DE4107802A1 - Antriebsregeleinheit fuer einen ultraschallmotor - Google Patents
Antriebsregeleinheit fuer einen ultraschallmotorInfo
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 7
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Antriebsregelein
heit für einen Ultraschallmotor, gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1.
Üblicherweise umfaßt eine derartige Antriebsregeleinheit
einen Schwingungsdetektor zur Erfassung des Schwingungs
zustandes des Vibrators und eine Regeleinrichtung zur va
riablen Regelung der Frequenz einer an dem piezoelektri
schen Element angelegten elektrischen Spannung, um die
Spannung auf einem vorgegebenen Wert zu halten. Aller
dings kann auch bei gleichbleibender angelegter Spannung
die Drehzahl des Ultraschallmotors infolge von Umgebungs
einflüssen, Temperatur- oder Laständerungen und dgl. va
riieren. Deshalb ist eine Regelung des Motors erforder
lich, um einen gleichmäßigen, von Temperatur- und Last
änderungen praktisch unbeeinflußten Betrieb zu gewähr
leisten.
Die oben erwähnte bekannte Regeleinheit stellt eine
feste Schwingungsamplitude des Vibrators sicher, indem
sie die Frequenz der angelegten Spannung der mechani
schen Resonanzfrequenz des Vibrators, die mit dessen
Temperatur variiert, nachführt. Diese Regeleinheit kann
aber nicht immer einen Betrieb des Ultraschallmotors mit
einem sehr guten Wirkungsgrad gewährleisten, der nur
dann erreicht wird, wenn die Frequenz der angelegten
Spannung in der Nähe der jeweiligen mechanischen Reso
nanzfrequenz des Vibrators liegt. Außerdem kann die
Motordrehzahl infolge von Laständerungen schwanken, weil
bei der bekannten Regeleinheit keine Kompensation für
durch Laständerungen hervorgerufene Drehzahländerungen
vorgesehen ist.
Es stellt sich daher die Aufgabe, eine Antriebsregelein
heit der eingangs genannten Art zu schaffen, die die auf
geführten Nachteile vermeidet und die jederzeit einen
gleichmäßigen Betrieb des Ultraschallmotors mit sehr
gutem Wirkungsgrad unabhängig von Temperaturänderungen
des Vibrators und unabhängig von Laständerungen des Mo
tors gewährleistet.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt erfindungsgemäß mit
einer Antriebsregeleinheit der eingangs genannten Art
mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1.
Die neue Antriebsregeleinheit trägt der Tatsache Rech
nung, daß ein optimaler Wirkungsgrad des Motors dann er
reicht wird, wenn die Phasendifferenz zwischen der von
dem Schwingungsdetektor erfaßten, als Spannung ausgege
bene Vibratorschwingung und der an das piezoelektrische
Element angelegten Spannung einen bestimmten Wert hat.
Deshalb wird die Frequenz der angelegten Spannung von
der Frequenznachführeinrichtung so geregelt, daß die von
dem Phasendifferenzdetektor erfaßte Phasendifferenz auf
einen vorgegebenen Wert nachgeführt wird. Gleichzeitig
ist zur Konstanthaltung der Geschwindigkeitsamplitude
eine Regeleinrichtung vorgesehen, mittels welcher die an
das piezoelektrische Element angelegte Spannung in der
Weise regelbar ist, daß die von dem Schwingungsdetektor
ausgegebene Spannung, welche die Schwingungsamplitude
des Vibrators darstellt, auf einem vorgegebenen Wert
hält.
Mit der neuen Antriebsregeleinheit wird demzufolge jeder
zeit ein Betrieb des Ultraschallmotors mit hervorragen
dem Wirkungsgrad in der Umwandlung von elektrischer in
mechanische Energie unabhängig von Temperaturänderungen
des Vibrators und unabhängig von Laständerungen er
reicht.
Weiter sieht die Erfindung vor, daß der Schwingungsdetek
tor ein piezoelektrisches Meßelement umfaßt, das an dem
Vibrator des Ultraschallmotors angebracht ist. Dieses
Element stellt ein einfaches und zuverlässiges Bauteil
dar.
Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung ist im Anspruch
3 angegeben.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung
anhand einer Zeichnung erläutert. Die Figuren der Zeich
nung zeigen:
Fig. 1 einen Ultraschallmotor in einer schematischen
Aufsicht zur Darstellung des Funktionsprinzips
des Motors,
Fig. 2 den Ultraschallmotor in einer schematischen
Seitenansicht,
Fig. 3 eine erste Antriebsregeleinheit in Form eines
Blocksschaltbildes,
Fig. 4 eine zweite, geänderte Antriebsregeleinheit,
ebenfalls in Form eines Blockschaltbildes, und
Fig. 5a, 5b und 5c unterschiedliche Wellenformen von an
ein piezoelektrisches Element als Teil des Mo
tors angelegten Spannungen.
Wie in Fig. 1 und Fig. 2 gezeigt, umfaßt ein Ultra
schallmotor M einen ringförmigen, als Stator dienenden
Vibrator 3 und einen Rotor 4. Der Vibrator 3 besteht aus
einem ringförmigen piezoelektrischen Element 1 und einem
ebenfalls ringförmigen elastischen Element 2, die fest
miteinander verbunden sind und zur Erzeugung einer Ultra
schall-Wanderwelle dienen. Der Rotor 4 ist als beweg
liches Element des Motors M an den Vibrator 3 angedrückt
und durch diesen in Drehung versetzbar.
Das piezoelektrische Element 1 ist in Umfangsrichtung in
zwei Gruppen von piezoelektrischen Segmenten A und B
unterteilt. Jedes Segment A, B umfaßt Abschnitte, welche
in Reihe mit Abständen angeordnet sind, der der Hälfte
der Wellenlänge der Wanderwelle entsprechen, und wel
che in Richtungen parallel zur Axialrichtung abwechselnd
polarisiert sind. Die Segmente A und B sind in Umfangs
richtung um einen Längenbetrag, der drei Viertel der
Wellenlänge entspricht, voneinander beabstandet. An
die Segmente A und B werden Hochfrequenz-Spannungen mit
einer Phasendifferenz von 90° angelegt, wodurch im Sta
tor 3 im Segment A und im Segment B stehende Wellen er
zeugt werden, die sich durch Interferenz zu der Wander
welle überlagern. Infolge dieser Wanderwelle und unter
Vermittlung durch die infolge des Andrucks des Rotors 4
an den Vibrator 3 zwischen diesen wirkende Reibungskraft
wird der Rotor 4 in Drehung versetzt. Die Drehrichtung
des Motors M ist umkehrbar, indem die Phasendifferenz
der angelegten Hochfrequenz-Spannungen auf 270° geändert
wird.
Wie die Fig. 3 zeigt, besteht eine Antriebsregeleinheit
für die Versorgung und Regelung des Ultraschallmotors M
im wesentlichen aus einem Stromversorgungsteil 5, einem
Schwingungsdetektor 6, einer Frequenznachführeinrichtung
7 und einem Spannungsreglerteil 8. Der Stromversorgungs
teil 5 dient zur Bereitstellung einer Hochfrequenz-Span
nung von etwa 40 KHz, die an die Segmente A und B ange
legt wird. Der Schwingungsdetektor 6 ist ein piezoelek
trisches Meßelement, das an den Vibrator 3 angeklebt ist
und zur Erfassung dessen Schwingungszustandes dient. Die
Frequenznachführeinrichtung 7 dient zur variablen Rege
lung der Frequenz der angelegten Hochfrequenz-Spannung,
indem diese Frequenz Veränderungen der mechanischen Reso
nanzfrequenz des Vibrators 3, wie sie infolge von dessen
Temperaturänderungen auftreten, nachgeführt wird. Der
Spannungsreglerteil 8 sorgt dafür, die Schwingungsampli
tude des Vibrators 3 unabhängig von Laständerungen des
Motors M auf einem vorgegebenen Wert zu halten.
Der Stromversorgungsteil 5 umfaßt, in Stufenschaltung,
einen Gleichstrom-Zerhacker 5A und einen Wechselrichter
kreis 5B. Der Zerhacker 5A ändert seine Ausgangsspannung
durch Veränderung des Durchlaßverhältnisses eines Schalt
gliedes S5 nach Maßgabe eines Treibers D1, dem als Ein
gangssignal das Ausgangssignal des Spannungsreglerteils
8 zugeführt wird. Der Wechselrichterkreis 5B verändert
die Frequenz der Ausgangsspannung durch Öffnen und
Schließen von Schaltgliedern S1 bis S4 nach Maßgabe
eines zweiten Treibers D2, dem als Eingangssignal das
Ausgangssignal der Frequenznachführeinrichtung 7 zuge
führt wird. Der Wechselrichterkreis 5B umfaßt eine Kombi
nation aus zwei Sätzen von Halbbrücken-Wechselrichtern
und erzeugt als Ausgangssignale zwei Rechteck-Wechsel
spannungen mit einer Phasendifferenz. Die zugehörigen
Ausgänge sind über je einen Transformator mit den Segmen
ten A und B des Vibrators 3 verbunden, um an diesen die
Wechselspannungen mit einer Maximalspannung von etwa 100
V und einer Frequenz von etwa 40 KHz anzulegen.
Die Frequenznachführeinrichtung 7 ist ein PLL-Schalt
kreis mit einem Phasenkomparator PC, einem Tiefpaßfilter
LPF und einem spannungsgesteuerten Oszillator VCO. Der
Phasenkomparator PC vergleicht die Phasenlagen der Aus
gangsspannung V1 des Schwingungsdetektors 6 und der an
das piezoelektrische Element 1 angelegten Spannung V2.
Der Tiefpaßfilter LPF läßt nur den Niederfrequenzanteil
des Ausgangssignals des Phasenkomparators PC passieren.
Der spannungsgesteuerte Oszillator VCO liefert eine
Rechteckspannung, deren Frequenz von dem Ausgangsignal
des Tiefpaßfilters LPF abhängt. Der Ausgang des span
nungsgesteuerten Oszillators VCO ist mit dem Eingang des
zweiten Treibers D2 verbunden. Die Frequenznachführein
richtung 7 regelt die Frequenz der Ausgangsspannung des
Wechselrichterkreises 5B in der Weise, daß zwischen die
ser Frequenz und der jeweiligen Resonanzfrequenz des Vi
brators 3 eine gleichbleibende, einen vorgegebenen Wert
aufweisende Frequenzdifferenz erhalten bleibt. Hierdurch
werden Drehzahländerungen des Motors M, die durch tempe
raturabhängige Änderungen der mechanischen Resonanzfre
quenz des Vibrators 3 verursacht werden, kompensiert.
Liegt die Phasendifferenz zwischen den beiden Spannungen
V1 und V2 unterhalb eines vorgegebenen Werts, dann wird
die Ausgangsspannung des Phasenkomparators PC niedriger.
Dies führt zu einer Erhöhung der Ausgangsfrequenz des
spannungsgesteuerten Oszillators VCO, was wiederum eine
Erhöhung der Schwingungsfrequenz des Wechselrichterkrei
ses 5B hervorruft. Liegt die Phasendifferenz zwischen
den Spannungen V1 und V2 oberhalb des vorgegebenen Wer
tes, dann werden die Ausgangsfrequenz des Oszillators
VCO und die Schwingungsfrequenz des Wechselrichterkrei
ses 5B erniedrigt.
Schließlich umfaßt die Frequenznachführeinrichtung 7
noch einen Phasenkompensator PSC für eine auf die Aus
gangsspannung des Phasenkomparators VC wirkende Kompen
sation, mittels welcher die Schwingungsfrequenz so ge
regelt wird, daß sie geringfügig höher bleibt als die
mechanische Resonanzfrequenz des Vibrators 3 und somit
stets den optimalen Wert für einen gleichmäßigen Betrieb
des Motors M mit maximalem Wirkungsgrad aufweist.
Der Spannungsreglerteil 8 umfaßt ein Absolutwertglied
8a, ein Einstellglied 8b und einen Modulator 8c. Das Ab
solutwertglied 8a sorgt für eine Vollwellengleichrich
tung und Glättung der Ausgangsspannung V1 des Schwin
gungsdetektors 6. Das Einstellglied 8b dient zur Einstel
lung eines Drehzahl-Sollwertes für die Drehzahl des Mo
tors M. Der Modulator 8c liefert als Ausgangssignal eine
Rechteckspannung, deren Pulsbreite in Abhängigkeit von
der Differenz zwischen den dem Modulator 8c zugeführten
Ausgangsspannungen der Glieder 8a und 8b variiert. Der
Ausgang des Spannungsreglerteils 8 ist mit dem Eingang
des Treibers D1 verbunden.
Ist der Mittelwert der Ausgangsspannung V1 höher als die
vom Einstellglied 8b ausgegebene, dem Drehzahl-Sollwert
entsprechende Spannung, dann wird das Verhältnis zwi
schen Einschalt- und Ausschaltdauer des Schaltgliedes S5
verkleinert, um die Ausgangsspannung des Gleichstromzer
hackers 5A und damit die Drehzahl des Motors M zu ernie
drigen. Umgekehrt wird, wenn der Mittelwert der Ausgangs
spannung V1 niedriger als die vom Einstellglied 8b ausge
gebene Spannung ist, das Verhältnis zwischen Einschalt-
und Ausschaltdauer des Schaltgliedes S5 vergrößert, um
die Ausgangsspannung des Zerhackers 5A und die Drehzahl
des Motors M zu erhöhen.
Fig. 4 zeigt eine zweite Antriebsregeleinheit, die sich
von der zuvor beschriebenen im wesentlichen im Stromver
sorgungsteil 50 und in der Art der Regelung dieses Strom
versorgungsteils 50 unterscheidet. Wie aus Fig. 4 er
sichtlich ist, enthält der Stromversorgungsteil 50 einen
Wechselrichterkreis 51 zur Versorgung des piezoelektri
schen Elementes 1 des Vibrators 3 mit Hochfrequenzspan
nung. Die Ausgangsfrequenz des Wechselrichterkreises 51
wird durch die Frequenznachführeinrichtung 7 geregelt.
Das Ein-/Ausschaltdauer-Verhältnis der Pulse der ausge
gebenen Rechteckspannung wird durch einen Geschwindig
keitsamplituden-Reglerteil 80 geregelt.
Der Wechselrichterkreis 51 umfaßt auch hier eine Kombi
nation von zwei Sätzen von Halbbrücken-Wechselrichtern
und erzeugt als Ausgangssignale wieder zwei Rechteck-
Wechselspannungen mit einer Phasendifferenz. Die zuge
hörigen Ausgänge sind über je einen Transformator mit
den Segmenten A und B des Vibrators 3 verbunden, um die
sen mit Wechselspannungen mit bis zu etwa 100 V und mit
einer Frequenz von etwa 40 KHz zu versorgen.
An dem Vibrator 3 ist auch hier ein Schwingungsdetektor
6 in Form eines piezoelektrischen Meßelementes ange
klebt, mit welchem der Schwingungszustand des Vibrators
3 erfaßbar ist. Die Frequenznachführeinrichtung 7 regelt
und variiert die Schwingungsfrequenz des Wechselrichter
kreises 51, um die Phasendifferenz zwischen der Ausgangs
spannung des Schwingungsdetektors 6 und der an das piezo
elektische Element 1 des Virbrators 3 angelegten Span
nung auf einem vorgegebenen Wert zu halten. Der Regler
teil 80 regelt und variiert das Ein-/Ausschaltdauer-Ver
hältnis der Pulse der vom Wechselrichterkreis 51 ausge
gebenen Spannung in der Weise, daß die Ausgangsspannung
des Schwingungsdetektors 6 auf einem vorgegebenen Wert
gehalten wird.
Die Frequenznachführeinrichtung 7 führt also eine Rege
lung durch, die dafür sorgt, daß die Ausgangsfrequenz
des Wechselrichterkreises 51 sich um einen festen Betrag
von der Resonanzfrequenz des Vibrators 3 unterscheidet,
um Änderungen der Drehzahl des Motors M infolge von tem
peraturabhängigen Änderungen der mechanischen Resonanz
frequenz des Vibrators 3 zu kompensieren.
Der Reglerteil 80 dient dem Zweck, Änderungen der Dreh
zahl des Motors M infolge von Lastschwankungen zu kompen
sieren. Er umfaßt ein Absolutwertglied 81, ein Einstell
glied 82 und einen Modulator 83, deren Funktion und Wir
kungsweise denen des Absolutwertgliedes 8a, des Einstell
gliedes 8b und des Modulators 8c des zuvor anhand von
Fig. 3 beschriebenen Ausführungsbeispieles entsprechen.
Der Wechselrichterkreis 51 umfaßt frequenzvariable
Schaltglieder S1 bis S4 für die Änderung der Ein-/Aus
schaltdauer-Verhältnisse der vom Kreis 51 ausgegebenen
Spannungen. Die Schaltglieder S1 bis S4 werden durch Si
gnale betätigt, die vom Reglerteil 80 ausgegeben werden.
Dieser Punkt wird anhand der Fig. 5a, 5b und 5c näher
erläutert.
Wie aus einem Vergleich der Fig. 5a bis 5c ersicht
lich ist, bleibt, wenn das Ein-/Ausschaltdauer-Verhält
nis der Pulse der vom Wechselrichterkreis S1 ausgegebe
nen Rechteckspannung durch die Regelung verändert wird,
die an das piezoelektrische Element 1 angelegte Spannung
in ihrer Höhe gleich, jedoch ändert sich die Zeitdauer,
über welche die Spannung angelegt wird, so daß eine Ände
rung der zugeführten elektrischen Leistung erfolgt.
Sinkt die Drehzahl des Motors M ab, sorgt die Regelein
heit für eine Vergrößerung des Ein-/Ausschaltdauer-Ver
hältnisses und somit für eine Erhöhung der zugeführten
Leistung (Fig. 5a). Umgekehrt sorgt die Regeleinheit
bei einem Ansteigen der Drehzahl des Motors M für eine
Verkleinerung des Ein-/Ausschaltdauer-Verhältnisses und
somit für eine Verringerung der zugeführten Leistung
(Fig. 5c). Die in Fig. 5b gezeigte zugeführte Leistung
stellt einen Zwischenzustand zwischen den Leistungen ge
mäß Fig. 5a und 5c dar.
Eine gleichmäßige, lastunabhängige Drehzahl des Motors M
kann auch dadurch erreicht werden, daß das Ein-/Aus
schaltdauer-Verhältnis nach Maßgabe des Ausgangsignals
des Schwingungsdetektors 6 geregelt wird. Eine dement
sprechende Einrichtung kann als Teil des Zerhackers rea
lisiert werden, wodurch der entsprechende Schaltkreis
insgesamt kompakt und kostengünstig wird.
Claims (3)
1. Antriebsregeleinheit für einen Ultraschallmotor mit
einem Vibrator, der aus einem piezoelektrischen Ele
ment und einem elastischen Element gebildet ist, und
mit einem durch Ultraschall-Schwingungen des piezo
elektrischen Elementes in Drehung versetzbaren Rotor,
wobei die Antriebsregeleinheit folgende Teile umfaßt:.
- - einen Stromversorgungsteil zur Versorgung des piezo elektrischen Elementes mit Wechselspannung,
- - einen Spannungsdetektor zur Erfassung einer an dem Vibrator angelegten Spannung,
- - einen Schwingungsdetektor zur Erfassung des Schwin gungszustandes des Vibrators und zur Ausgabe eines von der Schwingungsgeschwindigkeit des Vibrators abhängenden Signals und
- - Mittel zur Regelung des Ultraschallmotors nach Maß gabe des von dem Schwingungsdetektor ausgegebenen Signals, gekennzeichnet durch,
- - eine selbsttätige Frequenznachführeinrichtung, mit tels welcher die Schwingungsfrequenz der vom Strom versorgungsteil angegebenen Wechselspannung in der Weise regelbar ist, daß eine zwischen der Frequenz dieser Wechselspannung und der Schwingungsfrequenz des Vibrators bestehende Phasendifferenz auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird, und
- - einen selbsttätigen Spannungsreglerteil, mittels welchem die Ausgangsspannung des Stromversorgungs teils in der Weise regelbar ist, daß das von dem Schwingungsdetektor ausgegebene Signal auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird.
2. Antriebsregeleinheit nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Schwingungsdetektor ein an dem Vi
brator angeordnetes piezoelektrisches Meßelement ist.
3. Antriebsregeleinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der Stromversorgungsteil mit ei
nem Wechselrichterkreis ausgeführt ist und daß durch
den Spannungsreglerteil das Ein-/Ausschaltdauer-Ver
hältnis der Pulse der von dem Wechselrichterkreis aus
gegebenen Spannung regelbar und variierbar ist.
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