DE3809182A1

DE3809182A1 - Optisches bauelement

Info

Publication number: DE3809182A1
Application number: DE3809182A
Authority: DE
Inventors: Shigeki Tsuchitani; Kazuji Yamada
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1987-03-19
Filing date: 1988-03-18
Publication date: 1988-09-29
Anticipated expiration: 2008-03-19
Also published as: US4896930A; KR880011611A; JP2582066B2; KR960012166B1; DE3809182C2; JPS63229433A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches funktio nelles Bauelement des Wellenleitertyps, insbesondere ein solches Element, das ein organisches nichtlineares optisches Material enthält und zur Anwendung in der optischen Kommuni kationstechnik oder der optischen Informationsverarbeitung geeignet ist.

Es hat sich bei experimentellen und theoretischen Forschun gen herausgestellt, daß organische Verbindungen mit nicht lokalisierten Pi-Elektronen ein extrem großes nichtlineares optisches Ansprechverhalten zeigen. Insbesondere für nicht lineare optische Konstanten der zweiten Ordnung wurden viele Verbindungen auf molekularer Ebene gefunden, die eine nicht lineare optische Konstante haben, die wesentlich größer ist als die der bekannten anorganischen Kristalle wie LiNbO₃ oder dergleichen, und es wurden Untersuchungen angestellt, diese Verbindungen zu kristallisieren.

Solche organischen nichtlinearen optischen Kristalle er wecken als neue Materialien für die Anwendung bei der opti schen Modulation, der optischen Frequenzmodulation, der optischen Bistabilität, der phasenkonjugierten Optik usw. viele Hoffnungen, und es wurden daher schon einige Methoden für den Einbau solcher Kristalle in Bauelemente vorgeschla gen. So wurde bereits die Aufmerksamkeit auf Einmoden-Wel lenleiter als auch auf konventionelle Multimoden-Wellen leiter als optisch funktionelle Bauelemente des Wellenlei tertyps gelenkt. Diese Vorschläge führten jedoch nur zur Schaffung von Multimoden-Wellenleitern, wie es in Optical Communications, 50, 154 (1984) oder der ACS-Symposium-Reihe 233, 153 (1983) beschrieben ist, wobei ein Kanal mit einer Breite von etwa 100 µm auf einem Substrat mit geschmolzenem nichtlinearen optischen Material gefüllt wird oder wobei das geschmolzene Material durch Kapillarwirkung in eine hohle Lichtleitfaser mit einem Innendurchmesser von 2-10 µm eingeführt wird.

Andererseits werden optische funktionelle Bauelemente in vielen Fällen aus einem Einmoden-Wellenleiter mit kleinem Kerndurchmesser und Elektroden zur Steuerung des durchge leiteten Lichts durch elektrooptische, akustooptische oder ähnliche Effekte gebildet.

Außerdem ist bei der bekannten Vorrichtung sehr schwierig, den Kanal, der eine vorgeschriebene Tiefe und Breite hat, mit dem geschmolzenen nichtlinearen optischen Material zu füllen, da die Abmessungen des Kanals nur wenige Mikrometer betragen.

Bei der Füllung der hohlen Lichtleitfaser mit dem geschmol zenen nichtlinearen optischen Material ist es schwierig, einen einheitlichen Aufbau mit Elektroden oder anderen optischen Teilen zu verwirklichen, das heißt, eine optische Integration zu erreichen.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein optisches funktionelles Bauelement zu schaffen, das als Wellenleiter ein organisches nichtlineares optisches Material aufweist, das in die Ober fläche eines Substrates mit vorgegebener Beschaffenheit eingebettet ist, wobei das organische nichtlineare optische Material in einen hohlen Abschnitt eingefüllt ist, der sich aus einem Kanal in der Form eines Schlitzes an der Ober fläche des erwähnten Substrates und einem weiteren Substrat zur Abdeckung des oberen Teiles des Kanales zusammensetzt.

Erfindungsgemäß werden daher die vorstehenden Schwierig keiten beseitigt und ein optisches funktionelles Bauelement des Wellenleitertyps mit einem organischen nichtlinearen optischen Material geschaffen, das leicht hergestellt und ebenso leicht mit anderen Bauteilen integriert werden kann.

Erfindungsgemäß kann auch ein Einmoden-Wellenleiter durch Kapillarwirkung oder durch Vakuum-Ansaugung hergestellt werden, da das Bauteil einen Hohlraum in der Form einer feinen Röhre aufweist. Das Bauelement befindet sich außerdem auf einem Substrat, so daß Elektroden oder andere funk tionelle Teile über das Substrat leicht damit verbunden werden können.

Das Einbringen des organischen nichtlinearen optischen Ma terials ist bei dem erfindungsgemäßen Bauelement einfach, so daß ein optischer Wellenleiter mit diesem Material leicht ausgebildet werden kann. Das erfindungsgemäße Bauelement kann wesentlich kleiner gemacht werden als die Bauelemente mit herkömmlichem anorganischem Material als Wellenleiter, so daß es mit geringerer Spannung betrieben werden kann und ein sehr schnelles Ansprechverhalten zeigt.

Ausführungsbeispiele des optischen funktionellen Bauelemen tes werden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines ersten Aus führungsbeispieles des optischen Bauelementes;

Fig. 2 einen Längsschnitt und

Fig. 3 einen Querschnitt durch die erste Ausführungsform;

Fig. 4 und 5 schematische Darstellungen zweier Arten von optischen funktionellen Bauelementen;

Fig. 6 und 7 Schnittansichten eines zweiten bzw. dritten Ausführungsbeispieles des Bauelementes; und die

Fig. 8, 9 und 10 Darstellungen weiterer Ausführungsbeispiele des Bauelementes.

Die Fig. 1 zeigt eine Realisierung des optischen Bauelemen tes als Phasenmodulator, der ein Grundbeispiel für ein optisches funktionelles Bauelement ist. Das Bezugszeichen 1 bezeichnet dabei ein Silizium-Substrat, 2 eine Pyrex-Glas platte, 3 einen Wellenleiter mit einem organischen nicht linearen optischen Material, 4 eine Elektrode und 5 eine Lichtleitfaser.

An der Oberfläche des Substrates 1 ist eine Nut oder ein Kanal ausgebildet, die bzw. der dafür vorgesehen ist, mit einem organischen nichtlinearen optischen Material gefüllt zu werden. Der Kanal hat eine vorgegebene Breite und Tiefe, die für die Übertragung einer Einheitsmode erforderlich ist.

Auf die Oberfläche des Substrates 1, an der der Kanal ausge bildet ist, ist die Glasplatte 2 so aufgeklebt, daß sie den Kanal abdeckt, wodurch der erwähnte Kanal einen Hohlraum in der Form einer feinen Röhre bildet. In den Hohlraum wird mittels Kapillarwirkung oder Vakuum-Ansaugung ein orga nisches nichtlineares optisches Material eingebracht, wo durch der Wellenleiter 3 mit organischem nichtlinearen opti schen Material ausgebildet wird.

Es ist in diesem Fall erforderlich, daß die Brechungsindizes an der Oberfläche des Kanals im Substrat und an der den oberen Teil des Kanals abdeckenden Fläche kleiner sind als der Brechungsindex des eingefüllten organischen nichtline aren optischen Materials, um das Substrat als optisches Zwischenmedium des optischen Wellenleiters verwenden zu können.

Als Substrat kann neben Silizium eine Glasplatte, eine Platte, an deren Oberfläche Glas aufgebracht wurde, oder dergleichen verwendet werden. Der Brechungsindex einer Glas platte bzw. einer Platte, an deren Oberfläche Glas auf gebracht ist, ist kleiner als der eines organischen nicht linearen optischen Materials. Eine Siliziumplatte hat jedoch normalerweise einen größeren Brechungsindex, und es ist da her erforderlich, die Oberfläche des Kanals oder die den Kanal abdeckende Fläche einer thermischen Oxidation zu unterwerfen, um eine optische Zwischenschicht auszubilden. Die entsprechenden Brechungsindizes (n) sind im allgemeinen wie folgt:

Bei Silizium ist n etwa 3,75; bei thermisch oxidiertem Silizium (SiO₂) ist (bei einer Wellenlänge von 0,6328 µm) n = 1,460; bei einer Pyrex-Glasplatte ist (bei der Wellen länge 0,6328 µm) n = 1,472; und organisches nichtlineares optisches Material hat ein n von 1,5 bis 2,5.

Der Kern der Lichtleitfaser 5 ist mit den Enden des Wellen leiters 3 verbunden. Dazu ist auf dem Substrat 1 durch Ätzen in der Verlängerung der Achse des Wellenleiters 3 eine V-förmige Nut ausgebildet, die die Lichtleitfaser 5 auf nimmt.

Auf der Oberfläche des Substrates 1 ist ein Paar von Elek troden 4 ausgeformt, zwischen denen der Wellenleiter 3 angeordnet ist. Eine genaue Beschreibung dieser Anordnung folgt später. Wenn an die Elektroden 4 eine Spannung ange legt und im Wellenleiter 3 ein elektrisches Feld erzeugt wird, ändert sich der Brechungsindex des Wellenleiters 3 durch den elektrooptischen Effekt erster Ordnung (Pockels- Effekt), so daß eine Phasenmodulation des Lichts erfolgt, das durch den Wellenleiter 3 läuft, der dadurch als opti scher Modulator wirkt.

Die Fig. 2 zeigt den Aufbau des Bauelementes in einem Schnitt längs des Wellenleiters 3, und die Fig. 3 den Aufbau in einem Schnitt senkrecht zum Wellenleiter 3.

Wie in der Fig. 3 gezeigt, ist das Silizium-Substrat 1 vom p-Typ, und eine benötigte elektronische Schaltung oder andere Bauteile können vorhergehend darauf ausgebildet werden. In diesem Fall ist zur Isolation des Substrates von solchen Zusatzelementen ein Bereich 8 vom n-Typ auf dem Substrat 1 mit der p-Typ-Schicht 9 aufgebracht, und im Bereich 8 befinden sich p⁺-Schichten 7, die einen Abschnitt bilden, der als Elektrode 4 wirkt.

Dann wird ein Kanal mit einer Breite von 1 µm, einer Tiefe von 1 µm und einer Länge von 1 mm, das heißt ein ent sprechendes Raster an der Seite des Substrates 1 vorgesehen, auf der durch reaktives Sputter-Ätzen ein Kanal ausgeformt werden soll. Die V-förmige Nut zur Aufnahme der Lichtleit faser wird durch alkalisches Ätzen mit Kaliumhydroxid oder dergleichen erzeugt.

Silizium hat einen großen Brechungsindex, daher kann der Wellenleiter 3 nicht direkt auf dem Silizium ausgebildet werden. Die Oberfläche des Silizium-Substrates 1 wird deshalb thermisch oxidiert, um eine SiO₂-Schicht 6 auf wachsen zu lassen, die als optische Zwischenschicht dient. Die thermische Oxidation wird bei einer Temperatur von 1000 bis 1200°C in trockener Reinsauerstoff-Atmosphäre (trockene Oxidation) oder in Dampfatmosphäre (nasse Oxidation) ausge führt. Die zur Oxidation erforderliche Zeit hängt von der Atmosphäre ab, wobei die nasse Oxidation schneller vor sich geht als die trockene Oxidation. Durch die Oxidation wird eine SiO₂-Zwischenschicht mit einem Brechungsindex erzeugt, der kleiner ist als der von Silizium. Es reicht dabei aus, wenn sich die Zwischenschicht nur in dem Kanal befindet, der für den Wellenleiter 3 vorgesehen ist, so daß die SiO₂- Schicht an den anderen Stellen durch Ätzen oder dergleichen entfernt werden kann.

Dann wird die Oberfläche des Silizium-Substrates 1, an der sich der Kanal befindet, mit der Pyrex-Glasplatte 2 oder einem Substrat, an dessen Oberfläche Pyrex-Glas abgeschieden ist, abgedeckt und durch eine anodische Verbindung des Sili ziums und des Pyrex-Glases befestigt, so daß durch den er wähnten Kanal eine hohle Röhre entsteht. Dann wird ein geschmolzenes organisches nichtlineares optisches Material durch Kapillarwirkung oder Vakuum-Ansaugung in die Röhre eingebracht.

Wenn als organisches nichtlineares optisches Material 2-Methyl-4-Nitroamin (MNA) verwendet wird, kann es bei einer Temperatur eingefüllt werden, die entsprechend dem Schmelzpunkt von MNA etwas größer ist als 131°C, jedoch noch keine Zersetzung des MNA verursacht.

Als organisches nichtlineares optisches Material kann auch m-Nitroanilin (m-NA, Urea, 3-Methyl-4-Nitropyridinoxid (POM) oder p-Nitroanilin (p-NA) Verwendung finden.

Das in den Kanal eingefüllte organische nichtlineare opti sche Material (z.B. MNA) wird dann auf Raumtemperatur abge kühlt. Das Material bildet jedoch dabei normalerweise eine feinkristalline, ungeordnete Struktur aus. Deshalb wird das Material mit einer bestimmten geringen Geschwindigkeit durch einen Ofen mit einem geeigneten Temperaturgradienten ge führt, um sicherzustellen, daß es in einen großen Einkri stall rekristallisiert und somit als Wellenleiter verwendet werden kann.

In der Fig. 2 bezeichnet das Bezugszeichen 5′ die Umhüllung der Lichtleitfaser 5 und das Bezugszeichen 5′′ den Kern davon.

Auf der Oberfläche der p⁺-Schicht 7 ist ein Elektrodenan schluß 10 aus Aluminium oder dergleichen vorgesehen.

Mit dieser Ausführungsform kann ein Wellenleiter aus organischem nichtlinearen optischen Material mit exakten Abmessungen einfach hergestellt werden.

Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird als Substrat 1 ein Silizium-Substrat verwendet, so daß ein Einmoden-Wel lenleiter mit einem organischen nichtlinearen optischen Material und die Elektroden oder andere Bauelemente leicht auf demselben Substrat ausgebildet werden können.

Als erstes Ausführungsbeispiel wurde ein Phasenmodulator beschrieben. Eine solche zusammengesetzte bzw. abgedeckte Ausführung eines Wellenleiters kann jedoch auch als Modu lator des Abzweigungs-Interferenz-Typs oder des Brückentyps usw. Verwendung finden.

Es ist auch möglich, an Stelle der Elektroden eine Heiz vorrichtung vorzusehen, um die Phase durch Steuerung der Temperatur einzustellen, so daß eine Harmonische höherer Ordnung erzeugt werden kann. Es kann mit anderen Worten mit dieser Ausführungsform ein optisches Frequenzwandler-Element erhalten werden.

Es kann auch ein Innen-Totalreflektionsschalter wie in der Fig. 4 oder ein Abzweigungsschalter wie in der Fig. 5 erhal ten werden. Solche Bauelemente erfordern jedoch Bereiche zwischen dem Wellenleiter und den Elektroden, die sich überschneiden, weshalb es schwierig ist, diese Bauelemente mit dem oben geschilderten zusammengesetzten Aufbau herzu stellen.

Es wird daher anhand der Fig. 6 und 7 ein Beispiel gezeigt, das für diesen Fall besser geeignet ist.

Bei dem in der Fig. 6 gezeigten Ausführungsbeispiel wird ein isolierendes Substrat 11 geeigneter Art verwendet. Auf der Oberfläche des Substrates 11 sind Elektroden 4 ausgebildet, auf denen eine SiO₂-Schicht 6′ als optische Zwischenschicht vorgesehen ist. Darauf ist durch ein CVD-Verfahren eine Si liziumschicht 12 in einer Dicke abgeschieden, die der Tiefe des Wellenleiters entspricht, womit der Kanal für den Wel lenleiter erzeugt wird. An der Innenfläche des Kanals wird durch thermische Oxidation eine SiO₂-Schicht als optische Zwischenschicht erzeugt. Dann wird auf die Siliziumschicht 12 eine Pyrex-Glasplatte 2 mittels einer anodischen Verbin dung zur Ausbildung eines hohlen Abschnittes aufgebracht. Schließlich wird in den hohlen Abschnitt ein geschmolzenes organisches nichtlineares optisches Material eingefüllt, das dann verfestigt und zur Bildung eines Wellenleiters in die Form eines Einkristalles gebracht wird.

Bei dem in der Fig. 7 gezeigten Beispiel wird als Substrat 1 ein Silizium-Substrat mit der p-Typ-Schicht 9, dem n-Typ-Bereich 8 und der p⁺-Schicht 7 ähnlich wie bei der Ausführung der Fig. 3 verwendet. Auf dem Substrat ist ein Kanal mit der SiO₂-Schicht 6 und der Elektrodenanschluß 10 vorgesehen. Auf einem weiteren, vom Substrat 1 getrennten isolierenden Substrat 13 sind Elektroden 14 und eine Pyrex Glasschicht 2 angebracht, die durch Abscheidung erzeugt wurde und als Haftschicht für eine optische Zwischenschicht und das Silizium dient. Die beiden Substrate 1 und 13 werden durch eine anodische Verbindung miteinander verbunden, um den hohlen Abschnitt zu bilden, in den zur Bildung des Wellenleiters 3 ein organisches nichtlineares optisches Material eingefüllt wird.

Es reicht aus, daß die Elektrodenanschlüsse 10 auf dem Substrat 1 und die Elektroden 14 auf dem Substrat 13 miteinander durch Lot 15 verbunden werden.

Bei den Ausführungsbeispielen der Fig. 6 und 7 überschneiden sich somit die optischen Wellenleiter und die Elektroden. Es ist daher möglich, den Innen-Totalreflektions-Schalter der Fig. 4 oder den Abzweigungsschalter der Fig. 5 auf diese Art auszubilden. Es kann daher eine Integration eines optischen Einmoden-Wellenleiters mit einem organischen nichtlinearen optischen Material mit Elektroden und anderen elektronischen Schaltungselementen zum Aufbau eines optischen funktionellen Bauteiles erfolgen.

Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen wurde der hohle Abschnitt für den optischen Wellenleiter durch Laminieren und Aufeinanderkleben zweier Substrate erzeugt. Im folgenden werden Ausführungsbeispiele beschrieben, bei denen der hohle Abschnitt durch eine Reihe von Halbleiter-Prozeßschritten und nicht durch Verbinden mehrerer Teile erhalten wird.

Die Fig. 8 zeigt, wie eine Reihe von Prozeßschritten aus geführt wird, um ein Substrat herzustellen, das einen hohlen Abschnitt enthält, der zur Ausbildung eines optischen Wel lenleiters durch Einbringen eines organischen nichtlinearen optischen Materials vorgesehen ist. Dabei wird wie in der Fig. 8A gezeigt zuerst das Silizium-Substrat 1 vorbereitet und es werden die Elektroden 4 und andere erforderliche Schaltungselemente an dessen Oberfläche ausgebildet. Gemäß Fig. 8B wird dann eine SiO₂-Schicht 6 durch CVD oder ther mische Oxidation aufgebracht und darin an vorbestimmter Stelle eine Öffnung mit einer Breite erzeugt, die geringer ist als die des herzustellenden optischen Wellenleiters.

Wie in der Fig. 8C gezeigt, wird das Substrat 1 dann einer isotropen Ätzung mit der SiO₂-Schicht 6, in der sich die Öffnung befindet, als Maske durchgeführt. Dabei erfolgt eine Ätzung des Substrates 1 nicht nur in die Tiefe, sondern auch in die Breite, wodurch ein Kanal mit einer Breite entsteht, die größer ist als die der Öffnung in der SiO₂-Schicht 6.

Dann wird das Substrat 1 gemäß Fig. 8D zur Erzeugung einer SiO₂-Schicht 6′ thermisch oxidiert und nach Fig. 8E mit einer SOG-Schicht 16 versehen (SOG für "Spin-on-Glass"; ein Material aus Glaspulver und einer organischen Masse, die beim Einbrennen bei 450°C für 30-60 Minuten eine glas ähnliche Substanz bildet; der Brechungsindex nach dem Aus härten ist etwa 1,5 bis 2) und bei einer vorgegebenen Tem peratur von mehreren 100°C ausgehärtet. Die SOG-Schicht 16 kann so ausgebildet werden, daß sie die Öffnung in der SiO₂-Schicht 6 verschließt, jedoch nicht in die Öffnung bzw. den hohlen Abschnitt eindringt. Im Ergebnis ist der im Substrat 1 ausgebildete hohle Abschnitt mit der SOG-Schicht 16 abgedeckt und bildet den Kanal.

Dann kann durch Einbringen eines organischen nichtlinearen optischen Materials im geschmolzenen Zustand durch Kapillar wirkung oder Vakuum-Ansaugung in den hohlen Abschnitt bzw. Kanal der optische Wellenleiter hergestellt werden.

Die Fig. 9 zeigt ein weiteres Beispiel eines optischen Bauelementes, bei dem ein Paar von n⁺-Elektroden auf dem Silizium-Substrat 1 ausgebildet ist und wobei der Kanal, der zur Aufnahme eines organischen nichtlinearen optischen Materials und zum Halten einer Lichtleitfaser vorgesehen ist, auf dem Substrat 1 durch Ätzen hergestellt wird. Die Oberfläche des Silizium-Substrates 1, auf der sich der Kanal befindet, ist durch ein weiteres Silizium-Substrat 1′ abge deckt, das am ersten Substrat anbracht ist. Eine gute Ver bindung der Substrate 1, 1′ wird durch große Reinheit, d.h. durch gründliches Spülen zur Vermeidung der Kontamination mit Staub oder dergleichen, Aktivieren und Zusammenkleben der polierten Flächen der Siliziumplättchen erreicht. Die zusammengeklebten Substrate werden bei einer Temperatur von 1000°C oder mehr zur vollständigen Integration getempert. Wenn das so gebildete Laminat aus den Silizium-Substraten 1, 1′ einer thermischen Oxidation unterworfen wird, oxidieren die Seitenflächen des Kanals unter Bildung einer SiO₂- Schicht 6′.

Die Fig. 10 zeigt noch ein Beispiel für ein optisches Bau element, bei dem der Kanal durch Ätzen auf einer Pyrex- Glasplatte 2 ausgebildet wird und wobei ein Paar von n⁺-Elektroden getrennt auf einem Silizium-Substrat 1 ange ordnet sind. Die Oberfläche der Pyrex-Glasplatte 2 mit dem Kanal ist mit der Fläche des Silizium-Substrates 1 bedeckt, an der die n⁺-Elektroden angeordnet sind, und diese Flächen sind durch anodisches Verbinden zusammengefügt. Nach dem Zusammenfügen wird eine thermische Oxidation ausgeführt, so daß die Fläche des Silizium-Substrates 1, die den Kanal abdeckt, unter Bildung einer SiO₂-Schicht 6′ oxidiert wird.

Claims

1. Optisches funktionelles Bauelement mit einem organischen nichtlinearen optischen Material als optischen Wellenleiter (3), der in die Oberfläche eines ersten Substrates (1; 2) vorgegebener Beschaffenheit eingebettet ist, dadurch ge kennzeichnet, daß das organische nichtlineare optische Material in einen hohlen Abschnitt des Bauelementes eingebracht ist, wobei der hohle Abschnitt von einem Kanal, der in der Form eines Schlitzes in der Oberfläche des ersten Substrates (1; 2) vorgesehen ist, und von einem zweiten Sub strat (2; 1; 1′) zur Abdeckung des oberen Teiles des Kanales gebildet ist.

2. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Brechungsindizes an der Oberfläches des Kanals und der Oberfläche des den oberen Teil des Kanales abdeckenden zweiten Substrates kleiner sind als der Brechungsindex des eingefüllten organischen nichtlinearen optischen Materials.

3. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Substrat (1), in dem der Kanal ausgebildet ist aus Silizium besteht und die Oberfläche des Kanals thermisch oxidiert ist, und daß das zweite Substrat (2), das den oberen Teil des Kanales abdeckt, eine Glasplatte oder ein Substrat ist, an dessen Oberfläche Glas abgeschieden ist.

4. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Substrat (1), auf dem der Kanal ausgebildet ist, und das den oberen Teil des Kanals abdeckende zweite Sub strat (1′) aus Silizium besteht, und daß die den Kanal bil denden Flächen und die den Kanal abdeckende Fläche thermisch oxidiert sind.

5. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Substrat (2), auf dem der Kanal ausgebildet ist, eine Glasplatte ist, daß das zweite Substrat (1), das den oberen Teil des Kanals abdeckt, aus Silizium besteht, und daß die den oberen Teil des Kanals abdeckende Fläche ther misch oxidiert ist.

6. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der hohle Abschnitt durch Laminieren und Verkleben einer Platte (2) mit der Oberfläche des ersten Substrates (1) gebildet ist.

7. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der hohle Abschnitt durch Aufschmelzen eines Teiles auf die Oberfläche des ersten Substrates (1) ausgebildet ist.

8. Optisches funktionelles Bauelement mit einem organischen nichtlinearen optischen Material als optischen Wellenleiter (3), der in die Oberfläche eines ersten Substrates (1) mit vorgegebener Beschaffenheit eingebettet ist, dadurch ge kennzeichnet, daß das organische nichtlineare optische Material in einen hohlen Abschnitt eingebracht ist, der aus einem Kanal, der in der Form eines Schlitzes an der Oberfläche des ersten Substrates (1) vorgesehen ist, einem zweiten Substrat (6), das den oberen Teil des Kanals abdeckt und eine Öffnung in dessen Mittenbereich hat, und einer Sub stanz (16) besteht, die die Öffnung in dem zweiten Substrat (6) verschließt.

9. Bauelement nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Substrat (1), in dem der Kanal ausgebildet ist, aus Silizium besteht, wobei, die Oberflächen des Kanals thermisch oxidiert sind, daß das zweite Substrat (6), das den Kanal abdeckt und eine Öffnung in dessen Mittenbereich hat, thermisch oxidiertes Silizium ist, und daß die Substanz (16), die die Öffnung in dem zweiten Substrat verschließt, eine aufgebrachte SOG-Glas-Schicht ist.