DE4221067C2

DE4221067C2 - Optisches Abtastsystem

Info

Publication number: DE4221067C2
Application number: DE4221067A
Authority: DE
Inventors: Iizuka Takashi
Original assignee: Pentax Corp
Current assignee: Pentax Corp
Priority date: 1991-06-26
Filing date: 1992-06-26
Publication date: 2003-07-10
Anticipated expiration: 2012-06-27
Also published as: DE4221067A1; US5587825A; GB2258116B; GB2258116A; GB9213669D0

Description

Die Erfindung betrifft ein optisches Abtastsystem, wie einen Laserdrucker oder einen Laserlichtplotter und insbesondere ein System mit einer Steuereinheit, die sich für eine indirekte Erfassung der Position eignet, in welcher ein Laserstrahl punkt die Bildebene abtastet.

Einige bekannte Bauarten eines optischen Abtastsystems, die eine hohe Zeichen- oder Abbildungsgenauigkeit erfordern, sind mit einer optischen Steuereinheit zur Erfassung der Position ausgestattet, in der ein Laserstrahlpunkt die Bildebene abtastet. Die bekannten optischen Steuereinheiten sind in verschiedenen Bauar ten verfügbar; bei einer Bauart wird ein Teil des Schreibstrahls durch einen halb durchlässigen Spiegel isoliert und für Steuerzwecke verwendet. Bei einer anderen Bauart wird das ausgegebene Licht mittels eines polarisierenden Strahlteilers in zwei Strahlen unterteilt; und bei einer weiteren Bauart können der Schreibstrahl und der Steuerstrahl unter verschiedenen Einfallswinkeln relativ zur Hilfsabtast richtung auf einen polygonalen Spiegel auffallen, so dass die beiden Lichtstrahlen räumlich getrennt werden.

Jedoch haben die jeweiligen Bauarten ihre eigenen Probleme. Die optische Einheit, die einen halbdurchlässigen Spiegel verwendet, ist nicht in der Lage, ein Steuersignal zu liefern, wenn die Musterbildung oder Abbildung nicht erfolgt. Bei der Einheit, die einen polarisierenden Strahlteiler verwendet, ist eine perfekte Isolierung der polarisierten Strahlen unmöglich. Da ferner sich der Polarisie rungsvorgang abhängig vom Einfallswinkel des Strahls gegenüber dem polarisie renden Strahlteiler verändert, würde die Qualität des geschriebenen Bilds nachteilig beeinflusst. Die Einheit zur Erzielung einer räumlichen Isolierung zwi schen dem Schreibstrahl und dem Steuerstrahl hat das Problem einer Krümmung in den Abtastzeilen des Steuerstrahls. Darüber hinaus ist eine effiziente Isolie rung schwierig, falls eine f-Theta-Linse mit kleiner Blendenzahl verwendet werden soll.

Aus der US 4,661,099 ist ein optisches Abtastsystem bekannt, das einen He-Ne- Laser zum Aussenden eines roten Laserstrahls und einen Ar-Laser zum Aussen den eines blaugrünen Laserstrahls enthält. Die beiden Laserstrahlen fallen auf einen Polygonspiegel, treten dann auf eine Bündelungsoptik und fallen schließlich auf einen dichroitischen Spiegel, der einen Teil des roten Laserstrahls reflektiert und das auf ihn fallende Licht im übrigen durchlässt. Der reflektierte Teil des roten Laserstrahls wird einem Linearcodierer zugeführt, der daraus ein Taktsignal zur Ansteuerung des Abtastsystems erzeugt. Ferner wird auf die DE 37 03 679 A1 verwiesen, die ein optisches Abtastsystem für einen Laserstrahldrucker offenbart. Dieses Abtastsystem enthält einen Halbleiterlaser zum Aussenden eines Laser strahls, eine Kollimatorlinse, die einen parallelen Strahl formt, eine Zylinderlinse, die in Neben-Abtastrichtung gekrümmt ist, eine Ablenkvorrichtung sowie ein anamorphisches Abtastlinsensystem, welches das Licht auf eine Abtastebene konzentriert.

Die Erfindung wurde unter diesen Umständen realisiert und es liegt ihr die Aufga be zugrunde, ein optisches Abtastsystem zu schaffen, das die Energie des Schreibstrahls nicht verändert, das in der Lage ist, ein Bild abzubilden, ohne nachteilig durch das Streuen des Steuerlichts beeinträchtigt zu werden, und das frei vom Problem einer Krümmung in den Abtastzeilen des Steuerstrahls ist. Streuen bedeutet, dass der Steuerstrahl, der die Bildebene nicht erreichen soll, nicht völlig vom Schreibstrahl isoliert ist und die Bildebene erreicht.

Diese der Erfindung zugrunde liegende Aufgabenstellung kann durch ein opti sches Abtastsystem gelöst werden, das gekennzeichnet ist durch eine Schreib strahlquelle zur Erzeugung eines Schreibstrahls; eine Steuerstrahlquelle zur Erzeugung eines Steuerstrahls mit einer gegenüber dem Schreibstrahl unter schiedlichen Wellenlänge; eine Ablenkvorrichtung zur Ablenkung und Abtastbe wegung der Lichtstrahlen aus jeder der Quellen; eine f-Theta-Linse, mit welcher der von der Ablenkvorrichtung abgelenkte Strahl auf einer Bildebene fokussiert wird; eine Trennvorrichtung, die zwischen der f-Theta-Linse und der Bildebene vorgesehen ist, um den Steuerstrahl vom optischen Strahlengang des Schreib strahls abzutrennen; und eine Signalerzeugungsvorrichtung, die den abgetrenn ten Steuerstrahl aufnimmt, um ein Steuersignal zu erzeugen.

In den anliegenden Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 einen Grundriss eines optischen Abtastsystems gemäß einer Aus führungsform der Erfindung,

Fig. 2 eine Seitenansicht, die den wesentlichen Teil des Systems nach Fig. 1 darstellt,

Fig. 3 eine Kurve, die die spektrale Empfindlichkeit (oder Belichtungsemp findlichkeit) des Photorezeptors und die spektrale Durchlässigkeit des dichroitischen Spiegels bezogen auf die Wellenlängenbereiche des Schreibstrahls und des Steuerstrahls angibt,

Fig. 4(a) einen Grundriss eines erfindungsgemäßen optischen Abtastsystems, das eine f-Theta-Linse mit einer kurzen Brennweite verwendet,

Fig. 4(b) eine Schnittdarstellung, die einen Schnitt in Hauptabtastrichtung einer zweiten Ausführungsform der Erfindung angibt,

Fig. 4(c) eine Schnittdarstellung, die einen Schnitt in Neben-Abtastrichtung der zweiten Ausführungsform der Erfindung angibt,

Fig. 4(d) eine Darstellung, die die Abtasteigenschaften des Steuer- und des Schreibstrahls angibt, und

Fig. 5 und 6 sind Darstellungen, die Modifizierungen der Erfindung zeigen.

Es wird auf die Beschreibung bevorzugter Ausführungen Bezug genommen. Das erfindungsgemäße optische Abtastsystem wird anschließend in Verbindung mit den Fig. 1 bis 4 beschrieben, die eine erste Ausführungsform der Erfindung angeben. Ein Gaslaser 10, der eine Schreibstrahlquelle darstellt, sendet Schreib strahlen aus, die durch eine Sammellinse 11 konvergent gemacht werden, die durch einen A/O Modulator 12 moduliert und durch eine Kollimatorlinse 13 paral lel gemacht werden. Der kollimierte Schreibstrahl wird durch einen Polygonspie gel 20 reflektiert und abgelenkt und fokussiert, um mittels einer f-Theta-Linse 30 ein Bild auf einer Bildebene 40 zu formen.

Ein Halbleiterlaser 50 sendet einen Steuerstrahl mit Licht einer Wellenlänge aus, die gegenüber jener des Schreibstrahls verschieden ist und dieser wird durch eine Kollimatorlinse 51 parallel gemacht, bevor er zu einem dichroitischen Prisma 52 gelangt. Das Prisma 52 hat die Eigenschaft, dass es die Wellenlänge des Schreibstrahls hindurchlässt, während es die Wellenlänge des Steuerstrahls reflektiert und die beiden Strahlen werden überlagert, bevor sie auf den Polygon spiegel 20 fallen.

Der Steuerstrahl, der durch den Polygonspiegel 20 zusammen mit dem Schreib strahl reflektiert und abgelenkt wurde, wird durch die f-Theta-Linse 30 fokussiert, bevor er einem dichroitischen Spiegel 60 zugeführt wird, der eine Trennvorrichtung zwischen der f-Theta-Linse 30 und der Bildebene 40 darstellt. Der dichroiti sche Spiegel 60 hat die gleichen Eigenschaften wie das dichroitische Prisma, lässt den Schreibstrahl hindurchtreten, während er den Steuerstrahl reflektiert.

Das System hat ferner eine Signalerzeugungsvorrichtung A, die den einfallenden Steuerstrahl erfasst und besteht gemäß Fig. 1 aus einem Glasmaßstab 61, der im gleichen Abstand voneinander liegende, kurze Schlitze an der Stirnseite aufweist, in die das eintreffende Licht eintritt, einem Faserbündel 62 mit einer Anzahl zusammengebündelter fluoreszierender Fasern, und einer PIN-Fotodiode 63, die am Ende des Faserbündels 62 vorgesehen ist.

Der Steuerstrahl wird gemäß Fig. 2 durch den dichroitischen Spiegel 60 reflek tiert, so dass er durch den Maßstab 61 hindurchtritt und seitlich in das fluoreszie rende Faserbündel 62 eingegeben wird. Bei Belichtung durch den Steuerstrahl wird innerhalb der Fasern eine Fluoreszenz erzeugt und breitet sich durch dieses aus, um die PIN-Fotodiode zu erreichen.

Überstreicht das Steuerlicht den Maßstab 61, so erzeugt die PIN-Fotodiode 63 ein sinusförmiges Ausgangssignal. Die Sinuswelle wird in eine Rechteckwelle geformt, die der Steuereinheit zugeführt wird und zur zeitlichen Steuerung des A/O Modulators 12 verwendet wird. Ist der Abstand der Schlitze viel größer als der Punktdurchmesser irgendeines Strahls, werden die Impulse für Steuerzwecke verwendet, wobei ein Impuls elektrisch in eine Anzahl Impulse unterteilt wird.

Fig. 3 zeigt die spektrale Empfindlichkeit (oder Belichtungsempfindlichkeit) des Fotorezeptors und die spektrale Durchlässigkeit des dichroitischen Spiegels bezüglich der Wellenlängenbereiche des Schreibstrahls und des Steuerstrahls. Wird die spektrale Empfindlichkeit des Fotorezeptors, der die Bildebene darstellt, durch die gestrichelt gezeichnete Kurve angegeben, so muss der Schreibstrahl derart eingestellt werden, dass er einen Wellenlängenbereich entsprechend dieser Kurve hat. Andererseits wird der Steuerstrahl erwünschterweise auf eine Wellenlänge außerhalb des Bereichs eingestellt, bei der er nicht durch den dichroitischen Spiegel 60 hindurchgelassen wird, bedingt durch dessen spektrale Durchlässigkeit, die durch die voll ausgezogene Linie angegeben wird. Ferner ist es erwünscht, die Wellenlänge des Steuerstrahls derart einzustellen, dass sie außerhalb des spektralen Empfindlichkeitsbereichs des Fotorezeptors liegt, so dass der Steuerstrahl nicht die Qualität des geformten Bilds beeinträchtigt, selbst wenn er durch den dichroitischen Spiegel 60 hindurchgelassen wird.

Die der Erfindung zugrunde liegenden Aufgabenstellungen werden gelöst, wenn die Wellenlänge des Steuerstrahls zumindest außerhalb des spektralen Empfind lichkeitsbereichs des Fotorezeptors liegt, und somit kann die Trennvorrichtung nicht nur durch einen dichroitischen Spiegel, sondern auch durch einen halb durchlässigen Spiegel geliefert werden. Wird jedoch der halbdurchlässige Spiegel verwendet, so wird die Energie des Schreibstrahls verringert, so dass die Schreibgeschwindigkeit verringert werden muss. Gemäß der vorstehend be schriebenen Ausführungsform kann der Steuerstrahl vom Schreibstrahl isoliert werden, ohne dessen Energie zu verringern.

Falls sich die Kenndaten der f-Theta-Linse für den Schreibstrahl von jenen für den Steuerstrahl aufgrund der Wirkung einer chromatischen Aberration unter scheiden, so kann möglicherweise die Scharfeinstellungsposition des Steuer strahls nicht genau mit jener des Schreibstrahls übereinstimmen. Um diese Mög lichkeit zu vermeiden, ist die f-Theta-Linse bei der infrage stehenden Ausfüh rungsform bezüglich einer Aberration bei den Wellenlängen sowohl des Schreib strahls als auch des Steuerstrahls korrigiert und dies gewährleistet, dass die Scharfeinstellung des Schreibstrahls korrekt auf der Grundlage des Steuerstrahls erfasst wird.

Das erfindungsgemäße optische Abtastsystem wird anschließend unter Bezug nahme auf die Fig. 4(a) bis (d) beschrieben, die eine zweite Ausführungsform der Erfindung darstellen. Ist gemäß Fig. 4(a) zwischen dem Polygonspiegel 20 und der f-Theta-Linse 30 nicht ausreichend Raum vorhanden, so verursachen die f- Theta-Linse 30 und die beiden Strahlen, die durch einen Endabschnitt der f- Theta-Linse 30 hindurchtreten, eine störende Beeinflussung an einem Bereich B. Ist ferner in diesem Fall der Polygonspiegel 20 groß bemessen, so würde die f- Theta-Linse 30 mit dem Polygonspiegel 20 kollidieren. Sind ferner die Räume zwischen dem Polygonspiegel 20 und der f-Theta-Linse 30 und zwischen der f- Theta-Linse 30 und der Bildebene 40 klein, so kann das optische Abtastsystem nicht die im Raum vorgesehene Trennvorrichtung nutzen, beispielsweise zwi schen der f-Theta-Linse 30 und der Bildebene 40.

In diesen Fällen wird eine Übertragungslinse, die in ihrer Brennweite größer gegenüber der f-Theta-Linse 30 ist, verwendet, um einen Ablenkpunkt zu errei chen, der sich vom Polygonspiegel 20 zu einem von diesem im Abstand liegen den Bereich bewegt. In der zweiten Ausführungsform der Erfindung gemäß den Fig. 4(b) und (c) wird ein Paar telezentrischer Linsen verwendet, um das vorste hend beschriebene Problem zu lösen. Die Trennvorrichtung 70 befindet sich bei dieser Ausführungsform zwischen den Übertragungslinsen R1 und R2.

Unter diesen Umständen wird ein Bild, das zwischen einem Paar der Übertra gungslinsen R1 und R2 erzeugt wird, abhängig von einem Brennweitenverhältnis der Übertragungslinsen R1 und R2 vergrößert. Falls eine Auflösung, die auf der Bildebene 40 vorliegt, in einer feinen Charakteristik erforderlich ist, so wird der Abstand des Maßstabs 61 eng. Jedoch ist ein Maßstab 61 mit engem Abstand schwierig zu fertigen. Das Bild, das zwischen einem Paar Übertragungslinsen erzeugt wird, wird nunmehr aufgenommen und genutzt, so dass der Abstand des Maßstabs ebenfalls im Hinblick auf das Brennweitenverhältnis, nämlich das Verhältnis von K1 : K2 vergrößert wird. Infolgedessen kann der Abstand des Maß stabs mühelos hergestellt werden.

Sind jedoch die Verzerrung eines Bilds, das zwischen einem Paar Übertragungs linsen R1 und R2 erzeugt wird, und die Verzerrung der f-Theta-Linse 30 vonein ander verschieden, so muss die Korrektur der folgenden Bedingung genügen.

Zur Erzielung einer verallgemeinerten Lösung sei das optische System gemäß Fig. 4(d) zugrundegelegt. Die vom Polygonspiegel 20 austretenden Lichtstrahlen treten durch eine erste und zweite Übertragungslinse R1 und R2 hindurch und werden dann mittels der f-Theta-Linse 30 auf der Bildebene 40 fokussiert. Der Maßstab 61 in der Signalerfassungsvorrichtung A ist in einer Ebene angeordnet, die einem Punkt optisch äquivalent ist, der zwischen der ersten und zweiten Übertragungslinse liegt.

Werden der Abtastkoeffizient der abbildenden optischen Einheit und jener der ersten Übertragungslinse R1, (d. h. der optischen Steuereinheit) jeweils mit K1 und K2 bezeichnet, so können die Bildhöhe für den Schreibstrahl, y1, und jene für den Steuerstrahl, y2, durch folgende Gleichungen (1) und (2) ausgedrückt wer den:

y1 = K1.Theta + DST1 (1)

y2 = K2.Theta + DST2 (2)

wobei: Theta: Ablenkwinkel gegenüber der optischen Achse, der durch den Polygonspiegel verursacht wird;
DST1: Abtastverzerrung durch die abbildende optische Einheit;
DST2: Abtastverzerrung durch die steuernde optische Einheit.

Aus den Gleichungen (1) und (2) ergibt sich:

y2 = (K2/K1)(y1 - DST1) + DST2 (3)

Der Wert von y2 für den Fall, dass y1 bei gleichen Abständen geändert wird, wird durch die Gleichung (3) berechnet, und der Abstand der Schlitze im Maßstab 61 wird auf der Grundlage des berechneten Werts von y2 festgelegt. Infolgedessen kann der Abstand der Impulse im ausgegebenen Steuersignal in genaue Übereinstimmung mit dem Abstand für die Bewegung des Schreibstrahls gebracht wer den.

Falls die musterbildende optische Einheit und die optische Steuereinheit die gleiche f-Theta-Linse wie in System wie in Fig. 1 verwenden, ist K1 gleich K2 und, somit kann die Gleichung (3) wie folgt ausgedrückt werden:

y2 = y1 - DST1 + DST2.

Fig. 5 ist eine Querschnittsansicht ähnlich Fig. 2, die eine erfindungsgemäße Abänderung angibt. In einem Fall, bei dem die f-Theta-Linse 30 derart festgelegt ist, dass sie nur gegenüber Wellenlängen des Schreibstrahls wirkt, hat der Steu erstrahl häufig Aberrationen, wie beispielsweise eine Feldkrümmung und Abtast verzerrung. Entsprechend ist bei diesem Beispiel eine zusätzliche Linse 64 zwi schen einem dichroitischen Spiegel 60 und einem Maßstab 61 zwischengeschal tet, um die Aberrationen des Steuerstrahls zu korrigieren.

Liegt dabei die Feldkrümmung ohne die zusätzliche Linse innerhalb eines zuläs sigen Bereichs, so reicht es aus, lediglich die Abtastverzerrung zu kompensieren. Ferner ist es möglich, nur die Feldkrümmung mit der zusätzlichen Linse 64 zu korrigieren, während die Abtastverzerrung durch Einstellung des Abstands des Maßstabs 61 korrigiert wird, wie vorstehend erwähnt wurde.

Fig. 6 ist eine Querschnittsansicht ähnlich Fig. 2, die eine weitere Abänderung der Erfindung angibt. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind jeweils eigene f-Theta- Linsen für den Steuerstrahl und den Schreibstrahl vorgesehen.

Sowohl der Steuerstrahl als auch Schreibstrahl, die durch den Polygonspiegel reflektiert werden, werden durch den dichroitischen Spiegel 60 getrennt. Der Schreibstrahl, der durch den Spiegel 60 hindurchgetreten ist, wird auf der Bild ebene 40 durch die f-Theta-Linse 30 fokussiert, und der reflektierte Steuerstrahl wird auf den Maßstab 61 mittels der f-Theta-Linse 65 für den Steuerstrahl fokus siert.

Mit der in Fig. 6 gezeigten Anordnung ist es möglich, da die f-Theta-Linsen derart gewählt werden können, dass sie zufriedenstellend für die jeweiligen Wellenlän gen wirken, die Position des Schreibstrahls zu ermitteln, indem die Position des Steuerstrahls erfasst wird.

Wie vorausgehend beschrieben wurde, unterscheiden sich der Schreibstrahl und der Steuerstrahl, die im erfindungsgemäßen optischen Abtastsystem verwendet werden, voneinander bezüglich der Wellenlänge, und somit können die beiden Lichtstrahlen mühelos unter Verwendung einer Trennvorrichtung, wie eines dich roitischen Spiegels getrennt werden. Wird die Wellenlänge des Steuerstrahls aus dem Bereich gewählt, in dem der Fotorezeptor strahlunempfindlich ist, so wird das geformte Bild in keiner Weise beeinträchtigt, selbst wenn der Steuerstrahl die Bildebene wegen einer unvollkommenen Trennung des dichroitischen Spiegels erreicht.

Claims

1. Optisches Abtastsystem mit
einer Schreibstrahlquelle (10) zum Erzeugen eines Schreibstrahls,
einer Steuerstrahlquelle (50) zum Erzeugen eines Steuerstrahls mit einer gegenüber dem Schreibstrahl unterschiedlichen Wellenlänge,
einer Ablenkvorrichtung (20) zur Ablenkung und Abtastbewegung des Schreibstrahls und des Steuerstrahls,
einer der Ablenkvorrichtung (20) nachgeordneten Trennvorrichtung (60) zum Trennen des Steuerstrahls vom Schreibstrahl,
einer der Trennvorrichtung (60) nachgeordneten ersten f-Theta-Linse (30) zum Fokussieren des Schreibstrahls auf eine Bildebene und
einer der Trennvorrichtung (60) nachgeordneten zweiten f-Theta-Linse (65) zum Fokussieren des vom Schreibstrahl getrennten Steuerstrahls auf eine Signalerzeugungsvorrichtung (A), die aus dem Steuerstrahl ein Steuersignal erzeugt.

2. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennvorrichtung (60) einen dichroitischen Spiegel umfasst.

3. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Steuerstrahl eine Wellenlänge hat, der gegenüber ein beaufschlagter Fotorezeptor unempfindlich ist.

4. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch einen Maßstab (61), dessen Schlitzabstand gemäß der Beziehung
y2 = (K2/K1)(y1 - DST1) + DST2
festgelegt wird, wobei dieser Maßstab (61) Signale an Positionen der Bild höhe y2 des Steuerstrahls, die Positionen der Bildhöhe y1 des Schreib strahls entsprechen, erzeugt
und wobei
K1: ein Abtastkoeffizient der abbildenden optischen Einheit,
K2: ein Abtastkoeffizient der steuernden optischen Einheit,
DST1: eine Abtastverzerrung (Abweichung gegenüber der f-Theta- Kennlinie) der abbildenden optischen Einheit,
DST2: eine Abtastverzerrung (Abweichung gegenüber der f-Theta- Kennlinie) der steuernden optischen Einheit ist.

5. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich die Beziehung DST2 = αDST1 gilt, wobei α eine gegebene Konstante ist.

6. Optisches Abtastsystem mit
einer Schreibstrahlquelle (10) zum Erzeugen eines Schreibstrahls,
einer Steuerstrahlquelle (50) zum Erzeugen eines Steuerstrahls mit einer gegenüber dem Schreibstrahl unterschiedlichen Wellenlänge,
einer Ablenkvorrichtung (20) zur Ablenkung und Abtastbewegung des Schreibstrahls und des Steuerstrahls,
einer f-Theta-Linse (30) zum Fokussieren des von der Ablenkvorrichtung (20) abgelenkten Schreibstrahls auf eine Bildebene,
zwei zwischen der Ablenkvorrichtung (20) und der f-Theta-Linse (30) ange ordneten Übertragungslinsen (R1, R2), zwischen denen abhängig von deren Brennweitenverhältnis ein vergrößertes Bild erzeugt wird,
einer zwischen den beiden Übertragungslinsen (R1, R2) angeordneten Trennvorrichtung (70) zum Trennen des Steuerstrahls vom Schreibstrahl und
einer Signalerzeugungsvorrichtung (A) zum Erzeugen eines Steuersignals aus dem vom Schreibstrahl getrennten Steuerstrahl.

7. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 6,
gekennzeichnet durch einen Maßstab (61), dessen Schlitzabstand gemäß der Beziehung
y2 = (K2/K1)(y1 - DST1) + DST2
festgelegt wird, wobei dieser Maßstab (61) Signale an Positionen der Bild höhe y2 des Steuerstrahls, die Positionen der Bildhöhe y1 des Schreib strahls entsprechen, erzeugt
und wobei
K1: ein Abtastkoeffizient der abbildenden optischen Einheit,
K2: ein Abtastkoeffizient der steuernden optischen Einheit,
DST1: eine Abtastverzerrung (Abweichung gegenüber der f-Theta- Kennlinie) der abbildenden optischen Einheit,
DST2: eine Abtastverzerrung (Abweichung gegenüber der f-Theta- Kennlinie) der steuernden optischen Einheit ist.

8. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich die Beziehung DST2 = αDST1 gilt, wobei α eine gegebene Konstante ist.