DE3600718A1

DE3600718A1 - Verfahren und vorrichtung zum transfer von werkstuecken

Info

Publication number: DE3600718A1
Application number: DE19863600718
Authority: DE
Inventors: William Parsippany N.J. Hayes; Gary Livingston N.J. Hillman; Richard West Paterson N.J. Rubin; Lewis Sparta N.J. Zarr
Original assignee: Machine Technology Inc
Current assignee: Machine Technology Inc
Priority date: 1985-05-20
Filing date: 1986-01-13
Publication date: 1986-11-20
Also published as: CA1269408A; JPS61284357A; GB8529924D0; GB2175266A; GB2175266B; US4685852A; FR2581978A1

Description

PAT ί NIAN WAU I- ; ^ kf-UKTS AN WÄL-TE ■

1 ΙΙΚΟΡΙ-.ΛΝ Ι'ΛΊ f N I Ai Γ O K N h YS ODUU/IO * - "STEU tiKBE-kATER"

RALJ- M KIiRN & PARI NKR Λ S-G.LANG&PARTNER

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TRANSFER VON WERKSTÜCKEN

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verfahren und Vorrichtungen um Werkstücke von einer Kassette auf eine andere zu transferieren und insbesondere auf solche Verfahren und Vorrichtungen, die besonders von Nutzen sind in Verbindung mit Bearbeitungsverfahren und Vorrichtungen, wie die, die für die Herstellung von Halbleitereinrichtungen aus Siliziumscheibchen verwendet werden.

Die US-PS 4,062,463 offenbart ein einmaliges Transferiersystem, das eine einzige Kassette verwendet, von der Werkstücke, wie z.B. Siliziumscheibchen, zu einer Bearbeitungsstation transferiert und nach der Bearbeitung zu der gleichen Kassette zurückgeführt werden. Ein solches System schließt die Notwendigkeit der Verwendung zweier getrennter Kassetten aus und damit die Notwendigkeit für einen ziemlich komplizierten Mechanismus, der die Bewegung der Kassetter, koordiniert, so daß die eine sich in einer Stellung b« findet,um die Werkstücke zu der Bearbeitunqsstation zu transferiere:., während die andere sich in einer Stellung befindet, um die Werkstücke zu empfangen, nachdem .ie bearbeiteι worden sind.

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RALF M. KERN & PARTNER ö S. (J. LANG* PARTNER -yH^-

Weil dieses System eine einzige Kassette und einen relativ einfachen Transferxermechanisraus verwendet, kann das System der US-PS 4,062,463 sehr kompakt ausgebildet sein. Trotz seiner Vorteile hat das System, das in diesera Patent offenbart ist, jedoch einen Nachteil: Ein solches System kann nämlich jeweils nur ein Werkstück bearbeiten.

Die Systeme, die zwei Kassetten verwenden, eine, um die Werkstücke zu der Bearbeitungsstation zu bringen, und eine weitere, um die bearbeiteten Werkstücke von der Bearbeitungsstation in Empfang zu nehmen, haben den Vorteil, daß sie viel besser geeignet sind, eine Vielzahl von Werkstücken zur gleichen Zeit zu bearbeiten. Dieser Vorteil bedingt aber, wie oben angegeben, die Notwendigkeit der Verwendung von ziemlich komplizierten Mechanismen, um die Bewegung der beiden Kassetten zu koordinieren. Für gewöhnlich verlangt ein solcher Mechanismus zwei getrennte Heber, einen für jede Kassette.

Λ Die vorliegende Erfindung ist von Nutzen, um Werkstücke von einer ersten Kassette zu einer zweiten zu transferie ren, wobei Werkstücke in jeder Kassette übereinander gestapelt werden können. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die Kassetten, nachdem das erste Werkstück aus der ersten Kassette entnommen worden ist, gleichzeitig und gemeinsam gerastet, sodaß die erste Kassette sich in einer Stellung befindet, in der ein zweites Werkstück entnommen werden kann, während die zweite Kassette in einer Stellung ist, in der d;:.s erste Werkstück transferiert werden kann. Nachdem das zweite Werkstück aus der ersten Kassette entnommen und das erste Werkstück in die

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I ΓΚΙΙΙΊ ΛΝ Ι'Λ'Π.Μ Al'IORNHVS O D U U / 1 O " - αϊ KU LKB F-X-ATtR

RALl-M KERN* PARINhR S. ϋ. LANG & PARTNER

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zweite Kassette transferiert ist, werden die Kassetten erneut gleichzeitig und gemeinsam gerastet, sodaß sich die zweite Kassette nun in der Stellung befindet, in der das zweite Werkstück transferiert werden kann. Wenn zusätzliche Werkstücke in der ersten Kassette sind, müssen die vorher erwähnten Verfahren so lange wiederholt werden, bis alle werkstücke der ersten Kassette entnommen und in die zweite Kassette transferiert worden sind.

1C Da die Kassetten gleichzeitig und gemeinsam gerastet werden, können sie von einem einzigen Hebemechanismus hochgehoben und abgesenkt werden, der daher weniger kompakt sein muß als die doppelten Heber, die bei den früher bekannten Einrichtungen verwendet werden. Angewendet in Verbindung mit einem Bearbeitungsvorgang, d.h. wenn die Werkstücke bearbeitet werden, während sie zwischen den Kassetten transferiert werden, ermöglicht es die vorliegende Erfindung, eine Vielzahl von Werkstücken gleichzeitig zu bearbeiten. Wenn die zweite Kassette in einer konstanten, vorher festgesetzten Entfernung über der ersten Kassette gehalten wird, während die erste und zweite Kassette gerastet werden, wobei eine solche festgesetzte Entfernung dem Raum zwischen den angrenzenden Werkstücken, die in der ersten und zweiten Kassette gestapelt sind, 5 entsprechen muß, können die Werkstücke durch Schlitze von der ersten Kassette zu entsprechenden Schlitzen in der zweiten Kassette transferiert werden.

In einer beispielhaften Darstellung der vorliegenden Erfindung werden die Werkstücke der ersten Kassette mit Hilfe eines ersten Transferierarmes entnommen, der durch die Kassette zwischen seiner eingefahrenen oder ausge-

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europeanpatentattorneys ob UU/ Ib " "i τ f^; υ ι::; β i:-r -·π \ u

R A L F M . K E R N & PA RT N E R ^_-. S O' LANG & l'ARTNI

\ 1 fahrenen Position bewegbar ist, während die Werkstücke

* in die zweite Kassette mit Hilfe einen zweiten Transfer- : armes transferiert werden, der durch die zweite Kasset-

; te zwischen eingefahrener oder ausgefahrener Position be-

* 5 wegbar ist. In dieser Ausführungsforra befindet sich der

erste Transferarm in eingefahrener Position unterhalb

i der Werkstücke, die in der ersten Kassette enthalten sind,

ί und der zweite Transferarm befindet sich in seiner ein-

ί gefahrenen Position im Abstand von den Werkstücken, die

10 in der zweiten Kassette enthalten sind. Eine solche Po-

: sition der Transferarme in Bezug auf die Kassetten kann

dadurch erreicht werden, daß die erste Kassette genau

: waagrecht zu der zweiten Kassette angeordnet wird.

ί 15 Damit die vorliegende Erfindung besser verständlich wird, soll sie nun in Bezug auf die beiliegenden Abbildungen beschrieben werden.
Es zeigt:

Figur 1 eine schematische Draufsicht der Halbleiterher-20 Stellungsvorrichtung, der eine Darstellung einer

Hebeeinrichtung enthält, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung konstruiert ist. Figur 2 eine detaillierte Frontalseitenansicht der Hebeeinrichtung, wie in Figur 1 gezeigt, wobei 25 ein Teil der Hebeeinrichtung weggelassen worden

ist, um die Betrachtung und Erörterung zu erleichtern. Und
Figur 3 eine detaillierte Draufsicht der Hebeeinrichtung,

wie in Figur 2 gezeigt, wobei ein Teil der Hebe-30 einrichtung weggelassen worden ist, um die. Be

trachtung und Erörterung zu erleichtern.

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PATUNTANWAlTh Q C Π Π 7 1 Q - - kKCHTSANtfÄLT:

Fil.'ROPF.AN PATFiNT AI TORNI-YS OU UU/ IO ---"--S't IiUKABE-KATF-R--

KALI- M KhRN & PARI NKR . - S. Ci. LANG & PARTNER

Obwohl die vorliegende Erfindung auf viele verschiedene Typen von Apparaten anwendbar ist, die einen Transfer von Werkstücken von einer Kassette zu einer anderen Kassette erfordern, ist sie besonders geeignet für den Gebrauch in Verbindung mit Bearbeitungseinrichtungen, wie die, die für die Herstellung von Halbleitereinrichtungen aus Siliziumscheibchen verwendet werden, dazu bestimmt, eine Vielzahl von Werkstücken gleichzeitig zu bearbeiten, während sie zwischen zwei Kassetten transferiert werden. Demgemäß soll die vorliegende Erfindung in Verbindung mit einer Halbleiterherstellungsvorrichtung beschrieben werden.

In Figur 1 ist eine Halbleiterherstellungsvorrichtung mit einer Hebeeinrichtung 12 versehen, der die Plattformen 14 und 16 enthält, die geeignet sind, die Kassetten 18, bzw. 20 zu tragen. Siliziumscheibchen (sw) sind in der Kassette 18 übereinandergestapelt. Die Siliziumscheibchen (sw) werden aus der Kassette 18 mit Hilfe eines Transferarmes 22 entnommen, während ein Transferarm 24 so angeordnet ist, daß er die Siliziumscheibchen (sw) in die Kassette 20 transferieren kann. Der Transferarm 22 entnimmt jedoch nicht nur die Siliziumscheibchen (sw) aus der Kassette 18, sondern befördert zusätzlich die Siliziumscheibchen (sw) zu einer Beschicitungsstation 26. Der Transferarm 24, der die Siliziu: scheibchen (sw) in die Kassette 20 transferiert, holt ebenfalls zusätzlich die Siliziumscheibchen (sw) aus einer Einbrennsration 28, die neben der Beschichtungsstat ':■ on 26 angeordnet ist. Die Siliziumscheibchen (sw) werden v>n der Beschichtungsstation 26 zu der Einbrennstation 28 mit Hilfe eines drehbaren Transferarmes 3 0 transferiert.

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PATENTANWÄLTE ; RE-PTS ΛΝ WAI I ί-

EUROPEANPATENTATTORNEYS obUU / IO " -STEUrXBER-AIIK

RALF M. KERN & PARTNER /^ SG LAM. & PARI M R

13

I 1 Mit Ausnahme der Hebeeinrichtung 12 sind alle Teile der

$_x Halbleiterherstellungsvorrichtung 10 konventionell (sh.

ί z.B. US-PS 4,062,463). Aus diesem Grunde wird auch nur

: eine detaillierte Beschreibung der Hebeeinrichtung 12

\' 5 gegeben, gefolgt von einer Beschreibung der grundlegenden

I Arbeitsweise der Halbleiterherstellungsvorrichtung 10.

I In Abbildung 2 und 3 ist die Hebeeinrichtung 12 auf ei-

? nem doppelten T-Trägeraufbau 32 montiert, welcher ein Teil

I 10 des Chassis 34 der Halbleiterherstellungsvorrichtung 10 ■;- bildet. Eine drehbare Führungsschraube 36 windet sich nach

f oben durch ein unteres Teil 38 des doppelten T-Trägerauf-

Ü baues 32. Die Führungsschraube 36 wird von einem Motor 4

': angetrieben, der an dem unteren Teil 38 des doppelten T-

i—- η5 Trägeraufbaues 32 bei den Einbuchtungen 42 befestigt ist. \ Ein Schlitten 44 ist so mit einem Gewinde auf die Führungs-

\ schraube 36 montiert, daß der Schlitten 44 auf der Füh-

\ rungsschraube 36 auf- und abwärts bewegt wird, entsprechend

f der Drehung der Schraube. Gleitstangen 46, die sich von

20 dem untersten Teil 38 des doppelten T-Trägeraufbaues 32 zu dem oberen Teil 48 desselben erstrecken, führen den Schlitten 44, während er sich auf der Führungsschraube 3 auf- und abwärts bewegt.

25 Die Arme 50,52 ragen von dem Schlitten 44 nach oben und außen. Die Arme tragen die Plattformen 14, bzw. 16, sodaß die Plattformen 14,16 Seite an Seite angeordnet sine und gleichzeitig und gemeinsam mit dem Schlitten 44 auf- und abwärts bewegt werden.

30

In Abbildung 2 tragen die Arme 50, 52 die Plattformen 14,16 derart, daß die Plattformen 16 in einer konstante: ,

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Ι'ΛΊ IlNTAN WAI.Tl: I HHOIM-AN I'AT F-N I A I I (IH M YS

KALi- M KKRN & PART M-R

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S.G.LANG& PARTNIiR

fest bestimmten Entfernung (a) über der Plattform 14 gehalten wird,wobei die Kassette 20 konstant über der Kassette 18 in einer Entfernung (a) gehalten wird. Die Entferung (a) entspricht der Höhendifferenz der Kassetten 18,20, d.h. der Entfernung zwischen den Schlitzen 54', 54¹· und 54' " der Kassette 18 und den Schlitzen 56', 56'' und 56' '· der Kassette 20. Die Bedeutung einer solchen vertikalen Anordnung der Plattformen 14,16 und demzufolge der Kassetten 18, 20 wird hier später in Verbindung mit der Beschreibung der Arbeitsweise der Halbleiterherstellungsvorrichtung 10 erörtert werden.

In Abbildung 3 nun tragen die Arme 50/52 auch die Plattformen 14,16 derart, daß die Plattformen 14,16 relativ horizontal zueinander um die Entferung (b) versetzt angeordnet sind. Die Entferung (b) ist so gewählt, daß der Transportarm 22 in seiner eingefahrenen Stellung so angeordnet ist, daß er eine Säugtülle direkt unter die Siliziumscheibchen 60', 60' ', 60"' richtet (gezeigt in durchgehenden Linien), die sich in den Schlitzen 54', 54'', 54*'· befinden, bzw. bei der Kassette 18, wobei der Transferarm 24 in seiner eingefahrenen Stellung so angeordnet ist, daß er eineSaugtülle 62 im Abstand von den Siliziumscheibchen 60', 60" , 60''' hält (angedeutete Linien), die sich in den Schlitzen 56', 56'', 56''· befinden, bzw. bei der Kassette 20 nach äi- Transfer der Siliziumscheibchen 60', 60'', 60'' ' von der Kassette 18 zu der Kassette 20. Der Grund für eine solche horizontale Anordnung der Kassetten 18,20 wird hier sp-iter in Ver-0 bindung mit der Beschreibung der Arbeitswe -.se der Halbleiterherstellungsvorrichtung 10 erklärt werden.

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EIiROPEAN PATENT ATTORNEYS OD UU/ IO " "ST F.I! "R B ΕΤ.ΛΤ HR

RALF M. KERN & PARTNER /C S.O. LANCi & PARTNER

I 1 Bevor die Arbeitsweise der Halbleiterherstellungsvor- % richtung 10 erörtert wird_y sollte klar sein, daß die

I Saugtüllen58,62 sich direkt gegenüberstehen, wenn die

* Transferarme 22,24 in ihrer eingefahrenen Stellung

i 5 sind, d.h. in den eingefahrenen Stellungen der Transi ferarme 22,24 liegen die Enden 64,66 der Saugtüllen 58,

; 62 auf gleicher vertikaler Ebene»

In Betrieb befindlich ist die Hebeeinrichtung 12 in ^: 10 einer Ausgangposition (she» Abb. 2), in der das SiIi-

£ ziumscheibchen 60', d.h. das unterste in der Kassette

* 18 gelagerte Scheibchen, sich gerade über dem Transfer-

^ arm 22 befindet. Wenn die Hebeeinrichtung 12 in ihrer

^ Ausgangsposition ist, ist die Kassette 20 in einer Po-

I— 15 sition, bei der der Transferarm 24 sich unter dem Schlitz 56' in der Entfernung (a) befindet, wobei der Transferarm 24 die Kassette 20 nicht laden kann. ί

* Während das Siliziumscheibchen 60' durch die Saugwirkung 20 der Tülle 58 auf dem Transferarm 22 haftet, gelangt der Transferarm 22 in seiner eingefahrenen Position durch die Kassette 18 in eine ausgefahrene Position (dargestellt als Strichlinie in Fig.1), in der der Transferarm 22 über der Beschichtungsstation liegt, nachdem das 25 Siliziumscheibchen 60' von dem Transferarm 22 zu der Beschichtungsstation 26 in konventioneller Weise transferiert worden ist (she.z.B. US-PS 4,062,463), kehrt der Transferarm 22 in seine eingefahrene Stellung zurück.

30 Nach Beendigung eines Beschichtungsvorganges an dem Siliziumscheibchen 60* wird das Siliziumscheibchen 60' von der Beschichtungsstation 26 zu der Einbrennstation

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tl'ROPEAN PATENT ATTORNEYS OüLJU/ I O · : - ' - Z TEU F E B ER;a.TE K· _

RALFM KERN & PARTNER Jfo S.G.LANG&I'ARTNf.R -

mit Hilfe des Transferarmes 30 transferiert, der in gleicher Weise wie der Transferarm 22 arbeitet. Wenn das Siliziumscheibchen 60' zur Einbrennstation 28 transferiert worden ist, wird die Hebeeinrichtung 12 um die Entfernung positioniert, d.h. zusätzlich abgesenkt, die dem Höhenunterschied der Kassetten 18,20 entspricht, wobei die Kassette 18 sich in einer Stellung befindet, in der das Siliziumscheibchen 60'', d.h. das zweitunterste in der Kassette 18, direkt über der Saugtülle 58 des Transferarmes 22 liegt und die Kassette 20 sich in einer Stellung befindet, in der der Schlitz 56'' so angeordnet ist, daß er durch den Transferarm 24 bestückt werden kann.

Während das Siliziumscheibchen 60'" auf dem Transferarm 22 durch die Saugwirkung der Tülle 58 haftet, wird der Transferarm 22 wieder aus seiner eingefahrenen Stellung durch die Kassette 18 in seine ausgefahrene Stellung bewegt. Nachdem er das Siliziumscheibchen 60¹¹ von dem Transferarm 22 zu der Beschichtungsstation 26 trasferiert hat, kehrt der Transferarm 22 in seine eingefahrene Stellung zurück.

Nach Beendigung des Einbrennvorganges an dem Siliziumscheibchen 60' wird der Transferarm 24 von seiner eingefahrenen Stellung durch die Kassette 20 in eine ausgefahrene Stellung gebracht (dargestellt in gestrichelten Linien in Fig.1), in welcher der Transferarm 24 über der Einbrennstation 28 liegt. Nachdem das Siliziumscheib-0 chen 60' in konventioneller Weise von der Einbrennstation 28 zu dem Transferarm 24 transferiert worden ist (she.ζ.B.US-PS 4,062,463), kehrt der Transferarm 24 in

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K-Pi-H TSa N W.ÄLTF.

[ RALF M. KERN & PARTNER I^ S. G. LANG & PAKTNhR

seine eingefahrene Position zurück. Während der Transferarm 24 in seine eingefahrene Position zurückkehrt, ' haftet das Siliziumscheibchen 60' auf dem Transferarm

24 durch die Saugwirkung der Tülle 62. Kurz bevor der

j. 5 Transferarm 24 seine eingefahrene Position erreicht, > wird die Saugwirkung aus der Tülle 62 beendet, wobei das

» Siliziumscheibchen 60' in dem Schlitz 56' der Kassette

20 deponiert wird ohne Hilfe von Anschlägen oder dergl.

'" 10 Nach Beendigung des Beschichtungsvorganges des Siliziumscheibchens 60'' wird das Siliziumscheibchen 60'' von * der Beschichtungsstation 26 zu der Einbrennstation 28

mit Hilfe des Transferarmes 30 transportiert. Wenn das Siliziumscheibchen 60'' zu der Einbrennstation 28 trans- |— 15 feriert worden ist, wird die Hebeeinrichtung 12 wieder um eine Entfernung, die der Höhendifferenz der Kassetten 18,20 entspricht, positioniert, wobei sich die Kassette 18 in einer Stellung befindet, in der das Siliziumscheibchen 60¹¹', d.h. das drittunterste in der Kassette 18, direkt über der Saugtülle58 des Transferarmes 22 liegt und sich die Kassette 20 in einer Position befindet, in der der Schlitz 56'· so angeordnet ist, daß er durch den Transferarm 24 bestückt werden kann. Weil der Transferarm 24 in seiner eingefahrenen Stellung im Abstand von dem Siliziumscheibchen 60' ist, behindert er nicht die Positionierung der Hebeeinrichtung 12.

Während das Siliziumscheibchen 60''' auf dem Transferarm 22 durch die Saugkraft der Tülle 5t haftet, wird der Transferarm 22 erneut aus seiner eingefahrenen Stellung durch die Kassette 18 zu seiner ausgefahrenen Stellung bewegt. Nachdem er das Siliziumscheibchen 60''' von dem Transfer-

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arm 22 zu der Beschichtungsstation 26 transferiert hat, kehrt der Transferarm 22 in seine eingefahrene Stellung zurück.

Nach Beendigung des Einbrennvorganges des Siliziumscheibchens 60'' wird der Transferarm 24 aus seiner eingefahrenen Position durch die Kassette 20 zu seiner ausgefahrenen Stellung über der Einbrennstation 28 bewegt. Nachdem das Siliziumscheibchen 60'' von der Einbrennstation 28 zu dem Transferarm 24 tranferiert ist, kehrt der Transferarm 24 wieder in seine eingefahrene Stellung zurück. Kurz bevor der Transferarm 24 seine eingefahrene Stellung erreicht, wird die Saugwirkung der Tülle 52 beendet, wobei das Siliziumscheibchen 60'' in dem Schlitz 56'¹ direkt über das Siliziumscheibchen 60" deponiert.

Nach Beendigung des Beschichtungsverfahrens des Siliziumscheibchens 60''' wird das Siliziumscheibchen 60' ^lf von der Beschichtungsstation 26 zu der Einbrennstation 28 0 mit Hilfe des Transferarmes 30 transferiert. Wenn das Siliziumscheibchen 60'·' zu der Einbrennstation 28 gebracht worden ist, wird die Hebeeinrichtung 12 wieder um eine Entfernung, die der Höhendifferenz der Kassetten 18,20 entspricht, positioniert, wobei sich die Kassette 20 in einer Stellung befindet, in der der Schlitz 56*'· so angeordnet ist, daß er von dem Transferarm 24 bestückt werden kann.

Nach Beendigung des Einbrennverganges des Siliziumscheibchens 60''' wird der Transferarm 24 aus seiner eingefahrenen Stellung durch die Kassette 20 in seine ausgefahrene Stellung über der Einbrennstation 28 bewegt. Nachdem das

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EUROPEAN PATENT ATTORNEYS ODUU / IO ■■· ' 'nHl.'E

RALF M. KERN & PARTNER 1*3 S.O. LANG & PARTNER

\ 1 Siliziumscheibchen 60''' von der Einbrennsfeation 28 zu

\ dem Transferarm 24 transferiert ist, kehrt dieser wie-

\ der in seine eingefahrene Stellung zurück. Kurz bevor

[ der Transferarm 24 seine eingefahrene Stellung erreicht

5 hat, wird die Saugwirkung der Tülle62 beendet, wobei

κ das Siliziumscheibchen 60'"' in den Schlitz 56''' di-

* rekt über den Siliziumscheibchen 60", 60'' deponiert

j._ wird.

10 Durch das vorhergehende Verfahren werden die Silizium- ΐ scheibchen 60', 60'', 60' " von den Schlitzen 54'. 54",

54" " der Kassette 18 zu den entsprechenden Schlitzen -: 56', 56", 56'" der Kassette 20 transferiert.

I"" 15 Wenn die Kassette 18 mehr als drei Scheibchen enthält :- (25 ist eine typische Anzahl) , müssen die vorhergehenden

Schritte so oft wiederholt werden, bis alle Silizium-

i scheibchen aus der Kassette 18 in die Kassette 20 trans-

^? feriert worden sind. Wenn die Kassetten 18,20 nicht ver-

20 tikal angeordnet wären, wäre es unmöglich, die Hebeeinrichtung 12 und die Transferarme 22,24 zu verwenden, um alle Siliziumscheibchen aus der Kassette 18 (ausgenommen sie ist voll bestückt) zu der Kassette 20 zu transferieren, aus dem einfachen Grund, weil die Siliziumscheibchen nicht 25 zwischen den entsprechenden Schlitzen der Kassetten 18,20 transferiert würden, d.h. das Siliziumscheibchen 60' würde aus dem Schlitz 54' der Kassette 18 genommen und zu dem Schlitz 56'', statt zu dem Schlitz 56' der Kassette gebracht werden.
30

Es ist selbstverständlich, daß die Ausführungsform, die hier beschrieben ist, nur beispielhaft, ist, und daß ein

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Fachmann viele Varianten und Modifikationen ausführen kann, ohne sich von dem Inhalt und dem Umfang dieser Erfindung zu entfernen. Alle diese Variationen und Modifikationen werden als innerhalb des ümfanges der Erfindung, wie sie in den Ansprüchen beschrieben ist, betrachtet.

Claims

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VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TRANSFER VON WERKSTÜCKEN

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1. Verfahren zum Transferieren von Werkstücken von einer ersten in eine zweite Kassette, die dazu eingerichtet sind/ Werkstücke übereinander zu lagern, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Entladen eines Werkstückes aus einer ersten Kassette ;

b) gleichzeitiges und gemeinsames Positionieren der ersten und zweiten Kassette derart, daß die erste Kassette sich in einer solchen Position befindet, in der ein zweites Werkstück daraus entladen werden kann und eine zweite Kassette sich in einer Position befindet, in der das erste Werkstück in diese eingeladen werden kann;

c) Entladen des zweiten Werkstückes aus der ersten Kassette;

d) Laden des ersten Werkstückes in die zweite Kassette; und

e) gleichzeitiges und gemeinsames Positionieren der ersten und zweiten Kassette derart, daß die Kassette sich in einer Position befindet, in der dies zweite Werkstück in diesr gelader; werden kann.

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EUROPEANPATENTATTORNEYS OUUU/ IU -. -STEUERBE-RrATER -

RALF M. KERN & PARTNER

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2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet/ daß die Schritte (a - e) an in der ersten Kassette der Reihe nach abgelegten Werkstücken wiederholt wird, bis sämtliche diese Werkstücke in der ersten Kassette aus dieser entladen und in die zweite Kassette eingeladen sind.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Werkstück das unterste in der ersten Kassette ist und das zweite Werkstück das sich über diesem ersten Werkstück befindliche ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3_r dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Kassette den gleichen Pitch haben und die zweite Kassette auf einer konstanten, vorbestimmten Distanz über der ersten Kassette gehalten wird, sowie die erste und die zweite Kassette positioniert sind, die vorbestimmte Distanz gleich dem besagten Pitch der ersten und zweiten Kassette ist.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Kassette durch inkrementelles Absenken positioniert werden.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke von der ersten Kassette mittels eines ersten Transferarmes entladen werden, der durch die erste Kassette bewegbar ist, zwischen einer eingefahrenen Position und einer ausgefahrenen Position, und die Werkstücke in die zweite Kassette eingeladen werden mittels eines zweiten Transferarmes, der durch die zweite Kassette zwischen einer eingefahrenen und einer ausgefahrenen Position bewegbar ist.

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E I ROPE Λ N PAT E N T ATT O R N E Y S OüUU / IU - ST F Vl R B V. RA Γ ί R"

RALF M. KERN & PARTNER % S. G. LANO & PAUfMR

\ 17. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, I daß der erste Transferarm unterhalb der Werkstücke

\ in der ersten Kassette positioniert ist, wenn er in

\ seiner eingefahrenen Position sich befindet, und der

\ 5 zweite Transferarm frei von den Werkstücken in der .; zweiten Kassette positioniert ist, wenn er sich in

seiner eingefahrenen Position befindet.

^>: S. Verfahren nach /Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,

' 10 daß die erste und die zweite Kassette Seite bei Sei- \ te angeordnet sind.

I 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,

I daß der erste Transferarra in seiner eingefahrenen

I 15 Position unterhalb der Werkstücke in der ersten Kas-

sette positioniert ist und der zweite Transferarm in seiner eingefahrenen Position frei von den Werkstük-

: ken in der zweiten Kassette positioniert ist, derart,

ί daß die erste Kassette relativ zur zweiten Kassette

i 20 versetzt ist.

10. Verfahren nach Anspruch 1 und einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, da6 die zweite Kassette sich in einer Position befindet, in der keine Werkstücke

25 in diese eingeladen werden können, wenn die erste Kassette sich in der Position befindet_f in welcher das erste Werkstück daraus ausgeladen werden kann und wobei die erste Kassette sich in einer Position befindet, in e'er ein dritte: Werkstück daraus entla-

30 den werden kann, wenn die zweite Kar^ette sich in einer Position befindet, in der das zv.-oite Werkstück in diese einaeladen werden kann.

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PATENTANWÄLTE ΟίΠΠ71 Q ' "RECHTSANWÄLTE

EUROPEAN PATENT ATTORNEYS O D U L) / I O -"--STEU-KRBEa-ATER

RALF M. KERN & PARINhR |ϊ S. G. LANG & PARTNER

11. Verfahren nach Anspruch 1 und einem der folgenden,

dadurch gekennzeichnet,, daß die Werkstücke Siliziumscheibchen sind, aus denen Halbleitereinrichtungen gefertigt werden.
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12. Vorrichtung zum Transferieren von Werkstücken von einer ersten Kassette in eine zweite Kassette, wobei die erste und die zweite Kassette dazu eingerichtet sind, Werkstücke übereinander zu lagern, da durch gekennzeichnet, daß Entlademittel (22) zum sukzessive Entladen von Werkstücken aus der ersten Kassette (18) versehen sind, sowie Lademittel (24) zum sukzessiven Laden von Werkstücken in die zweite Kassette (20), und Positioniermittel (12) zum gleichzeitigen und gemeinsamen Positionieren der ersten und der zweiten Kassette derart, daß nachdem die Entlademittel ein erstes Werkstück aus der ersten Kassette entladen haben, die erste Kassette (18) so in einer Stellung positioniert wird, in der ein zweites Werkstück daraus entladen werden kann und die zweite Kassette (20) so in einer Stellung positioniert wird, in der das erste Werkstück in diese geladen werden kann.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß Funktionsmittel (26,28) zur Durchführung eines Bearbeitungsvorganges an jedem Werkstück währendseines Transfers von der ersten in die zweite Kassette vorgesehen sind.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Werkstück (60') das unterste

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1 Werkstück in der ersten Kassette (18) ist, und worin das zweite Werkstück (60¹¹) das diesem untersten

\ Werkstück in der ersten Kassette folgende Werkstück

* ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Kassette den gleichen Pitch .(a.) aufweisen, die Positioniermittel (12) eine erste Plattform (14) aufweisen, die die erste Kassette (18) trägt und eine zweite Plattform (16), die die zweite Kassette trägt, die zweite Plattform auf einer konstanten, vorbestimmten Distanz oberhalb der ersten Plattform (14) gehalten wird, wenn die erste und die zweite Kassette positioniert werden, die vorbestimmte Distanz gleich dem Pitch (a) der ersten und zweiten Kassette ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 1 und einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Entlademittel einen ersten Transferarm (22) beinhalten, der durch die erste Kassette (18) zwischen einer eingefahrenen und einer ausgefahrenen Position bewegbar ist, diese Lademittel einen zweiten Transferarm (24) der durch die zweite Kassette (20) zwischen einer eingefahrenen und einer ausgefahrenen Position bewegbar ist, der erste Transferarm unterhalb des Werkstückes in der ersten Kassette positioniert ist, wenn derselbe sich in seiner eingefahrenen Position befindet, und der zweite Arm so positioniert ist, daß er frei von den Werkstükken in der zweiten Kassette ist, wenn derselbe sich in seiner eingefahrenen Position befindet.

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17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Transferarm in der gleichen Höhe angeordnet sind, die eingefahrene Position des ersten Transferarmes (22) seitlich über der eingefahrenen Position des zweiten Transferarmes (24) ist und die erste Plattform horizontal relativ zu der zweiten Plattform versetzt vorgesehen ist, weil die erste Kassette (18) horizontal relativ zu der zweiten Kassette (20) derart versetzt ist, daß der erste Transferarm (22) in seiner eingefahrenen Position unterhalb der Werkstücke in der ersten Kassette positioniert ist und der zweite Transferarm (24) in seiner eingefahrenen Position frei von den Werkstücken in der zweiten Kassette positioniert ist.

18. Vorrichtung nach Anspruch 1 und einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Plattform mittels üblicher Hebemittel gehoben und gesenkt werden.

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebemittel eine drehbare Führungsschraube (36) und einen Schlitten (44) gewindemäßig auf der Führungsschraube (36) derart montiert ist, daß dieser Schlitten (44) auf dieser Führungsschraube entsprechend zu deren Drehbewegung sich auf- und abbewegt, dieser Schlitten fest mit der ersten und zweiten Platt form verbunden ist, sodaß die erste und zweite Plattform sich simultan und gleichzeitig mit diesem Schlit-0 ten (44) bewegen.

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20. Vorrichtung nach Anspruch 1 und einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke Siliziumscheibchen sind, aus denen Halbleitereinrichtungen
hergestellt werden.
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21. Einrichtung für eine erste Kassette und zweite Kassette, die beide zum Tragen von Werkstücken übereinander eingerichtet sind, dadurch gekennzeichnet, daß Positioniermittel (12) zum simultanen und gleichzeitigen positionieren der ersten und zweiten Kassette (18,20) vorgesehen sind, derart, daß nachdem ein erstes Werkstück aus der ersten Kassette (18) entladen wurde, die erste Kassette (18) in einer Stellung ροsitioniert wird, in der ein zweites Werkstück ent-

laden werden kann und die zweite Kassette (20) in einer Stellung so positioniert wird, daß das erste
Werkstück in diese geladen werden kann«,

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