DE4007021A1 - Elektronenstrahl-direktdruckgeraet - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenstrahl-Druck­ gerät, das bei dem Aufdrucken eines feinen Musters auf ein Druckschaltungsträgermaterial eine bildweise Belichtung hoher Qualität ohne Mehrfachbelichtung ermöglicht.

Auf dem Gebiet der Halbleiterherstellung ist für das genaue Drucken eines feinen Bildmusters auf eine Maske oder ein Halbleiterplättchen durch Abtasten mit einem Elektronen­ strahl das Vermeiden einer Mehrfachbelichtung von wesentli­ cher Bedeutung.

Bei dem Entwurf eines Maskenmusters wird im allgemeinen zur Erleichterung der Auslegung ein Baublöckesystem angewandt. Dies stellt ein Verfahren zum Gestalten einer Anordnung durch das Zusammensetzen von verschiedenerlei Blöcken dar, die im voraus bestimmt sind. Die endgültige Entwurfszeich­ nung, die eine Zusammenstellung aus gesonderten Schichten ist, ist daher in den meisten Fällen eine Zusammenstellung aus ungefähr 2 bis 4 Rechtecken oder Polygonen.

Falls die Bildmuster der Entwurfszeichnung nacheinander mittels eines Elektronenstrahls belichtet werden, entsteht in beträchtlich vielen Bereichen eine Mehrfachbelichtung. Infolgedessen entsteht eine Ungleichförmigkeit hinsichtlich der Bestrahlungsmenge, d. h., es werden bei der gleichen Zeichnung überbelichtete Bereiche hervorgerufen, wodurch die tatsächlichen Bildmusterabmessungen stark von den Abmessun­ gen im Entwurf abweichen.

Die Mehrfachbelichtung stellt insbesondere dann ein zu lösendes Problem dar, wenn strenge Anforderungen hinsicht­ lich der Mustergenauigkeit bestehen.

Diese Mehrfachbelichtung stellt gleichfalls ein Problem bei dem Drucken eines Musters auf ein mit einem Fotolack verse­ henes Druckschaltungs-Trägermaterial durch Abtasten mit einem Elektronenstrahl wie bei der Halbleiterplättchen- Belichtung dar.

Zur Erläuterung wird zunächst die Art der Ausgabe eines Druckbildmusters aus einem Druckbildentwurf-Hilfsrechner bzw. CAD-Rechner für das rechnergestützte Entwerfen be­ schrieben.

Das übliche System für das Aufbringen eines Bildmusters auf ein Druckschaltungsträgermaterial ist gegenwärtig ein Filmbelichtungssystem, bei dem Ultraviolettstrahlen verwen­ det werden. Bei diesem System wird der Entwurf häufig mit­ tels einer als Foto- oder Laser-Schreibgerät bezeichneten Zeichenmaschine auf einem Druckvorlagenfilm aufgezeichnet. Wenn aus dem Druckmusterentwurf-Hilfsrechner Druckmusterda­ ten in die Zeichenmaschine eingegeben werden, werden die Daten zu Daten in einem für das Zeichnen geeigneten Format umgesetzt, wodurch das Aufzeichnen auf dem Film ausgeführt wird. Als Format der aus dem Druckmusterentwurf-Hilfsrechner ausgegebenen und in die Zeichenmaschine eingegebenen Druck­ musterdaten ist nun ein als Gerber-Format bezeichnetes Format vorherrschend. Dieses Format besteht grundlegend aus der Blendenöffnungsgröße, die der Bildmusterbreite ent­ spricht, den Koordinaten eines Ausgangspunkts (Xs, Ys) und eines Endpunktes (Xe, Ye) eines jeweiligen Segments des Druckmusters und einem seriellen Code, der anzeigt, ob die jeweiligen Segmente zu belichteten sind oder nicht.

Ein Bild eines durch Daten im Gerber-Format dargestellten Segments ist in Fig. 8A gezeigt. Ein Mustersegment ist durch die Bahn eines Kreises dargestellt, der einen Durchmesser Da hat, der die der Bildmusterbreite entsprechende gewählt Blendenöffnungsgröße Da ist, und der geradlinig von dem Ausgangspunkt (Xs, Ys) zu dem Endpunkt (Xe, Ye) bewegt ist.

Fig. 8B zeigt einen Zustand, bei dem ein Bildmuster für ein Segment mittels eines Elektronenstrahls abgetastet wird. Bei der Abtastung mittels eines Elektronenstrahls wird ein Muster mit einer Linienbreite, die größer als die der Durchmes­ ser des Strahlpunktes ist, als Zusammensetzung mehrerer, zu der Mittellinie des Musters paralleler Vektoren abgetastet. Dies ist ein Konzept für das Drucken mittels eines sog. Vektorabtastsystems.

Fig. 8C zeigt ein Beispiel für ein schlangenförmiges Bildmu­ ster, das durch das Verbinden von Segmentemustern erhalten wird. Falls ein Muster für ein einzelnes Segment formgetreu durch Vektorabtastung gemäß Fig. 8B aufgezeichnet wird, entsteht an den in Fig. 8C strichliert dargestellten Berei­ chen eine Doppelbelichtung.

Eine derartige Mehrfachbelichtung spielt bei dem Drucken durch Rasterabtastung keine Rolle. Bei dem Rasterabtastsy­ stem werden nur die zu belichtenden Bereiche aufeinanderfol­ gend für das Drucken durch Horizontalabtastung wie bei der Fernsehabtastung bestrahlt. Bei dem Drucken mit Rasterabta­ stung wird im allgemeinen in einem Speicher ein Bitplanbild der Bildmuster geformt. Das Bitplanbild ist eine binäre Grafik, die durch das Auflösen des Druckmusters in Punkte für die jeweiligen Bits, die dem Strahlenpunkt entsprechen, und das Unterteilen in Bildmusterbereiche mit dem Bit 1 und andere Bereiche mit dem Bit 0 erzeugt wird. Diese Informa­ tionen werden in den Speicher eingeschrieben. Bei dem Druk­ ken werden die Punktedaten aufeinanderfolgend aus dem Spei­ cher ausgelesen, wobei mit dem Strahl an den Bereichen der Bits 1 bestrahlt wird und an den Bereichen der Bits 0 nicht bestrahlt wird. Infolgedessen entsteht bei der tatsächlichen Ausführung selbst dann keine Mehrfachbelichtung, wenn Berei­ che vorliegen, die im Entwurf scheinbar der Mehrfachbelich­ tung zu unterziehen sind.

Bei dem Drucken mit Rasterabtastung ist jedoch unabhängig von dem Anteil der auf dem Trägermaterial mit dem Bildmuster zu belegenden Flächen eine Ablenkabtastung über die ganze Oberfläche erforderlich.

Da im Gegensatz dazu bei dem Drucken mit Vektorabtastung nur die Bildmusterbereiche abgetastet werden, ist naturgemäß die effektive Druckzeit verküzt. Der Anteil der von dem Bildmu­ ster belegten Flächen eines normalen Druckschaltungs-Träger­ materials beträgt nur 20 bis 30%, so daß die Auswirkung auf die Verkürzung der effektiven Druckzeit groß ist.

Im Hinblick auf den Durchsatz ist daher das Entwickeln des Verfahrens für das Gewährleisten der Bildmustergenauigkeit bei dem Drucken mit Vektorabtastung unter Vermeiden von Mehrfachbelichtung bedeutsam.

Einige der herkömmlichen Elektronenstrahlbelichtungsgeräte für das Belichten eines Plättchens unter Verwendung einer Maske sind zum Ermitteln eines der Mehrfachbelichtung unter­ zogenen Bereichs ausgelegt, wie es beispielsweise in der JP-OS 56769/1979 offenbart ist. Deren Inhalt ist zusammenge­ faßt folgender:

Bei dem Entwurf des Musters einer für die Belichtung eines Plättchens benutzten Maske werden verschiedenerlei im voraus definierte Blöcke für die Gestaltung einer Anordnung zusam­ mengesetzt. Die Zeichnung der endgültigen Anordnung ist eine Kombination aus Rechtecken oder Polygonen. Es werden Recht­ eckflächen festgelegt, die mit den Spitzen der jeweiligen Rechtecke oder Polygone in Berührung sind und die jeweiligen Bilder enthalten. Falls die Rechteckflächen von zwei Bildern einander nicht überlappen, werden diese beiden Bilder als einen Bereich ohne Überlappung enthaltend behandelt und unverändert ausgedruckt. Falls andererseits die Bilder einander überlappen, wird in einem Drehkoordinatensystem überprüft, ob ein Überlappungsbereich als Schrägbild vorhan­ den ist oder nicht. Da auf diese Weise das Elektronenstrahl­ belichtungsgerät mit einer Funktion für das automatische Ermitteln der Überlappung der Bildelemente ausgestattet ist, ist die Verarbeitung für das Ausschalten der Überlappung stark vermindert.

Der vorstehend beschriebene relevante Stand der Technik betrifft ein System für das Ermitteln einer Überlappung zwischen Bildern, jedoch ist konkret ein Verfahren für das Vermeiden der Überlappung beschrieben, falls eine solche vorliegt.

Im Falle des direkten Druckens einer Schaltung auf ein Trägermaterial unter Vektorabtastung ist auch ein Betriebsvorgang für das Überprüfen erforderlich, an welcher Stelle und in welchem Ausmaß ein Bildmuster mit einem anderen über­ lappt.

Dieser Betriebsvorgang ist nicht einfach. Beispielsweise scheint es, daß in Fig. 8C das Vorliegen einer Überlappung an dem Verbindungspunkt von Mustersegmenten I und II leicht zu finden ist, jedoch ist dies tatsächlich schwierig, da bei der Anordnung der Bildmusterdaten keine grafische Kotinuität besteht.

Konkreter ausgedrückt wäre dann, wenn die Gerber-Daten in der richtigen Aufeinanderfolge wie in der Aufeinanderfolge der Bildmuster I, II, III, . . . angeordnet wären, der Zusam­ menhang der Verbindungen zwischen den Bildmustern verhält­ nismäßig leicht zu prüfen. Bei den meisten der tatsächlichen Betriebsvorgänge sind die Daten jedoch nicht in der richti­ gen Aufeinanderfolge angeordnet. Beispielsweise werden zuerst die Horizontalmuster II und IV entworfen, wonach als nächstes Vertikalmuster entworfen werden und schließlich die Schrägmuster I und III gestaltet werden. Zum Prüfen der Anschlußbeziehung zwischen den Mustersegmenten ist es daher nötig, zuerst die Gerber-Daten für alle Mustersegmente auf der ganzen Fläche zu lesen und das Mustersegment zu suchen, das an das Mustersegment I anschließt. Der gleiche Betriebs­ vorgang ist für die anderen Mustersegmente erforderlich. Diese Betriebsvorgänge werden im allgemeinen mit einem Programm eines Computers ausgeführt, wobei das Ausmaß der Verarbeitung um so größer ist, je höher die Dichte der Muster ist. Außerdem ist es nach dem Erfassen des Zusammenhangs zwischen den jeweiligen Mustersegmenten und der Überlap­ pungsbereiche ferner notwendig, die Bildmusterzeichnung derart aufzuteilen, daß keine Mehrfachbelichtung (Überlap­ pung) entsteht, und die jeweiligen Teilzeichnungen zu Vek­ tordaten aufzuschlüsseln, die für das Drucken unter Vektor­ abtastung erforderlich sind.

Falls die Betriebsvorgänge für das Suchen des Zusammenhangs zwischen den jeweiligen Mustersegmenten und der Überlap­ pungsbereiche über die ganze Fläche des Trägermaterials, das Aufteilen der Zeichnung gemäß den gefundenen Daten in der Weise, daß keine Überlappung entsteht, und das Aufschlüsseln der jeweils geteilten Zeichnungen zu Vektordaten für das Vermeiden von Mehrfachbelichtung gemäß der vorstehenden Beschreibung durch Verarbeitung in einem Computer ausgeführt werden, ist die Datenmente außerordentlich groß, so daß eine lange Verarbeitungszeit benötigt wird. Falls die Betriebs­ vorgänge durch schaltungsmäßige Verarbeitung unter Verwen­ dung einer elektronischen Schaltung ausgeführt werden, wird der Schaltungsaufbau für den praktischen Einsatz zu kompli­ ziert.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, zum Aus­ schalten der vorstehend beschriebenen Probleme des Stands der Technik ein Elektronenstrahl-Direktdruckgerät zu schaf­ fen, das es ermöglicht, bei dem getreuen Drucken eines Bildmusters gemäß aus einem Druckmusterentwurf-Hilfsrechner abgegebenen Daten für ein Elektronenstrahldruck-Bildmuster im Gerber-Format mittels eines einfachen Schaltungsaufbaus eine Mehrfachbelichtung ohne eine komplizierte Programmabar­ beitung wie das Suchen des Zusammenhangs zwischen jeweiligen Mustersegmenten und der Überlappungsbereiche und das Auftei­ len der Zeichnung gemäß den gefundenen Daten für das Verhin­ dern einer Überlappung zu vermeiden.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im Patentanspruch 1 aufgeführten Mitteln gelöst.

Da erfindungsgemäß eine Überlappung zwischen Bildmustern vor der Abtastung erfaßt wird und der Strahl an den Überlap­ pungsbereichen bei der Bestrahlung ausgetastet wird, ist es möglich, in Echtzeit die Mehrfachbelichtung zu vermeiden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbei­ spiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1 ist eine Blockdarstellung des Direkt­ druckgeräts gemäß einem Ausführungsbeispiel.

Fig. 2 ist ein ausführliches Blockschaltbild einer Austaststeuerschaltung bei dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel.

Fig. 3A zeigt von einem Datenwähler ausge­ gebene Codesignale.

Fig. 3B zeigt aus einem Bitplanspeicher ausgelesene Daten.

Fig. 3C zeigt in den Bitplanspeicher einzu­ schreibende Daten.

Fig. 4A und 4B sind erläuternde Ansichten, die den Zusammenhang zwischen Daten für einen Punkt, der mit dem Elektronenstrahl zu bestrahlen ist, und dem Strahlab­ lenkbereich veranschaulichen.

Fig. 5 ist eine Darstellung zur Erläuterung der Adressenzuordnung in dem Bitplanspeicher.

Fig. 6 zeigt zwei miteinander verbundene Bildmuster, die mittels des erfindungsgemäßen Direktdruckge­ räts gedruckt sind.

Fig. 7 ist ein Signalzeitdiagramm zur Erläuterung der Zeitsteuerung für die Strahlaustastung in der Austaststeuerschaltung.

Fig. 8 veranschaulicht das Entstehen von Mehrfachbelichtung, das bei dem Drucken eines Bildmusters auf ein Trägermaterial von Bedeutung ist.

Nachstehend wird anhand der Fig. 1 bis 5 ausführlich ein Ausführungsbeispiel des Elektronen-Direktdruckgeräts beschrieben.

Fig. 1 ist eine Blockdarstellung, die den Aufbau des Geräts gemäß dem Ausführungsbeispiel zeigt. Nach Fig. 1 gibt eine Kathode 1 an ihrer Spitze einen Elektronenstrahl 2 ab. Unterhalb der Kathode 1 ist eine Austasteinrichtung 3 für das Austasten des Elektronenstrahls angebracht, zwischen deren Elektroden die Elektronenstrahlbahn verläuft. In der Strahlenbahn ist eine Blende 4 angeordnet, die den Punkte­ durchmesser des durchgelassenen Elektronenstrahls 2 be­ stimmt.

Eine Hauptablenkeinheit 5, die zur Ablenkabtastung mittels des durch die Blende 4 durchgelassenen Elektronenstrahls dient, besteht aus einem Paar von Hauptablenkspulen 5-1 für die X-Abtastung und 5-2 für die Y-Abtastung. Ein Trägermate­ rial 6 mit einem darauf aufgebrachten Fotolack ist an einem XY-Tisch 7 befestigt, der entsprechend Befehlen aus einem Tischverstellungs-Steuersystem 8 bewegt wird. Ein Druckmu­ sterentwurf-Hilfsrechner bzw. CAD-Rechner 100 dient zum rechnergestützten Entwerfen eines Druckbildmusters und führt dieses einem an seinen Ausgang angeschlossenen Computer 9 zu. An den Ausgang des Computers 9 ist eine Speichersteuer­ einheit 10 angeschlossen, an deren Ausgang wiederum ein Druckbildspeicher 11 angeschlossen ist. Die Speichersteuer­ einheit 10 ist eine Steuerschaltung für das Einspeichern des Druckbildmusters in den Druckbildspeicher 11.

An den Ausgang der Speichersteuereinheit 10 ist ein Hauptab­ lenkungs-Verformungskorrekturspeicher 12 angeschlossen, der Verformungskorrekturdaten für das Korrigieren der gewöhnlich in einem elektronischen bzw. elektrooptischen System entste­ henden Ablenkungsverformung speichert. Ein Vektormustergenerator 13 nimmt die Bildmusterdaten aus dem Druckbildspeicher 11 auf und führt Signalleitungen 13 a und 13 b jeweils Daten mit beispielsweise 12 Bit für die X-Abtastung bzw. für die Y- Abtastung bei der Hauptablenkung zu. Eine Hauptablenkungs- Verformungskorrekturschaltung 14 nimmt aus dem Vektormuster­ generator 13 die Daten für die X-Abtastung und die Y- Abtastung sowie aus dem Verformungskorrekturspeicher 12 die Verformungskorrekturdaten auf und erzeugt Daten für eine korrigierte Ablenkung zur X-Abtastung und zur Y-Abtastung. An den Ausgang der Verformungskorrekturschaltung 14 sind ein Digital/Analog- bzw. D/A-Wandler 15 für die X-Abtastung und ein D/A-Wandler 16 für die Y-Abtastung angeschlossen, die beispielsweise ein Auflösungsvermögen von 12 Bit haben. Zwischen den D/A-Wandler 15 für die X-Abtastung und den D/A- Wandler 16 für die Y-Abtastung einerseits und die Ablenkspu­ len 5-1 für die X-Ablenkung und 5-2 für die Y-Ablenkung andererseits ist eine Hauptablenkungs-Steuerstromquellenein­ heit 17 geschaltet. An den Ausgang des Vektormustergenera­ tors 13 ist auch eine Austaststeuerschaltung 18 angeschlos­ sen, die in Einzelheiten in Fig. 2 gezeigt ist. Zwischen die Austaststeuerschaltung 18 und die Austasteinrichtung bzw. Austastelektroden 3 ist eine Austastspannungsquelle 19 geschaltet.

Die Fig. 2 ist ein ausführliches Blockschaltbild der in Fig. 1 gezeigten Austaststeuerschaltung 18, die einen Hauptteil des Direktdruckgeräts bildet.

Ein Bitplanspeicher 21 nimmt die Daten für die X-Abtastung und die Y-Abtastung 13 bei der Hauptablenkung aus dem Vektormu­ stergenerator 13 auf und speichert eine Punktegrafik, die durch Zerlegen des Druckbildmusters, beispielsweise für ein Vollbild bzw. Bildfeld in die kleinsten Einheiten für die Bewegung der Ablenkstelle des Strahls (Bildelemente) erhal­ ten wird und die das Bild durch Punkte darstellt. Die Punktegrafik ist eine binäre Grafik, die durch das Darstel­ len der Punktegruppe der Bildmusterbereiche, die bestrahlt werden sollen, durch Bits 1, welche "Vorhandensein von Punkten" anzeigen, bzw. der Punktegruppe an den anderen Bereichen des Trägermaterials durch Bits 0 erzeugt wird, welche "Fehlen eines Punkts" anzeigen.

Der Bitplanspeicher 21 hat eine Struktur, bei der die Adres­ sen durch Daten mit 8 Bit als ein Wort bestimmt sind, was nachfolgend beschrieben wird. Das heißt, ein jedes Bit eines jeden Worts entspricht einem der vorstehend beschriebenen Punkte.

Von den Daten für die X-Abtastung auf der Signalleitung 13 a werden die ersten 9 Bit zu den Daten für die Y-Abtastung auf der Signalleitung 13 b hinzugefügt und diese 21 Bit werden an die Adressensammelleitung bzw. die Adressenleitungsleitungen des Bitplanspeichers 21 angelegt. Auf diese Weise wird ein jedes Wort (mit 8 Bit) in dem Bitplanspeicher 21 entsprechend diesen Daten mit 21 Bit adressiert.

Von den Daten für die X-Abtastung bei der Hauptablenkung an der Signalleitung 13 a werden die letzten 3 Bit zum Bestimmen der Stellenadresse eines vorbestimmten Bits 1 in einem einzelnen Wort (mit 8 Bit) des Bitplanspeichers 21 herange­ zogen, welches durch die vorstehend beschriebenen 21 Bit adressiert ist, nämlich für das Bestimmen, welches der 8 Bit das vorbestimmte Bit 1 ist. Die Daten mit den letzten 3 Bit werden in den Wählanschluß eines Datenwählers 23 und in einen Decodierer 28 eingegeben. Durch den Decodierer 28 werden die Daten mit den letzten 3 Bit in Daten mit 8 Bit umgesetzt (z. B. in den in Fig. 3A gezeigten Code, in dem nur das der durch die 3 Bit dargestellten Dezimalzahl entspre­ chende Bit durch den logischen Pegel 1 dargestellt ist, während die anderen Bits durch den logischen Pegel 0 darge­ stellt sind).

Der in Fig. 3A gezeigte Code ist ein Beispiel für 8-Bit- Daten, die aus den 3-Bit-Daten (010)₂ umgesetzt sind.

Die aus einem Zwischenspeicher 29 ausgegebenen Daten werden über eine Datensammelleitung bzw. Datenleitung 29 a in eine ODER-Rechenschaltung 30 eingegeben.

Andererseits werden 8-Bit-Daten (Punktedaten wie die in Fig. 3B gezeigten) für ein Wort an einer vorbestimmten Adresse, die über eine Datenleitungssteuereinheit 22 aus dem Bitplan­ speicher 21 ausgelesen werden, über eine Signalleitung 22 a dem Datenwähler 23 sowie einem Zwischenspeicher 24 zuge­ führt. Die aus dem Zwischenspeicher 24 ausgegebenen Daten werden über eine Datenleitung 24 a in die ODER-Rechenschal­ tung 30 eingegeben.

Auf diese Weise werden die aus den Zwischenspeichern 24 und 29 ausgegebenen und in die ODER-Rechenschaltung 30 einge­ benen Daten der ODER-Verknüpfung unterzogen und als 8-Bit- Daten wie die in Fig. 3C gezeigten ausgegeben. Die ausgege­ benen Daten werden über eine Datenleitung 30 a der Datenlei­ tungssteuereinheit 22 zugeführt und in den Bitplanspeicher eingeschrieben.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung werden somit in den Datenwähler 23 die Daten für ein Wort an einer vorbestimmten Adressen, die über die Datenleitungssteuereinheit 22 aus dem Bitplanspeicher 21 ausgegeben werden, sowie die vorstehend beschriebenen 3-Bit-Daten für die Stellenadresse eingegeben.

Der Datenwähler 23 bestimmt ein Bit in einem Wort gemäß der durch die 3-Bit-Daten dargestellten Stellenadresse. Die gewählte und bestimmte Information mit einem Bit in den eingegebenen 8-Bit-Daten wird einem Flip-Flop 25 zur Bewer­ tung des Zustands zugeführt, nämlich zur Ermittlung, ob ein Bildpunkt vorliegt oder nicht. In dem Flip-Flop 25 ist ein Bezugstaktsignal CLK aus dem Vektormustergenerator 13 mit einem verzögerten Taktsignal DCLK synchronisiert, das durch das Verzögern des Bezugstaktsignals um die Zeit T erhalten wird. Das Synchronsignal wird als Strahlaustaststeuersignal BLANK ausgegeben.

Das Strahlaustaststeuersignal wird in die Austastspannungs­ quelle 19 sowie auch zusammen mit dem Bezugstaktsignal aus dem Vektormustergenerator 13 in ein ODER-Glied 27 eingege­ ben. Das von dem ODER-Glied 27 ausgegebene Signal wird in den Schreib/Lese-Steueranschluß des Bitplanspeichers 21 und in den Leitungssteueranschluß der Datenleitungssteuereinheit 22 eingegeben.

Das Strahlaustaststeuersignal an einer Signalleitung 25 a nimmt den hohen Pegel an, falls die 1-Bit-Information aus dem Datenwähler 23 das Vorliegen eines Punktes anzeigt (Bit 1), bzw. den niedrigen Pegel, falls die Information "Fehlen eines Punktes" anzeigt (Bit 0). Die Austastspannungsquelle 19 und die Austastelektroden 3, die die Austasteinrichtung bilden, haben die Funktion, die Bestrahlung des Trägermate­ rials zuzulassen, wenn der Signalpegel niedrig ist, und zum Verhindern der Bestrahlung den Strahl auszublenden bzw. auszutasten, wenn der Signalpegel hoch ist.

Die Fig. 4A zeigt den Zusammenhang zwischen Daten (X, Y) für die Stelle, die mit dem Elektronenstrahl bestrahlt ist, und dem Strahlablenkbereich (Bildfeld).

Falls gemäß der vorstehenden Beschreibung sowohl die Daten für die X-Abtaststelle als auch die Daten für die Y-Abtast­ stelle an dem mit dem Elektronenstrahl bestrahlten Punkt das Format 12 Bit haben, liegen die möglichen Werte im Bereich von 000 _H bis FFF _H in sedezimaler Darstellung (=2¹²-1). Der Punkt mit dem Datenwert (X, Y) = (7FF _H, 7FF _H) in Fig. 4A ist der Punkt auf dem Trägermaterial, auf den der Elektronen­ strahl direkt ohne Ablenkung auftrifft. Falls alle Ablenk­ stellen im Strahlablenkbereich bzw. Bildfeld im Bitplanspei­ cher 21 entwickelt bzw. aufgenommen werden, muß dieser eine Aufnahmefähigkeit von 2¹² × 2¹² = 16 Mbit = 2 MByte haben, da in dem Bitplanspeicher 21 als ein Wort 8 Bit adressiert werden. Nimmt man an, daß der Speicher die Struktur 2M Worte × 8 Bit hat, so zeigt eine gegebene Ablenkstelle (Xi, Yi) im Strahlablenkbereich das Q-te Bit (Stellenadresse) eines vorbestimmten Wortes (mit 8-Bit-Daten) an einer Speicherad­ resse (512Yj+p) im Bitplanspeicher 21 an, wobei p der Quotient Xi/2³ ist und Q der Rest ist. Das heißt, gemäß Fig. 4B zeigen die durch das Hinzufügen der ersten 9 Bit der 12-Bit- Daten für die X-Abtastung zu den 12-Bit-Daten für die Y- Abtastung erhaltenen 21-Bit-Daten die Speicheradressen eines vorbestimmten Wortes an, das der Ablenkstelle (Xi, Yi) im Bitplanspeicher 21 entspricht.

Gemäß Fig. 5 ist die Speicheradresse eines jeweiligen Wortes in dem Bitplanspeicher 21 als eine Adresse bestimmt, die aus den Adressen 0 bis 2²¹ gewählt ist. Falls beispielsweise Yi =0 ist und Xi=10 ist, gilt p=1 und Q=2, wobei das (strichliert dargestellte) Bit an der Stellenadresse 1 in den Wortdaten an der Speicheradresse 1 gewählt ist, die mit 200 bezeichnet sind. Die restlichen 3 Bits der 12-Bit-Daten für die X-Abtastung bei der Hauptablenkung geben die Bit­ stelle (Stellenadresse) des einen Wortes an der der Ablenk­ stelle (Xi, Yi) entsprechenden Speicheradresse an.

Die Fig. 6 veranschaulicht den Fall, daß ein horizontales Muster A und ein Muster B mit einer Neigung von 45° gedruckt werden, welches an den Endbereich des horizontalen Musters A angeschlossen ist. Es sei angenommen, daß entsprechend den Informationen aus dem Entwurf-Hilfsrechner (CAD-Rechner) 100 zuerst das horizontale Muster A und als nächstes das schräge Muster B gedruckt wird. Das horizontale Muster A wird durch aufeinanderfolgende Vektorabtastung mit 7 Vektoren V 1 bis V 7 in der durch die Pfeile angezeigten Richtung gedruckt, während das schräge Muster B auf gleichartige Weise durch aufeinanderfolgende Vektorabtastung mit 9 Vektoren V 8 bis V 16 in der durch die Pfeile angezeigten Richtung gedruckt wird. Die durch schwarze Punkte (⚫) oder Leerpunkte (○) dargestellten Bildpunkte zeigen jeweils die Stellen an, die mit dem Elektronenstrahl bei jeder kleinsten Einheit für die Bewegung der Ablenkstelle zu bestrahlen sind.

Punkte P 1 bis P 16 sind Druckausgangspunkte der jeweiligen Vektoren V 1 bis V 16, während Punkte Q 1 und Q 2 die Endprodukte der Vektoren V 1 bzw. V 2 sind und gleichermaßen die Punkte an den rechten Enden der Vektoren V 3 bis V 7 die jeweiligen Endpunkte darstellen. Punkte Q 82 und Q 92 sind Endpunkte der Vektoren V 8 bzw. V 9 und zugleich Punkte, die der Ablenk­ strahl der Vektoren V 5 bzw. V 4 durchläuft. Gleichermaßen stellen die Punkte an den linken Enden der dünnen gestri­ chelten Linien der Vektoren V 10 bis V 16 die jeweiligen Endpunkte dar. Die Fig. 7A und 7B sind Signalzeitdiagramme, die die Zeit­ steuerung für den Strahlaustastvorgang bei dem Drucken der in Fig. 6 gezeigten Muster A und B veranschaulichen.

Die Fig. 7A veranschaulicht die Zeitsteuerung für jeweilige Signalausgaben bei der kontinuierlichen Bewegung des Strahls in der durch die Pfeile dargestellten Richtung von dem Punkt P 1 zum Punkt Q 2 über die Punkte Q 1 und P 2 bei dem Drucken des Musters A.

Die Fig. 7B veranschaulicht die Zeitsteuerung der jeweiligen Signalausgabe bei dem kontinuierlichen Bewegen des Strahls in der Richtung nach links oben mit einer Neigung von 45° gemäß der Darstellung durch die Pfeile von dem Punkt P 8 zu dem Punkt Q 82 bei dem Drucken des Musters B nach dem Drucken des Musters A.

In den Fig. 7A und 7B sind an den linken Rändern den jewei­ ligen Signalen CLK, X, Y . . . und BLANK jeweils in Klammern die entsprechenden Signal- oder Datenleitungen 13 c, 13 a, 13 b, . . . 25 a gemäß Fig. 2 hinzugefügt.

Von den Signalen veranschaulichen die Signale X, Y, MAPD, RDL, DCL und ORD jeweils den Zustand des Übergangs von 8-Bit-Daten.

Es werden nun die Ablenkfunktion und die Strahlaustastfunk­ tion des erfindungsgemäßen Elektronenstrahl-Direktdruckge­ räts erläutert.

Die Ausgangssignale bzw. Druckbildinformationen des Druck­ bildentwurf-Hilfsrechners 100 werden über eine Direktlei­ tung, ein Magnetband oder dergleichen in den Computer 9 eingegeben. In dem Computer 9 werden die Druckbildinforma­ tionen in Druckbildinformationen für ein jeweiliges Bildfeld aufgeteilt, erneut aufbereitet und in Binärdaten umgesetzt, die für die Verarbeitung im Direktdruckgerät geeignet sind und die nachfolgend als Direktdruck- Bildinformation be­ zeichnet werden. In den Direktdruck-Bildinformationen sind beispielsweise für ein jedes Segment die Ausgangspunktkoor­ dinaten (Xs, Ys), die Segmentlänge und die Segmentrichtung durch binäre digitale Werte dargestellt.

Vor Beginn des Druckens werden die Direktdruck-Bildinforma­ tionen und die Hauptablenkungs-Verformungskorrekturdaten über die Speichersteuereinheit 10 in den Druckbildspeicher 11 bzw. in den Verformungskorrekturspeicher 12 übertragen und eingespeichert. Zu Beginn des Druckens werden drei Arten von Daten, nämlich die Daten für die Ausgangspunktkoordinaten (Xs, Ys), die Segmentlänge und die Segmentrichtung für ein einzelnes Segment aus dem Druckbildspeicher 11 ausgele­ sen und in den Vektormustergenerator 13 eingegeben. Der Vektormustergenerator 13, der mit einer elektronischen logischen Schaltung wie einem Zähler aufgebaut ist, nimmt die dreierlei Daten auf und gibt die X-Abtastdaten an die Signalleitung 13 a und die Y-Abtastdaten an die Signalleitung 13 b ab, mit denen jeweils die X-Abtastung bzw. die Y-Abta­ stung an der Hauptablenkeinheit 5 gesteuert wird. Die X- Abtastdaten an der Signalleitung 13 a und die Y-Abtastdaten an der Signalleitung 13 b werden in die Verformungskorrektur­ schaltung 14 und die Austaststeuerschaltung 18 eingegeben. Die Verformungskorrekturschaltung 14 korrigiert in Echtzeit die Verformung bei der Hauptablenkung entsprechend den X- Abtastdaten an der Signalleitung 13 a, den Y-Abtastdaten an der Signalleitung 13 b und den Korrekturdaten aus dem Verfor­ mungskorekturspeicher 12, nämlich den X-Abtastkorrekturda­ ten an einer Signalleitung 12 a und den Y-Abtastkorrekturda­ ten an einer Signalleitung 12 b. Die korrigierten Daten werden jeweils als X-Abtastdaten und Y-Abtastdaten über eine Signalleitung 14 a bzw. 14 b in den D/A-Wandler 15 für die X- Abtastung bzw. den D/A-Wandler 16 für die Y-Abtastung bei der Hauptablenkung eingegeben und in analoge Signale umge­ setzt. Diese analogen Signale werden der Hauptablenkungs- Steuerstromquelleneinheit 17 zugeführt, die mit einem einge­ bauten Leistungsverstärker und dergleichen versehen ist. Die Steuerstromquelleneinheit 17 führt den beiden zueinander rechtwinklig angeordneten Spulen, nämlich der Spule 5-1 für die X-Abtastung und der Spule 5-2 für die Y-Abtastung vorbe­ stimmte Ströme zu, wodurch die Hauptablenkabtastung herbei­ geführt wird.

Wenn die Abtastung für ein Segment auf diese Weise beendet ist, werden Daten für das nächste einzelne Segment aus dem Druckbildspeicher 11 ausgelesen und es wird die gleiche Hauptablenkabtastung ausgeführt. Auf diese Weise wird eine vorbestimmte Ablenkabtastung aufeinanderfolgend für das ganze Bildmuster in dem Bildfeld ausgeführt.

Anhand der Fig. 2, 7A und 7B wird nun die in der Austast­ steuerschaltung 18 bei dem Drucken der in Fig. 6 gezeigten Muster A und B ausgeführte Strahlaustaststeuerung erläutert.

Vor Beginn des Druckens wird der Bitplanspeicher 21 durch eine Anfangseinstellung auf "0" gelöscht und das Flip-Flop 25 gesetzt. Zu diesem Zeitpunkt hat das von dem Flip-Flop 25 abgegebene Austaststeuersigal den hohen logischen Pegel 1, wodurch über das ODER-Glied 27 der Bitplanspeicher 21 in den Lesezustand geschaltet wird und die Datenleitungssteuerein­ heit 22 auf die Leseanschlußseite geschaltet wird.

Zu Beginn des Druckens werden bei dem Anstieg des Bezugs­ taktsignals CLK aus dem Vektormustergenerator 13 die dem Ablenkpunkt P 1 nach Fig. 6 entsprechenden X-Abtastdaten X 1 und Y-Abtastdaten Y 1 an die Signalleitungen 13a bzw. 13 b abgegeben. An eine Signalleitung 21 a wird ein Inhalt a 1 (8- Bit-Daten) an der Speicheradresse in dem Bitplanspeicher 21 abgegeben, die der Ablenkstelle (X 1, Y 1) entspricht (Signal MAPD). Da der Bitplanspeicher 21 durch die Anfangseinstel­ lung schon auf "0" gelöscht wurde, sind bei dieser Stufe alle Bits der Daten a 1 "0". Über die Datenleitungssteuerein­ heit 22 werden die Daten a 1 in den Datenwähler 23 eingege­ ben, von dem entsprechend der Daten der letzten drei Bit (Stellenadressendaten) der X-Abtastdaten auf der Signallei­ tung 13 a ein Bit der Daten a 1 an der der Ablenkstelle (X 1, Y 1) entsprechenden Speicheradresse gewählt wird und das gewählte Bit in das Flip-Flop 25 eingegeben wird. Da das eine Bit den logischen Signalpegel 0 hat, nimmt bei dem Anstieg des verzögerten Taktsignal DCLK aus einer Taktver­ zögerungsschaltung 26 das Austaststeuersignal BLANK den niedrigen Pegel an.

Es muß sichergestellt werden, daß die Zeit T, um die das Bezugstaktsignal CLK durch die Taktverzögerungsschaltung 26 verzögert wird, länger als die Summe aus der Datenzugriff­ zeit des Bitplanspeichers 21 und den Signalverzögerungszei­ ten der Datenleitungssteuereinheit 22 und des Datenwählers 23 ist.

Wenn als Triggersignal das Signal DCLK aufgenommen wird, werden die Daten a 1 aus dem Zwischenspeicher 24 an die Datenleitung 24 a abgegeben (Signal RDL). Die letzten drei Bit der X-Abtastdaten an der Signalleitung 13 a werden durch den Decodierer 28 in einen Code b 1 umgesetzt, der anzeigt, daß von dem Inhalt (8 Bit) der der Ablenkstelle (X 1, Y 1) entsprechenden Speicheradresse nur ein Bit den logischen Pegel 1 hat, während die anderen sieben Bit den logischen Pegel 0 haben. Der Code b 1 wird über den Zwischenspeicher 29 der Datenleitung 29 a zugeführt (Signal DCL). Von der ODER- Rechenschaltung 30 wird die logische Summe aus dem Signal RDL an der Datenleitung 24 a und dem Signal DCL an der Daten­ leitung 29 a berechnet und als Daten c 1 an eine Signalleitung 30 a abgegeben (Signal ORD).

Da ein Ausgangssignal MCNT des ODER-Glieds 27 die logische Summe aus dem Austaststeuersignal BLANK und dem Bezugstakt­ signal CLK ist, entsteht eine in Fig. 7A mit t bezeichnete Periode, während der der Signalpegel niedrig ist. Während dieser Zeit wählt die Datenleitungssteuereinheit 22 eine Datenschreibsammelleitung und schaltet gemäß der vorstehen­ den Beschreibung den Bitplanspeicher 21 auf den Lesezustand. Während der Zeitdauer t werden die Daten c 1 an der Signal­ leitung 30 a in den Speicher eingeschrieben. Auf diese Weise werden dann, wenn die Ablenkstelle (X 1, Y 1) bestimmt ist und die dieser Stelle entsprechende Punkteinformation in dem Bitplanspeicher 21 "0" ist, das Herabsetzen des Austast­ steuersignals BLANK auf den niedrigen Pegels während eines Taktes und das Einschreiben von "1" an der gleichen Bitstel­ le in dem Bitplanspeicher wie die Stelle beendet, von der die Daten ausgelesen sind.

Die Strahlablenkstellen werden aufeinanderfolgend durch die Vektorabtastung mit dem Strahl geändert. Während der Strahl die Abtastpunkte an dem Bildmuster durchläuft, wird auf gleichartige Weise das Bit 1 an den den jeweiligen Ablenkungs­ punkten entsprechenden Stellen in dem Bitplanspeicher 21 eingeschrieben, während das Austaststeuersignal BLANK auf dem niedrigen Pegel gehalten wird.

Es wird nun der Fall beschrieben, daß der Strahl die Ablenk­ punkte an dem Muster B durchläuft. Bei der Abtastung des Vektors V 8 gelangt der Strahl von dem Punkt P 8 zu dem Punkt Q 8 auf die gleiche Weise wie bei dem Muster A. Wenn sich jedoch der Ablenkpunkt zu dem Punkt Q 81 bewegt, für den schon in dem Bitplanspeicher 21 für das Muster A das Bit 1 eingeschrieben ist, nimmt das Austaststeuersignal BLANK den hohen Pegel an, wodurch der auf das Trägermaterial aufzu­ strahlende Strahl ausgeblendet wird. Dieser Zustand wird für die Ablenkstellen zwischen den Punkten Q 81 und Q 82 aufrecht erhalten. Gleichermaßen nimmt dann, wenn bei der Abtastung des Vektors V 9 der Strahl von dem Punkt P 9 zu dem Punkt Q 9 gelangt, das Austaststeuersignal BLANK den niedrigen Pegel an, wodurch der Strahl auf das Trägermaterial aufgestrahlt wird, während aber dann, wenn die Ablenkstelle zwischen den Punkte Q 91 und Q 92 liegt, das Austaststeuersignal BLANK den hohen Pegel annimmt, wodurch der auf das Trägermaterial zu richtende Strahl ausgetastet bzw. ausgeblendet wird.

Da auf diese Weise während der Strahlablenkabtastung durch die Strahlaustaststeuerung der Strahl abgehalten wird, so daß das Bestrahlen der schon belichteten bzw. bestrahlten Ablenkstelle verhindert ist, entsteht auch dann keine tat­ sächliche Bestrahlungsüberlappung, wenn eine Überlappung zwischen Bildmustern vorliegt. Auf diese Weise wird das Drucken in der richtigen Aufeinanderfolge ohne Entste­ hung von Mehrfachbelichtung ausgeführt.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung wird erfindungsgemäß bei dem Drucken durch Elektronenstrahlabtastung eine Überlappung zwischen Bildmustern erfaßt und der Strahl so gesteuert, daß er vor der Bestrahlung an dem Überlappungsbereich abgefangen wird. Dadurch ist es möglich, in Echtzeit die Mehrfachbe­ lichtung zu vermeiden. Infolgedessen ist die für das Vermei­ den der Mehrfachbelichtung zu verarbeitende Datenmenge außerordentlich verringert und daher im Vergleich zu dem Stand der Technik der Durchsatz verbessert. Außerdem wird ein hochgenauer Bildmusterdruck erreicht, der dem aus dem Druckmusterentwurf-Hilfsrechner bzw. CAD-Rechner ausgegebe­ nen Druckbild getreu ist und der von Mehrfachbelichtungen frei ist.

Es wird ein Elektronenstrahl-Direktdruckgerät beschrieben, in dem Druckbildinformationen aus einem Druckmusterentwurf- Hilfsrechner durch einen Abtastdatengenerator zu Ablenkungs- Abtastdaten für die X-Achse und die Y-Achse umgesetzt und ausgegeben werden. Entsprechend den Abtastdaten wird von einer Elektronenstrahlablenkungs-Abtasteinrichtung ein Druckschaltungs-Trägermaterial mittels eines Elektronen­ strahls abgetastet. Das mit dem Elektronenstrahl aufgebrach­ te Druckbildmuster wird in einen Bitplanspeicher durch Punkte eingegeben, die den Stellen entsprechen, welche mit dem Elektronenstrahl bestrahlt sind. Eine Strahlungssteuer­ einrichtung kann durch aufeinanderfolgendes Auslesen der Punkteinformation aus dem Bitplanspeicher an den den Abtastdaten entsprechenden Adressen in Echtzeit feststellen, ob die mit dem Elektronenstrahl zu bestrahlende Stelle schon der Bestrahlung unterzogen wurde oder nicht. Falls kein Punkt vorhanden ist, wird gleichzeitig mit der Bestrahlung ein Punkt in dem Bitplanspeicher eingeschrieben, während dann, wenn ein Punkt vorliegt, eine Austasteinrichtung ein Steuersignal für das Austasten des Elektronenstrahls abgibt. Auf diese Weise werden in Echtzeit Überlappungen im Druck­ bildmuster erfaßt, wodurch das Vermieden von Mehrfachbe­ strahlung, nämlich Mehrfachbelichtung gewährleistet ist.

Claims (14)

1. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät, gekennzeichnet durch
einen Direktdruck-Bildinformationsgenerator (9 bis 11, 100) zum Festlegen eines Elektronenstrahldruck-Bildmusters für ein Druckschaltungs-Trägermaterial (6) und zum Ausgeben des Bildmusters als Direktdruck-Bildinformationen,
einen Abtastdatengenerator (13) zum Erzeugen von Daten, die für die gemäß den Bildinformationen ausgefhrten Hauptab­ lenkabtastung des Trägermaterials mit einem Elektronenstrahl (2) in der Richtung der X-Achse und in der Richtung der Y- Achse erforderlich sind,
eine Elektronenstrahl-Ablenkabtasteinrichtung (5, 12, 14 bis 17) für das Ausführen der Ablenkabtastung des Träger­ materials mit dem Elektronenstrahl gemäß den von dem Abtast­ datengenerator ausgegebenen Daten,
eine im Strahlenweg des Elektronenstrahls angebrachte Austasteinrichtung (3, 19) zum Austasten des Elektronen­ strahls bei dem Empfang eines Steuersignals,
einen Bitplanspeicher (21) zum Speichern einer Punkte­ grafik, die das bei der Ablenkabtastung des Trägermaterials mit dem Elektronenstrahl bestrahlte Bildmuster durch Punkte darstellt, die den mit dem Elektronenstrahl bestrahlten Punkten entsprechen, und
eine Bestrahlungssteuereinrichtung mit einer Leseein­ richtung (22) zum Aufnehmen der Daten für die Ablenkabta­ stung mit dem Elektronenstrahl aus dem Abtastdatengenerator und zum Lesen der Punktinformation an der dem mit dem Elek­ tronenstrahl zu bestrahlendem Punkt entsprechenden Stelle in dem Bitplanspeicher, einer Schreibeinrichtung (28, 30) zum Ermitteln, ob die gelesene Information einen Punkt enthält oder nicht, und zum Einschreiben eines Punktes an der Stelle in dem Bitplanspeicher, falls dort kein Punkt gespeichert ist, und einer Austaststeuereinrichtung (18; 23, 25), die das Bestrahlen zuläßt, falls kein Punkt gespeichert ist, während sie der Austasteinrichtung ein Steuersignal zum Austasten des Elektronenstrahls und zum Verhindern der Bestrahlung des Trägermaterials zuführt, falls ein Punkt gespeichert ist.

2. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß der Bildinformationsgenerator (9 bis 11, 100)
einen Druckmusterentwurf-Hilfsrechner (100) zum Festle­ gen und Ausgeben eines Elektronenstrahldruck-Bildmusters in einem Gerber-Format,
einen Computer (9), der die aus dem Hilfsrechner aufge­ nommenen Druckmusterinformation in Druckmusterinformatio­ nen für ein jeweiliges Einzelbild aufteilt und die Druckmu­ sterinformationen zu Binärdaten als Direktdruck-Bildinforma­ tionen aufbereitet und umsetzt,
einen Druckbildspeicher (11) zum Speichern der aus dem Computer ausgegebenen Direktdruck-Bildinformationen und
eine Speichersteuereinrichtung (10) zum Steuern des Inhalts des Druckbildspeichers enthält.

3. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildinformationen für ein jeweiliges Segment die Ausgangspunktkoordinaten (Xs, Ys), die Länge des Segments und die Richtung des Segments durch binäre digitale Werte darstellen.

4. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Abtastdatenge­ nerator durch einen Vektormustergenerator (13) gebildet ist, der die Bildinformation aus dem Bildinformationsgenerator (9 bis 11, 100) aufnimmt und die Bildinformationen als Daten mit vorbestimmten Bits für die X-Abtastung und die Y- Abtastung bei der Ablenkabtastung abgibt.

5. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach einem der Ansprü­ che 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronen­ strahl-Ablenkabtasteinrichtung (5, 12, 14 bis 17)
eine Hauptablenkeinheit (5) zum Ausführen der Ablenkab­ tastung mit dem Elektronenstrahl bei der Aufnahme eines vorbestimmten Stroms,
einen Hauptablenkungs-Verformungskorrekturspeicher (12) der an den Ausgang des Bildmustergenerators (9 bis 11, 100) angeschlossen ist und der Verformungskorrekturdaten für das Korrigieren einer in einem elektrooptischen System auftre­ tenden Ablenkungsverformung in bezug auf die Bildinformatio­ nen speichert,
eine Verformungskorrekturschaltung (14) zum Korrigieren der Verformung bei der Hauptablenkung gemäß den Verformungs­ korrekturdaten aus dem Verformungskorrekturspeicher und gemäß Daten für die X-Abtastung und die Y-Abtastung aus dem Abtastdatengenerator (13) und zum Erzeugen von Korrekturda­ ten für die X-Abtastung und die Y-Abtastung,
einen D/A-Wandler (15) für die X-Abtastung und einen D/A-Wandler (16) für die Y-Abtastung, die an den Ausgang der Verformungskorrekturschaltung angeschlossen sind und die die Korrekturdaten für die X-Abtastung und die Y-Abtastung in jeweilige analoge Signale umsetzen, und
eine Ablenksteuerstromquelleneinheit (17) enthält, die an die Ausgänge der D/A-Wandler für die X-Abtastung und die Y-Abtastung angeschlossen ist und die vorbestimmte Ströme entsprechend den analogen Signalen aus den D/A-Wandlern abgibt.

6. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 5, da­ durch gekennzeichnet, daß die Hauptablenkzeit (5), die ein Teil der Elektronenstrahl-Ablenkabtasteinrichtung (5, 12, 14 bis 17) ist, aus zwei Spulen (5-1, 5-2), nämlich einer Spule für die X-Abtastung und einer Spule für die Y- Abtastung bei der Hauptablenkung gebildet ist, die zueinander orthogonal angeordnet sind.

7. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach einem der Ansprü­ che 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die in dem Bitplan­ speicher (21) gespeicherte Punktegrafik eine Grafik ist, die durch das Auflösen des Bilds des Elektronenstrahldruck- Bildmusters für ein Einzelbild in die kleinste Einheit der Bewegung der Ablenkstelle der Bestrahlung erhalten wird und die das Bild durch Punkte darstellt.

8. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 7, da­ durch gekennzeichnet, daß der Bitplanspeicher (21) eine Speicheradresse mit 8 Bit als ein Wort bestimmt, um die Eingabe der Punkte entsprechend den jeweiligen Bits in dem Wort zu ermöglichen.

9. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 8, da­ durch gekennzeichnet, daß die in dem Bitplanspeicher (21) gespeicherte Punktegrafik eine binäre Grafik ist, die durch Bits 1 die Punktegruppe der schon mit dem Elektronenstrahl bestrahlten Bildmusterbereiche darstellt, um das Vorliegen von Punkten anzuzeigen, und durch Bits 0 die Punktegruppe an den anderen Bereichen darstellt, um das Fehlen eines Punkts anzuzeigen.

10. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Daten für die X-Abtastung und die Y-Abtastung aus dem Abtastdatengenerator (13) je­ weils Daten mit 12 Bit sind und daß die ersten 9 Bit der 12 Bit der Daten für die X-Abtastung den 12 Bit der Daten für die Y-Abtastung hinzugefügt und für das Bestimmen der Spei­ cheradresse des Wortes in dem Bitplanspeicher (21) herangezo­ gen werden, während die letzten 3 Bit der Daten für die X- Abtastung für das Bestimmen der Stellenadresse eines Bits 1 in dem Wort herangezogen werden.

11. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Leseeinrichtung der Bestrah­ lungssteuereinrichtung eine Datenleitungssteuereinheit (22) enthält, die an den Bitplanspeicher (21) für das Steuern des Umschaltens zwischen den Datenleitungen für das Auslesen und das Einschreiben von Informationen aus bzw. in den Speicher angeschlossen ist, wodurch das Auslesen der Informationen für ein Wort an der gemäß den Abtastdaten aus dem Abtastdatenge­ nerator (13) über die Datenleitungssteuereinheit unter einer vorbestimmten Zeitsteuerung erfolgt.

12. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichner, daß die Schreibeinrichtung der Bestrahlungssteuereinrichtung
einen Decodierer (28) für das Umsetzen der letzten 3 Bit der Daten für die X-Abtastung in die mittels des Elek­ tronenstrahls zu bestrahlende Stelle anzeigenden 8-Bit-Daten, in denen nur das der durch die 3 Bit dargestellten dezimalen ganzen Zahl entsprechende Bit durch den logischen Pegel 1 und die anderen Bits durch den logischen Pegel 0 wiedergege­ ben sind, und
einen ODER-Rechenschaltung (30) zum Berechnen der logi­ schen Summe der Daten aus dem Decodierer und der von der Leseeinrichtung aus dem Bitplanspeicher (21) ausgelesenen Daten in dem Wort an einer vorbestimmten Adresse enthält, wobei die Daten aus der ODER-Rechenschaltung über die Daten­ leitungssteuereinheit (22) in den Bitplanspeicher einge­ schrieben werden.

13. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Austaststeuereinheit
einen Datenwähler (23) für das Aufnehmen der mittels der Leseeinrichtung (22) ausgelesenen Daten in dem Wort an der vorbestimmten Adresse und der Daten der letzten 3 Bit der Daten für die X-Abtastung und für das Wählen und Ausge­ ben einer 1-Bit-Information über die Stelle, die mit dem Elektronenstrahl zu bestrahlen ist, aus dem Wort gemäß der durch die 3-Bit-Daten angegebenen Stellenadresse und
eine logische Einheit (25) für das Ermitteln, ob die aus dem Datenwähler abgegebene Information einen Punkt beinhaltet oder nicht, nämlich ob die Information der logi­ sche Pegel 1 oder der logische Pegel 0 ist, und für das Abgeben eines Steuersignals an die Austasteinrichtung (3 19) enthält, falls ein Punkt vorliegt, die Information den logischen Pegel 1 hat.

14. Elektronenstrahl-Direktdruckgerät nach einem der Ansprü­ che 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Austastein­ richtung
eine Austasteinheit (3) mit zwei Elektroden, die einan­ der unter Zwischensetzung des Elektronenstrahldurchlasses gegenübergesetzt sind, und
eine Austastspannungsquelle (19) enthält, die gemäß einem vorbestimmten Steuersignal an die Austasteinheit eine Austastspannung anlegt, durch die der Elektronenstrahl derart stark abgelenkt wird, daß er ausgetastet wird, wenn die Austastspannung an die Abtasteinheit angelegt wird.