DE4123081A1 - Tastkopf vom schaltenden typ - Google Patents
Tastkopf vom schaltenden typInfo
- Publication number
- DE4123081A1 DE4123081A1 DE4123081A DE4123081A DE4123081A1 DE 4123081 A1 DE4123081 A1 DE 4123081A1 DE 4123081 A DE4123081 A DE 4123081A DE 4123081 A DE4123081 A DE 4123081A DE 4123081 A1 DE4123081 A1 DE 4123081A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- leaf spring
- probe according
- probe
- spring
- biased
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/002—Constructional details of contacts for gauges actuating one or more contacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
- G01B3/008—Arrangements for controlling the measuring force
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Tastkopf vom schaltenden Typ,
wie er beispielsweise in Koordinatenmeßgeräten oder für das
Messen von Werkstücken auf Bearbeitungsmaschinen verwendet
wird. Ein solcher Tastkopf ist beispielsweise in der
US-PS 41 77 568 beschrieben.
Tastköpfe vom schaltenden Typ besitzen eine Lagerung, die die
Nullstellung des Taststiftträgers hochgenau festlegt, in der
sich der Taststiftträger, d. h. das bewegliche Teil des Tast
kopfes vor einem Antastvorgang befindet und in die es nach
jedem Antastvorgang wieder zurückkehrt. Diese Lagerung ist in
der Regel als statisch bestimmtes Dreipunktlager ausgebildet
und besteht beispielsweise aus drei in einer Ebene liegenden
Kugelpaaren, in welche radial abstehende Zylinder einrasten,
oder aus drei V-artige Kerben, in die drei Kugeln einrasten
oder anderen, hierzu technisch äquivalenten Ausführungs
formen. Alle diese Lagerungen haben aber den Nachteil, daß
aufgrund der üblichen Federvorspannung des beweglichen Teils
die Auslenkkraft bei seitlicher Antastung sehr unsymmetrisch
ist, da der Taststiftträger je nach Antastrichtung einmal
über einen Lagerpunkt und das andere Mal über die näher an
der Taststiftachse liegende Verbindungslinie zweier Lager
punkte kippen kann. Aufgrund dieser ungleichen Antastkräfte
ergeben sich Meßunsicherheiten, da unterschiedliche Antast
kräfte auch verschieden starke Durchbiegungen der Tastelemen
te zur Folge haben, bevor der Antastimpuls erzeugt wird, der
die Lage der angetasteten Werkstückoberfläche charakterisiert.
Das angesprochene Problem ist bereits bekannt und es hat
nicht an Versuchen gefehlt, das Problem durch statisch über
bestimmte Lagerungen für den beweglichen Teil des Tastkopfes
zu lösen, indem der Taststiftträger entweder auf sehr viele
Punkte oder auf ein ringförmiges Lagerteil aufgelegt wird.
Beispielsweise ist in der DE-OS 19 37 154 ein Kopierfühler
beschrieben, dessen bewegliches Teil im Bereich der Lagerung
tellerförmig ausgebildet ist und mit seinem Außenumfang auf
einer ringförmigen Auflage am festen Teil des Kopierfühlers
liegt. In der Ringebene zentriert und axial gegen die Ring
auflage vorgespannt wird dort das bewegliche Teil durch eine
zweilagige Membran. Dazu sind die beiden Einzelmembranen in
Ruhestellung etwas gegeneinander aufgeweitet. Hierdurch be
dingt ergeben sich jedoch relativ schlechte Werte für die
Zentrierstabilität. Außerdem sind die beiden Einzelmembranen
an ihrem Rand miteinander verbunden, wodurch sich nur relativ
geringe Auslenkbewegungen realisieren lassen, wenn die
Membran nicht überdehnt werden soll.
In der US-PS 35 66 479 ist ein Tastkopf, allerdings vom
messenden Typ beschrieben, dessen bewegliches Teil durch eine
Membran zentriert wird (Fig. 14). Die am beweglichen Teil
befestigte, einlagige Membran liegt in Ruhestellung auf einem
Ringbund am festen Teil auf bzw. ist gegen diesen vorge
spannt. Die dort beschriebene Art der Lagerung erlaubt
allerdings auch nur geringe Auslenkwege und legt die
Winkellage des beweglichen Teils in seiner Ruhestellung auf
grund des geringen Durchmessers des Ringbunds und des
radialen Abstandes zwischen dem beweglichen Teil und dem
Ringbund nur mit sehr geringer Genauigkeit fest.
In der EP-A2- 03 03 831 ist ein Tastkopf vom schaltenden Typ
beschrieben, dessen Taststiftträger durch fünf übereinander
liegende Scheiben zentriert wird, die jeweils paarweise an
den Enden miteinander verbunden sind und ein Abklappen des
Taststiftträgers über definierte parallel zu den Koordinaten
richtungen liegende Achsen gestattet. In Richtung der Tast
stiftachse liegt der Taststiftträger jedoch auf drei oder
vier Stützpunkten auf. Auch dieser bekannte Tastkopf be
friedigt hinsichtlich der Rückstellgenauigkeit des Taststift
trägers in der Ebene, d. h. bezüglich der Zentriergenauigkeit
sowie der Gleichförmigkeit der Antastkraft nicht. Außerdem
baut er aufgrund der rechtwinkligen Anordnung der Kippachsen
relativ groß.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen
möglichst einfach aufgebauten Tastkopf vom schaltenden Typ zu
schaffen, dessen Antastkräfte unabhängig von der Antast
richtung sind und bei dem die Nullstellung des Taststift
trägers möglichst genau bzw. stabil reproduziert wird.
Diese Aufgabe wird durch einen Tastkopf vom schaltenden Typ
gelöst, dessen auslenkbares, den Taststift tragendes Teil in
Ruhestellung durch ein Membran- bzw. Blattfederteil zentriert
wird und axial gegen das feste Teil des Tastkopfs vorgespannt
ist, an dem es mittelbar über das Membran- bzw. Blattfeder
teil anliegt, wobei dieses aus mehreren aufeinanderliegenden
Einzelmembranen bzw. Blattfederringen besteht, die ab
schnittsweise miteinander verbunden sind und sich mit ihren
Planflächen axial direkt aufeinander sowie am festen Teil und
am beweglichen Teil abstützen.
Die erfindungsgemäße Lagerung gehört zur Gruppe der statisch
überbestimmten Lagerungen. Ihr liegt der Gedanke zugrunde,
alle Freiheitsgrade mit nur einem Bauteil aufzunehmen. Dieses
Bauteil ist aus mehreren aufeinander aufliegenden Einzel
membranen bzw. Federringen gebildet. Da die Federringe in der
Nullstellung des Taststiftträgers plan aufeinanderliegen, ist
das Bauteil in der Ebene sehr steif und deshalb ergibt sich
eine hohe Rückstellgenauigkeit für den Taststiftträger.
Dennoch lassen sich große Auslenkwege des Taststifts
realisieren, ohne daß die Gefahr einer irreversiblen Ver
formung der Membran besteht.
Das bewegliche Teil des Tastkopfes, d. h. der Taststiftträger
kann gegen das feste Teil wie üblich mit Hilfe einer Feder
oder durch Magnetkräfte vorgespannt werden.
Die Federkräfte können auch durch die Eigenelastizität der
Membran bzw. des Blattfederteils aufgebracht werden. Das hat
den Vorteil, daß auf eine zusätzliche Feder verzichtet werden
kann und der Tastkopf damit kürzer baut, da nach Wegfall
einer separaten Druckfeder deren Blocklänge sowie die
Baulänge der Halteteile eingespart werden kann.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn das bewegliche Teil durch
die Federkraft der Eigenelastizität der Membran und
zusätzlich mittels Magnetkräfte gegen das feste Teil
vorgespannt wird. Denn durch die Überlagerung der Federkraft
und der Magnetkraft läßt sich eine nahezu konstante oder
sogar fallende Kraftkennlinie realisieren, d. h. die
Antastkraft bleibt konstant bzw. nimmt mit steigender
Auslenkung ab. Damit sind die sonst bei Vorspannung mit Hilfe
einer Druckfeder auftretenden Probleme wie z. B. die
Beschädigung empfindlicher Oberflächen durch das Tastelement,
das Abbrechen feiner Taststifte etc., vermieden.
Für das Aufbringen der Magnetkraft sind keine weiteren Zu
satzelemente erforderlich, da es genügt, den beweglichen
Taststiftträger, bzw. die Federringe selbst zu magnetisieren.
Die flächige Form der Federringe eröffnet diese Möglichkeit
auf einfache Weise. Es ist jedoch auch möglich, axial ver
stellbare Permanentmagnete einzusetzen, da dann die Magnet
kraft eingestellt und an die Federkraft angepaßt werden kann.
Was die Zahl der aufeinanderliegenden Einzelmembranen bzw.
Blattfederringe betrifft, so sollten dies mindestens zwei
Membranen sein, als besonders zweckmäßig im Hinblick auf
ausreichende Auslenkung und gleichzeitige Zentriersteifigkeit
haben sich drei Federringe erwiesen. Diese Federringe sind
zweckmäßigerweise so miteinander zu verbinden, daß die
Verbindungsstellen der einzelnen Ringe jeweils um 120° um die
Taststiftlängsachse gegeneinander versetzt sind. Bei dieser
Ausbildung ergibt sich eine sehr gleichmäßige Verteilung
der Antastkräfte.
Weitere Vorteile der vorliegenden Erfindung werden
nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen erläutert, die
in den Fig. 1-6 der beigefügten Zeichnungen beschrieben
sind. Es zeigen
Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsge
mäßen Tastkopfs im Schnitt in einer die Taster
längsachse enthaltenden Ebene;
Fig. 2 das Membranteil (13) aus Fig. 1 in Aufsicht;
Fig. 3 das Membranteil (13) aus Fig. 1 in Seitenansicht
im auseinandergezogenen Zustand;
Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsge
mäßen Tastkopfs im Schnitt in einer die Taster
längsachse enthaltenden Ebene;
Fig. 5 ein drittes Ausführungsbeispiel des erfindungsge
mäßen Tastkopfs in einer die Tasterlängsachse ent
haltenden Ebene;
Fig. 6 ein Diagramm, in dem die Antastkraft des Tastkopfs
nach Fig. 5 in Abhängigkeit vom Auslenkweg des
Taststifts dargestellt ist.
Der in Fig. 1 dargestellte Tastkopf besitzt ein zylinder
förmiges festes Gehäuseteil (1), das an seinem oberen Ende
durch einen abnehmbaren Deckel verschlossen ist, an dem der
zur Montage des Tastkopfs an z. B. einem Koordinatenmeßgerät
dienende Zapfen (14) angesetzt ist.
Nach unten hin ist das Gehäuse (1) mit einem ringförmigen
Bund (11) versehen. Auf dessen Innenseite stützt sich der
bewegliche Taststiftträger ab. Der Taststiftträger besteht
aus einem plattenförmigen Teil (2) und einem durch die
zentrale Öffnung im Ringbund (11) hindurchragenden
Zylinder (4), in den der Taststift (5), der an seinem
unteren Ende die Tastkugel (6) trägt, hineingeschraubt ist.
Zwischen das Teil (4) und die Platte (2) des Taststiftträgers
ist ein ringförmiges piezoelektrisches Element (3)
eingesetzt, beispielsweise eingeklebt, das als Signalgeber
für die Erzeugung des Antastimpulses dient und hierzu über
Kabel an eine nicht näher dargestellte Verstärkerelektronik
auf der in den Tastkopf eingesetzten Zwischenplatte (10)
angeschlossen ist.
Die Platte (2) des Taststiftträgers wird von einer Feder (7)
in Richtung auf den Bund (11) am feststehenden Taststiftteil
(1) gedrückt. Zur Einstellung der Federkraft dient eine
Einstellschraube (9) in der Zwischenplatte (10) des Tastkopfs,
die mit ihrer Spitze auf die am oberen Ende der Feder (7)
befestigte Druckplatte (8) bzw. in eine hierfür vorgesehene
konische Vertiefung drückt.
Die Platte (2) des Taststiftträgers liegt auf dem Bund (11)
über drei direkt übereinanderliegende Federringe (13a, 13b
und 13c) auf. Diese Federringe zentrieren den Taststiftträger
in der Ebene senkrecht zu der mit (Z) bezeichneten
Taststiftlängsachse und bilden gleichzeitig auch das Auflager
in Richtung dieser Längsachse (Z).
Die drei Federringe (13a, 13b und 13c) sind, wie in der
Aufsicht aus Fig. 2 und der Seitenansicht nach Fig. 3
ersichtlich, untereinander jeweils an einer Stelle fest mit
einander verbunden. So ist der Bund (11) in dem schraffiert
gezeichneten Bereich (14d) mit dem Federring (13c), der
Federring (13c) in dem schraffiert bezeichneten Bereich
(14c) mit dem nächsten Federring (13b) und dieser wiederum in
dem mit (14b) bezeichneten schraffierten Bereich mit dem
dritten Federring (13a) verbunden. Der Federring (13a) ist
seinerseits an einer Stelle (14a), die über dem Bereich (14d)
liegt, mit der Platte (2) des beweglichen Taststiftträgers
miteinander verbunden. Die Verbindung an den Stellen (14a-d)
ist flächig und beispielsweise durch Verkleben oder Ver
schweißen erfolgt.
Die Verbindungsstellen sind jeweils um einen Winkel von 120°
um die Taststiftlängsachse (Z) herum angeordnet.
In Ruhestellung liegen die drei dünnen Federringe (13a-c)
direkt aufeinander auf und zentrieren so den Taststiftträger
mit hoher Genauigkeit relativ zum Gehäuse (1). Da sich der
Bund (11), die Platte (2) und die drei Federringe (13a-c) mit
hoher Präzision plan herstellen lassen, bilden sie
gleichzeitig direkt das Auflager, der die Position der
Tastkugel (6) in Richtung der Achse (Z) bestimmt.
Bei Auslenkbewegungen senkrecht zur Achse (Z) kippt die
Platte (2) immer um einen Punkt in der Nähe des Außenum
fanges, so daß sich absolut gleichmäßige Antastkräfte unab
hängig von der Antastrichtung ergeben. Hierbei kann sich dann
das aus den drei Federringen bestehende Membranteil (13) wie
in Fig. 3 dargestellt beliebig verformen und in alle
Richtungen nachgeben.
Der in Fig. 4 dargestellte Tastkopf erlaubt verglichen mit
dem nach Fig. 1 bis 3 zusätzlich auch Auslenkbewegungen in
-Z-Richtung, d. h. der Taststift (25) kann auch nach unten
aus dem feststehenden Gehäuseteil (21) herausgezogen werden,
wenn diese Ausweichbewegung beispielsweise beim Antasten von
waagerecht liegenden Bohrungen erforderlich sein sollte.
Hierzu ist unter dem nach unten offenen zylindrischen
feststehenden Gehäuseteil (21) ein Zwischenring (31) mittels
eines ringförmigen Membranteiles (34) gelagert. Das Membran
teil (34) besteht aus zwei übereinanderliegenden Federringen
der Art, wie sie bereits in Fig. 2 und 3 dargestellt und
anhand der Figuren beschrieben worden sind. Die zwei Feder
ringe des Membranteils (34) zentrieren den Zwischenring (31)
und bilden außerdem das Auflager, das die Position des
Zwischenrings (31) in Z-Richtung festgelegt.
Auf dem Zwischenring (31) ist der Taststiftträger wieder
über ein zweites Membranteil (33) bestehend aus drei
einzelnen Federringen (33a b und c) in der gleichen Weise
wie anhand von Fig. 1 beschrieben gelagert. Der Taststift
träger besteht wieder aus einer Platte (22) und einem
zylindrischen Teil (24), und zwischen die beiden Teile (22,
24) ist eine ringförmige Scheibe aus piezoelektrischem
Material gesetzt. Das Membranteil (34) besteht aus nur zwei
Federringen, weil es einen größeren Durchmesser als das
Membranteil (33) besitzt und deshalb zwei Federringe aus
reichen, um ohne irreversible Verformung den gleichen Hub zu
realisieren, den das Teil (33) zuläßt.
Verspannt werden die beweglichen Teile des Tastkopfs (21)
durch drei Federn (27a, b, c), im oberen Teil des Tastkopfs.
Diese Federn ziehen die Platte (22) des Taststiftträgers
mittels dreier Seilzüge (29a-c) und Umlenkrollen (28a-c) am
Zwischenring (31) gegen das Membranteil (33) und mittels
weiterer Umlenkrollen (38a-c) am feststehenden Teil (21) den
Zwischenring (31) nach Art eines Flaschenzugs gegen das
Membranteil (34).
Der gesamte Tastkopf ist ebenso wie der in Fig. 1
dargestellte Tastkopf durch einen Balg (32) gegen das
Eindringen von Schmutz, Staub und dergleichen geschützt bzw.
abgeschlossen.
Der im Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 dargestellte Tastkopf
ist ähnlich aufgebaut wie der nach Fig. 1. Übereinstimmende
Teile sind deshalb mit einer um vierzig höheren Bezugsziffer
bezeichnet und werden an dieser Stelle nicht noch einmal
beschrieben. Im Unterschied zum Tastkopf nach Fig. 1 ist
jedoch auf eine Druckfeder zur Vorspannung der Platte (42)
des beweglichen Taststiftträgers verzichtet. Statt dessen
sind die drei Federringe (53a, b, c) des Membranteils (53)
bezüglich ihrer Elastizität bzw. Steifigkeit so ausgelegt,
daß die Federkraft auch bei der maximal zulässigen Auslenk
bewegung noch unter der spezifizierten Antastkraft (F0)
bleibt. Gleichzeitig besteht der Bund (51) am feststehenden
Teil (41) des Tastkopfes aus weichmagnetischem Material und
in die Platte (42) des Taststiftträgers sind relativ nahe an
ihrem Außenumfange über den Federringen (53a, b und c) des
Membranteils drei als Stellschrauben (48) ausgebildete Perma
nentmagnete (47a-c) eingesetzt. Diese Permanentmagnete
bringen in Ruhestellung des Taststift (45) eine Grundkraft
(F0) auf, die der spezifizierten Antastkraft des Tastkopfs
entspricht. Diese Kraft wird im Zuge einer Auslenkbewegung,
wenn der Taststiftträger mit den Magneten (47) vom Bund (51)
abhebt, bekanntlich kleiner. Durch geeignete Dimensionierung
läßt sich nun erreichen, daß die Kraft-Wegcharakteristiken
der Magnete (47) und der drei Federringe (53a-c) den in dem
Diagramm nach Fig. 6 gezeichneten Verlauf besitzen und sich
gegenseitig so überlagern, daß die Antastkraft während einer
Auslenkbewegung im wesentlichen konstant bleibt bzw. vom
spezifizierten Wert (F0) aus leicht abfällt. Aufgrund der
Einsparung der Druckfeder und ihrer Halteteile baut dieser
Tastkopf kürzer als der nach Fig. 1 und es ist außerdem
sichergestellt, daß die Antastkraft die spezifizierten Werte
im Zuge eines Auslenkvorganges nicht überschreitet, die
Gefahr von Beschädigungen von Taststift oder Werkstück somit
vermieden ist.
Auf die einstellbaren Permanentmagnete (47) kann im übrigen
ganz verzichtet werden, wenn die Federringe (53) und, oder
die Platte (42) bzw. der Bund (51) aus magnetisierbarem
Material bestehen und entsprechend vor dem Einbau auch
magnetisiert wurden.
Claims (10)
1. Tastkopf vom schaltenden Typ, dessen auslenkbares, den
Taststift (5) tragendes Teil (2) in Ruhestellung durch
ein Membran- bzw. Blattfederteil (13) zentriert wird und
axial gegen das feste Teil (1) des Tastkopfs vorgespannt
ist, an dem es mittelbar über das Membran- bzw.
Blattfederteil (13) anliegt, wobei dieses aus mehreren
aufeinanderliegenden Einzelmembranen bzw. Blattfeder
ringen (13a-c) besteht, die abschnittsweise miteinander
verbunden sind und sich mit ihren Planflächen axial
direkt aufeinander sowie am festen Teil und am beweg
lichen Teil abstützen.
2. Tastkopf nach Anspruch 1, wobei das bewegliche Teil (2)
mittels einer zusätzlichen Feder (7) gegen das feste Teil
(1) vorgespannt ist.
3. Tastkopf nach Anspruch 1, wobei das bewegliche Teil (42)
mittels Magnetkräften (47) gegen das feste Teil (41)
vorgespannt ist.
4. Tastkopf nach Anspruch 1, wobei das bewegliche Teil (42)
durch die Eigenelastizität der Federringe (53a-c) gegen
das feste Teil (41) vorgespannt ist.
5. Tastkopf nach Anspruch 1, wobei das bewegliche Teil (42)
durch Federkraft und zusätzlich mittels Magnetkräften
gegen das feste Teil (51) vorgespannt ist derart, daß die
Rückstellkraft bei steigender Auslenkung im wesentlichen
gleichbleibt oder abnimmt.
6. Tastkopf nach Anspruch 5, wobei entweder die Blattfeder
ringe (53a-c) oder das feste Teil (51) bzw. das beweg
liche Teil (42) aus magnetisierbarem Material bestehen.
7. Tastkopf nach Anspruch 1, wobei das Membran- bzw.
Blattfederteil aus drei aufeinanderliegenden Federringen
(13a-c, 23a-c, 53a-c) besteht.
8. Tastkopf nach Anspruch 7, wobei die Verbindungsstellen
(14a-c) der Blattfederringe (13a-c) jeweils um 120° um
die Taststiftlängsachse gegeneinander versetzt sind.
9. Tastkopf nach Anspruch 1, wobei das bewegliche Teil (22)
mittelbar gegenüber einem Zwischenring (31) vorgespannt
ist, der seinerseits mit entgegengesetzter Vorspannrich
tung am festen Teil (21) über mindestens ein Membran-
bzw. Blattfederteil (34) zentriert ist, das ebenfalls
aus mehreren, abschnittsweise miteinander verbundenen und
axial mit ihren Planflächen sich direkt aufeinander sowie
am festen und beweglichen Teil abstützenden Einzelmem
branen bzw. Blattfederringen (34a, b) besteht.
10. Tastkopf nach Anspruch 9, wobei die Vorspannung beider
Blattfederteile (33, 34) durch Magnetkräfte erfolgt.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4123081A DE4123081C2 (de) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | Tastkopf vom schaltenden Typ |
US07/779,362 US5111592A (en) | 1991-07-12 | 1991-10-17 | Probe head of the switching type |
GB9214553A GB2257519B (en) | 1991-07-12 | 1992-07-06 | Probe head of the switching type |
JP18337192A JP3205060B2 (ja) | 1991-07-12 | 1992-07-10 | 切換型プローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4123081A DE4123081C2 (de) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | Tastkopf vom schaltenden Typ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4123081A1 true DE4123081A1 (de) | 1993-01-14 |
DE4123081C2 DE4123081C2 (de) | 2001-05-17 |
Family
ID=6435978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4123081A Expired - Fee Related DE4123081C2 (de) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | Tastkopf vom schaltenden Typ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5111592A (de) |
JP (1) | JP3205060B2 (de) |
DE (1) | DE4123081C2 (de) |
GB (1) | GB2257519B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006012095B4 (de) * | 2006-03-14 | 2017-01-05 | M & H Inprocess Messtechnik Gmbh | Tastfühler |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0792373B2 (ja) * | 1991-09-25 | 1995-10-09 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
DE4204602A1 (de) * | 1992-02-15 | 1993-08-19 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur koordinatenmessung an werkstuecken |
DE69323289T3 (de) * | 1992-12-24 | 2003-04-24 | Renishaw Plc, Wotton-Under-Edge | Tastsonde und Signalverarbeitungsschaltung dafür |
GB9305687D0 (en) * | 1993-03-19 | 1993-05-05 | Renishaw Metrology Ltd | A signal processing for trigger probe |
US5479720A (en) * | 1994-01-21 | 1996-01-02 | Abb Industrial Systems, Inc. | Methods and apparatus for measuring web thickness and other characteristics of a moving web |
GB9415338D0 (en) * | 1994-07-29 | 1994-09-21 | Renishaw Plc | Trigger probe circuit |
ATE199042T1 (de) * | 1995-03-10 | 2001-02-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-tastkopf mit gleichen auslenkungen |
DE19516272A1 (de) * | 1995-05-08 | 1996-11-14 | Hermann Leguin | Tastfühler |
JP3153111B2 (ja) * | 1995-09-18 | 2001-04-03 | 株式会社ミツトヨ | 手動操作型三次元測定機 |
JP3267116B2 (ja) * | 1995-09-19 | 2002-03-18 | ミノルタ株式会社 | 接触式センサおよび移動体 |
IT1299902B1 (it) * | 1998-03-13 | 2000-04-04 | Marposs Spa | Testa, apparecchiatura e metodo per il controllo di dimensioni lineari di pezzi meccanici. |
IT1299953B1 (it) * | 1998-04-06 | 2000-04-04 | Marposs Spa | Testa per il controllo di dimensioni lineari. |
GB2336433B (en) * | 1998-04-14 | 2002-02-06 | Mitutoyo Corp | Touch signal probe |
JP3130289B2 (ja) * | 1998-08-04 | 2001-01-31 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
US6488262B1 (en) | 1999-06-02 | 2002-12-03 | Tokyo Electron Limited | Gate valve for semiconductor processing system |
JP4557466B2 (ja) * | 2001-08-02 | 2010-10-06 | キヤノン株式会社 | 接触式プローブ |
US6588118B2 (en) | 2001-10-10 | 2003-07-08 | Abb Inc. | Non-contact sheet sensing system and related method |
US7259552B2 (en) | 2002-05-31 | 2007-08-21 | Siemens Power Generation, Inc. | Wear monitor for turbo-machine |
JP2006504953A (ja) * | 2002-10-29 | 2006-02-09 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 振動減衰システムを備えた座標測定装置 |
GB0506158D0 (en) * | 2005-03-24 | 2005-05-04 | Renishaw Plc | Measurement probe |
US20060271420A1 (en) * | 2005-05-27 | 2006-11-30 | Peter Anselmann | System and method for performing capacity checks and resource scheduling within a supply chain management system |
DE102005036126A1 (de) * | 2005-07-26 | 2007-02-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Sensormodul für einen Tastkopf eines taktilen Koordinatenmessgerätes |
DE102005054593B4 (de) * | 2005-11-14 | 2018-04-26 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Messonde zur Messung der Dicke dünner Schichten |
CN101354245B (zh) * | 2007-07-26 | 2010-11-10 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 承载台及采用该承载台的测量设备 |
JP4669566B2 (ja) * | 2010-02-22 | 2011-04-13 | キヤノン株式会社 | 接触式プローブ |
JP6063233B2 (ja) * | 2012-12-05 | 2017-01-18 | 株式会社ミツトヨ | 測定子支持機構及びプローブ |
ITBO20130426A1 (it) * | 2013-08-01 | 2015-02-02 | Marposs Spa | Sonda di tastaggio e relativi circuiti e metodi di elaborazione dei segnali |
JP2016161526A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 接触型プローブ |
GB201603496D0 (en) * | 2016-02-29 | 2016-04-13 | Renishaw Plc | Method and apparatus for calibrating a scanning probe |
CN113566684B (zh) * | 2020-04-29 | 2023-08-29 | 深圳富联富桂精密工业有限公司 | 一种插针偏位的检测系统与检测方法 |
DE102020113401A1 (de) * | 2020-05-18 | 2021-11-18 | Haimer Gmbh | Kupplungselement zur Aufnahme einer Tastspitze in einem Tastmessgerät, Schraubeinsatz zur Aufnahme einer Tastspitze in einem Tastmessgerät, Kupplungsanordnung für einen Tasteinsatz bei einem Tastmessgerät, Tastmessgerät(-e) |
CN111843617B (zh) * | 2020-07-27 | 2022-03-25 | 电子科技大学 | 一种柔性接触的刀柄式在机超声测厚装置 |
CN117367355B (zh) * | 2023-12-06 | 2024-04-02 | 绵阳奥力达科技有限公司 | 一种节温器壳体的小径斜孔检测装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3566479A (en) * | 1967-05-15 | 1971-03-02 | Ford Motor Co | Electromechanical surface scanner |
IT1088539B (it) * | 1976-12-24 | 1985-06-10 | Rolls Royce | Sonda per l'uso in apparecchi di misura |
DE2712181C3 (de) * | 1977-03-19 | 1981-01-22 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Tastsystem |
JPS58151502A (ja) * | 1982-03-05 | 1983-09-08 | Sony Magnescale Inc | 位置検出装置 |
DE3215878A1 (de) * | 1982-04-29 | 1983-11-03 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete |
US4451987A (en) * | 1982-06-14 | 1984-06-05 | The Valeron Corporation | Touch probe |
DE3234851C2 (de) * | 1982-09-21 | 1985-11-14 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Dynamischer Tastkopf |
US4513507A (en) * | 1983-09-02 | 1985-04-30 | Bendix Automation Company | Contact sensing probe for a measuring apparatus |
IT1168698B (it) * | 1983-11-21 | 1987-05-20 | Finike Italiana Marposs | Testa per il controllo di dimensioni lineari |
SU1359637A1 (ru) * | 1984-03-13 | 1987-12-15 | Предприятие П/Я В-2190 | Измерительна головка касани |
SU1260659A1 (ru) * | 1984-05-16 | 1986-09-30 | Предприятие П/Я В-2190 | Измерительна головка дл координатных измерительных машин |
US4603482A (en) * | 1985-12-30 | 1986-08-05 | Valeron Corporation | Probe shield |
DE3625636A1 (de) * | 1986-07-29 | 1988-02-11 | Carl Mahr Gmbh & Co | Einkoordinaten-messtaster |
US4734994A (en) * | 1986-12-22 | 1988-04-05 | Gte Valeron Corporation | Probe having a plurality of hinged plates |
DE3811235A1 (de) * | 1987-08-21 | 1989-10-19 | Wegu Messtechnik | Dynamischer tastkopf |
DE3727923A1 (de) * | 1987-08-21 | 1989-03-02 | Wegu Messtechnik | Dynamischer tastkopf |
GB8816358D0 (en) * | 1988-07-08 | 1988-08-10 | Renishaw Plc | Probe for use with measuring apparatus |
JPH0789045B2 (ja) * | 1988-12-15 | 1995-09-27 | 富山県 | 三次元変位量測定器 |
-
1991
- 1991-07-12 DE DE4123081A patent/DE4123081C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-10-17 US US07/779,362 patent/US5111592A/en not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-07-06 GB GB9214553A patent/GB2257519B/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-07-10 JP JP18337192A patent/JP3205060B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006012095B4 (de) * | 2006-03-14 | 2017-01-05 | M & H Inprocess Messtechnik Gmbh | Tastfühler |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05196450A (ja) | 1993-08-06 |
GB2257519B (en) | 1995-03-01 |
US5111592A (en) | 1992-05-12 |
GB2257519A (en) | 1993-01-13 |
JP3205060B2 (ja) | 2001-09-04 |
DE4123081C2 (de) | 2001-05-17 |
GB9214553D0 (en) | 1992-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4123081C2 (de) | Tastkopf vom schaltenden Typ | |
DE69103930T2 (de) | Mess-Fühlerprobe. | |
DE2742817C3 (de) | Tastkopf | |
EP0301389A2 (de) | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte | |
DE3530229C2 (de) | ||
DE3345653C2 (de) | ||
DE3824549A1 (de) | Lagerung fuer tastkoepfe | |
EP0636859A1 (de) | Mehrkoordinaten-Tastkopf | |
CH644206A5 (de) | Anordnung zur variation der federkennlinie einer federparallelogrammvorrichtung. | |
EP0163070A2 (de) | Zahnmesstaster | |
DE19516272A1 (de) | Tastfühler | |
EP0269789B1 (de) | Mehrkoordinaten-Tastkopf | |
DE4331655C2 (de) | Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte | |
DE3706767C2 (de) | ||
EP0762095B1 (de) | Fadenzugkraftsensor mit Tauchspulen-Geber mit Membranstützkörper | |
EP0499846B1 (de) | Biegering-Kraftaufnehmer | |
DE102004011728A1 (de) | Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät | |
DE2747262C3 (de) | Vorrichtung zur Radialkraftmessung | |
DE102005042558A1 (de) | Tastkopf | |
DE3320057C2 (de) | ||
DE102017117834B3 (de) | Distanzring und Füllfassung mit mindestens einem Distanzring und einem rotationssymmetrischen optischen Bauteil | |
DD140788A1 (de) | Taster zur mehrachsigen wegmessung | |
DE3506293C2 (de) | ||
EP3614096B1 (de) | Tastsystem | |
EP0044902A1 (de) | Trägervorrichtung für einen magnetisch-elektrischen Wandler in einer mit Magnetspeicherplatten arbeitenden Schreib-Leseeinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |