-10 | 1970-09-24 | Leitz Ernst Gmbh | Fotoelektrische Einrichtung zum beruehrungslosen Bestimmen kleiner Lage- oder Winkelaenderungen von Objekten |
US4502783A (en) * | 1981-12-03 | 1985-03-05 | Hughes Aircraft Company | Alignment stabilization prism |
JPS60220807A (ja) * | 1984-04-17 | 1985-11-05 | Agency Of Ind Science & Technol | ロ−リングも測定できるオ−トコリメ−タ用反射鏡 |
US5157459A (en) * | 1989-08-29 | 1992-10-20 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Wave front aberration measuring apparatus |
US5559639A (en) * | 1992-04-20 | 1996-09-24 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Beam receiving position adjusting device |
-
1996
- 1996-11-26 US US08/756,642 patent/US5742383A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-12 DE DE19651737A patent/DE19651737C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2810025C2 (de) * | 1977-03-08 | 1989-02-09 | Sony Corp., Tokio/Tokyo, Jp | |
DE4135959C2 (de) * | 1991-10-31 | 1994-01-20 | Leica Ag Heerbrugg | Verfahren zur Messung der Neigungen von Grenzflächen in einem optischen System |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19651737A1 (de) | 1998-07-02 |
US5742383A (en) | 1998-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102005043627B4 (de) | Optischer Sensor und Verfahren zur optischen Abstands- und/oder Farbmessung | |
DE19651737C2 (de) | Vorrichtung zum Messen des Neigungsgrads einer Linse | |
DE3428593C2 (de) | ||
DE60030631T2 (de) | Vermessungssystem | |
DE102011004477A1 (de) | Scanspiegelvorrichtung | |
DE3245075C2 (de) | ||
EP3781899B1 (de) | Optische messeinrichtung sowie verfahren zum vermessen eines optischen elements | |
DE2323593C3 (de) | Laser-Doppler-Anemometer | |
DE3129503A1 (de) | Laserstrahl-ablenkvorrichtung | |
DE10232160A1 (de) | Optischer Abstandssensor | |
DE3536700A1 (de) | Geraet zum ermitteln des lokalen abstandes einer pruefflaeche von einer referenzflaeche | |
DE3534018C2 (de) | ||
DE2418195A1 (de) | Verfahren zur fuehrung eines lichtstrahls auf einer signalspur | |
DE1950568C3 (de) | Vorrichtung zur Feststellung von Fehlern an transparenten Gegenständen | |
EP0893685A2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Erfassen der Verformung einer Fläche | |
DE2739676C3 (de) | Laser-Anemometer | |
DE102014010667B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Form einer Wellenfront eines optischen Strahlungsfeldes | |
DE19510034B4 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung von Partikelgrößen und/oder Partikelgrößenverteilungen mittels Lichtbeugung | |
DE2922163A1 (de) | Optische vorrichtung zur bestimmung der guete einer oberflaeche | |
DE3839963C2 (de) | Weg-Winkel-Sensor | |
EP0626564B1 (de) | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmesseinrichtung | |
EP0218613A1 (de) | Anordnung zur ausrichtung, prüfung und/oder vermessung zweidimensionaler objekte. | |
DD224401A1 (de) | Einrichtung zur bestimmung geometrischer abmessungen an messobjekten | |
DE10010619A1 (de) | Laser-Belichtungsvorrichtung für lichtempfindliche Medien, insbesondere für Druckplatten | |
AT396527B (de) | Verfahren zur messung von winkeln zwischen elektromagnetischen wellen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |