DE3875111T2

DE3875111T2 - Vorrichtung zum halten eines blattes mit interner schneide.

Info

Publication number: DE3875111T2
Application number: DE8888110544T
Authority: DE
Inventors: Katsuo Honda; Susumu Sawafuji; Tomio Tomita
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1988-05-23
Filing date: 1988-07-01
Publication date: 1993-04-01
Anticipated expiration: 2008-07-02
Also published as: KR930011363B1; JPH0661753B2; US4838238A; JPH01294009A; KR890017763A; DE3875111D1; EP0343279B1; EP0343279A1

Description

Die Erfindung befaßt sich allgemein mit einer Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante (Innenlochsägeblatt) zur Verwendung bei einer Scheibchen- Schneidmaschine mit einer Innenumfangsschneidkante (Innenlochsäge), welche eingesetzt wird, wenn ein bruchempfindliches Material, wie ein Siliziumrohblock auch als "Barren" bezeichnet in dünne Scheibchen geschnitten wird, die jeweils eine Dicke in der Größenordnung von 100 µm haben. Eine derartige Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante weist die Merkmale auf, die im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegeben sind.
Im allgemeinen wird ein dünnes Scheibchen, wie ein Scheibchen bzw. Wafer eines Halbleiters dadurch hergestellt, daß ein Barren bzw. ein Rohblock eines Halbleiters oder dergleichen unter Verwendung eines sehr dünnen Schneidmessers bzw. Sägeblatts in Scheibchen geschnitten wird. Als ein typisches Beispiel für ein derartiges Schneidmesser gibt es ein torusförmiges Schneidmesser, und insbesondere wird häufig ein Messer eingesetzt, welches mit einer Innenumfangskante versehen ist, an der mittels Klebstoff Diamantschleifteilchen an der Innenumfangskante des Schneidmessers angebracht sind. Bei einem derartigen Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante wird zum Abschneiden eines dünnen Scheibchens mit einer hohen Genauigkeit die Außenumfangsseite des Messers mittels einer Messerhaltevorrichtung unter einer vorbestimmten Spannung eingespannt und gehalten, so daß auf das Schneidmesser eine vorbestimmte Zugkraft ausgeübt wird.
Unter Bezugnahme auf Figur 7 ist eine Seitenansicht einer Haltevorrichtung H für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante gezeigt, welche üblicherweise eingesetzt wird und beispielsweise aus GB-A-2 195 275 bekannt ist. In dieser Figur ist eine Spindel 1 gezeigt, ein schalenförmiger, unterer Ring 2 ist fest an dem oberen Teil der Spindel 1 angebracht, und ein Spannring 3 ist an dem oberen Teil des unteren Rings 2 angebracht. Das Schneidmesser, welches hier mit B bezeichnet ist, wird zwischen den Spannring 3 und einen oberen Ring 4 gelegt und hierdurch gehalten, welcher auf dem Spannring 3 mit Hilfe von Schrauben oder dergleichen angebracht werden kann.
Bei dieser Bauart der Vorrichtung läßt sich die Spannung des Schneidmessers B mit Hilfe einer großen Anzahl von Schneidmessereinstellschrauben (nicht gezeigt) einstellen, welche auf dem Umfang des oberen Rings 4 vorgesehen sind, wie dies in GB-A-2 195 275 beschrieben und gezeigt ist. Diese Spannungseinstellung basiert auf dem Vorhandensein von Unterschieden hinsichtlich der Werte der Zugspannung bezüglich der Walzrichtung, d. h. sie basiert auf einer dem Schneidmesser B innewohnenden anisotropen Eigenschaft. In anderen Worten ausgedrückt bedeutet dies, daß aufgrund der Tatsache, daß das torusförmige Schneidmesser durch Preßstanzen einer gewalzten, streifenförmigen, dünnen Platte hergestellt wird, das Schneidmesser keine Richtungsorientierungseigenschaften hat, da es ein kreisförmiges Erscheinungsbild hat. Im Schneidmesser innewohnend jedoch treten unterschiedliche Zugspannungen zwischen der Walzrichtung und einer die Walzrichtung senkrecht schneidenden Richtung auf. Aus diesem Grunde werden bei der vorstehend angegebenen Einspanneinstellung des Schneidmessers die Druckkräfte der Stellschrauben auf den Umfang des oberen Rings derart eingestellt, daß sie sich entsprechend den Positionen verändern können.
Da in anderen Worten sich aus den vorstehenden Ausführungen entnehmen läßt, daß die vorstehend angegebene anisotrope Eigenschaft zwischen den Hauptrichtungen (x-x-Richtung, y-y- Richtung) auftritt, welche sich im wesentlichen beispielsweise schneiden, kann die Druckkraft in x-Richtung größer als in y-Richtung eingestellt werden, wenn die Zugfestigkeit in x-Richtung größer als jene in y-Richtung ist.
Wenn jedoch die Druckkräfte auf unterschiedliche Werte entsprechend den Positionen des Schneidmessers gemäß den voranstehenden Ausführungen eingestellt werden, dann tritt bei der gesamten Haltevorrichtung H eine ungleichmäßige Belastungsbeanspruchungsverteilung auf, welche am Ende dazu führen kann, daß ein Taumeln des Schneidmessers beim Schneiden auftritt, ein abgeschnittenes dünnes Scheibchen bricht oder beschädigt wird, die Dicken der abgeschnittenen dünnen Scheibchen variieren können oder andere ähnliche unerwünschte Erscheinungen auftreten.
In den Figuren 8 und 9 ist ein Zustand der vorstehend genannten Haltevorrichtung H gezeigt, welche in Folge der vorstehend genannten Belastungen einer Verformung unterliegt. Insbesondere wird in diesen Figuren eine durchgezogene Linie verwendet, um die Form der Schneidmesser-Haltevorrichtung H vor den einwirkenden Einspannbelastungen zu verdeutlichen, während eine mit zwei Punkten versehene gebrochene Linie verwendet wird, um die Form der Schneidmesser- Haltevorrichtung H nach dem Aufbringen der Einspannbelastungen zu verdeutlichen.
Wenn in anderen Worten in diesen Figuren die Druckkraft auf der x-Richtungsseite des Schneidmessers B größer als jene in die x-Richtung eingestellt ist, wie dies vorstehend angegeben ist, dann wird eine ähnliche Belastung wie die Reaktionskraft hiervon in der Schneidmesser-Haltevorrichtung H erzeugt. In diesem Fall wird ein Spannkopfanordnung 5, welche den oberen Ring 9 und den Spannring 3 der Haltevorrichtung umfaßt, in der Ebene nach innen in x-Richtung und in y- Richtung nach außen verlagert, so daß die Spannkopfanordnung 5 eine elliptische Gestalt einnimmt, wie dies mit einer gebrochenen Linie mit zwei Punkten in Figur 8 verdeutlicht ist. Diese Verformung der Spannkopfanordnung 5 hat ebenfalls eine Auswirkung auf den schalenförmigen unteren bzw. bodenseitigen Ring 2. Da die Spannkopfanordnung 5 eine ringähnliche Gestalt hat, erhält man die elliptische Gestalt, wenn sie deformiert wird. Der untere Ring 2 jedoch kann sich nicht zu einer derartigen elliptischen Gestalt deformieren, da wie voranstehend angegeben ist, eine untere bzw. bodenseitige Platte 6 vorhanden ist. Aus diesem Grunde wird - wie in Figur 9 gezeigt - die Umfangsseite der unteren Platte in x-Richtung (in Richtung des kleineren Durchmessers) des unteren Rings 2 in Richtung nach oben gekrümmt deformiert, während in y-Richtung (in Richtung des größeren Durchmessers) des unteren Rings 2 die Umfangsseite der unteren Platte in Richtung nach unten in gewölbter Weise deformiert wird. Die Deformation der unteren Platte hat in dieser Form einen Einfluß auf die Spannkopfanordnung 5. Während wie voranstehend angegeben ist, die ebene Form der Spannkopfanordnung 5 sich zu einer elliptischen Gestalt in Folge der Einspannbelastungen deformiert, wird die Gestalt der Seitenfläche der Spannkopfanordnung 5 auf eine bogenähnliche Weise im Zusammenwirken mit der vorstehen angegebenen Umfangsseite der unteren Platte als ein Drehpunkt deformiert, da die Deformation der unteren Platte 6 einen Einfluß hierauf hat. Wenn man daher wie bei der dargestellten Ausführungsform in x-Richtung blickt, wird die Schneidmesserfläche in Richtung nach oben von der Grundlage aus deformiert, während in Blickrichtung der y-Richtung die Schneidmesserfläche in Richtung nach unten deformiert wird, so daß die gesamte Schneidmesserfläche eine unebene Gestalt ähnlich einer Ausbauchung hat. Dies führt in nachteiliger Weise zu einem Taumeln bzw. einem seitlichen Schwingen der Fläche der unteren Platte 6 sowie zu einem Taumeln bzw. seitlichen Schwingen der Kante des Schneidmessers beim Schneiden.
Hauptsächlich zielt die Erfindung darauf ab, eine Schneidmesser-Haltevorrichtung der vorstehend genannten Art bereitzustellen, bei der die Kante des Schneidmessers frei von seitlichen Schwingungen ist, die durch Deformationen der Kopfanordnung verursacht werden, um die Nachteile bei dem zum Stand der Technik gehörenden Vorrichtungen zu überwinden.
Nach der Erfindung wird eine Haltevorrichtung für ein Schneidmesser bereitgestellt, welche im Patentanspruch 1 angegeben ist.
Nach der Erfindung werden die unterschiedlichen Richtungsteile (x, y-Richtungsteile) des Schneidmessers mit der Innenumfangsschneidkante in Übereinstimmung mit den Positionen der Federteile, vorzugsweise der Blattfedern, auf der rotierenden Platte gebracht, und in diesem Zustand wird das Schneidmesser mit einer gewünschten Druckkraft eingespannt. In Folge dieser Einspannung oder dieses Streckens in den unterschiedlichen Richtungsteilen des Schneidmessers unterscheidet sich die Spannung in x-Richtung von jener in der y- Richtung. Wenn somit beispielsweise die Spannung in x-Richtung größer als die Spannung bzw. Zugspannung in y-Richtung ist, dann wird die Spannkopfanordnung im Durchmesser kleiner in x-Richtung deformiert, während die Anordnung im Durchmesser in y-Richtung größer deformiert wird. Diese Deformationen der Spannkopfanordnung lassen sich mit Hilfe der Federteile, vorzugsweise der Blattfedern, ausgleichen, so daß diese Deformationen nicht auf die rotierende Platte übertragen werden, welche die untere Platte der Haltevorrichtung bildet. Als Folge hiervon ist es nach der Erfindung möglich, die Erzeugung von Taumelbewegungen bzw. seitlichen Schwingungen der Kante des Schneidmessers mit der Innenumfangsschneidkante in Folge von Deformationen der rotierenden Platte zu vermeiden.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 7 wiedergegeben.
Vorstehend genannte und weitere Zielsetzungen, Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden näheren Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung, in welcher gleiche oder ähnliche Teile bei allen Figuren mit denselben Bezugszeichen versehen sind. In der Zeichnung zeigt:
Figur 1 eine perspektivische Ansicht der Gesamtauslegungsform einer Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach der Erfindung,
Figur 2 eine Draufsicht auf einen Ring, welcher mit Ausnehmungen ausgebildet ist,
Figur 3 eine Schnittansicht entlang der Linie III - III in Figur 1 zur Verdeutlichung der Anbringungsweise einer Blattfeder,
Figuren 4 und 5 jeweils Seitenansichten zur Verdeutlichung der deformierten Zustände der Schneidmesser-Haltevorrichtung,
Figur 6 eine Schnittansicht einer weiteren bevorzugten Ausführungsform einer Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach der Erfindung,
Figur 7 eine Seitenansicht zur Verdeutlichung der Auslegung einer Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach dem Stand der Technik,
Figur 8 eine Draufsicht zur Verdeutlichung der Verlagerung einer Spannkopfanordnung, welche durch das Einspannen eines Schneidmessers verursacht wird, und
Figuren 9(A), (B) jeweils Seitenansichten zur Verdeutlichung der verlagerten Verhältnisse der Schneidmesser-Haltevorrichtung.
Zuerst unter Bezugnahme auf Figur 1 ist eine Gesamtauslegung einer Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante (eine Haltevorrichtung für eine Innenlochsäge) nach der Erfindung gezeigt, bei der das obere Ende einer Spindelwelle 10, welches mit einer Drehantriebsquelle (nicht gezeigt) verbunden ist, mit dem Mittelteil einer rotierenden Platte 2 verbunden ist. Die rotierende Platte 2 ist mit einer Spannkopfanordnung 14 mit Hilfe von vier Blattfedern 16, 16, 16, 16 (in Figur 1 sind nur drei von diesen zu sehen) verbunden, welche in Umfangsabständen von 90º voneinander angeorcdnet sind.
Auch umfaßt die Spannkopfanordnung 14 einen Spannring 20 und einen oberen Ring 22, welche miteinander mit Hilfe von Schrauben (nicht gezeigt) verbunden sind. In der Spannkopfanordnung 14 ist ein Schneidmesser bzw. ein Schneidblatt 32, welches nachstehend näher beschrieben wird, zwischen dem Spannring 20 und dem oberen Ring 22 angeordnet, und in diesem Zustand wird eine Schraube 30 (welche nachstehend näher beschrieben wird), angezogen, um das Schneidmesser 32 einzuspannen, welches mit einer Innenumfangsschneidkante 32A versehen ist.
In Figur 3 ist eine Schnittansicht entlang der Linie III - III in Figur 1 gezeigt, um eine Anordnung zur Anbringung der Blattfeder 16 zu verdeutlichen. Der Spannring 20 und der obere Ring 22 sind mit Hilfe von Auswerferstiften (nicht gezeigt) jeweils positioniert. Auch in der unteren Fläche des oberen Rings 22 ist eine ringförmige Ausnehmung 24 ausgebildet, in welcher ein Druckring 26, welcher einen im wesentlichen U-förmigen Querschnitt hat, lose auf eine in Vertikalrichtung bewegliche Weise eingesetzt ist. Andererseits ist auf der oberen Fläche des Spannrings 20 eine ringförmige Ausnehmung 25 ausgebildet, welche der vorstehend angegebenen ringförmigen Ausnehmung 24 zugeordnet ist. Die Ausnehmung 25 ist derart ausgebildet, daß das untere Teil des Druckrings 26 in die Ausnehmung 25 paßt. Ferner ist in der ringförmigen Ausnehmung 24 eine mit Gewinde versehene Öffnung 28 vorgesehen, welche von der oberen Fläche des oberen Rings 22 ausgeht, und in welche die Schraube 30 geschraubt ist. Wenn somit die Schraube 30 angezogen wird, wird der Druckring 26 nach unten in Richtung auf die ringförmige Ausnehmung 25 gedrückt, so daß dem Schneidmesser 32 eine Spannkraft erteilt werden kann, welche zwischen dem oberen Ring 22 und dem Spannring 20 angeordnet ist.
Auch ist die vorstehend angegebene Blattfeder 16 einteilig mit dem Spannring 20 ausgebildet. In anderen Worten ausgedrückt bedeutet dies, daß die Blattfeder 16 einteilig mit dem Spannring 20 ausgebildet ist und sich von dem unteren Teil des Spannringes 20 nach unten erstreckt, so daß der Teil der Blattfeder 16 ein federnd nachgiebiges Verhalten hat. Nunmehr erfolgt die Beschreibung einer Konstruktion zum Anbringen des unteren Endes der Blattfeder 16 in Verbindung mit Figur 3. Ein Ring 38, welcher an seiner Außenumfangskante mit vier Ausnehmungen 34 versehen ist, welche in Winkelabständen von 90º voneinander angeordnet sind, wie dies in Figur 2 gezeigt ist, ist fest an der oberen Fläche der rotierenden Platte 12 mit Hilfe von Schrauben (nicht gezeigt) angebracht. Das untere Basisteil 36 der Blattfeder 16 ist passend in die Ausnehmungen 34 des Rings 38 eingesetzt und es wird dann fest mit demselben mit Hilfe einer Schraube 40 verbunden. Wie vorstehend angegeben ist, sind die Blattfedern 16 in Winkelabständen von 90º voneinander angeordnet, und sie sind derart angeordnet, daß sie sich in Radialrichtung der rotierenden Platte 20 biegen können. Bevor die Spannkopfanordnung 14 angebracht wird, kann die Blattfeder 16 in radialer Richtung der rotierenden Platte 12 verformt werden.
Nunmehr erfolgt die Beschreibung der Arbeitsweise der bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung, welche die vorstehend beschriebene Auslegung hat. Wenn das Schneidmesser 32 mit der Innenumfangskante eingespannt und eingestellt wird, wird das Schneidmesser 32 mit der Innenumfangskante auf die obere Fläche des Spannrings 20 gelegt, welcher sich auf den vier Blattfedern 16, 16, 16, 16 befindet. Wenn in diesem Fall die beiden unterschiedlichen Richtungen des Schneidmessers 32 beispielsweise jeweils mit x und y bezeichnet sind, kann das Schneidmesser derart aufgelegt werden, daß die x- und y-Richtungslinien des Schneidmessers derart angeordnet sind, daß sie mit den Blattfedern 16, 16 übereinstimmen. Dann wird der obere Ring 22 über den Spannring 20 gelegt und fest mit dem Spannring 20 mit Hilfe von Schrauben verbunden, bei welchen es sich um an sich bekannte Mittel handelt, wobei das Schneidmesser 32 dazwischen gehalten ist. Gleichzeitig wird der Ring 20 mit Hilfe der Schneidmessereinstellschraube 30 angedrückt, so daß dem Schneidmesser 32 die gewünschte Stärke der Einspannung verliehen wird. Die Druckkräfte der Schraube 30 sind - wie zuvor beschrieben - in den x-, y-Richtungen des Schneidmessers 32 unterschiedlich. Wenn beispielsweise die Zugfestigkeit in x-Richtung größer als jene in y-Richtung ist, dann muß die Druckkraft der Schraube in x-Richtung größer als jene in der y-Richtung eingestellt werden. Als Folge hiervon wird die Spannung in x-Richtung größer als jene in y-Richtung, und die Reaktionskraft hiervon ist natürlich größer in x-Richtung, so daß auf die Spannkopfanordnung 14 eine Belastung einwirkt, wodurch der Durchmesser in x-Richtung der Spannkopfanordnung 14 kleiner als in der Durchmesser in y- Richtung werden kann. Wenn die Einspannbelastung größer als die Steifigkeit der Spannkopfanordnung 14 ist, dann wird die Spannkopfanordnung 14 auf eine solche Weise verlagert bzw. verschoben, daß der Durchmesser in x-Richtung kürzer ist (Figur 4), während der Durchmesser in y-Richtung hiervon länger ist (Figur 5). Diese Verschiebung hat Auswirkungen auf die Blattfedern 16. Die Blattfedern 16 sind nach den Figuren 4 und 5 derart angeordnet, daß sie in radialer Richtung der rotierenden Platte 12 verschiebbar sind, und somit werden die Federn 16 in Abhängigkeit von den vorstehend angegebenen Durchmesserverlagerungen der Spannkopfanordnung 14 verschoben. Aus diesem Grunde haben die Verlagerungen und die Belastungen, die aus der Einspannung des Schneidmessers 32 resultieren, wenig Einfluß auf die rotierende Platte 12 unabhängig von der Einspannungsstärke des Schneidmessers 32.
Auch trifft es zu, daß die Durchmesserverlagerung der Spannkopfanordnung 14 wie in der Beschreibung zum Stand der Technik angegeben ist, ebenfalls Auswirkungen auf die Höhe des Schneidmessers 32 hat. Nach der Erfindung wird aber die rotierende Platte 12 nicht verschoben, und daher entsteht keine Aufsummierung von Verschiebungen der rotierenden Platte 12, so daß die Verschiebung der Schneidmesserhöhe gleich dem Wert wird, welcher der Winkelverschiebung der Feder 16 entspricht. In Wirklichkeit läßt sich die Höhenverschiebung des Schneidmessers bis auf einige um genau einstellen. Dies bedeutet, daß der Verschiebungswert hinsichtlich der Höhe des Schneidmessers so klein ist, daß die Qualität eines bearbeiteten Materials nicht in Folge von Taumelbewegungen der Kante des Schneidmessers beeinträchtigt wird, wenn sich dieses dreht. Man kann sagen, daß dieses Ausmaß der Höhenverschiebung im wesentlichen keine Taumelbewegung bei der Schneidkante verursacht.
Ferner sind bei der vorstehend angegebenen Auslegungsform auf der rotierenden Platte 12 nur die Blattfedern 16 erhaben, so daß Abfallmaterialien, wie Schneidstaub, Schneidwasser und dergleichen, welche bei der Materialbearbeitung entstehen, wenn dieses mit dem Schneidmesser einer Schneidbearbeitung unterzogen wird, schnell aus den Zwischenräumen zwischen den Blattfedern 16 zur Außenseite hin ausgetragen werden können.
Wie sich aus der voranstehenden Beschreibung ergibt, kann nach der Erfindung beim Auftreten einer Verschiebung der Spannkopfanordnung in Durchmesserrichtung, welche aus den anisotropen Eigenschaften des Schneidmessers mit der Innenumfangsschneidkante resultiert, durch die Blattfedern ausgeglichen bzw. absorbiert werden, und sie wird nicht auf die rotierende Platte übertragen, so daß die rotierende Platte sich nicht in Folge der Einspannung und dem Strecken des Schneidmessers verschieben kann. Als Folge hiervon lassen sich die Höhenverschiebungen des Schneidmessers mit einer Innenumfangsschneidkante eliminieren, d. h. es lassen sich die ausbauchungsähnlichen ungleichförmigen Gestaltsformen der Schneidmesserfläche in Folge der Verschiebungen der rotierenden Platte wie bei den üblichen Vorrichtungen eliminieren, und es läßt sich auch eine Taumelbewegung der Schneidkante in Folge der Schneidmesserhöhenverschiebung vermeiden.
Ferner sind bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform der Spannring 20 und die Blattfeder 16 einteilig miteinander ausgelegt. Wie in Figur 6 gezeigt, können jedoch die Blattfeder 16 und der Spannring 20 gesondert voneinander ausgelegt sein, und die Blattfeder 16 kann dann an dem Spannring 20 mit Hilfe von Schrauben 50 oder dergleichen angebracht werden. Bei der weiteren in Figur 6 gezeigten bevorzugten Ausführungsform sind Ausnehmungen 52 in Winkelabständen von 90º auf der oberen Fläche der rotierenden Platte 12 wie bei dem in Figur 2 gezeigten Ring 38 ausgebildet. Der untere Endbasisabschnitt 36 der Blattfeder 16 paßt in die Ausnehmung 52 mit Hilfe eines Urethankautschukteils 54.
Bei den vorstehend angegebenen bevorzugten Ausführungsformen erfolgte die Beschreibung unter der Annahme, daß sich die Anzahl der Blattfedern auf vier beläuft. Die Erfindung ist jedoch hierauf nicht beschränkt. Somit ist die Anzahl der Blattfedern nicht auf vier beschränkt, vorausgesetzt daß die Verschiebung der Spannkopfanordnung nicht auf die rotierende Platte übertragen wird.

Claims

1. Haltevorrichtung (H) für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante, welche aufweist:

eine rotierende Platte (12), welche fest an einer Spindelwelle (10) angebracht ist;

eine Spannkopfanordnung (10), welche an der rotierenden Platte (12) gelagert ist; und

ein Schneidmesser (32) mit einer Innenumfangsschneidkante, welches durch die Spannkopfanordnung (14) gespannt und gehalten ist,

gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von Federteilen (16) zur Aufnahme von Deformationen der Kopfanordnung (14), wobei diese Teile (16) an der rotierenden Platte (12) in regelmäßigen Abständen voneinander in Umfangsrichtung der Richtung der rotierenden Platte (12) liegen sowie derart angeordnet sind, daß sie den anisotropen Eigenschaften des Schneidmessers (32) mit der Innenumfangsschneidkante zugeordnet sind und jeweils in radialer Richtung der rotierenden Platte (12) verschiebbar sind, wodurch die Spannkopfanordnung (14) durch die Federteile (16) auf der rotierenden Platte (12) gelagert ist.

2. Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach Anspruch 1, bei der die Federteile Blattfedern (16) sind.

3. Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach Anspruch 2, bei der die Blattfedern (16) in Abständen von 90º voneinander angeordnet sind.

4. Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach Anspruch 3, bei der die Spannkopfanordnung (14) einen Spannring (20) und einen oberen Ring (22) aufweist, und bei der das Schneidmesser (32) mit der Innenumfangsschneidkante durch den Spannring und den oberen Ring (20, 22) gespannt und gehalten ist.

5. Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach Anspruch 3, bei der jede Blattfeder (16) einteilig mit dem Spannring (20) ausgelegt ist und von der unteren Fläche des Spannringes (20) nach unten hängt.

6. Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach Anspruch 5, bei der auf der rotierenden Platte (12) ein Ring (38) mit Ausnehmungen (34) fest angebracht ist, der in seinem Außenumfang mit der gleichen Anzahl von Ausnehmungen wie der Anzahl der Blattfedern (16) versehen ist, und bei der die unteren Endabschnitte der Blattfedern (16) jeweils passend in die Ausnehmungen (34) eingesetzt und in den Ausnehmungen (34) mittels Schrauben (40) festgehalten sind.

7. Haltevorrichtung für ein Schneidmesser mit einer Innenumfangsschneidkante nach Anspruch 3, bei der das obere Ende jeder Blattfeder (16) mit dem Spannring (20) mittels einer Schraube (30) verbunden ist, während das untere Ende derselben mit der rotierenden Platte (12) mittels einer Schraube verbunden ist.