DE4221031A1 - Einrichtung zur berührungsfreien Dickenmessung von dünnen Substraten - Google Patents
Einrichtung zur berührungsfreien Dickenmessung von dünnen SubstratenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Dickenmessung
entsprechend dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Die Aufgabe ist es, eine Einrichtung anzugeben, die eine
absolut berührungsfreie und sehr genaue Messung von sehr dünnen
Bahnen ermöglicht, wo z. B. eine Genauigkeit von 1 oder 2 µ
erreichbar sein soll. Die Einrichtung läßt sich vor allen
Dingen bei Papier- oder Kartonbahnen in Papierfabriken
einsetzen, wobei die Dicke der Bahn z. B. 0,05 mm betragen kann.
Die Bahnen laufen z. B. bei einem Aufwickelvorgang einer
Papierbahn mit sehr hohen Geschwindigkeiten von z. B.
2000 m/min, so daß eine Dickenmessung sehr schwierig ist.
Grundsätzlich wird die Dickenmessung im Bereich eines
Führungselements für die Bahn vorgenommen, wobei es allgemein
so ist, daß die Bahn ohnehin über verschiedene Walzen geführt
wird, so daß hier eine solcher Walzen für den Meßvorgang
benutzt wird. Die Meßeinrichtung ist dermaßen aufgebaut, daß
Ungenauigkeiten, bzw. Veränderungen der Gesamtanordnung
einschließlich der Führung der Papierbahn durch die Walze
während des Meßvorganges bzw. welche im Laufe der Zeit
auftreten, berücksichtigt werden können. Änderungen können
auftreten z. B. durch die Durchbiegung der Walze, durch auf die
Walze einwirkende Temperaturänderungen oder z. B. auch einen
Rundschlag der Walze selbst.
Ferner ist es möglich, durch eine definierte Veränderung eines
Referenz-Signales, und zwar durch Verstellung der
Verstelleinheit, laufend sporadisch die Meßeinrichtung neu
einzustellen bzw. zu überprüfen.
Die Meßeinrichtung wird dabei vorzugsweise an einer Traverse
gehalten, so daß sie längs der Breite des Substrats
(Papierbahn) verschoben werden kann, um somit an verschiedenen
Stellen die Dicke des Papiers (bzw. allgemein der Bahn) zu
messen. Die Meßeinrichtung ist so aufgebaut, daß das
Führungselement (Führungswalze) an ihrer Oberfläche, mit der
sie die Bahn führt, eine Referenzebene bildet. Zur Bildung des
Referenzsignals darf diese Oberfläche nicht hochglänzend, also
poliert sein, sondern höchstens fein geschliffen. Die gesamte
Anordnung arbeitet ja nicht aufgrund eines reflektierten
Lichtsignals nach der Bedingung, daß Einfallswinkel des Lichts
gleich Ausfallswinkel ist, sondern es wird nur von der
Oberfläche des Substrates und der Führungswalze remittiertes,
also diffus abgestrahltes Licht registriert. Das Papier hat ja
wegen seiner rauhen Oberfläche keine derartige Reflexion von
Licht, daß sich ein genauer Reflexionsstrahl feststellen läßt.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand den Figuren der Zeichnung
erläutert, wobei
Fig. 1 prinzipmäßig eine Ansicht quer zur Warenbahn,
Fig. 2 die Verhältnisse der Signalerzeugung und
-verarbeitung in einer ersten Variante und
Fig. 3 das gleiche in einer zweiten Variante zeigen.
In Fig. 1 ist ein Schutzgehäuse 4, das die Einrichtung zur
Dickenmessung aufweist, einer Papierbahn P zugeordnet, die auf
einer Führungswalze 10 geführt ist. Die Umfangsfläche der
Führungswalze dient dabei als Referenzebene 5. Zu dem Zweck
weist die Einrichtung eine berührungsfreie
Abstands-Meßeinrichtung 12 auf, die mit den übrigen Elementen
der Meßeinrichtung 23 spielfrei verschieblich an einer
Verstelleinheit 3 gehalten ist. Für eine solche völlig
spielfreie Verstelleinheit kommen magneto-striktive oder
piezo-elektrische Elemente in Frage. Stäbe aus
ferro-magnetischem Material erfahren eine Längenänderung unter
dem Einfluß von magnetischen Feldern, was Magneto-striktion
genannt wird. Da in diesem Falle nur sehr geringe Schwankungen
der Referenzoberfläche 5 der Führungswalze 10 auftreten können,
genügen eventuell schon sehr geringe Längenänderungen eines
ferro-magnetischen Stabes als Halter für die Meßeinrichtung.
Als spielfreies Verstellelement kommen auch piezo-elektrische
Elemente (Quarze) in Frage. Man nennt solche Stellglieder kurz
auch Piezo-Translatoren. Sie nutzen den an sich inversen
piezo-elektrischen Effekt aus, so daß sich diese Elemente bei
Anlegung einer Spannung an die beiden in Polarisationsrichtung
einander gegenüberliegenden Endflächen des Kristalls sich
entsprechend der Spannung in ihrer Länge ändern. Um größere
Längenänderungen des piezo-elektrischen Materials (Kristalls)
zu erhalten, werden mehrere solcher Kristallscheiben
hintereinander geschaltet, wobei sie im allgemeinen durch
Klebung miteinander verbunden sind. Solche Translatoren halten
Kräfte bis etwa 1000 N unter Feldstärken von etwa 1500 V/mm
aus. Ein Hersteller solcher Translatoren ist die Firma PI
Physikinstrumente GmbH, Siemensstraße, 7517 Waldbronn,
Bundesrepublik Deutschland. Ausführungen über diese
Piezo-Translatoren finden sich in einem Sonderdruck dieser
Firma mit dem Titel "Piezo-Translatoren - vielseitige
Mikrostellglieder".
Das Signal des berührungsfreien Abstandssensors 12 mit z. B. den
Spulen 13, das vorzugsweise ein elektrisches Signal ist, dient
dann zur Justierung der Meßeinrichtung über die spielfreie
Verstelleinheit 3. Ein Vorteil der piezo-elektrischen
Verstelleinheit würde darin liegen, daß bei Ausfall der
Steuerspannung sie über eine längere Zeit die vor dem Ausfall
vorhandene Steuerspannung beibehält, so daß die Einrichtung
eine erhebliche Zeit trotz Ausfall der Steuerspannung noch
weiter betrieben werden könnte.
In Fig. 2 ist die Erzeugung und der Gang des Lichtsignals in
einer ersten Variante der Meßeinrichtung 23 prinzipmäßig
erläutert. Dabei ist für die Meßeinrichtung zunächst eine
Lichtquelle 1 vorgesehen, deren Lichtstrahl, vorzugsweise ein
Laserstrahl, durch eine Sendeoptik 2 zu einem feinen Lichtpunkt
gebündelt wird, der auf die Bahn 4 trifft. Die Empfangsoptik 6
entdeckt diesen Lichtpunkt von z. B. 1/10 mm Durchmesser und
wirft von diesem Lichtpunkt ein Bild auf einen optischen
Empfänger 7, der linear eingestellt ist. Dieser Empfänger kann
z. B. eine CCD-Zeilenanordnung sein. Dessen lichtempfindliche
Elemente sind lichtempfindliche Kondensatoren von z. B. nur
30 µ Abmessung. Es gibt auch andere, lineare optische
Empfänger, die nicht punktweise, sondern völlig kontinuierlich
arbeiten und ein Signal entsprechend einem Schiebewiderstand
abgeben. Es ist dazu nötig, daß die Empfangsoptik 6 die
Winkeldifferenzen des Meßstrahles 9 nach ihrem Durchgang durch
dieselbe weit auffächert, z. B. eine Vergrößerung einer
theoretischen Signaldifferenz von 20 µ einer entsprechend
schwankenden Papierdicke auf eine Differenz von 4 bis 6 mm auf
dem optischen Empfänger 7 bewirkt. Das Ausgangssignal desselben
wird dann in einer Signalverarbeitungseinheit 8 registriert und
aufbereitet. Das Referenzsignal wird dabei von der Oberfläche 5
der Führungswalze 10 geliefert. Dies kann z. B. bei einem Abriß
der Papierbahn immer neu erfolgen. Dieses Referenzsignal ist
auf dem optischen Empfänger 7 an der Stelle ("O") angegeben.
Eine Justierung ist jeweils möglich durch eine bewußte
Verstellung der spielfreien Stelleinheit 3. Der Winkel zwischen
dem Meßstrahl 9 und der Oberfläche des Substrats P beträgt
vorzugsweise zwischen 30 und 40°.
Der Abstand zumindest der Sendeoptik 2 von der Referenzfläche 5
beträgt etwa 0,2-0,3 mm.
In Fig. 3 ist praktisch die gleiche Anordnung, nur in anderer
geometrischer Konfiguration dargestellt.
In beiden Figuren sind natürlich die Differenzen der
Papierdicken äußerst übertrieben dargestellt. Wird die
Anordnung insgesamt sehr leicht gebaut, zumindest was die
dargestellten optischen Elemente und Sensoren anbelangt, kann
unter Umständen auch ein Rundlauffehler der Führungswalze
fortlaufend von der spielfreien Verstelleinheit 3 ausgeglichen
werden, so daß auch in diesem Fall eine sehr genaue Messung
durchführbar ist.
Der Abstandssensor 12 kann vorzugsweise auf Wirbelstrombasis
arbeiten, wie die NCDT-Typen S1 bis S4 der Firma Mikro-Epsilon
Meßtechnik GmbH & Co. KG, Königsbacher Str. 15, W-8359
Ortenburg-Dorfbach, Bundesrepublik Deutschland.
Claims (8)
1. Einrichtung zur Dickenmessung von relativ dünnen,
fortbewegten Substraten (Bahnen), insbesondere Bahnen aus
Papier oder Karton, gekennzeichnet durch
- a) eine Lichtemissions-Abordnung (1) mit möglichst eng begrenztem Sendelichtfleck (punktförmiger Laserstrahl) verbunden mit einer den Strahl bildenden Optik (2),
- b) sowie eine im Winkel zur optischen Achse der Sendeoptik (2) angeordnete Empfangsoptik (6) und
- c) eine dahinter befindliche lichtempfindliche Registrier-Anordnung (7) (Lichtsignal-Aufnehmer-Anordnung), die mit einer Auswerteeinheit (8) für die Signalverarbeitung verbunden ist sowie
- d) ein Führungselement (5) mit einer Führungsfläche (10) für das Substrat (die Bahn).
2. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine
berührungsfreie Abstands-Meßeinrichtung (12) für die
vorgenannten Einrichtungselemente, und daß letztere
einschließlich der vorgenannten Meßeinrichtungs-Elemente
(1, 2, 3, 6) fest mit einer spielfreien Verstelleinheit (3)
verbunden sind.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch
eine Meßspule oder Meßspulen (13) mit je einem oder
mehreren Eisenkernen, die magnetisch eng mit dem
Führungselement (5) für das Substrat (z. B. über einen engen
Luftspalt) gekoppelt sind, wobei das Führungselement aus
ferromagnetischem Material besteht.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Meßspule Teil eines Schwingkreises ist.
5. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Meßspule (13) Bestandteil eines induktiven Aufnehmers
ist.
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die spielfreie Verstelleinheit (3) als
Verstellorgan einen Piezotranslator oder einen
magneto-striktiven Translator aufweist.
7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche
Registrier-Anordnung ein im wesentlichen linearer Empfänger
ist, dessen Empfangssensoren in einer sich quer zur Bahn
(Substrat) erstreckenden Reihe oder überhaupt quer zur Bahn
angeordnet sind.
8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß das Führungselement (5) für das
Substrat (Bahn) eine Walze (10) aus Metall ist.
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