DE3534481A1

DE3534481A1 - Magnetisches aufzeichnungsmedium

Info

Publication number: DE3534481A1
Application number: DE19853534481
Authority: DE
Inventors: Toshio Fujisawa Kanagawa Ando; Akihiro Sagamihara Kanagawa Kimura; Toshikazu Zama Kanagawa Nishihara
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1984-09-29
Filing date: 1985-09-27
Publication date: 1986-04-03
Also published as: US4680218A; KR860002790A; KR890004256B1; DE3534481C2

Description

VICTOR COMPANY OF JAPAN, LTD.. Yokohama, Japan Magnetisches Aufzeichnungsmedium

Die vorliegende Erfindung geht aus von einem magnetischen Aufzeichnungsmedium mit den Merkmalen aus dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Insbesondere betrifft die Erfindung magnetische Aufzeichnungsmedien, die Gleitfähigkeit zeigen.

In letzter Zeit wurde ein magnetisches Aufzeichnungsmedium für eine hohe Aufzeichnungsdichte vorgeschlagen, bei dem ein dünner Metallfilm als Aufzeichnungsmedium dient, wobei dieses magnetische Aufzeichnungsmedium in die Praxis umgesetzt worden ist. Solch ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einem dünnen Metallfilm weist eine Basis mit einer darauf ausgebildeten magnetischen Schicht auf. Die magnetische Schicht ist aus einem magnetischen Material wie Co, Co-Ni, Co-P und Co-Ni-P hergestellt und wird auf der Basis durch Verfahren wie beispielsweise Bedampfungs- und Besprühungsverfahren, galvanische Überzugverfahren und stromloses Überziehen ausgebildet.

Wird mit diesem zuvor beschriebenen magnetischen Aufzeichnungsmedium eine Aufzeichnung oder Wiedergabe ausgeführt, so gilt allgemein, daß ein Magnetkopf aufgrund eines Luftfilms oder einer Luftschicht, die durch einen Luftstrom erzeugt wird, der bei einer hohen Rotationsgeschwindigkeit des sich drehenden magnetischen Aufzeichnungsmediums auftritt, leicht von dem magnetischen Aufzeichnungsmedium weggedrückt wird, so daß der Magnetkopf quasi auf dieser Luftschicht schwimmt. Jedoch kommt der Magnetkopf in Kontakt mit dem magnetischen Aufzeichnungsmedium, wenn der Magnetkopf zu rotieren beginnt, wobei dieser Kontakt auftritt, bis eine konstante Rotationsendgeschwindigkeit erreicht ist. Dieser

Kontakt tritt wieder auf, wenn die Rotationsgeschwindigkeit zum Anhalten der Rotation des magnetischen Aufzeichnungsmediums verringert wird. Aus diesem Grund wird die magnetische Schicht des magnetischen Aufzeichnungsmediums aufgrund von Reibung zwischen dem Magnetkopf und der magnetischen Schicht abgetragen und abgenutzt.

Um also vorzeitiges und schnelles Abtragen der magnetischen Schicht aufgrund dieser Reibung zu vermeiden, ist ein dünner Lubrizität und einen kleinen Reibungskoeffizienten aufweisender Kohlenstoffilm üblicherweise auf der magnetischen Schicht ausgebildet, wie dies beispielsweise in der japanischen Patentschrift Nr. 33521/1974 und der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 41524/1981 vorgeschlagen wurde. Durch die Anbringung dieses dünnen Kohlenstoffilms wird die magnetische Schicht vor dem Hagnetkopf geschützt. Da Kohlenstoff Lubrizität aufweist, ist der Reibungskoeffizient bezüglieh des Magnetkopfes klein, und infolgedessen ist eine überaus große Reibung auf den Oberflächen des magnetischen Aufzeichnungsmediums und des Magnetkopfes verhindert.

Jedoch ist festgestellt worden, daß bei einer tauhaltigen Atmosphäre sich auf der magnetischen Schicht des magnetischen Aufzeichnungsmediums Rost bildet und Korrosion stattfindet, wenn das magnetische Aufzeichnungsmedium keinen Kohlenstoffilm auf der magnetischen Schicht aufweist und auch, wenn die magnetische Schicht des magnetischen Aufzeichnungsmediums mit dem dünnen Kohlenstoffilm überzogen ist. Die Erfinder der vorliegenden Anmeldung haben dieses Phänomen untersucht und herausgefunden, daß auch der dünne Kohlenstoffilm selbst interne Spannung aufweist und daß sich Risse und Brüche in dem dünnen Kohlenstoffilm bei geringfügigen Änderungen der Umgebungsbedingungen oder auch im Extremfall

bei gleichen Umgebungsbedingungen bilden. Sind solche Risse und Sprünge in dem Kohlenstoffiln vorhanden, tritt Feuchtigkeit durch diese Risse und Sprünge, und es findet Korrosion auf der magnetischen Schicht statt.

Bei diesen Untersuchungen wurde experimentell zur Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit der magnetischen Schicht ein Film aus SiO₂ auf der magnetischen Schicht als korrosionsbeständige Schicht ausgebildet.

Ferner wurde bei einem weiteren Experiment eine gleitfähige Schicht aus Kohlenstoff zusätzlich auf der korrosionsbeständigen Schicht ausgebildet, um die Lubrizität zu verbessern. Jedoch ergab sich auch in diesem Experiment, daß Kratzer und Brüche nicht nur auf der gleitfähigen Kohlenstoffschicht sondern auch in der korrosionsbeständigen Filmschicht aufgrund von inneren Spannungen in der gleitfähigen Schicht auftraten und daß die Korrosionsbeständigkeit gering war.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein neues und brauchbares magnetisches Aufzeichnungsmedium ausgehend von den Merkmalen im Oberbegriff des Anspruchs 1 zu schaffen, das die zuvor beschriebenen Nachteile nicht aufweist.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelost.

Dabei weist'das erfindungsgemäße magnetische Aufzeichnungsmedium sowohl Gleitfähigkeit auf seiner Oberfläche auf als auch Korrosionsbeständigkeit, durch die eine Korrosion auf der magnetischen Schicht verhindert ist. Hierzu ist auf einer magnetischen Schicht eine gleitfähige Schicht ausgebildet, die beispielsweise aus Kohlenstoff besteht, und auf dieser gleitfähigen Schicht ist eine korrosionsbeständige Schicht aufgebracht, die Korrosionsbeständigkeit zeigt. Entsprechend dieser Aus-

ORiGlNAL

bildung des magnetischen Aufzeichnungsmediums ist die innere Spannung der gleitfähigen Schicht vermindert, indem diese Schicht durch die darüberliegende korrosionsbeständige Schicht entspannt ist. Infolgedessen können sich Sprünge und Risse nicht mehr leicht auf der gleitfähigen Schicht ausbilden, so daß die Korrosion auf der magnetischen Schicht verhindert ist.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Dabei zeigt eine Weiterbildung ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, das auf einer magnetischen Schicht eine korrosionsbeständige Schicht aufweist, eine gleitfähige Schicht auf dieser korrosionsbeständigen Schicht und eine weitere korrosionsbeständige Schicht, die auf der gleitfähigen Schicht ausgebildet ist. Bei dieser vorteilhaften Weiterbildung ist die Korrosionsbeständigkeit bei gleichbleibender Lubrizität des Aufzeichnungsmediums noch weiter verbessert.

Im folgenden wird die Erfindung an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen

F I G . 1 einen vergrößerten vertikalen Querschnitt durch einen Teil eines magnetischen Aufzeichnungsmediums entsprechend einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung und

F I G . 2 einen vergrößerten vertikalen Querschnitt durch einen Teil eines magnetischen Aufzeichnungsmediums entsprechend einem weiteren Ausführungsbeispiel.

Die FIG. 1 zeigt das erste Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsmediums. Dieses magnetische Aufzeichnungsmedium 10 weist eine Basis 11 auf, die scheibenförmig ist und aus Aluminium hergestellt ist, wobei dessen Oberfläche beispielsweise mit einer nichtmagnetischen Schicht aus Ni-P überzogen ist. Über der Basis 11 ist beispielsweise eine dünne magnetische Filmschicht 12 vorgesehen, die aus einem Überzug aus Co-P besteht. Neben Co-P ist es möglich, andere magnetische Materialien wie Co, Co-Ni und Co-Ni-P für die magnetische Schicht 12 zu verwenden.

Eine gleitfähige oder auch schmierfähige Schicht 13, die aus einem Lubrizität oder Gleitfähigkeit aufweisenden Material wie z.B. Kohlenstoff hergestellt ist, ist auf der magnetischen Schicht 12 ausgebildet. Eine korrosionsbeständige Schicht 14, die Korrosionsbeständigkeit zeigt, ist auf dieser gleitfähigen Schicht 13 ausgebildet. Neben Kohlenstoff können als Gleitfähigkeit aufweisende Materialien beispielsweise auch Molybdändisulfid, Carbonnitrid und Bornitrid für die gleitfähige Schicht

13 verwendet werden. Für die korrosionsbeständige Schicht

14 eignen sich korrosionsbeständige Materialien wie Chrom, Titan, Ni-Cr-Legierungen, Fe-Cr-Legierungen, Co-Cr-Legierungen, Molybdän, TiC, TiN, Zink, Aluminium, Fe-Ni-Legierungen und Fe-Ni-Cr-Legierungen.

Im folgenden werden Beispiele für die Ausbildung der gleitfähigen Schicht 13 und der korrosionsbeständigen Schicht 14 gegeben.

In einem ersten Beispiel wird die Basis 11 mit der auf einer ihrer Oberflächen ausgebildeten magnetischer. Schicht 12 beispielsweise in ein DC-Magnetronbedampfungsgerät gebracht und beispielsweise einer Sputter-Ätzung in Argongas bei 5x1 O*"⁵ Torr unterworfen. Anschließend

wird eine Kohlenstoffschicht mit einer Dicke im Bereich von ungefähr 5 nm bis 200 nm und beispielsweise 60 nm durch Aufdampfen oder Aufsprühen auf die magnetische Schicht 12 gebracht. Als Ergebnis dieses Verfahrens ist die gleitfähige Schicht 13 auf der magnetischen Schicht 12 ausgebildet.

Darauffolgend wird eine Schicht aus Co _Q 3Cr_{0 2} mit einer Dicke im Bereich von ungefähr 1 nm bis 7 nm und beispielsweise 2 nm auf der gleitfähigen Schicht durch Aufdampfen oder Aufsprühen ausgebildet, so daß als Ergebnis die korrosionsbeständige Schicht 14 auf der gleitfähigen Schicht 13 ausgebildet ist. Wird die korrosionsbeständige Schicht 14 mit einer derartigen extrem kleinen Dicke ausgebildet, so bedeckt diese korrosionsbeständige Schicht 14 nicht die gesamte Oberfläche der gleitfähigen Schicht 13. Anders ausgedrückt weist die korrosionsbeständige Schicht 14 tatsächlich eine Vielzahl von inselförmigen Filmen auf, die örtlich verteilt auf der gleitfähigen Schicht 13 ausgebildet sind. Ist die Bedampfungszeit kurz eingestellt, so ist das Bedampfen oder Aufsprühen in einem Anfangsstadium der Schichtformation dieses Aufsprüh- oder Bedampfungsverfahrens bereits beendet, und aus diesem Grund bedeckt die korrosionsbeständige Schicht 14 nicht die gesamte Oberfläche der gleitfähigen Schicht 13 und ist nur lokalisiert auf dieser gleitfähigen Schicht 13 verteilt.

Mit dem beschriebenen Ausführungsbeispiel des magnetischen Aufzeichnungsmediums wurde mit einem Kopf des Typs 3350 für harte Platten, der durch die IBM Corporation der Vereinigten Staaten hergestellt wird und einen Schwimmwert oder Gleitwert von 0,25/um und eine Spaltlänge von 1,4/um aufweist, ein Test ausgeführt. Als Ergebnis eines Kontakt-Start-Stopp-Tests, im folgenden der Einfachheit halber als CSS-Test bezeichnet, ergab

/10

sich, daß keinerlei Beschädigungen auf den Magnetkopf und auch nicht auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium auch nach 20000 Starts und Stopps vorlagen. Ferner ergab sich keinerlei Verschlechterung in dem wiedergegebenen Ausgangssignal vom Aufzeichnungsmedium. Es wird angenommen, daß diese Ergebnisse erzielt werden können, weil die gleitfähige Schicht 13 teilweise freiliegt und weil eine ausreichende Lubrizität vorliegt, wenn der Magnetkopf in Kontakt mit der gleitfähigen Schicht 13 kommt, und zwar unbeschadet vom Vorhandensein der korrosionsbeständigen Schicht 14 aufgrund von geringfügigen unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche des Magnetkopfes im Nanometerbereich. Andererseits ergab sich, daß das Vorhandensein der korrosionsbeständigen Schicht 14 keinerlei unerwünschte Effekte bezüglich der Wiedergabecharakteristik bewirkte.

Darüber hinaus wurde die Fehlerrate ermittelt, nachdem das magnetische Aufzeichnungsmedium des ersten Ausführungsbeispieles für 250 h einer Raumtemperatur von 60 ⁰C und einer relativen Luftfeuchtigkeit von 90% ausgesetzt worden war. Es ergab sich, daß im wesentlichen keine Erhöhung der Fehlerrate vorhanden war, und die überlegene Korrosionsbeständigkeit wurde bestätigt.

Es wird angenommen, daß dieses gute Ergebnis vorlag, weil die innere Spannung der gleitfähigen Schicht 13 durch das Vorhandensein der korrosionsfähigen Schicht vermindert wird und sich auf der gleitfähigen Schicht Kratzer nicht leicht ausbilden können.

In einem zweiten Beispiel ist das Herstellungsverfahren das gleiche wie beim zuvor beschriebenen ersten Beispiel. Jedoch ist bei diesem zweiten Beispiel die Dicke der gleitfähigen Schicht 13 größer als 200 nm und beispielsweise 300 nm. Die übrigen numerischen Werte entsprechen denen des ersten Beispiels.

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Die Fehlerrate wurde ermittelt, nachdem das magnetische Aufzeichnungsmedium dieses zweiten Beispiels denselben Bedingungen und für die gleiche Zeitdauer ausgesetzt worden war, die auch beim ersten Ausführungsbeispiel vorlagen. Es ergab sich, daß im wesentlichen keine Erhöhung der Fehlerrate auftrat,und die außerordentliche Korrosionsbeständigkeit wurde bestätigt. Ein durchgeführter CSS-Test, bei dem der gleiche Magnetkopf wie beim ersten Beispiel benutzt wurde, ergab, daß Beschädigungen weder auf dem Magnetkopf noch auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium auch nach 20000 durchgeführten Starts und Stopps auftraten.

Jedoch wurde beobachtet, daß im Vergleich zum ersten Beispiel aufgrund der dickeren gleitfähigen Schicht 13 geringfügige Verschlechterungen im wiedergegebenen Ausgangssignal auftraten. Folglich ist die Qualität des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß dieses zweiten Beispieles geringfügig schlechter als die des magnetisehen Aufzeichnungsmediums nach dem ersten Beispiel.

In einem dritten Beispiel entspricht das Herstellungsverfahren dem des ersten Beispiels, jedoch ist bei diesem Beispiel die Dicke der gleitfähigen Schicht 13 kleiner als 5 nm und beispielsweise 2 mn. Die übrigen numerischen Werte entsprechen denen des ersten Beispiels.

Nachdem das magnetische Aufzeichnungsmedium dieses dritten Beispiels den gleichen Umgebungsbedingungen für die gleiche Zeitdauer wie im ersten Beispiel ausgesetzt worden war, wurde die Fehlerrate ermittelt, wobei sich ergab, daß im wesentlichen kein Anwachsen der Fehlerrate auftrat, wodurch die außerordentliche Korrosionsbeständigkeit bestätigt wurde. Jedoch ergab sich nach durchgeführtem CSS-Test, bei dem der gleiche Magnetkopf wie im Beispiel 1 benutzt wurde, ein Brück im Magnetkopf nach 6000

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Starts und Stopps; Danach ist die gleitfähige Schicht dieses dritten Beispiels zu dünn und wird aufgrund der Reibung schnell abgetragen, so daß die Lubrizität dieses magnetischen Aufzeichnungsmediums gering ist.

In einem vierten Beispiel wurde das gleiche Herstellungsverfahren wie im ersten Beispiel verwendet, jedoch wurde in diesem Beispiel die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht 14 über 8 nm und beispielsweise zu 10 nm angesetzt. Die übrigen numerischen Werte entsprechen denen des ersten Beispiels.

Nachdem das magnetische Aufzeichnungsmedium des vierten Beispiels denselben Umgebungsbedingungen und für dieselbe Zeitdauer wie im ersten Beispiel ausgesetzt worden war, wurde die Fehlerrate ermittelt. Es ergab sich, daß im wesentlichen kein Anwachsen der Fehlerrate auftrat, wodurch die überlegene Korrosionsbeständigkeit bestätigt wurde. Jedoch ergab sich nach durchgeführtem CSS-Test, bei dem der gleiche Magnetkopf wie im ersten Beispiel benutzt wurde, ein Kopfbruch nach 6000 Starts und Stopps. Bei diesem Beispiel war die gesamte gleitfähige Schicht 13 durch die korrosionsbeständige Schicht 14 bedeckt und die gewünschte Lubrizität konnte nicht für dieses magnetische Aufzeichnungsmedium erreicht werden.

Zum Vergleichszweck wurde ferner ein magnetisches Aufzeichnungsmedium hergestellt, in dem keinerlei korrosionsbeständige Schicht 14 vorgesehen war und nur die gleitfähige Schicht 13 auf der magnetischen Schicht 12 bestand. Auf diesem magnetischen Aufzeichnungsmedium wurde Information aufgezeichnet, wonach das Aufzeichnungsmedium einem Korrosionsbeständigkeitstest ausgesetzt

wurde, indem das magnetische Aufzeichnungsmedium bei einer Raumtemperatur von 60 ⁰C und einer relativen Luftfeuch-

tigkeit von 90% für 250 h gelagert wurde. Als Ergebnis dieses Tests wurde ermittelt, daß die Korrosion im wesentlichen auf der gesamten Oberfläche der magnetischen Schicht 12 stattgefunden hatte. Ferner ergaben sich Störangen und Verschlechterungen in der Magnetisierung, und das magnetische Aufzeichnungsmedium wies nur eine sehr geringfügige Dauerhaftigkeit auf.

Um ein weiteres Vergleichsergebnis zu erhalten, wurde ein magnetisches Aufzeichnungsmedium hergestellt, das weder eine gleitfähige Schicht 13 noch eine korrosionsbeständige Schicht 14 aufwies, wobei nur die magnetische Schicht 12 vorhanden war. Auf diesem Aufzeichnungsmedium wurde Information aufgezeichnet, und es wurde daraufhin für ungefähr 90 h unter den gleichen, zuvor beschriebenen Umgebungsbedingungen einem Korrosionsbeständigkeitstest unterworfen. Das Testergebnis zeigte, daß Korrosion auf der gesamten Oberfläche der magnetischen Schicht 12 stattgefunden hatte und daß die Magnetisierung weitgehend zerstört war. Dieses magnetische Aufzeichnungsmedium hat folglich keinerlei Dauerhaftigkeit. Ferner ergab sich aus dem CSS-Test, daß das wiedergegebene Ausgangssignal in erheblichem Maße nach 4000 Starts und Stopps verschlechtert war, so daß diese magnetische Aufzeichnungsmedium für die Anwendung in der Praxis völlig ungeeignet ist.

An Hand dieser Vergleichsbeispiele kann daher geschlossen werden, daß das erfindungsgemäße magnetische Aufzeichnungsmedium sowohl bezüglich der Lubrizität als auch der Korrosionsbeständigkeit überlegen ist.

Weiterhin wurde gefunden, daß die Dauerhaftigkeit der Lubrizität sich verschlechtert, wenn die gleitfähige Schicht 13 zu dünn ist, und daß die Wiedergabecharakteristik sich verschlechtert, wenn die gleitfähige Schicht 13 zu dick ist. Folglich sollte die Dicke der gleitfähi-

higen Schicht 13 angenähert über 5 η» betragen und vorzugsweise im Bereich von ungefähr 5 nm bis 200 nm ausgewählt werden. Andererseits kann die innere Spannung in der gleitfähigen Schicht 13 nicht genügend herabgesetzt werden, und die Korrosionsbeständigkeit ist schlecht, wenn die korrosionsbeständige Schicht 14 zu dünn ist. Jedoch ist auch zu berücksichtigen, daß die korrosionsbeständige Schicht 14 nicht die inseiförmige Verteilung aufweist, wenn sie zu dick ist, sondern die gesamte Oberfläche der gleitfähigen Schicht 13 bedeckt. Infolgedessen sollte die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht 14 vorzugsweise i» Bereich von angenähert 1 nm bis 7 nm angesetzt werden.

Das Ausbildungsverfahren für die korrosionsbeständige Schicht 14 ist nicht auf Aufdampf- und Aufsprühverfahren beschränkt, und es kann beispielsweise ein Ionenanreicherungsverfahren ebenfalls benutzt werden. In einem solchen Fall werden die korrosionsbeständige Schicht und die gleitfähige Schicht 13 nebeneinander vorliegen.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsmediums ist in der FIG. 2 dargestellt, wobei in der FIG. 2 die Teile, die entsprechenden Teilen aus FIG. 1 entsprechen, mit den gleichen Bezugszahlen versehen sind und auf ihre Beschreibung verzichtet worden ist.

In diesem Ausführungsbeispiel weist ein magnetisches Aufzeichnungsmedium 20 eine korrosionsbeständige Schicht 21 auf, die auf der magnetischen Schicht 12 ausgebildet ist, wobei die gleitfähige Schicht 13 und die korrosionsbeständige Schicht 14 auf dieser weiteren korrosionsbeständigen Schicht 21 genau in der Weise übereinandergeschichtet sind, wie es im ersten Ausführungsbeispiel beschrieben worden ist. Ferner ist für die weitere korrosionsbeständige Schicht 21 ein Material ausge-

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wählt, wie es bereits an Hand des ersten Ausführungsbeispiels für die korrosionsbeständige Schicht 14 vorgeschlagen wurde.

In diesem Ausführungsbeispiel kann die innere Spannung der gleitfähigen Schicht 13 effektiver herabgesetzt werden, weil die weitere korrosionsbeständige Schicht vorgesehen ist. Ferner ist auch die Korrosionsbeständigkeit des magnetischen Aufzeichnungsmediums besser als beim magnetischen Aufzeichnungsmedium entsprechend des ersten Ausführungsbeispieles.

Der Entspannungseffekt für die innere Spannung der gleitfähigen Schicht 13 kann nicht erreicht werden, wenn die weitere korrosionsbeständige Schicht 21 zu dünn ist, jedoch erhöht sich der Abstand zwischen dem Magnetkopf und der magnetischen Schicht 12, und die Aufzeichnungsund Wiedergabecharakteristik verschlechtert sich, wenn die korrosionsbeständige Schicht 21 zu dick ist. Entsprechend sollte die Dicke der weiteren korrosionsbeständigen Schicht 21 angenähert nicht über 2 nm betragen und vorzugsweise im Bereich von ca. 2 nm bis 100 nm liegen.

Da andererseits der Abstand zwischen dem Magnetkopf und der magnetischen Schicht 12 aufgrund des Vorhandenseins der weiteren korrosionsbeständigen Schicht 21 zunimmt, ist die obere Grenze für die Dicke der gleitfähigen Schicht 13 um einen Betrag vermindert, der der Dicke der korrosionsbeständigen Schicht 21 entspricht. Folglich sollte in diesem Ausführungsbeispiel die Dicke der gleitfähigen Schicht 13 vorzugsweise im Bereich von ungefähr 5 nm bis 100 nm liegen. Weiterhin wäre es im Hinblick darauf, daß eine verschlechterte Aufzeichnungs- und Wiedergabecharakteristik vermieden werden sollte, wünschenswert, daß die gesamte Dicke aus korrosionsbeständiger Schicht 21, der gleitfühigen Schicht 13 und

der weiteren korrosionsbeständigen Schicht 14 unterhalb 200 mn liegt.

In einem Beispiel dieses weiteren Ausführungsbeispieles, das dem Beispiel 1 des ersten beschriebenen Ausführungsbeispiels entspricht, ergaben sich ähnliche Testergebnisse wie beim Beispiel 1, wenn das magnetische Aufzeichnungsmedium hergestellt wurde, indem die Dicken der korrosionsbeständigen Schicht 21, der gleitfähigen Schicht 13 und der weiteren korrosionsbeständigen Schicht 14 jeweils zu 30 nm, 30 nm und 2 nm angesetzt wurden. Ferner ergaben sich auch in diesem Ausführungsbeispiel ähnliche Testergebnisse wie bei den Beispielen 2 bis 4 des ersten Ausführungsbeispieles, wenn das magnetische Aufzeichnungsmedium mit ähnlichen Schichtdicken wie in den beschriebenen Beispielen 2 bis 4 hergestellt wurde.

Ferner ist es in jedem der beschriebenen Ausführungsbeispiele möglich, die Schichten 12, 13 und 14 und die Schichten 12, 21, 13 und 14 auf nur einer Oberfläche der Basis 11 auszubilden oder auch auf beiden Oberflächen dieser Basis 11 auszubilden.

Darüber hinaus ist die vorliegende Erfindung nicht auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, es sind vielmehr zahlreiche Abänderungen und Variationen denkbar, ohne den Schutzumfang zu verlassen und von der Erfindungsidee abzuweichen.

Ja/Gu

Claims

Patentanwälte Reichel u. Reiche! Parksfraße 13 Frankfurt a. M. 1 „ . „ , \s \^ *J · -Γ Ο VICTOR COMPANY OF JAPAN. LTD.. Yokohama, Japan Patentansprüche

1. Magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einer Basis» einer auf der Basis ausgebildeten magnetischen Schicht, die aus einem magnetischen Material hergestellt ist, und einer auf der magnetischen Schicht ausgebildeten gleitfähigen Schicht, die aus einem gleitfähigen, Lubrizität aufweisenden Material besteht, dadurch gekennzeichnet, daß auf der gleitfähigen Schicht (13) eine erste korrosionsbeständige Schicht (14) ausgebildet ist, die aus einem ersten korrosionsbeständigen Material hergestellt ist, das Korrosionsbeständigkeit zeigt.

2. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste korrosionsbeständige Schicht (14) eine Dicke im Bereich von 1 nm bis zu 7 nm aufweist.

3. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die gleitfähige Schicht (13) eine Dicke im Bereich von 5 nm bis zu 200 nm aufweist.

4. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das erste korrosionsbeständige Material aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Chrom, Titan, Ni-Cr-Legierungen, Fe-Cr-Legierungen, Co-Cr-Legierungen, Molybdän, TiC, TiN, Zink, Aluminium, Fe-Ni-Legierungen und Fe-Ni-Cr-Legierungen umfaßt.

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5. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das gleitfähige Material aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Kohlenstoff, Molybdändisulfid, Carbonnitrid und Bornitrid umfaßt.

6. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste korrosionsbeständige Schicht (14) auf der gleitfähigen Schicht (13) inselartig lokalisiert verteilt ist.

7. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite korrosionsbeständige Schicht (21) zwischen der magnetischen Schicht (12) und der gleitfähigen Schicht (13) ausgebildet ist, wobei die zweite korrosionsbeständige Schicht aus einem zweiten, Korrosions^v beständigkeit aufweisenden Material hergestellt ist und

^ 20 die erste korrosionsbeständige Schicht (14) auf der

gleitfähigen Schicht (13) ausgebildet ist.

8. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die erste korrosionsbeständige Schicht (14) eine Dicke im Bereich von 2 mn bis zu 100 nm aufweist und die zweite korrosionsbeständige Schicht (21) eine Dicke im Bereich von 1 nm bis zu 7 nm aufweist.

9* Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die gleitfähige Schicht (13) eine Dicke im Bereich von 5 nm bis zu 100 nm aufweist.

10· Magnetisches AufzeichnungsmediuB nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das erste und das zweite korrosionsbeständige Material aus einer Gruppe ausgewählt sind, die Chrom, Titan, Ni-Cr-Legierungen, Fe-Cr-Legierungen, Co-Cr-Legierungen, Molybdän, TiC, TiN, Zink, Aluminium, Fe-Ni-Legierungen und Fe-Ni-Cr-Legierungen umfaßt.

11. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das gleitfähige Material aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Kohlenstoff, MolybdändisulfId, Carbonnitrid und Bornitrid umfaßt.