DE4107802A1 - Antriebsregeleinheit fuer einen ultraschallmotor - Google Patents

Antriebsregeleinheit fuer einen ultraschallmotor

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Antriebsregelein­ heit für einen Ultraschallmotor, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Üblicherweise umfaßt eine derartige Antriebsregeleinheit einen Schwingungsdetektor zur Erfassung des Schwingungs­ zustandes des Vibrators und eine Regeleinrichtung zur va­ riablen Regelung der Frequenz einer an dem piezoelektri­ schen Element angelegten elektrischen Spannung, um die Spannung auf einem vorgegebenen Wert zu halten. Aller­ dings kann auch bei gleichbleibender angelegter Spannung die Drehzahl des Ultraschallmotors infolge von Umgebungs­ einflüssen, Temperatur- oder Laständerungen und dgl. va­ riieren. Deshalb ist eine Regelung des Motors erforder­ lich, um einen gleichmäßigen, von Temperatur- und Last­ änderungen praktisch unbeeinflußten Betrieb zu gewähr­ leisten.
Die oben erwähnte bekannte Regeleinheit stellt eine feste Schwingungsamplitude des Vibrators sicher, indem sie die Frequenz der angelegten Spannung der mechani­ schen Resonanzfrequenz des Vibrators, die mit dessen Temperatur variiert, nachführt. Diese Regeleinheit kann aber nicht immer einen Betrieb des Ultraschallmotors mit einem sehr guten Wirkungsgrad gewährleisten, der nur dann erreicht wird, wenn die Frequenz der angelegten Spannung in der Nähe der jeweiligen mechanischen Reso­ nanzfrequenz des Vibrators liegt. Außerdem kann die Motordrehzahl infolge von Laständerungen schwanken, weil bei der bekannten Regeleinheit keine Kompensation für durch Laständerungen hervorgerufene Drehzahländerungen vorgesehen ist.
Es stellt sich daher die Aufgabe, eine Antriebsregelein­ heit der eingangs genannten Art zu schaffen, die die auf­ geführten Nachteile vermeidet und die jederzeit einen gleichmäßigen Betrieb des Ultraschallmotors mit sehr gutem Wirkungsgrad unabhängig von Temperaturänderungen des Vibrators und unabhängig von Laständerungen des Mo­ tors gewährleistet.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt erfindungsgemäß mit einer Antriebsregeleinheit der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1.
Die neue Antriebsregeleinheit trägt der Tatsache Rech­ nung, daß ein optimaler Wirkungsgrad des Motors dann er­ reicht wird, wenn die Phasendifferenz zwischen der von dem Schwingungsdetektor erfaßten, als Spannung ausgege­ bene Vibratorschwingung und der an das piezoelektrische Element angelegten Spannung einen bestimmten Wert hat. Deshalb wird die Frequenz der angelegten Spannung von der Frequenznachführeinrichtung so geregelt, daß die von dem Phasendifferenzdetektor erfaßte Phasendifferenz auf einen vorgegebenen Wert nachgeführt wird. Gleichzeitig ist zur Konstanthaltung der Geschwindigkeitsamplitude eine Regeleinrichtung vorgesehen, mittels welcher die an das piezoelektrische Element angelegte Spannung in der Weise regelbar ist, daß die von dem Schwingungsdetektor ausgegebene Spannung, welche die Schwingungsamplitude des Vibrators darstellt, auf einem vorgegebenen Wert hält.
Mit der neuen Antriebsregeleinheit wird demzufolge jeder­ zeit ein Betrieb des Ultraschallmotors mit hervorragen­ dem Wirkungsgrad in der Umwandlung von elektrischer in mechanische Energie unabhängig von Temperaturänderungen des Vibrators und unabhängig von Laständerungen er­ reicht.
Weiter sieht die Erfindung vor, daß der Schwingungsdetek­ tor ein piezoelektrisches Meßelement umfaßt, das an dem Vibrator des Ultraschallmotors angebracht ist. Dieses Element stellt ein einfaches und zuverlässiges Bauteil dar.
Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung ist im Anspruch 3 angegeben.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand einer Zeichnung erläutert. Die Figuren der Zeich­ nung zeigen:
Fig. 1 einen Ultraschallmotor in einer schematischen Aufsicht zur Darstellung des Funktionsprinzips des Motors,
Fig. 2 den Ultraschallmotor in einer schematischen Seitenansicht,
Fig. 3 eine erste Antriebsregeleinheit in Form eines Blocksschaltbildes,
Fig. 4 eine zweite, geänderte Antriebsregeleinheit, ebenfalls in Form eines Blockschaltbildes, und
Fig. 5a, 5b und 5c unterschiedliche Wellenformen von an ein piezoelektrisches Element als Teil des Mo­ tors angelegten Spannungen.
Wie in Fig. 1 und Fig. 2 gezeigt, umfaßt ein Ultra­ schallmotor M einen ringförmigen, als Stator dienenden Vibrator 3 und einen Rotor 4. Der Vibrator 3 besteht aus einem ringförmigen piezoelektrischen Element 1 und einem ebenfalls ringförmigen elastischen Element 2, die fest miteinander verbunden sind und zur Erzeugung einer Ultra­ schall-Wanderwelle dienen. Der Rotor 4 ist als beweg­ liches Element des Motors M an den Vibrator 3 angedrückt und durch diesen in Drehung versetzbar.
Das piezoelektrische Element 1 ist in Umfangsrichtung in zwei Gruppen von piezoelektrischen Segmenten A und B unterteilt. Jedes Segment A, B umfaßt Abschnitte, welche in Reihe mit Abständen angeordnet sind, der der Hälfte der Wellenlänge der Wanderwelle entsprechen, und wel­ che in Richtungen parallel zur Axialrichtung abwechselnd polarisiert sind. Die Segmente A und B sind in Umfangs­ richtung um einen Längenbetrag, der drei Viertel der Wellenlänge entspricht, voneinander beabstandet. An die Segmente A und B werden Hochfrequenz-Spannungen mit einer Phasendifferenz von 90° angelegt, wodurch im Sta­ tor 3 im Segment A und im Segment B stehende Wellen er­ zeugt werden, die sich durch Interferenz zu der Wander­ welle überlagern. Infolge dieser Wanderwelle und unter Vermittlung durch die infolge des Andrucks des Rotors 4 an den Vibrator 3 zwischen diesen wirkende Reibungskraft wird der Rotor 4 in Drehung versetzt. Die Drehrichtung des Motors M ist umkehrbar, indem die Phasendifferenz der angelegten Hochfrequenz-Spannungen auf 270° geändert wird.
Wie die Fig. 3 zeigt, besteht eine Antriebsregeleinheit für die Versorgung und Regelung des Ultraschallmotors M im wesentlichen aus einem Stromversorgungsteil 5, einem Schwingungsdetektor 6, einer Frequenznachführeinrichtung 7 und einem Spannungsreglerteil 8. Der Stromversorgungs­ teil 5 dient zur Bereitstellung einer Hochfrequenz-Span­ nung von etwa 40 KHz, die an die Segmente A und B ange­ legt wird. Der Schwingungsdetektor 6 ist ein piezoelek­ trisches Meßelement, das an den Vibrator 3 angeklebt ist und zur Erfassung dessen Schwingungszustandes dient. Die Frequenznachführeinrichtung 7 dient zur variablen Rege­ lung der Frequenz der angelegten Hochfrequenz-Spannung, indem diese Frequenz Veränderungen der mechanischen Reso­ nanzfrequenz des Vibrators 3, wie sie infolge von dessen Temperaturänderungen auftreten, nachgeführt wird. Der Spannungsreglerteil 8 sorgt dafür, die Schwingungsampli­ tude des Vibrators 3 unabhängig von Laständerungen des Motors M auf einem vorgegebenen Wert zu halten.
Der Stromversorgungsteil 5 umfaßt, in Stufenschaltung, einen Gleichstrom-Zerhacker 5A und einen Wechselrichter­ kreis 5B. Der Zerhacker 5A ändert seine Ausgangsspannung durch Veränderung des Durchlaßverhältnisses eines Schalt­ gliedes S5 nach Maßgabe eines Treibers D1, dem als Ein­ gangssignal das Ausgangssignal des Spannungsreglerteils 8 zugeführt wird. Der Wechselrichterkreis 5B verändert die Frequenz der Ausgangsspannung durch Öffnen und Schließen von Schaltgliedern S1 bis S4 nach Maßgabe eines zweiten Treibers D2, dem als Eingangssignal das Ausgangssignal der Frequenznachführeinrichtung 7 zuge­ führt wird. Der Wechselrichterkreis 5B umfaßt eine Kombi­ nation aus zwei Sätzen von Halbbrücken-Wechselrichtern und erzeugt als Ausgangssignale zwei Rechteck-Wechsel­ spannungen mit einer Phasendifferenz. Die zugehörigen Ausgänge sind über je einen Transformator mit den Segmen­ ten A und B des Vibrators 3 verbunden, um an diesen die Wechselspannungen mit einer Maximalspannung von etwa 100 V und einer Frequenz von etwa 40 KHz anzulegen.
Die Frequenznachführeinrichtung 7 ist ein PLL-Schalt­ kreis mit einem Phasenkomparator PC, einem Tiefpaßfilter LPF und einem spannungsgesteuerten Oszillator VCO. Der Phasenkomparator PC vergleicht die Phasenlagen der Aus­ gangsspannung V1 des Schwingungsdetektors 6 und der an das piezoelektrische Element 1 angelegten Spannung V2.
Der Tiefpaßfilter LPF läßt nur den Niederfrequenzanteil des Ausgangssignals des Phasenkomparators PC passieren. Der spannungsgesteuerte Oszillator VCO liefert eine Rechteckspannung, deren Frequenz von dem Ausgangsignal des Tiefpaßfilters LPF abhängt. Der Ausgang des span­ nungsgesteuerten Oszillators VCO ist mit dem Eingang des zweiten Treibers D2 verbunden. Die Frequenznachführein­ richtung 7 regelt die Frequenz der Ausgangsspannung des Wechselrichterkreises 5B in der Weise, daß zwischen die­ ser Frequenz und der jeweiligen Resonanzfrequenz des Vi­ brators 3 eine gleichbleibende, einen vorgegebenen Wert aufweisende Frequenzdifferenz erhalten bleibt. Hierdurch werden Drehzahländerungen des Motors M, die durch tempe­ raturabhängige Änderungen der mechanischen Resonanzfre­ quenz des Vibrators 3 verursacht werden, kompensiert.
Liegt die Phasendifferenz zwischen den beiden Spannungen V1 und V2 unterhalb eines vorgegebenen Werts, dann wird die Ausgangsspannung des Phasenkomparators PC niedriger. Dies führt zu einer Erhöhung der Ausgangsfrequenz des spannungsgesteuerten Oszillators VCO, was wiederum eine Erhöhung der Schwingungsfrequenz des Wechselrichterkrei­ ses 5B hervorruft. Liegt die Phasendifferenz zwischen den Spannungen V1 und V2 oberhalb des vorgegebenen Wer­ tes, dann werden die Ausgangsfrequenz des Oszillators VCO und die Schwingungsfrequenz des Wechselrichterkrei­ ses 5B erniedrigt.
Schließlich umfaßt die Frequenznachführeinrichtung 7 noch einen Phasenkompensator PSC für eine auf die Aus­ gangsspannung des Phasenkomparators VC wirkende Kompen­ sation, mittels welcher die Schwingungsfrequenz so ge­ regelt wird, daß sie geringfügig höher bleibt als die mechanische Resonanzfrequenz des Vibrators 3 und somit stets den optimalen Wert für einen gleichmäßigen Betrieb des Motors M mit maximalem Wirkungsgrad aufweist.
Der Spannungsreglerteil 8 umfaßt ein Absolutwertglied 8a, ein Einstellglied 8b und einen Modulator 8c. Das Ab­ solutwertglied 8a sorgt für eine Vollwellengleichrich­ tung und Glättung der Ausgangsspannung V1 des Schwin­ gungsdetektors 6. Das Einstellglied 8b dient zur Einstel­ lung eines Drehzahl-Sollwertes für die Drehzahl des Mo­ tors M. Der Modulator 8c liefert als Ausgangssignal eine Rechteckspannung, deren Pulsbreite in Abhängigkeit von der Differenz zwischen den dem Modulator 8c zugeführten Ausgangsspannungen der Glieder 8a und 8b variiert. Der Ausgang des Spannungsreglerteils 8 ist mit dem Eingang des Treibers D1 verbunden.
Ist der Mittelwert der Ausgangsspannung V1 höher als die vom Einstellglied 8b ausgegebene, dem Drehzahl-Sollwert entsprechende Spannung, dann wird das Verhältnis zwi­ schen Einschalt- und Ausschaltdauer des Schaltgliedes S5 verkleinert, um die Ausgangsspannung des Gleichstromzer­ hackers 5A und damit die Drehzahl des Motors M zu ernie­ drigen. Umgekehrt wird, wenn der Mittelwert der Ausgangs­ spannung V1 niedriger als die vom Einstellglied 8b ausge­ gebene Spannung ist, das Verhältnis zwischen Einschalt- und Ausschaltdauer des Schaltgliedes S5 vergrößert, um die Ausgangsspannung des Zerhackers 5A und die Drehzahl des Motors M zu erhöhen.
Fig. 4 zeigt eine zweite Antriebsregeleinheit, die sich von der zuvor beschriebenen im wesentlichen im Stromver­ sorgungsteil 50 und in der Art der Regelung dieses Strom­ versorgungsteils 50 unterscheidet. Wie aus Fig. 4 er­ sichtlich ist, enthält der Stromversorgungsteil 50 einen Wechselrichterkreis 51 zur Versorgung des piezoelektri­ schen Elementes 1 des Vibrators 3 mit Hochfrequenzspan­ nung. Die Ausgangsfrequenz des Wechselrichterkreises 51 wird durch die Frequenznachführeinrichtung 7 geregelt. Das Ein-/Ausschaltdauer-Verhältnis der Pulse der ausge­ gebenen Rechteckspannung wird durch einen Geschwindig­ keitsamplituden-Reglerteil 80 geregelt.
Der Wechselrichterkreis 51 umfaßt auch hier eine Kombi­ nation von zwei Sätzen von Halbbrücken-Wechselrichtern und erzeugt als Ausgangssignale wieder zwei Rechteck- Wechselspannungen mit einer Phasendifferenz. Die zuge­ hörigen Ausgänge sind über je einen Transformator mit den Segmenten A und B des Vibrators 3 verbunden, um die­ sen mit Wechselspannungen mit bis zu etwa 100 V und mit einer Frequenz von etwa 40 KHz zu versorgen.
An dem Vibrator 3 ist auch hier ein Schwingungsdetektor 6 in Form eines piezoelektrischen Meßelementes ange­ klebt, mit welchem der Schwingungszustand des Vibrators 3 erfaßbar ist. Die Frequenznachführeinrichtung 7 regelt und variiert die Schwingungsfrequenz des Wechselrichter­ kreises 51, um die Phasendifferenz zwischen der Ausgangs­ spannung des Schwingungsdetektors 6 und der an das piezo­ elektische Element 1 des Virbrators 3 angelegten Span­ nung auf einem vorgegebenen Wert zu halten. Der Regler­ teil 80 regelt und variiert das Ein-/Ausschaltdauer-Ver­ hältnis der Pulse der vom Wechselrichterkreis 51 ausge­ gebenen Spannung in der Weise, daß die Ausgangsspannung des Schwingungsdetektors 6 auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird.
Die Frequenznachführeinrichtung 7 führt also eine Rege­ lung durch, die dafür sorgt, daß die Ausgangsfrequenz des Wechselrichterkreises 51 sich um einen festen Betrag von der Resonanzfrequenz des Vibrators 3 unterscheidet, um Änderungen der Drehzahl des Motors M infolge von tem­ peraturabhängigen Änderungen der mechanischen Resonanz­ frequenz des Vibrators 3 zu kompensieren.
Der Reglerteil 80 dient dem Zweck, Änderungen der Dreh­ zahl des Motors M infolge von Lastschwankungen zu kompen­ sieren. Er umfaßt ein Absolutwertglied 81, ein Einstell­ glied 82 und einen Modulator 83, deren Funktion und Wir­ kungsweise denen des Absolutwertgliedes 8a, des Einstell­ gliedes 8b und des Modulators 8c des zuvor anhand von Fig. 3 beschriebenen Ausführungsbeispieles entsprechen.
Der Wechselrichterkreis 51 umfaßt frequenzvariable Schaltglieder S1 bis S4 für die Änderung der Ein-/Aus­ schaltdauer-Verhältnisse der vom Kreis 51 ausgegebenen Spannungen. Die Schaltglieder S1 bis S4 werden durch Si­ gnale betätigt, die vom Reglerteil 80 ausgegeben werden. Dieser Punkt wird anhand der Fig. 5a, 5b und 5c näher erläutert.
Wie aus einem Vergleich der Fig. 5a bis 5c ersicht­ lich ist, bleibt, wenn das Ein-/Ausschaltdauer-Verhält­ nis der Pulse der vom Wechselrichterkreis S1 ausgegebe­ nen Rechteckspannung durch die Regelung verändert wird, die an das piezoelektrische Element 1 angelegte Spannung in ihrer Höhe gleich, jedoch ändert sich die Zeitdauer, über welche die Spannung angelegt wird, so daß eine Ände­ rung der zugeführten elektrischen Leistung erfolgt. Sinkt die Drehzahl des Motors M ab, sorgt die Regelein­ heit für eine Vergrößerung des Ein-/Ausschaltdauer-Ver­ hältnisses und somit für eine Erhöhung der zugeführten Leistung (Fig. 5a). Umgekehrt sorgt die Regeleinheit bei einem Ansteigen der Drehzahl des Motors M für eine Verkleinerung des Ein-/Ausschaltdauer-Verhältnisses und somit für eine Verringerung der zugeführten Leistung (Fig. 5c). Die in Fig. 5b gezeigte zugeführte Leistung stellt einen Zwischenzustand zwischen den Leistungen ge­ mäß Fig. 5a und 5c dar.
Eine gleichmäßige, lastunabhängige Drehzahl des Motors M kann auch dadurch erreicht werden, daß das Ein-/Aus­ schaltdauer-Verhältnis nach Maßgabe des Ausgangsignals des Schwingungsdetektors 6 geregelt wird. Eine dement­ sprechende Einrichtung kann als Teil des Zerhackers rea­ lisiert werden, wodurch der entsprechende Schaltkreis insgesamt kompakt und kostengünstig wird.

Claims (3)

1. Antriebsregeleinheit für einen Ultraschallmotor mit einem Vibrator, der aus einem piezoelektrischen Ele­ ment und einem elastischen Element gebildet ist, und mit einem durch Ultraschall-Schwingungen des piezo­ elektrischen Elementes in Drehung versetzbaren Rotor, wobei die Antriebsregeleinheit folgende Teile umfaßt:.
  • - einen Stromversorgungsteil zur Versorgung des piezo­ elektrischen Elementes mit Wechselspannung,
  • - einen Spannungsdetektor zur Erfassung einer an dem Vibrator angelegten Spannung,
  • - einen Schwingungsdetektor zur Erfassung des Schwin­ gungszustandes des Vibrators und zur Ausgabe eines von der Schwingungsgeschwindigkeit des Vibrators abhängenden Signals und
  • - Mittel zur Regelung des Ultraschallmotors nach Maß­ gabe des von dem Schwingungsdetektor ausgegebenen Signals, gekennzeichnet durch,
  • - eine selbsttätige Frequenznachführeinrichtung, mit­ tels welcher die Schwingungsfrequenz der vom Strom­ versorgungsteil angegebenen Wechselspannung in der Weise regelbar ist, daß eine zwischen der Frequenz dieser Wechselspannung und der Schwingungsfrequenz des Vibrators bestehende Phasendifferenz auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird, und
  • - einen selbsttätigen Spannungsreglerteil, mittels welchem die Ausgangsspannung des Stromversorgungs­ teils in der Weise regelbar ist, daß das von dem Schwingungsdetektor ausgegebene Signal auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird.
2. Antriebsregeleinheit nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Schwingungsdetektor ein an dem Vi­ brator angeordnetes piezoelektrisches Meßelement ist.
3. Antriebsregeleinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Stromversorgungsteil mit ei­ nem Wechselrichterkreis ausgeführt ist und daß durch den Spannungsreglerteil das Ein-/Ausschaltdauer-Ver­ hältnis der Pulse der von dem Wechselrichterkreis aus­ gegebenen Spannung regelbar und variierbar ist.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4216273A1 (de) * 1992-05-16 1993-11-18 Daimler Benz Ag Wanderwellenmotor zum Betrieb mit unterschiedlichen Schwingungsformen
WO2007082601A1 (de) * 2006-01-18 2007-07-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Selbsterregender pwm-controller für einen einphasenultraschallmotor
DE102006054597B4 (de) * 2006-11-20 2012-03-01 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Steuervorrichtung eines Ultraschallmotors
FR2991835A1 (fr) * 2012-06-08 2013-12-13 Faurecia Sieges Automobile Circuit de commande d'un moteur piezoelectrique alimente par la batterie d'un vehicule automobile
CN112798954A (zh) * 2020-12-29 2021-05-14 歌尔股份有限公司 振动电机的检测方法及装置
CN112946362A (zh) * 2021-03-31 2021-06-11 歌尔股份有限公司 振动电机的谐振频率检测方法、装置、终端设备及存储介质
CN113311226A (zh) * 2021-04-30 2021-08-27 歌尔股份有限公司 振动电机的谐振频率检测方法、装置、终端设备及存储介质

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0654889B1 (de) * 1990-02-14 1999-05-06 Nikon Corporation Antriebsvorrichtung für einen Ultraschallwellenmotor
JPH05184167A (ja) * 1992-01-06 1993-07-23 Canon Inc 進行波型モータの制御装置
JP2972010B2 (ja) * 1992-01-08 1999-11-08 キヤノン株式会社 振動型アクチュエーター駆動制御装置
JP3169421B2 (ja) * 1992-03-13 2001-05-28 キヤノン株式会社 振動波モータの駆動制御装置
JPH05273361A (ja) * 1992-03-24 1993-10-22 Seiko Instr Inc 超音波モータ付電子機器
US5939847A (en) * 1992-08-07 1999-08-17 Nikon Corporation Drive control device for ultrasonic motors
KR100204460B1 (ko) * 1992-12-16 1999-06-15 모리시타 요이찌 초음파모터의 속도제어방법
US5563464A (en) * 1993-02-09 1996-10-08 Olympus Optical Co., Ltd. Circuit for rotating ultrasonic motor
JPH06351270A (ja) * 1993-06-04 1994-12-22 Canon Inc 超音波モータ制御装置
FR2721154B1 (fr) * 1994-06-08 1996-07-05 Moulinex Sa Circuit d'alimentation d'un moteur piézo-électrique.
US5644199A (en) * 1994-07-20 1997-07-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for driving an ultrasonic motor
JP3412923B2 (ja) * 1994-09-14 2003-06-03 キヤノン株式会社 振動波駆動装置の制御装置
JPH08116685A (ja) * 1994-10-17 1996-05-07 Canon Inc 振動波モータ
DE19529662C2 (de) * 1995-08-11 1998-09-10 Siemens Ag Anordnung zur Ansteuerung eines piezoelektrischen Aktors
JP3437359B2 (ja) * 1996-01-08 2003-08-18 キヤノン株式会社 振動波駆動装置の制御装置
US5900690A (en) * 1996-06-26 1999-05-04 Gipson; Lamar Heath Apparatus and method for controlling an ultrasonic transducer
US5754016A (en) * 1996-09-18 1998-05-19 Dentsply Research & Development Corp Method of continuous control of tip vibration in a dental scalar system
US5945768A (en) * 1997-05-08 1999-08-31 Alliedsignal Inc. Piezoelectric drive circuit
AU9642498A (en) 1998-10-25 2000-05-15 Nanomotion Ltd. Driver for piezoelectric motors
JP3171187B2 (ja) * 1999-03-30 2001-05-28 ミノルタ株式会社 圧電アクチュエータ
FR2802359B1 (fr) 1999-12-09 2002-02-08 Metabole Dev Et Conseil Circuit d'alimentation pour moteur piezo-electrique
DE10008937A1 (de) * 2000-02-25 2001-08-30 Philips Corp Intellectual Pty Elektrischer Schaltkreis zur Ansteuerung von piezoelektrischen Antrieben
US6400062B1 (en) 2000-03-21 2002-06-04 Caterpillar Inc. Method and apparatus for temperature compensating a piezoelectric device
KR100376229B1 (ko) * 2000-12-28 2003-03-15 학교법인 인하학원 초음파 모터 구동 제어장치
ITMI20011571A1 (it) * 2001-07-23 2003-01-23 Abb Service Srl Dispositivo di azionamento per motore ultrasonico
DE10149671A1 (de) * 2001-10-09 2003-04-24 Eppendorf Ag Verfahren zum Steuern eines Piezoantriebes und Piezoantrieb zur Durchführung des Verfahrens
DE10158584A1 (de) * 2001-11-29 2003-07-03 Philips Intellectual Property Piezoelektrische Antriebsvorrichtung und ein Regelverfahren für eine piezoelektrische Antriebsvorrichtung
JP3540311B2 (ja) * 2002-05-31 2004-07-07 松下電器産業株式会社 モータ駆動制御装置
US7267661B2 (en) 2002-06-17 2007-09-11 Iradimed Corporation Non-magnetic medical infusion device
US7553295B2 (en) 2002-06-17 2009-06-30 Iradimed Corporation Liquid infusion apparatus
US7404809B2 (en) * 2004-10-12 2008-07-29 Iradimed Corporation Non-magnetic medical infusion device
EP1441398A1 (de) * 2003-01-27 2004-07-28 Koninklijke Philips Electronics N.V. Piezoelektrische Antriebsvorrichtung und ein Regelverfahren für eine piezoelektrische Antriebsvorrichtung
US7119475B2 (en) * 2003-03-31 2006-10-10 Seiko Epson Corporation Driving method of piezoelectric actuator, driving apparatus of piezoelectric actuator, electronic watch, electronics, control program of piezoelectric actuator, and storage medium
CN1898855B (zh) * 2004-03-10 2010-10-13 精工爱普生株式会社 压电致动器驱动装置、电子设备及其驱动方法
KR100665328B1 (ko) 2005-12-15 2007-01-09 삼성전기주식회사 압전 초음파 진동자의 구동 장치
JP4597185B2 (ja) * 2007-02-02 2010-12-15 キヤノン株式会社 塵埃除去装置および塵埃除去装置の駆動方法
US8105282B2 (en) 2007-07-13 2012-01-31 Iradimed Corporation System and method for communication with an infusion device
JP2011030285A (ja) * 2009-07-21 2011-02-10 Olympus Corp 超音波モータ
JP5884303B2 (ja) * 2011-06-07 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット
JP5799596B2 (ja) * 2011-06-10 2015-10-28 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット
CN105978400B (zh) * 2016-06-14 2018-09-21 四川航天系统工程研究所 超声电机控制方法
US11268506B2 (en) 2017-12-22 2022-03-08 Iradimed Corporation Fluid pumps for use in MRI environment
CN111464062A (zh) * 2020-04-24 2020-07-28 哈尔滨工业大学 一种超声驱动单元零电压-零电流软开关式驱动方法
US11838632B2 (en) * 2021-12-08 2023-12-05 Canon Kabushiki Kaisha Driving control apparatus, image pickup apparatus, and control method
CN116351686B (zh) * 2023-04-04 2024-06-25 重庆科技学院 一种可变压可变频超声清洗机发生器及控制方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3634329A1 (de) * 1985-10-09 1987-04-09 Canon Kk Steuergeraet fuer einen vibrationswellenmotor
US4952834A (en) * 1988-03-14 1990-08-28 Olympus Optical Co., Ltd. Circuitry for driving ultrasonic motor

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4692649A (en) * 1985-03-01 1987-09-08 Canon Kabushiki Kaisha Driving circuit of a vibration wave motor
US4727276A (en) * 1985-03-26 1988-02-23 Canon Kabushiki Kaisha Driving circuit for vibration wave motor
US4713571A (en) * 1986-01-23 1987-12-15 Canon Kabushiki Kaisha Driving circuit of a vibration wave motor
JPH078153B2 (ja) * 1986-07-14 1995-01-30 キヤノン株式会社 振動波モーター装置
JP2586082B2 (ja) * 1987-02-09 1997-02-26 株式会社ニコン 超音波モータの電源周波数最適化装置
US4888514A (en) * 1987-10-16 1989-12-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Driving apparatus for ultrasonic motor
US5021700A (en) * 1988-03-01 1991-06-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Driving apparatus for ultrasonic motor
US5013982A (en) * 1989-05-02 1991-05-07 Olympus Optical Co., Ltd. Circuit for driving ultrasonic motor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3634329A1 (de) * 1985-10-09 1987-04-09 Canon Kk Steuergeraet fuer einen vibrationswellenmotor
US4952834A (en) * 1988-03-14 1990-08-28 Olympus Optical Co., Ltd. Circuitry for driving ultrasonic motor

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4216273A1 (de) * 1992-05-16 1993-11-18 Daimler Benz Ag Wanderwellenmotor zum Betrieb mit unterschiedlichen Schwingungsformen
WO2007082601A1 (de) * 2006-01-18 2007-07-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Selbsterregender pwm-controller für einen einphasenultraschallmotor
DE102006042695B4 (de) * 2006-01-18 2012-02-23 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Selbsterregender PWM-Controller für einen Einphasenultraschallmotor
DE102006054597B4 (de) * 2006-11-20 2012-03-01 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Steuervorrichtung eines Ultraschallmotors
FR2991835A1 (fr) * 2012-06-08 2013-12-13 Faurecia Sieges Automobile Circuit de commande d'un moteur piezoelectrique alimente par la batterie d'un vehicule automobile
CN112798954A (zh) * 2020-12-29 2021-05-14 歌尔股份有限公司 振动电机的检测方法及装置
CN112946362A (zh) * 2021-03-31 2021-06-11 歌尔股份有限公司 振动电机的谐振频率检测方法、装置、终端设备及存储介质
CN113311226A (zh) * 2021-04-30 2021-08-27 歌尔股份有限公司 振动电机的谐振频率检测方法、装置、终端设备及存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
DE4107802C2 (de) 1993-05-27
US5130619A (en) 1992-07-14

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