DE3633088A1 - Messobjektiv fuer visuelle beobachtung und bildverarbeitung - Google Patents

Description

Die Erfindung kann für Meßaufgaben in der Fertigungsmeßtechnik, zur Abbildung zweidimensionaler Objektive zur visuellen Beobachtung und hochgenauen geometrischen Vermessung angewandt werden.

Planapochromatische Objektive zur vergrößerten Abbildung ebener oder quasiebener Objekte sind in der Mikroskopie seit langem bekannt. Sie werden z. B. beschrieben in Jenaer Rundschau 2 (1983) 66 und Jenaer Rundschau 1 (1985) 18.

Solche Objektive sind nicht im erforderlichen Maße verzeichnungsfrei und realisieren auch für das Anwendungsgebiet keine ausreichend großen Arbeitsabstände.

Verzeichnungsfreie Objektive mit von 1 abweichendem Abbildungsmaßstab sind ebenfalls bekannt, z. B. in Feingerätetechnik 28 (1979) 10, S. 451. Sie sind aber nur in einem schmalen Spektralbereich beugungsbegrenzt korrigiert bzw. nicht apochromatisch.

Ziel der Erfindung ist es, Meßobjektive zu schaffen, die die Nachteile des bekannten Standes der Technik nicht mehr enthalten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Meßobjektive derart anzugeben, daß sie in einem großen Spektralbereich verwendbar und im gesamten Feld verzeichnungsfrei sind und ein vermindertes sekundäres Spektrum haben. Sie müssen außerdem objektseitig telezentrischen Strahlengang und große Objektschnittweite aufweisen.

Diese Aufgabe löst ein Meßobjektiv für visuelle Beobachtung und Bildverarbeitung erfindungsgemäß dadurch, daß das Objektiv aus drei optischen Gruppen besteht, wobei die erste Gruppe aus einzelner Sammellinse und Verbundgruppe besteht, deren Sammellinse aus Flußspat gefertigt ist. Zwischen der ersten und zweiten Gruppe ist die Blende angeordnet, deren Lage die Telezentrie bestimmt.

In der zweiten Gruppe sind Variationen möglich. Sie besteht aus mindestens zwei Linsen, wobei mindestens eine Linse Flußspat enthält.

Die dritte Gruppe ist eine Verbundgruppe mit negativer Brennweite.

Mit diesem Aufbau wird erreicht, daß die telezentrischen Meßobjektive im Spektralbereich 450 bis 800 mm und Bildfelddurchmesser von 21 mm eine Verzeichnung ≦ωτ 2 µm aufweisen und Farbquerfehler und sekundäres Spektrum unterhalb der Beugungsgrenze liegen. Sie sind somit für den Einsatz zur visuellen Beobachtung und Bildverarbeitung geeignet. Die Objektschnittweite ist größer 25 mm. Die nutzbare bildseitige Apertur ist größer als 0,02. Die Definitionshelligkeit in der Bildebene beträgt im gesamten Spektralbereich und gesamten Bildfeld größer oder gleich 90%.

Bei diesem Objektiv ist die Korrektion der Pupillenabbildung ebenfalls ausgezeichnet, so daß die Blendenlage bei Bedarf und entsprechender konstruktiver Ausführung auch Pupilleneingriffe am Ort der Blende mit bekannten Mitteln zum Zwecke der optischen Bildverarbeitung bzw. -vorverarbeitung (Fourierfilterung) gestattet.

Claims (1)

1. Meßobjektiv für visuelle Beobachtung und Bildverarbeitung, das aus drei optischen Funktionsgruppen besteht, gekennzeichnet dadurch, daß das Objektiv durch folgende konstruktive Daten charakterisiert ist: