DE4130135C2 - Verfahren zur Herstellung von Formkörpern für Mikroelektrodenarrays - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Formkörpern für Mikroelektrodenarrays

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Formkörpern für Mikroelektrodenarrays aus Glas oder thermo­ plastischen Werkstoffen.
Elektroden mit beispielsweise flächiger, zylindrischer oder halbkugelförmiger Geometrie und Durchmessern im Bereich weni­ ger µm (Mikroelektroden "mit Durchmessern, die erheblich kleiner sind als die Dicke der Diffusionsschicht"), haben vor allem wegen der interessanten Charakteristik des Stofftrans­ portes zu und von diesen Elektroden, sowie wegen des großen Wertes der Verhältniszahl iF/iC (iF = Faraday'scher Strom/iC = kapazitiver Strom) zahlreiche Anwendungen in der Elektroche­ mie gefunden. Diese Anwendungen werden beispielsweise be­ schrieben in R. M. Wightman, Anal. Chem., 53 (1981) 1125 R und "Ultramicroelectrodes", M. Fleischmann, S. Pons, D. R. Roison, P. Schmidt, Datech Science, Morganton, North-Carolina, 1987.
Die bisherigen Herstellungsverfahren von Mikroelektroden und deren Handhabung erfordern allerdings einen erheblichen Auf­ wand und großes manuelles Geschick. Ein besonderer Nachteil solcher Mikroelektroden ist der Umstand, daß die an solchen Elektroden fließenden Ströme meist in der Größenordnung des sub-Nanoampere-Bereiches liegen und mit elektrochemischen Meßinstrumenten herkömmlicher Bauart kaum mehr gemessen wer­ den können.
Für präparative Elektrolysen sind die einzelnen Mikroelektro­ den wegen der geringeren Stoffumsätze gänzlich ungeeignet, obwohl aufgrund der geringen Verweilzeiten der Produkte und Edukte elektrochemischer Synthesen an der Elektrodenoberflä­ che häufig ganz andere Produktverteilungen als an Makroelek­ troden erhalten werden (M. I. Montenegro in: "Microelectrodes - Theory and Applications", Kluwer Academic Publisher, Dord­ recht 1991, S. 429).
Die Kombination der Vorzüge von Mikroelektroden mit denen von normalen Makroelektroden ist durch ein Ensemble von Mikroelektroden, sogenannten Mikroelektrodenarrays, möglich. Mikroelektrodenarrays sind beispielsweise durch Bündelung von einzelnen Mikroelektroden erhältlich, so daß bei analy­ tischen Anwendungen gegenüber den Einzelelektroden der meß­ technische Aufwand verringert wird und außerdem auch präpa­ rativ interessante Stoffumsätze erzielt werden können.
Innerhalb des Standes der Technik wird häufig von Versuchen zu unterschiedlichen Fertigungsmethoden von Mikroelektroden­ arrays berichtet. Ziel waren dabei immer elektronenleitende Strukturen, deren typische Durchmesser im Bereich von 1-10 µm liegen, und die ebenfalls typischerweise von Isolatorbe­ reichen mit einer Breite von 10-100 µm umgeben sind. Eine weitere Anforderung wurde an die Elektrodenoberfläche ge­ stellt: diese durfte nicht zu porös sein, da sich sonst die gewünschten Diffusionsverhältnisse nicht mehr einstellen konnten.
Da bei diffusionskontrollierten Elektrodenreaktionen die er­ reichbaren Stromdichten an Mikroelektrodenarrays nicht sehr viel niedriger liegen als an Makroelektroden, ist die Her­ stellung von Edelmetall-Mikroelektrodenarrays wirtschaftlich besonders interessant.
Innerhalb des Standes der Technik werden lithographische Verfahren bzw. Aufdampfverfahren, die zur Herstellung lei­ tender Mikrostrukturen auf isolierender Umgebung genutzt werden können, beschrieben; beispielsweise durch C. E. Chid­ sey, B. J. Feldmann, C. Lundgren, R.W. Murray, Anal. Chem., 58 (1986) 601. In solchen Elektrodenarrays ist das leitende Material nur in dünner Schicht vorhanden. Diese sind daher sehr korrosionsempfindlich und außerdem sehr teuer in der Herstellung, insbesondere wenn Arrays mit großen Flächen be­ nötigt werden.
Ein weiterer innerhalb des Standes der Technik bekannter Her­ stellungsweg besteht in der Bündelung leitfähiger Fasern in einer Kunststoff-Matrix (K. Morita, Y. Shimizu, Anal. Chem., 61 (1989) 159). Relativ großflächige Elektrodenarrays sind durch das Füllen mikroporöser Membranen mit leitfähigen Mate­ rialien hergestellt worden (R. M. Penner, C. R. Martin, Anal. Chem., 59 (1987) 2625). Bei diesem Herstellungsweg fallen die Elektrodenarrays in Form von Filmen an, deren Dicken typi­ scherweise um 50 µm liegen. Andere Formen sind mit diesem Herstellungsweg kaum zugänglich. Wegen der Empfindlichkeit der dünnen Filme ist eine mechanische Reinigung der Elektro­ den schlecht möglich.
Es sind weiterhin Verfahren bekannt, bei denen durch Auffül­ len der Poren schwammartiger elektronenleitender Materialien mit Kunstharzen Mikroelektrodenarrays herstellbar sind (R. C. Engstrom, Anal. Chem., 56 (1984) 990).
Generell bieten die bekannten Verfahren zur Herstellung von Mikroelektrodenarrays nur wenige Möglichkeiten bei der Aus­ wahl der leitenden bzw. isolierenden Materialien, sowie bei der Gestaltung der Dimensionen der Leiterzüge bzw. Isolato­ renbereiche an.
Der vorliegenden Erfindung liegt von daher das Problem zu­ grunde, die Nachteile des Standes der Technik zu vermeiden und ein geeignetes Herstellungsverfahren von Formkörpern für Mikroelektrodenarrays bereitzustellen, das sich dadurch aus­ zeichnet, daß eine Vielzahl von Metallen und Isolatoren als Ausgangsmaterialien eingesetzt werden können.
Das Problem wird durch das Verfahren nach dem Anspruch 1 ge­ löst. Die Ansprüche 2 bis 8 sind vorteilhafte Ausgestaltun­ gen.
Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich durch die fol­ genden Schritte aus:
  • a) Kontaktieren eines thermoplastischen Werkstoffes oder von Glas mit einem Aktivator,
  • b) Metallisieren des Glases oder thermoplastischen Werk­ stoffes mittels eines chemischen und/oder galvanischen Metallabscheidungsbades,
  • c) Sintern oder Schmelzen des metallisierten Glases oder thermoplastischen Werkstoffes zur Bildung eines Formkör­ pers.
Unterschiedliche leitfähige Materialien lassen sich nach dem Verfahren vielfältig mit den Isolatormaterialien, je nach An­ wendungsgebiet der Arrays, kombinieren. Weiterhin können zur Herstellung der Mikroelektrodenarrays kommerziell er­ hältliche Erzeugnisse, wie Aktivatoren-Lösungen, chemisch­ reduktive und/oder galvanische Metallabscheidungslösungen, benutzt werden. Das Verfahren eignet sich besonders zur Her­ stellung solcher Elektroden, die mit schmalen, parallel ge­ schalteten und durch Isolatoren getrennten Leiterzügen ausge­ stattet sind. Diese Elektroden lassen sich bevorzugt in der Elektroanalytik und Elektrosynthese einsetzen.
Als Isolatorenmaterialien eignen sich Glas oder solche Isola­ toren, die bei Raumtemperatur in Pulverform beständig sind und die thermoplastische Eigenschaften besitzen, beispielsweise Polypropylen oder Polystyrol. Dieses thermoplastische, pulver­ förmige Isolatormaterial wird mit einem Aktivator, beispiels­ weise einer Aktivatorenlösung, in Kontakt gebracht. Als Akti­ vatoren eignen sich besonders die edelmetallhaltigen Derivate, beschrieben beispielsweise in den Schriften EP 0 317 092 A1 und DE 39 38 710 A1. Der auf der Oberfläche des Pulvers be­ findliche Aktivator kann anschließend in vorteilhafter Weise mit den in der Galvanotechnik üblichen Reduktionsmitteln redu­ ziert werden. Anschließend wird das so vorbereitete Pul­ ver mit einer chemischen und/oder galvanischen Metallabschei­ dungslösung in Kontakt gebracht. Als Lösungen eignen sich sämtliche bekannten Metallabscheidungslösungen. Das partiell metallisierte Pulver wird durch geeignete Methoden von den Behandlungslösungen getrennt und einem Sinter- oder Schmelz­ prozeß zur Formgebung unterzogen. In vorteilhafter Weise kön­ nen die erhaltenen Formkörper auch geschliffen werden.
Prinzipiell können die thermoplastischen Isolatormaterialien oder das Glas auch auf anderen Wegen als mit der oben be­ schriebenen Metallisierungsmethode umhüllt werden. Insbeson­ dere Elektronenleiter, die sich nicht durch chemische oder galvanische Prozesse abscheiden lassen, können notfalls auch durch andere Beschichtungsprozesse (z. B. Abscheidung aus der Gasphase, Adsorption aus Lösungen mit hochgradig dispergierten Elektronenleitern oder rein mechanisch durch intensives Ver­ reiben) auf die thermoplastischen Isolatormaterialien aufge­ bracht werden.
Dieser einfache und kostengünstige und allgemein gangbare Her­ stellungsweg zu Mikroelektrodenarrays mit beliebig einstell­ baren Dimensionen sowohl der Leiterzüge als auch der isolie­ renden Bereiche, führt also über das Beschichten thermoplasti­ scher Isolatormaterialien (beispielsweise auch von Kunstharzen mit guter chemischer Beständigkeit) oder von Glas mit elek­ tronenleitenden Stoffen (Metalle, Metallverbindungen, Kohlen­ stoff). Die so erhaltenen leitend umhüllten Thermoplaste kön­ nen anschließend bei ihrer Erweichungstemperatur zu beliebigen Formkörpern verpreßt werden. Bei diesem Preßvorgang werden die leitenden Umhüllungen der Thermoplaste stellenweise beschä­ digt, so daß das thermoplastische Material die Umhüllung durchdringen und mit dem aus benachbarten Umhüllungen eben­ falls austretenden Material sich vereinigen und beim Erkalten einen monolithischen Formkörper bilden kann.
Andererseits sind auch die leitenden Umhüllungen der Thermo­ plaste in innigem Kontakt, so daß sich ein dreidimensionales elektronenleitendes Netzwerk bildet, das durch das thermo­ plastische Material gestützt wird. Besonders gute Ergebnisse erhält man, wenn das umhüllende leitfähige Material eine hohe Duktilität aufweist, beispielsweise bei Verwendung von Kupfer, Silber oder Gold.
Die Oberflächen der so hergestellten Formkörper haben bereits ohne weitere Nachbehandlung die Eigenschaften eines Mikroelek­ trodenarrays, wobei allerdings noch relativ viele flächige und damit ungünstig große leitende Bereiche vorhanden sind. Durch das Abschleifen dieser Oberflächen läßt sich aber dann ein Netzwerk freilegen, worin die Abmessungen der elektronenlei­ tenden Stege durch die Dicke der Beschichtung des thermopla­ stischen Materials und die Abmessungen der isolierenden Berei­ che durch die Größe der thermoplastischen Partikel bestimmt sind.
Der Herstellungsvorgang ist in der Fig. 1 verdeutlicht, die nach rasterelektronenmikroskopischen Aufnahmen gezeichnet wur­ de und am Beispiel eines Polypropylenpulvers (Isolator (1)), das mit Kupfer (Elektronenleiter (2)) beschichtet, verpreßt und angeschliffen wurde, das resultierende mit Polypropylen gestützte Kupfer-Netzwerk zeigt.
Da besonders bei dünnen Leiterstegen der elektrische Wider­ stand des erfindungsgemäßen Mikroelektrodenarrays für präpa­ rative Elektrolysen zu groß sein kann, ist es zu empfehlen, die oben genannten Formkörper mit einem Kern aus gut leitfä­ higem Material zu versehen. Dieser Kern, beispielsweise ein Streckmetall, kann dabei gleichzeitig auch Stützfunktionen übernehmen. Das Verfahren ist nicht auf pulverförmige Thermo­ plaste als Grundlage beschränkt. Durch leitendes Beschichten von Fasern oder Folien aus thermoplastischen Materialien und anschließendes Verpressen bei der Erweichungstemperatur können insbesondere durch die Kombination von gerichteten Stapeln oder Wickeln der beschichteten Thermoplaste und später gerich­ tetem Anschleifen gezielt texturierte Mikroelektrodenarrays mit beispielsweise konzentrischer oder laminarer Anordnung der Leiterstege geschaffen werden.
Varianten der Mikroelektrodenarrays können durch weiteres Ab­ scheiden von Elektronenleitern auf den wie oben beschrieben hergestellten Elektroden erhalten werden. Dieses "Aufdicken" der Leiterzüge, das zu einer Verbreiterung, aber vor allem auch zum Hervortreten der Leiterzüge aus der Oberfläche des Isolatormaterials führt, kann galvanisch oder durch chemische Metallabscheidungsprozesse erfolgen. Dieses "Aufdicken" ist besonders interessant, wenn an der Elektrodenoberfläche teure Materialien, beispielsweise Edelmetalle eingesetzt werden sol­ len. Durch anodisches oder chemisches "Rückätzen" der Leiter­ züge vor dem "Aufdicken" mit anderen Materialien kann deren Verankerung noch verbessert werden.
Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Elek­ troden lassen sich für analytische und präparative Anwendungen einsetzen. So sind die in Beispiel 3 beschriebenen Gold- Mikroelektrodenarrays mit Glasmatrix für voltametrische Mes­ sungen geeignet. Elektroden mit einem tablettenförmigen Elektrodenkopf aus bei erhöhter Temperatur gepreßtem, vergol­ detem Glaspulver können dank ihrer Robustheit problemlos ge­ handhabt und durch Schleifen bzw. Polieren immer wieder ge­ reinigt werden. Bei einem Kopfdurchmesser von 1 cm liegen die erreichbaren Ströme um mehrere Größenordnungen über denen ein­ zelner Gold-Mikroelektroden und sind damit leicht meßbar.
Eine präparative Anwendung wurde für die in Beispiel 1 be­ schriebenen Kupfer-Mikroelektrodenarrays mit Polypropylenma­ trix gefunden. Bei der Metallabscheidung aus ungerührten Lö­ sungen (beispielsweise der Abscheidung von Kupfer aus handels­ üblichen sauren Kupferbädern) entsteht aufgrund der besonderen Diffusionsverhältnisse hochdisperses Kupferpulver, das durch eine Art "Scheibenwischermechanismus" kontinuierlich abge­ streift werden kann.
Gemäß der vorliegenden Erfindung können insbesondere handels­ übliche edelmetallhaltige Lösungen zur Aktivierung von Isola­ torenoberflächen zur Vorbereitung einer chemischen Metallab­ scheidung sowie chemische und galvanische Metallab­ scheidungsbäder zur Herstellung von Mikroelektrodenarrays eingesetzt werden.
Die folgenden Beispiele dienen zur Erläuterung der Erfin­ dung:
Beispiel 1
Käuflich erhältliches Polypropylenpulver mit einem mittleren Partikeldurchmesser von etwa 30 µm wird mit einer Vortauch­ lösung (Neoganth BR der Firma Atotech Deutschland GmbH, Ber­ lin, Deutschland) behandelt. Die Konzentration des Polypro­ pylenpulvers beträgt etwa 10 bis 20 g Pulver pro Liter Lö­ sung. Nach intensivem Verrühren wird das Polypropylenpulver abfiltriert und ohne Spülung und Lagerung wie folgt weiter­ behandelt:
Das so erhaltene Pulver wird nun mit der Palladiumaktivator­ lösung (Neoganth BR der Firma Atotech Deutschland GmbH) be­ handelt. Nach intensivem Rühren wird das Pulver erneut ab­ filtriert, das Filtrat erneut in Wasser aufgeschlämmt und ein zweites Mal abfiltriert. Das so behandelte Material wird einer nachfolgenden Reduktion unterzogen:
Zu einer Suspension des so vorbehandelten Polypropylenpul­ vers werden 4 g pro Liter Natriumhydroxid und 1 g pro Liter Natriumborhydrid zugesetzt. Bei einer Badtemperatur von 20-25°C wird ca. 6 Minuten lang reduziert. Anschließend wird das Pulver abfiltriert, mit Wasser gewaschen und gegebenen­ falls im Vakuum getrocknet und gegebenenfalls unter Argon gelagert.
Zur Verkupferung des so erhaltenen aktivierten Polypropylen­ pulvers wird ein chemisches Kupferbad (NoviganthR der Firma Atotech Deutschland GmbH) verwendet. Die Verkupferung er­ folgt mit einem Ansatz von 1 bis 15 g Pulver pro Liter Kup­ ferbad, abhängig von der gewünschten Schichtdicke und gege­ benenfalls unter Argon als Schutzgas. Entgegen der Be­ triebsanleitung des Bades werden die Badparameter bezüglich des Kupfergehaltes nicht kontrolliert, sondern das Bad bis zur Entfärbung der Lösung benutzt. Anschließend wird das verkupferte Pulver abgesaugt, mit Wasser gewaschen und im Vakuum getrocknet.
Das so erhaltene verkupferte Pulver wird zu Formkörpern ver­ arbeitet. Die Formgebung geschieht mit einem Preßwerkzeug. In dieses Werkzeug wird die entsprechende Menge Pulver ein­ gebracht, das Pulver langsam und schrittweise innerhalb von 30 Minuten bis zum maximal für das Werkzeug zulässigen Preß­ druck gepreßt (mindestens 2 t/cm2). Ist dieser Preßdruck erreicht, wird der Druck für weitere 30 Minuten konstant gehalten. Das im Preßwerkzeug befindliche Polypropylenpulver wird anschließend in einen auf 210°C vorgeheizten Ofen gebracht und 30 Minuten lang getempert. Nach dem Abkühlen auf Raumtemperatur wird der Elektrodenrohling dem Ofen ent­ nommen.
Gegebenenfalls kann der Rohling auf den vorgesehenen Elek­ trodenflächen abgeschliffen und poliert werden. Die übrigen Elektrodenflächen werden nach Aufrauhung mit einem Zweikom­ ponenten-Epoxid-Kleber isoliert.
Die Kontaktierung des erhaltenen Formkörpers kann wahlweise durch das Einpressen und Einschmelzen eines Anschlusses, durch das Aufpressen und Aufschmelzen auf eine leitfähige Unterlage oder durch das Aufkleben der Elektroden mittels eines leitfähigen Klebers geschehen.
Beispiel 2
Analog Beispiel 1 wird das mit einer Edelmetallösung akti­ vierte Polypropylenpulver mit einem chemischen Nickelbad, beispielsweise NikoraR der Firma Atotech Deutschland GmbH, vernickelt. Es wird in einer Konzentration von 4 g aktiver­ tem Poylpropylenpulver pro Liter Lösung gearbeitet.
Beispiel 3
Glaspulver wird mittels thermischer Zersetzung einer ange­ säuerten Palladiumnitrat-Lösung aktiviert. Dazu werden die Pulveroberflächen zur Erhöhung der Benetzbarkeit zunächst mit Flußsäure angeätzt und anschließend mit destilliertem Wasser gespült. Nach dem Trocknen wird das Pulver gleichmä­ ßig mit einer 0,4%igen acetatgepufferten Palladiumnnitrat- Lösung befeuchtet und danach bei 85°C getrocknet. Das Pul­ ver wird anschließend für 15 Minuten auf 450°C erwärmt. Nach dem Abkühlen gibt man das so behandelte Pulver in eine Reduktionslösung, bestehend aus 4 g Natriumhydroxid pro Liter und 1,0 g Natriumborhydrid pro Liter. Nach 10 Minuten Reaktionszeit wird das Pulver abgetrennt und mit destillier­ tem Wasser gespült. Das so aktivierte Glaspulver wird mit einer Lösung, bestehend aus 0,02 mol Kaliumdicyanoaurat-(II) pro Liter, 0,1 mol Kaliumcyanid pro Liter, 0,2 mol Kalium­ hydroxid pro Liter und 0,2 mol Kaliumborhydrid pro Liter unter Argon als Schutzgas vergoldet. Die Vergoldung erfolgt bei 70°C und unter Rühren und Einblasen von Argon. Nach dem Vergolden wird das Pulver abfiltriert, mit destilliertem Wasser gespült, getrocknet und wie beschrieben geformt.
Beispiel 4
Eine Polypropylen-Kupfer-Elektrode wird gemäß Beispiel 1 hergestellt. Die Leiterstege werden durch galvanisches Ver­ golden mit einem handelsüblichen cyanidischen Goldbad aus der Schliffebene um ca. 2 µm hervorgehoben. Die Nachvergol­ dung erfolgt bei einer Stromdichte von 2 mA/cm2 (bezogen auf die Gesamtoberfläche des Schliffkörpers) innerhalb von 2 Minuten. Die so erhaltene Elektrode verhält sich bei volta­ metrischen Messungen wie eine reine Goldelektrode.

Claims (8)

1. Verfahren zur Herstellung von Formkörpern für Mikroelek­ trodenarrays aus Glas oder thermoplastischen Werkstoffen, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
  • a) Kontaktieren des Glases oder thermoplastischen Werkstof­ fes mit einem Aktivator,
  • b) Metallisieren des Glases oder thermoplastischen Werk­ stoffes mittels eines chemischen Metallabscheidungsba­ des,
  • c) Sintern oder Schmelzen des Glases oder thermoplastischen Werkstoffes zur Bildung des Formkörpers.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Kontaktieren mit einem Aktivator das Glas oder der thermoplastische Werkstoff vor dem Verfahrensschritt b) mit einem Reduktionsmittel behandelt wird.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der gebildete Formkörper geschliffen wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Glas oder die thermoplastischen Werk­ stoffe in Form von Pulvern, Folien oder Fasern vorliegen, wobei die Teilchendurchmesser bzw. die Dicken der Fasern und Folien zwischen 5 und 500 µm liegen.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß auf das Glas oder die thermoplastischen Werkstoffe beim Metallisieren Metalle in einer Schichtdicke von 0,05 bis 50 µm aufgebracht werden.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß edelmetallhaltige Lösungen zur Aktivierung der Oberfläche von Isolatormaterialien verwendet werden.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Verfahrensschritt b) chemisch reduktive und/oder galvanische Metallabscheidungsbäder verwendet werden.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Formkörper anschließend mit Anschluß­ elektroden versehen werden.
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