DE4300913A1 - Dächertrockner - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung von körnigem Schüttgut nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Derartige Vorrichtungen werden beispielsweise zur kontinuier­ lichen Behandlung, wie Erhitzen, Trocknen oder Kühlen, von rieselfähigen Stoffen eingesetzt. Sie haben sich insbesondere bei der Langzeittrocknung bei der Synthesefaser- und Fädenher­ stellung bewährt. Derartige Wärmetauscher bestehen aus einem schachtartigen Behälter, in den das zu behandelnde Gut so kontinuierlich eingebracht wird, daß es in dem Behälter bis zu einem im wesentlichen konstanten Niveau reicht. Es senkt sich unter dem Einfluß der Schwerkraft gleichmäßig ab und wird dabei von dem Prozeßgas durchströmt. Die aus dem Inneren von Kunst­ stoffgranulaten herausdiffundierte Kapillar- und Kernfeuchte wird von der Oberfläche der Granulate weg mittels des Prozeß­ gases abgeführt. Das Prozeßgas wird durch dachförmige, quer zur Bewegungsrichtung der Gutsäule angeordnete Einbauten einge­ bracht und abgezogen. Auf diese Weise wird das Gut gleichmäßig mit Prozeßgas beaufschlagt. Die Druckverluste sind vergleichs­ weise gering. Die dachförmigen Einbauten bewirken eine gewisse Auflockerung innerhalb der Schüttgutsäule, wodurch das insbe­ sondere bei der Behandlung von Kunststoffgranulaten auftretende Risiko der Bildung von Agglomeraten und Brücken herabgesetzt wird.

Das zwischen zwei übereinander angeordneten Dächern befindli­ che, in einer relativ dünnen Schicht vorliegende Gut wird von dem Prozeßgas durchströmt, wobei der Vorteil eines solchen Dächer-Wärmetauschers - beispielsweise im Vergleich mit einem Bandtrockner - darin liegt, daß durch Parallelschaltung mehre­ rer solcher Dächerpaar-Elemente eine große Behandlungsfläche bei relativ geringer baulicher Grundfläche möglich wird.

Der Wärmeumsatz für derartige, bekannte Dächer-Wärmetauscher ist im wesentlichen proportional der Anzahl der vorgesehenen Dächer, da die für den Wärmetausch zur Verfügung gestellte Gasmenge durch die maximal zulässige Gaseintrittsgeschwin­ digkeit in das jeweilige Dach begrenzt ist. Die Größe der maximalen Eintrittsgeschwindigkeit bestimmt sich insbesondere durch die Art des zu behandelnden Guts. Um eine gleichmäßige Behandlung des Gutes über den Querschnitt des Behälters zu er­ reichen, muß ein pneumatischer Transport des Gutes entlang der Dächer vermieden werden. Ein solcher Transport würde gegebe­ nenfalls zum Aufbau einer Produktsäule führen und der Massen­ fluß des Gutes würde weitgehend unterbunden werden. Damit wer­ den niedrige Eintrittsgeschwindigkeiten für das Prozeßgas in das Dach erforderlich, wenn Schüttgüter mit geringerer Dichte behandelt werden sollen. Daraus resultiert aber ein infolge der geringen, verfügbaren Gasmenge stark herabgesetzter Wärmeaus­ tausch.

Bei langen Dächern werden die über die Länge der Dächer zur Verfügung gestellten Gasmengen reduziert, so daß längere Dächer uneffektiver sind als kürzere. Der Einbau von kürzeren Dächern allerdings (womit diesem letzteren Nachteil zu begegnen wäre), ergibt relativ teure, weil hohe und schmale Bauformen, bei denen zusätzlich die Schüttgutverteilung aufwendig wird.

Bei den bekannten Dächer-Wärmetauschern ist die Verteilung des unter die Dächer in den Behandlungsraum einströmenden Prozeß­ gases auf alle Dacheintrittsquerschnitte ungleichmäßig, da das im allgemeinen aus einer Rohrleitung kommende Prozeßgas bevor­ zugt diejenigen Dächer beaufschlagen wird, die in der Nähe dieser Rohrleitung liegen. Das Vorschalten von Eintrittskammern verbessert diese Situation etwas, doch begünstigt der geringe Widerstand der zwischen den Dächern vorhandenen Schüttschicht eine Verungleichmäßigung. Damit kann es zu Transportvorgängen des Schüttgut-Materials einzelner Dächer kommen; unter Umstän­ den wird der gesamte Schüttgut-Massenfluß gestört.

Um das seitlich, horizontal und quer zur Schüttgutbewegung zugeführte Prozeßgas in die notwendige, vertikale Arbeits­ richtung, nämlich entgegen bzw. mit der Schüttgutbewegung zu zwingen, sind ohne weitere Maßnahmen relativ große Gasquer­ schnitte mit kleinen Gasgeschwindigkeiten erforderlich. Hier­ durch könnte der Einfluß der horizontalen Strömungsgeschwin­ digkeit auf das Schüttgut minimiert werden. Bei größeren Dächertrocknern mit entsprechend längeren Dächern ist dieser Zusammenhang besonders gravierend. Eine solche jeweils notwendige konstruktive Anpassung muß als ein erheblicher Nachteil angesehen werden.

Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung von körnigem Schüttgut be­ reitzustellen, bei der das Gut im gesamten Behandlungsraum und über die Länge der dachförmigen Einbauten hinweg einer gleich­ mäßigen Behandlung unterzogen wird und durch die die oben auf­ geführten Nachteile beseitigt werden.

Mögliche Ausbildungen der Erfindung werden durch die Merkmale der Ansprüche beschrieben.

Werden Mittel vorgesehen, die den Eintrittswiderstand für das Prozeßgas beim Einströmen in den Behandlungsraum unter die Dächer erhöhen, so wird ein Bereich höheren Drucks erzeugt, der das Prozeßgas gleichmäßig auf die Eintrittsquerschnitte ver­ teilt. Damit wird erreicht, daß alle für die Zuführung des Prozeßgases in den Behandlungsraum vorgesehenen ersten Einbau­ ten im wesentlichen gleiche Gaseintrittsmengen erhalten.

Solche Mittel sind beispielsweise dann gegeben, wenn die Ein­ laßöffnungen, durch die das Prozeßgas unter die ersten dach­ förmigen Einbauten in den Behandlungsraum einströmt, eine kleinere Querschnittsfläche haben als die der dachförmigen ersten Einbauten selbst.

Dadurch, daß unterhalb der dachförmigen Einbauten geschlossene Gasleiträume vorgesehen werden, die Austritts- bzw. Eintritts­ öffnungen für das Prozeßgas aufweisen, die keinen direkten Kontakt mit dem Schüttgut haben, wird es sowohl möglich, den Eintrittswiderstand für das Prozeßgas beim Einströmen in das Dach zu erhöhen und den pneumatischen Transport des Schüttguts entlang des Daches weitgehend zu unterbinden, als auch eine gleichmäßige Verteilung des Prozeßgases über die Länge der Dächer zu ermöglichen (für die ersten und die zweiten dach­ förmigen Einbauten), so daß der Wärmeumsatz proportional zur Anzahl der Dächer und deren Länge wird. Dies ist vorteilhaft im Hinblick auf die baulichen Maßnahmen - hohe, schmale Behand­ lungsschächte mit vielen Dachreihen sind nicht erforderlich - und vorteilhaft auch im Hinblick auf die Erzielbarkeit des gewünschten Massenflusses.

Um über die Länge der Dächer eine möglichst gleichmäßige Aus­ strömung des Prozeßgases zu erhalten, sollte der Querschnitt der Gasleiträume über deren Länge nicht konstant sein, sondern der Querschnitt der für das in den Behandlungsraum eintretende Prozeßgas vorgesehenen ersten Gasleiträume kontinuierlich ab­ nehmen, und der Querschnitt der für das aus dem Behandlungsraum austretende Prozeßgas vorgesehenen zweiten Gasleiträume konti­ nuierlich zunehmen. Damit wird über die Länge der dachförmigen Einbauten eine im wesentlichen gleiche Strömungsgeschwindigkeit des Prozeßgases erreicht.

Um eine gleichmäßige Behandlung des Schüttgutes zu erzielen, kann - zusätzlich oder auch alternativ zu den oben beschrie­ benen, die kontinuierliche Abnahme bzw. Zunahme der Quer­ schnittsfläche der ersten bzw. zweiten Gasleiträume betref­ fenden Maßnahmen - die Summe der Querschnittsflächen der Austritts- bzw. Eintrittsöffnungen, jeweils für aneinander anschließende Gasleitraum-Abschnitte gleicher axialer Er­ streckung, in Einström- bzw. Ausströmrichtung des Prozeßgases in den bzw. aus dem Behandlungsraum zunehmend ausgebildet sein. Damit wird auch bei an sich gleichbleibendem Querschnitt der Gasleiträume - ein über deren Länge weitestgehend gleicher Prozeßgas-Fluß zwischen Paaren dachförmiger Einbauten möglich.

Werden unterhalb der dachförmigen Einbauten Seitenwände vor­ gesehen, so werden damit Strömungskanäle für das Prozeßgas definiert, die das Prozeßgas von Schüttgut ungestört aus den Austrittsöffnungen der ersten Gasleiträume entweichen läßt und ebenso ungestört in die Eintrittsöffnungen der zweiten Gasleit­ räume eintreten lassen. Damit kann das Prozeßgas auch entlang längerer Dächer strömen, ohne daß die Gefahr besteht, Schüttgut infolge zu hoher Geschwindigkeit pneumatisch zu transportieren. Zusätzlich oder auch alternativ, können, um der Bildung von Schüttgut"hauben" entgegenzuwirken, in vorteilhafter Weise die unteren Ränder der dachförmigen Einbauten bzw. der Seitenwände nach innen gebogen ausgebildet sein.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Zeichnungen bei­ spielhaft beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 einen ersten Schnitt durch einen Dächer-Wärmetau­ scher;

Fig. 1a eine Detailansicht entsprechend der Fig. 1 in Blick­ richtung Zeichenebene;

Fig. 2 einen zu dem Schnitt der Fig. 1 senkrechten Schnitt durch einen Dächer-Wärmetauscher mit kanalförmigen Gasleiträumen;

Fig. 3 eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines dachför­ migen Einbaus mit einem darunter angeordneten kanal­ förmigen Gasleitraum;

Fig. 3a eine Darstellung der bevorzugten Anordnung zweier dachförmigen Einbauten entsprechend Fig. 3;

Fig. 3b eine Detailansicht entsprechend der Fig. 3a in Blick­ richtung Zeichenebene;

Fig. 4 eine Ausführungsvariante für einen dachförmigen Ein­ bau, der als Gasleitraum für das Prozeßgas ausgebil­ det ist und

Fig. 5 einen Querschnitt durch eine alternative Ausfüh­ rungsform für die dachförmige Einbauten.

In Fig. 1 ist ein Schnitt durch einen Dächer-Wärmetauscher ge­ zeigt. Aus einem Vorratsbehälter 13 wird körniges Schüttgut in einen schachtförmigen Behandlungsraum 1 bis zu einer zeitlich konstanten Niveau-Höhe eingebracht, was gegebenenfalls mittels eines Füllstandsmelders geregelt wird. Die Schüttgutbehandlung erfolgt kontinuierlich. Nach erfolgter Behandlung gelangt das Schüttgut in einen Auslaufteil 2. Die in dem Behandlungsraum 1 stattfindende Behandlung wird im folgenden anhand eines Trock­ nungsvorgangs, bei dem erhitztes Prozeßgas mit dem Schüttgut in Kontakt gebracht wird, dargestellt. Es versteht sich, daß in adäquater Weise andere Wärmetausch-Behandlungen durchgeführt werden können.

Ein Gebläse 3 bläst das Gas, beispielsweise Luft, in eine Heiz­ vorrichtung 4′ insbesondere in einen Gebläsebrenner, in der die Luft auf die zur Trocknung notwendige Temperatur gebracht wird. Aus einer Heißlufteinlaßkammer 5 wird die Heißluft durch Öff­ nungen 20a in einer zwischen der Heißlufteinlaßkammer 5 und dem Behandlungsraum 1 vorgesehenen Trennwand 14 unter erste dach­ förmige Einbauten 6a geblasen. Diese Dächer 6a sind im allge­ meinen nach unten offen ausgebildet und an der Trennwand 14 und einer gegenüberliegenden Trennwand 15, die zwischen dem Be­ handlungsraum 1 und einer Luftauslaßkammer 7 vorgesehen ist, befestigt. Die unter die Dächer 6a durch die Öffnungen in der Trennwand 14 eingeblasene Heißluft durchströmt die Dächer 6a und entweicht dabei unterhalb der beiden Dachkanten entlang der gesamten Länge der dachförmigen Einbauten 6a nach oben, wobei es das Schüttgut durchsetzt. Die Trennwand 15 schließt die Dächer 6a gegen die Luftauslaßkammer 7 ab. Über den Dächern 6a angeordnete, dachförmige Einbauten 6b nehmen dieses nach oben entweichende Prozeßgas auf und leiten es über Öffnungen 20b in der Trennwand 15 in die Luftauslaßkammer 7. Die dachförmigen Einbauten 6b sind durch die Trennwand 14 gegen die Einlaßkammer 5 abgeschlossen.

Das Detail I der Fig. 1a zeigt den Blick (Pfeil I in Fig. 1 gibt die Blickrichtung an) aus der Heißlufteinlaßkammer 5 auf die Trennwand 14 mit einer Einlaßöffnung 20a; das zugehörige, an der Rückseite der Trennwand 14 angeordnete Dach 6a ist strich­ punktiert angedeutet. Die Querschnittsfläche F₂₀ der Einlaß­ öffnung 20a ist kleiner als die Querschnittsfläche F_d des Daches 6a. Die Querschnittsfläche F₂₀ könnte auch einen anderen Querschnitt, beispielsweise einen runden, aufweisen. Damit wird der Eintrittswiderstand für das in den Behandlungsraum 1 ein­ strömende Prozeßgas erhöht. Die Trennwand 14 als ganze mit ihren in bezug auf die Dachquerschnitte F_d verkleinerten Ein­ trittsquerschnitten F₂₀ wirkt als Gasverteilplatte.

Aus Fig. 1 ist zu ersehen, welchen Weg das Prozeßgas durch das im wesentlichen als Festbett vorliegende Schüttgut nimmt. Die Pfeile 21 zeigen, daß das Festbett sowohl im Gegenstrom - d. h. das Prozeßgas entweicht von einem Dach 6a nach oben zu einem Dach 6b - als auch im Gleichstrom der Wärmebehandlung unter­ worfen wird, da immer ein bestimmter Anteil des Prozeßgases auch nach unten zu einem anderen Dach 6b gelangt.

Die etwas abgekühlte und mit Feuchtigkeit angereicherte Luft verläßt den Behandlungsraum 1 durch die Öffnungen 20b in der Trennwand 15 und entweicht aus der Luftaustrittskammer 7 durch ein Luftaustrittsrohr 8 ins Freie. Alternativ dazu kann der austretenden Luft, wenn sie wärmer ist als die Umgebungsluft, Wärme entzogen werden, die zum Vorheizen der dem Gebläse 3 zugeführten Luft dient. Mit einer Drosselklappe 9 wird bei­ spielsweise die Trocknungsluftmenge eingestellt.

Die Dächer 6 werden vorzugsweise, wie in dem in Fig. 2 darge­ stellten Schnitt zu ersehen ist, der zu dem Schnitt der Fig. 1 senkrecht steht, in der Vertikalen versetzt untereinander angeordnet sein, da damit eine vorteilhafte Situation für die Luftwege geschaffen ist. Aber auch eine vertikal ausgerichtete Anordnung wäre möglich. Fig. 2 zeigt unterhalb den dachförmigen Einbauten 6 angeordnete, rohrförmige Kanäle 11, die von dem Prozeßgas durchströmt werden. Dabei entweicht das Prozeßgas aus in den unterhalb der Dächer 6a angeordneten Kanälen 11a vorge­ sehenen Austrittsöffnungen 16a. Das Prozeßgas tritt in die Böschung des Schüttgutes ein, von wo es im Gleich- und/oder im Gegenstrom das Schüttgut durchströmt. Die Austrittsöffnungen 16a sind vorzugsweise an der Oberseite der Kanäle 11a vorge­ sehen. Schüttgut, das in dem Behandlungsraum 1 als kaum be­ wegtes Festbett vorliegt, kommt dabei mit diesen Öffnungen 16 nicht direkt in Kontakt, da es unterhalb der Dächer böschungs­ förmig vorliegt, wie in Fig. 2 strichliert angedeutet. Das Pro­ zeßgas entweicht, wie die Pfeile 21 zeigen, unterhalb der Dach­ kanten durch das dazwischenliegende Schüttgut nach oben, wo es in unter den Dächern 6b angeordnete Kanäle 6b über Eintritts­ öffnungen 16b eintritt und aus dem Behandlungsraum 1 ausge­ bracht wird. Auch diese unterhalb dem Dachfirst des Daches 6b liegenden Öffnungen 16b kommen nicht in direkten Kontakt mit dem Schüttgut.

In Fig. 3 ist ein dachförmiger Einbau 6′ dargestellt, bei dem unterhalb seines Firstes ein sich konisch verjüngender Kanal 11′ mit Austritts- bzw. Eintrittsöffnungen 16 angeordnet ist. Je nachdem, ob dieser Kanal 11′ einem ersten dachförmigen Einbau 6a′ zugeordnet ist, der der Zufuhr des Prozeßgases in den Behandlungsraum 1 dient, oder einem zweiten dachförmigen Einbau 6b′, der die Ableitung des Prozeßgases aus dem Behand­ lungsraum 1 bewirkt, wird der Kanal 11′ so in den Behandlungs­ raum 1 eingebaut, daß die Seite mit dem größeren Querschnitt der ersten Trennwand 14 oder der zweiten Trennwand 15 zu gerichtet ist. Dies ist aus Fig. 3a zu ersehen, in der zwei übereinander angeordnete, kanalförmige Gasleiträume 11a′ und 11b′ mit über die jeweilige Länge unterschiedlichem Querschnitt dargestellt sind (die darüber angeordneten Dächer 6a′ und 6b′ sind nur strichliert angedeutet). Die beiden Trennwände 14 und 15 sind - entsprechend Fig. 1 - mit Öffnungen 23a und 23b ver­ sehen, für den Einlaß des Prozeßgases in die kanalförmigen Gasleiträume 11a′ und damit in den Behandlungsraum 1 bzw. für den Auslaß des Gases aus diesem. Durch diese Ausführungs­ variante wird über die Länge der dachförmigen Einbauten eine gleichmäßige Behandlung des Schüttgutes erreicht, das sich zwischen den dachförmigen Einbauten befindet, da die Strö­ mungsgeschwindigkeit jeweils für das in den Behandlungsraum einströmende und aus ihm ausströmende Prozeßgas über die Länge der jeweiligen dachförmigen Einbauten 6a und 6b weitgehend gleich bleibt.

Detail II der Fig. 3b zeigt wieder - entsprechend dem Detail I der Fig. 1 - einen Blick (Pfeil II in Fig. 3a gibt die Blick­ richtung an) auf die Trennwand 14 mit den Öffnungen 23a und den dazugehörigen Dächern 6a′. Die Querschnittsfläche F₂₃ ist wiederum kleiner als die Querschnittsfläche F_d′ des zugehörigen Daches 6a′ und wird durch den Umfang des Gasleitraumes 11a′ an dessen Einmündung in die Trennwand 14 bestimmt.

Die Austrittsöffnungen 16 müssen nicht notwendigerweise alle denselben Durchmesser (bei Bohrungen) bzw. dieselbe Länge (bei Schlitzen) besitzen, sondern werden nach Maßgabe der Durchmess­ erverringerung pro Längeneinheit des Kanals 11 so ausgebildet bzw. angeordnet, daß sich über die ganze Länge des Kanals 11 eine gleichmäßige Ausströmung von Heißluft ergibt.

Gegebenenfalls kann aus Gründen der vereinfachten Herstellung das Dach 6′′ selbst als ein Hohlraum 12 mit Luftaustritts- bzw. Eintrittsöffnungen 16′′ gestaltet werden, wie dies beispielhaft in Fig. 4 dargestellt ist. Eine gegenüber der herkömmlichen Konstruktion zusätzliche Abschlußwand 18 schließt das Dach an der Unterseite ab. Die Austritts- bzw. Eintrittsöffnungen 16′′ sind dann an dieser Unterseite angeordnet. Das Prozeßgas kann entlang der ganzen Länge der unterhalb der Anschlußwand 18 liegenden, freien Unterkanten 24 der an die Dachkanten an­ schließenden Seitenwände 22 entweichen (Pfeile 21). Die Schüttgutböschung unterhalb des dachförmigen Einbaus 6′′ ist wiederum strichliert angedeutet, die Öffnungen 16′′ sind wie­ derum ohne direkten Kontakt mit dem Schüttgut. Die seitlichen Wände 22 definieren einen Strömungskanal für das Prozeßgas, die Schüttgutböschung liegt darunter. Wie oben anhand der Fig. 3 und 3a dargestellt, kann auch hier der Hohlraum 12 eine abnehmende bzw. zunehmende Querschnittsfläche haben, wobei gegebenenfalls aber die Dachfläche selbst nicht abnehmen sollte, aus Gründen der besseren Schüttgutverteilung. Auch für die Größe der Öffnungen 16′′ gelten die oben beschriebenen Überlegungen.

Fig. 5 zeigt eine besondere Ausbildung von traufenförmigen Fort­ sätzen 19 an der Unterseite eines als geschlossener Hohlraum 12 ausgebildeten dachförmigen Einbaus 6′′′. Diese Traufen 19 sind dabei nach innen gebogen, wodurch der Massenfluß des Schütt­ gutes begünstigt wird und Haufenbildung vermieden wird. Auch bei unten offenen, dachförmigen Einbauten entsprechend der Fig. 2 kann eine solche Ausbildung vorgesehen werden.

Claims (9)

1. Vorrichtung zur Wärmebehandlung von körnigem Schüttgut, mit einem vertikalen, schachtförmigen Behandlungsraum (1), in welchen das zu behandelnde Schüttgut von oben eingebracht wird und aus dem es nach Passieren desselben unter dem Einfluß der Schwerkraft im Bereich seiner Basis ausgebracht wird, mit quer zur Bewegungsrichtung des Schüttgutes angeordneten, dachför­ migen, von Prozeßgas durchströmten ersten Einbauten (6a), die der Zuführung des Prozeßgases in den Behandlungsraum (1) dienen und von denen das Prozeßgas seitlich und im wesentlichen ent­ gegen der Bewegungsrichtung des Schüttgutes nach oben entwei­ chen kann und mit quer zur Bewegungsrichtung des Schüttgutes angeordneten, dachförmigen zweiten Einbauten (6b), die das entweichende Prozeßgas aufnehmen und aus dem Behandlungsraum (1) abführen, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, die die Erhöhung des Eintrittswiderstandes in die Dachquerschnitte (F_d) der ersten Einbauten (6a) in Einström­ richtung für das Prozeßgas bewirken.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Einlaßöffnungen (20a; 23a) für das Einbringen des Prozeßgases unter die ersten dachförmigen Einbauten (6a; 6a′) in den Be­ handlungsraum (1) vorgesehen sind, deren Querschnittsfläche (F₂₀; F₂₃) kleiner ist als die Querschnittsfläche (F_d; F_d′) der dachförmigen Einbauten (6a; 6a′).

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß unterhalb der dachförmigen Einbauten (6a, 6b) - vor­ zugsweise jeweils über deren gesamte Länge - geschlossene, erste bzw. zweite Gasleiträume (11a, 11b; 12) vorgesehen sind, die Austrittsöffnungen (16a) bzw. Eintrittsöffnungen (16b) für das Prozeßgas aufweisen, wobei Austritts- (16a) bzw. Eintritts­ öffnungen (16b) keinen direkten Kontakt mit dem Schüttgut haben.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die dachförmigen Einbauten (6′′) selbst als Gasleiträume (12) ausgebildet sind, wobei insbesondere Seitenwände (22) unterhalb der Dachkanten vorgesehen sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasleiträume in Form von unterhalb der dachförmigen Ein­ bauten (6a, 6b) angeordneten, geschlossenen Kanälen (11a, 11b) ausgebildet sind, deren Querschnittsfläche jeweils kleiner ist als die Querschnittsfläche (F_d) der dachförmigen Einbauten (6a, 6b).

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Gasleiträume (11a) in Strö­ mungsrichtung des Prozeßgases sich kontinuierlich, insbesondere konisch, verengend ausgebildet sind.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Gasleiträume (11b) in Aus­ strömrichtung des Prozeßgases als sich kontinuierlich, insbe­ sondere konisch, erweiternd ausgebildet sind.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Summe der Größen der Querschnitts­ flächen der Austritts- bzw. Eintrittsöffnungen (16; 16a, 16b), jeweils für aneinander anschließende Gasleitraum-Abschnitte gleicher axialer Erstreckung, in Einström- bzw. Ausströmungs­ richtung des Prozeßgases zunimmt.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die dachförmigen Einbauten (6′′′) nach innen gebogene Traufen (19) aufweisen.