JPS60220807A - ロ−リングも測定できるオ−トコリメ−タ用反射鏡 - Google Patents

ロ−リングも測定できるオ−トコリメ−タ用反射鏡

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JPS60220807A
JPS60220807A JP59077321A JP7732184A JPS60220807A JP S60220807 A JPS60220807 A JP S60220807A JP 59077321 A JP59077321 A JP 59077321A JP 7732184 A JP7732184 A JP 7732184A JP S60220807 A JPS60220807 A JP S60220807A
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JP
Japan
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reflection mirror
autocollimator
base
luminous flux
rolling
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JP59077321A
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JPH0263164B2 (ja
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Takashi Kato
敬 加藤
Yoshihisa Tanimura
吉久 谷村
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
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Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30—Collimators
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 整が可能な基台と、入射光束の光量のそれぞれほぼ半分
を反射及び透過できる部分反射鏡、透過した光束の方向
を９０°変える反射鏡、基台の傾斜にかかわらず常に鉛
直面を保つ懸垂反射鏡を備えた誰−トコリメータ用反射
鏡を用いて、ローリングも同−視野内で、同時に測定で
きることを特徴とプる・ 以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する
。第１図及び第２図において、部分反射等３は、つまみ
２により微小角調整が可能かつ機り３−夕からの光束の
うち反射面４で反射した光束１２は、測定対象面上を基
台１が前後方向に移動することにより生ずるピッチング
１０及びヨーイング１１を測定する役目をする。反射鏡
６は、入射光束を９０°曲げるため部分反射鏡３に対し
て横方向へ４５°の角度で基台１に取り付けられている
。懸垂反射鏡７は上板８の側面に、挫屈がなく、柔軟で
、曲げ特性の良い懸−型材９により、基台１が水平のと
き反射鏡６からの光束が垂直に入射し、揺れが少なく、
そして多少子荒く取り扱っても狂いや支障がないように
懸垂される。このような構成があって基台１が水平のと
き、オートコリメータからの光束のうち、部分反射鏡３
の透過部５を透過して懸垂反射鏡７で反射した光束１３
は、入射光束と同じ光路を通り、オートコリメータのス
クリーンナでは光束１２と同じ位置に結像する。
第３図において、ローリングにより基盤１が軸１５を中
心にθだけ傾いたとき、反射鏡６も下向き成分としてθ
／２だけ傾くので、懸垂反射面７への入射角はθとなり
、再び反射鏡６で反射した光束１４は、入射光束１３と
２θの傾き角を生ずる。す４＋ち、ローリングが生じた
ときには、スラリー１６匡のピッチング及びヨーイング
の像の上下方向で２、かつローリングの量に比例した位
置にもうひとつの像が現われ、尺度も等しい。
第４図は、つまみ２及びオートコリメータの姿勢の調整
により像の位置を原点１６に合わせて基台１を移動した
測定対象のある地点でのオートコリメータの視野の一例
であり、ピッチング、ヨーイ（ング、ローリングのすべ
てが存在する状態を示す。
ＶＡ１７のＹ座標１９がピッチング、像１７のＸ座標２
０カメヨーイング、像１７と像１８のＹ座標の差２１が
ローリングを表す。
以上に詳細したところから明らかなように、本発明によ
る反射鏡は、同じオートコリメータ視野内でピッチング
及びヨーイングだけでなく、ローリングも同時に、同一
尺度で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本発明の実施例の表側及び裏側を示
す外観図、第３図は実施例の光路を示す外観図、第４図
は実施例の視野を示す説明図である。 １・・・・・・・・・基台。　３・・・・・・・・・部
分反射鏡。 ６・・・・・・・・・反射鏡。　７・・・・・・・・・
懸垂反射鏡。 １１ｆｆｌ　第２ｍ１３ 手続補正書（自発） 昭和５９年１２月１２日 １、事件の表示 昭和５９年特許願第７７３２１号 ２、発明の名称 ローリングも測定できるオートコリメータ用反射鏡３、
補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　東京都千代田区霞が関１丁目３番１号（１１４
）氏　名　工業技術院長　等々力　達４、指定代理人 ６、補正の対象 明細書の特許請求の範囲及び発明の詳細な説』の１７、
補正の内容 ｌ）特許請求の範囲を下記のとおり補正する。 記 特許請求の範囲 ［微小角度調整が可能な基台上に、オートコリメータか
らの入射光束を反射及び透過できる部分反射鏡、透過し
た光束の方向を９０＠変える反射鏡、基台の傾斜にかか
わらず常に鉛直面を保つ懸垂反射鏡を備えたことを特徴
とするローリングも測定できるオートコリメータ用反射
鏡、」２）明細書第１頁１６〜１７行記載の「の光量の
それぞれほぼ半分」を削除する。 ３）明細書第４頁６行記載の「ングを表す、」の次に「
像１７及び像１８が同−Ｙ座標のため、両者の識別が困
難な場合には、上板８に対する懸垂反射鏡７の取付角度
を微調整して、あらかじめ像１７及び像１８に適当な一
定の間隔をＸ座標方向に与えておくことにより解決でき
る。」を挿入する。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 微小角度調整が可能な基台上に、オートコリメータから
    の入射光束のそれぞれほぼ半分を反射及び透過できる部
    分反射鏡、透過した光束の方向を９０°変える反射鏡、
    基台の傾斜にかかわらず常に鉛直面を保つ懸垂反射鏡を
    備えたことを特徴とするローリングも測定できるオート
    コリメータ相反射鏡。
JP59077321A 1984-04-17 1984-04-17 ロ−リングも測定できるオ−トコリメ−タ用反射鏡 Granted JPS60220807A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59077321A JPS60220807A (ja) 1984-04-17 1984-04-17 ロ−リングも測定できるオ−トコリメ−タ用反射鏡
US06/721,778 US4650298A (en) 1984-04-17 1985-04-10 Reflecting mirror assembly for autocollimator

Applications Claiming Priority (1)

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JP59077321A JPS60220807A (ja) 1984-04-17 1984-04-17 ロ−リングも測定できるオ−トコリメ−タ用反射鏡

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60220807A true JPS60220807A (ja) 1985-11-05
JPH0263164B2 JPH0263164B2 (ja) 1990-12-27

Family

ID=13630667

Family Applications (1)

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JP59077321A Granted JPS60220807A (ja) 1984-04-17 1984-04-17 ロ−リングも測定できるオ−トコリメ−タ用反射鏡

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US (1) US4650298A (ja)
JP (1) JPS60220807A (ja)

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Publication number Publication date
US4650298A (en) 1987-03-17
JPH0263164B2 (ja) 1990-12-27

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