DE4122190C2 - Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Behandeln von Silicium - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Behandeln von SiliciumInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum kontinuierlichen Behandeln von Silicium.
Die Patentschrift DE-A1 33 31 046 beschreibt ein Verfahren zum
Behandeln von Silicium und Ferrosilicium mit Schlacke bei
Temperaturen bis 1800°C.
Wenn flüssiges Silicium nicht aus Si-Staub oder Abfallsili
cium erschmolzen, sondern in dem üblichen karbothermischen
Reduktionsprozeß erzeugt wird, ist es ein weiterer Nachteil des bekannten Verfahrens, daß das Silicium nach dem Abstich in
einer Pfanne zur Erzielung der erforderlichen Reinheit der
sogenannten Chemiequalität einem aufwendigen Raffina
tionsprozeß unterzogen werden muß.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Ver
fahren zum
Behandeln von Silicium zu finden,
das die genannten Nachteile des Standes der Technik vermeidet sowie eine
Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens zur Verfü
gung zu stellen.
Die erstgenannte Teilaufgabe wird durch ein Verfahren gemäß dem
kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 gelöst.
Die weitere Teilaufgabe wird gelöst durch einen Niederschachtofen,
gemäß Anspruch 3.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ebenso wie in dem
bekannten Verfahren nach der DE 33 31 046 A1 eine Schlacke be
nützt. Eine Schlacke, die für das erfindungsgemäße Verfahren
geeignet ist, hat folgende Zusammensetzung:
K₂O | |
0 bis 15 Gew. -% | |
Na₂O | 0 bis 10 Gew.-% |
Σ K₂O + Na₂O | 2 bis 15 Gew.-% |
SiO₂ | 55 bis 72 Gew.-% |
Al₂O₃ | 0 bis 15 Gew. -% |
Σ SiO₂ + Al₂O₃ | 60 bis 78 Gew.-% |
CaO | 0 bis 35 Gew. -% |
MgO | 0 bis 35 Gew. -% |
Σ CaO + MgO | 15 bis 35 Gew.-% |
CaF₂ | 0 bis 8 Gew. -% |
MgF₂ | 0 bis 8 Gew.-% |
Σ CaF₂ + MgF₂ | 0 bis 8 Gew. -% |
Σ CaO + MgO + CaF₂ + MgF₂ | 15 bis 30 Gew.-% |
sowie rohstoffbedingte Verunreinigungen.
Die vorstehend genannten Summenangaben sind Maßgaben, welche
die freie Wahl der Einzelkomponenten einschränken. Der An
teil an rohstoffbedingten Verunreinigungen liegt in der Re
gel im Bereich von 0,1 bis 1,5 Gew. %. Alle Gew. %-Angaben
ergänzen sich in jeder speziellen Schlackenzusammensetzung
zu 100 Gew.%.
Die Schlacke befindet sich in einem mittels Elektroden aus
Graphit oder Kohle elektrisch beheizten kippbaren Ofen mit
einem bis zum Boden des Ofens reichenden Ausgießrohr.
Die Temperatur der Schlacke beträgt 1450 bis 1800°C. In die
schmelzflüssige Schlacke wird Silicium in fester oder flüs
siger Form eingebracht. Das Verhältnis von Schlackenmenge
zur Menge des eingesetzten Siliciums beträgt bevorzugt 1,6
bis 3,2 : 1 Gewichtsteile. Das stückige oder feinteilige Sili
cium wird nach dem Eintrag in die Schlacke in den schmelz
flüssigen Zustand übergeführt, wobei sich ein flüssiges
Zwei-Phasen System bildet, mit einer Unterschicht aus
schmelzflüssigem Silicium, auf der die Schlackenschmelze
schwimmt.
Nach dem Verflüssigen des Siliciums wird das Ausgießloch
aufgebrannt und der Ofen um etwa 10-17 Winkelgrade aus der
waagrechten Stellung gekippt, damit das flüssige Silicium
unter der Schlackenschicht über das Ausgießrohr abgezogen
werden kann. Im gleichen Ausmaß wie flüssiges Silicium abge
zogen wird, wird dem gekippten Ofen festes oder flüssiges
Silicium nachchargiert. Das über das Ausgießrohr abgezogene
flüssige Silicium trifft auf eine Angußrinne, in der es ge
sammelt und eventuell mit laufende Schlacke festgehalten
wird, sowie auf weitere Rinnen zum Abtransport bzw. zur Küh
lung des flüssigen Siliciums. Dieses flüssige Silicium wird
bevorzugt mindestens teilweise versprüht und entweder von
einem scharfen Wasserstrahl abtransportiert bzw. mit dessen
Hilfe granuliert und zur Erstarrung gebracht oder das Sili
cium wird in eine mit geeigneten Werkstoffen ausgekleidete,
möglichst gekühlte Schwingförderrinne gegossen.
Als sehr vorteilhaft hat sich das Versprühen von Silicium
mittels Preßluft und/oder Stickstoff auf eine Tropfengröße
von etwa 1-10 mm über einer wasserdurchströmten Rinne
herausgestellt, wobei in dem schnell fließenden kalten Was
ser die Schmelzwärme des Siliciums rasch abgeführt werden
kann. Durch diese Arbeitsweise wird die Gefahr einer Knall
gasreaktion vermieden.
Das erhaltene Siliciumgranulat wird getrocknet und an
schließend der Vermahlung zugeführt. Es hat bereits eine
Korngröße von 90% kleiner 10 mm, ist spratzig und sehr
leicht zerbrechlich, so daß dieses Siliciumgranulat entweder
direkt auf die gewünschte Endfeinheit von beispielsweise
kleiner 0,3 mm bzw. kleiner 0,5 mm vermahlen werden kann
oder vor dem Vermahlen nur noch über einen Feinbrecher ge
schickt werden muß.
Für das kontinuierliche Einschmelzen von Si-Abfällen
und/oder Si-Staub und die damit verbundene kontinuierliche
Reinigung des dabei entstehenden flüssigen Siliciums, im
Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens (Variante Ein
schmelzofen) hat sich folgende Schlackenzusammensetzung als
besonders vorteilhaft erwiesen:
K₂O | |
2 bis 10 Gew.-% | |
Na₂O | 0 bis 2 Gew.-% |
Σ K₂O + Na₂O | 2,5 bis 10 Gew.-% |
SiO₂ | 62 bis 72 Gew.-% |
Al₂O₃ | 0 bis 10 Gew.-% |
Σ SiO₂ + Al₂O₃ | 64 bis 75 Gew.-% |
CaO | 2 bis 32 Gew.-% |
MgO | 2 bis 32 Gew.-% |
Σ CaO + MgO | 16 bis 32 Gew.-% |
Σ CaF₂ + MgF₂ | max. 3 Gew.-% |
Σ CaO + MgO + CaF₂ + MgF₂ | 16 bis 32 Gew. -% |
Die bevorzugte Temperatur liegt bei dieser Verfahrensvarian
te zwischen 1600 und 1700°C.
Durch das beschriebene Verfahren kann somit beispielsweise
Siliciumfeinststaub, der als Abfallprodukt beim Vermahlen
stückigen Siliciums auf eine staubarme Körnung anfällt, als
vorzerkleinertes Ausgangsprodukt für Siliciumkörnungen bei
spielsweise für Wirbelschichtöfen zurückgewonnen werden.
Wenn das Verfahren zum Einschmelzen von Si-Staub angewandt
wird, wird damit gegenüber der herkömmlichen Arbeitsweise
eine um 30 bis 70% erhöhte Schmelzleistung erreicht. Gleich
zeitig sinkt der spezifische Stromverbrauch etwa in gleichem
Maße. Die Kosten für das Einschmelzen von minderwertigem Si
liciumstaub sinken ebenfalls in diesem Ausmaß.
Es liegt weiterhin im Rahmen der Erfindung, schmelzflüssiges
Silicium, wie es beispielsweise als Abstich aus einem Reduk
tionsofen anfällt, in dem erfindungsgemäßen Verfahren konti
nuierlich zu reinigen. Zur Durchführung dieser Verfahrens
variante (Variante Raffinationsofen) wird schmelzflüssiges
Silicium beispielsweise aus einem Reduktionsofen in einen
erfindungsgemäßen Ofen abgestochen. In dem erfindungsgemäßen
Ofen befindet sich eine Schlacke, welche mittels elek
trischer Widerstandsheizung erschmolzen und warmgehalten
wird. Die Temperatur der Schlacke beträgt vorzugsweise 1470
bis 1570°C. Für das kontinuierliche Raffinieren von bei
spielsweise in einem Reduktionsofen hergestellten flüssigen
Silicium im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens hat sich
folgende Schlackenzusammensetzung als besonders vorteilhaft
erwiesen:
K₂O | |
1 bis 10 Gew.-% | |
Na₂O | 0 bis 5 Gew.-% |
Σ K₂O + Na₂O | 2,5 bis 10 Gew.-% |
SiO₂ | 62 bis 72 Gew.-% |
Al₂O₃ | 0 bis 10 Gew.-% |
Σ SiO₂ + Al₂O₃ | 64 bis 75 Gew.-% |
CaO | 2 bis 32 Gew.-% |
MgO | 2 bis 32 Gew.-% |
Σ CaO + MgO | 16 bis 32 Gew.-% |
Σ CaF₂ + MgF₂ | max. 3 Gew.-% |
Σ CaO + MgO + CaF₂ + MgF₂ | 16 bis 32 Gew.-% |
Das flüssige Silicium sammelt sich nach dem Eingießen in dem
erfindungsgemäßen Ofen unterhalb der Schlackenschicht und
wird durch Reaktion mit der Schlacke von den Verunreinigun
gen Aluminium und Calcium befreit. Durch Kippen des erfin
dungsgemäßen Ofens wird das raffinierte Silicium bevorzugt
in der gleichen Menge, wie es aus dem Reduktionsofen zuge
führt wird, abgezogen. Der Reinigungsvorgang verläuft bei
dem erfindungsgemäßen Verfahren so schnell, daß ein einfa
ches Durchlaufen des kontinuierlich aus dem Reduktionsofen
austretenden Siliciums durch den mit Schlacke gefüllten er
findungsgemäßen Raffinationsofen ausreicht, um die Verunrei
nigungen des Siliciums an Ca und Al auf mindestens die
gleichen Werte wie beim Frischprozeß mit einem Sauer
stoff/Stickstoff-Gemisch abzusenken.
Sollte der Al-Gehalt der Si-Schmelzen beim erfindungsgemäßen
Einschmelz- oder Raffinationsprozeß unter den Sollwert ab
sinken, kann dieser durch kontinuierliches Nachlegieren an
gehoben werden. Das kann so erfolgen, daß beispielsweise Al-
Draht kontinuierlich in das Ausgußrohr des erfindungsgemäßen
Ofens eingespült wird. In diesem Ausgießrohr schmilzt der
Al-Draht in dem emporquellenden Silicium und löst sich dabei
auf. Falls erforderlich, kann mit einer Rührspule das Alu
minium im flüssigen Silicium homogenisiert werden.
Über die dem Raffinationsofen zugeführte elektrische
Leistung läßt sich die Temperatur der Raffinationsschlacke
und damit die Gießtemperatur des Siliciums regeln, was eben
falls für den kontinuierlichen Gießvorgang wichtig ist, um
eine Überhitzung des flüssigen Siliciums zu vermeiden.
Weiter können während des Raffinationsprozesses in Abhängig
keit von der elektrischen Leistung des erfindungsgemäßen
Raffinationsofens bis zu etwa 10% Si-Staub oder Silicium-
Abfälle, bezogen auf die im Reduktionsofen erzeugte Menge an
flüssigem Silicium, dem Raffinationsofen kontinuierlich
zugegeben und eingeschmolzen werden.
Im Vergleich zu den Raffinationsverfahren gemäß dem Stand
der Technik, bei denen die Verbrennungs-, Verschlackungs-
und Spritzverluste bis zu 15% vom Gewicht des abgestochenen
Siliciums betragen können, sind die Siliciumverluste beim
erfindungsgemäßen Einschmelzen und Raffinieren von Si-Staub
(Variante Einschmelzofen) kleiner 4 Gew%. Beim erfindungsge
mäßen Raffinationsprozeß nach einem karbothermischen Reduk
tionsofen (Variante Raffinationsofen) bewegen sie sich
lediglich in der Größenordnung von 0,5 bis 2,5 Gew%.
Ein Unterschied zwischen den beschriebenen Verfahrensvarian
ten besteht darin, daß für das Einschmelzen von Silicium
bzw. Siliciumstaub zweckmäßigerweise Öfen mit mindestens 2
MW Leistung eingesetzt werden, um eine wirtschaftliche Ver
arbeitung des Si-Staubes zu ermöglichen, während es beim
Einsatz des Verfahrens für das Reinigen von flüssigem Sili
cium aus einem karbothermischen Si-Reduktionsofen genügt,
sehr kleine Niederschachtöfen mit verhältnismäßig kleiner
Schmelzleistung von beispielsweise 0,3 bis 0,6 MW einzu
setzen, um die Mengen an flüssigem Silicium verarbeiten zu
können, die in einem Si-Reduktionsofen mit den derzeit üb
lichen elektrischen Anschlußleistungen von 10 bis 25 MW pro
duziert werden.
Wenn das Verfahren nur zum Reinigen und kontinuierlichen
Vergießen des von einem Si-Reduktionsofen produzierten flüs
sigen Siliciums eingesetzt wird, benötigt man im Prinzip le
diglich die elektrische Leistung, welche zum Vorschmelzen
der Schlacke und zu ihrem Warmhalten erforderlich ist.
Anhand der Fig. 1 bis 4 sollen verschiedene Ausführungs
formen des erfindungsgemäßen Verfahrens beispielhaft näher
erläutert werden. Die Fig. 1 und 2 zeigen zwei Ausfüh
rungsformen der Variante Einschmelzofen, die Fig. 3 und 4
zeigen zwei Ausführungsformen der Variante Raffinationsofen.
Fig. 1: Aus dem Einschmelzofen 1 mit den in die Schlacke 2
eintauchenden Elektroden 3, fließt über das bis zum Boden
des Ofens reichende Ausgießrohr 4 das flüssige Silicium 5
kontinuierlich auf die Angußrinne 6, in der es gesammelt und
von mitlaufender Schlacke befreit wird. Danach wird das
flüssige Si mittels Druckstickstoff aus der Düse 7 zerstäubt
und in der Rinne 8 mit einem scharfen Wasserstrahl aus der
Düse 9 über ein Entwässerungssieb 10 in eine Transportmulde
11 gefördert.
Fig. 2: Aus dem Einschmelzofen 1 mit den in die Schlacke 2
eintauchenden Elektroden 3, fließt über das bis zum Boden
des Ofens reichende Ausgießrohr 4 das flüssige Silicium 5
kontinuierlich auf die Angußrinne 6, in der es gesammelt und
von mitlaufender Schlacke befreit wird. Danach wird das
flüssige Si mittels Druckluft aus der Düse 7 zerstäubt und
in einer mit Gußeisenplatten ausgekleideten luftgekühlten
Schwingförderrinne 12 in eine Transportmulde 11 gefördert.
Fig. 3: Aus der Ausgießschnautze des Si-Reduktionsofens 13
läuft das flüssige Si in den Raffinationsofen 14 und wird
von da ab in gleicher Weise verarbeitet wie das Si aus dem
Einschmelzofen in Fig. 1.
Fig. 4: Aus der Ausgießschnautze des Si-Reduktionsofens 13
läuft das flüssige Si in den Raffinationsofen 14 und wird
von da ab in gleicher Weise verarbeitet wie das Si aus dem
Einschmelzofen in Fig. 2.
In einem mit Kohlestampfmasse ausgekleideten, kippbaren mit
zwei Graphitelektroden von 400 mm Durchmesser beheizten
Einphasen-Niederschachtofen mit einem bis zum Boden eines
elliptischen Ofenkessels reichenden Ausgußrohr aus Graphit,
mit Abmessung des Ofenkessels von 1,6 m Breite, 2,4 m Länge
und 1,1 m Tiefe, wurden 5 t Schlacke mit folgender chemi
scher Analyseeingeschmolzen:
K₂O | |
2,98 Gew.-% | |
Na₂O | 0,84 Gew.-% |
SiO₂ | 62,60 Gew.-% |
Al₂O₃ | 1,99 Gew.-% |
CaO | 18,98 Gew.-% |
MgO | 11,58 Gew.-% |
sowie rohstoffbedingte Verunreinigungen.
Der Ofen wurde dabei durch Eintauchen der Elektroden in die
flüssige Schlacke mit einer elektrischen Leistung von 2 MW
betrieben. Nach dem Einschmelzen und Überhitzen der Schmelze
auf eine Temperatur von ca. 1650°C wurde mit dem Chargieren
des Si-Staubes begonnen. Es wurden 2,5 t Si-Staub chargiert.
Nachdem diese Menge an Si-Staub eingeschmolzen war, wurde
die Schmelze auf ca. 1680°C gebracht und sodann mittels
einer Elektrode das Ausgießloch aufgebrannt.
Nun wurde der Ofen um etwa 13 Winkelgrade angekippt, so daß
eine Teilmenge von einigen hundert kg des flüssigen Sili
ciums, welche sich am Boden des Ofenkessels befand, im Aus
gießrohr hochsteigen und ausfließen konnte.
Der Ofen wurde in dieser Kippstellung belassen und wieder
mit dem Chargieren von Si-Staub begonnen.
Das ausfließende Silicium wurde auf eine Angußrinne vergos
sen, wo etwas Schlacke, welche beim Angießen im Rohr hochge
stiegen war, liegenblieb. Das Silicium floß die Angußrinne
hinunter und wurde am Ende der Angußrinne mittels einer
Düse, aus der Stickstoff mit einem Druck von 5 bar strömte,
verdüst. Die glühenden Si-Tropfen fielen in eine Rinne, in
der kaltes Wasser floß. Sie wurden vom Wasserstrahl erfaßt
und in der Rinne über ein Entwässerungssieb in eine Trans
portmulde transportiert. Von dort wurden sie in einen Trock
ner befördert, wo sie von Feuchtigkeit befreit wurden. Es
fiel ein Si-Granulat an, welches eine Korngröße kleiner 10
mm hatte. Die Hauptmenge der Si-Körner hatte einen Durchmes
ser von 1 bis 7 mm. Das Granulat wurde der Mahlung zuge
führt.
Nach dem Einschmelzen von 113 t Si-Staub wurde der Ofengang
unruhig, ein Zeichen dafür, daß die Schlacke erschöpft war.
Nun wurde das Chargieren von Si-Staub beendet, das Silicium
aus dem Ofen völlig ausgegossen und anschließend die gesamte
Schlacke in die Schlackenwanne entleert.
Die Einschmelzleistung bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
betrug 1,5 t Si-Staub/Stunde. Im üblichen Chargenbetrieb
wird nur eine durchschnittliche Einschmelzleistung von 0,9 t
Si-Staub/Stunde erreicht. Die Steigerung der Schmelzleistung
beim erfindungsgemäßen Verfahren gegenüber dem Stand der
Technik betrug somit 67%.
Die Ausbeute betrug 97% gegenüber einer Ausbeute von 93%
beim chargenweisen Einschmelzen gemäß dem Stand der Tech
nik.
In einem kippbaren mit Kohlestampfmasse ausgekleidetem
Einphasen-Niederschachtofen mit elliptischem Fassungsraum,
mit den Abmessungen Länge 100 cm, Breite 80 cm, Tiefe 55 cm,
wurden 400 kg Schlacke mit folgender chemischer Analyse mit
tels zweier Graphitelektroden erschmolzen:
K₂O | |
1,25 Gew.-% | |
Na₂O | 4,66 Gew.-% |
SiO₂ | 64,00 Gew.-% |
Al₂O₃ | 1,22 Gew.-% |
CaO | 17,79 Gew.-% |
MgO | 10,06 Gew.-% |
sowie rohstoffbedingte Verunreinigungen.
Dieser erfindungsgemäße Raffinationsofen mit einer elektri
schen Anschlußleistung von 0,5 MW befand sich unterhalb der
Ausgießöffnung eines karbothermischen Si-Reduktionsofens mit
15 MW elektrischer Anschlußleistung, welcher ca. 1 t Si-Me
tall pro Stunde produzierte.
Hinter dem Raffinationsofen war eine 1 m lange Angußrinne
angeordnet, welche zu einer Schwingförderrinne führte, die
mit luftgekühlten Gußeisenplatten ausgekleidet war. Am Ende
der 8 m langen Schwingförderrinne stand eine Transportmulde,
in die das noch glühende Si-Metall hineinfallen konnte.
Nach dem vollständigen Erschmelzen und Erhitzen der o.a.
Schlacke im Raffinationsofen auf 1530°C, war dieser zu ca.
2/3 mit Schlacke gefüllt. Nun wurde die Abstichöffnung des
Reduktionsofens aufgebrannt.
Das flüssige Silicium lief in gleichmäßigem Strahl aus der
Ausgießschnauze des Reduktionsofens in den Raffinationsofen.
Knapp bevor der Fassungsraum des Raffinationsofens mit
Schlacke und Silicium gefüllt war, wurde sein Ausgießrohr
mittels einer Elektrode aufgebrannt. Nun wurde der Raffi
nationsofen angekippt und Silicium floß auf die Angußrinne
und von dort auf die Schwingförderrinne. Unterhalb des Endes
der Angußrinne war eine Preßluftdüse angebracht, die das
flüssige Silicium auf eine Teilchengröße von etwa 1-10 mm
zerstäubte, bevor es auf die Schwingförderrinne auftraf. Auf
der Schwingförderrinne wurden die Si-Tropfen so weit abge
kühlt, daß sie nicht mehr zusammenklebten, d. h. daß sie
außen mit einer Schicht aus erstarrtem Silicium umgeben
waren.
Dieses Silicium wurde in der Transportmulde am Ende der
Schwingförderrinne aufgefangen, wo es weiter abkühlen
konnte. Wenn eine Mulde mit Silicium voll war, wurde sie ge
gen eine leere Mulde ausgetauscht und das Silicium nach dem
vollständigen Erkalten der Mühle aufgegeben.
Etwa alle 20 Minuten wurden dem Raffinationsofen ca.
30-40 kg Si-Staub und/oder Si-Abfall zugesetzt. Nach dem
Raffinieren von 21 t flüssigem Silicium und dem Einschmelzen
von 2 t Abfallsilicium wurde der Ofengang unruhig. Nun wurde
die Abstichöffnung des Reduktionsofens verschlossen, das
Silicium und anschließend die Schlacke ganz ausgegossen.
Daraufhin wurde eine neue Schlacke erschmolzen und der Raf
finationsprozeß konnte fortgeführt werden.
Die Ausbeute an raffiniertem Silicium betrug 98,8%, bezogen
auf nicht raffiniertes Silicium aus dem Reduktionsofen.
Claims (3)
1. Verfahren zum Behandeln von Silicium mit einer auf hohe
Temperaturen bis 1800°C erhitzten Schlacke,
dadurch gekennzeichnet,
daß zum kontinuierlichen Behandeln des Siliciums eine
Schlacke in einem kippbaren Niederschachtofen mit einem
bis zum Boden reichenden Ausgießrohr auf eine Temperatur
von 1450 bis 1800°C gebracht wird und mittels dieser
Schlacke festes Silicium eingeschmolzen und/oder flüssi
ges Silicium kontinuierlich raffiniert wird und daß das
flüssige raffinierte Silicium in dem Ausgießrohr empor
quillt und anschließend kontinuierlich durch Eingießen in
einen Wasserstrahl oder Gießen auf eine Schwingförder
rinne in vorzerkleinerter Form gewonnen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das flüssige raffinierte Silicium vor dem Eingießen
in einen Wasserstrahl oder dem Gießen auf eine Schwingför
derrinne, vorzugsweise mittels Druckluft oder Druck
stickstoff, versprüht wird.
3. Kippbarer, elektrisch beheizter Niederschachtofen zur
Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß er ein bis zum Boden des Ofenkessels reichendes Aus
gießrohr aufweist.
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