DE4300290A1 - - Google Patents
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- G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
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- G—PHYSICS
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- G01B2210/40—Caliper-like sensors
- G01B2210/44—Caliper-like sensors with detectors on both sides of the object to be measured
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen der Dicke
eines Blattes, einer Bahn oder dergleichen nach dem Ober
begriff des Patentanspruches 1. Weiterhin bezieht sich die
Erfindung auf eine Vorrichtung zur Durchführung dieses
Verfahrens nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 2.
Allgemein hat die Erfindung mit der Messung der Dicke von
relativ dünnen, flächigen Gegenständen zu tun, wie bei
spielsweise Blätter oder Bahnen aus Papier, wobei diese
Gegenstände während deren Dickenmessung auch vorlaufen
können, die Dickenmessung also "on line" erfolgt.
Es sind zahlreiche Verfahren und Vorrichtungen bekannt,
mit deren Hilfe die Dicke eines Materials bestimmt werden
kann. Bei der Herstellung einer Bahn oder eines Blattes
aus einem Material wie beispielsweise Papier werden
"on line"-Sensoren zur Messung der Dicke der Bahn oder des
Blattes eingesetzt. Bei vielen solcher Systeme werden obe
re und untere Meßköpfe an einem O-Rahmen angeordnet, so
daß sie sich gemeinsam quer über die Bahn oder das Blatt
hinwegbewegen und ein Dickenprofil aufnehmen. Bei einer
besonderen Technik dieser Art trägt einer der beiden Meß
köpfe eine ferromagnetische Scheibe und der andere Kopf
eine auf einem magnetischen Kern angeordnete Wicklung, wo
bei der magnetische Widerstand dieser Wicklung in Überein
stimmung mit der Trennung oder dem Abstand zwischen der
Scheibe und dem Kern variiert.
Bei bestimmten bekannten Systemen sind die Meß- oder Sen
sorköpfe in direktem Kontakt mit den oberen und unteren
Oberflächen der Bahn oder des Blattes, deren Dicke gemes
sen werden soll. In manchen Fällen weisen die Köpfe Mem
branen oder Faltenbälge auf, um so einen flexiblen Kontakt
mit dem zu messenden Material herzustellen, insbesondere
wenn dieses während der Messung vorgeschoben wird. Einige
Meßköpfe nach dem Stande der Technik haben eine besondere
geometrische Ausgestaltung und sind mit einem glatten, ge
härteten Material bedeckt, um Effekte minimal zu halten,
die auf Oberflächen- und Festigkeitsunregelmäßigkeiten des
zu messenden Materials zurückgehen, die ihrerseits wiede
rum durch Feuchtigkeitsschwankungen, Schmutz oder Löcher
verursacht werden können, was obendrein ein Reißen, Mar
kierungen in einer Papierbeschichtung oder einen Bahnbruch
veranlassen kann.
Andere Hilfsmittel wurden bereits angewandt, falls das zu
messende Material, beispielsweise eine vorlaufende oder
stillstehende Bahn, eine weiche Beschichtung trägt oder
extreme Oberflächenunregelmäßigkeiten aufweist. Zu solchen
Hilfsmitteln gehört beispielsweise ein Rollkontakt zwi
schen dem Meßkopf und der Bahn oder die Ausbildung eines
Luftkissens zwischen Bahn und Meßkopf. Zur Ausbildung ei
nes rollenden Kontaktes werden Rollen mit kleinen Durch
messern verwendet. Bei hohen Produktionsgeschwindigkeiten
laufen die Rollen mit derart hohen Drehgeschwindigkeiten
um, daß eine häufige Auswechslung notwendig ist.
Bei Sensoren, die zusammen mit einem Luftkissen eingesetzt
werden, wurden Versuche unternommen, um den Abstand zwi
schen dem Meßkopf und dem Blatt- oder Bahnmaterial dadurch
konstant zu halten, daß eine konstante Luftsäule aufrecht
erhalten wird. Es ist jedoch schwierig, den Luftkissenab
stand so genau aufrechtzuerhalten, wie es für eine Präzi
sionsmessung dünner Blätter oder Bahnen erforderlich ist.
Bei weiterhin anderen Systemen bekannter Art werden obere
und untere Meßköpfe in Abständen von den oberen und unte
ren Oberflächen des Blattes oder der Bahn angeordnet. Die
jeweiligen Abstände zwischen der oberen Oberfläche des
Blattes und dem oberen Meßkopf beziehungsweise der unteren
Oberfläche des Blattes und dem unteren Meßkopf werden
durch optische Triangulationssysteme gemessen. Durch eine
dritte Messung wird der Abstand zwischen den oberen und
unteren Meßköpfen gemessen. Unter Ausnutzung dieser drei
Abstandsmessungen wird die Dicke des Blattes oder der Bahn
berechnet. Obwohl bei einem solchen System die Probleme,
die bei Anordnungen mit die Oberfläche des zu messenden
Materials berührenden Meßköpfen auftreten, vermieden wer
den können, ist dieses System doch nicht genau genug, ins
besondere im Falle dünner Blätter, Bahnen oder dergleichen.
Es ist Aufgabe der Erfindung ein Verfahren und Vorrich
tungen anzugeben mit deren Hilfe Dickenmessungen, insbe
sondere "on line" an Blättern, Bahnen oder dergleichen
dünnen, flächigen Materialien genauer und zuverlässiger,
vor allem auch an sehr dünnen Materialien ausgeführt wer
den können, wobei ein oder zwei Meßköpfe außer Berührung
mit dem zu messenden Material gehalten werden können.
Dabei sollen insbesondere auch Einflüsse, die auf eine Be
wegung des zu messenden Materials oder auf eine Verformung
eines die Meßköpfe tragenden Rahmens zurückgehen, kompen
siert werden. Ebenfalls kompensiert werden sollen Stauban
sammlungen und Änderungen in der Durchsichtigkeit der zu
messenden Materialien.
Die der Erfindung zugrundeliegenden Aufgaben werden durch
die in den Kennzeichnungsteilen der Patentansprüche 1 und
2 stehenden Merkmale gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen
der Erfindung sind der Gegenstand der sich diesen Ansprü
chen anschließenden Unteransprüche.
Die nachstehende Beschreibung bevorzugter Ausführungsfor
men der Erfindung dient im Zusammenhang mit beiliegender
Zeichnung der weiteren Erläuterung. Es zeigen:
Fig. 1 eine Schnittansicht eines Dickensensors;
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer op
tischen Dickenmeßvorrichtung zur Anwen
dung bei einem Dickensensor;
Fig. 3 eine Schnittansicht der optischen Dik
kenmeßvorrichtung für den Sensor gemäß
Fig. 1;
Fig. 4 eine graphische Darstellung der An
sprechkurve der in Fig. 3 gezeigten
Vorrichtung;
Fig. 5 eine schematische Darstellung einer an
deren Ausführungsform einer optischen
Dickenmeßvorrichtung zur Anwendung in
einem Dickensensor;
Fig. 6 eine schematische Darstellung der Funk
tionsweise der Vorrichtung aus Fig. 5;
Fig. 7 eine schematische Darstellung der Be
triebsweise der Detektoren in der Vor
richtung gemäß Fig. 5;
Fig. 8 eine schematische Darstellung einer wei
teren Ausführungsform einer Dickenmeß
vorrichtung zur Anwendung in einem Dik
kensensor und
Fig. 9 eine Schnittansicht einer berührungslo
sen Ausführungsform eines Dickensensors.
Wie aus Fig. 1 hervorgeht, umfaßt ein Dickensensor einen
unteren Meß- oder Sensorkopf 10 sowie einen oberen Meß-
oder Sensorkopf 12. Die Köpfe 10, 12 sind in der Nähe ei
nes Blattes oder einer Bahn 14 aus Papier oder derglei
chen, deren Dicke gemessen werden soll, angeordnet.
Der untere Kopf 10 weist einen Gehäuseunterteil 16 und ei
nen Gehäuseoberteil 18 auf. Die obere, offene Stirnseite
des Gehäuseteils 18 ist durch eine Kappe 20 abgedeckt, die
durch Schrauben 22, 24 in ihrer Position gehalten wird. An
der Kappe 20 ist ein Fenster 26 vorgesehen.
Der untere Kopf 10 umschließt einen Servomechanismus 28,
bei dem es sich beispielsweise um einen Lautsprecher mit
einer konusförmigen Membran 30 oder dergleichen und einen
Antriebsmechanismus 32, der durch Leitungen 34, 36 ge
speist wird, handeln kann.
Der bewegliche Konus 30 des Servomechanismus 28 stützt ei
nen Körper 38 ab, der ein Paar von Abstandsmeßeinheiten 40
und 42 trägt, welche ihrerseits in einer noch zu beschrei
benden Weise so miteinander zusammenwirken, daß sie an
Leitungen 44, 46 ein Ausgangssignal erzeugen, das, nach
entsprechender Modifizierung, an die Leitungen 34 und 36
angelegt wird, um den Körper 38 in einem vorbestimmten Ab
stand von der unteren Oberfläche der Bahn 14 zu halten.
Der Körper 38 trägt eine Ferritscheibe 48, die mit die
Einheiten 40, 42 aufnehmenden Bohrungen 50, 52 ausgestat
tet ist. Es läßt sich leicht einsehen, daß dann, wenn der
Körper 38 in einem vorgegebenen Abstand von der unteren
Oberfläche der Bahn 14 gehalten wird, auch die Scheibe 48
in einem vorgegebenen Abstand von der unteren Oberfläche
der Bahn positioniert ist.
In Fig. 3 sind Einzelheiten der Einheit 40 dargestellt,
die insoweit mit der Einheit 42 identisch ist. Die Einheit
40 weist ein Gehäuse 70 auf, das auf einer Basis 72 abge
stützt ist und an seiner Oberseite mit einer Öffnung 74
versehen ist. Hinter der Öffnung 74 ist ein Fenster 76 an
geordnet. Das Gehäuse 70 dient der Abstützung einer Licht
quelle 78 irgendeiner an sich bekannten Art, die in seit
lichem Abstand von einem Lichtdetektor 80 angeordnet ist.
Eine Linse 82, die im Gehäuse 70 hinter dem Fenster 76 an
geordnet ist, fokussiert Licht aus der Lichtquelle 78 auf
die untere Oberfläche der Bahn 14. Weiterhin fokussiert
die Linse 82 auch von der Unterseite der Bahn reflektier
tes Licht auf den Detektor 80. Diese Wirkungsweise ist
schematisch in Fig. 2 dargestellt. Wie an sich bekannt,
hat, wie in Fig. 4 dargestellt, die Intensität des re
flektierten Lichtes ein Maximum mit einem scharfen vorde
ren Anstieg und einem ziemlich scharfen hinteren Abfall,
entsprechend einer Kurvenabhängigkeit von 1/d2, wobei d
der Abstand von der Oberfläche der Bahn 14 zur Vorderseite
der in Fig. 3 dargestellten Vorrichtung ist. Ein derarti
ges System hat für kleine dynamische Bereiche eine hohe
Meßempfindlichkeit. Die Meßauflösung für einige kurze dy
namische Bereichskonfigurationen liegt in der Größenord
nung von einigen Hundertsteln eines Mikrons.
Bei der besonderen, in Fig. 1 dargestellten Ausführungs
form ist zu beachten, daß die Einheiten 40 und 42 in un
terschiedlichen Entfernungen von der Oberfläche des unte
ren Kopfes 10 befestigt sind. Eine Einheit ist in einem
Abstand von 3,45 mm unterhalb der Oberfläche montiert,
während die andere Einheit in einem Abstand von 4,65 mm
unter dieser Fläche angeordnet ist. Bei der besonderen
Ausführungsform gemäß Fig. 3 wäre die Position des Mit
telpunktes zwischen diesen Abständen bei 4,3 mm von der
Bahnoberfläche an der Position des Scheitels der Ansprech
kurve für die Einheiten 40 und 42. Unter diesen Bedingun
gen wirkt die Einheit 40 an dem vorderen Anstieg der An
sprechkurve, während die Einheit 42 an dem hinteren Abfall
dieser Kurve betrieben wird. Wenn die Differenz Δ1 zwi
schen den Abständen der Einheiten 40 und 42 bei 1,2 mm
liegt, wobei die Einheit 40 3,45 mm unter der Oberfläche
der Scheibe 48 und die Einheit 42 4,65 mm unter der Ober
fläche der Scheibe 48 liegt, befindet sich die Bahn 14 in
einem konstanten Abstand von der Oberfläche, wenn die Sig
nale aus den beiden Detektoren bei einer Trennung oder
Staffelung von etwa 0,25 mm zwischen der Bahnoberfläche
und dem unteren Kopf 10 einander gleich sind. Wenn sich
die Entfernung zwischen der Oberfläche des Kopfes und der
Bahn ändert, hält das an den Servomechanismus 28 angelegte
Signal eine Null-Differenz zwischen den Ausgängen der bei
den Entfernungsmeßeinheiten 40 und 42 aufrecht. Wenn die
Entfernung oder der Abstand größer ist, wird der Unter
schied zwischen den Ausgängen oder D2-D1 negativ. Wenn
die Entfernung kleiner wird, wird der Unterschied zwischen
den Ausgängen der beiden Einheiten positiv. Durch dieses
Verfahren wird ein wirksamer Weg vermittelt, um einen fe
sten Abstand zwischen der an dem die Bahn 14 nicht berüh
renden Kopf 10 angeordneten Scheibe 48 und der unteren
Oberfläche der Bahn 14 aufrechtzuerhalten.
Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung arbeitet nach der
Methode des magnetischen Widerstandes. Dies bedeutet, wie
an sich bekannt, daß der magnetische Widerstand an den
Leitungen 66 und 68 durch die Annäherung der Ferritscheibe
48 an den Ferritkern 56 bestimmt wird. Da der obere Kopf
über ein Gehäuse 54 oder dergleichen die obere Oberfläche
der Bahn 14 berührt und der untere Kopf 10 in einem vorbe
stimmten Abstand von der unteren Oberfläche der Bahn 14
gehalten ist, ist der magnetische Widerstand zwischen den
Leitungen 66 und 68 ein direktes Maß für die Dicke der
Bahn 14. Die hohe Empfindlichkeit dieser Messung reicht
bis zu 5 mm, wobei die höchste Empfindlichkeit im Bereich
von 0 bis 2,5 mm liegt.
Dadurch daß der Kopf 12 in Kontakt mit der oberen Oberflä
che der Bahn 14 ist und der Ferritkern 56 sich mit Bezug
auf den Kopf 12 bei der dargestellten Ausführungsform in
einer festen Position befindet, liegt auch der Kern 56 in
einem festen Abstand von der oberen Oberseite der Bahn 14.
Der Kern 56 könnte auch statt durch das Gehäuse 54 durch
einen Faltenbalg oder dergleichen am Kopf 12 abgestützt
sein, wobei dann der Faltenbalg in Berührung mit der obe
ren Oberfläche der Bahn 14 wäre. Die Köpfe 10 und 12 sind
von einem (nicht dargestellten) U-förmigen Rahmen oder Ge
stell an sich bekannter Art abgestützt. Vorzugsweise wird
auf die Oberfläche des Kopfes 12, der die Bahn 14 berührt,
eine gehärtete Beschichtung an sich bekannter Art aufge
bracht.
Die hohe Empfindlichkeit der Kombination der Technik der
magnetischen Widerstandsmessung mit der optischen Ab
standsabfühlung ergibt eine genaue Messung der Bahndicke.
Die Bahndurchgangslinie wird relativ zu dem ortsfesten
Kopf aufrechterhalten. Eine Rahmenverformung wird durch
Messung der Trennung des gesamten Kopfes kompensiert und
weiterhin durch eine gesteuerte Bewegung des unteren
Kopfes, um so einen konstanten Abstand zur Bahnoberfläche
aufrechtzuerhalten.
Die Verwendung der beiden als Sender-/Empfänger-Anordnun
gen ausgebildeten Einheiten 40 und 42 und die Anordnung
des Servomechanismus 28 zur Aufrechterhaltung eines Null-
Unterschieds zwischen den empfangenen Lichtintensitäten
kompensiert eine Staubansammlung, Änderungen in der Licht
durchlässigkeit der Bahn, Änderungen des Reflexionsvermö
gens sowie Farbschattierungsänderungen.
Es ist auch möglich, falls erwünscht, das Verhältnis der
Ausgangssignale aus den Einheiten 40 und 42 anstatt die
Differenz dieser Ausgänge zu verwenden. Wenn das Verhält
nis D1/D2 zur Messung des Abstandes der Papieroberfläche
bei weniger als der eingestellten Entfernung von bei
spielsweise 4,3 mm benutzt wird, ist das Verhältnis klei
ner als 1. Bei 4,3 mm ist das Verhältnis genau 1, und bei
größeren Abständen wird das Verhältnis größer als 1. Die
Verhältnissignale werden in passender Weise behandelt, um
für die Betätigung des Servomechanismus 28 geeignete Sig
nale zu gewinnen. Diese Verhältnismethode ergibt eine hohe
Empfindlichkeit bei der Abstandsmessung und dient weiter
hin der Kompensation von Staubansammlung, Änderungen in
der Papierdurchlüssigkeit, Änderungen im Reflexionsvermö
gen Farbschattenänderungen sowie einer Detektorabdrift.
In den Fig. 5 bis 7 ist ein abgewandeltes Abstandsmeß
system dargestellt. Bei der dort gezeigten Anordnung fin
den ein Laser 88 und vier Detektoren 90, 92, 94 und 96,
die symmetrisch um den Laser herum angeordnet sind, Anwen
dung. Ein Lichtleiter 98 leitet den Laserstrahl zu einer
Hologramm- oder Linsenanordnung 100 am Ende des Lichtlei
ters. Wenn der Strahl durch die Anordnung 100 hindurch
tritt, wird er astigmatisch und bildet einen Strahl mit
elliptischer Querschnittsform. Licht, welches von der
Oberfläche der Bahn 14 reflektiert wird, wird durch die
Lichtleiter 102, 104, 106 und 108 zu den betreffenden De
tektoren 90, 92, 94 beziehungsweise 96 zurückgeführt, wo
bei diese Lichtleiter 102, 104, 106 und 108 symmetrisch um
den Lichtleiter 98 herum angeordnet sind.
In Fig. 6 ist die Betriebsweise des in Fig. 5 gezeigten
optischen Systems schematisch dargestellt. Wie bereits
oben ausgeführt, nimmt das Laserlicht aus der Lichtquelle
88 dann, wenn es aus der Hologrammanordnung 100 austritt,
eine elliptische Form an, die durch die Ellipse L angege
ben ist, die ihrerseits mit Bezug auf die optische Achse
XX des Systems eine kleine Achse A-A′ und eine große Achse
B-B′ hat. Vom Objektpunkt P aus gesehen, wird die Ellipse
kleiner, wenn sie von dem Lichtleiter 98 wegwandert und
dabei auf sich selbst konvergiert. Die große Achse
schrumpft schneller als die kleine Achse und verschwindet
gegebenenfalls ganz, so daß ein horizontales Bild a-a′ der
kleinen Achse zurückbleibt. Wenn sich der Strahl von die
sem Punkt weg fortsetzt, ist das Ergebnis ein elliptisches
Bild, wobei die große Achse größer wird, wie in einer Fo
kalebene FP durch die senkrechte Linie b′-b angegeben ist.
Wenn der Strahl die Stelle a-a′ verläßt, schrumpft die
kleinen Achse so weit, bis sie die gleiche Länge wie die
wachsende große Achse hat, was ein kreisförmiges Bild er
gibt. An einem noch weiter entfernten Punkt auf dem Ver
lauf des Strahles verschwindet die kleine Achse und das
Bild ist eine vertikale Linie b′-b. Wenn sich der Strahl
weiter fortsetzen würde, wäre das Ergebnis eine Ellipse
von weiter wachsender Größe, die um 180° verdreht ist.
Für den Zweck der Abstandsmessung ist der Bereich interes
sant, der zwischen der Ausbildung der Linie a-a′ und der
Linie b′-b liegt. Die Bilder, die in diesem Bereich gebil
det werden, werden auf die peripheren Lichtleiter oder
Lichtfasern 102, 104, 106 und 108 zurückreflektiert, wel
che die Bilder zu den Detektoren 90, 92, 94 und 96 zurück
führen, um auf diese Weise eine Gruppe von Signalen zu
liefern, die das "Muster" darstellen, das auf dem Papier
erblickt wird, und somit den Abstand zwischen dem Ende des
Lichtleiters 98 und der Oberfläche der Bahn 14.
Es ist leicht einzusehen, daß durch Benutzung der Verhält
nisse einander gegenüberliegender Paare der Detektoren 90,
92, 94 und 96 und einer anschließenden Verhältnisbildung
aus diesen Verhältnissen eine Messung der Größe der Ellip
se erhalten werden kann, wobei diese Größe der Abstand der
Bahnoberfläche, in Fig. 6 durch FP angegeben, von dem En
de des Lichtleiter 68 ist. In Fig. 4 sind die drei extre
men Bedingungen des Bildes im Meßbereich mit gestrichelten
Linien in den jeweiligen Unterfiguren (a), (b) und (c)
dargestellt.
Die oben beschriebene Technik, bei welcher das Faseroptik
system einschließlich der Lichtleiter oder Lichtfaser 98,
102, 104, 106 und 108 Anwendung findet, gestattet es, daß
die Elektronik noch weiter weg von der schädlichen Umge
bung der Bahnproduktion entfernt angeordnet werden kann.
Weiterhin werden dadurch, daß die Verhältnisse der den
einander gegenüberliegenden Lichtleitern zugeordneten De
tektoren gebildet werden, Änderungen im Reflexionsvermö
gen, die ihrerseits durch Variationen von Farbe, Refle
xionsvermögen oder Änderungen der Lichtdurchlässigkeit
oder dergleichen entstehen können, sowie auch Schmutzbil
dung im wesentlichen ausgeschaltet. Die durch die Anord
nung gemäß Fig. 5 bis 7 erhaltene Abstandsmessung kann
dazu benutzt werden, den Servomechanismus 28 oder einen
ähnlichen Mechanismus mit Energie zu versorgen, um so ei
nen konstanten Abstand beispielsweise zwischen der unteren
Oberfläche der Bahn 14 und der Oberseite der Scheibe 48
aufrechtzuerhalten. Diese Meßtechnik mit Faseroptik kann
auch zur gleichzeitigen Messung von mehr als einer Bahnpo
sition ausgenutzt werden, und zwar unter Verwendung von
multiplen Faserbündeln und Detektorpackanordnungen zusam
men mit Bildbehandlungs-Rechenverfahren.
Es kann auch sein, daß bei dickerem Material eine optische
Triangulations-Abstandsmessung ausreichend empfindlich
ist. Eine solche Methode kann auch dann erforderlich wer
den, wenn die Oberflächenunregelmäßigkeiten des Materials
größer als der dynamische Bereich, der eine höhere Em
pfindlichkeit besitzenden, optischen Entfernungsmeßverfah
ren ist, wie sie oben beschrieben wurden. In Fig. 8 ist
beispielsweise eine Triangulations-Abstandsmeßvorrichtung
110 dargestellt, die eine Laserlichtquelle 112 ein
schließt, die einen Lichtstrahl auf die Oberfläche der
Bahn 14 wirft. Das von der Oberfläche der Bahn 14 reflek
tierte Licht wird durch eine Linse 114 auf die Oberfläche
eines aus vielen Einzelelementen bestehenden Detektors 116
übertragen.
Im Betrieb eines solchen Triangulations-Meßsystems wird
der Punkt auf dem Detektor 116, an dem das reflektierte
Licht auftrifft, durch den Abstand der Bahn 14 von der
Lichtquelle 112 bestimmt. Wenn beispielsweise sich die
Bahn 14 an der Stelle befindet, die in Fig. 8 mit voll
ausgezogenen Linien dargestellt ist, verläuft der reflek
tierte Strahl entlang dem strichpunktiert dargestellten
Weg und trifft an einem ersten Punkt auf den Detektor 116
auf. Wenn die Bahn weiter weg ist, was in Fig. 8 durch
die unterbrochene, gestrichelte Linie dargestellt ist,
verläuft das reflektierte Licht entlang der unterbroche
nen, gestrichelten Linie und trifft auf dem Detektor 116
an einem Punkt auf, der rechts von dem zuvor erwähnten
Punkt liegt, welcher dem strichpunktierten Lichtverlauf
entspricht. Wenn ferner die Bahn 14 näher an der Licht
quelle 112 liegt, wie in Fig. 8 durch die punktierte Li
nie angedeutet, verläuft die reflektierte Strahlung ent
lang der punktierten Linie und trifft auf dem Detektor 116
an einem Punkt auf, der links von dem Punkt liegt, der dem
strichpunktiert dargestellten Lichtverlauf entspricht. Es
wurde gefunden, daß die Auflösung bei der Triangulations-
Methode etwa 2 µ beträgt, und zwar bei einem Rückhalteab
stand von 125 mm und einem Meßbereich von etwa 12,5 mm.
Für größere Meßbereiche ist die Auflösung kleiner. Auch
wenn eine solche kleine Auflösung für Papier und andere
dünne Erzeugnisse nicht angemessen ist, kann sie doch für
dickere Materialien ausreichend sein, beispielsweise Papp
karton und Baumaterial, wie beispielsweise Deckenverklei
dungen. Wiederum können auch die durch Triangulation er
haltenen Meßergebnisse dazu benutzt werden, einen Servome
chanismus wie den Mechanismus 28 zu betreiben.
In Fig. 9 ist eine Ausführungsform eines "on line"-Dik
kensensors dargestellt, der mit dem zu messenden Objekt
keinerlei Berührung hat. Bei der Ausführungsform nach Fi
gur 9 ist der untere Kopf 118 mit dem unteren Kopf 10 der
Ausführungsform gemäß Fig. 1 identisch. Der obere Kopf
120 befindet sich außer Kontakt mit der oberen Oberfläche
der Bahn 14. Dieser obere Kopf 120 beherbergt einen Servo
mechanismus 122, der dem Servomechanismus 28 gemäß Fig. 1
ähnlich ist. Der Konus oder das bewegliche Element 124 des
Servomechanismus 122 trägt zur gleichzeitigen Bewegung mit
ihm einen Ferritkern 126 mit einem peripheren Ringab
schnitt 128 und einem zentralen, allgemein zylindrischen
Abschnitt oder Polstück 130. Das zylindrische Polstück 130
ist mit einer Aussparung 132 zur Aufnahme eines Körpers
134 ausgebildet, der ein Paar von Abstandsmeßeinheiten 136
und 138 trägt, deren Wirkungsweise zu derjenigen der Ein
heiten 40 und 42 gemäß Fig. 1 analog ist. Das Polstück
130 trägt eine Wicklung 140, entsprechend der Wicklung 64
am oberen Kopf 12 in Fig. 1.
Im Betrieb der Ausführungsform gemäß Fig. 1 bilden die
Ferritscheibe 48 und der die Wicklung 64 tragende Kern 56
eine Abstandsmeßvorrichtung, die auf dem Prinzip der vari
ablen Induktanz beruht, bei welcher die Induktanz zwischen
den Leitungen 66 und 68 ein Maß für den Abstand oder die
Trennung zwischen der Scheibe 48 und dem Kern 56 ist. Auf
grund der Tatsache, daß sich der Kopf 12 ständig in Kon
takt mit der oberen Oberfläche der Bahn 14 befindet und
der Kern 56 in einer festen Position am Kopf 54 angeordnet
ist, liegt auch der Kern in einem festen Abstand von der
oberen Oberfläche der Bahn 14.
Wie oben erläutert, steuern die beiden optischen Abstands
meßvorrichtungen 40 und 42 auf diese Weise die Energiever
sorgung des Mechanismus 28, um so einen vorbestimmten Ab
stand zwischen der unteren Oberfläche der Bahn 14 und der
Oberseite der Scheibe 48 aufrechtzuerhalten. Wenn daher
die untere Oberfläche der Bahn 14 dichter an die Oberseite
der Scheibe 48 herankommt, verursachen die Vorrichtungen
40 und 42 ein solches, an die Leitungen 34 und 36 anzule
gendes Signal, welches bewirkt, daß sich die Scheibe 48
von der Bahn 14 wegbewegt. Wenn sich umgekehrt die untere
Oberfläche der Bahn 14 von der Scheibe 48 wegbewegt, wird
der Servomechanismus 28 so betätigt, daß sich die Scheibe
48 näher an die Unterseite der Bahn 14 heranbewegt. Auf
diese Weise wird die Scheibe 48 in einem vorgegebenen Ab
stand von der Unterseite der Bahn 14 gehalten. Der magne
tische Widerstand zwischen den Leitungen 66 und 68 ist ein
Maß des Abstandes zwischen der Scheibe 48 und dem Kern 56.
Da sowohl der Abstand zwischen der Scheibe 48 und der Un
terseite der Bahn 14 als auch der Abstand zwischen dem
Kern 56 und der Oberseite der Bahn 14 konstant gehalten
werden, ist der magnetische Widerstand zwischen den Lei
tungen 66 und 68 ein (direktes) Maß für die Dicke der Bahn
14.
Die Betriebsweise des Kopfes 118 bei der Ausführungsform
gemäß Fig. 9 ist die gleiche wie diejenige des Kopfes 10
in Fig. 1. Die Betriebsweise des Kopfes 120, der sich
außer Berührung mit der Oberseite der Bahn 14 befindet,
ist analog zur der Wirkungsweise des Kopfes 10, und zwar
deshalb, weil der Servomechanismus 122 in Abhängigkeit von
den Ausgangssignalen der beiden Empfänger-/Sender-Einhei
ten 136, 138 zwischen dem Kern 126 und der oberen Oberflä
che der Bahn 14 einen vorbestimmten, konstanten Abstand
aufrechterhält. Da wiederum der Abstand zwischen der Fer
ritplatte des Kopfes 118 und der unteren Oberfläche der
Bahn 14 und der Abstand zwischen dem Kern 126 und der obe
ren Oberfläche der Bahn 14 konstant gehalten werden, ist
der magnetische Widerstand der Wicklung 140 ein direktes
Maß für die Dicke der Bahn 14.
Wie oben ausgeführt, ist leicht einzusehen, daß anstelle
der Vorrichtungen 136 und 138 auch die anderen optischen
Abstandsmeßvorrichtungen gemäß Fig. 5 und 8 eingesetzt
werden können.
Aus dem Voranstehenden ergibt sich, daß ein "on line" ein
setzbarer Apparat zur Messung der Dicke einer Bahn vorge
schlagen wurde, der genauer als bekannte Systeme arbeitet.
Bei der beschriebenen Vorrichtung werden eine oder beide
Abfühlköpfe außer Kontakt mit der Bahn gehalten. Das er
findungsgemäße System arbeitet zuverlässiger als bekannte
Dickenmeßsysteme. Das hier vorgeschlagene System eignet
sich insbesondere für die Messung der Dicke dünner Bahnen
oder Blätter. Eine Bahn- oder Blattbewegung wird kompen
siert in gleicher Weise wie eine Rahmenverformung, Staub
ansammlung, Änderungen im Reflexionsvermögen, Farbschat
tierungen und Wechsel in der Bahnlichtdurchlässigkeit.
Es versteht sich, daß bestimmte Merkmale und Unterkombina
tionen von Merkmalen, wie sie oben beschrieben wurden, in
gleicher Weise nützlich sind und ohne Bezug auf andere
Merkmale und Unterkombinationen eingesetzt werden können.
Auch dies liegt im Schutzbereich der nachstehenden Patent
ansprüche. Es ist ferner offensichtlich, daß zahlreiche
Abwandlungen an Einzelheiten vorgenommen werden können,
die ebenfalls in diesen Schutzbereich fallen.
Claims (16)
1. Verfahren zum Messen der Dicke eines Blattes, einer
Bahn oder dergleichen mit von einander abgewandten
Oberflächen unter Verwendung eines Paares miteinan
der zusammenwirkender Mittel, die ein Ausgangssignal
erzeugen, das seinerseits ein Maß für den gegenseiti
gen Abstand dieser Mittel ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß man jeweils eines dieser Mittel in der Nähe einer der Oberflächen des Blattes oder der Bahn anordnet,
daß man eines dieser Mittel in einem festen Abstand von einer der Oberflächen hält,
daß man den Abstand zwischen der anderen Oberfläche und dem anderen Mittel mißt, und
daß man das andere Mittel in Abhängigkeit von diesem gemessenen Abstand in einem konstanten Abstand von der anderen Oberfläche hält, so daß das Ausgangssig nal der Mittel ein Maß für die Dicke des Blattes, der Bahn oder dergleichen ist.
daß man jeweils eines dieser Mittel in der Nähe einer der Oberflächen des Blattes oder der Bahn anordnet,
daß man eines dieser Mittel in einem festen Abstand von einer der Oberflächen hält,
daß man den Abstand zwischen der anderen Oberfläche und dem anderen Mittel mißt, und
daß man das andere Mittel in Abhängigkeit von diesem gemessenen Abstand in einem konstanten Abstand von der anderen Oberfläche hält, so daß das Ausgangssig nal der Mittel ein Maß für die Dicke des Blattes, der Bahn oder dergleichen ist.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach An
spruch 1 mit einem Paar zusammenwirkender Mittel (10,
12; 118, 120), die ein Ausgangssignal erzeugen, das
seinerseits ein Maß für den Abstand zwischen diesen
Mitteln ist, und mit - gegebenenfalls die Blatt- oder
Bahnoberfläche berührenden - Mitteln (54, 122) zum
Halten eines der zusammenwirkenden Mittel (12, 120)
in einem konstanten Abstand von der einen Oberfläche
des Blattes oder der Bahn (14),
dadurch gekennzeichnet, daß ein Servomechanismus (28,
122) das andere (10; 118) der zusammenwirkenden Mit
tel in einem konstanten Abstand von der anderen Ober
fläche des Blattes oder der Bahn (14) hält und hier
durch das Ausgangssignal der beiden zusammenwirkenden
Mittel (10, 12; 118, 120) ein Maß für die Blatt- oder
Bahndicke ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Servomechanismus (28) optische Mittel (40,
42) zur Messung des Abstandes zwischen dem anderen
Mittel (10) und der anderen Oberfläche der Bahn (14)
umfaßt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Servomechanismus (28) Mittel zur Erzeugung
eines Ausgangssignals in Abhängigkeit von einer Ver
änderung des Abstandes zwischen dem anderen Mittel
(10) und der anderen Oberfläche der Bahn (14) umfaßt,
sowie Mittel, die auf dieses Signal ansprechen, um
das andere Mittel (10) auf den konstanten Abstand von
der Bahn (14) zurückzuführen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß die optischen Mittel Lichtleiter (98,
102, 104, 106, 108) umfassen, die von einer Stelle in
der Nähe der anderen Bahnoberfläche zu einer Stelle
verlaufen, die von der anderen Bahnoberfläche relativ
weit entfernt ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Servomechanismus (28) ein erstes Sender-/Em
pfänger-Paar (40) zur Erzeugung eines ersten Signals
als Maß des Abstandes dieses ersten Paares von der
anderen Bahnoberfläche umfaßt, ferner ein zweites
Sender-/Empfänger-Paar (42) zur Erzeugung eines zwei
ten Signals als Maß des Abstandes des zweiten Paares
von der anderen Bahnoberfläche sowie Mittel zur Befe
stigung des ersten und zweiten Sender-/Empfänger-Paa
res (40, 42) auf dem anderen Mittel (10) in einer
solchen unterschiedlichen Entfernung von der anderen
Bahnoberfläche, daß das andere Mittel (10) sich in
einem konstanten Abstand befindet, wenn die ersten
und zweiten Signale einander gleich sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß der Servomechanismus (28) ein verschiebliches
Glied (30), signalabhängige Mittel (32) zur Verschie
bung dieses Gliedes sowie Mittel umfaßt zum Anlegen
des Unterschiedes zwischen dem ersten und zweiten
Signal an die signalabhängigen Mittel.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß der Servomechanismus ein bewegliches Glied (30),
signalabhängige Mittel (32) zum Verschieben des Glie
des sowie Mittel umfaßt, die ihrerseits Mittel zur
Bestimmung des Verhältnisses des ersten und zweiten
Signals zur Weiterleitung eines Signals zu den sig
nalabhängigen Mitteln umfassen.
9. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Servomechanismus (28) eine Hologramm- oder
Linsenanordnung (100) umfaßt, ferner einen Laser zum
Durchleiten eines Lichtstrahles durch diese Anordnung
auf der anderen Bahnoberfläche sowie Mittel, welche
auf das von dieser Oberfläche reflektierte Licht an
sprechen und ein Maß liefern für die Entfernung der
anderen Mittel (10) von der anderen Bahnoberfläche.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die auf das reflektierte Licht ansprechenden Mit
tel vier Detektoren (90, 92, 94, 96) umfassen, die
symmetrisch um den Laser (88) herum angeordnet sind.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß der Servomechanismus einen zentralen Lichtleiter
(98) umfaßt, der von dem Laser zu einer Stelle in der
Nähe der anderen Bahnoberfläche verläuft sowie Licht
leiter (102, 104, 106, 108), die symmetrisch um den
zentralen Lichtleiter herum angeordnet sind und das
reflektierte Licht von der anderen Bahnoberfläche zu
den Detektoren leitet, wobei die Hologramm- oder Lin
senanordnung an dem Ende des zentralen Lichtleiters
in der Nähe der anderen Bahnoberfläche angeordnet ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Servomechanismus (28) ein optisches Mittel
für die Messung der Entfernung zwischen dem anderen
Mittel und der anderen Bahnoberfläche umfaßt, das
nach der Triangulationsmethode arbeitet.
13. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das erste Mittel (12) einen ferromagnetischen
Kern (56) mit einer Wicklung (64) umfaßt, und daß das
zweite Mittel (12) einen Körper (48) aus ferromagne
tischem Material einschließt.
14. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Blatt, die Bahn (14) oder dergleichen vor
zugsweise während der Dickenmessung mit einer be
stimmten Geschwindigkeit vorläuft, und daß die zusam
menwirkenden Mittel einen ersten Kopf (12) und einen
zweiten Kopf (10) umfassen, wobei der erste Kopf (12)
in Kontakt mit einer Oberfläche der Bahn (14) und der
zweite Kopf (10) außer Kontakt mit der Bahn (14) ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch ei
nen ersten Servomechanismus (122), durch den das er
ste Mittel (120) in einem konstanten Abstand von ei
ner der Oberflächen der Bahn (14) gehalten wird, und
durch einen zweiten Servomechanismus (28), durch den
das zweite Mittel (118) in einem konstanten Abstand
von der anderen Oberfläche der Bahn (14) gehalten
wird, so daß das aus den beiden Mitteln abgeleitete
Signal eine Anzeige der Bahndicke ist.
16. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach An
spruch 1, zum Aufrechterhalten eines konstanten Ab
standes zwischen der Oberfläche eines Körpers und ei
ner vorgegebenen Fläche, gekennzeichnet durch die
Kombination folgender Merkmale:
ein bewegliches Glied (30) zur Abstützung des Körpers (38) zum Zwecke einer Bewegung der Oberfläche des Körpers relativ zu der vorgegebenen Fläche und erste und zweite optische Sender-/Empfänger-Paare (40, 42), die in solchen unterschiedlichen Abständen von der gegebenen Fläche befestigt sind, daß die Oberfläche des Körpers (38) sich in einem konstanten Abstand be findet, wenn die Ausgangssignale der Sender-/Empfän ger-Paare gleich sind.
ein bewegliches Glied (30) zur Abstützung des Körpers (38) zum Zwecke einer Bewegung der Oberfläche des Körpers relativ zu der vorgegebenen Fläche und erste und zweite optische Sender-/Empfänger-Paare (40, 42), die in solchen unterschiedlichen Abständen von der gegebenen Fläche befestigt sind, daß die Oberfläche des Körpers (38) sich in einem konstanten Abstand be findet, wenn die Ausgangssignale der Sender-/Empfän ger-Paare gleich sind.
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---|---|---|---|
US07/819,762 US5327082A (en) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | On line electromagnetic web thickness measuring apparatus incorporating a servomechanism with optical distance measuring |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6242926B1 (en) * | 1999-01-12 | 2001-06-05 | Ipec Precision, Inc. | Method and apparatus for moving an article relative to and between a pair of thickness measuring probes to develop a thickness map for the article |
CA2277855A1 (fr) | 1999-07-14 | 2001-01-14 | Solvision | Methode et systeme de mesure de la hauteur des billes de soudure d'un circuit imprime |
CA2301822A1 (fr) * | 2000-03-24 | 2001-09-24 | 9071 9410 Quebec Inc. | Projection simultanee de plusieurs patrons avec acquisition simultanee pour l'inspection d'objets en trois dimensions |
ITFI20020077A1 (it) * | 2002-05-10 | 2003-11-10 | Galileo Vacuum Systems S R L | Dispositivo per la determinazione dello spessore di uno strato conduttivo |
DE102011106523A1 (de) * | 2011-07-04 | 2013-01-10 | Giesecke & Devrient Gmbh | Prüfgerät und Verfahren zur Kalibrierung eines Prüfgeräts |
US8760669B2 (en) * | 2011-09-30 | 2014-06-24 | Honeywell Asca Inc. | Method of measuring the thickness of a moving web |
CN117589075A (zh) * | 2024-01-18 | 2024-02-23 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 一种极片的涂层厚度检测方法及装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3437449A1 (de) * | 1984-10-12 | 1986-04-17 | Betriebsforschungsinstitut VDEh - Institut für angewandte Forschung GmbH, 4000 Düsseldorf | Vorrichtung zur erfassung von dickenschwankungen bei kaltgewalzten blechen |
DE3523414A1 (de) * | 1985-06-29 | 1987-01-02 | Deuta Werke Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum messen insbesondere der dicke oder breite von koerpern, insbesondere von platten, folien, strangprofilen oder dergleichen |
DE3642377A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Sensodec Oy | Verfahren und vorrichtung zur abmessung der dicke einer folien- oder blattartigen materialbahn |
DE4011717A1 (de) * | 1990-04-11 | 1991-10-17 | Micro Epsilon Messtechnik | Verfahren zum kalibrieren einer dickenmesseinrichtung und dickenmesseinrichtung zur dickenmessung bzw. ueberwachung von schichtdicken, baendern, folien o. dgl. |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3125624A (en) * | 1964-03-17 | Illig | ||
US3137756A (en) * | 1957-10-31 | 1964-06-16 | Zeiss Carl | Device for determining the dimensions of an object |
US3258686A (en) * | 1964-08-28 | 1966-06-28 | Automatic Control Devices Inc | Magnetic and optical differential thickness measuring instrument |
US3536405A (en) * | 1968-06-12 | 1970-10-27 | Singer General Precision | Optical thickness gauge |
US3671726A (en) * | 1969-05-23 | 1972-06-20 | Morvue Inc | Electro-optical apparatus for precise on-line measurement of the thickness of moving strip material |
US4053234A (en) * | 1975-02-18 | 1977-10-11 | United Biscuits Limited | Thickness measurement |
US4107606A (en) * | 1976-12-14 | 1978-08-15 | Measurex Corporation | Non-contacting electromagnetic thickness gauge for sheet measurement having improved small distance sensitivity |
GB2035566B (en) * | 1977-06-23 | 1982-04-07 | Williamson D | Thickness measuring apparatus |
US4276480A (en) * | 1979-09-28 | 1981-06-30 | Accuray Corporation | Sensor position independent material property determination using radiant energy |
CH650077A5 (de) * | 1980-09-15 | 1985-06-28 | Buehler Ag Geb | Verfahren und vorrichtung zum messen der dicke der produktschicht auf einer walze eines walzwerkes zum feinverreiben. |
DE3116892C2 (de) * | 1981-04-24 | 1985-01-31 | Mannesmann AG, 4000 Düsseldorf | Vorrichtung zur berührungslosen Nachführung einer Einrichtung in bezug auf ein Rohr |
US4528507A (en) * | 1981-10-26 | 1985-07-09 | Accuray Corporation | Sheet measuring apparatus with two structurally isolated non-contacting surface follower bodies and wireless signal transmission |
US4449398A (en) * | 1982-06-24 | 1984-05-22 | Accuray Corporation | Sheet property sensor with sheet wrinkle remover |
GB2167179A (en) * | 1984-11-09 | 1986-05-21 | Sonoco Products Co | Web caliper measurement |
US4849694A (en) * | 1986-10-27 | 1989-07-18 | Nanometrics, Incorporated | Thickness measurements of thin conductive films |
US4791367A (en) * | 1987-07-15 | 1988-12-13 | Impact Systems, Inc. | Contacting thickness gauge for moving sheet material |
US5074050A (en) * | 1987-12-29 | 1991-12-24 | Accuray Corporation | Sheet-contacting thickness gauges |
US5021666A (en) * | 1989-09-14 | 1991-06-04 | Barber-Colman Company | Pass-line independent web measuring method and apparatus |
JPH03129310A (ja) * | 1989-10-14 | 1991-06-03 | Canon Inc | 距離検出光学系 |
US5162661A (en) * | 1990-02-08 | 1992-11-10 | Pioneer Electronic Corporation | Position detector for maintaining a fixed distance between two objects |
DE4011646A1 (de) * | 1990-04-11 | 1991-10-24 | Micro Epsilon Messtechnik | Dickenmesseinrichtung |
US5132619A (en) * | 1991-05-31 | 1992-07-21 | Impact Systems, Inc. | Thickness gauge having a low unsprung weight for moving sheet material for lightweight paper |
-
1992
- 1992-01-13 US US07/819,762 patent/US5327082A/en not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-01-08 DE DE4300290A patent/DE4300290A1/de not_active Withdrawn
- 1993-01-12 CA CA002087155A patent/CA2087155A1/en not_active Abandoned
- 1993-01-13 FI FI930129A patent/FI930129A/fi unknown
- 1993-01-13 FR FR9300217A patent/FR2689624B1/fr not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3437449A1 (de) * | 1984-10-12 | 1986-04-17 | Betriebsforschungsinstitut VDEh - Institut für angewandte Forschung GmbH, 4000 Düsseldorf | Vorrichtung zur erfassung von dickenschwankungen bei kaltgewalzten blechen |
DE3523414A1 (de) * | 1985-06-29 | 1987-01-02 | Deuta Werke Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum messen insbesondere der dicke oder breite von koerpern, insbesondere von platten, folien, strangprofilen oder dergleichen |
DE3642377A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Sensodec Oy | Verfahren und vorrichtung zur abmessung der dicke einer folien- oder blattartigen materialbahn |
DE4011717A1 (de) * | 1990-04-11 | 1991-10-17 | Micro Epsilon Messtechnik | Verfahren zum kalibrieren einer dickenmesseinrichtung und dickenmesseinrichtung zur dickenmessung bzw. ueberwachung von schichtdicken, baendern, folien o. dgl. |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP 63-30708 A. In: Patents Abstracts of Japan, P-726, July 7, 1988, Vol. 12/No. 238 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI930129A0 (fi) | 1993-01-13 |
FI930129A (fi) | 1993-07-14 |
US5327082A (en) | 1994-07-05 |
FR2689624B1 (fr) | 1995-09-01 |
FR2689624A1 (fr) | 1993-10-08 |
CA2087155A1 (en) | 1993-07-14 |
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