DE4041429A1 - Verfahren zum feststellen einer bewegungsgroesse - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, welches bei verschiedenen Arten von Codierern, usw. in großem Umfang verwendet wird.

Die Bewegungsgröße eines Körpers wird dadurch erfaßt, daß der erfaßte Körper mit Licht von einer Lichtquelle bestrahlt wird und das Licht, welches von dem erfaßten Körper reflek­ tiert worden ist, oder durchgelassenes Licht mittels eines Photodetektors gefühlt bzw. festgestellt wird. Ein solches Feststellen wird in großem Umfang durchgeführt, und stellt eine Art von optischem Instrumentarium dar.

Die Anmelderin der vorliegenden Anmeldung hat bereits ein Verfahren zum Feststellen einer Verschiebungsgröße usw. des erfaßten Körpers in der japanischen Patentanmeldung Nr. 63-1 27 916 vorgeschlagen. Bei diesem Verfahren wird der erfaßte Körper, welcher eine periodische Struktur hat, mit einem Lichtstrahl von einer kohärentes Licht abgebenden Licht­ quelle bestrahlt, um so durch Beugung ein Schattenbildmuster zu erzeugen. Die Verschiebungsgröße des erfaßten Körpers wird mit Hilfe dieses Schattenbildmusters gefühlt und festgestellt. Bei diesem Verfahren ist jedoch die Lichtquelle auf eine Quelle beschränkt, von welcher kohärentes Licht abgegeben wird. Daher sind die Kosten einer Meßeinrichtung entsprechend hoch.

Bei einem anderen bekannten Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße des erfaßten Körpers, bei welchem der erfaßte Körper, der eine monoperiodische Struktur hat, mit einem inkohärenten Lichtstrahl von einer lichtemittierenden Diode (LED) bestrahlt wird. Ein derartiges Verfahren ist beispiels­ weise in "Sensor-Interfacing" (S61) Nr. 3, P. 29 beschrieben, das von dem CQ-Verlag herausgegeben ist. Wenn bei diesem Ver­ fahren ein Abstand der monoperiodischen Struktur des erfaßten Körpers verringert wird, um die Meßgenauigkeit zu verbessern, wird ein Signal-/Rausch-Verhältnis eines von dem Photodetek­ tor erhaltenen Signals stark reduziert, so daß es schwierig ist, die Meßgröße des erfaßten Körpers mit hoher Genauigkeit zu messen.

Gemäß der Erfindung soll daher ein Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße geschaffen werden, bei welchem ein Ele­ ment zum Abgeben von inkohärentem Licht als eine Lichtquelle verwendet werden kann und die Bewegungsgröße eines festge­ stellten oder erfaßten Körpers mit hoher Genauigkeit gemessen werden kann. Gemäß der Erfindung ist dies bei einem Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 oder des Anspruchs 7 durch die Merkmale im kenn­ zeichnenden Teil des jeweiligen Anspruchs erreicht. Vorteil­ hafte Weiterbildungen sind Gegenstand der auf Anspruch 1 oder 7 unmittelbar oder mittelbar rückbezogenen Unteransprüche. Gemäß der Erfindung kann somit ein Element zum Abgeben von inkohärentem Licht als eine Lichtquelle verwendet werden und eine Bewegungsgröße des erfaßten und festgestellten Körpers kann mit hoher Genauigkeit gemessen werden.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von bevorzugten Aus­ führungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnun­ gen im einzelnen erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Darstellung, anhand welcher das Prinzip eines Verfahrens zum Feststellen einer Bewegungsgröße der Erfindung erläutert wird;

Fig. 2a bis 2c Darstellungen von drei Arten von lichtunter­ brechenden Platten;

Fig. 3 eine Darstellung, anhand welcher Wirkungen einer lichtunterbrechenden Platte erläutert werden, und in welcher die Beziehung zwischen einem Kontrast und einer Ortsfrequenz einer monoperiodischen Struktur eines erfaßten Körpers dargestellt ist;

Fig. 4 eine Darstellung, anhand welcher ein Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße in einer ersten Ausführungsform der Erfindung erläutert wird;

Fig. 5 eine Darstellung, in welcher nur ein Hauptteil eines Verfahrens zum Feststellen einer Bewegungs­ größe in einer zweiten Ausführungsform der Erfin­ dung dargestellt ist;

Fig. 6 eine Darstellung, in welcher ebenfalls nur ein Hauptteil eines Verfahrens zum Feststellen einer Bewegungsgröße einer dritten Ausführungsform der Erfindung dargestellt ist, und

Fig. 7 eine Darstellung nur eines Hauptteils eines Ver­ fahrens zum Feststellen einer Bewegungsgröße in einer vierten Ausführungsform der Erfindung.

Anhand der Zeichnungen werden nunmehr bevorzugte Ausführungs­ formen eines Verfahrens zum Feststellen einer Bewegungsgröße gemäß der Erfindung im einzelnen beschrieben. In einem er­ findungsgemäßen Verfahren zum Feststellen einer Bewegungs­ größe wird die Bewegungsgröße eines erfaßten Körpers dadurch festgestellt, daß der erfaßte Körper mit von einer Lichtquelle emittiertem Licht bestrahlt wird und von dem erfaßten Körper reflektiertes Licht oder durchgelassenes Licht mittels eines Photodetektors gefühlt und erfaßt wird. Das Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße weist die folgenden Merkmale auf.

Es wird inkohärentes Licht von der Lichtquelle abgegeben und durch eine kleine Öffnung einer lichtunterbrechenden Platte durchgelassen. Mit dem inkohärenten Licht wird der erfaßte Körper, der eine monoperiodische Struktur hat, bestrahlt, um einen divergenten durchgehenden oder reflektierten Lichtstrahl zu erhalten. Ein Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster wird durch den divergenten durchgehenden oder reflektierten Licht­ strahl erzeugt. Eine Bewegungsgröße des Schattenbild-Beugungs- Interferenzmusters, welche durch eine Bewegung des erfaßten Körpers in einer den Lichtstrahl kreuzenden Richtung hervor­ gerufen worden ist, wird durch den Photodetektor erfaßt, um die Bewegungsgröße des erfaßten Körpers festzustellen.

Um das Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster zu erzeugen, ist es notwendig, daß der von dem erfaßten Körper durchge­ lassene Lichtstrahl oder der an ihm reflektierte Lichtstrahl divergent ist. Um dieser Bedingung zu genügen, reicht es im allgemeinen aus, mit dem inkohärenten Lichtstrahl, welcher durch die schmale Öffnung der lichtunterbrechenden Platte durchgelassen worden ist, als einem divergenten Lichtstrahl den festgestellten Körper zu bestrahlen. Wenn der festge­ stellte Körper eine Projektionsfläche hat, kann der diver­ gente reflektierte Lichtstrahl sogar erhalten werden, wenn der erfaßte Körper mit einem parallelen Lichtstrahl bestrahlt wird. Wenn der erfaßte Körper eine Projektionsfläche hat, reicht es aus, den inkohärenten Lichtstrahl, welcher durch die schmale Öffnung der lichtunterbrechenden Platte durchge­ lassen worden ist, durch eine Kollimatorlinse in einen para­ lellen Lichtstrahl zu verändern und mit diesem parallelem Lichtstrahl den erfaßten Körper zu bestrahlen.

Die schmale Öffnung der lichtunterbrechenden Platte kann in einer rechteckigen, elliptischen, kreisförmigen Form usw. ausgebildet sein. Die monoperiodische Struktur bedeutet, daß eine periodische Struktur einen konstanten Abstand hat. Die Lichtquelle, welche das inkohärente Licht abgibt, kann durch eine lichtemittierende Diode (LED) oder eine Lichtquelle ge­ bildet sein, welche weißes Licht emittiert.

Wie in der vorerwähnten japanischen Patentanmeldung Nr. 63-1 27 916 beschrieben ist, kann, wenn der erfaßte Körper, welche eine monoperiodische Struktur hat, mit einem kohären­ ten Lichtstrahl von einer linearen Lichtquelle beleuchtet wird, ein Schattenbildmuster geschaffen werden, das der mono­ periodischen Struktur des erfaßten Körpers entspricht.

Bei Untersuchungen der Anmelderin hat sich ergeben, daß ein Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster, welches der mono­ periodischen Struktur des erfaßten Körpers entspricht, auch dadurch gebildet werden, daß mit inkohärentem Licht, das von einer Lichtquelle emittiert worden ist, der erfaßte Körper durch eine schmale Öffnung der unterbrechenden Platte be­ strahlt werden kann. Dieses Schattenbild-Beugungs-Interferenz­ muster wird als ein Schattenbild entsprechend einer Bewegung des erfaßten Körpers bewegt.

In Fig. 1, in welcher das Prinzip eines Verfahrens zum Fest­ stellen einer Bewegungsgröße dargestellt ist, gibt eine Licht­ quelle 1 inkohärentes Licht ab. Ferner sind in Fig. 1 eine lichtunterbrechende Platte 1A ein Beugungsgitter 9 und ein (Projektions-)Schirm 10 vorgesehen. Das Beugungsgitter 9 ist ein durchlässiges Gitter und durch ein eindimensionales line­ ares Gitter ausgebildet, so daß das lineare Gitter in Fig. 1 in vertikaler Richtung angeordnet ist.

Wie in Fig. 2a dargestellt, ist eine rechteckige Öffnung in der lichtunterbrechenden Platte 1A ausgebildet. Eine Längs­ richtung dieser Öffnung ist bezüglich Fig. 1 in der vertikalen Richtung eingestellt. Die Länge der Öffnung der lichtunter­ brechenden Platte 1a in deren Längsrichtung ist mit d bemes­ sen, und der Abstand des Beugungsgitters 9 ist. Ein Schlitz ist als ein lichtdurchlassender Teil in dem Beugungsgitter 9 angeordnet.

Wie in Fig. 1 dargestellt, beträgt der Abstand zwischen der lichtunterbrechenden Platte 1A und dem Beugungsgitter 9 b1 während der Abstand zwischen dem Beugungsgitter 9 und dem Schirm 10 auf b2 eingestellt ist.

Wenn ein Lichtstrahl von der Lichtquelle 1 abgegeben wird, wird eine Lichtstärke-Verteilung auf dem Schirm 10 ausgebil­ det, wie in Fig. 1 dargestellt ist, und sie weist bezüglich der Lichtintensität starke und schwache Muster bzw. Bilder auf. Von einer Mitte der Öffnung ist in deren Längsrichtung eine senkrechte Linie durch das Beugungsgitter 9 auf den Schirm 10 gezogen. Diese senkrechte Linie ist in der folgenden Be­ schreibung als optische Achse AX bezeichnet. Die Lage jedes Scheitenwerts der Lichtstärkeverteilung auf dem Schirm 10 ist in Übereinstimmung mit einer Position, in welcher Licht, das von einem mittleren Teil der Öffnung in deren Längsrich­ tung abgegeben worden ist, als ein Strahl zu betrachten und jeder Strahl erreicht den Schirm 10 durch den Schlitz des Beugungsgitters 9.

Folglich entspricht die Lichtstärkeverteilung auf dem Schirm 10 einem Muster, welches durch Projizieren eines Schlitzes des Beugungsgitters 9 als ein Schattenbild auf dem Schirm 10 von einer Punktquelle erzeugt worden ist, welche in der Mitte der Öffnung angeordnet ist. Folglich wird ein Muster dieser Lichtstärkeverteilung als ein Schattenbild-Beugungs-Inter­ ferenzmuster bezeichnet. Dieses Muster ist als Ergebnis einer Beugungs-Interferenzerscheinung ausgebildet und ist folglich nicht durch eine einfache Erscheinung des Schattenbildes erzeugt. Bezüglich dieses Musters ist selbstverständlich die Lichtstärke in der Nähe der optischen Achse stark und in einer von der optischen Achse AX abliegenden Stelle schwach. Folglich wird dieses Muster insbesondere als das Schattenbild- Beugungs-Interferenzmuster bezeichnet.

Dieses Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster hat die fol­ genden Merkmale:
Bezüglich des Abstandes ξ und der Länge d kann kein Schatten­ bildmuster mit einem ausreichenden Kontrast zwischen Licht und Schatten erhalten werden, wenn das Verhältnis d/ξ größer als 4 ist, d. h. wenn die Länge d der Öffnung in deren Längsrichtung größer als ein Vierfaches des Werts des Ab­ stands ξ des Beugungsgitters ist. Wenn dagegen das Verhältnis d/ξ verringert und null angenähert wird, ist das Schatten­ bild-Beugungs-Interferenzmuster entsprechend einer Bedingung zum Erzeugen eines Schattenbild-Beugungsmusters ausgebildet, das in der offengelegten japanischen Patentanmeldung (KOKAI) Nr. 63-47 616 beschrieben ist. Wenn nämlich das Verhältnis d/ξ kleiner als 1/10 ist, erscheinen die Eigenheiten einer Punktquelle, und das Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster wird bezüglich der Abstandsänderung b1 und b2 unstabil.

Die Beziehung zwischen der Größe des Schattenbild-Beugungs- Interferenzmusters und dem Schlitzabstand ξ des Beugungsgit­ ters 9 wird als nächstes beschrieben. Der Abstand zwischen Scheitelwerten des Schattenbild-Beugungs-Interferenzmusters ist als ξ (b2/(b1+b2)) gegeben. Diese Beziehung ξ (b2/(b1+b2)) ist in beachtlich großen Bereichen der Abstände b1 und b2 ge­ geben. Die Bildung dieser Beziehung bezüglich des Schatten­ bildes ist durch einen Versuch bestätigt. Folglich ist das Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster sehr stabil ausgebil­ det, und dessen Größe kann in einem beträchtlichen Bereich durch den Abstand ξ und das Verhältnis (b2/(b1+b2)) entspre­ chend eingestellt werden.

Wie vorstehend erwähnt, ist das Schattenbild-Beugungs-Inter­ ferenzmuster durch Beugung und Interferenz gebildet und ent­ spricht als Schattenbild dem durchgelassenen oder reflektier­ ten Lichtteil in dem Beugungsmuster. Das Schattenbild-Beu­ gungs-Interferenzmuster wird entsprechend einer Bewegung des Beugungsgitters bewegt. Wenn folglich eine monoperiodische Struktur des erfaßten Körpers als das Beugungsgitter verwen­ det ist und die Bewegung des erzeugten Schattenbild-Beugungs- Interferenzmuster durch einen Photodetektor als eine periodi­ sche Größenänderung von empfangenen Licht festgestellt wird, kann eine Bewegungsgröße des erfaßten Körpers durch eine ent­ sprechende Beziehung zwischen dem Schattenbild-Beugungs-In­ terferenzmuster und der monoperiodischen Struktur erkannt werden.

Die lichtunterbrechende Platte 1A hat in der vorstehend be­ schriebenen Ausführungsform eine rechteckige Öffnung. Jedoch kann, wie in Fig. 2b dargestellt, die lichtunterbrechende Platte 1B auch eine mit einer elliptischen Öffnung sein. Fer­ ner kann, wie in Fig. 2c dargestellt, die lichtunterbrechende Platte 1 eine kreisförmige Öffnung aufweisen. Im Falle einer elliptischen Öffnung reicht es aus, eine Länge der ellipti­ schen Öffnung in deren Hauptachse so einzustellen, daß der vorstehenden Bedingung bezüglich des Abstandes ξ genügt ist. Im Falle der kreisförmigen Öffnung genügt es, einen Durchmes­ ser d der kreisförmigen Öffnung so einzustellen, daß der vor­ stehenden Bedingung bezüglich des Abstandes ξ genügt ist.

In Fig. 3 ist mit einer ausgezogenen Linie ein Fall darge­ stellt, bei welchem die lichtunterbrechende Platte mit einer kleinen bzw. schmalen Öffnung angeordnet ist, während durch eine gestrichelte Linie ein Fall dargestellt ist, bei wel­ chem keine lichtunterbrechende Platte vorgesehen ist. Wenn eine Ortsfrequenz der monoperiodischen Struktur des erfaßten Körpers klein ist, kann das Schattenbild-Beugungs-Interfe­ renzmuster selbst dann noch erhalten werden, wenn ein Licht­ strahl von einer LED direkt auf den erfaßten Körper gerich­ tet ist. Jedoch nimmt der Kontrast zwischen Licht und Schat­ ten in dem Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster schnell ab, wenn die Ortsfrequenz zunimmt, wie in Fig. 3 dargestellt ist. Wenn im Unterschied hierzu der erfaßte Körper wie in der Erfindung mit Licht bestrahlt wird, welches durch die kleine Öffnung der lichtunterbrechenden Platte durchgelassen worden ist, kann ein Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster mit einem hohen Kontrast zwischen Licht und Schatten mit ei­ ner sehr hohen Ortsfrequenz erhalten werden, wie in Fig. 3 dargestellt ist.

Ein Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße in jeder der vier Ausführungsformen gemäß der Erfindung wird als nächstes beschrieben. In Fig. 4 ist ein Verfahren zum Feststel­ len einer Bewegungsgröße in der ersten Ausführungsform gemäß der Erfindung dargestellt. In dieser ersten Ausführungsform wird das Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße beim Erfassen einer Bewegungsgröße eines linearen Codierers 2 an­ gewendet. In Fig. 4 gibt eine Lichtquelle 1, welche durch eine LED gebildet ist, inkohärentes Licht ab. Ein linearer Codie­ rer 2 wird als ein erfaßter Körper verwendet und ist mit kleinen Schlitzen in einem konstanten Abstand ξ versehen. Ein Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster, welches durch diese Schlitzanordnung erzeugt wird, wird entsprechend einer Bewe­ gung des linearen Codierers 2 in der Richtung eines Pfeils in Fig. 4 bewegt. Wenn folglich eine Bewegungsgröße des Schat­ tenbild-Beugungs-Interferenzmusters als eine periodische Größenänderung von Licht festgestellt wird, das mittels eines Photodetektors 3 empfangen worden ist, der in einer konstan­ ten Position angeordnet ist, kann die Bewegungsgröße des linearen Codierers 2 mit hoher Genauigkeit durch eine Ver­ größerungsbeziehung festgestellt werden (welche durch das vor­ stehend angeführte Verhältnis b2/(b1+b2) zwischen dem line­ aren Codierer und dem Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster gebildet worden ist.

In Fig. 5 ist in einer zweiten Ausführungsform gemäß der Er­ findung ein Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße dargestellt. In Fig. 5 wird dieses Verfahren zum Messen einer Bewegungsgröße eines scheibenförmigen Beugungsgitters 2A angewendet, wenn dieses Beugungsgitter gedreht wird.

In Fig. 6 ist in einer dritten Ausführungsform gemäß der Er­ findung ein Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße dargestellt. In Fig. 6 wird dieses Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße eines zylindrischen Beugungsmusters 2B verwendet, das auf einer Welle 7 eines Lagerteils 6 ausgebil­ det ist, wenn dieses Beugungsgitter gedreht wird.

In diesen Ausführungsformen ist der Photodetektor 3 auf einer optischen Achse AX angeordnet. In diesem Fall ist es daher notwendig, eine Bedingung 1/10 d/ξ 4 einzustellen. Eine Position, welche in jeder der Fig. 4 und 5 durch eine strichpunktierte Linie dargestellt ist, ist eine Position, welche von der optischen Achse AX getrennt ist, in welcher der Kontrast zwischen Licht und Schatten des Schattenbild- Beugungs-Interferenzmusters stabil ist. Wenn der Photodetek­ tor 3 in einer solchen Position angeordnet ist, kann die Be­ wegungsgröße vorzugsweise gemessen werden, selbst wenn das Verhältnis d/ξ annähernd auf 4 eingestellt ist.

Wenn, wie in Fig. 7 dargestellt ist, der erfaßte Körper durch einen reflektierenden, zylindrischen Codierer 2B gebildet ist, wird ein Lichtstrahl, welcher durch eine kleine Öffnung einer lichtunterbrechenden Platte 1A durchgelassen worden ist, durch eine Kollimatorlinse 11 in einen parallelen Lichtstrahl geändert und mit ihnen kann dann der erfaßte Körper 2B be­ strahlt werden.

In den vorerwähnten Ausführungsformen können statt der licht­ unterbrechenden Platte 1A die in Fig. 2b bzw. 2c dargestellten lichtunterbrechenden Platten 1B und 1C auch verwendet werden.

Wie vorstehend ausgeführt, kann mit dem erfindungsgemäßen Ver­ fahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße ein sehr stabi­ les Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster mit Hilfe einer Lichtquelle erzeugt werden, die inkohärentes Licht abgibt. Daher kann die Bewegungsgröße eines erfaßten Körpers mit ho­ her Genauigkeit festgestellt werden.

Gemäß der Erfindung wird die Größe einer monoperiodischen Struktur des erfaßten Körpers in der Form eines Schatten­ bildes größer. Folglich kann die Bewegungsgröße des erfaßten Körpers selbst dann noch festgestellt werden, wenn ein Ab­ stand der monoperiodischen Struktur des erfaßten Körpers stark reduziert ist. Die monoperiodische Struktur, die einen kleinen Abstand aufweist, kann mittels allgemein üblicher Verfahren realisiert werden, wie beispielsweise ist eine photolithographischen Verfahren, einem Verfahren, bei welchem eine Interferenz eines Laserstrahls ausgenutzt wird, usw. Die monoperiodische Struktur mit einem sehr kleinen Abstand kann auch durch ein Verfahren realisiert werden, das in der japa­ nischen Patentanmeldung Nr. 63-2 10 126 vorgeschlagen worden ist, bei welcher dieselben Erfinder wie bei der vorliegenden Patentanmeldung angeführt sind. Bei diesem Verfahren wird ein Beugungsmuster mit Hilfe eines Magnetkopfes auf ein magneti­ sches Aufzeichnungsmedium geschrieben und durch ein magne­ tisches Kolloidalfluid entwickelt. Eine dünne transparente Harzschicht oder eine aufgedampfte dünne Metallschicht wird an dem entwickelten Muster erzeugt, und das durch das Kolloi­ dalfluid entwickelte Muster wird auf dieser Lage oder dünnen Schicht fixiert.

Claims (8)

1. Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße eines erfaßten Körpers, indem der erfaßte Körper mit von einer Lichtquelle emittiertem Licht bestrahlt wird und von dem er­ faßten Körper reflektiertes Licht oder von ihm durchgelas­ senes Licht mittels eines Photodetektors erfaßt wird, da­ durch gekennzeichnet, daß
inkohärentes Licht von der Lichtquelle durch eine kleine Öffnung einer lichtunterbrechenden Platte abgegeben wird;
das inkohärente Licht auf den erfaßten Körper, welcher eine monoperiodische Struktur hat, gerichtet wird, um dadurch einen divergenten durchgelassenen oder reflektierten Licht­ strahl zu erhalten;
ein Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster durch den diver­ genten durchgelassenen oder reflektierten Lichtstrahl erzeugt wird, und
eine Bewegungsgröße des Schattenbild-Beugungs-Interferenzmu­ ster, das durch eine Bewegung das erfaßten Körpers in einer den Lichtstrahl kreuzenden Richtung hervorgerufen worden ist, mittels des Detektors erfaßt wird, um so die Bewegungsgröße des erfaßten Körpers festzustellen.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein Verhältnis (d/ξ) einer Längsgröße (d) einer rechteckigen Öffnung der lichtunterbrechenden Platte zu einem Abstand (ξ) eines Beugungsgitters, das auf der lichtemittierenden Seite der lichtunterbrechenden Platte angeordnet ist, von 1/10 bis 4 reicht.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein Verhältnis (d/ξ) einer Hauptachsen­ länge (d) einer elliptischen Öffnung der lichtunterbrechenden Platte zu einem Abstand (ξ) eines Beugungsgitters, das auf einer lichtemittierenden Seite dar lichtunterbrechenden Platte angeordnet ist, von 1/10 bis 4 reicht.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein Verhältnis (d/ξ) eines Durchmes­ sers (d) einer kreisförmigen Offnung der lichtunterbrechen­ den Platte zu einem Abstand (ξ) eines Beugungsgitters, das auf einer lichtemittierenden Seite der lichtunterbrechenden Platte angeordnet ist, von 1/10 bis 4 reicht.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das von dem erfaßten Körper durchge­ lassene Licht oder das von diesem reflektierte Licht diver­ gent ist.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die kleine Öffnung in der lichtunter­ brechenden Platte eine rechteckige, elliptische oder kreis­ förmige Form aufweist.

7. Verfahren zum Feststellen einer Bewegungsgröße eines erfaßten, zylindrischen Körpers, indem von einer Lichtquelle emittiertes Licht auf den erfaßten Körper gerichtet wird und von dem erfaßten Körper reflektiertes Licht durch einen Photo­ detektor erfaßt wird, dadurch gekennzeichnet, daß
inkohärentes Licht von der Lichtquelle durch eine kleine Öffnung einer lichtunterbrechenden Platte emittiert wird;
das inkohärente Licht über eine Kollimatorlinse auf den er­ faßten Körper gerichtet wird, der eine monoperiodische Struktur hat, um ein divergenten reflektierten Lichtstrahl zu erhalten;
ein Schattenbild-Beugungs-Interferenzmuster durch den diver­ genten reflektierten Lichtstrahl erzeugt wird, und
eine Bewegungsgröße des Schattenbild-Beugungs-Interferenz­ muster, das durch eine Bewegung des erfaßten Körpers in einer den Lichtstrahl kreuzenden Richtung hervorgerufen wor­ den ist, von dem Photodetektor erfaßt wird, um die Bewegungs­ größe des erfaßten Körpers festzustellen.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die kleine Öffnung in der lichtunter­ brechenden Platte eine rechteckige, elliptische oder kreis­ förmige Form aufweist.