DE19506104A1 - Magnetisches Meßsystem - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Positionsmeß­ einrichtung gemäß den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 18.

Derartige Einrichtungen sind hinreichend bekannt. Als Beispiel sei auf die DE 28 34 519 A1 hingewie­ sen. Aus dieser Druckschrift ist eine digitale Län­ genmeßvorrichtung bekannt, mit zwei relativ zuein­ ander verstellbaren Teilen, von denen einer einen Maßstab und der andere einen Detektor zum Abtasten des Maßstabes und zum Erzeugen elektrischer Signa­ le, die der abgetasteten Länge entsprechen, trägt, und mit einer Elektronik zum Verarbeiten der Detek­ torsignale, wobei der Maßstab einen Markierungsträ­ ger mit magnetisierbarem Material aufweist, welcher in vorbestimmten Abständen zur Bildung von ablesba­ ren Markierungen magnetisiert ist, und wobei der Detektor ein Lesekopf für die Markierungen ist. Als eine weiterverarbeitende Einrichtung kann dabei eine Digital-Anzeigevorrichtung verwendet werden. Der Markierungsträger kann dabei eine Magnetschicht sein, wobei die Markierungen durch sinusförmige Magnetisierung zweier Spuren gebildet sind, wobei für jede Spur je ein Lesekopf vorhanden ist. Der Detektor kann mindestens einen flußempfindlichen Magnetkopf aufweisen, der zum Lesen bei geringer Relativgeschwindigkeit zwischen Detektor und Mar­ kierungsträger nach dem Prinzip eines magnetischen Modulators geschaltet ist. Bei der angegebenen Ver­ öffentlichung fehlen detaillierte Angaben über die Ausführung des Detektors vollständig.

Ferner ist aus der EP 0 069 392 A2 eine digitale Positionsmeßeinrichtung bekannt, bei der ein Detek­ tor vorgesehen ist, der einen magnetoresistiven Sensor aufweist. Dort sind magnetoresistive Senso­ ren mit unterschiedlichen Kennlinien beschrieben und Brückenschaltungen mit derartigen Sensoren of­ fenbart.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Positionsmeßeinrichtung eine Abtasteinheit mit mag­ netfeldempfindlichem Sensor zu schaffen, die un­ empfindlich gegen störende Fremdfelder ist, Null­ punktverschiebungen der Sensoren ausgleicht und die wenig Oberwellenanteile erzeugt.

Diese Aufgabe wird von einer Positionsmeßeinrich­ tung mit den Merkmalen des Anspruches 1 oder 18 gelöst.

Die Vorteile der erfindungsgemäßen Positionsmeßein­ richtung liegen in deren Funktionssicherheit, in der Stabilisierung des Arbeitspunktes der magnet­ feldempfindlichen Elemente innerhalb ihrer Kenn­ linie und den daraus resultierenden positiven Ei­ genschaften.

Mit Hilfe der Zeichnungen soll anhand von Ausfüh­ rungsbeispielen die Erfindung noch näher erläutert werden.

Es zeigt

Fig. 1a eine Prinzipdarstellung einer Positionsmeßeinrichtung;

Fig. 1b eine Einzelheit aus Fig. 1a;

Fig. 1c eine variierte Einzelheit aus Fig. 1a;

Fig. 2 eine Positionsmeßeinrichtung mit magnetischem Hilfsfeld;

Fig. 3 eine schematische Darstellung von Maßstab, Abtastelementen und Hilfsfeld;

Fig. 4 eine schematische Anordnung magnetoresistiver Elemente gemäß Fig. 3;

Fig. 5 eine weitere Anordnung magne­ toresistiver Elemente in einer Brückenschaltung;

Fig. 6 eine Kennlinie eines magneto­ resistiven Elementes mit Si­ gnalverlauf bei Aussteuerung mit einem rechteckförmigen Hilfsfeld;

Fig. 7 einen Signalverlauf bei Anle­ gung eines dreieckförmigen Hilfsfeldes;

Fig. 8 ein Blockschaltbild und

Fig. 9 Sensoren mit stromdurchflos­ senen Leitern zur Erzeugung des Hilfsfeldes.

Fig. 10 eine Prinzipdarstellung einer weiteren Positionsmeßeinrich­ tung;

Fig. 11 eine Einzelheit aus Fig. 10;

Fig. 12 eine Positionsmeßeinrichtung mit magnetischem Hilfsfeld;

Fig. 13 eine Positionsmeßeinrichtung mit anders gerichtetem Hilfs­ feld;

Fig. 14 eine Positionsmeßeinrichtung mit senkrechtem Hilfsfeld;

Fig. 15 eine Anordnung zur Erzeugung eines magnetischen Hilfsfel­ des;

Fig. 16 einen stromführenden Leiter zur Erzeugung eines Hilfsfel­ des gemäß Fig. 15 und

Fig. 17 ein Blockschaltbild.

In Fig. 1a ist eine Prinzipdarstellung einer mag­ netischen Längenmeßeinrichtung 1 gezeigt. Die Län­ genmeßeinrichtung 1 besteht im wesentlichen aus einem Maßstab 2, der eine periodische Meßteilung 3 aufweist, sowie aus einer Abtasteinheit 4 zur Ab­ tastung der Meßteilung 3. Der Maßstab 2 besteht aus magnetischem Material und ist abwechselnd mit ge­ gensätzlicher Feldstärke magnetisiert - daraus bil­ det sich die periodische Meßteilung 3 mit der Tei­ lungsperiode P. Die Magnetisierung erfolgt längs der Ebene, in der sich der Maßstab 2 erstreckt, kann aber auch senkrecht dazu verlaufen, was hier jedoch nicht gezeigt ist.

Die Magnetisierung erzeugt ein Streufeld, welches symbolisch in den vergrößerten Einzelheiten Zb und Zc in den Fig. 1b und 1c dargestellt ist.

Die periodische Meßteilung 3 wird von magnetoresi­ stiven Elementen 5 abgetastet, die sich in der Ab­ tasteinheit 4 befinden und auf die in der Beschrei­ bung zu den folgenden Figuren noch näher eingegan­ gen wird. Dabei wird als Bezugszeichen eine 5 für das oder die magnetoresistiven Elemente eingesetzt und gegebenenfalls um die jeweilige Figurenbezif­ ferung als Index ergänzt.

In Fig. 1b ist das magnetoresistive Element 5b in der zur Meßteilung 3 parallelen Ebene waagerecht liegend angeordnet. Gemäß Fig. 1c ist das magneto­ resistive Element 5c in der zur Meßteilung 3 par­ allelen Ebene senkrecht stehend angeordnet.

Für die Erfindung ist jeder magnetfeld-empfindliche Sensor mit quadratischer Kennlinie geeignet. So können als Sensoren auch Feldplatten verwendet wer­ den.

Das erfindungsgemäße Hilfsfeld muß nur jeweils in der Richtung liegen, in der der Sensor empfindlich ist.

Die Abtasteinheit 4 weist darüber hinaus einen Bau­ stein 6 auf, der das magnetische Hilfsfeld Y er­ zeugt, welches elektromagnetisch erzeugt wird und von einem Wechselfeld gebildet wird.

Das Hilfsfeld Y wirkt in der Richtung, in der die magnetoresistiven Elemente 5 empfindlich sind.

Die in Fig. 2 dargestellte Anordnung zeigt schema­ tisch die Positionsmeßeinrichtung 1 mit einer Spule 6 zur Erzeugung des Hilfsfeldes Y. Der Maßstab 2 wird von einer Abtasteinheit 4 abgetastet. Die Ab­ tasteinheit 4 weist magnetoresistive Elemente 5 auf, die von der Spule 6 umschlossen werden.

Die magnetoresistiven Elemente - kurz auch Sensoren 5 - genannt, sind von der Spule 6 umschlossen, die ein Hilfsfeld Y erzeugt, welches in der Ebene der Sensoren 5 liegt, jedoch senkrecht zu der Sensor- Längserstreckung verläuft. Die Spule 6 wird von einem Oszillator O mit einem hochfrequenten Wech­ selstrom gespeist.

Es sei angenommen, daß die Spule 6 mit einem recht­ eckförmigen Wechselstrom gespeist wird. Dann hat das dem Maßstabsfeld X überlagerte Hilfsfeld Y ebenfalls einen rechteckförmigen Verlauf.

In Fig. 3 ist die Lage der Sensorstriche 5 zum magnetischen Maßstab 2 sowie die Richtung des Hilfsfeldes Y skizzenhaft angedeutet.

Fig. 4 zeigt die weitere Schematisierung einer Anordnung gemäß Fig. 3. Die Sensoren sind als elektrische Ersatzwiderstände Ri (i=1 . . . n) über dem Maßstab 2 dargestellt, um auf das Ersatzschaltbild mit zwei Voll-Brückenschaltungen gemäß Fig. 5 überzuleiten.

Diese Fig. 5 zeigt die Verschaltung der Sensoren Ri zu zwei Voll-Brückenschaltungen.

Die Brücken werden mit konstantem Strom oder kon­ stanter Spannung gespeist.

An den Ausgängen der Brücken entstehen zwei ampli­ tudenmodulierte Signale U1 und U2 mit der Frequenz mit der die Spule 6 gespeist wird.

Die Entstehung eines amplitudenmodulierten Signales ist in Fig. 6 für eine Halbbrücke gezeigt.

Das Hilfsfeld Y hat die Amplitude Y_H wie im unteren Teil der Fig. 6 gezeigt ist. Das Hilfsfeld Y steu­ ert den Sensor, der eine Viertelbrücke darstellt bis zu einem bestimmten Arbeitspunkt A, A′ (z. B. DR/R=1%) aus. Kommt zu dem Hilfsfeld Y ein Maß­ stabsfeld X, so wird eine Viertelbrücke bis zu dem mit einem Kreis bezeichneten Punkt ausgesteuert, die andere Viertelbrücke jedoch nur bis zu dem mit einem Kreuz bezeichneten Punkt ausgesteuert, da die beiden Viertelbrücken räumlich um eine halbe Tei­ lungsperiode P versetzt sind. Da die beiden Vier­ telbrücken definitionsgemäß zu einer Halbbrücke verschaltet sind, erhält man als Ausgangssignal die Differenz der beiden Aussteuerungen. Man erhält es durch Spiegelung der Felder an der Empfindlich­ keitskurve der Sensoren, wie in Fig. 6 rechts ge­ zeigt ist.

Die Ausgangssignale U1 und U2 können entweder mit einem phasenempfindlichen Gleichrichter vorzeichen­ richtig demoduliert und als Gleichstromsignale den üblichen Interpolationsschaltungen zugeführt wer­ den, oder es wird eine Auswerteschaltung ähnlich den bei Resolver- oder Synchroconvertern gebräuch­ lichen benützt.

Wenn das Hilfsfeld Y groß gegenüber dem Maßstabs­ feld X ist und so gewählt ist, daß der Arbeitspunkt im linearen Teil der Empfindlichkeitskurve der Sen­ soren 5 liegt, hat das Ausgangssignal U1 bzw. U2 weitgehend den gleichen zeitlichen Verlauf wie das Hilfsfeld Y. Dies ist jedoch nicht Voraussetzung für die Funktion der beschriebenen Anordnung.

Fig. 7 zeigt den Signalverlauf des Ausgangssi­ gnales U1 bzw. U2, wenn das Hilfsfeld Y einen drei­ eckförmigen Verlauf hat. Hier ist zusätzlich ange­ nommen, daß das Hilfsfeld Y die Sensoren 5 bis über die Sättigung aussteuert. Der Signalverlauf ergibt sich wieder durch Spiegelung der Felder an der Emp­ findlichkeitskurve. Das Ausgangssignal U1 einer Halbbrücke ergibt sich als Differenz der beiden Viertelbrückensignale und enthält neben der Speise­ frequenz viele ungerade Oberwellen. Die Auswertung kann wieder durch phasenempfindliche Gleichrichtung erfolgen, es können aber auch andere Auswertever­ fahren angewandt werden, die gezielt eine Oberwelle benützen.

Die Aussteuerung mit großen Hilfsfeldern Y bis zur Sättigung, oder darüber hinaus, hat den Vorteil, daß die Sensoren 5 durch externe Fremdfelder nicht gestört werden können.

Das Hilfsfeld Y kann auch einen rein sinusförmigen Verlauf haben, was aber hier nicht ausdrücklich gezeigt werden muß.

Fig. 8 zeigt das Blockschaltbild für eine Auswer­ tung ähnlich der bei Resolvern üblichen.

Der Oszillator O erzeugt ein Wechselfeld für die Spule 6, die Oszillatorspannung liegt gleichzeitig am Referenzeingang R der Auswerteeinrichtung 7. Zwischen Oszillatorausgang und Referenzeingang R können noch Phasenschieber angeordnet sein, die hier nicht gezeigt sind.

Statt das Hilfsfeld Y mit einer Spule zu erzeugen, können auch andere Anordnungen zur Erzeugung von Hilfsfeldern angewandt werden. Eine Möglichkeit ist in Fig. 9 beispielhaft gezeigt. In nächster Nähe der Sensoren 5 sind, durch eine isolierende Zwi­ schenschicht 8 getrennt, stromführende Leiter 9 angeordnet, deren Feld die Sensoren 5 beeinflußt.

In Fig. 10 ist eine Prinzipdarstellung einer wei­ teren magnetischen Längenmeßeinrichtung 110 ge­ zeigt. Die Längenmeßeinrichtung 110 besteht im we­ sentlichen aus einem Maßstab 210, der eine perio­ dische Meßteilung 310 aufweist, sowie aus einer Abtasteinheit 410 zur Abtastung der Meßteilung 310. Der Maßstab 210 besteht aus magnetischem Material und ist abwechselnd mit gegensätzlicher Feldstärke magnetisiert - daraus bildet sich die periodische Meßteilung 310 mit der Teilungsperiode P. Die Mag­ netisierung erfolgt längs der Ebene, in der sich der Maßstab 210 erstreckt, kann aber auch senkrecht dazu verlaufen, was hier jedoch nicht gezeigt ist.

Die Magnetisierung erzeugt ein Streufeld - als Maß­ stabfeld X bezeichnet -, welches symbolisch in der vergrößerten Einzelheit Z gemäß Fig. 11 darge­ stellt ist.

Die periodische Meßteilung 310 wird von magnetfeld­ empfindlichen Elementen 510 abgetastet, die sich in der Abtasteinheit 410 befinden und auf die in der Beschreibung zu den folgenden Figuren noch näher eingegangen wird. Dabei wird als Bezugszeichen eine 510 für das oder die magnetfeldempfindlichen Ele­ mente eingesetzt.

Die Abtasteinheit 410 weist darüber hinaus einen Baustein 610 auf, der ein magnetisches Hilfsfeld oder auch Fremdfeld y erzeugt, welches permanent magnetisch oder elektromagnetisch erzeugt wird.

Dieses Fremdfeld Y macht das Maßstabfeld X gegen­ über den Sensoren 510 kurzzeitig unwirksam. Das Maßstabfeld X kann gegenüber den Sensoren 510 auch mit Hilfe eines weichmagnetischen Elementes abge­ schirmt werden.

In Fig. 12 ist der Maßstab 210 mit der Meßteilung 310 gezeigt, dem die Abtasteinheit 410 mit den Sen­ soren 510 zur Abtastung gegenüberliegt. Die Senso­ ren 510 sind von einer Spule 610 umschlossen, die mit Hilfe eines Pulsgenerators 810 ein magnetisches Hilfsfeld Y erzeugt. Dieses Hilfsfeld Y wird auch als Fremdfeld gegenüber dem Magnetfeld X der Meß­ teilung 310 bezeichnet.

Im Ausführungsbeispiel gemäß dieser Figur liegt das Fremdfeld Y in der Ebene der Sensoren 510 - also in der Ebene der Sensorstriche 510 - und parallel zu diesen.

Fig. 13 zeigt eine ähnliche Konstellation, jedoch ist hier das Fremdfeld Y senkrecht zu den Sensor­ strichen 510 sowie in deren Ebene ausgerichtet.

Eine weitere Möglichkeit - die weitere Varianten nicht ausschließt - ist in Fig. 14 dargestellt. Hier verläuft das Fremdfeld Y senkrecht zu der Ebene, in der die Sensoren 510 der Abtasteinheit 410 liegen.

Das Fremdfeld Y kann gemäß Fig. 15 auch durch stromführende Leiter 910, die in unmittelbarer Nähe der Sensorstriche 510 angeordnet sind, erzeugt wer­ den. Werden die Leiter 910 vom Strom durchflossen, so treibt deren Feld die Sensoren 510 in die Sät­ tigung und schaltet so den Einfluß des Magnetfeldes X der Meßteilung 310 aus. Die Ausrichtung des Fremdfeldes erfolgt dabei wechselweise, aber ähn­ lich gemäß Fig. 13.

In Fig. 16 ist eine mögliche Geometrie der Leiter 910 dargestellt.

Fig. 17 stellt ein Blockschaltbild dar, welches auch einen Pulsgenerator 810 zeigt. Dieser Pulsge­ nerator 810 erzeugt durch einen Strom- oder Span­ nungsstoß kurzzeitig mittels der Spule 610 oder der Leiter 910 ein Magnetfeld Y, das gemäß vorstehender Definition mit Hilfs- oder Fremdfeld Y bezeichnet ist. Dieses Fremdfeld Y muß so groß sein, daß die Sensoren 510 in die Sättigung getrieben werden.

Wenn die Sensoren 510 in der Sättigung sind, hat das Maßstabsfeld X keinen Einfluß mehr auf die Sen­ soren 510. Brückennullpunkte einer an sich bekann­ ten Brückenschaltung sind dann allein durch die Ohmschen Nullwiderstände in den Brückenzweigen be­ stimmt.

Vom Pulsgenerator 810 werden zwei Schalter S1 und S2 bedient, die abwechselnd geöffnet sind.

Im normalen Betrieb ist Schalter S1 geschlossen, Schalter S2 geöffnet. Gleichzeitig mit dem Hilfs­ feld Y, das vom Pulsgenerator 810 über die Spule 610 am Sensor 510 erzeugt wird, wird Schalter S2 geschlossen und Schalter S1 geöffnet. Die nun am Sensor 510 anliegende Nullspannung wird in einem mit SH₁ bezeichneten Abtast- und Halteglied gespei­ chert.

Ist das Hilfsfeld Y wieder abgeschaltet, wird bei geöffnetem Schalter S2 und geschlossenem Schalter S1 die Differenz von aktueller Sensorspannung und Nullspannung am Differenzverstärker 10 ausgegeben. Die Ausgangsspannung Ua des Differenzverstärkers 10 ist also unabhängig von der Nullpunktsdrift des Sensors 510.

Um Störungen des Ausgangssignales Ua während der Abtastphase zu vermeiden, ist noch ein zweites Ab­ tast- und Halteglied SH₂ vorhanden, das mit dem Ausgangssignal des Sensors 510 mitläuft und nur während der aktiven Phase des Pulsgenerators 810 die letzte aktuelle Signalspannung des Sensors 510 festhält.

Claims (29)

1. Positionsmeßeinrichtung (1) zur Messung der Re­ lativlage zweier zueinander beweglicher Objekte, bei der eine periodische, magnetische Meßteilung (3) in Meßrichtung von einer Abtasteinheit (4) mittels wenigstens eines magnetfeldempfindlichen Elementes (5) zur Erzeugung von positionsabhän­ gigen Ausgangssignalen (U1, U2) abgetastet wird, aus denen in einer Auswerteeinrichtung (7) Posi­ tionsmeßwerte gebildet werden, wobei das wenig­ stens eine magnetfeldempfindliche Element (5) in der Abtasteinheit (4) in einer zur Meßteilung (3) parallelen Ebene angeordnet ist und von ei­ nem magnetischen Hilfsfeld (Y) magnetisch vor­ gespannt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetische Hilfsfeld (Y) ein hochfrequentes Wechselfeld ist.

2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetische Hilfsfeld (Y) kleiner ist, als die Sättigungsfeldstärke der magnetfeldempfindlichen Elemente (5).

3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetische Hilfsfeld (Y) größer ist, als die Sättigungsfeldstärke der magnetfeldempfindlichen Elemente (5).

4. Positionsmeßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Hilfs­ feld (Y) einen rechteckförmigen Verlauf hat.

5. Positionsmeßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Hilfs­ feld (Y) einen dreieckförmigen Verlauf hat.

6. Positionsmeßeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Hilfs­ feld (Y) einen sinusförmigen Verlauf hat.

7. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Wechselfeld von einer Spule (6) erzeugt wird, die von einem Oszillator (0) gespeist wird.

8. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Oszillator (0) in der Abtasteinheit (4) angeordnet ist.

9. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (7) in der Abtasteinrichtung (4) angeordnet ist.

10. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Positionswerte mittels phasenempfindlicher Gleichrichtung der positi­ onsabhängigen Ausgangssignale (U1, U2) gebildet werden.

11. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Positionswerte mittels Interpolation mit Synchron- oder Resolverconver­ tern gebildet werden.

12. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Hilfsfeld durch strom­ führende Leiter (9), die mit den magnetfeldemp­ findlichen Elementen (5) verbunden sind, erzeugt wird.

13. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Hilfsfeld durch strom­ führende Leiter (9), die über eine isolierende Zwischenschicht (8) mit den magnetfeldempfindli­ chen Elementen (5) verbunden sind, erzeugt wird.

14. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetfeldempfindlichen Elemente (5) in der zur Meßteilung (3) paralle­ len Ebene waagrecht liegend angeordnet sind.

15. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetfeldempfindlichen Elemente (5) in der zur Meßteilung (3) paral­ lelen Ebene senkrecht stehend angeordnet sind.

16. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetfeldempfindliche Element (5) eine Feldplatte ist.

17. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetfeldempfindliche Element (5) ein magnetoresistives Element ist.

18. Positionsmeßeinrichtung (110) zur Messung der Relativlage zweier zueinander beweglicher Ob­ jekte, bei der eine periodische, magnetische Meßteilung (310) in Meßrichtung von einer Ab­ tasteinheit (410) mittels wenigstens eines mag­ netfeldempfindlichen Elementes (510) zur Erzeu­ gung von positionsabhängigen Ausgangssignalen abgetastet wird, aus denen in einer Auswerteein­ richtung Positionsmeßwerte gebildet werden, wo­ bei das wenigstens eine magnetfeldempfindliche Element (510) in der Abtasteinheit (410) in einer zur Meßteilung (310) parallelen Ebene an­ geordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, die das Magnetfeld (X) der Meß­ teilung (310) kurzzeitig unwirksam machen.

19. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß ein magnetisches Fremdfeld (Y) kurzzeitig die magnetfeldempfind­ lichen Elemente (510) in die Sättigung treibt und so das Magnetfeld (X) der Meßteilung (310) kurzzeitig unwirksam macht.

20. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß das Magnetfeld (X) der Meßteilung (310) gegenüber den magnetfeldem­ pfindlichen Elementen (510) durch wenigstens ein weichmagnetisches Element abgeschirmt wird.

21. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß das magnetische Fremd­ feld (Y) größer ist, als die Sättigungsfeldstär­ ke der magnetfeldempfindlichen Elemente (510).

22. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß das Fremdfeld (Y) durch eine Spule (610) erzeugt wird, die von einem Pulsgenerator (810) gespeist wird.

23. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß das Fremdfeld (Y) von einem stromdurchflossenen Leiter (910) erzeugt wird, der von einem Pulsgenerator (810) gespeist wird.

24. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß das Fremdfeld (Y) per­ manent-magnetisch erzeugt wird.

25. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß ein Pulsgenerator (810) vorgesehen ist, der mit zwei abwechselnd geöffneten Schaltern (S₁) und (S₂), mit einer Spule (610) oder Leitern (910) sowie mit wenig­ stens einem Abtast- und Halteglied (SH₁) und einem Differenzverstärker (10) einen Schaltkreis bildet.

26. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 25, da­ durch gekennzeichnet, daß bei Aktivierung des Pulsgenerators (810) das Fremdfeld (Y) erzeugt, oder die Abschirmung wirksam wird, der Schalter (S₁) geöffnet und dem Schalter (S₂) geschlossen wird, wobei die dann am Sensor (510) anliegende Momentanspannung - üblicherweise die Nullspan­ nung - in dem Abtast- und Halteglied (SH₁) ge­ speichert wird, und daß bei Deaktivierung des Pulsgenerators (810) die Zustände der Schalter (S₁) und (S₂) wechseln, die aktuelle Spannung am Sensor (510) dem Differenzverstärker (10) zuge­ führt und mit der im Abtast- und Halteglied (SH₁) gespeicherten, ebenfalls dem Differenzver­ stärker (10) zugeführten Nullspannung verglichen wird, und daß am Ausgang des Differenzverstär­ kers (10) eine nullpunktsdrift-freie Ausgangs­ spannung (Ua) zur Meßwertbildung abgegriffen werden kann.

27. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 26, da­ durch gekennzeichnet, daß ein weiteres Abtast- und Halteglied (SH₂) im Schaltkreis vorgesehen ist, welches mit dem Ausgangssignal des Sensors (510) synchronisiert ist und nur während der aktiven Phase des Pulsgenerators (810) die letz­ te aktuelle Signalspannung des Sensors (510) speichert.

28. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß das Magnetfeld (X) der Meßteilung (310) vor dem Meßvorgang kurzzeitig unwirksam gemacht wird.

29. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 18, da­ durch gekennzeichnet, daß das Magnetfeld (X) der Meßteilung (310) während des Meßvorganges wie­ derholt kurzzeitig unwirksam gemacht wird.