DE3639512C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3639512C2 DE3639512C2 DE19863639512 DE3639512A DE3639512C2 DE 3639512 C2 DE3639512 C2 DE 3639512C2 DE 19863639512 DE19863639512 DE 19863639512 DE 3639512 A DE3639512 A DE 3639512A DE 3639512 C2 DE3639512 C2 DE 3639512C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pump
- valve
- line
- container
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/56—Number of pump/machine units in operation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Vakuumpumpsystem nach dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein solches System ist z. B. aus
der Druckschrift DD-PS 82 183 bekannt. Die Parallelschaltung
zweier Pumpstränge hat den Zweck, an die Wälzkolbenpumpe nicht
den ursprünglichen Behälterdruck gelangen zu lassen, sondern
nur ein Grobvakuum, das durch den anderen Pumpstrang herge
stellt wurde. Dadurch verringert sich die Pumpdauer erheblich.
Bei der Dichtheitsprüfung von großen Behältern mit hundert
Litern Inhalt oder mehr benötigt man eine erhebliche Zeit,
um den für die Dichtheitsprüfung benötigten Enddruck zu er
reichen. Dies stört besonders bei der automatischen Fertigung,
da die Dichtheitsprüfung hier innerhalb einer Taktzeit der
Fertigungsstraße erfolgen muß. Es ist bekannt, daß durch Ver
wendung von Pumpsätzen hohen Saugvermögens die für die Eva
kuierung des Behälters benötigte Zeit abgekürzt werden kann.
Bei Einsatz einer Wälzkolbenpumpe, die bekannterweise ein
im Vergleich zu anderen Vakuumpumpen sehr hohes Saugvermögen
hat, stellt sich jedoch die erwartete Verringerung der Pump
dauer nicht ein. Eine Wälzkolbenpumpe, auch Roots-Pumpe ge
nannt, besteht aus einem Gehäuse und zwei um zwei parallele
Achsen drehbaren Kolben, deren Querschnitt der Ziffer acht
ähnelt. Die Wellen der Kolben ragen zu beiden Seiten des
Schöpfraums in Ölkammern, in denen sich die Wellenlager und
das Antriebsgetriebe befinden. Wird nun eine solche Pumpe
an einen zu evakuierenden großen Behälter angeschlossen, dann
steigt der Druck im Schöpfraum kurzzeitig fast bis auf den
Behälterdruck, d. h. beispielsweise Atmosphärendruck, an. Durch
die unvermeidlichen Spalte zwischen den Wellen und der Trenn
wand von Schöpfraum und Ölkammern dringt die Behälteratmo
sphäre, z. B. Luft, aus dem Schöpfraum in die Ölkammern ein
und füllt diese. Beim weiteren schnellen Evakuieren sinkt
dann der Druck im Schöpfraum schnell ab, so daß die in den
Ölkammern befindliche Luft durch die Wellendurchtrittsspalte
wieder in den Schöpfraum zurückströmt. Aufgrund der geringen
Abmessungen dieser Spalte und des inzwischen erzielten Vakuums
entstehen hier leicht Strömungsformen des sogenannten Über
gangsbereichs oder sogar der Molekularströmung, d. h. daß der
Strömungswiderstand in diesen Spalten stark ansteigt und das
Ausgasen der Ölkammern stark verzögert wird. Aufgrund dieser
Umstände verzichtet der Fachmann in der Regel auf Wälzkolben
pumpen für schnell wirkende Pumpensysteme und bevorzugt hierfür
z. B. Drehschieberpumpen, selbst wenn deren Saugvermögen um
Größenordnungen niedriger als das einer Wälzkolbenpumpe ist.
Der erwünschten Verkürzung der Pumpzeiten sind damit enge
Grenzen gesetzt.
Gemäß der aus der eingangs genannten Druck
schrift bekannten Technik wird zuerst durch einen Hilfspump
strang ein Grobvakuum im Behälter hergestellt und erst dann
die Wälzkolbenpumpe mit ihrem bekannt hohen Saugvermögen ein
gesetzt. Dann treten die oben erwähnten Nachteile nicht mehr
auf. Freilich müssen dann beide Pumpstränge für den Gesamt
durchsatz, d. h. also ziemlich groß ausgelegt werden.
Aufgabe
der Erfindung ist es,
ein Vakuumpumpsystem der im Oberbegriff
des Anspruchs 1 bezeichneten Bauart zu schaffen, bei dem auf einfache
Weise eine erhöhte Pumpleistung auf der Vorvakuumstufe erzielt wird.
Diese Aufgabe wird durch das im Hauptanspruch gekennzeichnete
System gelöst.
Die Steuerung der verschiedenen Ventile abhängig vom Druck
im Behälter kann entweder von einem Manometer ausgehen, das
den Druck im Behälter überwacht, oder aber von anderen Kri
terien, die mit der Entwicklung des Prüfbehälterdrucks mittel
bar oder unmittelbar zusammenhängen. Insbesondere eignet sich
hierfür die Stromaufnahme der weiteren Pumpanordnung, die
mit zunehmendem Vakuum abnimmt und Rückschlüsse auf den aktu
ellen Druck im Behälter zuläßt. Aber auch eine Zeitsteuerung
der Ventile ist denkbar, falls die zeitliche Entwicklung des
Druckabfalls im Behälter nicht allzu stark variiert. In diesem
Zusammenhang ist auf die US-PS 24 92 075 zu verweisen, die
ein Pumpsystem mit einem druckabhängig gesteuerten Ventil zeigt.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines bevorzugten Aus
führungsbeispiels mithilfe einer Zeichnung erläutert, die
ein vakuumtechnisches Schaltbild eines erfindungsgemäßen Sy
stems zeigt.
Ein zu evakuierender Prüfbehälter 1 hat beispielsweise ein
Volumen von 300 Litern. An diesen Behälter sind zwei Pump
stränge über ein erstes Ventil 2 bzw. ein zweites Ventil 3
anschließbar. Der Hauptstrang besteht aus einer leistungsfä
higen Wälzkolbenpumpe 4 mit einem Saugvermögen von beispiels
weise 350 m3/h, und einer Vorvakuumpumpe, beispielsweise einer
Drehschieberpumpe 5 mit einem Saugvermögen von 30 m3/h. Der
Hilfsstrang, der über das zweite Ventil 3 an den Behälter
1 anschließbar ist, besteht ebenfalls aus einer Wälzkolbenpum
pe 6 mit z. B. 100 m3/h und mindestens einer Vorvakuumpumpe,
im vorliegenden Beispiel zwei parallelen Drehschieberpumpen
7 und 8. Das Ventil 3 ist in einer ersten Phase des Evakuie
rungsvorgangs geöffnet, während das erste Ventil 2 daran an
schließend geöffnet wird. Falls nötig, wird zwischen die Wälz
kolbenpumpe 6 des Hilfsstrangs und die zugeordneten Drehschie
berpumpen 7 und 8 ein Kühler 9 eingefügt, um die Erwärmung
des geförderten Mediums zu begrenzen.
Die Ventile 2 und 3 werden von einem Manometer 10 bei einem
vorgegebenen Grenzdruck im Behälter umgeschaltet, indem der
Hilfsstrang abgetrennt und der Hauptstrang zugeschaltet wird.
Der Grenzdruck wird so festgelegt, daß sich nach dem Umschal
ten an den Wellenenden der Wälzkolbenpumpe 4 mit Sicherheit
keine laminare Strömumg mehr einstellt, so daß die Ölkammern
nur noch sehr langsam und mit sehr wenig Gas gefüllt werden.
Dieser Grenzdruck läßt sich einfach experimentell bestimmen,
da die für die Evakuierung des Behälters benötigte Zeit plötz
lich abnimmt, wenn der Druck, bei dem umgeschaltet wird, ste
tig über diesen Grenzdruck hinaus verringert wird.
Wie bereits erwähnt, kann die Steuerung der Ventile 2 und
3 auch durch andere Kriterien erfolgen, die mittelbar oder
unmittelbar mit der Entwicklung des Drucks im Behälter zusam
menhängen. So ist es bekannt, daß die elektrische Leistungs
aufnahme eines Pumpsatzes von der geförderten Gasmenge abhängt
und daher mit fallendem Druck stetig abnimmt. Man könnte also
die Umschaltung der Ventile 2 und 3 abhängig von einem Grenz
wert des von der Pumpe 6 aufgenommenen Stroms steuern. Eine
weitere Möglichkeit im Rahmen der Erfindung ergibt sich ins
besondere im Rahmen einer Fließbandfertigung, bei der der
zeitliche Verlauf der Druckabnahme im Behälter stets ähnlich
ist, da dann einfach die Umschaltung nach einer gewissen Zeit
erfolgen kann.
Der Hilfsstrang wird nach dem Schließen des Ventils 3 als
Vorpumpe für die Wälzkolbenpumpe 4 des Hauptstrangs verwendet,
so daß die Vorpumpe 5 des Hauptstrangs verhältnismäßig
klein dimensioniert sein kann und im wesentlichen nur die
Aufgabe hat, die Wälzkolbenpumpe 4 vor dem Öffnen des Ventils
2 zu entgasen. Ein Ventil 11 in einer Verbindungsleitung 12
zwischen der Saugseite der Wälzkolbenpumpe 6 des Hilfsstrangs
und der Druckseite der Wälzkolbenpumpe 4 des Hauptstrangs
dient dieser Durchschaltung und wird synchron mit dem Ventil
2 des Hauptstrangs betätigt. Schließlich kann noch ein weite
res Ventil 13 vorgesehen sein, das synchron mit dem Ventil
3 gesteuert wird und zwischen der Druckseite der Wälzkolben
pumpe 4 und der Saugseite der Vorvakuumpumpe 5 des Haupt
strangs liegt. Ist dieses Ventil gesperrt, dann dient die
Vorvakuumpumpe 5 des Hauptstrangs nur noch der Entgasung der
Ölkammern der Wälzkolbenpumpe 4 des Hauptstrangs.
Die Wälzkolbenpumpe 6 des Hilfsstrangs 6 kann auch beispiels
weise durch eine Pumpe anderer Bauart ersetzt sein oder der
Kühler 9 kann entfallen. Die
Vorpumpen 5, 7, 8 können Drehschieberpumpen oder andere me
chanische Vorpumpen sein und eine oder mehrere Pumpstufen
umfassen. Schließlich können auch die Ventile 2, 3, 11 und
13 zu einer konstruktiven Baueinheit zusammengefaßt sein,
da sie alle zum gleichen Zeitpunkt betätigt werden.
Claims (2)
1. Vakuumpumpsystem zur Evakuierung eines Behälters, mit einem
ersten, aus einer Wälzkolbenpumpe in Reihe mit einer Vorva
kuumpumpe bestehenden Pumpstrang und einem dazu parallelen
zweiten Pumpstrang sowie mit je einem Ventil zwischen dem
Behälter und jedem der Pumpstränge, wobei Mittel zur Steuerung
der Ventile vorgesehen sind, derart, daß das Ventil in dem
ersten Pumpstrang geöffnet wird und zugleich das Ventil des
zweiten Pumpstrangs geschlossen wird, wenn ein vorgegebener
Druck im Behälter (1) unterschritten ist, dadurch gekennzeich
net, daß eine Verbindungsleitung (12) mit einem weiteren Ven
til (11) zwischen die Druckseite der Wälzkolbenpumpe (4) und
die Saugseite des zweiten Pumpstrangs (6-8) eingefügt ist und
daß dieses Ventil (11) von den Steuermitteln (10) synchron
mit dem Ventil (2) im ersten Pumpstrang auf- und zusteuerbar
ist.
2. Vakuumpumpsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß ein weiteres Ventil (13) in der Verbindungsleitung zwi
schen der Wälzkolbenpumpe (4) und der Vorvakuumpumpe (5)
liegt, das von den Steuermitteln synchron mit dem Ventil (3)
im zweiten Pumpstrang auf- und zusteuerbar ist, und daß eine
Verbindungsleitung zwischen der Saugseite der Vorvakuumpumpe
(5) und Ölkammern der Wälzkolbenpumpe (4) vorgesehen ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863639512 DE3639512A1 (de) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | Vakuumpumpsystem mit einer waelzkolbenpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863639512 DE3639512A1 (de) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | Vakuumpumpsystem mit einer waelzkolbenpumpe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3639512A1 DE3639512A1 (de) | 1988-06-01 |
DE3639512C2 true DE3639512C2 (de) | 1989-08-31 |
Family
ID=6314283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863639512 Granted DE3639512A1 (de) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | Vakuumpumpsystem mit einer waelzkolbenpumpe |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3639512A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4132148C1 (de) * | 1991-09-26 | 1993-03-11 | Wb Laser Wegmann-Baasel Laser Und Elektrooptische Geraete Gmbh, 8000 Muenchen, De | |
DE19602450C1 (de) * | 1996-01-24 | 1997-02-13 | Linde Ag | Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtung |
DE10144210A1 (de) * | 2001-09-08 | 2003-03-27 | Sgi Prozess Technik Gmbh | Pumpensystem |
DE10202265A1 (de) * | 2002-01-22 | 2003-07-31 | Buerger Heinz Dieter | Vorrichtung zum Kühlen eines feuchten Kühlguts und Betriebverfahren hierfür |
DE102011015464A1 (de) * | 2010-11-30 | 2012-05-31 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Vakuumpumpeinrichtung und -verfahren für staubhaltige Gase |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4219268C2 (de) * | 1992-06-12 | 1994-06-09 | Ardenne Anlagentech Gmbh | Anordnung zur Vakuumerzeugung |
US5733104A (en) * | 1992-12-24 | 1998-03-31 | Balzers-Pfeiffer Gmbh | Vacuum pump system |
DE4341732A1 (de) * | 1993-12-08 | 1995-06-14 | Schlafhorst & Co W | Unterdruckanlagen von Textilmaschinen im Verbund |
DE19524609A1 (de) * | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Leybold Ag | Vorrichtung zum raschen Evakuieren einer Vakuumkammer |
DE19627422A1 (de) * | 1996-07-08 | 1998-01-15 | Bayer Ag | Verfahren zur adsorptiven Trennung von Luft |
DE10302764A1 (de) * | 2003-01-24 | 2004-07-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpsystem |
DE102008009715A1 (de) * | 2008-02-19 | 2009-08-20 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpump-System und Verwendung einer Mehrstufen-Vakuumpumpe |
GB201005459D0 (en) * | 2010-03-31 | 2010-05-19 | Edwards Ltd | Vacuum pumping system |
JP5956754B2 (ja) * | 2012-01-06 | 2016-07-27 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気システム |
DE202012012359U1 (de) * | 2012-12-22 | 2014-03-24 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Pumpstand zum Pumpen leichter Gase |
DE102013219464A1 (de) * | 2013-09-26 | 2015-03-26 | Inficon Gmbh | Evakuierung einer Folienkammer |
CN104358688A (zh) * | 2014-10-28 | 2015-02-18 | 南通御丰塑钢包装有限公司 | 水环真空泵机组 |
CN105649986B (zh) * | 2014-11-10 | 2018-07-20 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 用于多级真空泵的防冲击结构和具有该结构的多级真空泵 |
DE202015004596U1 (de) * | 2015-06-26 | 2015-09-21 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpensystem |
FR3054005B1 (fr) * | 2016-07-13 | 2018-08-24 | Pfeiffer Vacuum | Procede de descente en pression dans un sas de chargement et de dechargement et groupe de pompage associe |
CN114563492A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-05-31 | 中煤科工集团沈阳研究院有限公司 | 一种管道用气体传感器检验装置及试验方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2492075A (en) * | 1945-10-30 | 1949-12-20 | Kinney Mfg Company | Vacuum pump |
-
1986
- 1986-11-20 DE DE19863639512 patent/DE3639512A1/de active Granted
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4132148C1 (de) * | 1991-09-26 | 1993-03-11 | Wb Laser Wegmann-Baasel Laser Und Elektrooptische Geraete Gmbh, 8000 Muenchen, De | |
DE19602450C1 (de) * | 1996-01-24 | 1997-02-13 | Linde Ag | Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtung |
DE10144210A1 (de) * | 2001-09-08 | 2003-03-27 | Sgi Prozess Technik Gmbh | Pumpensystem |
DE10202265A1 (de) * | 2002-01-22 | 2003-07-31 | Buerger Heinz Dieter | Vorrichtung zum Kühlen eines feuchten Kühlguts und Betriebverfahren hierfür |
DE10202265B4 (de) * | 2002-01-22 | 2004-01-15 | Bürger, Heinz-Dieter | Vorrichtung und Verfahren zum Kühlen eines feuchten Kühlguts |
DE102011015464A1 (de) * | 2010-11-30 | 2012-05-31 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Vakuumpumpeinrichtung und -verfahren für staubhaltige Gase |
DE102011015464B4 (de) * | 2010-11-30 | 2012-09-06 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Vakuumpumpeinrichtung und -verfahren für staubhaltige Gase |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3639512A1 (de) | 1988-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3639512C2 (de) | ||
DE2529331C2 (de) | Schraubenkompressor | |
EP0715689B1 (de) | Hydraulischer gasverdichter | |
DE1916224B2 (de) | Hydrostatisches Getriebe | |
EP0603694A1 (de) | Vakuumpumpsystem | |
DE1577188A1 (de) | Hydraulische Druckerzeugungsanlage mit doppelt wirkendem Druckuebersetzer | |
DE4331589A1 (de) | Vakuumpumpsystem | |
DE2303286C2 (de) | Hydraulische Steuereinrichtung | |
EP0084085A1 (de) | Vakuumpumpe mit einem Saugstutzen-Ventil und Betriebsverfahren dafür | |
DE2404722A1 (de) | Im time-sharing arbeitende verdichtungsvorrichtung | |
DE19654781A1 (de) | Hilfseinrichtung zur Realisierung einer Redundanz für die Energieversorgung von Flugsteuerungsantrieben | |
WO2001079695A1 (de) | Schwingkolbenpumpe | |
DE4219268C2 (de) | Anordnung zur Vakuumerzeugung | |
DE4136950A1 (de) | Mehrstufiges vakuumpumpsystem | |
DE102018103252A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Entlüftung der Ansaugseite einer künstlich kommutierten Hydraulikpumpe | |
DE202005007278U1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung einer Reinflüssigkeit aus einer Rohflüssigkeit | |
DE4336074C2 (de) | Hydraulikeinrichtung für einen Hydraulikantrieb für einen Hochspannungsleistungsschalter | |
DE3200126C2 (de) | ||
DE2516637A1 (de) | Rotationskolbenkompressor fuer die stufenweise verdichtung von gas | |
DE2829889A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur wiederholten evakuierung abgeschlossener volumina | |
DE2828956C2 (de) | Hydraulische Betätigungsvorrichtung für einen Hochspannungs-Leistungsschalter | |
DE2847311A1 (de) | Mengenregeleinrichtung fuer verdichter | |
DE87749C (de) | ||
DE1650559B1 (de) | Steuereinrichtung fuer druckmittelgesteuerte Ventilsysteme | |
DE1528522C (de) | Hochdruckpumpenanlage |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |