DE4031138C2

DE4031138C2 - Mikroinjektionsvorrichtung und Verfahren zum Steuern der Mikroinjektion

Info

Publication number: DE4031138C2
Application number: DE4031138A
Authority: DE
Inventors: Toshiro Higuchi; Ken-Ichi Kudoh; Atsushi Mimatsu; Hisao Ueno
Original assignee: Prima Meat Packers Ltd
Current assignee: Prima Meat Packers Ltd
Priority date: 1989-10-02
Filing date: 1990-10-02
Publication date: 1996-09-12
Anticipated expiration: 2010-10-03
Also published as: JPH0648975B2; DE4031138A1; US5225750A; JPH03119989A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Mikroinjektionsvor richtung eines Mikromanipulators zum Injizieren von Flüs sigkeiten, und auf ein Verfahren zum Steuern der mit Hilfe der Vorrichtung vorgenommenen Mikroinjektionen.

Auf dem Gebiet der Biotechnologie gibt es ein Fachgebiet, das sich mit der künstlichen Manipulation von Genen, Zel len und dgl. befaßt, um eine Substanz mit neuen gene tischen Informationen zu erzeugen, die dann eingesetzt oder untersucht wird. Das Studium auf diesem Gebiet ist breit gefächert und umfaßt Gene, Zellen, Zellkerne, be fruchtete Embryos, Gewebe und Protozoene. Mit der Mikromanipu lation ist also eine Einrichtung zum physikalischen und mechanischen Manipulieren dieser Stoffe verfügbar, die man mit Hilfe eines Mikroskops betrachten kann. Beispielsweise ist eine Mikromanipulation wesentlich, wenn man ein frem des Gen in eine pflanzliche oder tierische Zelle oder einen Zellkern injiziert und die Eigenschaftsveränderungen des Gens analysiert, wenn man ein frühes Embryo oder ein Moolastadium segmentiert, dieses in einen Empfänger im plantiert und monozygotische Mehrfache bildet, oder wenn man einen anderen einzelnen Stoff in das Zytoplasma eines befruchteten Eies transplantiert, um einen Zellklon zu bilden.

Fig. 12 ist ein Diagramm zur Verdeutlichung einer Gesamt auslegung eines Mikromanipulationssystems gemäß einer üb lichen Ausgestaltungsform.

Wie in Fig. 12 gezeigt ist, umfaßt das System eine Basis 1, ein Mikroskop 2, das auf der Basis 1 angeordnet ist, einen Positionsdetektor 3, eine Feinbewegungseinheit 4, eine Grobbewegungseinheit 5, eine Fernsehkamera 6, einen Mi kroinjektor 7, einen linken Steuerkasten 8, einen rechten Steuerkasten 9, eine Kamerasteuereinheit 10, einen Video monitor 11 und eine Hauptsteuereinheit 12.

Wie in der Figur dargestellt ist, sind die zwei Steuer kästen 8, 9 für die Manipulation der linken Feinbewegungs- und Grobbewegungseinheiten 4, 5 und zur Steuerung von ver schiedenen Funktionen, wie das Messen der Menge einer in jizierten Flüssigkeit, bestimmt. Das Mikroskop 2 ist mit einer Videokamera 6 ausgestattet, so daß der Zustand einer Zelle die Mikromanipulation hiervon beobachtet werden kön nen, indem diese Vorgänge auf den Videomonitor projiziert werden.

Die Auslegung einer üblichen Mikromanipulationseinrichtung ist in Fig. 13 gezeigt. Ein Miniaturinstrumen 13 (bei spielsweise eine Mikronadel, eine Mikropipette oder eine Mikroelektrode) an dem vorderen Ende der Feinbewegungsein heit ist auf einer Tragstange 14 abgestützt, und eine Lei tung 15 ist mit der Tragstange 14 verbunden. Zur Ausfüh rung einer Injektion in eine Zelle oder zur Abnahme von Flüssigkeit aus einer Zelle wird ein Tauchkolben 17 einer Mikrospritze 16 mittels einer Gewindeverbindung durch Ver drehen eines Knopfes 18 bewegt, wodurch man einen positi ven oder einen negativen Druck anlegen kann.

Diese übliche Mikroinjektion zur Vorrichtung wird nachste hend näher beschrieben.

Viele Substanzen ermöglichen keinen freien Durchgang durch ihre Zellmembrane. Um folglich die direkte Wirkung einer Substanz auf das Protoplasma oder die Organzelle im Inneren einer Zelle untersuchen zu können, ist die Mikroinjektion, bei der die Substanz in die Zelle über ein Kapillarrohr (Mikropipette) injiziert wird, die direkteste Methode.

Obgleich die Mikroinjektion sich allgemein auf einen Vor gang zum Injizieren einer Substanz in eine Zelle bezieht, kann das gleiche Verfahren auch dann eingesetzt werden, wenn eine Flüssigkeit auf einen spezifischen Bereich einer Zelle oder eines Gewebes von außen her zur Einwirkung ge bracht werden soll, oder wenn ein Teil des Protoplasmas in das Innere einer Zelle eingesaugt wird, oder ein sehr kleiner Gegenstand wie eine kleine Zelle aufgesaugt wird.

Die Verfahren zur Mikroinjektion umfassen ein Druckverfah ren, bei dem eine zuvor in das Innere einer Mikropipette eingebrachte Flüssigkeit von der Mikropipette mittels Druck ausgestoßen wird, oder eine mikroelektrophoretische Methode, bei der ein elektrischer Strom durch eine Mikro pipette geleitet und eine in der Mikropipette vorhandene Substanz zusammen mit dem Strom ausströmen kann.

Nachstehend wird die Mikroinjektion mit Hilfe der Druckme thode näher beschrieben.

Wie in Fig. 14 gezeigt ist, umfaßt eine Mikroinjektionsein richtung, welche auf der Druckmethode basiert, eine Mikro pipette (ein Miniaturinstrument) 21, das an einer hohlen Tragstange 22 angebracht ist, und eine Mikrospritze 24, mit der die Tragstange 22 über eine Schlauchleitung bzw. Rohrleitung 23 verbunden ist. Die Mikrospritze 24 hat den Aufbau einer mit Gewinde versehenen Spritze und ist derart ausgelegt, daß ein positiver oder negativer Druck durch manuelles Betätigen eines Knopfes 25 angelegt werden kann.

Es wurde unterschiedlich zu einer Mikroinjektionseinrich tung eine Auslegung vorgeschlagen, bei der der vor stehend angegebene, übliche Mikromanipulator ersetzt wird. Hierbei handelt es sich um die US-Patentanmeldung Nr. 410,755, welche die Bezeichnung "Mikromanipulator" hat, zu der eine Erfin dung derselben Anmelderin wie der vorliegenden Erfindung gehört, die die Bezeichnung hat "Vorrichtung zum Bewirken einer Feinbewegung mittels einer Stoßkraft erzeugt durch ein piezoelektrisches oder elektrostriktives Element", die der DE-OS 39 33 296 entspricht. Hierbei wird ein Drehgreifelement durch Anlegen einer Spannung an ein piezoelektrisches/elektrostriktives Ele ment beschleunigt, und die Reaktionswirkung wird genutzt, um ein Miniaturinstrument zu bewegen, wodurch man eine Feinbewegung in der Größenordnung 10 nm bis 10 µm in einer positiven oder negativen Richtung erreichen kann. Bei dem üblichen, vorstehend beschriebenen Mikroinjektor jedoch hängt die Steuerung des Mikroinjektors von der Handbetäti gung eines Knopfes ab. Daher ist es schwierig, den Mi kroinjektor zu bedienen, und dies ist für eine exakte In jektion unzufriedenstellend. In anderen Worten bedeutet dies, daß zur Ausführung einer exakten Injektion äußerst genaue Voraussetzungen hinsichtlich der Eigenschaften des Mikroinjektors gegeben sein müssen, und daß viel Geschick lichkeit ebenfalls in der Durchführung dieser Technik er forderlich ist.

Zusätzlich kann man bei einem Injektionsvorgang unter Verwendung eines manuell betätigbaren Knopfes keine Feinauflösung erzielen.

Bei dem vorstehend beschriebenen Mikroinjektor ist ferner die Schlauchleitung, die die Mikrospritze und die Tragstange verbindet, mit einer beträchtlichen Länge ausge legt. Hierdurch ist ein entsprechender Raumbedarf erfor derlich, und das Ansprechverhalten nimmt in beträchtlichem Umfang ab.

CH-PS 666 850 zeigt ein Mikroinjektionsvorrichtung eines Manipulators zum Bewegen eines Stoffes in einem Miniaturinstrument mittels Druck, die sich auszeichnet durch eine Mikrospritze und eine Mikrobewegungseinrichtung. Piezoantriebe für den Mikrobereich werden zum Beispiel in DE-GM 79 24 781, DE-OS 34 32 152 oder EP 92 989 erwähnt.

Die Erfindung zielt darauf ab, eine kompakte Mikroinjek tionsvorrichtung bereitzustellen, welche die Fähigkeit hat, schnell und exakt eine Injektion vorzunehmen, und die automatisiert ist, sowie ein Verfahren zum Steuern einer derartigen Mikroinjektion anzugeben.

Nach der Erfindung wird hierzu eine Mikroinjektionsvor richtung eines Mikromanipulators zum Bewegen einer vorge gebenen Flüssigkeitsmenge in einem Miniaturinstrument mit tels Druck bereitgestellt, die eine Mikrospritze aufweist, die einen Kolben, ein bewegliches Teil, das an einem Ende des Kolbens vorgesehen ist, und eine Mikrobewegungsein richtung hat, die an dem beweglichen Teil angebracht ist und ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element hat, das mit einem Trägheitselement ausgestattet ist.

Das bewegliche Teil ist ein drehbewegliches Teil und kann sich sowohl in Vorwärts- als auch in Rückwärtsrichtung drehen.

Ferner kann das bewegliche Teil ein geradlinig bewegliches Teil sein, und es kann sich sowohl in Vorwärts- als auch in Rückwärtsrichtung bewegen.

Nach der Erfindung zeichnet sich ein Mikroinjektionssteu erverfahren eines Mikromanipulators dadurch aus, daß eine Mikrobewegungseinrichtung, die ein piezoelek trisches/elektrostriktives Element hat, das mit einem Trägheitselement ausgestattet ist, an einem beweglichen Teil vorgesehen ist, das an einem Ende des Tauchkolbens einer Mikrospritze vorgesehen ist, und daß eine vorgege bene Flüssigkeitsmenge in einem Miniaturinstrument durch den Druck bewegt wird, den man durch den elektrischen An trieb der Mikrobewegungseinrichtung erhält.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung von bevor zugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung. In den Figuren der Zeichnung sind gleiche oder ähnliche Teile mit denselben Bezugszeichen versehen. In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung einer Gesamtauslegung einer ersten bevorzug ten Ausführungsform einer Mikroinjektions vorrichtung nach der Erfindung,

Fig. 2 ein Diagramm zur Verdeutlichung der Ausle gung der Hauptteile dieser Mikroinjektions vorrichtung,

Fig. 3 eine Vorderansicht der wesentlichen Teile der Mikroinjektionsvorrichtung,

Fig. 4 ein Diagramm zur Beschreibung der Betriebs arten der ersten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung,

Fig. 5 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung der Hauptteile einer zweiten bevorzugten Ausführungsform einer Mikroinjektionsvor richtung nach der Erfindung,

Fig. 6 eine Vorderansicht der wesentlichen Teile dieser Mikroinjektionsvorrichtung,

Fig. 7 ein Diagramm zur Beschreibung der Betriebs arten der zweiten bevorzugten Ausführungs form nach der Erfindung,

Fig. 8 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung der Hauptteile einer dritten bevorzugten Ausführungsform einer Mikroinjektionsvor richtung nach der Erfindung,

Fig. 9 eine Vorderansicht der wesentlichen Teile dieser Mikroinjektionsvorrichtung,

Fig. 10 ein Diagramm zur Beschreibung der Betriebs arten der dritten bevorzugten Ausführungs form nach der Erfindung, und

Fig. 11 eine Vorderansicht eines Steuerkastens nach der Erfindung.

Fig. 12 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung der Gesamtauslegung eines Mikromanipulati onssystems üblicher Art,

Fig. 13 eine perspektivische Ansicht zur Verdeutli chung einer Mikroinjektionsvorrichtung übli cher Bauart,

Fig. 14 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung einer Auslegung einer Mikroinjektionsvor richtung üblicher Art,

Unter Bezugnahme auf die Zeichnung werden nachstehend be vorzugte Ausführungsformen nach der Erfindung näher erläu tert.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 4 wird eine erste be vorzugte Ausführungsform beschrieben, welche eine Basis 31, einen Ständer 32, einen Träger 33, einen Injektions halter 34, dessen Inneres so bearbeitet ist, daß das In nengewinde Gänge hat, drehbewegliche Körper 35 und eine erste Mikrobewegungseinrichtung A hat, die einen Träg heitsteil 36 und ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element 37 aufweist. In ähnlicher Weise bezeichnet B eine zweite Mikrobewegungseinrichtung, die ein Trägheitselement 38 und ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element 39 aufweist. Mit 40 ist eine Mikrospritze, mit 41 ein Miniaturinstrument, mit 42 eine Stromversorgungsleitung zum Betreiben der piezoelektrischen/elektrostriktiven Ele mente 37, 39, mit 43 ein Tauchkolben bezeichnet, der in die Mikrospritze 40 einführbar und aus dieser herausführbar ist. Mit 44 ist ein Schaft bezeichnet, an dem der Kolben 43 und ein drehbewegliches Teil 35 fest angebracht sind und dessen Außenumfang derart ausgebildet ist, daß er Außengewindegänge 44a hat. Mit Hilfe der Außengewinde gänge 44a ist der Schaft 44 in Gewindeeingriff mit den Innengewindegängen auf dem inneren Umfang des Injektions halters 34, und es ist eine Reibungsverbindung gegeben. Mit 45 ist eine Flüssigkeitsmenge bezeichnet, die in vor gegebener Weise im Inneren der Mikrospritze 40 vorhanden ist und mit 50 ist ein Steuerkasten zum Steuern des Mikro manipulators bezeichnet. Ein Mikroinjektionssteuerschalter ist an dem Steuerkasten 50 ebenfalls vorgesehen. Ein Posi tionsdetektor ist bei 51 und ein Mikroskop bei 52 gezeigt.

Nachstehend wird die Arbeitsweise der ersten bevorzugten Ausführungsform der Mikroinjektionsvorrichtung unter Be zugnahme auf Fig. 11 beschrieben.

Die Mikroinjektion läßt sich in zwei Betriebsarten, näm lich einer Injektionsbetriebsart, bei der ein chemischer Stoff oder dgl. in einen lebenden Körper injiziert wird, und einer Saugbetriebsart unterteilen, bei der eine Kör perflüssigkeit oder dgl. von einem lebenden Körper abgezo gen wird. Ferner gibt es eine Betriebsart, bei der Zellen, Eier oder dgl. gehalten werden können, wobei diese als eine Unterbetriebsart der Saugbetriebsart betrachtet wer den kann.

Wenn die Injektionsbetriebsart durchgeführt werden soll, drückt eine Bedienungsperson einen Druckschalter für die Betriebsart I des Mikroinjektionsschalters, der am Steuer kasten 50 vorgesehen ist. Wenn dies ausgeführt wurde, wird eine Druckkraft bei den ersten und zweiten Mikrobewegungs einrichtungen A, B erzeugt, woraus resultiert, daß das drehbewegliche Teil 35 sich um einen sehr kleinen Weg in Uhrzeigerrichtung dreht, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist. Hierdurch wird der Tauchkolben 43 vorgeschoben und die Flüssigkeit 45 auch. Hierdurch wird ein positiver Druck bzw. Überdruck in der Mikrospritze 40 erzeugt.

Wenn die Saugbetriebsart durchgeführt werden soll, drückt die Bedienungsperson einen Druckschalter für die Betriebs art II des Mikroinjektionsschalters, der an dem Steuerka sten 50 vorgesehen ist. Wenn dies erfolgt ist, wird eine Zugkraft bei den beiden ersten und zweiten Mikrobewegungseinrichtungen A, B erzeugt, woraus sich ergibt, daß das sich drehende Teil 35 sich um einen kleinen Weg in Gegenuhrzeigerrichtung dreht, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist. Hierdurch werden der Kolben 43 und die Flüssigkeit 45 eingezogen. Hierdurch wird auch ein Unterdruck in der Mikrospritze 50 erzeugt. Bei der vorstehend angegebenen bevorzugten Ausführungsform ist die Auslegung derart getroffen, daß man einen Gleichgewichtszustand unter Anwendung der ersten und zweiten Mikrobewegungseinrichtungen A, B erreichen kann. Jedoch ist es möglich, die Auslegung so zu treffen, daß man eine einzige Mikrobewegungseinrichtung einsetzt. In diesem Fall wird entweder die Betriebsart zur Erzeugung einer Druckkraft oder einer Zugkraft unter Einsatz einer einzigen Mikrobewegungseinrichtung wahlweise vorgenommen.

Eine zweite bevorzugte Ausführungsform nach der Erfindung wird nunmehr beschrieben.

Wie in den Fig. 5 bis 7 gezeigt ist, umfaßt diese einen Injektionshalter 60, einen Mittelschaft 61, eine Mikro spritze 62, eine Entlüftungsöffnung 63, die in der Mikro spritze 62 ausgebildet ist, eine sich drehende Platte 64, die in der Mikrospritze 62 aufgenommen und als ein Drehtauchkolben dient, ein Dichtungsteil 65, das an dem Umfang der Drehplatte 64 vorgesehen ist, eine vorgegebene Flüssigkeitsmenge 66 im Inneren der Mikrospritze 62, und ein Miniaturinstrument 67, das an der Mikrospritze 62 an gebracht ist. Das drehbewegliche Teil und die Mikrobewe gungseinrichtung, die an dem Mittelschaft 61 angebracht ist, sind in ähnlicher Weise wie zuvor beschrieben ausge legt. Daher sind gleiche oder ähnliche Teile mit denselben Bezugszeichen versehen und eine nähere Beschreibung der selben kann entfallen.

Nachstehend wird die Arbeitsweise der vorstehend angegebe nen zweiten bevorzugten Ausführungsform der Mikroinjekti onsvorrichtung unter Bezugnahme auf Fig. 11 näher erläu tert.

Wenn die Injektionsbetriebsart durchgeführt werden soll, drückt eine Bedienungsperson den Druckschalter für die Be triebsart I des Mikroinjektionsschalters, der an dem Steu erkasten 50 vorgesehen ist (siehe Fig. 1). Wenn dies er folgt ist, wird eine Druckkraft in den beiden ersten und zweiten Mikrobewegungseinrichtungen A, B erzeugt, woraus resultiert, daß das drehbewegliche Teil 35 sich um einen kleinen Wert in Uhrzeigerrichtung dreht, wie dies in Fig. 6 gezeigt ist. In Verbindung hiermit wird die Drehplatte 64 gedreht, die sich ebenfalls um einen kleinen Wert in Uhrzeigerrichtung dreht. Hierdurch wird bewirkt, daß die Flüssigkeit 66 vorgeschoben wird, wodurch ein Überdruck in der Mikrospritze 62 erzeugt wird. In diesem Fall wird kein Unterdruck in dem Raum in der Mikrospritze 62 aufgebaut, da die Letztgenannte mit der Entlüftungsöffnung 63 versehen ist. Wenn die Saugbetriebsart durchgeführt werden soll, drückt die Bedienungsperson den Druckschalter für die Betriebsart II des Mikroinjektionsschalters, der an dem Steuerkasten 50 (siehe Fig. 1) vorgesehen ist. Wenn dies erfolgt ist, wird in den beiden ersten und zweiten Mikrobewegungseinrichtungen A, B eine Zugkraft erzeugt, woraus resultiert, daß das sich drehende Teil 35 um einen kleinen Wert in Gegenuhrzeigerrichtung dreht, wie dies aus Fig. 6 zu ersehen ist. In Verbindung hiermit wird die drehbare Platte 64 bewegt, die sich ebenfalls um einen sehr kleinen Wert in Gegenuhrzeigerrichtung dreht. Hier durch wird bewirkt, daß die Flüssigkeit 66 eingezogen wird, so daß ein Unterdruck in der Mikrospritze 62 erzeugt wird.

Eine dritte bevorzugte Ausführungsform nach der Erfindung wird nachstehend beschrieben. Wie in den Fig. 8 bis 10 gezeigt ist, sind ein Injektionshalter 71, eine Mikro spritze 72, ein Kolben 73, ein geradlinig bewegbares Teil 74 und eine dritte Mikrobewegungseinrichtung C vorgesehen, die ein Trägheitselement 75 und ein piezoelektri sches/elektrostriktives Element 76 aufweist. Mit 77 ist eine vorbestimmte Flüssigkeitsmenge im Inneren der Mikro spritze 72 bezeichnet, und mit 78 ist ein Miniaturinstru ment bezeichnet, das an dem vorderen Ende der Mikrospritze 72 angebracht ist. Der hintere Hinterabschnitt der Mikro spritze 72 ist so ausgebildet, daß er einen Schlitz zur Verhinderung einer Vibration des Kolbens 73 und einen fle xiblen Ring 79 enthält, der federnd nachgiebig auf den hinteren Endabschnitt über dessen äußeren Umfang aufge setzt ist. Diese Reibungswirkung kann auch so verwirklicht sein, daß das freie Ende einer Blattfeder, deren anderes Ende an einem festen Teil angebracht ist, in Anlageberüh rung mit dem hinteren Endabschnitt der Mikrospritze 72 kommt.

Nachstehend wird unter Bezugnahme auf Fig. 11 die Arbeits weise der Mikroinjektionsvorrichtung gemäß der dritten be vorzugten Ausführungsform beschrieben.

Auch hierbei läßt sich die Mikroinjektion in zwei Be triebsarten, nämlich die Injektionsbetriebsart und die Saugbetriebsart unterteilen.

Wenn die Injektionsbetriebsart durchgeführt werden soll, drückt die Bedienungsperson den Druckschalter für die Be triebsart I des Mikroinjektionsschalters, der an dem Steu erkasten 50 (siehe Fig. 1) vorgesehen ist. Wenn dies er folgt ist, wird eine Druckkraft in der dritten Mikrobewe gungseinrichtung C erzeugt, woraus resultiert, daß das li near bewegliche Teil 74 sich um einen kleinen Wert in Richtung nach links in Fig. 8 bewegt. Hierdurch wird be wirkt, daß der Tauchkolben 73 und die Flüssigkeit 77 vor geschoben werden, wodurch ein Überdruck in der Mikro spritze 72 erzeugt wird.

Wenn die Saugbetriebsart durchgeführt werden soll, drückt die Bedienungsperson den Druckschalter für die Betriebsart II des Mikroinjektionsschalters, der an dem Steuerkasten 50 vorgesehen ist (siehe Fig. 1). Wenn dies erfolgt ist, wird eine Zugkraft in der dritten Mikrobewegungsrich tung C erzeugt, woraus resultiert, daß sich das linear be wegliche Teil 74 um einen kleinen Wert in Richtung nach rechts in Fig. 8 bewegt. Hierdurch wird bewirkt, daß der Tauchkolben 73 und die Flüssigkeit 77 eingezogen werden, wodurch ein Unterdruck in der Mikrospritze 72 erzeugt wird.

Abgesehen davon, daß der Steuerkasten in Fig. 11 den Be triebsartenwählschalter hat, weist die Vorderseite des Steuerkastens in Fig. 11 einen Energieversorgungs ein/ausschalter und Schalter für verschiedene Steuervor gänge zusätzlich zu der Mikroinjektion auf.

Claims

1. Mikromanipulator mit einer Mikroinjektionsvorrichtung zum Bewegen einer vorgegebenen Flüssigkeitsmenge mittels Druck in einem Miniaturinstrument, das eine Mikrospritze Und eine Mikrobewegungseinrichtung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß

(a) die Mikrospritze (40; 62; 72) einen Kolben (43; 64; 73) aufweist,
b) ein bewegliches Teil (35; 74) mit dem Kolben (43, 63; 73) vorgesehen ist, und
(c) an dem beweglichen Teil (35; 74) mindestens eine Mikrobewegungseinrichtung (A, B; C) angebracht ist, die ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element (37, 39, 76), sowie ein Trägheitselement (36; 38; 75) aufweist.

2. Mikromanipulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß das bewegliche Teil ein drehbewegliches Teil (35) ist.

3. Mikromanipulator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich net, daß das drehbewegliche Teil (35) sich sowohl in Vorwärtsrichtung als auch in Rückwärtsrichtung drehen kann.

4. Mikromanipulator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich net, daß das geradlinig bewegliche Teil ein geradlinig bewegliches Teil (74) ist.

5. Mikromanipulator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich net, daß das geradlinig bewegliche Teil (74) sich sowohl in Vorwärtsrichtung als auch in Rückwärtsrichtung bewe gen kann.