DE4337749A1 - Verfahren zur Herstellung von Keramik-Multilayern - Google Patents
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Description
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Herstellung von
Keramik-Multilayern nach der Gattung des unabhängigen Anspruchs 1.
Aus der deutschen Patentanmeldung 42 33 403 ist bereits ein
Verfahren zur Herstellung von Keramik-Multilayern bekannt, bei dem
mehrere grüne Keramikfolien in einem Stapel angeordnet und durch
Brennen miteinander verbunden werden. Dabei wird eine bereits
gebrannte Keramikfolie aus einem Material hoher
Dielektrizitätskonstante im Stapel angeordnet.
Das erfindungsgemäße Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des
unabhängigen Anspruchs 1 hat demgegenüber den Vorteil, daß es für
die Ausbildung von porösen Platten im Keramik-Multilayer geeignet
ist. Die Dichtbereiche können dazu benutzt werden, Teile der porösen
Platte zu schützen, in denen die Porosität die Funktion des
Keramik-Multilayers beeinträchtigten würde. Das Verfahren bedient
sich der üblichen Methoden, die für die Herstellung von
Keramik-Multilayern gebräuchlich sind, so daß es ohne großen
zusätzlichen Aufwand realisierbar ist.
Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind
vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im unabhängigen
Anspruch angegebenen Verfahrens möglich. Da keramische Platten mit
einer hohen Dielektrizitätskonstante in der Regel porös sind,
erlaubt das erfindungsgemäße Verfahren die Verwendung von porösen
Platten mit großen Dielektrizitätskonstanten. Besonders einfach
können solche Platten aus grünen Keramikfolien mit Partikeln eines
Materials mit hoher Dielektrizitätskonstante herstellt werden.
Derartige Platten erlauben die Ausbildung von Kondensatoren mit
besonders großen Kapazitäten. Besonders einfach erfolgt die
Ausbildung der Dichtbereiche durch Aufbringen einer Dichtmasse von
Glas. Durch Anordnung der Sonderfolie zwischen zwei grünen
Keramikfolien und Ausbildung der Dichtbereiche im Randbereich des
Keramik-Multilayers kann so der poröse Bereich vollständig gegen die
Außenwelt abgekapselt werden, so daß keine Flüssigkeiten, Gase oder
Dämpfe in den Keramik-Multilayer eindringen können. Weiterhin ist
das Verfahren zur Ausbildung einer Mehrzahl von Keramik-Multilayern
im Nutzen aus einer Keramik-Multilayerplatte geeignet.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen
dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
Es zeigen die Fig. 1 einen Stapel von Keramikfolien und die Fig. 2
eine daraus durch Brennen hervorgegangene Keramikmultilayerplatte.
In der Fig. 1 ist ein Stapel 11 mit zwei grünen Keramikfolien 1 und
einer Sonderfolie 2 in auseinandergezogener Darstellung gezeigt. Die
Abmessungen in x-Richtung sind dabei stark übertrieben. Die grünen
Keramikfolien 1 weisen mit Metall gefüllte Vias 3 auf, durch die
eine Kontaktierung von der Oberseite zur Unterseite der
Keramikfolien 1 möglich ist. Weiterhin sind auf den Keramikfolien 1
Leiterbahnen 4 vorgesehen. Auf der Sonderfolie 2 bzw. auf den grünen
Keramikfolien 1 sind Strukturen für Elektroden 5 angeordnet, die
jeweils durch Vias 3 kontaktiert werden können. Die Dichtmasse 6 ist
derart angeordnet, daß sie im Stapel unmittelbar an die Sonderfolie
2 grenzt. Durch Zusammenpressen der hier gezeigten Folien 1, 2 und
durch einen Brennvorgang, d. h. Erwärmen auf Temperaturen über 800°C,
wird die in der Fig. 2 gezeigte Keramik-Multilayerplatte 7
geschaffen. Durch Zerteilen der Keramik-Multilayerplatte entlang der
Zerteilungslinie 13 können so zwei Keramik-Multilayer 8 geschaffen
werden. Die Keramikmultilayer 8 weisen jeweils in ihrer Mitte eine
poröse Platte 9, die durch Brennen der Sonderfolie 2 entstanden ist,
auf. In den Randbereichen der Keramik-Multilayer 8 ist jeweils ein
Dichtbereich 10 gelegen, der durch ein Eindringen der Dichtmasse 6
in die Sonderfolie 2 während des Brennvorgangs entstanden ist. Im
Unterschied zur porösen Platte g sind diese Dichtbereiche 10
hermetisch dicht und erschweren oder verhindern ein Eindringen von
Gasen, Flüssigkeiten oder Dämpfen ins Innere der Keramikmultilayer
8. Durch die Elektroden 5, die dazwischen angeordnete poröse Platte
9, werden Kondensatoren 12 gebildet. Diese Kondensatoren 12 werden
durch die Vias 3 bzw. die Leiterbahnen 4 kontaktiert. Auch wenn der
Stapel 11 hier als vereinfachtes Beispiel nur mit zwei grünen
Keramikfolien 1 und einer Sonderfolie 2 gezeigt wird, sind beliebige
Mehrfachanordnungen von grünen Keramikfolien 1 bzw. Sonderfolien 2
denkbar. Die verschiedenen Schichten für Leiterbahnen 4, Vias 3,
Dichtmassen 6 können beispielsweise durch Siebdruck aufgebracht
werden. Ebensogut können einzelne Platten auch von beiden Seiten
oder überhaupt nicht mit derartigen Schichten versehen werden.
Die grünen Keramikfolien bestehen in der Regel aus einem organischen
Binder, einem anorganischen Binder und einem keramischen Füllstoff.
Beim Brennprozeß wird zunächst der der organische Binder in einen
gasförmigen Zustand übergeführt und so aus den Folien ausgetrieben.
In einer weiteren Brennphase wird dann der anorganische Binder, in
der Regel ein Glas, mit dem Füllstoff, in der Regel einem fein
zermahlenen Keramikpulver, versintert. Dabei erfolgt auch ein
Sinterprozeß zwischen den verschiedenen Folien, so daß sie
mechanisch fest miteinander verbunden werden. Normalerweise werden
für grüne Keramikfolien Füllstoffe verwendet, die eine geringe
Dielektrizitätskonstante aufweisen, so daß die Kapazitäten zwischen
den unterschiedlichen Leiterbahnen gering sind. Durch Verwendung der
Sonderfolie 2 können jedoch auch Füllstoffe mit anderen
Eigenschaften verwendet werden, insbesondere Füllstoffe mit einer
sehr hohen Dielektrizitätskonstante, die die Ausbildung von
Kondensatoren mit hohen Kapazitätswerten erlauben. Da die gängigen
Stoffe für anorganische Binder in der Regel eine geringe
Dielektrizitätskonstante aufweisen, wird bei Folien, die nach dem
Brennen eine hohe Dielektrizitätskonstante aufweisen, ein geringer
Anteil an anorganischem Binder zugesetzt. Derartige Folien weisen
daher nach dem Brennen meist eine große Porösität auf. Wenn
Schichten mit einer großen Porösität mit der das Keramik-Multilayer
umgebenden Umwelt in Kontakt stehen, können durch die feinen Poren
Gase, Flüssigkeiten oder Dämpfe in das Keramik-Multilayer eindringen.
Die Kapazität der gebildeten Kondensatoren würde somit von den
gerade herrschenden Umweltbedingungen abhängen. Weiterhin können so
Stoffe eindringen, die evtl. eine Zerstörung des Keramik-Multilayers
von außen bewirken (beispielsweise Wasser, welches im Innenraum des
Keramik-Multilayers gefriert und so zu einem mechanischen Bruch
führt). Die Verwendung von Materialien, die eine große Porösität
aufweisen, ist daher für Keramik-Multilayer problematisch. Dieses
Problem wird hier dadurch gelöst, daß auf die Sonderfolie 2 eine
Dichtmasse 6 aufgebracht wird, die beim Brennprozeß in die
Sonderfolie eindringt und die Poren schließt. Besonders geeignet ist
hierzu beispielsweise eine Glaspaste, die von ihrem Schmelzpunkt und
der Viskosität derart ausgestaltet wird, daß ein zuverlässiges
Eindringen in die poröse Schicht gewährleistet ist. Durch
entsprechende Anordnung der sich so bildenden Dichtbereiche 10 kann
ein hermetisch dichter Verschluß der porösen Platte 9 im Inneren der
Keramik-Multilayers 8 erfolgen. Auch wenn dabei bevorzugt an Platten
mit einer großen Dielektrizitätskonstanten gedacht wird, läßt sich
dieses Verfahren natürlich für alle Arten von porösen Platten
verwenden. Durch Anordnung von Dichtbereichen 10 entlang der
Zerteilungslinien 13 läßt sich das Verfahren auch bei der
Vielfachfertigung von Keramik-Multilayern 8 im Nutzen aus einer
Keramik-Multilayerplatte 7 verwenden.
Weiterhin ist die poröse Platte 9 nach oben und nach unten durch die
dichte Schicht, die durch Brennen der grünen Keramikfolien 1
entsteht, abgedichtet.
Claims (7)
1. Verfahren zur Herstellung von Keramik-Multilayern (8), bei dem
mehrere grüne Keramikfolien (1) in einem Stapel (11) angeordnet und
durch Brennen miteinander verbunden werden, wobei im Stapel (11)
eine Sonderfolie (2) angeordnet wird, dadurch gekennzeichnet, daß
die Sonderfolie (2) nach dem Brennen eine poröse Platte (9) bildet,
die von ihrem Aufbau her ein Eindringen von Flüssigkeiten, Gasen
oder Dämpfen erlaubt, daß für Teile der Sonderfolie (2) eine
Dichtmasse (6) vorgesehen wird, die beim Brennen in diese Teile der
Sonderfolie (2) eindringt und nach dem Brennen Dichtbereiche (10)
der porösen Platte (9) bildet, die ein Eindringen von Flüssigkeiten,
Gasen oder Dämpfen erschweren oder verhindern.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die poröse
Platte (8) eine große Dielektrizitätskonstante aufweist.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß für die
Sonderfolie (2) eine grüne Keramikfolie vorgesehen wird, die als
Füllstoff Partikel eines Materials mit hoher
Dielektrizitätskonstante enthält.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß Elektroden (5) für einen Kondensator (12)
vorgesehen werden, die im Keramikmultilayer (8) auf der Oberseite
und Unterseite der porösen Platte (9) angeordnet werden.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß für die Dichtmasse (6) ein Glas vorgesehen wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Sonderfolie (2) zwischen zwei grünen
Keramikfolien (1) angeordnet wird, und daß die Dichtbereiche (10)
derart angeordnet werden, daß sie im Randbereich des
Keramikmultilayers 8 liegen.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine
Mehrzahl von Keramikmultilayern (8) durch Zerteilen einer
Keramikmultilayerplatte (7) gebildet werden, wobei die
Zerteilungslinien (13) in Dichtbereichen (10) angeordnet werden.
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