DE3500314C2 - - Google Patents

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Description

Die Erfindung betrifft ein Lichtaufzeichnungsmaterial, bei dem die Aufzeichnung und Wiedergabe mit Hilfe eines Lichtstrahls bewirkt werden kann, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Als Lichtaufzeichnungselemente oder Materialien für die optische Aufzeichnung auf Disketten, Karten, Bändern usw. sind bisher Seltenerd-Übergangsmetall-Legierungsfilme, Filme aus reduzierten Oxiden, etwa Chalcogenverbindun­ gen, die einen Phasenübergang zwischen amorphen und kri­ stallinen Zuständen ausnützen, Wärmeaufzeichnungsmateria­ lien, thermoplastische Aufzeichnungsmaterialien usw. be­ kannt geworden. Bei optisch-magnetischen Aufzeichnungsma­ terialien aus Seltenerd-Übergangsmaterialien sind insbeso­ dere polykristalline Filme aus MnNi und MnCuBi, amorphe Filme aus GdCe, GdFe, TbFe, DyFe, GdTbFe, TdDyFe, GdFeCo, TbFeCo und GdTbCo und Einzelkristall-Filme aus GdIG be­ kannt geworden.
Unter diesen Lichtaufzeichnungsmaterialien in Form von Filmen wurden die vorstehend erwähnten amorphen Filme in neuerer Zeit im Hinblick auf die nachfolgenden Eigen­ schaften als ausgezeichnet anerkannt: ausgezeichnete Filmformbarkeit zur Herstellung von großflächigen Filmen bei Raumtemperatur, ausgezeichnete Schreibleistung zum Aufschreiben von Signalen bei geringer Lichtwärmeenergie und ausgezeichnete Ausleseleistung zum Auslesen von ge­ schriebenen Signalen bei einem guten Signal/Rausch-Ver­ hältnis. Insbesondere wurde GdTbFe als optimales Licht­ wärmeaufzeichnungsmaterial angesehen, da es einen großen Kerr-Rotationswinkel und einen Curiepunkt von etwa 150°C aufweist.
Jedoch hat das Lichtaufzeichnungsmaterial im allgemeinen den Nachteil, daß es eine geringe Korrosionsbeständig­ keit besitzt. Wenn daher ein Lichtaufzeichnungsmaterial der Atmosphäre oder Feuchtigkeit ausgesetzt wird, wird allmählich die Aufzeichnungsleistung herabgesetzt, bis es vollständig oxidiert ist, wobei seine Eigenschaften als Aufzeichnungsmaterial verloren gehen. Insbesondere haben amorphe magnetische Materialien, etwa GdTbFe eine geringe Korrosionsbeständigkeit.
Zur Vermeidung dieses Nachteils wurde vorgeschlagen, eine Schutzabdeckung, etwa eine Schutzschicht aus bei­ spielsweise SiO₂ oder SiO und ein in einem Inergas versiegeltes Aufzeichnungsmaterial in Diskettenform vor­ zusehen.
Es wurde jedoch befunden, daß der Schutzeffekt eines Oxidfilmes, etwa ein Film aus SiO, SiO₂ oder Al₂O₃ nicht ausreichend ist, wenn das Lichtaufzeichnungsmaterial so dünn wie einige 10 nm oder dünner ist. Es wird angenom­ men, daß bei Verwendung eines Oxidfilms, der in dem Oxid selbst vorhandene Sauerstoff mit dem Lichtaufzeichnungs­ material verbunden wird, daß ferner der Film aus einem Oxid porös ist und daß Moleküle, beispielsweise Wasser­ dampf leicht eindringen können.
Andererseits ist ein Film aus einem Nitrid, beispiels­ weise aus AlN oder Si₃N₄ als Schutzschicht verwendet worden. Ein solcher Nitridfilm hat jedoch im Vergleich zu einem Oxidfilm ein geringeres Haftvermögen an einem Kunststoffsubstrat und es zeigt den Nachteil, daß es einen zu hohen Brechungsindex besitzt.
Die EP-A2-0 045 183 beschreibt ein Lichtaufzeichnungsmaterial, welches schichtartig aufgebaut ist mit einem Träger, einer metallischen Aufzeichnungsschicht, einer oder zwei Stabilisierungsschicht(en) und einer Oberflächenschicht, die eine Mischung einer Metallverbindung und eines Metalls enthält. Eine erste Stabilisierungsschicht zwischen Träger und Aufzeichnungsschicht besteht aus einem Metalloxid, während eine zweite Stabilisierungsschicht zwischen Aufzeichnungsschicht und Oberflächenschicht ausgebildet sein kann. Die gegebenenfalls vorhandene zweite Stabilisierungsschicht besteht aus einer metallischen Verbindung, wobei Oxide, Nitride und Fluoride spezieller Metalle bevorzugt werden.
Es hat sich gezeigt, daß auch ein solches Aufzeichnungsmaterial weiterhin Nachteile wie eine geringe Haftung der Schutz- bzw. Stabilisierungsschichten auf einem Träger, insbesondere einem Kunststoffträger, keine ausreichende Schutzwirkung und mangelhafte Beständigkeit gegenüber mikroskopischen Defekten und Beanspruchungen aufweist.
Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Bereitstellung eines Lichtaufzeichnungsmaterials mit verbesserter Kor­ rosionsbeständigkeit und Haltbarkeit als auch ausgezeich­ neter Schreib- und Ausleseleistung.
Die Aufgabe wird durch ein Lichtaufzeichnungsmaterial nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 dadurch gelöst, daß eine im Lichtaufzeichnungsmaterial enthaltende filmartige Schicht eine Mischung aus Siliciumnitrid und Siliciumoxid oder eine Mischung aus Aluminiumnitrid und Aluminiumoxid im Gewichtsverhältnis des Nitrides zu dem Oxid zwischen 9 : 1 und 1 : 9 umfaßt.
Der erfindungsgemäß vorgesehene Film aus einem Siliciumnitrid-Siliciumoxid-Gemisch oder Aluminiumnitrid-Aluminiumoxid-Gemisch hat im Vergleich zu einem Film aus einem Oxid alleine eine überlegene Korrosionsbeständigkeit und Halt­ barkeit und hat eine ausgezeichnete Haftung an einem Kunststoffsubstrat. Ferner kann der Brechungsindex des Filmes aus einer Siliciumnitrid-Siliciumoxid-Mischung oder Aluminiumnitrid- Aluminiumoxid-Mischung in einfacher Weise variiert und durch Änderung des Mischungsverhältnisses zwischen dem Nitrid und dem Oxid zwischen 9 : 1 bis 1 : 9 eingestellt werden, daß die Schreib- und Ausleseleistung verbessert wer­ den.
Die Erfindung wird unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert. In der folgenden Beschreibung beziehen sich die Ausdrücke "Teile" und "Prozent" der Zusammensetzungen auf das Gewicht, wenn nichts anderes angegeben ist.
Die einzige Figur zeigt einen Querschnitt einer Ausfüh­ rungsform des erfindungsgemäßen Lichtaufzeichnungsmate­ rials.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsge­ mäßen Lichtaufzeichnungsmaterials ist ein Schichtaufbau eines magnetischen Aufzeichnungsmaterials für die op­ tische Aufzeichnung und Wiedergabe in der Zeichnung ge­ zeigt. In der Zeichnung sind auf einem Kunststoffsubstrat oder einer Grundplatte 1 der Schreibseite nacheinander ein Gemischfilm 2, eine magnetische Aufzeichnungs­ schicht 3, eine Abstandhalteschicht 4, eine Reflektions­ schicht 5 und eine Klebeschicht 6 ausgebildet. Das resul­ tierende Laminat ist ferner durch die Klebeschicht 6 mit einem äußeren Kunststoffsubstrat oder einer äußeren Grundplatte 1b verbunden, wodurch ein magnetisches Auf­ zeichnungsmaterial erhalten wird.
Das Kunststoffsubstrat 1 kann vorzugsweise eine transpa­ rente Kunststoffsubstratscheibe mit einer Dicke von etwa 1 mm sein, die beispielsweise aus Acrylharz besteht.
Der Gemischfilm oder die Schicht 2 umfaßt erfindungsgemäß eine Mischung aus Siliciumnitrid und Siliciumoxid oder eine Mischung aus Aluminiumnitrid und Aluminiumoxid im Gewichtsverhältnis des Nitrides zu dem Oxid zwischen 9 : 1 bis 1 : 9.
Bevorzugte Nitrid-Oxid-Gemische für die Schicht 2 sind Mischungen von AlN und Al₂O₃, Si₃N₄ und SiO sowie Si₃N₄ und SiO₂.
Die Herstellung dieser Gemischfilme kann im allgemeinen durch ein übliches Verfahren erfolgen, jedoch wird bevor­ zugt, daß reaktive Dampfabscheidungsverfahren bzw. Auf­ dampfverfahren oder das reaktive Zerstäubungsverfahren unter Verwendung von Al, Si, AlN, Si₃N₄ usw. als Ver­ dampfungsquelle durchgeführt werden. Wenn diese Verfahren zur Bildung des Gemischfilmes angewandt werden, kann das Mischungsverhältnis zwischen dem Oxid und dem Nitrid in Abhängigkeit von dem Verhältnis der Strömungsgeschwindig­ keiten des die Verfahrensatmosphäre bildenden O₂ und N₂ in einfacher Weise variiert werden, so daß das erfindungs­ gemäße Gewichtsverhältnis des Nitrides zu dem Oxid im Gemischfilm gebildet wird. Demgemäß kann für ein Mischungssystem aus Si₃N₄-SiO₂ ein gewünschter Brechungsindex des Gemischfil­ mes erhalten werden, der im Bereich von 1,505 (Brechungs­ index eines Gemischfilms Si₃N₄-SiO₂ im Gewichtverhältnis 1 : 9) bis 1,945 (Brechungsindex eines Gemischfilms Si₃N₄-SiO₂ im Gewichtsverhältnis 9 : 1) liegt. Für den Gemischfilm aus AlN-Al₂O₃ kann der gewünschte Brechungsindex des Gemisch­ filmes im Bereich von 1,67 (Brechungsindex eines Gemischfilms AlN-Al₂O₃ im Gewichtsverhältnis 1 : 9) bis 2,23 (Brechungsindex eines Gemischfilmes AlN-Al₂O₃ im Gewichtsverhältnis 9 : 1) erhalten werden.
Die Dicke des Gemischfilmes 2 liegt zweckmäßigerweise in der Größenordnung von 50 bis 300 nm. Das Verhältnis des Siliciumnitrides zum -oxid oder des Aluminiumnitrides zum -oxid in dem Gemisch­ film liegt bei einem gewünschten Wert innerhalb des Bereiches von 9 : 1 bis 1 : 9, vorzugsweise im Bereich von 7 : 3 bis 3 : 7. Ferner ist es möglich, die Zusammensetzung in Richtung der Dicke und damit den Brechungsindex zu variieren.
Als magnetische Aufzeichnungsschicht 3 wird im allge­ meinen ein amorpher Film aus einem ternären Gemisch von GdTbFe oder ein amorpher Film aus einem quarternären Gemisch von GdTbFeCo mit einer Dicke im Bereich von etwa 20 nm verwendet.
Als Abstandhalteschicht 4 wird ein Film aus SiO₂ oder SiO oder ein Gemischfilm entsprechend der Schicht 2 vorzugsweise mit einer Dicke im Bereich von 50 bis 300 nm verwendet.
Die Klebeschicht 6 kann beispielsweise durch einen Sili­ conklebstoff mit einer Dicke in der Größenord­ nung von 10 µm gebildet werden.
Das äußere Kunststoffsubstrat 1b kann vorzugsweise eine Acrylharzplatte wie das Kunststoffsubstrat 1 sein.
Wie vorstehend beschrieben enthält das Lichtaufzeich­ nungsmaterial eine Siliciumnitrid/Siliciumoxid- oder Aluminiumnitrid/Aluminiumoxid-Gemischschicht auf einer Seite und beiden Seiten einer Lichtaufzeichnungs­ schicht. Auf Grund der erfindungsgemäßen Gemischschicht wird die Haltbar­ keit der Aufzeichnungsschicht verbessert, insbe­ sondere wenn das Substrat eine Kunststoffplatte, etwa aus einem Arcylharz ist. Ferner wird das Lichtaufzeich­ nungsmaterial im Hinblick auf die Schreib- und Auslese­ leistung verbessert, indem das Mischungsverhält­ nis des Nitrides und des Oxides von Silicium oder Aluminium und damit der Bre­ chungsindex der Gemischschicht im Gewichtsverhältnis-Bereich zwischen 9 : 1 und 1 : 9 eingestellt wird.
Die Erfindung wird ferner unter Bezugnahme auf die fol­ genden Beispiele erläutert.
Beispiel 1
Ein magnetisches Aufzeichnungsmaterial für optische Zwecke wurde hergestellt, das im wesentlichen den in der Zeichnung gezeigten Schichtaufbau aufwies.
Auf ein 1 mm starkes Kunststoffsubstrat der Schreibseite wurde als Grundierschicht eine Gemischschicht 2, be­ stehend aus Si₃N₄ und SiO₂ in einem Gewichtsanteil von 6 : 4 und mit einem Brechungsindex von etwa 1,7 und mit einer Dicke von 100 nm durch das reaktive Aufdampfverfah­ ren unter Verwendung eines Si-Targets unter verminderten Druck in einer Gasmischung aus N₂, O₂ und Ar in einem Volumenverhältnis von 2 : 1 : 7 hergestellt. Auf der Gemisch­ schicht 2 wurde eine magnetische Aufzeichnungsschicht 3 aus einem 20 nm dicken amorphen Film aus quarternärem GdTbFeCo, der Gd, Tb, Fe und Co in einem Atomverhältnis von 1 : 1 : 6 : 2 durch das Zerstäubungsverfahren und ferner einer Reflektionsschicht 5 aus einem 100 nm dicken Al-Film aufgebracht, auf welcher eine 1 mm dicke Außen­ platte 1b aus Acrylharz unter Vermittlung einer 10 µm dicken Schicht eines Siliconklebstoffs aufgebracht wurde.
In dem so erhaltenen Aufzeichnungsmaterial war die Haf­ tung zwischen dem Substrat und dem Gemischfilm fest und nach einem 200stündigen Feuchtigkeitsbeständigkeitstest (Bedingungen: 45°C und 90% relative Feuchtigkeit) wurde weder Korrosion, Rißbildung noch eine Änderung im Aus­ sehen der Magnetschicht oder der Gemischschicht beobach­ tet. Ferner war die Beeinträchtigung der Magneteigen­ schaft der Magnetschicht gering, wie durch das Verhält­ nis zwischen den Koerzitivkräften vor und nach dem obi­ gen Feuchtigkeitsbeständigkeitstest mit einem Wert von 0,9 belegt ist. Somit wurde eine verbesserte Haltbarkeit erreicht. Im Vergleich mit einem Kontrollaufzeichnungs­ material, bei dem ein Film aus SiO₂ mit einem Brechungs­ index von 1,45 an Stelle des Gemischfilmes gebildet wurde, zeigte ferner das vorstehend erhaltene Aufzeichnungs­ material eine verbesserte Schreibleistung infolge der Herabsetzung des Reflektionsvermögens von 35 auf 25%, wie durch ein Testgerät zur Bestimmung des Spektralre­ flektionsvermögens gemessen wurde, sowie eine verbesserte Ausleseleistung infolge der Erhöhung des Kerr-Rota­ tionswinkels.
Beispiel 2
Ein Lichtaufzeichnungsmaterial wurde im wesentlichen in gleicher Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß ein 100 nm dicker Gemischfilm aus AlN und Al₂N₃ in Gewichts­ anteilen von 6 : 4 und mit einem Brechungsindex von etwa 1,8 an Stelle des Gemischfilmes aus Si₃N₄-SiO₂ durch das reaktive Zerstäubungsverfahren unter verminderten Druck in einem Gasgemisch aus N₂, O₂ und Ar in Volumenanteilen von 2,5 : 0,5 : 7,0 gebildet wurde. Es wurde gefunden, daß das so erhaltene magnetische Lichtaufzeichnungsmaterial eine verbesserte Haltbarkeit sowie Schreib- und Auslese­ leistung ähnlich wie das Aufzeichnungsmaterial von Bei­ spiel 1 aufwies.

Claims (3)

1. Lichtaufzeichnungsmaterial mit einem Substrat (1) und einer auf dem Substrat abgeschiedenen Aufzeichnungsschicht (3) für die optische Aufzeichnung und einer einseitig oder beid­ seitig auf der Aufzeichnungsschicht angeordneten filmartigen Schicht (2), die wenigstens eine Verbindung, ausgewählt von Oxiden und Nitriden enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die filmartige Schicht eine Mischung aus Siliciumnitrid und Sili­ ciumoxid oder eine Mischung aus Aluminiumnitrid und Aluminium­ oxid im Gewichtsverhältnis des Nitrides zu dem Oxid zwischen 9 : 1 bis 1 : 9 umfaßt.
2. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Gemischfilm eine Dicke von 50 bis 300 nm hat.
3. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Gemischfilm eine Mischung von Si₃N₄ und SiO₂, eine Mischung von Si₃N₄ und SiO oder eine Mischung von AlN und Al₂O₃ enthält.
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Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2551403B2 (ja) * 1984-07-09 1996-11-06 京セラ株式会社 光磁気記録素子
JPH07111775B2 (ja) * 1984-11-30 1995-11-29 株式会社東芝 磁気記録媒体
US4801499A (en) * 1985-01-24 1989-01-31 Seiko Epson Corporation Optical recording medium
DE3686530T2 (de) * 1985-06-18 1993-04-08 Daicel Chem Aufzeichnungstraeger, versehen mit hochdichter information.
DE3677078D1 (de) * 1985-07-10 1991-02-28 Mitsubishi Chem Ind Magnetooptischer traeger.
JPS62192043A (ja) * 1986-02-18 1987-08-22 Seiko Epson Corp 光記録媒体
JPS62192944A (ja) * 1986-02-19 1987-08-24 Seiko Epson Corp 光記録媒体
EP0239390A3 (de) * 1986-03-27 1989-04-26 Canon Kabushiki Kaisha Optisch-magnetisches Aufzeichnungsmedium
JPS639050A (ja) * 1986-06-28 1988-01-14 Pioneer Electronic Corp 光磁気記録媒体
US4849304A (en) * 1986-12-17 1989-07-18 Tdk Corporation Optical recording medium
US4902584A (en) * 1986-12-25 1990-02-20 Tdk Corporation Optical recording medium
JP2527762B2 (ja) * 1987-09-07 1996-08-28 三菱化学株式会社 光磁気記録媒体
JP2559432B2 (ja) * 1987-11-18 1996-12-04 株式会社日立製作所 光磁気デイスク
DE3802998A1 (de) * 1988-02-02 1989-08-10 Basf Ag Verfahren zur herstellung einer duennen roentgenamorphen aluminiumnitrid- oder aluminiumsiliciumnitridschicht auf einer oberflaeche
DE3803000A1 (de) * 1988-02-02 1989-08-10 Basf Ag Flaechenfoermiges, mehrschichtiges magneto-optisches aufzeichnungsmaterial
US5192626A (en) * 1988-12-14 1993-03-09 Teijin Limited Optical recording medium
JP2880180B2 (ja) * 1989-03-28 1999-04-05 キヤノン株式会社 記憶媒体
DE3918582A1 (de) * 1989-06-07 1990-12-13 Basf Ag Duenne unorientiert mikrokristalline aluminiumnitridschicht auf einer oberflaeche und verfahren zu ihrer herstellung
DE69025395T2 (de) * 1990-03-26 1996-09-19 Ibm Datenträger
CA2038785C (en) * 1990-03-27 1998-09-29 Atsushi Oyamatsu Magneto-optical recording medium
US5228024A (en) * 1990-05-28 1993-07-13 Goldstar Co., Ltd. Magneto-optical disk possessing enhanced anti-reflective and anti-oxidative properties
DE4223850A1 (de) * 1991-07-23 1993-01-28 Mitsubishi Chem Ind Magnetooptisches aufzeichnungsmedium
JPH07182709A (ja) * 1993-11-15 1995-07-21 Minnesota Mining & Mfg Co <3M> 光磁気記録媒体
JPH08249725A (ja) * 1995-03-08 1996-09-27 Ricoh Co Ltd 光情報記録媒体及びその製造に用いられる耐熱性保護層用材料
EP0770266B1 (de) * 1995-05-12 2000-08-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Herstellungsverfahren einer halbleiteranordnung geeignet zur oberflächenmontage
JP4940597B2 (ja) * 2005-08-24 2012-05-30 パナソニック株式会社 ジョイスティック装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0045183B1 (de) * 1980-07-25 1984-12-05 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha Aufzeichnungsmaterial
US4461807A (en) * 1980-07-25 1984-07-24 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha Recording material
DE3176118D1 (en) * 1980-10-09 1987-05-21 Toshiba Kk Data recording medium
CA1185013A (en) * 1981-01-14 1985-04-02 Kenji Ohta Magneto-optic memory medium
JPS58105441A (ja) * 1981-12-16 1983-06-23 Fuji Photo Film Co Ltd 光情報記録媒体及び光情報記録・読み取り方法
JPS58212623A (ja) * 1982-06-04 1983-12-10 Hitachi Condenser Co Ltd 磁気記録媒体の製造方法
NL8301072A (nl) * 1983-03-28 1984-10-16 Philips Nv Optische registratieschijf.

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