DE3524379C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Röntgenspektrometer zu wellen
längen- oder energiedispersiven Röntgenfluoreszenzanalyse
gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei der Röntgenfluoreszenzanalyse, wie sie z. B. in der DE-Z
"CZ-Chemie-Technik", 3. Jahrgang, 1974, Nr. 2, Seiten 69 bis
73, beschrieben ist, regen Bremsstrahlung und charakteristische
Strahlung einer Röntgenröhre als Primärstrahlung eine Röntgen
fluoreszenzstrahlung der in einer Probe enthaltenen chemischen
Elemente an, wobei das Spektrum der die Probe verlassenden
Sekundärstrahlung Aufschluß über die einzelnen darin enthalte
nen Elemente gibt. Zur Analyse kann das Wellenlängenspektrum
oder auch das Energiespektrum der Röntgenfluoreszenzstrahlung
dienen.
Bei der wellenlängendispersiven Analyse spaltet ein Analysator
kristall das aus der Probe austretende sekundäre Strahlungs
bündel gemäß der Bragg'schen Reflektionsbedingung in ein Wellen
längenspektrum auf, wobei Strahlung unterschiedlicher Wellen
länge von einem winkelmäßig einstellbaren Detektor bei ent
sprechend unterschiedlichen Winkeln aufgefangen wird. Die
Intensität der in den einzelnen Winkelbereichen detektierten
Strahlung bildet ein Maß für den Anteil des betreffenden Ele
mentes in der Probe. Bei der energiedispersiven Analyse wird
die unterschiedliche Energie der Strahlungsquanten von einem
Haltleiterdetektor, beispielsweise einem lithiumdotierten
Siliziumkristall, in elektrische Impulse verschiedener Span
nungshöhe umgewandelt und mit einem Vielkanal-Impulsanalysator
registriert. Die Anzahl der in den einzelnen Kanälen aufgefan
genen Impulse ist ein Maß für den Anteil des entsprechenden
Elementes in der Probe.
Bei den für die Röntgenfluoreszenzanalyse verwendeten Röntgen
spektrometern, die, gemessen an chemischen Analysenmethoden,
schon ein in Größenordnungen schnelleres Ergebnis liefern, be
steht trotzdem noch das Bedürfnis nach kürzeren Analysenzeiten,
beispielsweise um die Röntgenspektrometer direkt zur Steuerung
von Produktionsvorgängen einzusetzen. Selbstverständlich be
steht auch ein Bedürfnis, die Analysengenauigkeit weiter zu
erhöhen und die Nachweisempfindlichkeit für einzelne Elemente
zu erweitern. Diese gewünschten Eigenschaften sind abhängig
von einer höheren Intensität der auf die Probe geworfenen
Primärröntgenstrahlung. Darüber hinaus sind bessere Anregungs
bedingungen für bestimmte Elemente einer Probe durch entspre
chende Wahl des Anodenmaterials der Röntgenröhren zu erwarten.
Bisher wurde versucht, eine höhere Strahlungsleistung durch
Verbesserungen an der Röntgenröhre, wie höhere Anodenbelastung,
intensivere Kühlung, dünneres Strahlungsaustrittsfenster und
geringerer Anodenfensterabstand, zu erreichen. Der inzwischen
von der Röhrenentwicklung erreichte Stand der Technik läßt
jedoch zur Zeit keinen wesentlichen Fortschritt in dieser
Richtung erwarten.
Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, zu einer Erhöhung der
Leistung der auf eine Probe fallenden Primärröntgenstrahlung
und/oder zur Erweiterung des Wellenlängenbereiches dieser
Primärstrahlung zu kommen, unter Benutzung bereits vorhandener
Röntgenröhrentypen.
Eine Lösung der Aufgabe wird in einem Röntgenspektrometer ge
sehen, welches die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist.
Die Anordnung mehrerer Röntgenröhren gegenüber einer
Probenhalterung derart, daß die von ihnen erzeugte
Primärröntgenstrahlung gleichzeitig auf eine in einer
Halterung befindlichen Probe trifft, ist hier die Herstellung
von Röntgenaufnahmen für sich aus der DE-PS 8 44 031 bekannt.
Werden beim Patentgegenstand beispielsweise zwei Röhren gleichen Typs verwen
det, so läßt sich gegenüber bisherigen Spektrometern mit einer
Röhre maximal die doppelte Strahlungsintensität auf der Probe
erzielen.
Mit Vorteil können auch mehrere Röhren verschiedenen
Typs eingesetzt werden, insbesondere sind damit auch raum
mäßige Gegebenheiten schon vorhandener Spektrometerstruk
turen berücksichtigbar.
Unter Röhrentyp sollen Röhren mit Stirnfenstern, Seiten
fenstern und offene Röhren verstanden werden. Die offenen
Röhren machen dabei die Verwendung eines Vakuumspektro
meters zur Voraussetzung, das es gestattet, das Spektro
meter unter einem für die offene Röhre notwendigen Hoch
vakuum zu betreiben.
Die zusammenwirkenden Röntgenröhren können unter sich
gleiches Anodenmaterial aufweisen.
Mit Vorteil sind mehrere Röhren auch mit verschiedenem
Anodenmaterial vorzusehen. Mit dieser Lösung kann leicht
die Forderung zur Erweiterung des Wellenlängenbereiches
einer die Probe anregenden Primärstrahlung erfüllt werden.
Der verkleinerte Raumbedarf für neuere Mittelfrequenz-
Röntgengeneratoren macht es auch möglich, für jede der im
Spektrometer eingesetzten Röhren einen ihr zugeordneten
Generator vorzusehen.
Es kann auch eine Schaltung zweckmäßig sein, bei der jede
von mehreren Röhren einzeln an einen gemeinsamen Generator
anschaltbar ist. Dabei ist die Leistung der Primärstrah
lung, die auf die Probe fällt, nicht erhöht. Bei Ausfall
der jeweils angeschlossenen Röhre kann jedoch sofort eine
andere Röhre ohne Montage eingeschaltet werden. Außerdem
ist es möglich, mit Röhren verschiedenen Anodenmaterials
zu arbeiten.
Bei einer Kombination mehrerer Röhren mit einem einzigen
Generator und wechselweisem Betrieb kann für die Umschal
tung der Röhre auch eine besondere Schalteinrichtung, bei
spielsweise ein Ölschalter, vorgesehen sein. Durch diese
Schalteinrichtung wird das Umschalten von einer auf die
andere Röhre im Spektrometer in kürzester Zeit möglich.
Es ist jedoch auch möglich, mehrere Röntgenröhren
parallel aus einem einzigen, entsprechend ausgelegten
Generator mit Betriebsspannungen zu versorgen.
Wenn die mit dem einzigen Generator zusammenarbeiten
den Röhren nicht mit ihrer höchsten Leistung betrieben
werden, so ist auch eine höhere Verfügbarkeit zu erwar
ten, weil die Lebensdauer der Röhren wesentlich von ihrer
Belastung während des Betriebs abhängt.
Die mit den bisher beschriebenen Maßnahmen erreichten
Verbesserungen der Analysengenauigkeit über den gesamten
möglichen Elementenbereich sowie der Anregungsbedingungen
werden weiter dadurch gefördert, daß die Röhren für unter
schiedlich hohe Betriebsspannungen ausgelegt sind.
Zweckmäßig endet dabei der untere Betriebsspannungsbe
reich bei ungefähr 30 kV. Das Verhältnis zwischen unterem
und oberem Betriebsspannungsbereich bewegt sich etwa zwi
schen 1 : 2 und 1 : 3.
Als eine optimale Lösung wird die Lieferung unterschied
lich hoher Betriebsspannungen an Anzapfungen einer Span
nungsvervielfacherkaskade eines einzigen Generators ange
sehen. Es ist dabei an einen gleichzeitigen Betrieb der
Röhren ohne Umschaltung der Leistung der einzelnen Röhren
gedacht. Einlaufeffekte im Spektrometer entfallen hier
ebenso wie bei einem gleichzeitigen Betrieb mehrerer
Röhren an je einem Generator.
Zweckmäßig werden die Röhrenströme aller Röhren einzeln
geregelt. Diese Maßnahme wird sehr erleichtert, wenn die
Röhren mit ihren Kathoden an Massepotential liegen. Bei
Stirnfensterröhren ist diese Schaltungsart leicht zu
verwirklichen.
Als Röhre für die niederere Betriebsspannung wird vor
teilhafterweise eine räumlich in ihren Abmessungen klei
nere Röhre Verwendung finden. Die Röhre mit der niedri
geren Betriebsspannung kann zur Anregung der leichten
Elemente einer Probe und die mit der höheren Betriebs
spannung zur Anregung der schweren Elemente einer Probe
dienen.
Eine Verwendung der vorgeschlagenen Anordnungen ist so
wohl bei Sequenz-Röntgenspektrometern, bei denen das
Spektrum der von einer Probe ausgehenden Sekundärstrah
lung zeitlich nacheinander abgetastet wird, als auch bei
einem Mehrkanal-Röntgenspektrometer, bei dem das Spektrum
der Sekundärstrahlung gleichzeitig erfaßt wird, möglich.
Das Mehrkanal-Röntgenspektrometer kann vom wellenlängen
dispersiven oder energiedispersiven Typ sein. Es sind je
doch auch Mischtypen denkbar, bei denen beispielsweise in
einem Mehrkanal-Röntgenspektrometer gleichzeitig ein Ka
nal mit variablem Einstellwinkel vorhanden ist.
Die Erfindung wird anhand einer Zeichnung mit vier Figuren
beschrieben.
Fig. 1 stellt dabei eine schematische Aufsicht auf ein
Spektrometer mit zwei verschiedenen Röhrentypen dar.
Fig. 2 ist eine teilweise geschnittene Aufsicht auf ein
Röntgenspektrometer, bei dem zwei Stirnfensterröhren ver
wendet sind.
In Fig. 3 ist eine Ansicht in Richtung des Schnittes
III-III der Fig. 2 dargestellt.
Fig. 4 zeigt die schematische Anordnung einer Stirnfen
sterröhre zusammen mit einer Seitenfensterröhre.
In Fig. 1 wird eine Probe 1 in der Grundfläche eines
Tetraeders 2 von einer Stirnfensterröhre 3 und einer Sei
tenfensterröhre 4 "beleuchtet". Von der Röhre 1 als Folge
der einfallenden Primärstrahlung ausgehende Sekundär
strahlung fällt in eine Strahlungseintrittsöffnung 5 eines
Spektrometers 6.
Einzelheiten des Spektrometers 6 sind in der Fig. 2 dar
gestellt. Mit der Fig. 1 übereinstimmende Bauteile sind
in Fig. 2 mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Im
Strahlenweg der von der Probe ausgehenden Sekundärstrah
lung folgt nach der Strahleneintrittsöffnung 5 des Spek
trometers 6 eine Anordnung von Soller-Spalten 7, die um
eine Achse 8 schwenkbar sind. Von den Soller-Spalten fällt
die Sekundärstrahlung auf einen Analysatorkristall 9, der
auf einem Kristallwechsler 10 angeordnet ist, der um eine
Achse 11 gedreht werden kann. Vom Analysatorkristall 9
abgebeugte Strahlung fällt in einen um einen Winkel 2 Φ
verstellbaren Detektor, der aus einem Durchflußzählrohr 12
und einem im Strahlengang dahintergeschalteten Szintilla
tionszähler 13 besteht. Bei der wellenlängendispersiven
Abtastung des Spektrums der von der Probe ausgehenden
Sekundärstrahlung wird der Analysatorkristall 9 um eine
in seiner Oberfläche und senkrecht zur Zeichnungsebene
verlaufende Achse um einen Winkel Φ geschwenkt. Elektri
sche Ausgangssignale des Durchflußzählrohrs 12 und des
Szintillationszählers 13 sind jeweils zwei Verstärkern 14
und 15 und Diskriminatoren 16 und 17 zugeführt. Die aus
den beiden letztgenannten Einheiten entnehmbaren Signale
können als Wellenlängenspektren aufgezeichnet werden. In
Fig. 2 geht die auf die Probe 1 fallende Primärstrahlung
von der Anode 18 einer Stirnfensterröhre 19 aus. Im Strah
lengang der Primärstrahlung liegt ein Primärstrahlenfilter
20, das um eine Achse 21 in den Strahlengang ein- und
ausschwenkbar ist. Vor der Strahleneintrittsöffnung 5 des
Spektrometers 6 liegt im Sekundärstrahlengang eine eben
falls verschiebliche Blende 22.
In der Fig. 3 ist eine Ansicht in Richtung III-III des
in Fig. 1 gezeichneten Schnittes zu sehen. Es ist zu er
kennen, daß neben der linken Stirnfensterröhre 19 eine
weitere Stirnfensterröhre 23 die Probe 1 bestrahlt. Die
Röhre 23 wird in der Fig. 2 durch die Röhre 19 verdeckt.
In Fig. 4 ist eine gegenüber Fig. 3 abgewandelte Kombi
nation der Stirnfensterröhre 19 mit einer Seitenfenster
röhre 24 dargestellt, die beide die Probe 1 gemeinsam
"beleuchten".
Claims (15)
1. Röntgenspektrometer mit einer Anordnung zur wellenlängen- oder energiedispersiven
Röntgenfluoreszenzanalyse von in einer Probenhalterung an
geordneten Proben, dadurch gekennzeich
net, daß mehrere Röntgenröhren (3, 4) gegenüber der Proben
halterung (1a) derart angeordnet sind, daß die von ihnen jeweils
erzeugte Primärröntgenstrahlung gleichzeitig oder abwechselnd
auf die in der Probenhalterung (1a) befindliche Probe (1)
trifft.
2. Röntgenspektrometer nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß mehrere Röhren (19, 23)
gleichen Typs verwendet sind.
3. Röntgenspektrometer nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß mehrere Röhren (19, 24)
verschiedenen Typs verwendet sind.
4. Röntgenspektrometer nach Anspruch 2 oder 3, da
durch gekennzeichnet, daß Röhren mit
gleichem Anodenmaterial verwendet sind.
5. Röntgenspektrometer nach Anspruch 2 oder 3, da
durch gekennzeichnet, daß Röhren mit
verschiedenem Anodenmaterial verwendet sind.
6. Röntgenspektrometer nach einem der vorausgehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die Betriebsspannungsversorgung jeder der Röhren aus
einem ihr zugeordneten Generator erfolgt.
7. Röntgenspektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß jede
Röhre einzeln an einen gemeinsamen Generator anschalt
bar ist.
8. Röntgenspektrometer nach Anspruch 7, dadurch
gekennzeichnet, daß für eine wechselweise
Anschaltung der Röhren an den gemeinsamen Generator eine
besondere Schalteinrichtung vorgesehen ist.
9. Röntgenspektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Betriebsspannungsversorgung der Röhren parallel aus einem
einzigen Generator erfolgt.
10. Röntgenspektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Röhren für unterschiedlich hohe Betriebsspannungen aus
gelegt sind.
11. Röntgenspektrometer nach Anspruch 10, dadurch
gekennzeichnet, daß der niedere Betriebs
spannungsbereich bis 30 kV reicht und die Verhältnisse
zwischen niederer und hoher Betriebsspannung zwischen
1 : 2 und 1 : 3 liegen.
12. Röntgenspektrometer nach Anspruch 10 oder 11, da
durch gekennzeichnet, daß die unter
schiedlich hohen Betriebsspannungen an Anzapfungen einer
Spannungsvervielfacherkaskade eines einzigen Generators
abgreifbar sind.
13. Röntgenspektrometer nach Anspruch 12, dadurch
gekennzeichnet, daß die Röhrenströme aller
Röhren einzeln geregelt sind.
14. Röntgenspektrometer nach Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß die Röhren mit ihren
Kathoden an Massepotential liegen.
15. Röntgenspektrometer nach Anspruch 14, dadurch
gekennzeichnet, daß die Röhren Stirnfenster
röhren sind.
Priority Applications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19737569A1 (de) * | 1997-08-28 | 1998-02-26 | Olaf Sommer Inst Fuer Festkoer | Verfahren zur zerstörungsfreien Ermittlung der Tiefenverteilung von Partikeln in einer Matrix |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL9000203A (nl) * | 1990-01-29 | 1991-08-16 | Philips Nv | Eindvenster roentgenbuis. |
EP0554935A1 (de) * | 1992-02-03 | 1993-08-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Kombiniertes Röntgenspektrometer |
DE9212265U1 (de) * | 1992-09-11 | 1993-03-04 | Siemens AG, 8000 München | Röntgenspektrometer |
EP0623817B1 (de) * | 1993-04-23 | 1999-01-13 | Shimadzu Corporation | Ortsaufgelöste Analyse einer Probe mittels eines Röntgenfluoreszenzspektrometers |
GB9519771D0 (en) * | 1995-09-28 | 1995-11-29 | Oxford Analytical Instr Ltd | X-ray fluorescence inspection apparatus and method |
DE19536917C2 (de) * | 1995-10-04 | 1999-07-22 | Geesthacht Gkss Forschung | Röntgenstrahlungsquelle |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE844031C (de) * | 1944-08-01 | 1952-07-14 | Koch & Sterzel Ag | Roentgeneinrichtung mit zwei gegensinnig parallel an den Hochspannungstransformator angeschlossenen Roentgenroehren |
US3114832A (en) * | 1960-07-28 | 1963-12-17 | Radiation Counter Lab Inc | X-ray spectroscopic system comprising plural sources, filters, fluorescent radiators, and comparative detectors |
US3418467A (en) * | 1965-02-17 | 1968-12-24 | Philips Corp | Method of generating an x-ray beam composed of a plurality of wavelengths |
DE7310929U (de) * | 1973-03-23 | 1973-09-06 | Hoesch Werke Ag | Vorrichtung zur betrieblichen roentgenfluoreszenzanalyse |
US4125771A (en) * | 1977-11-18 | 1978-11-14 | Net Systems Inc. | Apparatus for determining stress in nickel and titanium alloyed materials |
-
1985
- 1985-07-08 DE DE19853524379 patent/DE3524379A1/de active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19737569A1 (de) * | 1997-08-28 | 1998-02-26 | Olaf Sommer Inst Fuer Festkoer | Verfahren zur zerstörungsfreien Ermittlung der Tiefenverteilung von Partikeln in einer Matrix |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3524379A1 (de) | 1986-02-20 |
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