DE3940358C2 - - Google Patents

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Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen integrierten Halbleiterschaltkreis, insbesondere auf eine BiCMOS-Schaltung als einer Kombination aus einem CMOS-Gate und einem bipolaren Transistor.
Die BiCMOS-Schaltung besitzt zwei vorteilhafte Merkmale: geringe Leistungsverluste als Merkmal der CMOS-Schaltung, während das andere Merkmal die hohe Treiberfähigkeit als Merkmal des bipolaren Transistors darstellt. Aufgrund dieser Merkmale sind BiCMOS-Schaltungen in einer Vielfalt von Schaltungen verwendet worden, wie etwa Gate Arrays, logische integrierte Schaltkreise, Hochgeschwindigkeit-SRAMs und Hochgeschwindigkeit-DRAMs.
Fig. 22 stellt das Schaltbild eines BiCMOS-Inverters dar, bei dem es sich um eine Grundstruktur der BiCMOS-Schaltung handelt. Wie gezeigt, besteht der Inverter aus einem CMOS-Inverter 1, einer Ladeschaltung 2 und einer Entladeschaltung 3. Die Ladeschaltung 2 ist zwischen einen Ausgangsknoten des Inverters 1 und eine Ausgangsklemme B geschaltet. Die Entladeschaltung 3 ermöglicht die Entladung des Ausgangsknotens B. Der Inverter 1 besteht aus einem p-Kanal-MOS-Transistor M1 und einem n-Kanal-MOS-Transistor M2, und beide Transistoren sind durch die Drains miteinander verbunden. Die Ladeschaltung 2 besteht aus einem ersten npn-Bipolartransistor Q1, dessen Kollektor an eine Hochpotentialquelle Vcc, dessen Basis an den Ausgangsknoten A des Inverters 1 und dessen Emitter an die Ausgangsklemme B angeschlossen ist. Die Entladeschaltung 3 besteht aus einem zweiten npn-Bipolartransistor Q2 sowie aus einem Paar von n-Kanal-MOS-Transistoren M3 und M4 zur Steuerung des Transistors Q2. Die Transistoren Q1 und Q2 sind in einer Totem-Pole-Art zwischen die Hochpotentialquelle Vcc und eine Niederpotentialquelle Vss eingeschaltet. Der Source-Drain-Pfad des Transistors M3 ist zwischen die Ausgangsklemme B und die Basis des Transistors Q2 geschaltet. Der Transistor M3 empfängt am Gate ein für den Inverter 1 bestimmtes Eingangssignal Vin und wird durch das Signal Vin gesteuert. Entsprechend dem Eingangssignal Vin bildet der Transistor M3 einen Kurzschluß zwischen dem Kollektor und der Basis des Transistors Q2. Mit anderen Worten dient der Transistor M3 als ein EIN-Steuer-MOS-Transistor (on-drive), der ein am Emitter des ersten npn-Bipolartransistor Q1 liegendes Potential an die Basis des zweiten npn-Bipolartransistors Q2 überträgt und den Transistor Q2 einschaltet. Der Source-Drain-Pfad des Transistors M4 ist zwischen die Basis des Bipolartransistors Q2 und die Niederpotentialquelle Vss geschaltet. Der Transistor M4 empfängt am Gate ein am Ausgangsknoten A des CMOS-Inverters 1 liegendes Potential und wird durch dieses Potential gesteuert. Entsprechend dem Ausgangspotential des Inverters 1 bildet der Transistor M4 einen Pfad, durch den Ladungen an der Basis des Bipolartransistors Q2 zur Quelle Vss fließen. In diesem Sinne dient der Transistor M4 als ein AUS-Steuer-MOS-Transistor (off-drive) zum Abschalten des Transistors Q2.
Die in Fig. 23 dargestellten Wellenformen dienen zur Erläuterung der Betriebsweise des BiCMOS-Inverters. Die Wellenformen wurden entsprechend der Forderung aufgezeichnet, daß Vcc = 5 V und daß Vss = 0 V, und daß das Eingangssignal Vin ein Taktsignal mit einer Amplitude von 5 V war. Wenn das Eingangssignal Vin von 5 V oben nach 0 V unten gepulst wird, wird der Ausgangsknoten A des CMOS-Inverters 1 durch den MOS-Transistor M1 auf die Spannung Vcc (= 5 V) aufgeladen. Daraufhin wird der Bipolartransistor Q1 der Ladeschaltung 2 eingeschaltet, der EIN-Steuer-Transistor M3 abgeschaltet und der AUS-Steuer-Transistor M4 eingeschaltet. In diesem Zustand wird die Basisladung des Bipolartransistors Q2 durch den MOS-Transistor M4 beseitigt, was das Abschalten des Transistors Q2 zur Folge hat. Dementsprechend geht das Ausgangssignal Vout Vout nach oben.
Wenn das Eingangssignal Vin nach oben geht, geht der Ausgangsknoten A nach unten und schaltet den Transistor Q1 ab. In diesem Moment wird der Transistor M3 eingeschaltet und der Transistor M4 ausgeschaltet. Entsprechend wird das an der Ausgangsklemme B liegende Potential auf die Basis des Transistors Q2 übertragen. Das Ausgangssignal Vout geht nach unten.
Bei dem in dieser Weise arbeitenden BiCMOS-Inverter besitzt der hohe Pegel des Ausgangssignals Vout Spitzen bei etwa 4,3 V, also unterhalb der Spannung Vcc von 5 V, wie aus Fig. 23 zu ersehen ist. Der Grund dafür besteht darin, daß selbst wenn das Basispotential des Transistors Q1 den Wert 5 V besitzt, der Transistor Q1 abschaltet, wenn die Spannung zwischen der Basis und dem Emitter des Transistors unter der Eigenspannung (built-in voltage) liegt (VBE = 0,7 V). Aus Fig. 23 geht weiter hervor, daß der untere Pegel des Ausgangssignal Vout nicht 0 V, sondern etwa 0,7 V beträgt. Der Grund liegt darin, daß der Transistor Q2 eingeschaltet ist, wenn er diodengeschaltet ist und die Durchlaßspannung durch die Eigenspannung VBE zwischen der Basis und dem Emitter begrenzt ist.
Wie aus der Kurvendarstellung der Fig. 23 zu ersehen ist, gehen der obere Pegel und der untere Pegel des Ausgangssignals Vout jeweils nicht auf die voreingestellten Pegel zurück, wenn das Eingangssignal Vin in voller Höhe angelegt wird. Bei kaskadengeschalteten BiCMOS-Invertern beeinflußt das Ausgangssignal mit solchen Pegeln die Operationen der zweiten Stufe des BiCMOS-Inverters sowie der folgenden Stufen ungünstig. Erstens fließt wegen der Ungleichförmigkeit der Schwellenwerte der verwendeten MOS-Transistoren ein Durchgangsstrom im CMOS-Inverter der zweiten Stufe des BiCMOS-Inverters. Dazu sei eine Schaltung, bestehend aus zwei Stufen eines BiCMOS-Inverters, betrachtet. In der Schaltung weisen die Schwellenwerte (absolute Werte) der n- und p-Kanal-MOS-Transistoren des CMOS-Inverters den Wert Vth auf und sind einander gleich. Ist Vth < VBE, arbeitet die Schaltung normal, wenn der Ausschlagsbereich des Ausgangssignals des Inverters der ersten Stufe, d.h. das Eingangssignal des Inverters der zweiten Stufe, zwischen VBE und Vcc - VBE liegt. Ist Vth < VBE, befinden sich beide p- und n-Kanal-MOS-Transistoren stets im Durchlaßzustand. Entsprechend fließt ein Durchgangsstrom im CMOS-Inverter, was zu einer Zunahme des Leistungsverlustes im Wartemodus führt. Zweitens tritt im Inverter der zweiten Stufe des CMOS-Inverters eine Stoßionisation auf. Die Ursache für die Stoßionisation liegt darin, daß wenn sich das Eingangssignal zum Inverter der zweiten Stufe auf einem unteren Pegel befindet, eine hohe Spannung an den Source-Drain-Pfad des n-Kanal-Mos-Transistors gelegt wird, ehe seine Abschaltung beendet ist. Liegt das Eingangssignal zum Inverter der zweiten Stufe auf einem hohen Pegel, tritt aus dem gleichen Grunde im p-Kanal-MOS-Transistor eine Stoßionisation auf. Evtl. wirkt sich die Stoßionisation ungünstig auf die Eigenschaften der MOS-Transistoren aus, wie etwa als Veränderung der Schwellenwerte der MOS-Transistoren. Weiter vergrößert die Stoßionisation den Strom im Substrat. Wenn also eine Substrat-Vorspannungsgeneratorschaltung auf einem Chip angebracht wird, wird die an der Vorspannungsgeneratorschaltung liegende Last groß und ihre Schaltungsstruktur verwickelt, falls Stoßionisation auftritt.
Die vorgenannten Probleme bestehen nicht nur beim BiCMOS-Inverter, dessen Eingangsstufe aus einem CMOS-Inverter besteht, sondern auch bei BiCMOS-Invertern, in deren Eingangsstufe ein NICHT-UND-Gate oder ein NICHT-ODER-Gate verwendet wird.
Es ist demgemäß ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine BiCMOS-Schaltung zu schaffen, die mit Erfolg das aufgrund der Ungleichmäßigkeit der Schwellenwerte der verwendeten MOS-Transistoren auftretende Anwachsen des Durchflußstromes im CMOS-Gate steuert und damit die Leistungsverluste des CMOS-Gates verringert. Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaffung einer BiCMOS-Schaltung, die mit Erfolg die Verschlechterung der Kennwerte der verwendeten MOS-Transistoren sowie das Anwachsen des auf der Stoßionisation beruhenden Substratstromes steuert.
Im Hinblick auf einen ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Pegelverschiebungselement in den Durchflußstrompfad eines CMOS-Gates als Eingangsstufe der BiCMOS-Schaltung eingefügt. Durch diese Maßnahme fällt das Potential über das Pegelverschiebungselement ab und infolgedessen fällt auch die Spannung am Drain-Source-Pfad des im Sperrzustand (off state) befindlichen MOS-Transistors im CMOS-Gate ab. Entsprechend tritt im CMOS-Gate kaum eine Stoßionisation auf, selbst wenn die Amplitude des Ausgangssignals der vorhergehenden BiCMOS-Stufe unter dem vollen Amplitudenausschlag liegt. Somit kann das Anwachsen des Substratstromes gesteuert werden. Der Durchgangsstrom im CMOS-Gate, der von der begrenzten Amplitude des Ausgangssignals des vorhergehenden BiCMOS herrührt, kann durch Verwendung eines Elementes verringert werden, das wie das Pegelverschiebungselement eine Stromdrosselungsfunktion besitzt.
Im Hinblick auf einen weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist der Absolutwert der Schwellenspannung des MOS-Transistors im CMOS-Gate als Eingangsstufe der BiCMOS-Schaltung größer als derjenige anderer MOS-Transistoren. Diese Maßnahme erschwert das Auftreten der Stoßionisation im CMOS-Gate. Auf diese Weise wird die Verringerung des Substratstromes und des Durchflußstromes herbeigeführt.
Im Hinblick auf einen dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die Potentiale der im CMOS-Gate als Eingangsstufe der BiCMOS-Schaltung verwendeten Leistungsversorgungsquellen unterschiedlich gegenüber denen der in der Ausgangsstufe der BiCMOS-Schaltung verwendeten Versorgungsquellen eingestellt. Auch diese Maßnahme verhindert die Stoßionisation im CMOS-Gate und verringert entsprechend den Substratstrom und den Durchgangsstrom.
Weitere Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung.
Fig. 1 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 2 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 3 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 4 stellt eine Draufsicht auf die Schaltungsauslegung eines Abschnittes mit den MOS-Transistoren M1 bis M4 der BiCMOS-Schaltung nach Fig. 3 dar, bei der die Kanallänge des Transistors M2 größer als diejenige der übrigen Transistoren ist;
Fig. 5 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 6 zeigt das Diagramm der Wellenform eines Eingangsspannungssignals zur BiCMOS-Schaltung nach Fig. 5, das zur Erklärung der Betriebsweise des BiCMOS dient;
Fig. 7A und 7B stellen Kurvendiagramme mit Gruppen von Arbeitspunkten der Transistoren in einem CMOS-Gate der BiCMOS-Schaltung der Fig. 5 dar, die in festen Zeitabständen in der VDS-VGS-Ebene aufgezeichnet werden, wenn das Eingangsspannungssignal der Fig. 6 an das CMOS-Gate angelegt wird;
Fig. 8A und 8B stellen Kurvendiagramme mit Gruppen von Arbeitspunkten der Transistoren im CMOS-Gate einer konventionellen BiCMOS-Schaltung dar, die in festen Zeitabständen in einer VDS-VGS-Ebene aufgezeichnet werden, wenn das Eingangsspannungssignal der Fig. 6 an das CMOS-Gate angelegt wird;
Fig. 9 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-Inverters gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 10 stellt eine Ersatzschaltung eines kaskadengeschalteten BiCMOS-Inverters gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 11 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-UND-Gates gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 12 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-ODER-Gates gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 13 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-UND-Gates gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 14 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-ODER-Gates gemäß einer zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 15 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-UND-Gates gemäß einer elften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 16 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-ODER-Gates gemäß einer zwölften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 17 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-UND-Gates gemäß einer dreizehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 18 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-ODER-Gates gemäß einer vierzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 19 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-Inverters gemäß einer fünfzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 20 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-UND-Gates gemäß einer sechzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 21 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS-NICHT-ODER-Gates gemäß einer siebzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 22 stellt eine Äquivalentschaltung eines konventionellen BiCMOS-Inverters dar; und
Fig. 23 zeigt Wellenformen zur Erläuterung der Betriebsweise des in Fig. 22 dargestellten BiCMOS-Inverters.
Nunmehr werden bevorzugte Ausführungsformen einer BiCMOS-Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform einer BiCMOS-Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung. In der Fig. sind der Einfachheit halber gleiche Teile mit den gleichen Symbolen der Fig. 22 bezeichnet. Der CMOS-Inverter 1 umfaßt einen p-Kanal-MOS-Transistor M1, der mit der Source an eine Hochpotentialquelle Vcc angeschlossen ist, sowie einen n-Kanal-MOS-Transistor M2, der mit der Source an eine Nieder- oder Erdpotentialquelle Vss angeschlossen ist. Eine Ladeschaltung 2, die vom CMOS-Inverter 1 gesteuert wird, lädt eine Last 4. Die Ladeschaltung 2 umfaßt einen npn-Transistor Q1 als Ladetransistor, dessen Kollektor an die Hochpotentialquelle Vcc, dessen Emitter an eine Ausgangsklemme B, und dessen Basis an einen Ausgangsknoten A des CMOS-Inverters 1 angeschlossen ist. Eine Ladeschaltung 3 zum Entladen der Last 4 umfaßt einen npn-Transistor Q2 als Entladetransistor sowie ein Paar von n-Kanal-MOS-Transistoren M3 und M4 zur Steuerung des Entladetransistors Q2. Der MOS-Transistor M3 dient als EIN-Steuertransistor zum Einschalten des Entladetransistors Q2. Der Transistor M3 ist ein n-Kanal-MOS-Transistor vom Typ E, der mit dem Drain an die Ausgangsklemme B, mit dem Gate an die Eingangsklemme des CMOS-Inverters 1 und mit der Source an die Basis des zweiten npn-Transistors Q2 angeschlossen ist. Der MOS-Transistor M4 dient als ein AUS-Steuer-MOS-Transistor, der die Ladungen an der Basis des Entladetransistors Q2 abzieht, um den Entladetransistor Q2 abzuschalten. Der MOS-Transistor M4 ist ein n-Kanal-MOS-Transistor vom Typ E, der mit dem Drain an die Basis des Transistors Q2, mit der Source an die Niederpotentialquelle Vss, und mit dem Gate an den Ausgangsknoten A des CMOS-Inverters 1 angeschlossen ist. In der BiCMOS-Schaltung, die im Prinzip wie vorerwähnt aufgebaut ist, ist ein n-Kanal-MOS-Transistor M5, der als Pegelverschiebungselement dient, zusätzlich zwischen die MOS-Transistoren M1 und M2 des CMOS-Inverters 1 eingeschaltet. Der Pegelverschiebungstransistor M5 ist in Bezug auf den Ausgangsknoten A des CMOS-Inverters 1 auf der Seite des Transistors M2 angeordnet. An das Gate des Transistors M5 wird eine Gleichstromvorspannung VG angelegt. Die Gleichstromvorspannung VG ist auf einen Wert eingestellt, der in der Lage ist, den Transistor M5 im Durchlaßzustand zu halten. Die Vorspannung VG ist größer als die Schwellenspannung des MOS-Transistors M5, beispielswiese VG = Vcc.
Im Prinzip entspricht die Betriebsweise der BiCMOS-Schaltung derjenigen der konventionellen BiCMOS-Schaltung. Es wird hier also keine Beschreibung der Grundbetriebsweise gegeben. Es sei vielmehr der Fall betrachtet, daß das Eingangssignal Vin einen niedrigen logischen Pegel besitzt, der MOS-Transistor M1 sich im Einschaltzustand befindet, und der MOS-Transistor M2 sich im Ausschaltzustand befindet. In diesem Falle wird, wenn der Pegelverschiebungstransistor M5 nicht verwendet wird, das hohe Potential Vcc durch den MOS-Transistor M1 an das Drain des MOS-Transistors M2 übertragen. In diesem Moment ist aber, weil der Pegelverschiebungstransistor M5 vorhanden ist, das am Drain des MOS-Transistors M2 auftretende hohe Potential nicht das hohe Potential Vcc, sondern das Potential VG - Vth5, wobei Vth5 die Schwellenspannung des Transistors M5 ist. Wenn das Drainpotential des Transistors M2 den Wert VG - Vth5 überschreitet, wird der Pegelverschiebungstransistor M5 abgeschaltet. Falls VG = Vcc ist, besitzt der Hochpegel des Drain des MOS-Transistors M2 den Wert Vcc - Vth5. In diesem Falle ist also das Hochpotential, welches sonst an das Drain des Transistors M2 gelegt wird, durch den Pegelverschiebungstransistor M5 begrenzt. Dementsprechend wird die Stoßionisation im MOS-Transistor 2 gesteuert, selbst wenn das Potential des niedrigen logischen Pegels des Eingangssignals Vin nahe bei der Schwellenspannung des MOS-Transistors M2 oder darüber liegt. Das Potential des hohen logischen Pegels des Ausgangssignals des CMOS-Inverters 1 wird durch den Pegelverschiebungstransistor M5 nicht beeinträchtigt. Auch wenn das Eingangssignal Vin nach oben geht und das Ausgangssignal des CMOS-Inverters nach unten geht, wird sein Ausgangssignalpegel durch den Pegelverschiebungstransistor M5 nicht beeinflußt.
Die BiCMOS-Schaltung der vorliegenden Ausführungsform kann also die Stoßionisation im MOS-Transistor M2 des CMOS-Inverters 1 ohne nachteiligen Einfluß auf die anderen Kennwerte steuern. Dementsprechend wird der Substratstrom verringert und somit Leistung gespart. Weiter verringert die Stromdrosselung durch den Kanalwiderstand des Pegelverschiebungstransistors M5 den Durchgangsstrom im CMOS-Inverter 1.
Fig. 2 stellt die Ersatzschaltung eines BiCMOS entsprechend einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Bei der zweiten Ausführungsform ist der Pegelverschiebungstransistor M6 ein p-Kanal-MOS-Transistor vom Typ E. Der Transistor M6 ist in Bezug auf den Ausgangsknoten A des CMOS-Inverters 1 auf der Seite des Transistors M1 angeordnet. Die an den MOS-Transistor M6 angelegte Vorspannung VG besitzt beispielsweise das Nieder- oder Erdpotential Vss.
Desgleichen wirkt bei der zweiten Ausführungsform das gleiche Prinzip zur Steuerung der Stoßionisation im p-Kanal-MOS-Transistor M1 des CMOS-Inverters wie bei der ersten Ausführungsform.
Bei beiden Ausführungsformen wird der MOS-Transistor vom Typ E als Pegelverschiebungselement verwendet, kann aber nötigenfalls durch irgendein anderes Widerstandselement, eine Diode, einen MOS-Transistor vom Typ D und dergleichen, ersetzt werden. Jedes dieser letztgenannten Elemente ist aber dem MOS-Transistor vom Typ E unterlegen. Jedoch üben sie die Funktionen der Pegelverschiebung und der Stromdrosselung aus, und diese Funktionen gewährleisten auf ihre Weise die vorteilhaften Wirkungen, wenn die Elemente in den BiCMOS einbezogen werden. Weiter kann die Kombination der Schaltungsanordnungen nach Fig. 1 und 2 die Stoßionisation in beiden Transistoren M1 und M2 in der BiCMOS-Schaltung 1 steuern.
Fig. 3 stellt die Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Die dritte Ausführungsform führt unter Verwendung der bekannten Schaltungsanordnung der Fig. 22 eine vorteilhafte Wirkung herbei, die mit denen der vorgenannten Ausführungsformen vergleichbar ist. Bei der dritten Ausführungsform werden die Schwellenspannung Vth1 des MOS-Transistors M2 und die Schwellenspannung Vth2 der MOS-Transistoren M3 und M4 so gewählt, daß die Beziehung Vth1 < Vth2 erfüllt wird.
Brauchbare Methoden zur Befriedigung der genannten Beziehung bestehen beispielsweise darin, die Gatelänge des Transistors M2 größer als diejenige der übrigen Transistoren M3 und M4 zu wählen, oder die Kanalstörstellenkonzentration des Transistors M2 höher als diejenige der Transistoren M3 und M4 anzusetzen.
Fig. 4 stellt eine Draufsicht auf das Layout eines Abschnittes mit den MOS-Transistoren M1 bis M4 der BiCMOS-Schaltung der Fig. 3 dar, bei der die Kanallänge des Transistors M2 größer als diejenige der übrigen Transistoren ist. Im vorliegenden Falle wird ein SRAM mit der Maßregel 0,8 µm verwendet, während die Kanallänge der MOS-Transistoren M1, M3 und M4 0,8 µm und diejenige des MOS-Transistors M2 1,2 µm beträgt. Mit diesen Abmessungen ist Vth = 0,9 V und Vth2 = 0,7 V.
Auch mit dieser Lösung kann die Stoßionisation im Transistor M2 des CMOS-Inverters 1 gesteuert werden. Bekanntlich ist die Gefahr der Stoßionisation in einem Transistor umso kleiner, je höher die Schwellenspannung ist. Je höher aber die Schwellenspannung des Transistors M2 ist, umso kleiner ist der Durchgangsstrom des Transistors und umso geringer die Größe des Leistungsverlustes.
Für den Fall, daß die Stoßionisation im Transistor M1 gesteuert wird, besteht die beste Möglichkeit der Steuerung darin, den Absolutwert der Schwellenspannung des Transistors M1 zu erhöhen. Falls die Schwellenspannung der MOS-Transistoren M1 und M2 als Absolutwert größer als die der übrigen Transistoren gewählt wird, kann die Steuerung der Stoßionisation und demgemäß die Verringerung des Durchgangsstromes im CMOS-Inverters 1 noch wirksamer erfolgen.
Fig. 5 stellt die Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Die vierte Ausführungsform kennzeichnet sich dadurch, daß kein Pegelverschiebungselement verwendet wird und keine Veränderung der Elementkennwerte erfolgt, daß aber die Werte der mit den aktiven Elementen der BiCMOS-Schaltung gekoppelten Potentialquellen wie folgt gewählt sind:
Vcc2 - Vss2 < Vccl - Vssl;
dabei stellen Vcc1 und Vss1 Hoch- und Niederpotentialquellen in der Ausgangsschaltung mit den ersten und zweiten npn-Transistoren Q1 und Q2 dar, während Vcc2 und Vss2 die entsprechenden Potentialquellen des CMOS-Inverters 1 darstellen. Es gilt mit anderen Worten: Vcc1 ≠ Vcc2 und/oder Vss1 ≠ Vss2.
Genauer gesagt, ergibt sich, wenn die Schwellenspannung des n-Kanal-MOS-Transistors des CMOS-Inverters 1 den Wert Vth, und das Eigen-Potential zwischen der Basis und dem Emitter des Transistors den Wert VBE besitzt, und das kleinere von Vth und VBE den Wert V₁ hat, die folgende Beziehung:
Vss1 < Vss2 ≦ Vss1 + V1 (1)
Diese Beziehung kann auch durch Anlegen des Potentials Vss1 an die Source des Transistors M2 im CMOS-Inverter 1 mit Hilfe eines Pegelverschiebungselementes realisiert werden, das einen geringeren Potentialabfall erzeugen kann als das Potential V1. Zwischen den hohen Potentialen Vcc1 und Vcc2 besteht folgende Beziehung:
Vcc1 - VBE ≦ Vcc2 < Vcc1 (2).
Diese Beziehung kann auch durch Anlegen des Potentials Vcc1 an die Source des Transistors M1 im CMOS-Inverters 1 mit Hilfe eines Pegelverschiebungselementes realisiert werden.
Wie aus der Beziehung (1) hervorgeht, kann durch Erhöhen des niedrigen Potentials Vss2 des CMOS-Inverters 1 die Gate-Source-Spannung und die Drain-Source-Spannung des Transistors M2, selbst wenn das Potential eines niedrigen logischen Pegels des Eingangssignals Vin größer als das wahre Potential ist, niedriger eingestellt werden als die betreffenden Spannungen bei der konventionellen Schaltung, und zwar durch Erhöhen des niedrigen Potentials Vss2 des CMOS-Inverters 1. Dies zeigt klar, daß die Stoßionisation zufriedenstellend gesteuert werden kann. Das sich aus der Erhöhung des niedrigen Potentials Vss2 einstellende Ergebnis ist dem durch Erhöhen der Schwellenspannung des Transistors M2 sich einstellenden Ergebnis äquivalent. Dementsprechend wird der Durchgangsstrom verringert. Wie aus der Beziehung (2) hervorgeht, steuert die Verminderung des hohen Potentials Vcc2 unter das Potential Vcc1 die Stoßionisation im Transistor M1 und setzt somit den Durchgangsstrom herab. Der Lösungsansatz der Beziehung (2) verringert jedoch das Potential eines hohen logischen Pegels des Ausgangssignals Vout der BiCMOS-Schaltung. Falls beispielsweise Vcc2 = Vcc1 - ΔV ist, beträgt das Potential eines hohen logischen Pegels des Ausgangssignals der BiCMOS-Schaltung: Vout = Vcc1 - (VBE + ΔV).
Um einen nicht ganz einwandfreien Betrieb der Schaltung zu verhindern, wird der Lösungsansatz der Beziehung (2) vorzugsweise auf die Endstufe einer Schaltung angewandt, die aus kaskadengeschalteten BiCMOS-Schaltungen besteht, weil in der Endstufe eine Verringerung des Potentials des hohen logischen Pegels dann erlaubt ist, wenn sie innerhalb eines vorbestimmten Bereiches erfolgt.
In Fig. 6 ist die Wellenform eines Eingangsspannungssignals der in Fig. 5 dargestellten BiCMOS-Schaltung zur Erläuterung der Betriebsweise des BiCMOS wiedergegeben. Beim Eingangssignal Vin handelt es sich um das Ausgangssignal Vout der vorhergehenden Stufe des BiCMOS-Inverters, wenn einige BiCMOS-Inverter seriell kombiniert werden.
Die Fig. 7A und 7B zeigen Kurven mit Gruppen von Arbeitspunkten der p- und n-Kanal-MOS-Transistoren M1 und M2 des CMOS-Gates 1 der BiCMOS-Schaltung nach Fig. 5, wobei die Arbeitspunkte in festen Zeitabständen in der VDS-VGS-Ebene für den Fall aufgezeichnet sind, daß das Eingangsspannungssignal gemäß Fig. 6 an das CMOS-Gate 1 angelegt ist. Die in den Fig. 7A und 7B dargestellte Wellenform wurde unter der Voraussetzung aufgezeichnet, daß Vss1 = 0, Vss2 = VBE und Vcc2 = Vcc1 - VBE ist. Die den Fig. 7A und 7B entsprechenden Kurven einer konventionellen BiCMOS-Schaltung sind in den Fig. 8A und 8B dargestellt. Bei der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung ist beim p-Kanal-MOS-Transistor M1 das Potential VGS = 0, wenn das Eingangssignal Vin einen hohen logischen Pegel besitzt. Weist das Eingangssignal einen niedrigen logischen Pegel auf, ist VGS = 0 im n-Kanal-MOS-Transistor M2. Demgemäß ergeben sich weder für den p-Kanal-Transistor noch für den n-Kanal-Transistor die Nachteile einer Stoßionisation. Selbst wenn das Eingangssignal Vin auf einem mittlerem Pegel zwischen "H" und "L" liegt, sind die Stoßionisation und der Durchlaßstrom bei dieser Ausführungsform kleiner als bei der konventionellen Schaltung, weil die Absolutwerte von VGS und VDS kleiner sind.
Die obigen Ausführungsformen werden wie folgt kategorisiert:
  • a) Zwischen die p- und n-Kanal-MOS-Transistoren des CMOS-Gates wird ein Pegelverschiebungselement eingefügt.
  • b) Die Schwellenspannung des MOS-Transistors bzw. der MOS-Transistoren im CMOS-Gate ist im Absolutwert höher als diejenige der übrigen MOS-Transistoren in der BiCMOS-Schaltung.
  • c) Die Potentiale der Hoch- und Niederpotentialquellen Vcc und Vss der Eingangsstufe oder des CMOS-Inverters der BiCMOS-Schaltung werden unabhängig von und unterschiedlich gegenüber jenen der Ausgangsschaltung gewählt. Es ist klar, daß die vorliegende Erfindung durch geeignete Kombinationen der Ausführungsformen a) bis c) verkörpert werden kann. Einige dieser bevorzugten Kombinationen werden im folgenden beschrieben.
Fig. 9 zeigt das Ersatzschaltbild eines BiCMOS gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die fünfte Ausführungsform entspricht der Kombination der Ausführungsformen nach den Fig. 1, 3 und 5. Wie gezeigt, ist ein n-Kanal-MOS-Transistor M5 vom Typ E, der sich beständig im Durchlaßzustand befindet, zwischen die p- und n-Kanal-MOS-Transistoren M1 und M2 im CMOS-Gate 1 eingefügt. Die Schwellenspannung Vth1 des MOS-Transistors M2 im CMOS-Inverter 1 ist höher als die Schwellenspannung Vth2 der MOS-Transistoren M3 und M4 in der Entladungsschaltung 3 eingestellt. Die Hoch- und Niederpotentiale Vcc2 und Vss2 der CMOS-Schaltung 1 und die entsprechenden Potentiale Vcc1 und Vss1 der Ausgangsschaltung sind entsprechend der Vorschrift für die Ausführungsform nach Fig. 5 gewählt. Dementsprechend kann die Steuerung der Stoßionisation und die Verringerung des Substrat- und des Durchlaßstromes erreicht werden.
Bei den oben erwähnten Ausführungsformen wurde eine einstufige BiCMOS-Schaltung beschrieben. Wie anfangs gesagt, ergibt sich gemäß der vorliegenden Erfindung die Wirkung, daß wenn eine Mehrzahl von BiCMOS-Schaltungen in Kaskade geschaltet sind, das Eingangsspannungssignal der zweiten und der folgenden Stufen der BiCMOS-Schaltungen klein wird. Daraus kann gefolgert werden, daß die oben aufgeführten Lösungsansätze a) bis c) gemäß der vorliegenden Erfindung auch auf die zweite und die folgenden Stufen der BiCMOS-Schaltungen anwendbar sind.
Fig. 10 stellt das Ersatzschaltbild eines BiCMOS entsprechend einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Bei der sechsten Ausführungsform ist ein Paar von BiCMOS-Invertern INV1 und INV2 in Kaskade geschaltet. Die Schaltungsweise der ersten Stufe des BiCMOS-Inverters INV1 ist die gleiche wie diejenigen der Fig. 22. Die Schaltungsanordnung der Stufe des BiCMOS-Inverters INV2 entspricht derjenigen der Fig. 1. Mit dieser Schaltungsstruktur werden die mit der begrenzten Amplitude des an den zweiten BiCMOS-Inverter INV2 gehenden Eingangssignals Vin auftretenden Probleme erfolgreich gelöst.
Obwohl die vorgenannten Ausführungsformen der CMOS-Inverter für das CMOS-Gate verwendet werden, ist klar, daß das CMOS-Gate beispielsweise auch mit einem CMOS-NICHT-UND-Gate oder mit einem CMOS-NICHT-ODER-Gate aufgebaut werden kann.
Fig. 11 stellt die Ersatzschaltung eines BiCMOS entsprechend einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Bei der siebten Ausführungsform ist das CMOS-Gate 11 aus einem BiCMOS-NICHT-UND-Gate mit zwei Eingängen aufgebaut. Wie gezeigt, besteht das NICHT-UND-Gate 11 aus einem Paar von n-Kanal-MOS-Transistoren M21 und M22, die in Reihe geschaltet sind und aus einem weiteren Paar von p-Kanal-MOS-Transistoren M11 und M12, die parallelgeschaltet sind. Zum Einschalten des zweiten npn-Transistors Q2 als Entladetransistor dient ein Paar von MOS-Transistoren M31 und M32, deren Gates empfangsseitig mit zwei Eingangssignalen Vin 1 und Vin 2 belegt werden. Als Pegelverschiebungselement ist ein n-Kanal-MOS-Transistor M5 vom Typ E zwischen die MOS-Transistoren M11 und M21 im NICHT-UND-Gate 1 angeschlossen. Der Pegelverschiebungstransistor M5 ist mit dem Gate an das Potential VG = Vcc angeschlossen und wird im Durchlaßzustand gehalten.
Bei der so aufgebauten BiCMOS-Schaltung liegt, wenn jedes der beiden Eingangssignale Vin 1 und Vin 2 einen niedrigen logischen Pegel aufweist, der Ausgangsknoten A des NICHT-UND-Gates 11 auf hohem logischem Pegel, und der erste npn-Transistor Q1 wird als Ladetransistor eingeschaltet. In diesem Moment wird der Entladetransistor Q2 abgeschaltet. Dementsprechend geht die Ausgangsspannung Vout nach oben. Sind die beiden Eingangssignale Vin 1 und Vin 2 beide groß, geht das Potential des Ausgangsknotens A nach unten und schaltet den Ladetransistor Q1 ab. In diesem Moment werden die beiden EIN-Steuertransistoren Q31 und Q32 eingeschaltet. Infolgedessen geht das Ausgangssignal Vout nach unten.
Auch in diesem Falle ist das an die in Reihe geschalteten MOS-Transistoren M21 und M22 angelegte hohe Pegelpotential auf das Potential VG - Vth begrenzt. Deshalb kann die Stoßionisation gesteuert und der Substratstrom sowie der Durchgangsstrom verringert werden.
Fig. 12 stellt die Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Bei der achten Ausführungsform besteht das CMOS-Gate 12 aus einem BiCMOS-NICHT-ODER-Gate mit zwei Eingängen. Wie gezeigt ist das NICHT-ODER-Gate 12 aus einem Paar von n-Kanal-MOS-Transistoren M21 und M22 aufgebaut, die parallelgeschaltet sind, und aus einem weiteren Paar von p-Kanal-MOS-Transistoren M11 und M12, die in Reihe geschaltet sind. Um den zweiten npn-Transistor Q2 einzuschalten, wird ein Paar von MOS-Transistoren M31 und M32, die parallel geschaltet sind, verwendet, deren Gates empfangsseitig an die beiden Eingangssignale Vin 1 und Vin 2 angekoppelt werden. Als Pegelverschiebungselement ist ein n-Kanal-MOS-Transistor M5 vom Typ E zwischen den Ausgangsknoten A des NICHT-ODER-Gates 12 und die MOS-Transistoren M21 und M22 im NICHT-ODER-Gate 12 angeschlossen. Der Pegelverschiebungstransistor M5 ist mit dem Gate an das Potential Vcc angeschlossen und wird im Durchlaßzustand gehalten.
Der Einfachheit halber wird auf die Beschreibung der Betriebsweise dieser Anordnung verzichtet. Die vorliegende Ausführungsform erreicht vorteilhafte Wirkungen, die mit denen der siebten Ausführungsform, welche mit einem NICHT-UND-Gate arbeitet, vergleichbar sind.
Die Fig. 13 und 14 stellen jeweils Ersatzschaltungen von BiCMOS-Schaltungen gemäß einer neunten und zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Diese Ausführungsformen verwenden ein BiCMOS-NICHT-UND-Gate mit zwei Eingängen sowie ein BiCMOS-NICHT-ODER-Gate mit zwei Eingängen jeweils für die CMOS-Gates 11 und 12. Bei diesen Gates wird eines der hohen und niedrigen Potentiale Vcc2 und Vss2 gegenüber dem entsprechenden der Potentiale Vcc1 und Vss1 der Ausgangsschaltung unterschiedlich gewählt. Es werden die gleichen Wirkungen erreicht wie jene der BiCMOS-Schaltung mit CMOS-Inverter.
Die Fig. 15 und 16 stellen jeweils Ersatzschaltungen der BiCMOS-Schaltungen gemäß der elften und zwölften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Diese Ausführungsformen verwenden ein BiCMOS-NICHT-UND-Gate mit zwei Eingängen sowie ein BiCMOS-NICHT-ODER-Gate mit zwei Eingängen für die CMOS-Gates 11 und 12. Bei diesen Ausführungsformen wird die Schwellenspannung Vth1 der MOS-Transistoren M21 und M22 der Gates 11 und 12 höher als die Schwellenspannung Vth2 der MOS-Transistoren M31 und M32 der Entladeschaltung 3 gewählt.
Fig. 17 stellt die Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer dreizehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Bei der dreizehnten Ausführungsform wird ein BiCMOS-NICHT-UND-Gate 11 für das CMOS-Gate verwendet. In diese Ausführungsform sind die Merkmale der Schaltungen der Fig. 11, 13 und 15 einbezogen.
Fig. 18 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer vierzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Bei der vierzehnten Ausführungsform wird ein BiCMOS-NICHT-ODER-Gate 12 für das CMOS-Gate verwendet. In diese Ausführungsform sind die Merkmale der Schaltungen der Fig. 12, 14 und 16 einbezogen.
Während bei den oben erwähnten Ausführungsformen bipolare Transistoren in der Entladeschaltung 3 verwendet werden, kann die Entladeschaltung auch mit MOS-Transistoren aufgebaut werden.
Fig. 19 stellt eine Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer fünfzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Der dargestellte Schaltungsaufbau entspricht der Schaltungsanordnung jeder der in den Fig. 1 bis 3, 5 und 9 dargestellten Ausführungsformen der Erfindung, wenn anstelle des bipolaren Entladetransistors Q1 ein n-Kanal-MOS-Transistor M7 in der Entladeschaltung 3 verwendet wird. Der MOS-Transistor M7 ist mit dem Drain an die Ausgangsklemme B, mit der Source an die Niederpotentialquelle Vss und mit dem Gate an das Eingangssignal angekoppelt. Ebenso werden bei dieser Ausführungsform der bipolare Transistor Q1 als Ladetransistor und der MOS-Transistor M7 komplementär betrieben, wie im Fall der oben erwähnten Ausführungsformen.
Fig. 20 stellt die Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer sechzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Der Schaltungsaufbau der sechzehnten Ausführungsform entspricht derjenigen der in den Fig. 11, 13, 15 und 17 dargestellten Ausführungsform, bei denen das CMOS-Gate aus einem BiCMOS-NICHT-UND-Gate besteht, wenn die Entladeschaltung 3 aus jedem der davon in Reihe geschalteten n-Kanal-MOS-Transistoren M71 und M72 aufgebaut ist. Die Gates der MOS-Transistoren M71 und M72 sind empfangsseitig an die Eingangssignale Vin 1 und Vin 2 angekoppelt. Auch bei dieser Ausführungsform werden der bipolare Ladetransistor Q1 und die Serienschaltung der MOS-Transistoren M71 und M72 der Entladeschaltung 3 alternierend betrieben.
Fig. 21 stellt die Ersatzschaltung eines BiCMOS gemäß einer siebzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Der Schaltungsaufbau der siebzehnten Ausführungsform entspricht demjenigen der in den Fig. 12, 14, 16 und 18 dargestellten Ausführungsformen, bei denen das CMOS-Gate aus dem BiCMOS-NICHT-ODER-Gate besteht, wenn die Entladeschaltung 3 aus einem parallelgeschalteten Paar von n-Kanal-MOS-Transistoren M71 und M72 aufgebaut ist. Die Gates der MOS-Transistoren M71 und M72 sind empfangsseitig an die Eingangssignale Vin 1 und Vin 2 angekoppelt. Auch bei dieser Ausführungsform werden der bipolare Ladetransistor Q1 und die Serienschaltung der MOS-Transistoren M71 und M72 der Entladeschaltung 3 alternierend betrieben.
Bei der vorliegenden Erfindung steht für das CMOS-Gate 11 oder 12 zusätzlich zum BiCMOS-Gate mit zwei Eingängen, ein BiCMOS-Gate mit N-Eingang zur Verfügung.
Wie aus der vorhergehenden Beschreibung hervorgeht, kann die BiCMOS-Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung den Ionisationsstoß im BiCMOS-Gate wegen der begrenzten Amplitude des Eingangssignals wirksam steuern. Demgemäß wird der Substratstrom überwacht, was zu einer zuverlässigen BiCMOS-Schaltung führt. Ebenso wird der Durchgangsstrom im CMOS-Gate verringert, was zu Leistungseinsparungen führt.

Claims (18)

1. BiCMOS-Schaltung, mit einer CMOS-Gate-Schaltung (1) mit einer Eingangsklemme (Vin), einem npn-Transistor (Q1) zum Laden einer Last (4), dessen Kollektor an eine Hochpotentialquelle (Vcc), dessen Basis an einen Ausgangsknoten (A) der CMOS-Gate-Schaltung (1) und dessen Emitter an eine Ausgangsklemme (B) angeschlossen sind, die zur Last (4) führt; und mit Entlademitteln (3), die zwischen der genannten Ausgangsklemme (B) und einer Niederpotentialklemme (Vss) angeordnet sind, wobei die Entlademittel (3) die genannte Last (4) entladen, wenn der logische Pegel des Ausgangsknotens (A) niedrig ist, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Schaltung (1) ein Pegelverschiebungselement (M5) im Durchlaßstrompfad aufweist.
2. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Entlademittel (3) folgende Komponenten aufweisen: einen npn-Transistor (Q2) zum Entladen der Last (4), dessen Kollektor an die Ausgangsklemme (B) und dessen Emitter an die Tiefpotentialquelle (Vss) angeschlossen ist; EIN-Steuermittel (M3) zum Einschalten des npn-Entladetransistors (Q2) entsprechend einem an die Eingangsklemme (Vin) angelegten Signal, wobei die EIN-Steuermittel (M3) zwischen die Ausgangsklemme (B) und die Basis des npn-Entladetransistors (Q2) geschaltet sind; und AUS-Steuermittel (M4) zum Abschalten des npn-Entladetransistors (Q2) entsprechend einem am Ausgangsknoten (A) der CMOS-Gate-Schaltung (1) liegenden Potential, wobei die AUS-Steuermittel (M4) zwischen der Basis des npn-Entladetransistors (Q2) und die Niedrigpotentialquelle (Vss) angeschlossen sind.
3. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Pegelverschiebungsmittel ein MOS-Transistor vom Typ E ist, der mit dem Gate an eine Gleichstromvorspannung angeschlossen ist, welche den MOS-Transistor im Einschaltzustand hält.
4. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Pegelverschiebungsmittel ein n-Kanal-MOS-Transistor (M5) ist, der in Bezug auf den Ausgangsknoten (A) des CMOS-Gates (1) auf Seiten der Niederpotentialquelle (Vss) angeordnet und mit dem Gate an eine Gleichstromvorspannung (VG) angekoppelt ist, die größer als die Schwellenspannung ist.
5. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein Inverter ist.
6. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein NICHT-ODER-Gate ist.
7. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein NICHT-UND-Gate ist.
8. BiCMOS-Schaltung, die folgende Komponenten aufweist:
  • - eine CMOS-Gate-Schaltung (1) mit einer Eingangsklemme (Vin) und einem ersten n-Kanal-MOS-Transistor (M1), der eine Schwellenspannung Vth1 aufweist;
  • - einen npn-Transistor (Q1) zum Laden einer Last (4), dessen Kollektor an eine Hochpotentialquelle (Vcc), dessen Basis an einen Ausgangsknoten (A) der CMOS-Gate-Schaltung (1), und dessen Emitter an eine Ausgangsklemme (B) angeschlossen ist, die zur Last (4) führt;
  • - einen npn-Transistor (Q2) zum Entladen der Last (4), dessen Kollektor mit der Ausgangsklemme (B) und dessen Emitter an eine Niederpotentialquelle (Vss) angeschlossen ist;
  • - einen zweiten n-Kanal-MOS-Transistor (M3) mit einer Schwellenspannung Vth2, der zwischen der Ausgangsklemme (B) und der Basis des npn-Entladetransistors (Q2) angeordnet ist, wobei das Gate des zweiten n-Kanal-MOS-Transistors (M3) empfangsseitig mit der Eingangsklemme (Vin) verbunden ist; und
  • - einen dritten n-Kanal-MOS-Transistor (M4) mit einer Schwellenspannung Vth2, der zwischen der Basis des npn-Entladetransistors (Q2) und der Niederpotentialquelle (Vss) angeordnet ist, wobei das Gate des dritten n-Kanal-MOS-Transistors (M4) empfangsseitig mit dem Ausgangsknoten (A) des CMOS-Gates (1) verbunden ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schwellenspannung Vth1 des ersten MOS-Transistors (M2) größer als diejenige Vth2 des zweiten und des dritten MOS-Transistors (M3, M4) ist.
9. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein Inverter ist.
10. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein NICHT-ODER-Gate ist.
11. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein NICHT-UND-Gate ist.
12. BiCMOS-Schaltung, die folgende Komponenten aufweist:
  • - eine CMOS-Gate-Schaltung (1) mit einer Eingangsklemme (Vin) und einem p-Kanal-MOS-Transistor (M1) sowie einem n-Kanal-MOS-Transistor (M2), die in Reihe zwischen eine erste Hochpotentialquelle (Vcc2) und eine erste Niederpotentialquelle (Vss1) geschaltet sind;
  • - einen npn-Transistors (Q1) zum Laden einer Last (4), dessen Kollektor an eine zweite Hochpotentialquelle (Vcc1), dessen Basis an einen Eingangsknoten (A) der CMOS-Gate-Schaltung (1) und dessen Emitter an eine Ausgangsklemme (B) angeschlossen ist, die zur Last (4) führt; und
  • - Entlademittel (3), die zwischen der Ausgangsklemme (B) und einer zweiten Niederpotentialquelle (Vss1) angeordnet sind, wobei die Entlademittel (3) die Last (4) entladen, wenn der logische Pegel des Ausgangsknotens (A) niedrig ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Hochpotentialquellen (Vcc2, Vcc1) und die ersten und zweiten Niederpotentialquellen (Vss2, Vss1) definiert sind durch: Vcc2 - Vss2 < Vcc1 - Vss1.
13. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Entlademittel (3) folgende Komponenten aufweisen:
  • - einen npn-Transistor (Q2) zum Entladen der Last (4), dessen Kollektor an die Ausgangsklemme (B) und dessen Emitter an die zweite Niederpotentialquelle (Vss1) angeschlossen ist;
  • - EIN-Steuermittel (M3) zum Einschalten des npn-Entladetransistors (Q2) entsprechend einem an der genannten Eingangsklemme (Vin) angelegten Signal, wobei die EIN-Steuermittel (M3) zwischen die Ausgangsklemme (B) und die Basis des npn-Entladetransistors (Q2) geschaltet sind; und
  • - AUS-Steuermittel (M4) zum Abschalten des npn-Entladetransistors (Q2) entsprechend einem am Ausgangsknoten (A) der CMOS-Gate-Schaltung (1) liegenden Potential, wobei die AUS-Steuermittel (M4) zwischen die Basis des npn-Entladetransistors (Q2) und die zweite Niederpotentialquelle (Vss1) geschaltet sind.
14. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein Inverter ist.
15. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein NICHT-ODER-Gate ist.
16. BiCMOS-Schaltung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die CMOS-Gate-Schaltung ein NICHT-UND-Gate ist.
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