DE355889C - Verfahren und Vorrichtung zum Pruefen von Endmassen mittels Interferenzerscheinungen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Pruefen von Endmassen mittels Interferenzerscheinungen

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DE355889C
DE355889C DEK71825D DEK0071825D DE355889C DE 355889 C DE355889 C DE 355889C DE K71825 D DEK71825 D DE K71825D DE K0071825 D DEK0071825 D DE K0071825D DE 355889 C DE355889 C DE 355889C
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Verfahren und Vorrichtung zum Präfen von Endraaßen mittels Interferenzerscheinungen. Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zur Prüfung von Endmaßen mittels Interferenzerscheinungen. Das neue Verfahren besteht darin, daß man eine Endfläche des zu prüfenden Endmaßes selbst als eine der Interferenzflächen benutzt, während die andere Interferenzfläche von einem -una!bhängig von dem betreffenden Endinaß gelagerten z' Körper dargeboten wird. Dadurch, daß eine Endfläche des Endintaßes selbst als Interferenzfläche dient, werden einerseits die mit der Verwendung eines. Zwischenkörpers verknüpften Fehlerquellen vermieden, und anderseits ist es möglich, über die Beschaffenheit der betreffenden Fläche einen unmittell:>aren Überblick zu bekommen. Dadurch, daß die zweite Interferenzfläche einem Körper angehört, der unabhängig von dem betreffenden Endmaß geleIgert ist, hat man die Möglichkeit, die gegenseitige Neigung der Interferenzflächen und, ihren gegen#seitigen Abstand, so zu regeln, wie sie für die Prüfung am geeignetsten sind; man ist also von der Beschränkung frei, die dann vorliegt, wenn z# man den die zweite Interferenzfläche darbietenden Körper auf der Endmaßendfläche aufruhen läßt, anstatt ihn besonders zu lagern.
  • Hauptsächlich handelt es sich darum, mit dem neuen Verfahren zu prüfen, oh bei Endmaßen die Endflächen eben sind, ob diese Flächen einander parallel sind, wie groß die Länge des Endmaßes. ist und. (insbesondere bei zylindrischen Endmaßen) ob die Endflächen auf der Achse des Endmaßes senkrecht stehen. Entsprechende Prüfungsverfahren sind unten beispielshalber erläutert. In Hinsicht auf die Prüfung der Länge sei aber noch besonders hervorgehoben, daß das neue Verfahren erlaubt, zwei Endmaße ganz tinmittelbar miteinander zu vergleichen, indem man- sie nebeneinander anordnet und gleichzeitig las eine sowohl: wie das andere mit der zweiten Interferenzfläche zusammenwirken läßt; man erhält dann nebeneinander zwei Interferenzbilder und kann den Längenunterschied aus dem- Betrage ableiten, um den das eine Interferenzbild gegen das andere verschoben ist. Es fallen infolgedessen die Fehlerquellen weg, die vorhanden sind, wenn man, uni zwei Endmaße miteinander zu vergleichen, nacheinander die Länge des einen und des anderen mit Hilfe eines Interferenzverfahrens bestimmt.
  • In Abb. i der Zeichnung ist als ein Ansführungsbeispiel ein schematischer Schnitt durch eine der Erfindung entsprechende Vorrichtung dargestellt. Abb. 2 zeigt das dein Beobachter dargebotene Interferenzbild. In Abb. 3 ist ein schematischer Schnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel dargestellt.
  • In Abb. i ist a ein Prisima, dessen eilie Fläche a' halbdurchlässig versilibert ist. Auf diese Fläche ist ein zweites Prisma b gekittet, von dem die Fläche b' halbdurchlässig versilbert ist. Unterhalb des Prismas b ist ein Tischehen c angeordnet, das auf einer Seite auf zwei kugefigen Ansätzen c' ruht (von denen in der Zeichnung nur der eine sichtbar ist) und sich äuf der anderen Seite auf eine Stellschraube C2 stützt. Vor der oberen Hälfte der Fläche a' des Prismas a liegt eine Saimmellinsed, und hinter der der Fläche a2 entgegengesetzten Fläche b2 des Prisinas b liegt -eine Sammellinse e. In der Br-ennebene der Linse d ist eine Lichtquelle A angeordnet. Stellt man auf das Tischehen c z. B. zwei Endmaße f und g, so treten die von der Lichtquelle A ausgehenden und die Linse d treffenden Strahlen aus dieser Linse einander parallel' aus und durch die Fläche a" in das Prisma a ein. Sie werden an der Flächeas des Prismasa total reflektiert und durchsetzen dtann teilweise die Fläche&; insoweit sie von der Flächea:' nicht hindurchgelassen, sondern an ihr reflektiert werden, kommen sie für das Weitere nicht mehr in Betracht. Der durch die Flächeal hindurchgetretene Teil der Strahlen trifft auf die Fläche bl und wird von dieser wiederum teilweise durchgelassen und! teilweise reflektiert. Die hindurchgelassenen Strahlen trefien auf die oberen EnrIflächen fl und gl der Endinaße f und g, werden dort reflektiert, treten -wiederum teilweise durch die Fläche bl hindurch und interferieren mit dem vorher von dieser Fläche am Hindurchtreten gehinderten Teil. Die interferierenden Strahlen werden wieder..um teilweise an der Flächeal reflektiert und der Linsee zugeführt. Diese entwirft an dem PunkteB ein Bild der im Punkte A angeordneten Lichtquelle.
  • Nimmt -man an, daß bei jedem der Endmaße die obere Endfläche der unteren parallel ist und dias Tischchen mit Hilfe der Stellschraube c' so eingestellt ist, daß seine Oberfläche der Fläche bl des Prismas nahezu, paraltel ist, so sieht ein Beobachter, der sein Auge an den Punkt B bringt, das Interferenzbild, das in Albb. 2 dargestellt ist. Es seien f' und g' Streifen gleicher Ordnungszahl (gleichen Gangunterschiedes), dann ist die gegenseitige Verschiebung von f2 und g' ein Maß für den Längenunterschied der heiden Endmüße. Ob die Streifen fl und gl von gleicher Ordnung sind, kann inlan auf folgende Weise feststellen. An den Punkt A wird eine Lichtquelle gebracht, die eine Mischung aus verschiedenen homogenen Lichtarten,aussen(Ict, die nach Möglichkeit so ausgewählt sind, daß sie den physiolo1,ischen Grundfa,rben rot, grün und blau entsprechen. Hierbei fallen die verschiedenen, Streifensysteme der einzelnen Lichtarten in verschiedener Weise übereinander, so daß ein System von mannigfaltigen Mischfarbenstreifen entsteht, wobei die Farbe und die Farbenfolge an jeder Stelle kennzeichnend für den Gangunterschied ist. Gleicher Gangunterschied ist I an all den Stellen vorhanden, wo gleiche Farbe und, gleiche Farbenfolge besteht. Ob bei jedem der beiden Endmaße wirklich die beiden E ndflächen einander parallel sind, kann man für jedes Endmaß dadurch feststellen, daß man es auf seiner unteren Fläche um iSo' dreht und beobachtet, ob sich das von ihm herrührende Interferenzbild dabei ändert.
  • Bei dem in Abb. 3 dargestellten Beispiel stimmt -das aus den Prismen a und b zusamniengesetzte Prismensystem mit dem des ersten Ausführungsbeispiels überein, nur ist bei dem zweiten Beispiel die Fläche bl des Prismas b nicht halbdurchlässig, sondern vollständig reflektierend versilbert. Die Linsen d und e entsprechen vollständig denen des ersten Beispiels. Neben dem Prismensystem ist eine Grundplatteh angeordnet, die wiedertim auf der einen Seite auf zwei kugeligen Ansätzenhl ruht und sich auf der anderen Seite auf eine Stellschraubehl stützt. Diese Grundplatte trägt zwei V-förmige Lager10. Legt man in diese Lager z. B. ein zylindrisches Endmaßi, so ergibt sich ein Strahlengang, der dem bei dem. ersten Beispiel beschriebenen sehr ähnlich ist; nur findet hier die Interferenz zwischen den Strahlen, die an der Endfläche il des Endmaßes reflektiert werden, einerseits und den Strahlen, die an der Fläche bl des Pristnas b reflektiert werden, anderseits statt. Man kann z. B. prüfen, ob die Endfläche il auf der Achse des Endmaßes i senkrecht steht, indem man das Endm:aß in den Lagern h3 dreht; steht die Flächeil auf der Achse senkrecht, so ändert sich das Interferenzbild bei der Drehung nicht.

Claims (2)

  1. PATENT-ANSPRÜCHE: i. Verfahren zum Prüfen von Endmaßen mittels Interferenzerscheinungen, dadurch gekennzeichnet, daß eine Endmaßendfläche selbst als eine der Interferenzflächen benutzt wird, während die andere Interferenzfläche von einem unabhängig von dem Endmaß gelagerten Körper dargeboten wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch. i zur Vergleichung der Länge zweier Endmaße, dadurch gekennzeichnet, daß zwei End-Tnaße gleichzeitig der Prüfung unterworfen werden und der Längenunterschied aus dem Betrag abgeleitet wird, um den das von dem einen Endinaß herrührende Interferenzbild gegen das von dem andern Endmaß herrührende verschoben ist. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Besti-mmung der relativen Ordnungszahl der Interferenzstreifen ein Gemisch von hornogenen Lichtarten benutzt und aus der Gleichheit der Mischfarbe und der Farbenfolge auf Gleichheit des Gangunterschiedes geschlossen wird. 4. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach Ans ch i, gekennptu t' zeichnet durch eine Grundfläche, die .mehrere Endmaße nebeneinander zu lagern erlaubt, und eine spiegelnde Fläche, die von einem unabhängig von den Endmaßen gelagerten Körper dargeboten wird, und die zusammen mit je einer der Endflächen der Endmaße von einer Lichtquelle ausgehende Strahlen zur Interferenz zu bringen erlaubt. 5. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch i zur Prüfung von zylindrischen Endmaßen, gekennzeichnet durch eine Lagervorrichtung, in der ein zylindrisches Endmaß um seine Achse gedreht werden kann, und eine spiegelnde Fläche, die von einem unab-hängig von dem Endmaß gelagerten Körper dargeboten wird, und die zusammen mit einer der Endflächen des Enck-naßes von einer Lichtquelle ausgehende Strahlen zur Interferenz zu bringen erlaubt.
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