FR2581978A1 - Procede et appareil de transfert de pieces entre deux cassettes, et elevateur de cassettes - Google Patents
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Abstract
L'INVENTION CONCERNE LE TRANSFERT DE PIECES ENTRE DEUX CASSETTES. ELLE SE RAPPORTE A UN APPAREIL DE TRANSFERT DE PIECES COMPRENANT DEUX PLATES-FORMES 14, 16 PORTANT DES CASSETTES CONTENANT DES PIECES A TRAITER 60, 60, 73, PLACEES DANS DES FENTES ESPACEES AVEC UN PAS CONSTANT. LES DEUX PLATES-FORMES SONT DECALEES VERTICALEMENT D'UNE DISTANCE EGALE AU PAS DES FENTES. DE CETTE MANIERE, LE DEPLACEMENT DU SUPPORT 44 DES DEUX PLATES-FORMES POSITIONNE AUTOMATIQUEMENT UNE PIECE A DECHARGER D'UNE PREMIERE CASSETTE ET UNE FENTE A CHARGER DANS UNE SECONDE CASSETTE. APPLICATION AUX APPAREILS DE FABRICATION DES DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEUR.
Description
La présente invention concerne un procédé et un appa-
reil de transfert de pièces d'une cassette à une autre et plus précisément un tel procédé et un tel appareil qui sont particulièrement utiles pour le traitement par exemple de dispositifs à semi-conducteur à partir de tranches de sili- cium, ainsi qu'un élévateur de cassettes contenant des pièces. Le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 062 463 décrit un système original de transport qui utilise une seule cassette à partir de laquelle des pièces, telles que des tranches de silicium, sont transférées à un poste de traitement puis, après traitement, elles sont ramenées dans
la même cassette. Ce système élimine la nécessité de l'uti-
lisation de deux cassettes séparées et élimine donc aussi la nécessité de la réalisation d'un mécanisme relativement complexe de coordination du déplacement des cassettes de manière que l'une se trouve en position de transfert des pièces au poste de traitement pendant que l'autre est en position de réception des pièces qui ont été traitées. Comme il ne comporte qu'une seule cassette et un mécanisme de transfert relativement simple, le système de ce brevet peut
être réalisé avec un encombrement réduit. Malgré ces avan-
tages, ce système présente un inconvénient. Plus précisément,
il ne permet le traitement que d'une seule pièce à la fois.
Les systèmes qui mettent en oeuvre deux cassettes, une pour la transmission des pièces à un poste de traitement et l'autre pour la réception des pièces traitées provenant de ce poste, sont avantageux car ils peuvent être adaptés
plus facilement au traitement de plusieurs pièces simultané-
ment. Cet avantage a été compensé, comme indiqué précédem-
ment, par la nécessité de l'utilisation de mécanismes relati-
vement complexes pour la coordination des déplacements des deux cassettes. Plus précisément, un tel mécanisme nécessite
deux élévateurs séparés, un par cassette.
La présente invention est utile pour le transfert de pièces d'une première cassette à une seconde, chaque cassette étant destinée à conserver des pièces placées les unes au-dessus des autres. Selon la présente invention, après déchargement d'une première pièce de la première cassette, les cassettes sont positionnées simultanément et conjointement de manière que la première cassette se trouve dans une position dans laquelle une seconde pièce peut en être déchargée et de manière que la seconde cassette se trouve dans une position dans laquelle la première pièce peut y être chargée. Après déchargement de la seconde pièce de la première cassette et chargement de la première pièce
dans la seconde cassette, les cassettes sont à nouveau posi-
tionnées simultanément et conjointement afin que la seconde cassette soit dans une position dans laquelle la seconde
pièce peut être chargée. Lorsque la première cassette con-
tient d'autres pièces, l'opération précédente se répète jus-
qu'à ce que toutes les pièces de la première cassette en aient été déchargées et aient été chargées dans la seconde cassette. Comme les cassettes sont positionnées simultanément et conjointement, elles peuvent être élevées et abaissées par un seul mécanisme élévateur qui peut donc être moins
complexe que les élévateurs doubles utilisés dans les dispo-
sitifs connus. Lors d'une utilisation avec une opération de traitement (c'est-à-dire lorsque les pièces sont traitées en cours de transfert entre les cassettes), l'invention
rend possible le traitement simultané de plusieurs pièces.
Comme la seconde cassette est maintenue à une distance cons-
tante prédéterminée au-dessus de la première cassette lors-
que les deux cassettes sont positionnées (cette distance prédéterminée étant égale à la distance séparant les pièces adjacentes conservées dans la première et dans la seconde cassette), les pièces peuvent être transférées de fentes de la première cassette à des fentes correspondantes de la
seconde cassette.
Dans un mode de réalisation de l'invention, les pièces sont déchargées de la première cassette par un premier bras de transfert mobile dans la première cassette entre une position en retrait et une position avancée, alors que les pièces sont chargées dans la seconde cassette par un second bras de transfert mobile dans cette seconde
cassette entre une position en retrait et une position avan-
cée. Dans ce mode de réalisation, le premier bras de trans-
fert, dans sa position en retrait, est disposé sous les pièces contenues dans la première cassette et le second bras
de transfert, dans sa position en retrait, est placé à dis-
tance des pièces contenues dans la seconde cassette. Ce
positionnement des bras de transfert par rapport aux cas-
settes peut être assuré par décalage horizontal de la
première cassette par rapport à la seconde.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention
seront mieux compris à la lecture de la description qui
va suivre d'exemples de réalisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels:
la figure 1 est une vue schématique en plan d'un appa-
reil de fabrication de dispositifs à semi-conducteur
comprenant un mode de réalisation d'ensemble élévateur réa-
lisé selon l'invention; la figure 2 est une élévation frontale détaillée,
avec des parties arrachées, de l'ensemble élévateur repré-
senté sur la figure 1; et la figure 3 est une vue détaillée en plan de
l'ensemble élévateur de la figure 2, avec une partie arra-
chée.
Bien que la présente invention s'applique à de nom-
breux types différents d'appareils qui nécessitent le trans-
fert de pièces d'une cassette à une autre, il convient par-
ticulièrement bien à un appareil de traitement, par exemple
du type utilisé pour la fabrication de dispositifs à semi-
conducteur dans des tranches de silicium, destiné à traiter simultanément plusieurs pièces en cours de transfert entre deux cassettes. Ainsi, l'invention est décrite en référence
à un appareil de fabrication de dispositifs à semi-conduc-
teur.
Comme l'indique la figure 1, un appareil 10 de fabri-
cation de dispositifs à semi-conducteur a un ensemble élé-
vateur 12 qui comporte des plates-formes 14,16 destinées à porter des cassettes 18, 20 respectivement. Des tranches de silicium (sw) sont placées les unes au-dessus des autres dans la cassette 18. Les tranches de silicium (sw) sont déchargées de la cassette 18 par un bras 22 de transfert alors qu'un bras 24 de transfert est destiné à charger les tranches de silicium (sw) dans la cassette 20. En plus du déchargement des tranches de la cassette 18, le bras 22 de
transfert transmet aussi les tranches à un poste 26 de revê-
tement. Le bras 24 de transfert, en plus du chargement des tranches dans la cassette 20, assure aussi l'enlèvement des tranches d'un poste de cuisson 28 placé le long du poste 26 de revêtement. Les tranches de silicium sont transférées du poste 26 de revêtement au poste 28 de cuisson par un bras
pivotant 30 de transfert.
Mis à part l'ensemble élévateur 12, tous les éléments
de l'appareil 10 de fabrication de dispositifs à semi-
conducteur sont classiques par exemple comme décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 062 463. Ainsi, seul l'ensemble élévateur 12 est décrit en détail dans la suite, de même que le fonctionnement général de l'appareil
de fabrication.
Gomme l'indiquent les figures 2 et 3, l'ensemble élévateur 12 est monté sur un ensemble 32 formé de poutres en I qui fait partie d'un châssis 34 de l'appareil 10 de fabrication. Une vis-mère rotative 36 est dirigée vers le haut à travers un organe inférieur 38 de l'ensemble 32. La vis- mère 36 est entraînée en rotation par un moteur 40 fixé à l'organe inférieur 38 de l'ensemble 32 par des montants 42. Un bloc coulissant 44 est vissé sur la vis-mère 36 de manière qu'il se déplace verticalement sur la vis 36 lors de la rotation de celle-ci. Des tiges 46 de coulissement qui sont placées entre l'organe inférieur 38 de l'ensemble 32 et un organe supérieur 48 de ce même ensemble, guident
le bloc 44 lorsqu'il se déplace verticalement sur la vis-
mère 36.
Des équerres 50, 52 dépassent vers le haut et vers
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l'extérieur du bloc coulissant 44. Ces équerres 50, 52
supportent les plates-formes 14,16 de manière que ces der-
nières soient placées côte-à-côte et se déplacent vertica-
lement simultanément et conjointement avec le bloc 44. Les plates-formes 14,16 supportent à leur tour les cassettes 18, 20 respectivement qui se déplacent aussi verticalement
simultanément et conjointement, avec le bloc coulissant 44.
On se réfère à la figure 2; les équerres 50, 52
supportent les plates-formes 14, 16 si bien que la plate-
forme 16 se trouve à une distance constante prédéterminée (a) au-dessus de la plate-forme 14, la cassette 20 étant
constamment maintenue au-dessus de la cassette 18 de la dis-
tance (a). Cette distance (a) est égale au pas des cassettes 18, 20 (c'est-à-dire la distance comprise entre deux fentes 54',54",54"' de la cassette 18 et entre deux fentes 56',
56", 56'" de la cassette 20). La signification de ce déca-
lage vertical des plates-formes 14,16 et en conséquence des cassettes 18, 20 est indiquée dans la suite du présent
mémoire lors de la description du fonctionnement de l'appa-
reil 10.
On se réfère maintenant à la figure 3; les équerres , 52 portent aussi les plates-formes 14,16 de manière qu'elles soient décalées horizontalement l'une par rapport à l'autre d'une distance (b). Cette distance (b) est choisie de manière que le bras 22 de transfert, dans sa position en retrait, soit à un emplacement tel qu'il positionne une extrémité 58 d'aspiration juste au-dessous des tranches ', 60", 60"' de silicium (représentées en trait plein) conservées dans les fentes 54', 54", 54"', respectivement de la cassette 18, alors que le bras 24 de transfert, dans
sa position en retrait, est à un emplacement tel qu'il posi-
tionne le bout 62 d'aspiration à distance des tranches de silicium 60', 60", 60"' (représentées en traits mixtes) conservées dans les fentes 56, 56", 56"' respectivement de la cassette 20 après le transfert des tranches 60', 60", "' de la cassette 18 à la cassette 20. Le rôle de ce décalage horizontal des cassettes 18, 20 est expliqué dans
la suite en référence à la description du fonctionnement
de l'appareil 10 de fabrication de dispositifs à semi-
conducteur. Avant la description du fonctionnement de cet
appareil 10, il faut noter que les bouts 58, 62 d'aspiration sont placés directement en face l'un de l'autre lorsque les bras 22, 24 de transfert sont dans leurs positions en retrait (c'est-à-dire que, dans les positions en retrait des bras de transfert 22, 24, les extrémités 64, 66 des bouts d'aspiration 58, 62 respectivement se trouvent dans un plan
vertical commun).
Lors du fonctionnement, l'ensemble élévateur 12 est dans une position de repos (voir figure 2) dans laquelle la tranche de silicium 60' (c'est-àdire la tranche la plus
basse conservée dans la cassette 18) se trouve juste au-
dessus du bras 22 de transfert. Lorsque l'ensemble éleva-
teur 12 est dans sa position de repos, la cassette 20 est dans une position dans laquelle le bras 24 de transfert est placé au-dessous de la fente 56' de la distance (a), si bien
que le bras 24 de transfert peut charger la cassette 20.
Comme la tranche 60' de silicium est maintenue sur le bras 22 de transfert par l'aspiration créée par le bout 58, le bras 22 de transfert est déplacé de sa position en retrait dans la cassette 18 vers une position avancée (représentée en traits mixtes sur la figure 1) dans laquelle le bras 22 de transfert est placé au dessus du poste de
revêtement 26. Lorsque la tranche 60' de silicium est trans-
férée du bras 22 au poste 26 de revêtement de manière clas-
sique (voir par exemple le brevet précité des Etats-Unis d'Amérique n 4 062 463), le bras 22 de transfert est ramené
vers sa position en retrait.
- Après la fin d'une opération de revêtement effectuée
sur la tranche 60' de silicium, cette tranche 60' est trans-
férée du poste 26 de revêtement au poste 28 de cuisson par
le bras 30 de transfert qui fonctionne d'une manière analo-
gue à celle du bras 22 de transfert. Lorsque la tranche 60' de silicium a été transférée au poste 28 de cuisson, l'ensemble élévateur 12 est positionné (c'est-à-dire abaissé d'un pas élémentaire) d'une distance égale au pas des cassettes 18, 20, si bien que la cassette 18 est dans une
position dans laquelle la tranche 60" de silicium (c'est-
à-dire l'avant-dernière de la cassette 18 à partir du bas) est placée juste au-dessus du bout 58 d'aspiration du bras 22 de transfert et la cassette 20 estdans une position dans laquelle la fente 56' est disposée de manière qu'elle soit
chargée par le bras de transfert 24.
Comme la tranche 60" de silicium est maintenue sur le bras 22 de transfert par l'aspiration provenant du bout 58, le bras 22 de transfert est déplacé à nouveau de sa position en retrait vers sa position avancée à l'intérieur de la cassette 18. Après transfert de la tranche 60" de silicium du bras 22 au poste 26 de revêtement, le bras 22
de transfert est ramené dans sa position en retrait.
Après la fin d'une opération de cuisson d'une tranche ' de silicium, le bras 24 de transfert est déplacé de sa position en retrait dans la cassette 20 vers une position avancée (représentée en traits mixtes sur la figure 1) dans laquelle le bras 24 se trouve au-dessus du poste 28 de cuisson. Lorsque la tranche 60' de silicium a été transférée du poste 28 de cuisson au bras 24 de transfert d'une manière
classique (voir par exemple le brevet précité des Etats-
Unis d'Amérique n 4 062 463), le bras 24 de transfert est ramené vers sa position en retrait. Lorsque le bras 24 de transfert revient vers sa position en retrait, la tranche ' de silicium est maintenue sur le bras 24 de transfert par l'aspiration provenant du bout aspirant 62. Juste avant que le bras 24 de transfert n'atteigne sa position en retrait, l'aspiration du bout 62 est supprimée, si bien que la tranche 60' de silicium est déposée dans la fente 56'
de la cassette 20 sans l'aide d'ergots de butée ou analo-
gues. Après la fin d'une opération de revêtement assurée sur la tranche 60" de silicium, celle-ci est transférée du poste 26 de revêtement au poste 28 de cuisson par le bras de transfert. Lorsque la tranche 60" a été transférée
au poste 28 de cuisson, l'ensemble élevateur 12 est posi-
tionné à nouveau par déplacement d'une distance égale au pas des cassettes 18, 20, si bien que la cassette 18 se
trouve dans une position dans. laquelle la tranche de sili-
cium 60"' (c'est-à-dire la troisième à partir du bas dans
la cassette 18) se trouve juste au-dessus du bout 58 d'aspi-
ration du bras de transfert 22 et la cassette 20 estdans une position dans laquelle la fente 56" est disposée de manière qu'elle puisse être chargée par le bras de transfert
24. Comme ce bras 24, dans sa position en retrait, est déga-
gé par rapport à la tranche 60' de silicium, le bras 24 de transfert n'empêche pas le positionnement de l'ensemble élévateur. Lorsque la tranche de silicium 60"' est maintenue par le bras 22 de transfert par l'aspiration exercée par le bout 58, le bras 22 est déplacé à nouveau de sa position en retrait vers sa position avancée à l'intérieur de la cassette 18. Apres transfert de la tranche 60"' de silicium du bras 22 au poste 26 de revêtement, le bras 22 revient
vers sa position en retrait.
Après la fin d'une opération de cuisson de la tranche " de silicium, le bras 24 de transfert est déplacé de sa position en retrait dans la cassette 20 vers sa position avancée au-dessus du poste 28 de cuisson. Lorsque la tranche 60" de silicium a été transférée du poste 28 de cuisson au
bras 24, ce dernier est ramené dans sa position en retrait.
Juste avant que le bras 24 n'atteigne sa position en retrait, l'aspiration exercée par le bout 62 est supprimée si bien que la tranche de silicium 60" est déposée dans la fente
56" juste au-dessus de la tranche 60'.
Après la fin d'une opération de revêtement d'une tranche 60"' de silicium, cette tranche est transférée du poste 26 de revêtement au poste 28 de cuisson par le bras de transfert. Lorsque la tranche 73 a été transférée au poste de cuisson 28, l'ensemble élévateur 12 est à nouveau positionné par déplacement d'une distance égale au pas des cassettes 18, 20, si bien que la cassette 20 est dans une position dans laquelle la fente 56'" est en position d'être
chargée par le bras 24 de transfert.
Après la fin d'une opération de cuisson de la plaquette 60"' de silicium, le bras 24 de transfert est déplacé de sa position en retrait dans la cassette 20 vers sa position avancée au-dessus du poste 28 de cuisson. Après transfert de la tranche 60"' du poste 28 de cuisson au bras
24 de transfert, ce dernier bras est ramené dans sa posi-
tion en retrait. Juste avant que ce bras 24 n'atteigne sa position en retrait, l'aspiration exercée par le bout 62 est interrompue, si bien que la tranche 60"' est déposée dans la fente 56"' juste au-dessus des tranches 60', 60"
de silicium.
Grâce aux opérations qui précèdent, les tranches 60', 60", 60"' de silicium sont transférées des fentes 54', 54",
54"' respectivement de la cassette 18 aux fentes correspon-
dantes 56', 56", 56"' de la cassette 20. Lorsque la cassette
18 contient plus de trois tranches (25 étant un nombre habi-
tuel), les étapes précédentes sont répétées jusqu'à ce que toutes les tranches de silicium aient été transférées de la cassette 18 à la cassette 20. Si les cassettes 18, 20 n'étaient pas décalées verticalement, il serait impossible à l'aide de l'ensemble élévateur 12 et des bras de transfert 22, 24, de transférer toutes les tranches de silicium de la cassette 18 (dans l'hypothèse o elle est totalement chargée) à la cassette 20, car les tranches de silicium ne seraient pas transférées entre les fentes correspondantes
des cassettes 18 et 20 (c'est-à-dire que la tranche de sili-
cium 60' serait retirée de la fente 54' de la cassette 18 et transmise à la fente 56" et non à la fente 56' de la
cassette 20).
Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l'homme de l'art aux procédés et appareils qui viennent d'être décrits uniquement à titre d'exemples
non limitatifs sans sortir du cadre de l'invention.
Claims (21)
1. Procédé de transfert de pièces d'une première
cassette (18) à une seconde cassette (20), les deux casset-
tes étant destinées à contenir des pièces les unes au-dessus des autres, ledit procédé étant caractérisé par les étapes suivantes: (a) le déchargement d'une première pièce (60') de la première cassette (18), (b) le positionnement simultané et conjoint de la première et de la seconde cassette (18, 20) de manière que la première cassette (18) soit dans une position dans laquelle une seconde pièce (60") peut en être déchargée et
de manière que la seconde cassette (20) soit dans une posi-
tion dans laquelle la première pièce (60') puisse y être chargée, (c) le déchargement de la seconde pièce (60") de la première cassette (18), (d) le chargement de la première pièce (60') dans la seconde cassette (20), et (e) le positionnement simultané et conjoint de la première et de la seconde cassette (18,20) de manière que la seconde cassette (20) soit dans une position dans
laquelle la seconde pièce (60") peut y être chargée.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les étapes (a) à (e) sont répétées sur des pièces successives conservées dans la première cassette jusqu'à ce que toutes les pièces de la première cassette aient été
déchargées de celle-ci et chargées dans la seconde cassette.
3. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2,
caractérisé en ce que la première pièce (60')est la pièce la plus basse se trouvant dans la première cassette (18), et la seconde pièce (60") est la seconde pièce à partir
du bas se trouvant dans la première cassette.
4. Procédé selon l'une quelconque des revendications
1 à 3, caractérisé en ce que la première et la seconde cassette (18,20) ont le même pas, et la seconde cassette (20) est maintenue à une distance constante prédéterminée
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au-dessus de la première cassette lorsque la première et la seconde cassette sont positionnées, ladite distance prédéterminée étant égale au pas de la première et de la
seconde cassette.
5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en
ce que la première et la seconde cassette (18,20) sont posi-
tionnées par abaissement progressif.
6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que les pièces sont déchargées de la première cassette (18) par un premier bras de transfert (22) mobile dans la
première cassette entre une position en retrait et une posi-
tion avancée, et les pièces sont chargées dans la seconde cassette (20) par un second bras de transfert (24) mobile dans la seconde cassette entre une position en retrait et
une position avancée.
7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que le premier bras de transfert (22) est placé sous les pièces dans la première cassette (18), lorsque le premier - bas de transfert est dans sa position en retrait, et le second bras de transfert (24) est placé à distance des pièces dans la seconde cassette (20) lorsque le second bras
de transfert est dans sa position en retrait.
8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que la première et la seconde cassette (18,20) sont
placées côte-à-côte.
9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que le premier bras de transfert (22), dans sa position en retrait,est placé au-dessous des pièces se trouvant dans la première cassette (18), et le second bras de transfert (24), dans sa position en retrait, se trouve à distance des pièces présentes dans la seconde cassette (20) car la
première cassette est décalée par rapport à la seconde.
10. Procédé selon l'une quelconque des revendications
précédentes, caractérisé en ce que la seconde cassette (20) est dans une position dans laquelle aucune pièce ne peut y être chargée lorsque la première cassette (18) est dans la position dans laquelle la première pièce (60') peut en être déchargée, et dans lequel la première cassette (18) est dans une position dans laquelle une troisième pièce (73) peut en être déchargée lorsque la seconde cassette (20) est dans une position dans laquelle la seconde pièce (60") peut y être chargée.
11. Procédé selon l'une quelconque des revendications
précédentes, caractérisé en ce que les pièces sont des tranches de silicium à partir desquelles sont fabriqués des
dispositifs à semi-conducteur.
12. Appareil de transfert de pièces d'une première cassette à une seconde, les deux cassettes étant destinées
à conserver des pièces les unes au-dessus des autres, carac-
térisé en ce qu'il comprend un dispositif (22) de décharge-
ments successifs de pièces de la première cassette (18), un dispositif (24) de chargements successifs des pièces dans
la seconde cassette (20), et un dispositif (12) de position-
nement simultané et conjoint de la première et de la seconde
cassette de manière que, lorsque le dispositif de décharge-
ment a déchargé une première pièce de la première cassette, la première cassette soit déplacée dans une position dans laquelle une seconde pièce peut être déchargée et la seconde cassette est déplacée dans une position dans laquelle la
première pièce peut y être chargée.
13. Appareil selon la revendication 12, caractérisé
en ce qu'il comprend un dispositif (26,28) destiné à exécu-
ter une opération de traitement sur chaque pièce pendant
son transfert de la première cassette à la seconde.
14. Appareil selon l'une des revendications 12 et
13, caractérisé en ce que la première pièce (60') est la pièce qui est la plus basse dans la première cassette (18), et la seconde pièce (60") est la seconde pièce à partir du
bas dans la première cassette.
15. Appareil selon la revendication 14, caractérisé en ce que la première et la seconde cassette ont le même pas (a), le dispositif de positionnement (12) comporte une première plate-forme (14) qui porte la première cassette et une seconde plate-forme (16) qui porte la seconde
cassette, la seconde plate-forme étant maintenue à une dis-
tance constante prédéterminée au-dessus de la première lorsque les deux cassettes sont positionnées, la distance prédéterminée étant égale au pas (a) de la première et de la seconde cassette.
16. Appareil selon l'une quelconque des revendica-
tions précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de déchargement comporte un premier bras de transfert (22) mobile dans la première cassette (18) entre une position
en retrait et une position avancée, le dispositif de charge-
ment comprend un second bras de transfert (24) mobile dans la seconde cassette (20) entre une position en retrait et une position avancée, le premier bras de transfert est placé sous les pièces dans la première cassette lorsque le premier bras de transfert est dans sa position en retrait, et le second bras de transfert est placé à distance des pièces se trouvant dans la seconde cassette lorsqu'il est dans sa
position en retrait.
17. Appareil selon la revendication 16, caractérisé en ce que le premier et le second bras de transfert sont disposés à la même hauteur, la position en retrait du premier bras de transfert étant alignée transversalement en direction latérale par rapport à la position en retrait du second bras de transfert, et la première plate-forme est décalée horizontalement par rapport à la seconde plate-forme, si bien que la première cassette est décalée horizontalement par rapport à la seconde et que le premier bras de transfert, dans sa position en retrait, est placé sous les pièces se trouvant dans la première cassette et le second bras de transfert, dans sa position en retrait, est placé à distance
des pièces se trouvant dans la seconde cassette.
18. Appareil selon l'une quelconque des revendica-
tions précédentes, caractérisé en ce que la première et la
seconde plate-forme sont élevées et abaissées par un dispo-
sitif élévateur commun.
19. Appareil selon la revendication 18, caractérisé en ce que le dispositif élévateur comporte une vis-mère rotative (36), et un chariot (44) vissé sur la vis-mère de
manière qu'il puisse se déplacer en translation verticale-
ment sur la vis-mère à la suite de la rotation de celle-
ci, le chariot étant fixé à la première et à la seconde plate-forme si bien que les deux plates-formes se déplacent
simultanément et conjointement avec le chariot.
20. Appareil selon l'une quelconque des revendica-
tions précédentes, caractérisé en ce que les pièces sont
des tranches de silicium à partir desquelles des disposi-
tifs à semi-conducteur sont fabriqués.
21. Elévateur d'une première et d'une seconde cas-
sette, chacune des deux cassettes étant destinée à contenir des pièces les unes au-dessus des autres, l'élévateur étant caractérisé par un dispositif de positionnement (12) destiné à positionner simultanément et conjointement la première et la seconde cassette (18, 20) de manière que, après déchargement d'une première pièce de la première cassette, celle-ci soit positionnée à un emplacement auquel une seconde pièce peut être déchargée de la première cassette et la seconde cassette est positionnée à un emplacement dans
lequel la première pièce peut y être chargée.
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|---|---|---|---|---|
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| DE3716498C2 (de) * | 1987-05-16 | 1994-08-04 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen von Werkstücken in eine Beschichtungskammer |
| DE3814924A1 (de) * | 1988-05-03 | 1989-11-16 | Leybold Ag | Vorrichtung zum ein- und ausschleusen von substraten aus einem vakuumkessel |
| US4900214A (en) * | 1988-05-25 | 1990-02-13 | American Telephone And Telegraph Company | Method and apparatus for transporting semiconductor wafers |
| US4856456A (en) * | 1988-10-03 | 1989-08-15 | Machine Technology, Inc. | Apparatus and method for the fluid treatment of a workpiece |
| DE3912296C2 (de) * | 1989-04-14 | 1996-07-18 | Leybold Ag | Vorrichtung zur Aufnahme und Halterung von Substraten |
| JPH0418683U (fr) * | 1990-06-01 | 1992-02-17 | ||
| US5529626A (en) * | 1994-10-24 | 1996-06-25 | Nec Electronics, Inc. | Spincup with a wafer backside deposition reduction apparatus |
| JP3354063B2 (ja) * | 1996-11-29 | 2002-12-09 | 株式会社新川 | リードフレーム供給方法及び供給装置 |
| US6250501B1 (en) * | 1999-10-29 | 2001-06-26 | Eastman Kodak Company | Method of storing and dispensing thin, flimsy objects |
| US6264804B1 (en) | 2000-04-12 | 2001-07-24 | Ske Technology Corp. | System and method for handling and masking a substrate in a sputter deposition system |
| US6413381B1 (en) | 2000-04-12 | 2002-07-02 | Steag Hamatech Ag | Horizontal sputtering system |
| US20040101385A1 (en) * | 2002-11-25 | 2004-05-27 | Ta-Kuang Chang | Semiconductor process apparatus and SMIF pod used therein |
| ATE342673T1 (de) * | 2003-04-17 | 2006-11-15 | Ind Bergamasca Rifrangenti S R | Verfahren zur herstellung von gedruckten reflektierenden gut sichtbaren produkten |
| CN114378088B (zh) * | 2020-10-19 | 2024-01-23 | 中国科学院微电子研究所 | 槽式清洗设备的排气装置及排气方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3921788A (en) * | 1974-05-21 | 1975-11-25 | Macronetics Inc | Processing apparatus for thin disc-like workpieces |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3047933A (en) * | 1958-01-17 | 1962-08-07 | Columbia Broadcasting Syst Inc | Crystal diode assembly machine and method therefor |
| US3576540A (en) * | 1967-11-20 | 1971-04-27 | Sundstrand Corp | Plural machine tool and part handling control system |
| US3543392A (en) * | 1967-12-15 | 1970-12-01 | Cincinnati Milacron Inc | Machine tools having conveyor means extending therebetween and carrying pallet means which are selectively connectable to the machine tools |
| US3530571A (en) * | 1967-12-15 | 1970-09-29 | Cincinnati Milacron Inc | Manufacturing system |
| JPS4816664B1 (fr) * | 1968-08-19 | 1973-05-23 | ||
| US3618199A (en) * | 1969-06-30 | 1971-11-09 | Texas Instruments Inc | Automated method and system for fabricating semiconductor devices |
| US3889355A (en) * | 1973-02-05 | 1975-06-17 | Ibm | Continuous processing system |
| US3946484A (en) * | 1973-02-05 | 1976-03-30 | International Business Machines Corporation | Continuous processing system |
| US3902615A (en) * | 1973-03-12 | 1975-09-02 | Computervision Corp | Automatic wafer loading and pre-alignment system |
| US3823836A (en) * | 1973-05-22 | 1974-07-16 | Plat General Inc | Vacuum apparatus for handling sheets |
| US4030622A (en) * | 1975-05-23 | 1977-06-21 | Pass-Port Systems, Inc. | Wafer transport system |
| JPS5228274A (en) * | 1975-08-29 | 1977-03-03 | Hitachi Ltd | Containing method of wafer to magazine |
| JPS5936417B2 (ja) * | 1975-11-26 | 1984-09-04 | 株式会社デンソー | 半導体基板への高周波誘導加熱による拡散装置 |
| US4062463A (en) * | 1976-05-11 | 1977-12-13 | Machine Technology, Inc. | Automated single cassette load mechanism for scrubber |
| US4208159A (en) * | 1977-07-18 | 1980-06-17 | Tokyo Ohka Kogyo Kabushiki Kaisha | Apparatus for the treatment of a wafer by plasma reaction |
| JPS5678247A (en) * | 1979-11-29 | 1981-06-27 | Nec Corp | Monitoring circuit for light repeating transmission line |
| US4550239A (en) * | 1981-10-05 | 1985-10-29 | Tokyo Denshi Kagaku Kabushiki Kaisha | Automatic plasma processing device and heat treatment device |
| US4381965A (en) * | 1982-01-06 | 1983-05-03 | Drytek, Inc. | Multi-planar electrode plasma etching |
| DE3201086A1 (de) * | 1982-01-15 | 1983-07-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Fertigungseinrichtung zur bearbeitung von kleinbauteilen, insbesondere von elektrischen bauelementen |
| US4465416A (en) * | 1982-05-17 | 1984-08-14 | The Perkin-Elmer Corporation | Wafer handling mechanism |
-
1985
- 1985-05-20 US US06/735,863 patent/US4685852A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-04 GB GB08529924A patent/GB2175266B/en not_active Expired
- 1985-12-11 CA CA000497405A patent/CA1269408A/fr not_active Expired - Fee Related
- 1985-12-12 FR FR8518443A patent/FR2581978A1/fr active Pending
- 1985-12-26 JP JP60299646A patent/JPS61284357A/ja active Pending
-
1986
- 1986-01-13 DE DE19863600718 patent/DE3600718A1/de not_active Ceased
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3921788A (en) * | 1974-05-21 | 1975-11-25 | Macronetics Inc | Processing apparatus for thin disc-like workpieces |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA1269408A (fr) | 1990-05-22 |
| GB2175266A (en) | 1986-11-26 |
| DE3600718A1 (de) | 1986-11-20 |
| GB8529924D0 (en) | 1986-01-15 |
| JPS61284357A (ja) | 1986-12-15 |
| GB2175266B (en) | 1988-08-24 |
| US4685852A (en) | 1987-08-11 |
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