DE3719328C2 - - Google Patents

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DE3719328C2
DE3719328C2 DE3719328A DE3719328A DE3719328C2 DE 3719328 C2 DE3719328 C2 DE 3719328C2 DE 3719328 A DE3719328 A DE 3719328A DE 3719328 A DE3719328 A DE 3719328A DE 3719328 C2 DE3719328 C2 DE 3719328C2
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Terumoto Nonaka
Katsuyuki Yokoi
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Description

Die Erfindung betrifft einen magnetoresitiven Sensor für einen Kodierer gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 oder Anspruchs 2.
Der magnetoresistive Sensor erkennt die relative Verschiebung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums dadurch, daß zwei magnetoresistive Elemente jeweils ihre inherenten Widerstände in Abhängigkeit einer Veränderung der Intensität des magnetischen Feldes verändern, das durch das magnetische Aufzeichnungsmedium während der relativen Verschiebung erzeugt wird.
Im allgemeinen weist ein Drehkodierer ein scheibenförmiges magnetisches Aufzeichnungsmedium und einen magnetoresistiven Sensor auf, der für die relative Verschiebung dem magnetischen Aufzeichnungsmedium zugewandt angeordnet ist.
Ein Sinussignal mit einer Wellenlänge λ ist längs des äußeren Randes des magnetischen Aufzeichnungsmediums magnetisiert, um ein magnetisiertes Muster zu bilden. Der magnetoresistive Sensor umfaßt ein Glassubstrat und zwei magnetoresistive Elemente, die auf dem Glassubstrat durch Vakuumaufdampfen aufgebracht sind. Jedes magnetoresistive Element ist aus einem Material hergestellt, das, wenn es in das magnetische Feld gebracht wird, seinen inherenten Widerstand ändert in Abhängigkeit einer Veränderung der Intensität des magnetischen Feldes. Während der relativen Verschiebung zwischen dem magnetischen Aufzeichnungsmedium und dem magnetoresistiven Sensor wird das magnetisierte Muster auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium durch den magnetoresistiven Sensor ausgelesen, um die Größe und die Richtung der relativen Verschiebung zu ermitteln.
Die beiden magnetoresistiven Elemente sind nebeneinander in der Richtung der relativen Verschiebung angeordnet. Ein magnetoresistives Element ist dazu geeignet, eine Sinuswellenkomponente des magnetisierten Musters zu erkennen, und das andere dient zur Erkennung einer Kosinuswellenkomponente des magnetisierten Musters. Das die Sinuswelle erkennende magnetoresistive Element umfaßt eine Anzahl von Erkennungsteilen, die nebeneinander in der Richtung der relativen Verschiebung angeordnet sind, und zwischen benachbarten Erkennungsteilen ist ein Verbindungsteil angeordnet. Das die Kosinuswelle erkennende magnetoresistive Element hat im wesentlichen denselben Aufbau. Die Ausgangssignale, die von den die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennende magnetoresistiven Elementen abgegeben werden, haben einen Phasenversatz von λ/4.
Der Abstand zwischen den Mitteln der die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente in Längsrichtung wird derart festgelegt, daß er etwa 1 mm beträgt, was 8 λ entspricht. Obwohl dieser Abstand sehr klein ist, macht es das Vorhandensein von physikalischen Veränderungen auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium unmöglich, daß Ausgangssignale mit einer hohen Genauigkeit für die Erkennung ausgegeben werden.
Aus der DE-A-29 43 369 ist ein Magnetwiderstand-Verschiebungsfühler der eingangs genannten Art bekannt. Bei einem derartigen Sensor, bei dem eine Sinuswelle und eine Kosinuswelle erkennende magnetoresistive Elemente nebeneinander in der Richtung der relativen Verschiebung angeordnet sind, weisen die Ausgangssignale Sinus und Kosinus entgegengesetzte Phasenwelligkeiten auf. Das Vorhandensein derartiger Welligkeiten von entgegengesetzter Phase führt zu einem Pegelabstand zwischen den Ausgangssignalen, wenn diese Ausgangssignale einem Wellenformerkennungsschaltkreis zugeführt werden und in ein zweiwertiges Signal mit einem H- oder L-Pegel durch Vergleich mit einem vorgegebenen Schwellenwert für eine digitale Datenverarbeitung umgesetzt werden, enthält das zweiwertige Signal Impulse unterschiedlicher Breite, wodurch Erkennungsfehler verursacht werden.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Erkennungsfehler durch Anpassen der Phasen der Welligkeiten in den von den magnetoresistiven Elementen in dem magnetoresistiven Sensor abgegebenen Ausgangssignalen selbst dann möglichst klein zu machen, wenn irgendwelche physikalischen Veränderungen an dem magnetischen Aufzeichnungsmedium vorhanden sind, das von dem magnetoresistiven Sensor untersucht werden soll.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 bzw. des Patentanspruchs 2 angegebenen Merkmale gelöst.
Bei dem erfindungsgemäßen Sensor sind eine Sinuswelle und eine Kosinuswelle erkennende Elemente eines magnetoresistiven Sensors, der einem magnetischen Aufzeichnungsmedium zugewandt angeordnet ist, einander mit einem vorgegebenen räumlichen Versatz in der Richtung der relativen Verschiebung zwischen dem magnetischen Aufzeichnungsmedium und dem magnetoresistiven Sensor überlappend angeordnet. Die Ausgangssignale, die von den die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elementen abgegeben werden, haben eine Phasendifferenz von λ/4. Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung des Sensors in bezug auf die Anordnung der Erkennungsteile und die Anordnung der elektrischen Anschlüsse in der Anordnung der Erkennungsteile wird erreicht, daß Erkennungsfehler in hohem Maße vermindert werden können, weil die Phasenwelligkeit der Ausgangssignale parallel laufen.
Ausführungsformen des magnetoresistiven Sensors gemäß der Erfindung werden im folgenden anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1a eine vereinfachte Draufsicht einer ersten Ausführungsform des magnetoresistiven Sensors gemäß der Erfindung, wobei einige Teile weggelassen sind,
Fig. 1b ein Schnittbild längs der Linie 1B-1B in Fig. 1a,
Fig. 1c ein vergrößertes Schnittbild eines Teils des in Fig. 1b gezeigten Aufbaus;
Fig. 2a eine vereinfachte Draufsicht einer zweiten Ausführungsform des magnetoresistiven Sensors gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei einige Teile weggelassen sind,
Fig. 2b ein Schnittbild längs der Linie 11B-11B in Fig. 2a;
Fig. 3 eine grafische Darstellung zum Veranschaulichen des Zustands von Ausgangssignalwelligkeiten, wenn eine Erkennung durch den magnetoresistiven Sensor gemäß der vorliegenden Erfindung durchgeführt wird;
Fig. 4 eine grafische Darstellung zum Veranschaulichen des Zustands von Ausgangssignalwelligkeiten, wenn die Erkennung durch einen herkömmlichen magnetoresistiven Sensor durchgeführt wird;
Fig. 5a eine vereinfachte Draufsicht einer dritten Ausführungsform des magnetoresistiven Sensors gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei Teile weggelassen sind,
Fig. 5b ein Schnittbild längs einer Linie VB-VB in Fig. 5a, Fig. 5c ein vergrößertes Schnittbild eines Teils des in Fig. 5a gezeigten Aufbaus; und
Fig. 6 eine vereinfachte Draufsicht einer vierten Ausführungsform des magnetoresistiven Sensors gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei Teile weggelassen sind.
Eine erste Ausführungsform des magnetoresistiven Sensors gemäß der vorliegenden Erfindung ist in den Fig. 1a bis 1c gezeigt. In Fig. 1c wurden zum Zweck einer einfachen Darstellung alle Teile weggelassen, die nicht das Muster für jedes magnetoresistive Element A betreffen.
Der magnetoresistive Sensor enthält ein Substrat 10, das aus einem in hohem Maße ebenen Isoliermaterial, wie Borsäureglas, hergestellt ist. Ein eine Sinuswelle erkennendes magnetoresistives Element A wird auf dem Substrat 10 durch Vakuumaufdampfen gebildet. Das die Sinuswelle erkennende magnetoresistive Element A enthält Erkennungsteile S1 bis S8, die nebeneinander in der Richtung M einer relativen Verschiebung zwischen einem Erkennungskopf und einem magnetischen Aufzeichnungsmedium angeordnet sind, und benachbarte Erkennungsteile sind miteinander durch jeweils ein Verbindungsteil C1 bis C8 verbunden. Das Substrat 10 und das die Sinuswelle erkennende magnetoresistive Element A sind beide durch eine Isolierschicht 12 mit einer Dicke von einigen Hundert bis 1000 Angström, wie eine Siliziumoxidschicht, bedeckt. Ein eine Kosinuswelle erkennendes magnetoresistives Element B wird auf der Isolierschicht 12 durch Vakuumaufdampfen gebildet. Das die Kosinuswelle erkennende magnetoresistive Element B enthält Erkennungsteile S9 bis S16, die nebeneinander in der Richtung M der relativen Verschiebung angeordnet sind, und benachbarte Erkennungsteile sind miteinander durch jeweils ein Verbindungsteil C9 bis C16 verbunden. Die Isolierschicht 12 und das die Kosinuswelle erkennende magnetoresistive Element B sind jeweils vollständig mit einer Schutzschicht 14, wie einer Siliziumoxidschicht, die mit einer PSG-Schicht (Phosphorsilikatglasschicht) dotiert ist, bedeckt. Die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente A und B werden aus einem ferromagnetischen Material, wie Ni-Fe-Legierungen und Ni-Co-Legierungen, oder einem Halbleiter, wie InSb hergestellt.
Wenn ein Sinuswellensignal mit einer Wellenlänge λ zum Bilden eines magnetisierten Musters auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium verwendet wird, dann sind die Erkennungsteile S1 bis S3 voneinander durch einen Abstand λ getrennt, das Erkennungsteil S5 ist von dem Erkennungsteil S4 durch einen Abstand λ/2 getrennt, und die Erkennungsteile S5 bis S8 sind voneinander durch einen Abstand λ getrennt. In ähnlicher Weise sind die Erkennungsteile S16 bis S13 voneinander durch einen Abstand λ getrennt, das Erkennungsteil S12 ist von dem Erkennungsteil S13 durch einen Abstand λ/2 getrennt und die Erkennungsteile S12 bis S9 sind voneinander durch einen Abstand λ getrennt. Die Erkennungsteile S1 bis S8 des die Sinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elements A sind von den Erkennungsteilen S16 bis S9 des die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elements B durch jeweils einen Abstand λ/4 getrennt. Auf diese Weise überlappen sich die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente A und B um einen räumlichen Abstand λ/4 in Richtung M der relativen Verschiebung, während sie voneinander durch die Isolierschicht 12 getrennt sind.
Eine zweite Ausführungsform des magnetoresistiven Sensors gemäß der vorliegenden Erfindung ist in den Fig. 2a und 2b gezeigt, bei denen die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente A und B einander überlappen, ohne daß sie durch eine Isolierschicht 12 getrennt sind. Mit anderen Worten, benachbarte Erkennungsteile des einen magnetoresistiven Elements sind räumlich zwischen benachbarten Erkennungsteilen des anderen magnetoresistiven Elements in einer wechselweisen Anordnung untergebracht.
Insbesondere ist das Erkennungsteil S2 von dem Erkennungsteil S1 durch den Abstand λ getrennt, das Erkennungsteil S3 ist von dem Erkennungsteil S2 durch einen Abstand 2λ getrennt, das Erkennungsteil S4 ist von dem Erkennungsteil S3 durch einen Abstand λ getrennt, das Erkennungsteil S5 ist von dem Erkennungsteil S4 durch einen Abstand 3/2λ getrennt, das Erkennungsteil S6 ist von dem Erkennungsteil S5 durch einen Abstand λ getrennt, das Erkennungsteil S7 ist von dem Erkennungsteil S6 durch einen Abstand 2λ getrennt und das Erkennungsteil S8 ist von dem Erkennungsteil S7 durch einen Abstand λ getrennt. Das Erkennungsteil S15 ist von dem Erkennungsteil S16 durch einen Abstand 2λ getrennt, das Erkennungsteil S14 ist von dem Erkennungsteil S15 durch einen Abstand λ getrennt, das Erkennungsteile S13 ist von dem Erkennungsteil S14 durch einen Abstand 2λ getrennt, das Erkennungsteil S12 ist von dem Erkennungsteil S13 durch einen Abstand λ/2 getrennt, das Erkennungsteil S11 ist von dem Erkennungsteil S12 durch einen Abstand 2λ getrennt, das Erkennungsteil S10 ist von dem Erkennungsteil S11 durch einen Abstand λ getrennt und das Erkennungsteil S9 ist von dem Erkennungsteil S10 durch einen Abstand 2λ getrennt. Weiterhin sind die Erkennungsteile S1, S3, S5 und S7 des die Sinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elements A von den Erkennungsteilen S16, S14, S12 bzw. S10 des die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elements B durch einen Abstand λ/4 getrennt.
Auf diese Weise überlappen sich die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente A und B mit einem räumlichen Versatz λ/4 in der Richtung M der relativen Verschiebung ohne Trennung durch eine Isolierschicht 12.
Der magnetoresistive Sensor gemäß der vorliegenden Erfindung arbeitet folgendermaßen.
Wenn ein Anschluß T3, der mit dem Verbindungsteil C8 verbunden ist, geerdet ist und eine Spannung +VCC an einem Anschluß T1, der mit dem Erkennungsteil S1 verbunden ist, und einem Anschluß T5, der mit dem Erkennungsteil S16 verbunden ist, angelegt wird, werden in Fig. 3 gezeigte Ausgangssignale SIN OUT und COS OUT an dem Anschluß T2, der mit dem Verbindungsteil C4 verbunden ist, und an einem Anschluß T4, der mit dem Verbindungsteil C13 verbunden ist, abgegeben.
Da die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente A und B einander mit einem vorgegebenen räumlichen Versatz in der Richtung der relativen Verschiebung überlappen, kann das für die Magnetisierung verwendete Sinuswellensignal an derselben Stelle des magnetisierten Musters auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium abgenommen werden und die Phase der Welligkeiten der Ausgangssignal SIN OUT und COS OUT können selbst dann sehr gut ausgeglichen werden, wenn irgendwelche physikalischen Änderungen an dem magnetischen Aufzeichnungsmedium vorhanden sind.
Wenn ein herkömmlicher magnetischer Sensor, bei dem eine Sinuswelle und eine Kosinuswelle erkennende magnetoresistive Elemente nebeneinander in der Richtung der relativen Verschiebung angeordnet sind, für die Erkennung eines selben Sinuswellensignals verwendet werden, weisen die Ausgangssignale SIN OUT und COS OUT entgegengesetzte Phasenwelligkeiten auf, wie es in Fig. 4 gezeigt ist. Aus dem Unterschied der in den Fig. 3 und 4 gezeigten Zustände ist es klar, daß Erkennungsfehler durch die Anwendung der vorliegenden Erfindung in hohem Maße vermindert werden können.
Im Fall der in den Fig. 1a bis 1c gezeigten Ausführungsform sind die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente A und B durch die Isolierschicht hat jedoch einen ungünstigen Einfluß auf die Ausgangscharakteristiken des die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elements B und erhöht insbesondere dessen Hysterese. Die Verwendung der in den Fig. 2a und 2b gezeigten Anordnung beseitigt derartige Schwierigkeiten. Jedoch muß der räumliche Versatz zwischen den die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elementen A und B genau auf einen vorgegebenen Wert, z. B. λ/4, mit einem hohen Grad an Genauigkeit festgelegt werden. Eine derartige in hohem Maße präzise Festlegung des räumlichen Versatzes ist praktisch nicht durchführbar bei dem gegenwärtigen Stand der Anpassung von Maskenmustern, da die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente A und B getrennt durch Vakuumaufdampfen hergestellt werden. Beispielsweise enthält ein magnetischer Dekodierer einen Teilerschaltkreis, der elektrisch einen magnetischen Bereich eines magnetisierten Musters auf einem magnetischen Aufzeichnungsmedium in außerordentlich kleine Teile teilt, um in hohem Maße genaue Verschiebungsdaten (digitale Daten) zu erhalten. Um Verschiebungsdaten mit 8 Bits zu erhalten, muß ein magnetischer Bereich in 256 Teile geteilt werden. Zu diesem Zweck muß der elektrische Winkelphasenfehler kleiner als 0,4% sein. Um einen derartigen kleinen Wert zu erhalten, sollten die Toleranzgrenzen des räumlichen Versatzes zwischen den magnetoresistiven Elementen A und B kleiner als 0,4% (d. h. 0,3 µm) sein. Wie oben bemerkt wurde, kann der gegenwärtige Stand der Maskenmusteranpassung solchen kleinen Toleranzgrenzen nicht genügen.
Die folgenden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wurden vorgeschlagen, um einer solchen Anforderung für eine in hohem Maße genaue Festlegung des räumlichen Versatzes zwischen den magnetoresistiven Elementen A und B zu genügen.
Zusammengefaßt werden beide magnetoresistiven Elemente A und B vorwiegend direkt auf dem Substrat 10 gebildet, aber bei jedem ihrer Schnittpunkte wird ein entsprechendes Teil eines magnetoresistiven Elements auf dem Substrat gebildet, während ein entsprechendes Teil des anderen magnetoresistiven Elements durch eine leitende Brücke gebildet wird.
Bei der in den Fig. 5a bis 5c gezeigten Ausführungsform sind die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente A und B beide vorwiegend unmittelbar auf dem Substrat 10 gebildet mit der Ausnahme ihrer Schnittpunkte. Bei dem Schnittpunkt des Erkennungsteils S2 des die Sinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elements A mit dem Verbindungsteil C16 des die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elements B wird beispielsweise das Erkennungsteil S2 auf dem Substrat 10 gebildet, aber das Ende J14 des Verbindungsteils C16 ist mit dem Ende J13 des Erkennungsteils S15 durch eine leitende Brücke 20 verbunden.
Da die magnetoresistiven Elemente A und B beide unmittelbar auf dem Substrat 10 mit Ausnahme der Brücken 20 angebracht sind, können sie gleichzeitig auf dem Substrat 10 durch Vakuumaufdampfen hergestellt werden. Damit kann die Einstellung des räumlichen Versatzes zwischen den magnetoresistiven Elementen A und B mit einer Genauigkeit von kleiner als 1 µm selbst mit dem gegenwärtigen Stand der Anpassung der Maskenmuster bewerkstelligt werden.
Die in Fig. 6 gezeigte Ausführungsform ist eine Modifikation derjenigen der Fig. 5a bis 5c. In diesem Fall sind nur die Enden J1 bis J14 der Erkennungsteile S8 bis S16 und die Verbindungsteile C10 bis C16 des die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elements B durch Brücken 20 verbunden.

Claims (6)

1. Magnetoresistiver Sensor für einen Kodierer, der mit einem länglichen magnetischen Aufzeichnungsmedium versehen ist, auf dem ein Sinuswellensignal gespeichert ist, mit
  • - einem Erkennungskopf, der derart angeordnet ist, daß er dem magnetischen Aufzeichnungsmedium für eine relative Verschiebung zugewandt ist, und der aus einer Sinuswelle und einer Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elementen aufgebaut ist, die die jeweils inherenten Widerstände in Abhängigkeit einer Änderung der Intensität eines magnetischen Feldes ändern, daß durch das magnetische Aufzeichnungsmedium während der relativen Verschiebung erzeugt wird, wobei
  • - die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente einander mit einem vorgegebenen räumlichen Versatz in Richtung der relativen Verbindung überlappend angeordnet sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
  • - das die Sinuswelle erkennende Element A Erkennungsteile (S1 bis S4), die voneinander durch einen Abstand λ getrennt sind, einen Erkennungsteil (S5), der von dem Erkennungsteil (S4) durch einen Abstand λ/2 getrennt ist, und Erkennungsteile (6 bis 8) aufweist, wobei die Erkennungsteile (S5 bis S8) voneinander durch einen Abstand λ getrennt sind, und daß
  • - das die Sinuswelle erkennende Element B Erkennungsteile (S16 bis S13), die voneinander durch einen Abstand λ getrennt sind, einen Erkennungsteil (S12), der von dem Erkennungsteil (S13) durch einen Abstand λ/2 getrennt ist, und Erkennungsteile (S12 bis S9) aufweist, wobei die Erkennungsteile (S12 bis S9) voneinander durch einen Abstand λ getrennt sind, wobei
  • - die Erkennungsteile (S1 bis S8) des die Sinuswelle erkennenden Elements A von den Erkennungsteilen (S16 bis S9) des die Kosinuswelle erkennenden Elements B jeweils durch einen Abstand λ/4 voneinander getrennt sind und daß
  • - die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden Elemente A und B um einen räumlichen Abstand λ/4 in Richtung M der relativen Verschiebung überlappen, und daß
  • - ein Anschluß (T3), der mit einem Verbindungsteil (C8) verbunden ist, geerdet ist und eine Spannung +Vcc an einem Anschluß (T1), der mit dem Erkennungsteil (S1) verbunden ist, und einem Anschluß (T5), der mit dem Erkennungsteil (S16) verbunden ist, angelegt wird, wobei Ausgangssignale SIN OUT und COS OUT mit angeglichener Phase der Welligkeit an einem Anschluß (T2), der mit einem Verbindungsteil (C4) verbunden ist und an einem Anschluß (T4) anstehen, der mit einem Verbindungsteil (C13) verbunden ist.
2. Magnetoresistiver Sensor für einen Kodierer, der mit einem länglichen magnetischen Aufzeichnungsmedium versehen ist, auf dem ein Sinuswellensignal gespeichert ist, mit
  • - einem Erkennungskopf, der derart angeordnet ist, daß er dem magnetischen Aufzeichnungsmedium für eine relative Verschiebung zugewandt ist, und der aus einer Sinuswelle und einer Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elementen aufgebaut ist, die die jeweils inherenten Widerstände in Abhängigkeit einer Änderung der Intensität eines magnetischen Feldes ändern, daß durch das magnetische Aufzeichnungsmedium während der relativen Verschiebung erzeugt wird, wobei
  • - die die Sinuswelle und die Kosinuswelle erkennenden magnetoresistiven Elemente einander mit einem vorgegebenen räumlichen Versatz in Richtung der relativen Verschiebung überlappend angeordnet sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
  • - das die Sinuswelle erkennende Element A einen Erkennungsteil (S2), der von einem Erkennungsteil (S1), durch einen Abstand λ getrennt ist, einen Erkennungsabschnitt (S3), der von dem Erkennungsabschnitt (S2) durch einen Abstand 2λ getrennt ist, einen Erkennungsteil (S4), der von dem Erkennungsteil (S3) durch einen Abstand λ getrennt ist, einen Erkennungsteil (S5), der von dem Erkennungsteil (S4) durch einen Abstand 3/2 λ getrennt ist, einen Erkennungsteil (S6), der von dem Erkennungsteil (S5) durch einen Abstand λ getrennt ist, einen Erkennungsteil (S7), der von dem Erkennungsteil (S6) durch einen Abstand 2λ getrennt ist und einen Erkennungsteil (S8), der von dem Erkennungsteil (S7) durch einen Abstand λ getrennt ist, aufweist, und daß
  • - das die Kosinuswelle erkennende Element B einen Erkennungsteil (S15) aufweist, der von einem Erkennungsteil (S16) durch einen Abstand 2λ getrennt ist, einen Erkennungsteil (S14), der von dem Erkennungsteil (S15) durch einen Abstand λ getrennt ist, einen Erkennungsteil (S13), der von dem Erkennungsteil (S14) durch den Abstand 2λ getrennt ist, einen Erkennungsteil (S12), der von dem Erkennungsteil (S13) durch Abstand λ/2 getrennt ist, einen Erkennungsteil (S11), der von dem Erkennungsteil (S12) durch einen Abstand 2λ getrennt, einen Erkennungsteil (S10), der von dem Erkennungsteil (S11) durch einen Abstand λ getrennt ist und einen Erkennungsteil (S9), der von dem Erkennungsteil (S10) durch einen Abstand 2λ getrennt ist, aufweist, und daß
  • - die Erkennungsteile (S1), (S3), (S5) und (S7) des die Sinuswelle erkennenden Elements A von den Erkennungsteilen (S16), (S14), (S12) und (S10) des die Kosinuswelle erkennenden Elements B jeweils durch einen Abstand λ/4 getrennt sind und daß
  • - ein Anschluß (T3), der mit einem Verbindungsteil (C8) verbunden ist, geerdet ist und eine Spannung + Vcc an einem Anschluß (T1), der mit dem Erkennungsteil (S1) verbunden ist, und einem Anschluß (T5), der mit dem Erkennungsteil (S16) verbunden ist, angelegt wird, wobei Ausgangssignale SIN OUT und COS OUT mit angeglichener Phase der Welligkeit an einem Anschluß (T2), der mit einem Verbindungsteil (C4) verbunden ist und an einem Anschluß (T4) anstehen, der mit einem Verbindungsteil (C13) verbunden ist.
3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein magnetoresistives Element A unmittelbar auf einem Substrat (10) ausgebildet ist, und daß das andere magnetoresistive Element B von diesem durch ein magnetoresistives Element A durch eine Isolierschicht (12) getrennt ist.
4. Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetoresistiven Elemente A, B vollständig unmittelbar auf dem Substrat ausgebildet sind, und daß die Erkennungsteile (S) durch Verbindungsteile (C) miteinander verbunden sind, die jeweils eine leitende Brücke bilden.
DE19873719328 1986-06-10 1987-06-10 Magnetoresistiver sensor fuer einen kodierer Granted DE3719328A1 (de)

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JP61134462A JPS62289722A (ja) 1986-06-10 1986-06-10 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ
JP61134463A JP2564517B2 (ja) 1986-06-10 1986-06-10 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ
JP61134464A JPH065172B2 (ja) 1986-06-10 1986-06-10 磁気エンコーダ用磁気抵抗センサ
JP61247062A JP2529951B2 (ja) 1986-10-17 1986-10-17 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ

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