DE3918964C2 - Elektrisches, keramisches Heizelement - Google Patents
Elektrisches, keramisches HeizelementInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein elektrisches
Heizelement, umfassend einen Körper aus einer gesinterten
Keramik auf Siliziumnitrid-Grundlage, die Al₂O₃ und AlN
zusätzlich zu Si₃N₄ umfaßt und unter Verwendung einer
Sinterhilfe, die Y₂O₃ umfaßt, hergestellt wird, und einen
in den gesinterten Keramikkörper eingelagerten
Widerstandsheizdraht, sowie ein Verfahren zu dessen
Herstellung, umfassend die Schritte des Mischens eines
Si₃N₄-Pulvers mit einem Al₂O₃-Pulver, einem AlN-Pulver und
einem Pulver aus einer Y₂O₃ umfassenden Sinterhilfe, wobei
die Summe von Si₃N₄, Al₂O₃ und AlN 90-98 Gew.-% beträgt,
des Einbettens eines Widerstandsheizdrahtes in die
Pulvermischung und Verdichtens zu einem beliebig geformten
Körper und des Sinterns des geformten Körpers in einer
nicht oxidierenden Atmosphäre bei einer Temperatur im
Bereich von 1600 bis 2100°C.
Bei einigen der gebräuchlichen elektrischen, keramischen
Heizelemente wird eine Keramik auf
Siliziumnitrid-Grundlage als Material für den
Heizelementkörper und ein Metall mit hohem Schmelzpunkt,
beispielsweise Wolfram, als Material für den
Widerstandsheizdraht verwendet, z. B. wird in DE-A-31 51 825
eine Keramik-Glühkerze offenbart, bei der ein
Heizwiderstandselement in ein Keramikmaterial eingebettet
ist, das vorzugsweise in der Hauptsache aus
Siliziumnitrid besteht.
In der japanischen Patentveröffentlichung 55-126989 ist
ein keramisches Heizelement beschrieben, das aus einem
Keramikkörper auf Siliziumnitrid- oder Siliziumkarbid-Grundlage
und einem in den Keramikkörper eingebetteten
Heizdraht aus Wolfram oder Molybdän besteht.
Die bis heute entwickelten keramischen Heizelemente auf
Siliziumnitrid-Grundlage weisen insofern Nachteile auf,
als in der gesinterten Keramik die Korngrenzphase eine Art
Glasphase ist (Übersicht: NATO Advanced Study Institutes
Series E, 23, Seiten 490-509, Noordhoff-Leyden, 1977), die
beginnt, weich zu werden, wenn die Temperatur des
Widerstandsheizdrahtes in dem keramischen Körper durch den
Stromfluß in dem Draht auf ungefähr 1000°C steigt,
wodurch die mechanische Festigkeit des keramischen
Körpers, insbesondere die Biegefestigkeit erniedrigt wird.
Wenn ein keramisches Heizelement auf
Siliziumnitrid-Grundlage mit einer solchen Korngrenzphase
mit Gleichstrom betrieben wird, wie es bei Heizelementen
von Glühanlassern für Dieselmaschinen der Fall ist, tritt
ein weiteres Problem auf. Wenn das Heizelement
kontinuierlich oder intermittierend unter Strom gesetzt
wird und eine Temperatur von oberhalb 1200°C erreicht,
verursacht die Anwendung von Gleichstrom eine Wanderung
von Ionen in die Korngrenzglasphase, dadurch
verschlechtert sich die Struktur des keramischen Körpers
unter Bildung von Leerstellen in einem Bereich nahe der
positiven Klemme und der Bildung von feinen Rissen in
einem Bereich nahe der negativen Klemme. Demzufolge
unterliegt das Heizelement einer Erniedrigung der Stärke
des keramischen Körpers und/oder einem Brechen des
Widerstandsheizdrahtes. Aus diesen Gründen beträgt die
obere Grenze praktisch anwendbarer Betriebstemperaturen
für konventionelle keramische Heizelemente ungefähr
1150°C.
Aus US-PS 4 499 192 ist ein gesintertes Material auf
Siliziumnitrid-Grundlage mit hoher Widerstandsfähigkeit
gegenüber Oxidation bekannt, das aus 75 bis 97,9 Gew.-%
Siliciumnitrid, 2 bis 20 Gew.-% Yttriumoxid und Ceroxid
in einem molaren Verhältnis von Ceroxid zu Yttriumoxid
von 0,4/1 bis 4/1 und aus 0,1 bis 8 Gew.-% Aluminiumoxid
besteht.
Ein isolierendes keramisches Material, das SiC, Si₃N₄,
AlN oder Al₂O₃ als Hauptbestandteil und ein
Sinterbindemittel wie Y₂O₃ enthält, geht aus
DE-A-36 21 216 hervor.
Die bekannten Keramikmaterialien weisen jedoch die
vorstehend aufgeführten Nachteile auf.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
elektrisches, keramisches Heizelement auf
Siliziumnitrid-Grundlage zur Verfügung zu stellen, in dem
der gesinterte keramische Körper eine verbesserte
Korngrenzphase aufweist und eine hohe Festigkeit und gute
Stabilität bis zu Temperaturen von ungefähr 1300°C oder
darüber erhält.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein
elektrisches, keramischer Heizelement der obengenannten
Art, bei dem die Korngrenzphase der Keramik auf
Siliziumnitrid-Grundlage eine kristallisierte Phase ist,
umfassend eine Phase der allgemeinen Formel
2Y₂O₃ · Si2-xAlxN2-xO1+x,
wobei O≦x<2 ist, oder
eine Phase der allgemeinen Formel
3Y₂O₃ · 5Al₂O₃.
Als Material für den Widerstandsheizdraht ist es
bevorzugt, ein Metall mit hohem Schmelzpunkt, ausgewählt
aus Wolfram, Molybdän und Rhenium, deren Legierungen und
Mischungen oder einem Carbid irgendeines dieser Metalle
zu verwenden.
Die Aufgabe wird weiterhin erfindungsgemäß durch ein
Verfahren der obengenannten Art gelöst, wobei das
Verhältnis der zu mischenden Pulver von (Al₂O₃+AlN) zu
Si₃N₄ im Bereich von 0,02 bis 0,08, bezogen auf das
Gewicht, und das Verhältnis Al₂O₃ zu AlN im Bereich von
0,2 bis 2,0, bezogen auf das Gewicht, beträgt.
Das Sintern der verdichteten Pulvermischung wird bevorzugt
durch Heißpressen-Sinterung durchgeführt. Nach dem Sintern
kann eine Wärmebehandlung durchgeführt werden, um die
erwünschte Kristallisierung der Korngrenzphase
herbeizuführen.
Y₂O₃ ist eine in der vorliegenden Erfindung
unverzichtbare Sinterhilfe. Normalerweise reicht es aus,
Y₂O₃ allein als Sinterhilfe zu verwenden, aber
gegebenenfalls kann mindestens ein weiteres
Seltenerdelementoxid zusammen mit Y₂O₃ verwendet werden.
Es ist notwendig, daß die Sinterhilfe mindestens 2 Gew.-%
der obenerwähnten Pulvermischung ausmacht, um
der Mischung eine gute Sinterbarkeit zu verleihen, aber
es ist nicht wünschenswert, daß die Sinterhilfe mehr als
10 Gew.-% der Mischung einnimmt, weil es dann schwierig
wird, die Korngrenzphase der gesinterten Keramik zu
kristallisieren.
Wenn das Gewichtsverhältnis von (Al₂O₃+AlN) zu Si₃N₄
mehr als 0,08 beträgt, ist die gesinterte Keramik
in Hinsicht auf Oxidationsbeständigkeit und
Biegefestigkeit unzureichend. Wenn dieses Verhältnis unter 0,02
liegt, ist die Pulvermischung minderwertig bezüglich der
Sinterbarkeit. Wenn das Gewichtsverhältnis von Al₂O₃ zu
AlN mehr als 2,0 oder weniger als 0,2 beträgt, ist es
schwierig, die wünschenswerte Kristallisation der
Korngrenzphase der gesinterten Keramik herbeizuführen.
Durch die Kristallisation der Korngrenzphase der
gesinterten Keramik hat ein erfindungsgemäßes
Heizelement vor allen Dingen folgende Vorteile.
Der gesinterte Keramikkörper hat eine ausreichend hohe
Festigkeit bis zu einer Temperatur von ungefähr 1350°C,
weil die Korngrenzphase selbst bei hohen Temperaturen
nicht zu einer flüssigen Phase wird. Der Betrieb des
Heizelements mit Gleichstrom verursacht kaum eine
Wanderung von Ionen in die gesinterte Keramik
einschließlich der Korngrenzphase und verursacht daher
selten eine Verschlechterung der Struktur des
gesinterten Keramikkörpers, weil jedes Element der
keramischen Zusammensetzung stabil in Kristallen
vorliegt. Der gesinterte Keramikkörper weist eine
ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit auf, da selbst
bei hohen Temperaturen keine Möglichkeit der Diffusion
von Sauerstoff in den keramischen Körper durch eine
flüssige Phase besteht.
Die kristallisierte Korngrenzphase umfaßt eine zweite
Phase der allgemeinen Formel
2Y₂O₃ · Si2-xAlxN2-xO1+x
(O ≦ x < 2) oder 3Y₂O₃ · 5Al₂O₃.
(O ≦ x < 2) oder 3Y₂O₃ · 5Al₂O₃.
Die Korngrenzphase weist
daher einen dementsprechend hohen Schmelzpunkt auf und
nur sehr geringe Veränderungen des Volumens durch
Oxidation, und die vorstehend erwähnten Vorteile der
Kristallisation der Korngrenzphase werden weiter
vergrößert.
Erfindungsgemäße Heizelemente sind in verschiedenen
Heizvorrichtungen und Maschinen nützlich, beispielsweise
als Glühanlasser (glow plugs), elektrische Heizer mit
weitem Verwendungsbereich, elektrische Öfen und
Heizkessel (oven and furnaces), Raum- und Punktheizer,
elektrisches Kochzubehör usw.
Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines
erfindungsgemäßen Heizelementes;
Fig. 2 ist ein Querschnitt in Längsrichtung eines
Glühanlassers mit einem erfindungsgemäßen Heizelement;
Die Fig. 3 und 4 zeigen Karten von
Röntgenbeugungsmustern der gesinterten Keramiken aus
zwei erfindungsgemäßen Beispielen;
Die Fig. 5 und 6 sind Mikrographien von Schnitten zweier
Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Heizelemente,
die einem Betriebsdauertest unterworfen worden waren;
und
Fig. 7 ist eine Mikrographie eines Schnittes eines nicht
erfindungsgemäßen Heizelementes, das einem
Betriebsdauertest unterworfen worden war.
Im Folgenden wird die Erfindung näher erläutert.
Fig. 1 zeigt ein erfindungsgemäßes keramisches
Heizelement 10. Das Heizelement 10 besteht aus einem
gesinterten Körper 12 aus einer Keramik auf
Siliziumnitrid-Grundlage und einen in den keramischen
Körper 12 eingebetteten Widerstandsheizdraht 14. Die
Form des keramischen Körpers 12 und das Muster der
Anordnung des Drahtes 14 in dem keramischen Körper 12
sind beliebig.
Das Material des Widerstandsheizdrahtes 14 muß einen
Schmelzpunkt haben, der höher ist als die Temperatur,
bei der der keramische Körper 12 gesintert wird. Es ist
bevorzugt, als Heizdrahtmaterial eines der Materialien
Wolfram, Molybdän und Rhenium und deren Legierungen oder
ein Carbid eines dieser drei Metalle zu verwenden, und
es ist weiterhin möglich, eine Mischung eines dieser
drei Metalle mit mindestens einem der anderen und/oder
mindestens einem der Carbide dieser drei Metalle zu
verwenden.
Der Körper 12 des Heizelementes 10 wird aus einer
Keramik auf der Grundlage gesinterten Siliziumnitrids
gebildet, das kleine Mengen Aluminiumoxid und
Aluminiumnitrid enthält und immer unter Verwendung von
Yttriumoxid als Sinterhilfe, wie oben beschrieben,
hergestellt wird. La₂O₃ und CeO₂ sind gute Beispiele für
Seltenerdelementoxide, deren jedes wahlweise zusammen
mit Y₂O₃ verwendet werden kann. In der gesinterten
Keramik ist die Korngrenzphase eine kristalline Phase,
die entweder 2Y₂O₃ · Si2-xAlxN2-xO1+x (O≦x<2) oder
3Y₂O₃ · 5Al₂O₃ umfaßt.
Gewöhnlich wird das Heizelement 10 durch die Schritte
des Herstellens einer Pulvermischung der Rohmaterialien
der Keramik auf Siliziumnitrid-Grundlage, des
Verdichtens der Pulvermischung in einer Preßform unter
Einfügen des Widerstandsheizdrahtes 14 und des Sinterns
des geformten Körpers in einer nicht oxidierenden
Atmosphäre, bevorzugt mittels eines
Heißpressen-Sinterverfahrens, hergestellt.
Fig. 2 zeigt einen Glühanlasser 20 für eine
Dieselmaschine. Der Glühanlasser 20 umfaßt ein
erfindungsgemäßes keramisches Heizelement 10. Der
gesinterte keramische Körper 12 des Heizelements 10 hat
eine massive zylindrische Form, und ein
Widerstandsheizdraht 14 ist in den keramischen Körper 12
in einer ungefähr U-förmigen Anordnung (in
Längsschnitten des Körpers 12) eingebettet. In dem
keramischen Körper 12 werden die gegenüberliegenden
Endteile des Drahtes 14 an einem ersten und zweiten
Metallstreifen 16 und 18 fixiert, die als Klemmen
dienen.
Der Hauptkörper des Glühanlassers 20 ist eine
röhrenförmige Metallhülle 22 mit einem Gewinde 22a auf
der äußeren Oberfläche. Eine Metallhülse 24 ist
teilweise in einen vorderen Endanteil des Außenmantels
22 eingepaßt, und ein axialer Mittelteil des keramischen
Körpers 12 ist in die metallene Hülse 24 eingepaßt. Die
in den keramischen Körper 12 eingebettete Klemme 18 hat
eine bloßliegende Oberfläche 18a an ihrem hinteren
Endanteil, und die bloßliegende Oberfläche 18a ist mit
der inneren Oberfläche der Metallhülse 24 durch Löten
verbunden. Eine Metallkappe 26 ist in dem
Metallaußenmantel 22 von ihrem hinteren Ende her
eingefügt und um einen hinteren Endteil 12a des
keramischen Körpers 12 angepaßt. Die in den keramischen
Körper 12 eingebettete Klemme 16 hat eine bloßliegende
Oberfläche 16a an ihrem hinteren Endanteil, und die
bloßliegende Oberfläche 16a ist mit der inneren
Oberfläche der Metallkappe 26 durch Löten verbunden. Die
äußere Oberfläche des Endanteils 12a des keramischen
Körpers ist ebenso an die Metallkappe 26 gelötet. Die
Metallkappe 26 dient als Mittelelektrode, die mit der
positiven Klemme eines Gleichstromspannungsgerätes
verbunden wird, während die Metallhülse 22 mit der
negativen Klemme verbunden werden muß.
Die folgenden Beispiele erläutern die Erfindung.
In den folgenden Beispielen werden Proben eines
keramischen Heizelementes 10 eines Glühanlassers 20 der
Fig. 2 durch Variation der Zusammensetzung der Keramik
innerhalb der durch die Erfindung angegebenen Grenzen
erzeugt.
In jedem Beispiel waren die Rohmaterialien für die
Keramik Pulver aus Si₃N₄, Al₂O₃, AlN und Y₂O₃, und
jedes Pulver hatte eine mittlere Teilchengröße von
ungefähr 1,0 µm. Der Widerstandsheizdraht 14 war ein
gewickelter Wolframdraht mit einem Durchmesser von 0,2 mm.
Die Si₃N₄-, Al₂O₃-, AlN- und Y₂O₃-Pulver wurden in
den in Tabelle 1 gezeigten Verhältnissen gemischt und
die Pulvermischung wurde mit Ethanol durchfeuchtet
(wetted) und in einer Kugelmühle gründlich 24 Stunden
lang gemischt. Anschließend wurde die nasse Mischung
getrocknet, um eine trockene Pulvermischung zu erhalten.
Die so hergestellte Pulvermischung wurde in einer
Preßform, in die der Wolframdraht 14 eingefügt war,
verdichtet. Die Pulvermischung in der Preßform wurde
einer Heißpressen-Sinterung in nicht oxidierender
Atmosphäre bei einer Temperatur von 1700°C und unter
einem Druck von 300 kg/cm² unterworfen.
Sinterungstemperatur und -druck wurden 30 Minuten
beibehalten.
In den Keramiken auf Siliziumnitrid-Grundlage des in den
Beispielen 1-4 und 6 hergestellten Heizelementes 10
umfaßte die Korngrenzphase eine sekundäre Phase der
allgemeinen Formel
2Y₂O₃ · Si2-xAlxN2-xO1+x (O ≦ x < 2),
die in Tabelle 1 durch das Symbol (A) angedeutet ist.
Fig. 3 zeigt die Röntgenbeugungsmuster der Keramik aus
Beispiel 2. Die Maxima A bezeichnen eine
2Y₂O₃ · Si2-xAlxN2-xO1+x-Phase. In der Keramik auf
Siliziumnitrid-Grundlage aus Beispiel 5 umfaßte die
Korngrenzphase eine durch die allgemeine Formel
3Y₂O₃ · 5Al₂O₃
dargestellte sekundäre Phase, die in
Tabelle 1 mit (B) bezeichnet ist. Fig. 4 zeigt das
Röntgenbeugungsmuster dieser Keramik. Die Maxima B
bezeichnen die 3Y₂O₃ · 5Al₂O₃-Phase.
Die in diesen Beispielen hergestellten keramischen
Heizelemente 10 wurden den im folgenden beschriebenen
Bewertungstests unterworfen.
Auch in diesen Vergleichsbeispielen wurden Proben der
keramischen Heizelemente 10 aus Fig. 2 nach dem gleichen
Verfahren, wie in Beispielen 1-6 beschrieben,
hergestellt, mit der Ausnahme, daß die Verhältnisse der
Rohmaterialien wie in Tabelle 1 gezeigt verändert
wurden.
In den gesinterten Keramiken auf Siliziumnitrid-Grundlage
aus den Vergleichsbeispielen 1-6 umfaßte die
Korngrenzphase eine kristalline sekundäre Phase der
allgemeinen Formel Si₃N₄ · Y₂O₃ ((C) in Tabelle 1),
2Si₃N₄ · La₂O₃ ((D) in Tabelle 1) oder CeSiO₂N ((E) in
Tabelle 1) oder eine nicht kristalline Phase (eine Art
Glasphase: (F) in Tabelle 1).
Die Heizelemente der Vergleichsbeispiele 1-6 wurden den
oben erwähnten Tests ebenfalls unterworfen.
Zum Testen der Biegefestigkeit wurden Proben der
Heizelemente 10 ohne Einbetten des Drahtes 14
hergestellt. Die gesinterten Keramikkörper wurden mit
einer Diamantschleifmaschine bearbeitet, um Teststücke
von 4 mm Breite, 40 mm Länge und 3 mm Dicke zu erhalten.
Die Biegefestigkeit jedes Teststückes wurde mit dem
Dreipunkt-Biegefestigkeitstestverfahren mit einer
Spannweite von 30 mm gemessen. Die Geschwindigkeit des
Kreuzkopfes (cross-head) betrug 0,5 mm/min. Der Test
wurde an Luft bei Raumtemperatur, bei 1000°C und 1300°C
durchgeführt. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2A gezeigt.
Es kann gesehen werden, daß die erfindungsgemäßen
gesinterten Keramiken eine ausreichend hohe Festigkeit
selbst bei 1300°C behalten und in dieser Hinsicht
bemerkenswert besser als die gesinterten Keramiken der
Vergleichsbeispiele waren.
Für diesen Test wurden die Proben des Heizelementes 10
ohne Einbetten des Drahtes 14 hergestellt.
Jede Probe wurde genau gewogen und dann in der Luft bei
einer Temperatur von 1000°C oder 1300°C 100 Stunden
stehen gelassen. Anschließend wurde die Probe gewogen,
um die durch die Hitzebehandlung hervorgerufene
Gewichtszunahme zu bestimmen. Die
Oxidationsbeständigkeit wurde als Zunahme des Gewichtes
pro Einheit der Oberfläche des gesinterten
Keramikkörpers (mg/cm²) bewertet. Die Ergebnisse sind in
Tabelle 2A gezeigt. Es ist offensichtlich, daß die
erfindungsgemäßen gesinterten Keramiken bemerkenswert
besser als die gesinterten Keramiken der
Vergleichsbeispiele hinsichtlich ihrer
Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen,
insbesondere bei 1300°C, waren.
Ein Paar Elektroden wurde zum Testen an die beiden
Klemmen 16 und 18 des keramischen Heizelementes 10
angebracht und das Heizelement wurde mit Gleichstrom
betrieben, der so eingestellt war, daß die
Sättigungstemperatur bei 1200°C lag. Der Betrieb wurde
1 Minute fortgesetzt und dann 1 Minute unterbrochen.
Während der Unterbrechungsperioden wurde Luft gegen das
Heizelement geblasen, um es schnell zu kühlen. Der
Betriebs- und Kühlprozeß wurde 10 000mal wiederholt. Der
Test wurde an fünf Proben für jedes Heizelement jedes
Beispiels und Vergleichsbeispiels durchgeführt. Im
Anschluß an den Test wurde die Dauerhaftigkeit jeder
Probe durch Messen der Erhöhung des elektrischen
Widerstands des Heizdrahts 14 gemessen. Weiterhin wurden
die getesteten Proben mit einem Diamantschleifmesser
geschliffen, bis der Draht 14 bloßlag, und der Schnitt
des gesinterten Keramikkörpers 12 wurde sorgfältig
beobachtet, um festzustellen, ob der
Betriebsdauerhaftigkeitstest eine Verschlechterung der
Struktur der gesinterten Keramik in der Nähe des Drahtes
14 hervorgerufen hatte. Im Hinblick auf das Ausmaß der
Verschlechterung der Struktur der Keramik wurden die
getesteten Heizelemente in die folgenden vier Grade
eingeordnet:
A: keine Verschlechterung
B: leichte Verschlechterung
C: einige Verschlechterung
D: ernsthafte Verschlechterung
B: leichte Verschlechterung
C: einige Verschlechterung
D: ernsthafte Verschlechterung
An weiteren jeweils fünf Beispielen der Heizelemente
jedes Beispiels und Vergleichsbeispiels wurde der oben
beschriebene Betriebsdauerhaftigkeitstest unter Erhöhen
der Sättigungstemperatur auf 1300°C durchgeführt, und
die getesteten Proben wurden in der oben beschriebenen
Weise untersucht.
Die Ergebnisse des Betriebsdauerhaftigkeitstests sind in
Tabelle 2 gezeigt. Es ist offensichtlich, daß die
erfindungsgemäßen Heizelemente den
Betriebsdauerhaftigkeitstest (10 000 Zyklen) ohne
Veränderung oder mit weniger als 5% Veränderung des
elektrischen Widerstands des eingebetteten Drahtes 14
passierten, und ohne eine signifikante Verschlechterung
der Struktur der gesinterten Keramik selbst in der
Nachbarschaft des Heizdrahtes 14.
Fig. 5 ist eine Mikrographie (Vergrößerung: 20×) eines
Schnittes des Heizelements 10 aus Beispiel 1, das einem
Betriebsdauerhaftigkeitstest unterworfen wurde, und die
Fig. 6 und 7 sind ähnliche Mikrographien, die die
Heizelemente aus Beispiel 4 bzw. dem Vergleichsbeispiel
1 zeigen. In jeder Mikrographie war der untere Teil des
Heizdrahtes 14 mit der positiven Klemme des
Gleichstromgerätes und der obere Teil mit der negativen
Klemme im Test verbunden.
Fig. 5 zeigt, daß schmale Lücken zwischen der Keramik
und dem Heizdraht in der getesteten Probe des
Heizelementes aus Beispiel 1 auftraten (das 10 000 Zyklen
des Betriebs- und Kühlprozesses unterworfen worden war),
was als leichte Verschlechterung der Struktur der
Keramik bewertet werden sollte. Fig. 6 zeigt, daß in der
getesteten Probe des Heizelementes aus Beispiel 4 (das
10 000 Zyklen des Betriebs- und Kühlprozesses unterworfen
worden war) die Verschlechterung der Struktur der
Keramik unerheblich war. Fig. 7 zeigt die Art der
Verschlechterung der Struktur der Keramik in der Probe
des Heizelementes aus Vergleichsbeispiel 1, in dem ein
Brechen des Heizdrahtes nach 850facher Wiederholung des
Betriebs- und Kühlprozesses auftrat.
Claims (7)
1. Elektrisches, keramisches Heizelement, umfassend einen
Körper aus einer gesinterten Keramik auf
Siliziumnitrid-Grundlage, die Al₂O₃ und AlN zusätzlich zu
Si₃N₄ umfaßt und unter Verwendung einer Sinterhilfe, die
Y₂O₃ umfaßt, hergestellt wird, und einen in den gesinterten
Keramikkörper eingelagerten Widerstandheizdraht,
dadurch gekennzeichnet, daß die Korngrenzphase der Keramik
auf Siliziumnitrid-Grundlage eine kristalline Phase ist,
umfassend eine Phase der allgemeinen Formel
2Y₂O₃ · Si2-xAlxN2-xO1+x,wobei O ≦ x < 2 ist, oder eine
Phase der allgemeinen Formel3Y₂O₃ · 5Al₂O₃.
2. Elektrisches, keramisches Heizelement nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis von (Al₂O₃+AlN)
zu Si₃N₄ in der Keramik auf Siliziumnitrid-Grundlage im
Bereich von 0,02 bis 0,08, bezogen auf das Gewicht, beträgt,
mit der Maßgabe, daß das Verhältnis von Al₂O₃ zu AlN im
Bereich von 0,2 bis 2,0, bezogen auf das Gewicht, ist, wobei
das Gewichtsverhältnis von (Si₃N₄+Al₂O₃+AlN) zu der
Sinterhilfe im Bereich von 98 : 2 bis 90 : 10 liegt.
3. Elektrisches, keramisches Heizelement nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sinterhilfe
weiterhin mindestens ein weiteres Seltenerdelementoxid
umfaßt.
4. Elektrisches, keramisches Heizelement nach mindestens
einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß das Material des Heizdrahtes aus der Wolfram, Molybdän
und Rhenium, deren Legierungen und Mischungen,
Wolframcarbid, Molybdäncarbid und Rheniumcarbid umfassenden
Gruppe ausgewählt ist.
5. Verfahren zum Herstellen eines elektrischen, keramischen
Heizelements nach einem der Ansprüche 1-4,
umfassend die Schritte des Mischens
eines Si₃N₄-Pulvers mit einem Al₂O₃-Pulver, einem AlN-Pulver
und einem Pulver aus einer Y₂O₃ umfassenden Sinterhilfe,
wobei die Summe von Si₃N₄, Al₂O₃ und AlN 90-98 Gew.-%
beträgt, des Einbettens eines Widerstandsheizdrahtes in die
Pulvermischung und Verdichtens zu einem beliebig geformten
Körper; des Sinterns des geformten Körpers in einer nicht
oxidierenden Atmosphäre bei einer Temperatur im Bereich von
1600 bis 2100°C, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis
der zu mischenden Pulver von (Al₂O₃+AlN) zu Si₃N₄ im
Bereich von 0,02 bis 0,08, bezogen auf das Gewicht, und das
Verhältnis von Al₂O₃ zu AlN im Bereich von 0,2 bis 2,0,
bezogen auf das Gewicht, beträgt.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Sinterhilfe, die verwendet wird, weiterhin
mindestens ein weiteres Seltenerdelementoxid umfaßt.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Heizdraht aus Wolfram,
Molybdän oder Rhenium, deren Legierungen und Mischungen,
Wolframcarbid, Molybdäncarbid und Rheniumcarbid verwendet
wird.
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