DE4034526C2 - Plasmaätzvorrichtung - Google Patents
PlasmaätzvorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Plasmaätzvorrichtung, gemäß dem
Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Fig. 5 zeigt eine konventionelle Plasmaätzvorrichtung mit
parallelen Elektrodenplatten. In einer zylindrischen Kammer 1
ist eine obere Elektrode 2 so angeordnet, daß sie einer unteren
Elektrode 3 gegenübersteht. Die obere Elektrode 2 ist
geerdet, und die untere Elektrode 3 ist an eine außerhalb der
Kammer 1 befindliche Hochfrequenz-Spannungsquelle 7 ange
schlossen. Die untere Elektrode 3 dient außerdem als Pro
bentisch, auf dem zu ätzende Proben 4 wie etwa ein Halb
leitersubstrat angeordnet werden. Die Kammer 1 hat einen Gaseinlaß
5 und einen Gasauslaß 6. Dauermagnete 8 sind entlang dem Umfang
der Kammer 1 sie umgebend angeordnet. Wie Fig. 6 zeigt,
sind die Dauermagnete 8 entlang dem Umfang der Kammer 1 so
angeordnet, daß ihre N- und S-Pole abwechselnd aufeinanderfolgen.
Bei dieser Konstruktion werden Magnetflußlinien 9
parallel zur Oberfläche der Probe 4 in die Kammer 1 gezogen.
Im Gebrauch werden Reaktionsgase wie etwa CF4 und CC14
durch den Gaseinlaß 5 eingeleitet, und gleichzeitig werden
die Gase durch den Auslaß 6 abgeführt, um den Gasdruck in
der Kammer 1 konstantzuhalten. Unter diesen Bedingungen
wird eine Hochfrequenzspannung an die obere und die untere Elektrode
2, 3 angelegt, um ein Gasplasma in der Kammer 1 zu erzeu
gen. Das Gasplasma ist in dem von den Dauermagneten 8 er
zeugten Magnetfeld eingeschlossen, so daß das Ätzen dadurch
erfolgt, daß die Oberfläche der auf der unteren Elektrode 3
angeordneten Probe 4 dem Gasplasma ausgesetzt ist.
Da jedoch, wie Fig. 6 zeigt, die Magnetflußlinien 9, die
von einer Vielzahl von Dauermagneten 8 ausgehen und das
Plasma umschließen, zwischen den Dauermagneten nach innen
und außen verlaufen, ist die magnetische Feldstärke entlang
dem Innenumfang der Kammer 1 ungleichmäßig verteilt. Da
ferner diese Linien 9 parallel zur Oberfläche der Probe 4
verlaufen, haben sie die Tendenz, den nahe der Probe 4 be
findlichen Bereich zu überdecken. Daher wird auch die Dich
te der Ionen und der Radikalen im Gasplasma ungleichmäßig,
was zu einer niedrigeren Ätzrate und geringeren Ätzgleich
mäßigkeit führt. Dies ist ein bei einer konventionellen
Plasmaätzvorrichtung, die beispielsweise
in R. D. Mantei, T. E. Wicker, Low Pressure Plasma
Etching with Magnetic Confinement; Solid State Technology,
April 1985, Seite 263-265, beschrieben ist, auftretendes Problem.
Aus der DE 38 01 205 C1 ist eine Vorrichtung zum Ionenätzen
von Substraten bekannt, welche eine Magnetanordnung zur Erzeugung
eines räumlich ausgedehnten Feldes im Bereich der Kathode
einer Elektrodenanordnung aufweist.
Die verwendete Magnetanordnung, welche aus Helmholtz-Spulen
besteht, wird zur Intensivierung des Plasmas, welches sich
innerhalb eines Rezipienten ausbildet, vorgesehen. Ein zu behandelndes
Substrat ist so im Rezipienten angeordnet, daß das
Magnetfeld durch das Substrat hindurchreicht.
Hierdurch wird zwar eine Verbesserung der Homogenität der magnetischen
Flußdichte in der Ebene mittig zwischen den Spulen
erreicht, jedoch ist es erforderlich, das Substrat genau in
dieser Ebene zu positionieren.
In der JP 62-235 484 A ist eine Anordnung beschrieben, die
zur Bearbeitung eines Substrates mittels eines Ionenstrahles
dient. Eine Vielzahl von Permanentmagneten mit wechselnder
Polarität sind umfangsmäßig an einem Rezipienten angeordnet,
um ein Fokussieren des Ionenstrahles zu erreichen, wodurch
die Bearbeitungsintensität des Substrates erhöht werden kann.
Die Problematik der Verbesserung eines Plasmaätzvorganges
wird dort nicht angesprochen.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Plasmaätzvorrichtung
bereitzustellen, die mit einem einfachen Aufbau, insbesondere
der Magnetfelderzeugungseinrichtung ein gleichmäßigeres Ätzen
ermöglicht.
Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt mit den Merkmalen
des Patentanspruches 1, wobei Ausgestaltungen und
Weiterbildungen in den Unteransprüchen gezeigt sind.
Die Erfindung wird nachstehend auch hinsichtlich weiterer
Merkmale und Vorteile anhand der Beschreibung von Ausfüh
rungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in:
Fig. 1 einen Querschnitt durch eine Plasmaätzvorrich
tung nach der Erfindung;
Fig. 2 eine Perspektivansicht, die einen Magnetkern
des Ausführungsbeispiels von Fig. 1 zeigt;
Fig. 3 einen Querschnitt entlang der Linie A-A von
Fig. 1;
Fig. 4 einen Querschnitt, der die wesentlichen Teile
eines weiteren Ausführungsbeispiels zeigt;
Fig. 5 einen Querschnitt durch eine konventionelle
Plasmaätzvorrichtung; und
Fig. 6 einen Querschnitt entlang der Linie B-B von
Fig. 5.
Gemäß Fig. 1 ist in einer zylindrischen Kammer 1 eine obere
Elektrode 2 auf der Mittenachse der Kammer 1 so angeordnet,
daß sie einer unteren Elektrode 3 gegenübersteht. Die obere
Elektrode 2 ist geerdet, und die untere Elektrode 3 ist mit
einer außerhalb der Kammer 1 angeordneten Hochfrequenz-Spannungs
quelle 7 verbunden. Die untere Elektrode 3 dient ferner als
Halterung zur Aufnahme von zu ätzenden Proben wie etwa
eines Halbleitersubstrats. Ein Gaseinlaß 5 und ein Gasaus
laß 6 sind an der Ober- bzw. der Unterseite der Kammer 1
vorgesehen. Eine Gaszufuhreinrichtung 10 ist am Gaseinlaß 5
angeordnet, und eine Gasabfuhreinrichtung 11 ist am Gas
auslaß 6 angeordnet.
Ein zylindrischer Elektromagnet 12 ist so am Umfang der
Kammer 1 angeordnet, daß er die Kammer 1 umgibt. Der Elek
tromagnet 12 hat einen Magnetkern 13 aus einem ferromagne
tischen Werkstoff, und um diesen ist eine Vielzahl Spulen
14 gewickelt. Jede Spule 14 ist an eine Stromversorgungs
einrichtung 18 angeschlossen.
Wie Fig. 1 und 2 zeigt, hat der Magnetkern 13 ein Paar Ringkörper
15, 16, die einander auf derselben Mittenachse gegenüber
liegen, und eine Vielzahl Streben 17 verbindet die Ring
körper 15, 16 miteinander. Ringförmige Vorsprünge 15b, 16b,
die stufenartig entlang dem Innenumfang der Ringkörper 15
und 16 vorstehen, sind auf einander gegenüberliegenden
Ebenen 15a, 16a der Ringkörper 15, 16 angeordnet. Diese
Vorsprünge 15b, 16b haben im wesentlichen den gleichen
Durchmesser wie die Kammer 1 und sind quer zur Innenwand 1a
der Kammer 1 relativ zu deren Mittenachse angeordnet, wie
Fig. 1 zeigt. Außerdem ist jeweils eine Spule 14 auf eine
Strebe 17 gewickelt, wie Fig. 3 zeigt.
Der Betrieb dieses Ausführungsbeispiels wird nachstehend
erläutert. Eine zu ätzende Probe 4 wird zuerst auf die
untere Elektrode 3 gelegt. Die Reaktionsgase wie etwa CF4
und CCl4 werden von der Gaszufuhreinrichtung 10 durch den
Gaseinlaß 5 in die Kammer 1 geleitet und gleichzeitig von
der Gasabfuhreinrichtung 11 durch den Gasauslaß 6 abgezo
gen, um den Gasdruck in der Kammer 1 konstantzuhalten.
Unter diesen Bedingungen wird von der Hochfrequenz-Spannungsquelle 7
zwischen die obere und die untere Elektrode 2, 3 eine Hochfrequenz-
Spannung angelegt, wodurch in der Kammer 1 ein Gasplasma
erzeugt wird.
Ein vorbestimmter Gleichstrombetrag wird jeder Spule 14 des
Elektromagneten 12 von der Stromversorgungseinrichtung 18
zugeführt, um den Magnetkern 13 zu magnetisieren. Zu diesem
Zeitpunkt bilden die Vorsprünge 15b, 16b des Magnetkerns 13
ein Paar Magnetpole, die ein zur Oberfläche der Probe 4
senkrechtes und entlang der Innenebene der inneren Wand 1a
der Kammer 1 verlaufendes Magnetfeld erzeugen, wie die Ma
gnetflußlinien 19 in Fig. 1 zeigen. Das in der Kammer 1
erzeugte Gasplasma ist von dem Magnetfeld umschlossen, und
das Ätzen erfolgt, indem die Oberfläche der auf der unteren
Elektrode 3 liegenden Probe 4 dem Gasplasma ausgesetzt ist.
Das von dem Elektromagneten 12 erzeugte Magnetfeld zur Um
schließung des Gasplasmas ist in dem einzigen Bereich nahe
der Innenwand 1a der Kammer 1 konzentriert, und gleichzei
tig ist seine Stärke gleichmäßig entlang dem Innenumfang
der Kammer 1 verteilt. Wenn die Probe 4 auf der Mittenachse
der Kammer 1 liegt, wird die Dichte von Ionen und Radikalen
in dem Bereich nahe der Probe 4 innerhalb des Plasmas
gleichbleibend aufrechterhalten. Infolgedessen findet ein
äußerst gleichmäßiges Ätzen der Probe 4 statt.
Wie Fig. 4 zeigt, kann die Vorrichtung so ausgebildet sein,
daß Vorsprünge 25b, 26b eines Magnetkerns 23 eines Elektro
magneten 22 so angeordnet sind, daß sie eine obere und eine
untere Platte 21a, 21b der Kammer 21 durchsetzen.
Die Einrichtung kann auch so ausgelegt sein, daß sie an
stelle des Elektromagneten 12 von Fig. 1 eine Vielzahl von
Elektromagneten aufweist, die entlang dem Umfang der Kammer
1 so angeordnet sind, daß ein Magnetpolpaar quer zur Innen
wand 1a der Kammer 1 relativ zur Mittenachse der Kammer 1
angeordnet ist. Bei dieser Auslegung wird ein Magnetfeld
entlang der Innenwand 1a der Kammer 1 ausgebildet. Auch hier
ermöglicht der Gebrauch von Elektromagneten 12, 22
mit ringförmigen Magnetpolen eine äußerst gleichmäßige Ma
gnetfeldverteilung und entsprechend gleichmäßiges Ätzen.
Die vorstehend beschriebene Erfindung ist nicht auf eine
Plasmaätzvorrichtung mit parallelen Elektrodenplatten be
schränkt, sondern kann auch bei anderen Plasmaätzvorrich
tungen angewandt werden, z. B. zum Mikrowellen-Plasmaätzen.
Claims (5)
1. Plasmaätzvorrichtung mit einer Kammer (1), einer Halterung
(3) zum Halten einer Probe (4) in der Kammer (1);
einer Plasmaerzeugungseinrichtung, die in der Kammer (1) ein
Plasma erzeugt, und einer einen Elektromagneten aufweisende Magnetfelderzeugungseinrichtung
(12, 13, 14, 18) zur Erzeugung eines
Magnetfeldes senkrecht zur Oberfläche der auf der Halterung
(3) angeordneten Probe (4),
dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetfelderzeugungseinrichtung (12, 13, 14, 18) aus einem zylindrischen
Elektromagneten (12) besteht, der die gleiche Mittenachse wie
die Kammer (1) hat und die Kammer umgibt,
wodurch das Magnetfeld in einem Bereich entlang der Kammerinnenwand
(1a) konzentriert ist.
2. Plasmaätzvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Elektromagnet (12) einen Magnetkern (13) mit einem Paar
von Ringkörpern (15, 16), die quer zur Kammer (1) auf der Mittenachse
angeordnet sind, und eine Vielzahl von Streben (17) zum
Verbinden des Paares von Ringkörpern (15, 16) aufweist und daß
eine Vielzahl von Spulen (14) auf die Streben (17) des Magnetkernes
(13) gewickelt sind.
3. Plasmaätzvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Ringkörper (15, 16) ringförmige Vorsprünge (15b, 16b)
aufweisen, die an einer der Innenwand (1a) der Kammer entsprechenden
Stelle in Richtung zur Kammer (1) vorspringen.
4. Plasmaätzvorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorsprünge der Ringkörper außerhalb der Kammer angeordnet
sind.
5. Plasmaätzvorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorsprünge (25b, 26b) der Ringkörper die Kammer (21)
durchsetzen und deren Innenseite zugewandt sind.
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