DE3619729C2 - - Google Patents

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DE3619729C2
DE3619729C2 DE3619729A DE3619729A DE3619729C2 DE 3619729 C2 DE3619729 C2 DE 3619729C2 DE 3619729 A DE3619729 A DE 3619729A DE 3619729 A DE3619729 A DE 3619729A DE 3619729 C2 DE3619729 C2 DE 3619729C2
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DE
Germany
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lens
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rotation
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Application number
DE3619729A
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German (de)
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Other versions
DE3619729A1 (de
Inventor
Hiroyuki Mito Jp Kobayashi
Shigeto Katsuta Jp Isakozawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/261—Details
    • H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
DE19863619729 1985-06-12 1986-06-12 Durchstrahlungs-elektronenmikroskop Granted DE3619729A1 (de)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60127580A JPH0815060B2 (ja) 1985-06-12 1985-06-12 透過形電子顕微鏡

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Publication Number Publication Date
DE3619729A1 DE3619729A1 (de) 1986-12-18
DE3619729C2 true DE3619729C2 (enExample) 1991-05-16

Family

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Publication number Publication date
JPH0815060B2 (ja) 1996-02-14
JPS61285647A (ja) 1986-12-16
US4775790A (en) 1988-10-04
DE3619729A1 (de) 1986-12-18

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