DE3905531C2 - Verfahren zum Herstellen eines imprägnierten keramischen Materials, nach dem Verfahren hergestelltes kohlenstoffhaltiges Material und dessen Verwendung - Google Patents
Verfahren zum Herstellen eines imprägnierten keramischen Materials, nach dem Verfahren hergestelltes kohlenstoffhaltiges Material und dessen VerwendungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Imprägnieren eines
geformten keramischen Materials mit einer Imprägnierflüssigkeit,
ein kohlenstoffhaltiges Material hergestellt nach dem Verfahren,
sowie eine Verwendung eines derartigen kohlenstoffhaltigen
Materials.
Ein kohlenstoffhaltiges Material ist ein typisches Beispiel
für keramische Materialien, die als Konstruktionsmaterial oder
als Material für Maschinen verwendet werden. Ein derartiges
kohlenstoffhaltiges Material weist zum einen eine gute Wärmeleitfähigkeit,
eine gute elektrische Leitfähigkeit und außerdem
eine ausgezeichnete Hitzebeständigkeit auf. Insbesondere nimmt
dessen Festigkeit bei hohen Temperaturen nicht ab.
Andererseits sind kohlenstoffhaltige Materialien porös.
Demzufolge haben sie keine guten mechanischen Festigkeiten.
Sie werden außerdem leicht oxidiert und werden dadurch zerstört.
Angesichts dessen wurde angestrebt, ein kohlenstoffhaltiges
Material mit hoher Dichte zu erhalten, das für einen anhaltend
langen Zeitraum ausgezeichnete Eigenschaften aufweist. Beispielsweise
werden dazu kompakte Partikel mit hoher Dichte gepackt.
Bei einer anderen gebräuchlichen Methode, wie sie aus der
veröffentlichten japanischen Patentanmeldung Nr. 60-90807 bekannt
ist, werden die Poren eines kohlenstoffhaltigen Materials mit
einer Imprägnierflüssigkeit, wie beispielsweise Teer, imprägniert.
Dazu werden beispielsweise ein geformtes kohlenstoffhaltiges
Material und eine Imprägnierflüssigkeit in einen
Behälter gebracht. Man läßt Druckluft direkt derart auf die
Imprägnierflüssigkeit einwirken, daß die Poren des kohlenstoffhaltigen
Materials mit der Imprägnierflüssigkeit imprägniert
werden, um dadurch eine hohe Dichte des kohlenstoffhaltigen
Materials zu erzeugen. Die Imprägnierflüssigkeit wird auf 80°C
oder mehr erwärmt. Der Druck der Druckluft beträgt 20 kg/cm²
oder weniger. Bei einer derartigen gebräuchlichen Methode ist
jedoch die erhaltene Dichte des kohlenstoffhaltigen Materials
nicht ausreichend hoch. Die Imprägniereffekte sind nicht gut.
Aus der DE 31 47 040 A1 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Imprägnieren von Graphitelektroden oder anderen Elementen
mit heißem Imprägniermedium bekannt, wobei die zu imprägnierenden
Elemente kalt in einen Autoklav eingeladen und in dem geschlossenen
Autoklav imprägniert werden.
Aus der DE 30 23 638 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Imprägnieren von porösen Gegenständen bekannt, bei denen
der Gegenstand in einen Behälter eingebracht wird, in dem ein
Vakuum erzeugbar ist. Nach Füllen des Behälters mit dem Imprägniermittel
bis der Gegenstand vollständig besteckt ist, wird
in dem Behälter der Atmosphärendruck wieder hergestellt und
anschließend das überschüssige Imprägniermittel abgezogen.
Aus der DE 27 32 553 C2 ist ein Verfahren zum Imprägnieren von
porösen Körpern, insbesondere Kohlenstoff- und Graphitkörpern,
sowie eine Imprägnieranlage zum Durchführung des Verfahrens
bekannt. Bei diesem Verfahren nach der Vakuumdruckmethode werden
die porösen Körper in einen Imprägnierkessel gegeben, dieser
wird anschließend evakuiert und dann in diesem aus Imprägniermittel
in die Poren der porösen Körper gedrückt.
Aus der DE 30 34 359 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung von
Kohlenstoff- und Graphitmaterialien hoher Dichte und hoher
Festigkeit bekannt. Ein feinpulverisierter frischer Koks wird
allein oder in Kombination mit einem Bindemittelpech unter Druck
geformt, in einer ersten Backstufe gebacken und das gebackene
Material anschließend mit einem Pech unter Druck imprägniert.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein keramisches Material, wie
beispielsweise ein kohlenstoffhaltiges Material mit ausreichend
hoher Dichte zu schaffen, und es ist außerdem Aufgabe, ein
Verfahren zum Herstellen desselben zu schaffen.
Erfindungsgemäß wird ein Imprägnierdruck über eine Drucküber
tragungsflüssigkeit auf eine Imprägnierflüssigkeit ausgeübt,
um die Poren eines keramischen Materials mit der Imprägnier
flüssigkeit zu imprägnieren, wobei zwischen Imprägnierflüssigkeit
und Druckübertragungsflüssigkeit eine elastische Trennvorrichtung gebracht ist.
Beispiele für Druckübertragungsflüssigkeiten sind Wasser,
Ethylenglykol, Öl und Alkohol.
Das beste Beispiel für ein geformtes keramisches Material ist
ein geformtes kohlenstoffhaltiges Material, wobei die Erfindung
jedoch nicht auf solche Materialien beschränkt ist. Bevorzugte
Beispiele für Produkte, die aus keramischem Material hergestellt
sind, sind Graphittiegel zur Verwendung in einem Aluminium
niederschlagsverfahren oder in einem CZ (Czochralski)-Verfahren,
Heizöfen, Aufnehmerbasismaterial, Schiffchen zum Flüssigphasen
aufwachsen und Plasma-CVD (chemical vapor deposition)-Elek
troden.
Beispiele für Imprägnierflüssigkeiten sind bei Wärme aushärtbare
Harze wie Furfurylalkohol, Kunstharze und Teerpech.
Der Imprägnierdruck beträgt vorzugsweise 20 kg/cm2 oder mehr
und für beste Ergebnisse 50 kg/cm2 oder mehr.
Zum Imprägnieren des geformten keramischen Materials mit der
Imprägnierflüssigkeit wird zwischen die Imprägnierflüssigkeit
und die Druckübertragungsflüssigkeit ein elastisches Material,
wie beispielsweise Gummimaterial, gebracht. Wenngleich das
Verfahren auch bei Raumtemperatur ausgeführt werden kann, so
wird vorzugsweise ein kohlenstoffhaltiges Material mit Teerpech
bei einer Temperatur von 100°C bis 280°C imprägniert.
Vorzugsweise weist die Imprägnierflüssigkeit eine Viskosität
von 300 cP (Centipoise) bei 20°C auf.
Erfindungsgemäß weist ein kohlenstoffhaltiges Material eine
Rohdichte von 1,5 bis 2,0 g/cm3, einen spezifischen Widerstand
von 500 bis 1900 Microohm×cm, eine Biegefestigkeit von
300 kg/cm2 oder mehr, eine scheinbare oder offene Porosität
von 0,1 bis 7,0% und eine reine relative Dichte von 2,10
oder weniger auf.
Wird ein Tiegel aus kohlenstoffhaltigem Material hergestellt,
dessen Rohdichte zwischen 1,5 g/cm3 und 2,0 g/cm3 liegt, so
ist dessen Oberfläche nicht rauh und es kann verhindert werden,
daß das Material zu sehr graphitisiert. Es kann jedoch eine
ausreichende Bindekraft unter den einzelnen Kohlenstoffpartikeln
erhalten werden, da die Biegefestigkeit 300 kg/cm2 oder mehr
beträgt. Da das kohlenstoffhaltige Material einen spezifischen
Widerstand von 500 bis 1900 Microohm×cm aufweist, kann ver
hindert werden, daß die Kohlenstoffpartikel zu sehr kristalli
sieren, so daß dieses extrem flexibel bleibt. Außerdem wird
der Heizwert nicht zu groß, so daß eine Temperatursteuerung
vereinfacht ist. Ferner kann dadurch, daß das kohlenstoffhaltige
Material eine offene Porosität von 0,1 bis 7,0% aufweist,
verhindert werden, daß die Poren zwischen den Kohlenstoff
partikeln zu groß werden, wodurch die Bindekraft abgeschwächt
wäre. So kann beispielsweise ein Tiegel, der aus einem derar
tigen kohlenstoffhaltigen Material hergestellt ist, davor
bewahrt werden, daß er auseinanderbricht. Außerdem kann ver
hindert werden, daß Kohlenstoffpartikel abfallen, falls Sili
ziumwafer für eine Halbleitervorrichtung in einer Plasma CVD-
Vorrichtung hergestellt werden. Beträgt die reine relative
Dichte mehr als 2,10, so sind die Kohlenstoffpartikel in der
Lage, zu sehr zu kristallisieren, wodurch ein kohlenstoff
haltiges Material nicht in geeigneter Weise elastisch wäre. In
einem solchen Fall nimmt die Lebensdauer ab.
Erfindungsgemäß weist ein kohlenstoffhaltiges oder ein Kohlen
stoffmaterial eine Rohdichte von 1,5 bis 2,0 cm/cm3, eine
offene Porosität von 0,1 bis 7,0% und eine Luftdurchlässigkeit
zwischen 0 und 1,0×10-4 ml×cm/cm2×sec×cm auf.
In einem kohlenstoffhaltigen Material sind im wesentlichen
keine offenen Poren vorhanden, so daß Luft nicht hindurchtreten
kann. Demzufolge ist die Temperaturwechselbeständigkeit hervor
ragend.
Beträgt die Luftdurchlässigkeit weniger als 1,0×10-4
ml×cm/cm2×sec×cm kann in den Poren des kohlenstoffhaltigen
Materials eine geringe Dichte an feinem Kohlenstoff ausgebildet
werden. Als Ergebnis ist es möglich, falls Siliziumkristalle
gezogen werden, das Gasvolumen, das von einem graphitisierten
Tiegel erzeugt wird, zu erniedrigen. Andererseits wirkt eine
offene Porosität von 0,1 bis 7,0% dahingehend, eine Spaltbil
dung beim Tiegel zu verhindern.
Vorzugsweise wird, bevor der Imprägnierdruck auf die Imprägnier
flüssigkeit ausgeübt wird, auf das geformte Material ein
negativer Druck ausgeübt, so daß jegliches Gas, das im geformten
Material verblieben ist, von diesem entfernt werden kann.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand einiger ausgewählter
Ausführungsbeispiele im Zusammenhang mit den beiliegenden
Zeichnungen näher beschrieben und erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 schematisch einen Schnitt einer isostatischen
Kaltpreßvorrichtung zum Durchführen des Verfahrens
der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 ein Diagramm, das den Zusammenhang zwischen der
Rohdichte und dem Imprägnierdruck bei einem kohlen
stoffhaltigen Material darstellt;
Fig. 3 ein Diagramm, das den Zusammenhang zwischen der
Rohdichte und der Anzahl an Imprägnierungen im
Falle eines kohlenstoffhaltigen Materials zeigt,
und
Fig. 4 ein Diagramm, das den Zusammenhang zwischen der
Rohdichte und der Größe der Viskosität der Impräg
nierflüssigkeit darstellt.
In Fig. 1 ist eine Imprägniervorrichtung vom Typ einer iso
statischen Gummikaltpresse dargestellt.
In einem druckdichten Behälter 1 ist eine Druckübertragungs
flüssigkeit in Form von Wasser 2 aufgenommen. Als Imprägnier
flüssigkeit ist Furfurylalkohol 4 vorgesehen, der in einem
Gummibehälter 3 aufgenommen ist. Im Gummibehälter 3 ist ferner
ein geformtes kohlenstoffhaltiges Material 5 aufgenommen. Der
Gummibehälter 3 ist derart ausgestaltet, daß er im Betrieb
vollständig geschlossen ist und wobei dieser, wenngleich nicht
dargestellt, geöffnet werden kann, falls dies gewünscht wird.
Der druckdichte Behälter 1 ist durch einen Verschluß 6 ver
schlossen, wobei der Gummibehälter 3 in das Wasser 2 eingetaucht
ist. Der Gummibehälter 3 dient als eine Trennvorrichtung.
Im Betrieb wird der Innenraum des Gummibehälters 3 mittels
einer hier nicht dargestellten Vakuumpumpe zunächst für 10
Minuten bei einem reduzierten Druck von 3,9 kN/m² (30 Torr) gehalten.
Anschließend wird Furfurylalkohol 4 mittels einer hier nicht
dargestellten Zuführung in den Gummibehälter 3 gegossen.
Anschließend wird das Wasser 2 für etwa eine Minute derart
unter Druck gesetzt, daß ein Imprägnierdruck von 300 kg/cm2
oder mehr auf den Furfurylalkohol ausgeübt wird, wodurch das
geformte kunsthaltige Material 5 mit dem Furfurylalkohol
imprägniert wird. Das imprägnierte kohlenstoffhaltige Material
wird zunächst mit einer Aufheizgeschwindigkeit von 10°C/Stunde
auf 200°C erwärmt, und anschließend wird es mit einer Aufheiz
geschwindigkeit von 8°C/Stunde auf 950°C erwärmt. Schließlich
wird es einer Reinigungsbehandlung bei 2300°C ausgesetzt.
In Tabelle 1 sind Beispiele 1 bis 4 dargestellt, wobei dies
vier geformte kohlenstoffhaltige Materialien sind, die mit
Furfurylalkohol imprägniert werden sollen. Die kohlenstoff
haltigen Materialien der Beispiele 1 und 4, deren Eigenschaften
in Tabelle 1 dargestellt sind, werden mittels der in Fig. 1
dargestellten Imprägniervorrichtung imprägniert, wonach sie
die Eigenschaften aufweisen, wie sie in Tabelle 2 aufgeführt
sind.
Zu Vergleichszwecken werden die geformten kohlenstoffhaltigen
Materialien der Beispiele 2 und 3 von Tabelle 1 mit Furfuryl
alkohol bei fünf verschiedenen Imprägnierdrucken von 1, 50,
500, 1000 und 1500 kg/cm2 imprägniert. Der Zusammenhang zwischen
Rohdichte und Imprägnierdruck ist in Fig. 2 dargestellt. Beträgt
der Imprägnierdruck 1 kg/cm2, so werden zahlreiche innere
Poren des kohlenstoffhaltigen Materials nicht mit dem Furfuryl
alkohol imprägniert, so daß die Rohdichte nicht ausreichend
erhöht werden konnte. Beträgt der Imprägnierdruck 50 kg/cm2
oder mehr, so wird die Rohdichte bemerkenswert erhöht.
In Fig. 3 ist der Zusammenhang zwischen der Anzahl an Impräg
nierungen und der Rohdichte dargestellt. Der Imprägnierdruck
beträgt jeweils 1500 kg/cm2.
Wie aus Fig. 3 zu entnehmen, nimmt die Rohdichte bei einer
gebräuchlichen Niederdruck-Teer-Imprägniermethode, im Falle
einer einzigen Imprägnierung, nur um einige Prozentteile zu,
und diese nimmt sogar auch dann nicht bemerkenswert zu, falls
ein Imprägnier/Heiz-Zyklus wiederholt wird. Entsprechend der
Hochdruck-Imprägnierungsmethode der vorliegenden Erfindung
wird die Imprägniereffizienz verbessert. Im Falle von zwei
Imprägnierungen erhöht sich die Rohdichte zunächst auf 1,91
g/cm3 und dann im zweiten Schritt auf 1,96 g/cm3.
In Tabelle 3 sind die Versuchsergebnisse von sechs Vergleichs
beispielen von Graphittiegeln dargestellt, die in Vergleich
zu einem Tiegel stehen, der aus einem kohlenstoffhaltigen
Material entsprechend der Erfindung hergestellt ist. Die
Vergleichsbeispiele befinden sich zumindest mit einem Parameter
außerhalb der Erfindung und zwar bezüglich der Parameter
Rohdichte, spezifischer Widerstand, Biegefestigkeit, offene
Porosität, reine relative Dichte und Luftdurchlässigkeit. Die
Anzahl der möglichen Gebrauchsanwendungen der erfindungsgemäßen
Ausführungsbeispiele und der Vergleichsbeispiele unterscheiden
sich beträchtlich. Anzahl an Gebrauchsanwendungen der Tiegel
bedeutet die Zahl an Gebrauchsanwendungen, bis die Tiegel
zerbrechen.
Bei diesen Anwendungen werden 35 kg reines Silizium in den zuvor
erwähnten Tiegeln geschmolzen, und es wird anschließend ein
Siliziumkristall mit einem Durchmesser von 12,7 cm (5 inch)
und einer Kristallorientierung von (100) nach und nach mit
einer Geschwindigkeit von 1 mm/Min gezogen. Das Volumen der
erzeugten oder abgegebenen Gasmenge zwischen Raumtemperatur
bis 950°C wurde gemessen.
In Fig. 4 ist der Zusammenhang zwischen der Viskosität der
Imprägnierflüssigkeit und der Rohdichte dargestellt. Der
Imprägnierdruck beträgt 1500 kg/cm2. Die geformten kohlenstoff
haltigen Materialien der Beispiele 2 und 3 in Tabelle 1 wurden
mit polymerisiertem Furfurylalkohol mit sechs verschiedenen
Viskositäten bei 20°C, nämlich 30, 200, 250, 300, 350 und
700 cP imprägniert.
Wie aus Fig. 4 zu entnehmen, verdampft ein großer Volumenanteil
des polymerisierten Furfurylalkohols im Falle einer niedrigen
Viskosität, wie beispielsweise 30 cP bei 20°C, bevor dieser
fest wird. Es kann keine Zunahme der Rohdichte erwartet werden.
Dies wird durch die in Tabelle 4 aufgeführten Daten gestützt.
Die Rohdichte verändert sich zwischen 300 cP und 700 cP bei
20°C nicht bemerkenswert. Demzufolge beträgt die Viskosität
der Imprägnierflüssigkeit vorzugsweise zumindest 300 cP bei
20°C.
Claims (13)
1. Verfahren zum Imprägnieren eines geformten keramischen
Materials mit einer Imprägnierflüssigkeit, mit den Schritten:
- - Einbringen des geformten keramischen Materials in die Imprägnierflüssigkeit, und
- - Ausüben eines Imprägnierdruckes auf die Imprägnierflüssigkeit durch eine Druckübertragungsflüssigkeit, damit das geformte keramische Material mit der Imprägnierflüssigkeit imprägniert wird.
- - wobei zwischen die Imprägnierflüssigkeit und die Druckübertragungsflüssigkeit eine elastische Trennvorrichtung derart gebracht wird, daß der Imprägnierdruck über die Druckübertragungsflüssigkeit und die elastische Trennvorrichtung auf die Imprägnierflüssigkeit übertragen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß,
bevor der Imprägnierdruck auf die Imprägnierflüssigkeit
ausgeübt wird, auf das geformte Material ein negativer
Druck ausgeübt wird, damit jegliches Gas, das im geformten
Material enthalten ist, von diesem entfernt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß als Imprägnierflüssigkeit Teerpech oder ein bei Wärme
aushärtendes Harz eingesetzt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der Imprägnierdruck 20 kg/cm2 oder
mehr eingesetzt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der Imprägnierdruck 50 kg/cm2 oder
mehr eingesetzt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß als Druckübertragungsflüssigkeit Wasser,
Ethylenglykol, Öl oder Alkohol eingesetzt wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß eine aus Gummi hergestellte elastische
Trennvorrichtung eingesetzt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
als Trennvorrichtung ein Gummibehälter eingesetzt wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß das geformte keramische Material bei
einer Temperatur von 100°C bis 280°C imprägniert wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Imprägnierflüssigkeit eingesetzt
wird, die eine Viskosität von 300 cP (Centipoise) oder
mehr bei 20°C aufweist.
11. Kohlenstoffhaltiges Material, hergestellt nach dem Verfahren
nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß es eine Rohdichte von 1,5 bis 2,0 g/cm3, einem spezifischen
Widerstand von 500 bis 1900 Microohm · cm, eine
Biegefestigkeit von 300 kg/cm2 oder mehr, eine offene
Porosität von 0,1 bis 7,0% und eine reine relative Dichte
von 2,10 oder weniger aufweist.
12. Kohlenstoffhaltiges Material, hergestellt nach dem Verfahren
nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß es eine Rohdichte von 1,5 bis 2,0 g/cm³, eine offene
Porosität von 0,1 bis 7,0% und eine Luftdurchlässigkeit
zwischen 0 und 1,0×10-4 ml · cm/cm² · sec · cm aufweist.
13. Verwendung des kohlenstoffhaltigen Materials nach Anspruch 11 oder 12
zur Herstellung eines Tiegels.
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