DE3543924A1 - Flexibles schaltungssubstrat mit elektrisch leitfaehiger klebeschicht und seine herstellung - Google Patents
Flexibles schaltungssubstrat mit elektrisch leitfaehiger klebeschicht und seine herstellungInfo
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Description
PATENTANWALT DR. HANS-GÜNTHER EGGERT1 DIPLOMCHEMIKER
RADERSCHEIDTSTRASSE I1 D-5000 KÖLN 41
Köln, den 9. Dezember 1985 Nr. 94
Shinto Paint Co., Ltd., 10-73, Minami-Tsukaguchicho
6-chome, Amagasaki (Japan)
Flexibles Schaltungssubstrat mit elektrisch leitfähiger Klebeschicht und seine Herstellung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein flexibles Schaltungssubstrat für die elektrisch leitende Verbindung
eines Substrats mit feinen elektrischen Leitern und seine Herstellung.
Insbesondere betrifft die Erfindung flexible Schaltungssubstrate zur Erzielung einer elektrisch leitenden
Verbindung zwischen feinen elektrischen Leitern, die in elektronischen Geräten verwendet
werden, und ihre Herstellung.
In den bisher verwendeten Anzeigeelementen in elektronischen Apparaten wie flüssigen Kristallen und
elektrochromen und Elektrolumineszenzelementen wird gleichzeitig eine elektrisch leitende Verbindund
zu den feinen Multikontaktleitern am Ende der Elemente hergestellt.
Hierzu sollen elektrisch leitende Verbindungen nur zwischen den gewünschten Leitungsbahnen hergestellt
werden, ohne eine leitende Verbindung zwischen nicht erwünschten benachbarten Leitern zu verursachen. Ein
Mittel hierzu ist eine elektrisch leitende Verbindung mit einer leitenden anisotropen Membran, die ein filmförmiges
Produkt von elektrisch leitenden Klebstoffen ist.
Derzeit verwendete elektrisch leitfähige anisotrope
Membranen werden durch Dispersion eines elektrisch leitfähigen partikelförmigen oder faserigen Materials
in einem Klebestoff und Filmbildung aus der erhaltenen Dispersion hergestellt.
Um eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen Leitungsbahnen mit dieser Membran herzustellen, wird
ein Streifen dieser Membran zwischen zwei Leitersubstrate, die miteinander verbunden werden sollen,
eingefügt, und das ganze wird unter Erwärmen gepresst, um elektrische Leitfähigkeit zu erzielen. Ein alternatives
Verfahren ist, eine elektrisch leitfähige Elastomerverbindung (im allgemeinen als zebra gum
bezeichnet) zwischen zwei Leitersubstrate, die miteinander verbunden werden sollen, einzufügen, die
durch Laminierung elektrisch leitfähiger Schichten und Isolierung gegeneinander hergestellt wird, und das
ganze miteinander unter Druck verbindet, um eine leitfähige Verbindung zu bewirken. Einzelheiten dieser
Verfahren sind beispielsweise in Electronic Material, Bd.22, Nr.10, 50-54, 1983 und Technical bulletin on
elastic connector, Nr.199, Toray Industries, Inc., beschrieben.
Bei dem Verfahren mit der elektrisch leitfähigen anisotropen Membran darf jedoch das elektrisch leitfähige
partikelförmige oder faserförmige Material, das
in dem Klebstoff dispergiert ist, nur in Richtung des Leiters elektrische Leitfähigkeit erzeugen, d.h. in
Richtung lediglich der Druckverbindung, nicht in die Richtung senkrecht zu der Druckverbindung, d.h. in
seitliche Richtung. Bei elektrisch leitenden Verbindungen von Schaltungssubstraten, die aus einer großen
Zahl von sehr feinen Kontaktschaltungen aufgebaut sind, wird die Vermeidung elektrischer Leitfähigkeit
in seitlicher Richtung umso schwieriger, je feiner der Aufbau der Schaltungen wird, wodurch es bisweilen zu
unerwünschter elektrischer Leitung in seitlicher Richtung kam.
Auch hat das Verfahren mit "zebra gum" den Nachteil, daß die Herstellung des zebra gums selbst mit einem
sehr feinen Aufbau schwierig ist, da die Feinheit des Aufbaus begrenzt ist.
5
5
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren bereitzustellen zum Verkleben und zum Elektrisch-leitfähig-Machen
eines Substrates mit feinen Schaltungen, um eine elektrisch leitfähige Verbindung
des genannten Substrates zu anderen Leitersubstraten zu erzielen, wodurch es unnötig wird, ein elektrisch
leitfähiges Klebematerial wie die elektrisch leitfähige anisotrope Membran oder zebra gum zwischen
die Leiterbahnen oder Schaltungen einzubringen.
Bei den der vorliegenden Erfindung zugrundeliegenden Untersuchungen wurde ausführlich ein Verfahren zur
Herstellung elektrisch leitfähiger Verbindung zwischen einer feinen elektrischen Leiterbahn und nur der
gewünschten benachbarten Leiterbahn, ohne daß eine leitende Verbindung zu dem nicht erwünschten benachbarten
Leiter hergestellt wird, untersucht, und es wurde gefunden, daß, wenn eine elektrisch leitende
Klebeschicht auf der Leiterbahn eines flexiblen Leitersubstrats durch elektrische Abscheidung von
hochmolekularen Harzen erzeugt wird, die gewünschte elektrisch leitende Verbindung sehr sicher erhalten
werden kann, indem man die genannte Schaltung mit der eines anderen Schaltungssubstrats durch die genannte
Klebeschicht hindurch durch Pressen unter Druck verbindet.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden flexible Schaltungssubstrate mit einer elektrisch leitenden
Klebeschicht, die auf ihren elektrischen Leiterbahnen durch elektrische Abscheidung einer Beschichtung von
hochmolekularen Harzen gebildet ist, und ein Verfahren zur Herstellung solcher flexibler Schaltungssubstrate
bereitgestellt.
Als hochmolekulare Harze, die die elektrisch leitende Klebeschicht bilden können, können für die Zwecke der
vorliegenden Erfindung alle Klebeharze verwendet werden, die elektrisch auf elektrisch leitenden
Substraten (im folgenden bezeichnet als elektrische Leiterbahn) als überzug von hochmolekularen Harzen, die
später beschrieben werden, abgeschieden werden können. Es können beispielsweise wasserlösliche oder wasserdispergierbare
anionische oder kationische Harze, die die Form eines Latex haben können, verwendet
werden. Diese Harze umfassen die bekannten Harze, wie Epoxy-, Urethan-, Acryl-, Polyester-, Polybutadien-,
und synthetische Elastomerharze, usw. und sie können erforderlichenfalls in Kombination mit Vernetzungsmitteln verwendet werden.
Wenn diese Harze anionischer Natur sind, wird bevorzugt eine Carboxylgruppe eingeführt, so daß das
System eine negative Ladung erhält, oder sie werden in Wasser mit Hilfe von anionischen oberflächenaktiven
Mitteln dispergiert.
Wenn die Harze kationischer Natur sind, wird bevorzugt eine Aminogruppe eingeführt oder sie werden in Wasser
mit unter Zusatz eines kationischen Tensids dispergiert.
-X-
Um die vorgenannten hochmolekularen Harze elektrisch leitfähig zu machen, werden elektrisch leitfähige
feine Partikel in das Harz eingearbeitet, übliche elektrisch leitfähige feine Partikel umfassen Graphit,
Ruß; verschiedene elektrisch leitende metallische feine Partikel (beispielsweise Gold, Silber, Kupfer,
Nickel); und keramische elektrisch leitende feine Partikel (Titannitrid, Titancarbid). Diese feinen
Partikel können alleine oder in Mischung von zweien oder mehreren von ihnen verwendet werden.
Die Menge der elektrisch leitenden feinen Partikel liegt im Bereich von 20 bis 90 Gew.% des gesamten
Feststoffgehalts der Klebeschicht. Diese Menge kann wahlweise in Abhängigkeit des gewünschten Leitfähigkeitsgrades
für die zu bildende Klebeschicht verändert werden. Von diesen elektrisch leitfähigen
feinen Partikeln sind die feinen keramischen Partikel wie Titannitrid, Titancarbid etc. besonders
bevorzugt wegen ihrer chemischen Stabilität und ihrer physikalischen Eigenschaften wie spezifisches
Gewicht etc.
Bei der Herstellung des elektrisch leitfähigen Klebe-Stoffs
werden die elektrisch leitfähigen feinen Partikel unter Verwendung der bekannten Geräte wie
Walzenmühlen, Kugelmühlen, Sandmühlen etc. in das leitende hochmolekulare Harz eingearbeitet, das zuvor
mit Wasser und in einigen Fällen einem Lösungsmittel auf eine geeignete Viskosität eingestellt wurde, unter
Verwendung der bekannten Geräte wie Walzenmühlen, Kugelmühlen, Sandmühlen etc. In diesem Fall können der
anionische oder kationische Charakter des hochmolekularen verwendeten Harzes vor oder nach der Einarbeitung
neutralisiert werden.
Als Film für die flexiblen Leitersubstrate gemäß der
vorliegenden Erfindung können die üblicherweise verwendeten, wie beispielsweise Polyesterfilme, PoIyimidfilme
etc., verwendet werden.
Die feine Leiterbahn auf dem flexiblen Schaltungssubstrat kann mit den üblichen konventionellen Methoden,
wie Photolithographie, Ätzen oder Filmdruck, hergestellt werden.
Bei der vorliegenden Erfindung wird die elektrisch leitende Klebeschicht auf dem Leiterkreis des flexiblen
Leitersubstrats durch elektrische Abscheidung des genannten elektrisch leitenden Klebers gebildet, der
durch Einarbeitung der elektrisch leitenden feinen Partikel in das hochmolekulare Kleberharz hergestellt
wurde. Für solch eine elektrische Abscheidung kann eine konventionelle Methode, die als Beschichtung
durch elektrische Abscheidung bekannt ist, verwendet werden.
Zur Anwendung der genannten Elektroabscheidung wird zunächst ein Bad zur Elektroabscheidung hergestellt
durch Zugabe des elektrisch abscheidbaren hochmolekularen Kleberharzes, das die elektrisch leitenden
feinen Partikel enthält, zu einer wässrigen Lösung, die Wasser und erforderlichenfalls etwas organisches
Lösungsmittel enthält, und erforderlichenfalls durch Zugabe von Additiven; das flexible Schaltungssubstrat
mit einer Schaltung, auf dem die elektrisch leitende Klebeschicht gebildet werden soll, und eine Gegenelektrode,
werden in dem genannten Bad zur Elektroabscheidung plaziert; eine Gleichspannung wird an
beide Elektroden angelegt.
AO
Im Falle, daß das hochmolekulare Klebeharz anionischen Charakter besitzt, wird die Gleichspannung an das
zu beschichtende Leitersubstrat als positive Elektrode und die Gegenelektrode als negative Elektrode
angelegt. Wenn das hochmolekulare Klebeharz anionischen Charakter besitzt, werden die Vorzeichen der
Elektroden vertauscht.
Als Bedingung für die Elektroabscheidung ist es allgemein
vorteilhaft, einen Gleichstrom von 5 bis 300 V für 1 bis 60 see zur Abscheidung einer elektrisch
leitfähigen Klebeschicht einer Dicke im trockenen Zustand von etwa 1 bis 20 μ zu verwenden. Die Dicke
dieser Schicht wird in geeigneter Weise in Abhänigkeit von dem Feinheitsgrad der zu überziehenden Schaltung,
der Präzision der Dicke, usw. bestimmt, die durch Kontrolle der Bedingungen der oben genannten elektrischen
Abscheidung erreicht werden kann. Im allgemeinen ist es vorteilhaft, die Dicke der zu bildenden
elektrisch leitenden Klebeschicht umso geringer zu machen, je feiner die Konstitution der Schaltung ist.
Grund hierfür ist, daß verhindert werden soll, daß die elektrisch leitende Klebeschicht seitlich herausgedrückt
wird, wenn das andere Leitersubstrat dagegen gepresst wird.
Das flexible Schaltungssubstrat, auf dem die elektrisch leitende Klebeschicht elektrisch abgeschieden
wurde - wie oben beschrieben -, wird dann aus dem Bad genommen und mit reinem Wasser gespült, um die überschüssige
Lösung des Bades, die an dem Substrat
ΑΛ
anhaftet, abzuwaschen. Anschließend wird die elektrisch abgeschiedene Klebeschicht getrocknet. Das
Trocknen wird so durchgeführt, daß die Klebeschicht nicht gehärtet, aber Wasser und organisches Lösungsmittel,
die in der Schicht enthalten sind, entfernt werden können. Im allgemeinen wird eine Trockentemperatur
unter 800C unter atmosphärischem oder vermindertem Druck empfohlen.
Nach der Methode der vorliegenden Erfindung, elektrisch leitende Klebschichten aus elektrisch leitenden
hochmolekularen Harzen abzuscheiden, können sehr einheitliche Uberzugsfilme genau auf lediglich der gewünschten
Leiterbahn gebildet werden. Aus diesem Grund kann die Klebeschicht umso effektiver auf der
Leiterbahn gebildet werden, je feiner das Leitungsmuster wird, d.h. Weite der Leiterbahn und die Abstände
zwischen den Leiterbahnen kleiner werden. Das Verfahren der vorliegenden Erfindung ist insbesondere
geeignet zur Herstellung einer elektrischen Verbindung von Multikontaktschaltungen mit vielen Leiterbahnen
von 0,1 mm oder geringer Weite und Abständen von 0,2 mm oder weniger zwischen den Leiterbahnen, was
nach den bisher bekannten Methoden unmöglich oder zumindest schwierig gewesen ist.
Allgemein wird, wenn eine andere Leiterbahn mit der Leiterbahn unter Druck verbunden wird, um Leitfähigkeit
zu erzielen, mit zunehmender Feinheit der Weite der Leiterbahn und der Abstände zwischen den Kreisen,
das Problem zunehmend ernsthafter, daß die Klebeschicht aus dem Teil zwischen den Leiterbahnen gedrückt
wird, bedeutender. Um zu verhindern, daß die Klebeschicht herausgedrückt wird, wird die Dicke der
Al
— Sf —
Schicht vorzugsweise so gering wie möglich gewählt, sofern die Grenze nicht unterschritten wird. Zur Herstellung
einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen den Leiterbahnen durch Verbindung unter Druck
miteinander durch die möglichst dünne Klebeschicht hindurch, ist das mit der elektrisch leitenden Klebeschicht
elektrisch zu beschichtende Leitersubstrat vorzugsweise ein flexibles Substrat.
Um das flexible Leitersubstrat, dessen Leiterbahn mit der elektrisch leitenden Klebeschicht durch elektrische
Ablagerung einer Beschichtung von hochmolekularen Harzen gemäß der vorliegenden Erfindung beschichtet
wurde, mit einem anderen Leitersubstrat zu verbinden und dadurch zwischen beiden Schaltungen eine
elektrische Leitung herzustellen, werden die beiden Schaltungen in eine entsprechende Position gebracht
und miteinander durch Pressen unter Erhitzen verbunden. Dadurch wird mit einer sehr hohen Zuverlässigkeit
eine Verbindung der Schaltungen erzielt, die eine elektrische Leitfähigkeit nur in der Richtung des
Pressens ergibt. Wenn die Klebeschicht ein hochmolekulares thermoplastisches Harz ist, wird die Verbindung
bei einer Temperatur ausgeführt, bei der das Harz weich wird oder zu schmelzen beginnt, um eine Verbindung
brauchbarer Stärke zu erzielen, wenn das Harz ein Duroplast ist, wird die Verbindung unter den Aushärtebedingungen
für das Harz ausgeführt.
Die vorliegende Erfindung wird im folgenden durch Beispiele veranschaulicht:
(1) 20 Kupferschaltungen einer Weite von 80 μ wurden auf einem Polyesterfilmsubstrat durch Ätzen in
Intervallen von 80 μ gebildet.
(2) Ein Bad zur elektrischen Abscheidung, das ein elektrisch leitfähiges hochmolekulares Klebeharz
enthält, wurde mit der folgenden Zusammensetzung hergestellt:
Anionische Polyesterharzlösung (Produkt von Shinto Paint Co., Ltd.; Ethylcellosolve/sekundär-Butanol-Lösung
mit einem Feststoffgehalt von 75 Gew.%)
Melaminharz (MX-40; Produkt der Firma Sanwa
Melaminharz (MX-40; Produkt der Firma Sanwa
15 Chemical Co.)
Titannitrid (Produkt der Firma Nihon Shinkinzoku Co.; durchschnittlicher Teilchendurchmesser
1 μ)
Graphit
Graphit
20 Ethylcellosolve Triethylamin entionisiertes Wasser
Gew.-Teile 64
12
120
20
80
701
Gesamt
1000
Zur Herstellung des genannten Bades zur elektrischen Abscheidung wurden die Harzlösung, Melaminharz,
Titannitrid und Graphit gemischt und die Viskosität der Mischung wurde durch Zugabe eines
Teils von Ethylcellosolve eingestellt. Um die elektrisch leitenden Pulver in der Harzlösung zu
dispergieren, wurde die Mischung 8 Stunden mit einer Kugelmühle geknetet. Anschließend wurde
Triethylamin und die restliche Ethylcellosolve zugegeben und gründlich gemischt, um das Harz zu
neutralisieren, und entionisiertes Wasser zugesetzt zur Herstellung des Bads mit einem Feststoffgehalt
von 20 Gew.%.
(3) Die Klebeschicht wurde wie folgt gebildet: Das in (2) hergestellte Bad zur elektrischen
Abscheidung wurde in einen Glasbecher gegeben und unter Rühren bei 250C gehalten. Bevor der in (1)
hergestellte Schaltungsfilm in das Bad zur elektrischen
Abscheidung eingetaucht wurde, wurde der Film mit einem Band so maskiert, daß der Teil
jeder Schaltung bis 5 mm vom Rand des Schaltungsfilms frei blieb, während die übrigen Teile jeder
Leiterbahn gegen elektrische Beschichtung geschützt wurden.
Dieser Schaltungsfilm und eine Gegenelektrode aus rostfreiem Stahl mit der gleichen Fläche wie der
Film wurden in das Bad zur elektrischen Abscheidung so eingetaucht, daß sie einander im Abstand
von 5 cm gegenüberstanden. Mit jeder Kupferschaltung
auf dem Schaltungsfilm als positiver Elektrode
und der anderen als negativer Elektrode wurde ein Gleichstrom von 60 V für 10 see durch
die Elektroden geleitet, um die Klebestoffe auf den elektrisch leitenden Schaltungen abzuscheiden.
Nach Beendigung der Beschichtung durch elektrische Abscheidung wurde der Film aus dem Bad genommen,
die Maske entfernt und mit entionisiertem Wasser zum Abwaschen der Badlösung, die noch anhaftete,
gewaschen. Die Klebeschicht wurde anschließend
-JA-
bei 800C für 5 Minuten unter reduziertem Druck
getrocknet. Die Dicke der gebildeten Klebeschicht betrug etwa 10 μ.
(4) Das flexible Schaltungssubstrat mit der elektrisch leitenden Klebeschicht, das, wie oben beschrieben,
gebildet wurde, wurde mit dem anderen Leitersubstrat wie folgt verbunden:
Dieser Leiterfilm und die gleiche Art Leiterfilm ohne Klebeschicht wurden so aufeinander plaziert,
daß die Leiterbahnen der Filme in Position gebracht wurden und miteinander bei 1900C für 5 Minuten
unter einem Druck von 20 kg/cm verbunden. Die Verbindung der beiden Schaltungsfilme war gut ohne
elektrischen Kurzschluß zwischen den benachbarten Kreisen und es wurde eine sehr gute Leitung zwischen
den gewünschten Leiterbahnen erzielt.
(1) 10 Kupferschaltungen einer Weite von 50 μ wurden
auf einem Polyimidfilmsubstrat in Abständen von
50 μ durch Ätzen gebildet.
(2) Ein Bad zur elektrischen Abscheidung, das ein elektrisch leitfähiges hochmolekulares Klebeharz enthielt, wurde in der folgenden Zusammensetzung hergestellt:
(2) Ein Bad zur elektrischen Abscheidung, das ein elektrisch leitfähiges hochmolekulares Klebeharz enthielt, wurde in der folgenden Zusammensetzung hergestellt:
Lösung eines kationischen urethan-modifizierten Epoxyharzes (Produkt der Firma
Shinto Paint Co., Ltd.; Ethylcellosolve/ Gew.-Teile Toluol-Lösung mit einem Feststoffgehalt
von 75 Gew.%) 93.4 Titancarbid (Produkt der Firma Nihon
Shinkinzoku Co.; durchschnittlicher
Shinkinzoku Co.; durchschnittlicher
Teilchendurchmesser 1 μ) 120
Ruß 10
Ethylcellosolve 90
Essigsäure (50 %ig)
entionisiertes Wasser 682
Gesamt 1000
Zur Herstellung des genannten Bades zur elektrischen Abscheidung wurde die Harzlösung, Titancarbid
und Ruß gemischt und die Viskosität der Mischung durch Zugabe eines Teils von Ethylcellosolve
eingestellt. Die Mischung wurde zur Dispersion der elektrisch leitfähigen Pulver in der Harzlösung
eingestellt. Die Mischung wurde zur Dispersion der elektrisch leitfähigen Pulver in der Harzlösung
8 Stunden in einer Sandmühle geknetet. Anschliessend wurden Essigsäure und die restliche Ethylcellosolve
zugegeben, zur Neutralisation des Harzes gut gemischt und das entionisierte Wasser zugegeben
zur Herstellung des Bades mit einem Feststoffgehalt von 20 Gew.%.
(3) Die Klebeschicht wurde wie folgt gebildet:
(3) Die Klebeschicht wurde wie folgt gebildet:
Die Klebeschicht wurde entsprechend dem unter (3) des Beispiels 1 beschriebenen Verfahren gebildet.
In diesem Beispiel wurde jedoch der in (1) hergestellte
Leiterfilm als negative Elektrode geschaltet; die Gegenelektrode war eine positive
Elektrode. Der Abstand zwischen den Elektroden
betrug 5 cm; ein Gleichstrom von 50 V wurde während 20 see angewandt.
Elektrode. Der Abstand zwischen den Elektroden
betrug 5 cm; ein Gleichstrom von 50 V wurde während 20 see angewandt.
Al-
Die Klebeschicht wurde 5 Minuten bei 8O0C unter
reduziertem Druck getrocknet; die Dicke der Schicht betrug etwa 5 μ.
(4) "In der gleichen Weise wie in Beispiel 1 wurde der
flexible Leiterfilm mit der elektrisch leitfähigen Klebeschicht, der, wie oben beschrieben, gebildet
wurde, und ein anderer Leiterfilm mit derselben Schaltung so aufeinander plaziert, daß die Leiterbahnen
der Filme in Position zueinander waren, und miteinander 5 Minuten bei 2000C unter einem Druck
2
von 10 kg/cm verbunden. Die Verbindung der beiden Leiterfilme war gut ohne elektrischen Kurzschluß zwischen den benachbarten Schaltungen, und mit einer sehr guten Leitfähigkeit zwischen den gewünschten Schaltungen.
von 10 kg/cm verbunden. Die Verbindung der beiden Leiterfilme war gut ohne elektrischen Kurzschluß zwischen den benachbarten Schaltungen, und mit einer sehr guten Leitfähigkeit zwischen den gewünschten Schaltungen.
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren kann die elektrisch leitfähige Klebeschicht präzise und
genau auf der feinen Leiterbahn gebildet werden und die Verbindung zwischen den gewünschten
Kreisen kann sicher mit einer sehr guten elektrischen Leitfähigkeit hergestellt werden.
Claims (8)
1. Flexibles Schaltungssubstrat, dadurch gekennzeichnet, daß eine elektrisch leitfähige Klebeschicht
durch Beschichtung durch elektrische Abscheidung mit hochmolekularen Harzen auf einer Leiterbahn
des genannten Substrats gebildet wird.
2. Flexibles Schaltungssubstrat nach Anspruch 1, bei dem die Weite der Leiterbahn 0,1 mm oder geringer
ist.
3. Flexibles Schaltungssubstrat nach Anspruch 1, bei dem ein Abstand zwischen den Leiterbahnen von
0,2 mm oder weniger besteht.
4. Flexibles Schaltungssubstrat nach Anspruch 1, bei
dem die elektrisch leitfähige Klebeschicht feine Teilchen von Titancarbid oder Titannitrid als
elektrisch leitfähige Teile enthält.
5. Verfahren zur Herstellung eines flexiblen Schaltungssubstrats, dadurch gekennzeichnet, daß eine
elektrisch leitfähige Klebeschicht auf der Leiterbahn des genannten Substrats durch Beschichtung
mit hochmolekularen Harzen durch elektrische Abscheidung gebildet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem die Weite der Leiterbahn 0,1 mm oder weniger beträgt.
ORIGINAL INSPECTED
7. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem ein Abstand
5 zwischen den Leiterbahnen von 0,2 ram oder weniger
besteht.
8. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem die elektrisch
leitende Klebeschicht als elektrisch
10 leitende Teilchen feine Partikel von Titancarbid Titannitrid enthält.
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