DE3604422C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3604422C2 DE3604422C2 DE3604422A DE3604422A DE3604422C2 DE 3604422 C2 DE3604422 C2 DE 3604422C2 DE 3604422 A DE3604422 A DE 3604422A DE 3604422 A DE3604422 A DE 3604422A DE 3604422 C2 DE3604422 C2 DE 3604422C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- air
- airlock
- flow
- section
- slot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 9
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 239000003570 air Substances 0.000 description 108
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 3
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000012549 training Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003517 fume Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000036540 impulse transmission Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 208000015181 infectious disease Diseases 0.000 description 1
- 230000002458 infectious effect Effects 0.000 description 1
- 230000004941 influx Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000002560 therapeutic procedure Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/003—Ventilation in combination with air cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B17/00—Methods preventing fouling
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
- F24F8/10—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Description
Die Erfindung liegt auf dem Gebiet der Reinraumtechnik; sie betrifft
eine Luftschleuse für reinraumtechnische Zwecke zum Reinigen
von kontaminierten Oberflächen mittels die Luftschleuse durchströmender
Luft mit zwei einander gegenüberliegend angeordneten
Zuluftkammern, deren Seitenwände mit einer Anzahl von Ausströmöffnungen
zum Einblasen der Luft versehen sind, und die zumindest
eine Rückführungsöffnung zum Abführen der Luft aus der Schleuse
aufweist.
Fertigungen, Untersuchungen, Therapie und Pflege in bestimmten Bereichen
bedürfen besonderer Vorsorge gegen das Einschleppen von
Kontaminationen auf der Oberfläche von in den Arbeits-, Labor-
oder Pflegeraum eingebrachten Gegenständen einschließlich der
Schutzkleidung des Personals. Derartige Arbeitsweisen werden in
Reinen Räumen durchgeführt, die Reinheitsbedingungen unterliegen
dabei je nach durchzuführender Tätigkeit unterschiedlichen Anforderungen.
Häufig werden derartige Räume mit einer vertikalen oder
einer horizontalen, turbulenzarmen Verdrängungsströmung durchflutet,
während in anderen Bereichen andere Strömungsverhältnisse
herrschen können. Charakteristisch ist dabei im allgemeinen, daß
Reine Räume einen Überdruck gegenüber der Umgebung aufweisen, um
ein luftgetragenes Einströmen von Kontaminationen zu unterbinden.
Es ergibt sich daher das Problem, die Zugänge und Durchreichen für
Reine Räume so zu gestalten, daß ein Luftaustausch höchstens in
Richtung des Druckgefälles erfolgen kann, und daß im Eingangsbereich
eine Reinigung der Oberfläche der einzubringenden Gegenstände
bzw. des eintretenden Personals vorgenommen wird.
Um zwischen Innenräumen und der Außenluft oder zwischen unterschiedlichen
Lüftungszonen einen entgegengesetzten Luftaustausch
zu verhindern, kennt die Lüftungstechnik Luftschleusen, wie beispielsweise
in der DE-OS 34 03 547 beschrieben; eine derartige
Luftschleuse soll unabhängig von der Höhe der Druckdifferenz zwischen
innen und außen arbeiten, über den gesamten Betriebsbereich
stabil bleiben und unabhängig von der Richtung des Druckgefälles
sein. Bei reinraumtechnischen Anlagen wird dagegen eine Schleuse
eingesetzt, bei der immer ein gleiches Druckgefälle vorliegt, dessen
Richtung vom Reinraum zum nicht-reinen Bereich innerhalb des
in aller Regel klimatisierten Gebäudes hin gerichtet ist, in der
aber die Oberflächen von einzubringenen Gegenstände bzw. der
Schutzkleidung des eintretenden Personals durch die auftreffende
Luftströmung abreinigen sollen. Dazu sind Vorräume bekannt, in denen
diese Oberflächen mit aus einer Vielzahl von Strahldüsen austretenden
Luftstrahlen abgeblasen werden sollen, um auf Oberflächen
haftende teilchenförmige Verunreinigungen zu lösen und so
Kontaminationen zu entfernen. Die DE-OS 23 05 923 betrifft eine Anordnung
zum Abschotten von Tor- oder Türöffnungen gegenüber äußeren
Einflüssen mit lüftungstechnischen Mitteln, wobei die Lufteinführung
ebenso wie das Abführen der aus der Walze ausgeschleusten
Luft tangential erfolgen, und die aus der Walze ausgeschleuste, im
allgemeinen mit Verunreinigungen angereicherte Luft, in einen Luftfilter
gereinigt wird. Die DE-PS 32 08 622 betrifft einen Abzug
zum Absaugen von Gasen, Dämpfen und Schwebstoffen. Hier wird in
dem Innenraum des Abzuges durch Blasdüsen eine Drallströmung erzeugt,
die die bei geöffnetem Frontschieber eintretende Luft erfaßt
und in die in der Walze strömende Luft einmischt. Eine Vorbehandlung
der eingeblasenen Luft erfolgt nicht. Eine für reinraumtechnische
Zwecke einsetzbare Luftschleuse ist in der US-PS
32 85 693 beschrieben: Sie weist zwei einander gegenüberliegend
angeordnete Zuluftkammern auf, deren Seitenwände mit einer Anzahl
von Ausströmöffnungen zum Einblasen der Luft versehen sind, wobei
die aus den Ausströmöffnungen austretende Luft zum Reinigen von in
die Schleuse eingebrachten, kontaminierten Oberflächen dient; sie
weist weiter zumindest eine Rückführungsöffnung zum Abführen der
Luft aus der Schleuse auf. Die Vielzahl derartiger, gegeneinander
gerichteter Luftstrahlen führt jedoch aufgrund der Induktion zu
einer Verschleppung von Verunreinigungen, da bei derartigen
Strahlanordnungen unvermeidbar ist, daß jeder Strahl Umgebungsluft
ansaugt und durch Impulsübertragung beschleunigt. Diese angesaugte
Luft enthält jedoch viele gerade abgelöste und abgetragene Partikel,
die so in den Reinluftbereich des Strahlkernes gelangen, begünstigt.
durch die kleinen Abmessungen dieser Vorräume, die, um
wirtschaftlich betrieben werden zu können, nicht größer sein sollen,
als die eingebrachten Güter bzw. für den Durchgang einer
Person notwendig, wobei die Verkleinerung der Abmessung der
Strahlwirkung entgegenkommt, hat doch der im wesentlichen wirksame
Kernbereich des Strahles nur eine Wirklänge von etwa dem 6- bis 8
fachen des Mündungsdurchmessers der Strahldüse.
Hieraus ergibt sich die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe eine
gattungsgemäße Luftschleuse so weiter zu bilden, daß die in ihr
strömende Luft von Oberflächen Partikal abzutragen in der Lage ist
und partikelhaltig in überschaubarer Weise gezielt abströmen soll;
in Weiterführung der Aufgabenstellung soll eine Umluftführung eingesetzt
werden, die den Betrieb derartiger Luftschleusen wirtschaftlicher
werden läßt.
Diese Aufgabenstellung wird bei einer Luftschleuse mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 von den im Kennzeichen des Hauptanspruchs
wiedergegebenen Merkmalen gelöst; vorteilhafte Ausgestaltungen
und bevorzugte Ausführungsformen beschreiben die Unteransprüche.
Bei der vorgeschlagenen Ausbildung wird jede der Zuluftkammern mit
den segmentförmig ausgebildeten Innenwänden auf einen im wesentlichen
kreisförmigen Querschnitt der Luftschleuse begrenzt; zur
Erzeugung der Drallströmung weist die Luftschleuse mindestens ein
Paar in Bezug auf den Mittelpunkt des Querschnittes einander diametral
gegenüberliegend angeordnete, schlitzförmige Luftauslässe
auf, zur Vergleichmäßigung dieser Drallströmung ist jede der Zuluftkammern
mit einer Strömungsleitfläche versehen, die als schräg
zu der Innenwand angeordnete, den Strömungsquerschnitt verengende
Strömungsleitbleche ausgebildet sind. Zur Rückführung der eingebrachten
Luft ist die Rückluftöffnung an mindestens einer der
Stirnflächen des im wesentlichen kreisförmigen Innenraumes der
Luftschleuse und koaxial dazu mit einem Rückluftstutzen vorgesehen.
Durch diese Anordnung wird ein Vorraum gebildet, der Mittel
aufweist, um die in ihm enthaltene Luft in eine Drallströmung zu
versetzen, wobei der Tangentialgeschwindigkeit der Luft eine radiale
Geschwindigkeitskomponente überlagert ist, da aus der Drallströmung
koaxial zur Drallachse Rückluft entnommen wird, die entsprechend
den Druckverhältnissen sowohl aus der Luft des Reinen
Raumes als auch aus der Luft des Vorraumes ersetzt wird. Das Abströmen
geschieht dabei auf Spiralbahnen und ist daher überschaubar.
Besonders im äußeren Strömungsbereich ist die Luftgeschwindigkeit
so hoch, daß Verunreinigungen von den zu reinigenden Oberflächen
abgetragen werden. Dieses geschieht somit beim Betreten
und beim Verlassen der Luftschleuse. Durch das Abführen der verunreinigten
Luft zu einer oder zu beiden Stirnseiten wird eine
Partikel-Anreicherung in der Luft der Luftschleuse vermieden.
Die paarweise Anordnung betrifft dabei auch die Anwendung mehrerer
Paare, die achssymmetrisch und diametral in bezug auf die Mittelpunktslinie
des Querschnitts der Luftschleuse auf den segmentförmigen
Seitenwänden verteilt angeordnet sind. Durch diese Ausbildung
wird erreicht, daß die Impulseinführung zum Antreiben der
Luftwalze über mehrere Schlitzauslaß-Paare erfolgt, wobei der eine
Schlitzauslaß eines Paares in der Seitenwand der einen Zuluftkammer
und der andere Schlitz in der Seitenwand der anderen Zuluftkammer
vorgesehen sind. Bei der Anwendung von zwei Paaren empfiehlt
es sich, den einen Schlitzauslaß an dem Einlauf in die die
Strömung leitenden segmentförmigen Wand vorzusehen. Es versteht
sich von selbst, daß auch zusätzlich im Verlauf der Wand angeordnete
Schlitzauslässe zur Impulseinführung und insbesondere zur
Kompensation der Reibungsverluste der Strömung an den segmentförmigen
Seitenwände vorgesehen sein können. Mit den in den Zuluftkammern
vorgesehen Strömungsleitflächen wird eine Vergleichmäßigung
der Drallströmung über die gesamte Höhe der Luftschleuse erreicht.
Besonders bei sehr hohen Luftschleusen bedarf es für die
Erzeugung einer gleichmäßigen Drallströmung einer über die gesamte
Höhe im wesentlichen gleichmäßig verteilten Ausblasgeschwindigkeit
aus den schlitzfömigen Luftauslässen. Bei engen Luftkammern müssen
besondere Maßnahmen getroffen werden, um die Verteilung der
Ausblasgeschwindigkeit zu egalisieren. Dazu wird der als Strömungskanal
aufzufassende Querschnitt der Zuluftkammer durch eine
schräg eingebaute Strömungsleitfläche so verengt, daß ihr Strömungsquerschnitt
kontinierlich mit der Entfernung vom Lufteintritt
abnimmt. Die Egalisierung kann jedoch auch durch Einbau
eines zusätzlichen Strömungswiderstandes, etwa in Form einer
Filterwand, erreicht werden.
In einer bevorzugten Ausführungsform beträgt die Schlitzweite der
schlitzförmigen Luftauslässe im Verhältnis zum Wirkdurchmesser
des Innenraumes der Luftschleuse (1) mindestens 1 : 20
und höchstens 1 : 60 und die Einblasgeschwindigkeit liegt im Bereich
von 10 m/s bis 30 m/s. Durch diese Verhältnisse an den über
die gesamte Höhe reichenden schlitzförmigen Auslässen, die auch
Unterbrechungen aufweisen können, wird erreicht, daß eine stabile
Drallströmung durch den Strahlimpuls angetrieben wird, mit einer
für die Abreinigung der Oberflächen günstigen Luftgeschwindigkeit.
Weiter wird vorgeschlagen, daß die schlitzförmigen Luftauslässe
schwenkbar ausgebildet und in ihrer Strahlrichtung von nahezu tangential
bis etwa radial einstellbar sind. Darüber hinaus wird vorgeschlagen,
daß zusätzlich zu den Schlitzauslaß-Paaren Strahldüsen
vorgesehen sind, die schwenkbar ausgebildet und in ihrer Strahlrichtung
tangential zum Kreisquerschnitt ausrichtbar
und zum Mittelpunkt des Kreisquerschnittes hin schwenkbar sind.
Durch die schwenkbaren Schlitzauslässe kann der Impulseintrag in
die Drallströmung den herrschenden Bedingungen angepaßt werden.
Dabei ist es nicht nötig, daß die Schlitzauslässe selbst körperlich
geschwenkt werden; es genügt vielmehr, daß die Strahlrichtung
durch in die Schlitzauslässe eingebaute Leitkörper oder Leitflächen
entsprechend den Erfordernissen gelenkt wird. Die zusätzlichen
Strahldüsen sind im wesentlichen dann erforderlich, wenn
die Konfiguration der Luftschleuse zu dekontaminierenden Gegenständen
dies erfordert. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn
Hinterschneidungen oder Hohlräume zu beachten sind, die in der
Drallströmung einen Strömungsschatten aufweisen.
In einer vorteilhaften Weiterbildung sind in den Rückluftstutzen
Gegendrallkörper zur Umsetzung der Drallströmung des Innenraums
der Schleuse in gerichtete Strömungsenergie vorgesehen. Durch diese
Maßnahme wird der durch die Impulseinleitung in die Drallströmung
in der Rückluft vorliegende Drall-Impuls in vorwärts gerichteten
Strömungsimpuls umgewandelt, wodurch die vom Gebläse aufzubringende
Druckdifferenz verringert wird. Dies hat zur Folge, daß
die vom Gebläse aufgenommene Leistung und somit auch seine in Wärme
übergehende Verlustleistung verringert wird.
Eine bevorzugte Ausführungsform ist dadurch gegeben, daß die Zuluftkammern
über Druckleitungen mit dem Ausblas eines Gebläses und
die Rückluftstutzen über Saugleitungen mit dem Saugstutzen dieses
Gebläses verbunden sind, wobei die Druckleitung für die Zuluft mit
einem den Überdruck begrenzenden Abblasventil versehen und in ihr
eine Filtereinheit vorgesehen ist, und wobei in dem/den Rückluftstutzen
Gegendrallkörper zur Umsetzung der Drallströmung des Innenraumes
der Schleuse in gerichtete Strömungsenergie vorgesehen
sind. Weiter ist vorteilhaft in der Druckleitung für die Zuluft
ein den Überdruck begrenzendes Abblasventil vorgesehen. Schließlich
ist es vorteilhaft, wenn in der Saugleitung der Rückluft eine
Filtereinheit vorgesehen ist. Durch diese Vorschläge wird eine
Luftschleuse angegeben, in der Gegenstände auch komplexer Formen
wirksam gereinigt werden können. Es versteht sich von selbst, daß
die Luftschleuse auch als Reinigungsstation für im Reinraum tätiges
Personal benutzt werden kann, wobei der wesentliche Vorteil
gegenüber den bisher benutzten "Luftduschen" mit hochturbulenten,
gegeneinander gerichteten Luftstrahlen vermieden wird. Vermieden
wird dabei auch ein unerwünschter Partikeltransfer als Folge eines
"Durchblasens", eine Erscheinung, die infolge der gegeneinander
gerichteten Luftstrahlen dieser Luftduschen beim Durchreichen von
Gegenständen oder beim Durchgehen von Personal nicht vermieden
werden kann. Für die von den zusätzlichen Blasstrahlen nach der
Erfindung abgetragenen Kontaminationen besteht nicht diese Gefahr,
da sie von der Drallströmung erfaßt werden und nicht mit einem die
Drallströmung durchbrechenden Luftstrahl in den Reinraum verschleppt
werden können. Durch die Begrenzung des Schwenkwinkels
der zusätzlichen Strahldüsen zwischen Tangential-Richtung und Radial-Richtung
bringen diese zusätzlichen Luftstrahlen noch einen
zusätzlichen, die Drallerzeugung unterstützenden Impuls in die
Strömung ein, wobei es selbstverständlich ist, daß diese zusätzlichen
Strahlen nicht gegen die Drallströmung angestellt werden.
Dadurch wird die Strahlluft rasch Bestandteil der Drallströmung
und mit der in der Drallströmung befindlichen Luft zu einer oder
beiden Stirnflächen hin abgeführt.
Für ein wirksamens Abreinigen im Bereich dieser Luftschleuse ist es
sinnvoll, wenn das Verhältnis zwischen ihrem Durchmesser und dem
Durchmesser des Rückluftrohres bzw. der Rückluftrohre im Bereich
von 2:1 bis 4:1 liegt. Durch diese Festlegung wird im wesentlichen
die Verweildauer der kontaminierten Luft im Bereich der Drallströmung
bestimmt und auch für praktische Verhältnisse günstige Werte
begrenzt.
Die Erfindung wird anhand der in den Fig. 1 bis 3
dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert, dabei zeigt
Fig. 1: einen horizontalen Schnitt durch eine Luftschleuse
mit Luftkammern;
Fig. 2: eine seitliche Ansicht der Luftschleuse mit Luftkammern,
eine Luftkammer teilweise geschnitten;
Fig. 3: ein lüftungstechnisches Schaltschema der Luftschleuse.
Die Durchgangsstation wird von zwei Luftkammern 2 und 3 gebildet,
zwischen denen sich der eigentliche Reinigungsbereich 1 befindet.
Die Innenwände 2.1 und 3.1 der Luftkammern 2 und 3 sind kreis
segmentförmig ausgebildet, so daß der im wesentlichen kreisförmi
ge Querschnitt durch diese Segmente vorgegeben ist. In den Innen
wänden 2.1 und 2.3 beider Luftkammern 2 und 3 sind paarweise dia
metral einander gegenüberliegende schlitzförmige Luftauslässe
7 und 8 sowie 9 und 10 vorgesehen, die zwischen Tangential und
Radial schwenkbar sind. Es versteht sich von selbst, daß alle
diese Luftauslässe gleichsinnig ausgerichtet sind, so daß sich
letztendlich die schematisch eingezeichnete Strömungsverteilung
im Bereich der Reinigungszone des Durchgangs 1 ausbildet. Wesent
lich für das Ausbilden dieser Potential-Strömung ist der Impuls
eintrag durch die Luftauslässe und das Abströmen durch den (in
Fig. 1 nicht näher dargestellten) Rückluftauslaß 5.1 (Fig. 2).
Die Durchgangsstation ist mit einem luftdurchlässigen Boden 18
versehen, auf dem die durchzureichenden Gegenstände mit ihrer
zu dekontaminierenden Oberfläche abgestellt werden können oder
der als Trittrost für das Durchgehen dient.
Die Fig. 2 zeigt die Frontansicht der anschlußfertigen Durch
gangsstation mit den beiden Luftkammern 2 und 3 auf den beiden
Seiten des Durchganges 1, wobei die Luftkammer 2 entsprechend
der Schnittlinie II-II (Fig. 1) teilgeschnitten ist. Die Decke
4 der Durchgangsstation trägt die umkleidete Zuluftkammer 4.1,
in die Zuluft durch die Anschluß-Frischrohrleitung 4.2 zuströmt.
Durch die Überströmöffnung gelangt die Zuluft in das Innere der
Luftkammer 2 und strömt durch den Schlitzauslaß 7 und auch 10
(Fig. 1) etwa mit tangentialer Richtung in den Strömungsbereich
der Durchgangsstation 1. Die auf der gegenüberliegenden Seite
angeordnete Luftkammer 3 ist gleichermaßen ausgebildet, so daß
unabhängig von der Anzahl der Schlitzauslaß-Paare stets ein dreh
symmetrisches Einströmen der Zuluft erfolgt. Um die Ausblasge
schwindigkeit über die gesamte Höhe des Strömungsbereiches der
Durchgangsstation 1 zu gewährleisten, sind in die Luftkammer
- wie am Teilschnitt der Luftkammer 2 zu erkennen - schräg an
geordnete Strömungsleitflächen 20 eingesetzt, die den Quer
schnitt der Luftkammer von der Überströmöffnung in der Deckplatte
4 zur Bodenplatte 5 hin verengen. Den unteren Abschluß bildet
die Bodenplatte 5, in der zentral angeordnet und konzentrisch
zum durch die Kreissektoren gegebenen Grundkreis das Abluftrohr
5.1 angeordnet ist. Der im Abstand darüber angeordnete luft
durchlässige Boden 18 - vorteilhafter Weise ein Gitterrost -
gestattet das Abstellen, ggf. auch das Begehen der Durchgangs
station 1.
Die Fig. 3 zeigt schließlich ein Schaltschema mit der Versor
gung der Luftkammern 2 und 3 und der Abführung der Abluft aus
der Durchgangsstation 1. Die Luft des gesamten Systems wird
vom Gebläse 10 gefördert, das vom Antriebsmotor 10.1 angetrieben
ist. Die Zuluft verläßt das Gebläse über den Anschlußstutzen
10.2 und strömt in die Zuluftleitung 11. Um die Druckhöhe in
der Zuluftleitung 11 zu begrenzen, ist ein Abblasstutzen mit
einem druckabhängigen Ventil 12, bei dem es sich um ein be
liebiges Überdruckventil, insbesondere eins mit Feder- oder mit
Gewichtsbelastung handeln kann, vorgesehen. Die Zuluft wird
durch eine Zuluft-Filtereinheit 13 geführt; diese Filtereinheit
kann selbstverständlich dann entfallen, wenn Stromrichter mit
Filtern den Luftkammern 2 und 3 vorgeschaltet sind. Über die
Speiseleitungen 14.1 und 14.2 werden die - in dieser Darstellung
getrennt versorgten - Luftkammern 2 und 3 mit den Zuluftstutzen
4.1 mit Zuluft versorgt, die dann über die paarig angeordneten,
schlitzförmigen Luftauslässe 7 und 8 bzw. 9 und 10 (Fig. 1) in
den Strömungsbereich der Durchgangsstation 1 überströmt. Die aus
gebildete Drallströmung wird zentral - im Beispiel der Fig. 4
beidseitig - über die Abluftstutzen 5.1 abgesaugt und über die
Leitungen 15.1 und 15.2 der Rückluftfiltereinheit 16 zugeführt.
Die Rückluftfiltereinheit 16 hat insbesondere dann Sinn, wenn
die zu entfernenden Kontaminationen gefährlich, etwa radioaktiv
oder infektiös, sind. Bei üblichen Einsätzen kann auf sie ver
zichtet werden. Die Leitung 17 schließlich führt die Abluft
wiederum dem Gebläse 10 zu. Da eine Auffüllung des Volumenstroms
der in der Drallströmung kreisenden Luft durch die offenen Sei
ten der Durchgangsstation 1 (Fig. 1) nicht verhindert werden
kann, muß das Gebläse 10 unter Berücksichtigung dieser Induktion
ausgelegt werden. Der Überschuß wird dann über das Abblasventil
12 abgegeben, wobei zweckmäßigerweise der statische Überdruck
an einem vom Volumenstrom abhängigen Strömungswiderstand erzeugt
wird.
Claims (8)
1. Luftschleuse für reinraumtechnische Zwecke zum Reinigen
von kontaminierten Oberflächen mittels die Luftschleuse
durchströmender Luft mit zwei einander gegenüberliegend
angeordneten Zuluftkammern, deren Seitenwände mit einer
Anzahl von Ausströmöffnungen zum Einblasen der Luft versehen
sind, und die zumindest eine Rückführungsöffnung
zum Abführen der Luft aus der Schleuse aufweist, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zuluftkammern (2, 3), deren Innenwände
(2.1, 3.1) segmentförmig ausgebildet sind, einen
im wesentlichen kreisförmigen Querschnitt der Luftschleuse
(1) begrenzen und jede der Zuluftkammern (2, 3)
zur Erzeugung einer Drallströmung mindestens ein Paar in
bezug auf den Mittelpunkt des Querschnittes der Luftschleuse
(1) einander diametral gegenüberliegend angeordnete,
schlitzförmige Luftauslässe (7, 8; 9, 10) aufweist,
wobei zur Vergleichmäßigung dieser Drallströmung
jede der Zuluftkammern (2, 3) mit einer Strömungsleitfläche
(20) versehen ist, die als schräg zu der jeweiligen
Innenwand (2.1, 3.1) angeordnetes, den Strömungsquerschnitt
verengendes Strömungsleitblech ausgebildet ist,
und daß die Rückluftöffnung (5) an mindestens einer der
Stirnflächen des im wesentlichen einen kreisförmigen
Querschnitt aufweisenden Innenraumes der Luftschleuse
(1) angeordnet und koaxial zum Querschnitt des Innenraumes
mit einem Rückluftstutzen (5.1) versehen ist.
2. Luftschleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die schlitzförmigen Luftauslässe (7, 8; 9, 10)
schwenkbar ausgebildet und in ihre Strahlrichtung von
nahezu tangential bis etwa radial einstellbar sind.
3. Luftschleuse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schlitzweite der schlitzförmigen
Luftauslässe (7, 8; 9, 10) im Verhältnis zum Wirkdurchmesser
des Innenraumes der Luftschleuse (1) mindestens 1
: 20 und höchstens 1 : 60 beträgt, und daß die
Einblasegeschwindigkeit im Bereich von 10 m/s bis 30 m/s
liegt.
4. Luftschleuse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß zusätzlich zu den paarweise angeordneten
Schlitzauslässen (7, 8, 9, 10) Strahldüsen vorgesehen
sind, die schwenkbar ausgebildet und in ihrer Strahlrichtung
tangential zum Kreisquerschnitt ausrichtbar und
zum Mittelpunkt des Kreisquerschnittes hin verschwenkbar
sind.
5. Luftschleuse nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß im Rückluftstutzen (5.1) Gegendrallkörper
zur Umsetzung der Drallströmung des Innenraums
der Schleuse (1) in gerichtete Strömungsenergie vorgesehen
sind.
6. Luftschleuse nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zuluftkammern (2, 3) über Zuluftleitungen
(14.1, 14.2, 11) mit dem Auslaßstutzen (10.2)
eines Gebläses (10) und der oder die Rückluftstutzen
(5.1) über Saugleitungen (15.1, 15.2, 17) mit dem Saugstutzen
dieses Gebläses (10) verbunden sind, wobei die
Zuluftleitung (11) mit einem den Überdruck begrenzenden
Abblasventil (12) versehen ist, und wobei in dem bzw.
den Rückluftstutzen (5.1) Gegendrallkörper zur Umsetzung
der Drallströmung des Innenraums der Luftschleuse (1) in
gerichtete Strömungsenergie vorgesehen sind.
7. Luftschleuse nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß in der Zuluftleitung (11) eine Filtereinheit (13)
vorgesehen ist.
8. Luftschleuse nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet,
daß in der Saugleitung (17) für die Rückluft eine
Filtereinheit (16) vorgesehen ist.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863604422 DE3604422A1 (de) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | Vorrichtung zum saeubern kontaminierter oberflaechen mittels stroemender luft |
| US07/014,265 US4790080A (en) | 1986-02-13 | 1987-02-12 | Apparatus for cleaning contaminated surfaces by means of flowing air |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863604422 DE3604422A1 (de) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | Vorrichtung zum saeubern kontaminierter oberflaechen mittels stroemender luft |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3604422A1 DE3604422A1 (de) | 1987-08-20 |
| DE3604422C2 true DE3604422C2 (de) | 1993-06-17 |
Family
ID=6293953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19863604422 Granted DE3604422A1 (de) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | Vorrichtung zum saeubern kontaminierter oberflaechen mittels stroemender luft |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4790080A (de) |
| DE (1) | DE3604422A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2814768B1 (de) | 2012-02-13 | 2016-07-13 | MCR Consortium Limited | Ladedock- und rampenanlage |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0198297A (ja) * | 1987-10-12 | 1989-04-17 | Hitachi Ltd | 電子機器筐体 |
| DE3901859C2 (de) * | 1989-01-23 | 1995-11-30 | Kessler & Luch Gmbh | Stabilisierte Drallströmung |
| US4967645A (en) * | 1989-11-27 | 1990-11-06 | Micron Technology, Inc. | Air shower with directed air flow |
| US5232401A (en) * | 1991-04-23 | 1993-08-03 | Kawasaki Steel Corporation | Air supplying apparatus |
| DE9418235U1 (de) * | 1994-11-14 | 1995-01-05 | MMM Medcenter Einrichtungen GmbH, 82152 Planegg | Vorrichtung, insbesondere Wärmeschrank |
| DE19528669A1 (de) * | 1995-08-04 | 1997-02-06 | Anneliese Munder Luftduschkabi | Vorrichtung zum Reinigen von verstaubte Kleidung tragenden Personen |
| WO2000064562A1 (en) | 1999-04-28 | 2000-11-02 | Stratotech Corporation | Adjustable clean-air flow environment |
| DE29909803U1 (de) | 1999-06-04 | 2000-08-17 | Rudolf Otto Meyer GmbH & Co. KG, 22047 Hamburg | Schleuse für Reinraum-Anlagen |
| CN102095612B (zh) * | 2008-06-27 | 2013-06-05 | 同方威视技术股份有限公司 | 检测毒品、爆炸物等违禁品的门式行人安全检查方法 |
| JP6133170B2 (ja) * | 2013-08-27 | 2017-05-24 | 株式会社日立産機システム | エアシャワー装置 |
| CN111435221B (zh) * | 2019-01-14 | 2022-04-01 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 污染防护装置及参数确定方法、物镜防护系统、光刻机 |
| CN115264600B (zh) * | 2022-08-09 | 2024-06-14 | 珠海格力电器股份有限公司 | 风道清洁组件、空调器及其风道清洁方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3285693A (en) * | 1966-11-15 | Apparatus for decontaminating personnel | ||
| US3190207A (en) * | 1962-11-06 | 1965-06-22 | P J Mac Inc | Air curtain |
| US3308740A (en) * | 1965-01-15 | 1967-03-14 | Disco Eng Inc | Draft-free air curtain closure |
| DE2305923A1 (de) * | 1972-02-11 | 1973-08-16 | Marc Fordsmand | Verfahren und vorrichtung zur abschirmung von tueroeffnungen |
| DE3208622C1 (de) * | 1982-03-10 | 1983-12-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Abzug zur Absaugung von Gasen,Daempfen und Schwebstoffen |
| DE3403547C2 (de) * | 1984-02-02 | 1986-11-13 | Kessler & Luch Gmbh, 6300 Giessen | Luftschleuse in einem Gebäudeeingang |
-
1986
- 1986-02-13 DE DE19863604422 patent/DE3604422A1/de active Granted
-
1987
- 1987-02-12 US US07/014,265 patent/US4790080A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2814768B1 (de) | 2012-02-13 | 2016-07-13 | MCR Consortium Limited | Ladedock- und rampenanlage |
| EP2814768B2 (de) † | 2012-02-13 | 2021-02-17 | MCR Consortium Limited | Ladedock- und rampenanlage |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3604422A1 (de) | 1987-08-20 |
| US4790080A (en) | 1988-12-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69213079T2 (de) | Fluidansaugvorrichtung und Fluidbehandlungsgerät | |
| DE3604422C2 (de) | ||
| DE69014765T2 (de) | Verfahren zum Bilden einer von einem Luftstrom umspülten Zone. | |
| EP0891519A2 (de) | Verfahren zum eingrenzen, erfassen und absaugen von dunst, staub oder dgl. sowie einrichtung zur durchführung des verfahrens | |
| DE19644360C2 (de) | Farbsprühkabine mit Düsen zur Erzeugung horizontal gerichteter Querluftströme | |
| EP0631849A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Oberflächen | |
| WO2015055157A1 (de) | Filtersystem mit einem rotationsfilter | |
| EP0604925B1 (de) | Verfahren zur Luftführung in einem Aufnahmeraum sowie Vorrichtung zum Bearbeiten von Kleinteilen | |
| EP0486971A1 (de) | Abzug mit Einströmprofil | |
| DE1786108C3 (de) | Vorrichtung zum kontinuierlichen Entstauben von Materialbahnen | |
| DE102013017266A1 (de) | Filtersystem mit einem Rotationsfilter | |
| DE10209735A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Abführen von Abluft | |
| DE2443033C3 (de) | Sang-Mischkopf | |
| DE3404775C1 (de) | Tischabsaugeschrank für schadstoffhaltige Arbeitsvorgänge und energiesparende Belüftung | |
| DE3743598C2 (de) | ||
| DE3901859C2 (de) | Stabilisierte Drallströmung | |
| AT396736B (de) | Vorrichtung zum abscheiden von dunst-, fett- und staubpartikeln aus einem luftstrom | |
| DE1471628B1 (de) | Vorrichtung zum Reinigen von Gasen durch Verwirbelung mit einer Fluessigkeit | |
| DE102014104010A1 (de) | Anordnung zum Abführen von Lacknebel beim Lackieren eines Bauteils, wie einen Flugzeugrumpf und Lacknebelabführverfahren | |
| EP4028567B1 (de) | Prozessbox für eine beschichtungsanlage | |
| DE19822537A1 (de) | Reinigungsvorrichtung für Karosserien von Fahrzeugen | |
| DE1126107B (de) | Duesenkoerper fuer Klimageraete | |
| DE20208466U1 (de) | Einrichtung zur Befeuchtung von Luft | |
| DE202013009217U1 (de) | Filtersystem mit einem Rotationsfilter | |
| DE2034646A1 (de) | Absauggerat für Arbeitsplatze |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: KESSLER + LUCH GMBH & CO. KG, 35394 GIESSEN, DE |
|
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: THYSSENKRUPP HISERV GMBH, 46047 OBERHAUSEN, DE |