DE3500236A1

DE3500236A1 - Vorrichtung zum abscheiden von teilchen aus einer loesung

Info

Publication number: DE3500236A1
Application number: DE19853500236
Authority: DE
Inventors: Walter J. Port Matilda Pa. Striedieck
Original assignee: Chemcut Corp
Current assignee: Chemcut Corp
Priority date: 1984-01-13
Filing date: 1985-01-05
Publication date: 1985-07-18
Also published as: FR2558078A1; JPS60153907A; IT8448774A0; FR2558078B1; GB2152398A; GB8418590D0; GB2152398B; IT1177979B; IT8448774A1

Description

3500235

ο
Vorrichtung zum Abscheiden von Teilchen aus einer Lösung

Die Erfindung stammt aus der elektronischen Industrie, speziell aus der Industrie, die zur Herstellung gedruckter Schaltungsplatten, gedruckter Schaltungsfilme und zur Behandlung ähnlicher Gegenstände errichtet wurde. In dieser Industrie und verwandten Bereichen, wie in der Elektroplattierungsindustrie, ist es üblich, wenn ein Gegenstand an bestimmten Stellen behandelt und an den übrigen Stellen nicht behandelt werden soll, wie beim Ätzen, Plattieren oder dergleichen, an den Stellen, die nicht behandelt werden sollen, eine Abdeckung in Form einer Materialschicht vorzusehen, um diese später wieder zu entfernen. Charakteristisch für die Behandlung durch Plattieren oder Ätzen ist es, daß die Schicht die Form einer Maske hat, die auf die gedruckte Schaltungsplatte oder andere Gegenstände aufgebracht wird und die verhindert, daß die Behandlungsflüssigkeit eine chemische Wirkung, wie Ätzen oder Plattieren, an den Stellen der Gegenstände ausübt, die von der Maske bedeckt sind, weil die Maske im allgemeinen nur an solchen Stellen der Gegenstände aufgebracht wird, die nicht behandelt werden sollen. Nachdem das Ätzen, Plattieren oder dergleichen fertig ist, wird die Maske durch Aufbringen einer Lösung chemisch behandelt, wodurch sie von dem Gegenstand entfernt wird. Charakteristisch für solch eine Lösung ist eine Säure oder eine Lauge, die die Maske auflöst und von dem Gegenstand trennt, häufig während seines Transportes durch eine Kammer, in der die Lösung versprüht wird.

In der Vergangenheit hatten viele solcher chemischen Lösungen zum Entfernen der Masken, Schichten oder dergleichen eine chemische Struktur zum Auflösen der Maske in der Lösung. In diesem Fall konnte das Material der Maske von der Lösung aufgenommen werden, bis diese eine nicht mehr aufnahmefähige Konzentration erreicht hatte, wobei die

Lösung entweder ausrangiert oder einem Rückgewinnungsverfahren zugeführt werden konnte. In der Vergangenheit waren viele solcher Masken vom wasserlöslichen Typ, die geeignet waren, zusammen mit der Lösung als Abwasser ausrangiert zu werden.

Wachsendes Umweltbewußtsein hat zur Entwicklung anderer Masken oder Schichten geführt, einschließlich einiger, die nicht wasserlöslich sind, wie Polymere oder dergleichen, einschließlich Masken, die ebenfalls in den Lösungen nicht löslich sind, die verwendet werden, um die Masken von den sie tragenden Gegenständen, wie gedruckte Schaltungsplatten oder dergleichen, zu entfernen. Während die Chemikalien, die zum Entfernen der Polymere oder anderer Masken von den Platten oder anderen Gegenständen verwendet werden, fähig sind, die Masken schnell von den Gegenständen zu entfernen, hinterlassen sie das entfernte Material häufig in einem Zustand, der von einer gelatineartigen Beschaffenheit bis zu Teilchen reicht, wie relativ schlaffe Flocken oder dünne Schichten, die in der Lösung auf unbestimmte Zeit zurückbleiben, ohne aufgelöst zu werden.

Mit aer wachsenden Entwicklung der elektronischen Industrie ist die zunehmende Forderung nach der Entwicklung von Vorrichtungen zur Behandlung von Gegenständen verbunden, die für sehr schnelle automatische Verfahren geeignet sind, insbesondere für gedruckte Schaltungsplatten oder dergleichen. Das fördert notwendig das Verlangen nach hohen Bearbeitungsgeschwindigkeiten für die Bearbeitung von dünnen Schichten und Teilen, die von dem Entfernen der Ätz- und Plattierrückstände oder der Masken von den Platten herrühren. Daraus ergibt sich notwendig die Forderung nach höheren Bearbeitungsgeschwindigkeiten bezüglich der Beseitigung von angesammelten Rückständen aus den Lör>ungen, die zum Entfernen der Masken von den Gegenständen verwendet worden sind.

In der Vergangenheit war in den meisten Filtrierzuständen die Filtriermasse durchlässig, was den Filter befähigte, den Filtriervorgang fortzusetzen, bis die angesammelte Filtriermasse den Flüssigkeitsdurchlaß bis zu einem unwirksamen Pegel herabgesetzt hatte. Aus der US-PS

3 776 800 ist beispielsweise ein auswechselbarer Filter bekannt, wie er zum Entfernen von Teilchen aus einer Ätzflüssigkeit verwendet wird. Ferner ist aus der US-PS

4 015 706 die Beseitigung von Rückständen und anderer Masken von behandelten. Gegenständen bekannt, sowie einige der Behandlungsfunktionen, auf die die gegenwärtige Erfindung gerichtet ist.

Im Fall einiger Masken oder Rückstände, insbesondere wenn es Polymere sind, macht die Gegenwart der dünnen Schichten, Flocken usw., die die Polymere oder andere Masken enthalten, wegen ihrer Fähigkeit, an dem Sieb oder Filter zu haften, diese durch Abdichten oder Verschmutzen unbrauchbar.
20

Es ist bekannt, zum Abscheiden von Teilchen aus einer Flüssigkeit gewisse Formen von selbstreinigenden Sieben oder Filtern einzusetzen, wie durch Rütteln der Siebe oder Filter die Teilchen von diesen zu entfernen, durch Rück-Stromtechniken oder durch unterbrechende Arbeitsweise zu erlauben, angehäufte Teilchen zu entfernen.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Behandlung verschiedener Gegenstände, einschließlich gedruckter Schaltungsplatten, zum Entfernen einer Maske, eines Schutzlackes oder anderer Schichten von diesen und zum erleichterten Regenerieren der Lösung, die die Beseitigung auf chemischem Wege bewirkt. Dafür ist eine ein oder mehrere Siebfilter einschließende Abscheidvorrichtung vorgesehen, um eine im wesentlichen teilchenfreie Lösung durch das Filter oder Sieb strömen zu lassen, während gleichzeitig das Sieb gespült wird, um eine Ansammlung von

Teilchen, Flocken usw. in den Poren des Siebes oder Filters zu verhindern und um anschließend die von dem Sieb oder Filter weggespülten Teilchen vorzugsweise derart zu sammeln, daß eine anschließende periodische Filterung ermöglicht wird, wobei die Teilchen aus einem kleinen Teil der angesammelten Behandlungslösung ausreichend herausgefiltert werden können, so daß die Lösung für eine Wiederverwendung angepaßt ist, während der größte Teil der Behandlungslösung im wesentlichen sorort für eine V/ieder-Verwendung bereit ist.

Die vorliegende Erfindung ist auf eine Vorrichtung zum chemischen Entfernen von Feststoffteilchen aus einer Behandlungsflüssigkeit gerichtet, wobei die festen Stoffe von Gegenständen herrühren, die mit der chemischen Behandlungsflüssigkeit behandelt werden. Das Entfernen wird durch eine Trenntechnik erreicht, die eine Filterung der Behandlungsflüssigkeit durch angewinkelt angeordnete Filterplatten oder Siebe verwendet, die es erlaubt, daß eine sinkende Lösung hindurchgeht, während Teilchen abgeschieden und dann von dem Sieb abgespült und gesammelt werden, vorzugsweise zur nachfolgenden Filterung aus der Spülflüssigkeit, die ebenfalls vorzugsweise die Behandlungsflüssigkeit ist.

Folglich ist der erste Gegenstand der Erfindung eine neue Vorrichtung zum chemischen Entfernen von festen Stoffen von behandelten Gegenständen.

3in anderer Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung, in der eine Abscheidung für Teilchen, Trümmer, Flocken usw. vorgesehen ist, die in der Behandlungsflüssigkeit als Ergebnis der Entfernung fester Stoffe von den Gr-i-iennt-'inrion vorhanden nixv).

Sin weiterer Gegenstand der Erfindung ist eine Erqänzutw zu dem obigen Gegenstand, bei dem eine ungewöhnliche

BAD ORIGINAL

Abscheidvorrichtung den Durchfluß der Behandlungsflüssigkeit durch ein Filtermedium erlaubt und bei dem die ßingangsflache des Filtermediums- zum Sammeln der darauf befindlichen Teilchen gespült wird.
5

Bei einem anderen Gegenstand der Erfindung zur Ergänzung des obigen Gegenstandes wird das Sammeln von Teilchen periodisch ausgelöst, mit Möglichkeiten für eine anschließende weitere Trennung der Behandlungsflüssigkeit von aan Teilchen zur Wiederverwendung dieser Flüssigkeit.

Sin v/eiterer Gegenstand der Erfindung zur Ergänzung des obigen Gegenstandes ist eine Vorrichtung, die insbesondere an die Behandlung von gedruckten Schaltungsplatten, Filmen und dergleichen angepaßt ist, nämlich das Entfernen von Masken, Schutzlacken, Schichten und dergleichen, durch eine chemische Lösung, wie eine Lackentfernerlösung, die auf die Gegenstände gesprüht wird, während diese ihrem Förderweg entlang bewegt v/erden.

Bei einem weiteren Gegenstand der Erfindung zur Ergänzung des obigen Gegenstandes werden ein oder mehrere Siebe zusammen mit einem Siebspülkanal zum Sammeln von Abfall und zum nachfolgende Entfernen des Abfalls aus der Sammelzone verwendet.

Ein anderer Gegenstand ist es, die Teilchen für eine bessere Handhabung zu konzentrieren.

Andere Gegenstände und Vorteile der vorliegenden Erfindung v/erden dem Durchschnittsfachmann leicht durch Lesen der folgenden Beschreibung der Zeichnungsfiguren, der ausführlichen Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele und der beigefügten Ansprüche offenbart. Es zeigen

Fig. 1 eine Seitenansicht einer Vorrichtung zum Entfernen von Schutzlack gemäß der Erfindung mit Blick in

Richtung der Bewegung der Gegenstände, wobei die meisten der Leitungen für die Handhabung der Lösung dargestellt sind,

Fig. 2 einen gebrochenen horizontalen Schnitt durch die Vorrichtung gemäß der Erfindung entlang der Linie II-II der Fig. 1, in welchem verschiedene Merkmale bezüglich der Abscheidung deutlicher gezeigt sind,

Fig. 3 einen gebrochenen senkrechten Schnitt durch die Vorrichtung gemäß der Erfindung entlang dar Linie III-III der Fig. 1,

Fig. 4 einen gebrochenen senkrechten Schnitt durch die Vorrichtung gemäß der Erfindung entlang der Linie IV-IV der Fig. 2, in welchem die Merkmale bezüglich der Siebspülung und des Rückflusses deutlicher gezeigt sind,

Fig. 5 eine gebrochene Seitenansicht auf die Vorrichtung gemäß der Erfindung, entsprechend der Linie V-V der Fig. 2.

Bezüglich der Zeichnungen im einzelnen wird zuerst auf Fig. 1 verwiesen, in der die Vorrichtung zum Entfernen von Masken, Schutzlacken oder dergleichen von gedruckten Schaltungsplatten, gedruckten Schaltungsfilmen oder dergleichen, als Zusatz zu einer Ätzungs-, Plattierungs- oder anderen chemischen Behandlungsvorrichtung allgemein mit der Nummer 10 bezeichnet ist.

Die Vorrichtung 10 enthält eine Kammer 11, die einen Innenraum 12 mit einem oberen Teil 13 und einem unteren Teil 14 aufweist. Die Kammer 11 ist durch cinlaßsci ti<jG und auslaßseitige Stirnwände 15 und 16 begrenzt, denen entsprechend Einlaß- und Auslaßöffnungen 17 und 13 zugeordnet sind. Seitenwände 20 und 21 begrenzen die Seiten

der Kammer 11, ausgenommen, daß ein erweiterter Sammelbehälterteil an der entfernten Seite 22 der Vorrichtung 10 vorgesehen ist, der zum Teil durch eine horizontale Kammerwand 23 und eine vertikale Kammerwand 24 begrenzt ist. Der erweiterte Sammelbehälterteil ist mit der Nummer 25, neben dem Wandteil 23, bezeichnet. Die Kammer 11 ist mit einem Boden 26 und einem abnehmbaren Deckel 27 versehen.

Eine Fördereinrichtung. 28 in Form eines Fördergesteinges mit Rädern, ähnlich wie in US-PS 4 015 706 und US-PS 4 046 248 offenbart, wird verwendet, vorzugsweise auch ähnlich der in den genannten Patenten offenbarten Förderantriebstechnik angetrieben, auf deren Offenbarung hierin Bezug genommen wird. Die Vorrichtung 10 kann auch in Modulbauweise konstruiert sein, um an ihrem Ende in den nächsten angrenzenden Modul einzugreifen, in der V7eise, wie in den vorstehend genannten Patenten veröffentlicht ist, durch eine ähnliche Verbindung, Anordnung und Antriebsverbindungstechnik, so daß diese hier nicht wiederholt v/erden sollen. Auf jeden Fall ist der Fördermechanismus 28 angepaßt, um gedruckte Schaltungsplatten oder andere Gegenstände A zu transportieren, wie in Fig. 3 angezeigt ist, in Richtung des dort angebrachten Pfeiles 30.

Obere und untere Sprühköpfe 31 und 32, jeder mit einer Vielzahl von Sprühprohren 33, die sich quer durch die Vorrichtung 10 ausbreiten, befördern Eehandlungsflüssigkeit zu Sprühdüsen 34, die angeordnet sind, um die chemische Behandlungsflüssigkeit 35 auf die Gegenstände A zu sprühen, wenn sie sich zwischen diesen Düsen hindurchbewegen, wobei der Schutzlack oder andere Schichten von den Gegenständen A abgelöst und weggespült werden, um mit der Behandlungsflüssigkeit abwärts zu einem Paar Filtersieben 36 und 37 zu gelangen.

Die Filtersiebe 36 und 37 bilden einen Teil der Abscheideinrichtung zum Abscheiden von Teilchen, die von den Gegenständen (A) entfernt vzorden sind. Die Siebe 36 und 37 sind winklig montiert, wie in Fig. 1 gezeigt ist, um einen ausreichend spitzen Winkel mit der Vertikalen (vorzugsweise 60°) zu bilden, um wesentliche Mengen der Behandlungsflüssigkeit durchzulassen, da diese in Richtung des Pfeiles 38 in Fig. 1 abwärts fällt. Natürlich wird die Durchlässigkeit der Siebe 36 und 37 in Übereinstimmung mxc der vorherrschenden Größe der Gegenstände (A) für einen gegebenen Trennvorgang ausgewählt. Passende Gestelle sind für die Siebe 36 und 37 vorgesehen, um diese in der bevorzugten Richtung, wie dargestellt, in V-Form zu halten, wobei die Siebe an jeder Seite einer Mulde 40 gegeneinander zusammenlaufen.

Ein Paar Sprühkopfstücke 31 und 32 werden, wie in Fig. 4 gezeigt, mit der gleichen Behandlungsflüssigkeit versorgt, die das chemische Entfernen bewirkt, und zwar über eine Förderleitung 39 und eine geeignete Verbindungsleitung 43. Die Kopfstücke 41 und 42 tragen entsprechend zugeordnete Sprühdüsen 44 und 45, die zum Sprühen entlang oder quer über die Siebe 36 und 37 in der Weise, wie in Fig. 4 dargestellt, ausgerichtet sind, um Flocken, dünne Schichten oder andere Teilchen, die von den behandelten Gegenständen entfernt worden sind, wegzuspülen, wobei dieses Spülen bewirkt, daß solche Teilchen in die Mulde 40 befördert werden. Der Rückfluß der Lösung, z.3. über die Leitung 39, ist wichtig, v/eil er die Ansammlung von Lösung in der Mulde 40 verhindert, die sich andernfalls in der Mulde 40 und an den Sieben 36 und 37 bilden würde und letztere verstopfen könnte.

Die Mulde 40 wird durch die unteren Halter 46 und 47 der Siebe 36 und 37 gebildet, die in gleicher Weise obere Halter 48 und 50 aufweisen.

ι · w

3500235

1 6

So ist zu sehen, daß sich der von den Sieben 36 und 37 v/eggespülte Abfall in der Mulde 40 ansammeln wird, die die Länge der Vorrichtung zwischen den gegenüberliegenden Stirnwänden 15 und 16 wirksam vergrößert, wie Fig. 3 zeigt, daß es aber der Spülflüssigkeit (Behandlungsflüssigkeit) freigestellt ist, außerhalb des am weitesten links befindlichen Endes der Mulde 40 vorbeizulaufen, wie Fig. 3 zeigt, hinein in einen Flüssigkeitsschacht 51 und über eine Ausgangsleitung 52 hinaus in Richtung des Pfeiles 53 in Fig. 1 zu einer Pumpe 54. Die Pumpe 54 ist im allgemeinen dauernd in Betrieb und pumpt die Behandlungsflüssigkeit, die ihr zugeführt wird, über eine Leitung 55 zurück zu den Kopfstücken 41 und 42 über die Leitung 39 in Richtung des Pfeiles 56 nach Fig. 1.

Es soll erwähnt werden, daß ein Ventil 57 in einer Leitung 58, das durch einen Elektromagneten 60 betätigt wird, sich in der geschlossenen Stellung befindet, so daß ein Strom von Behandlungsflüssigkeit zum Schacht 51 und durch die Pumpe 54 nicht durch die Leitung 58 gellen kann, sondern in Richtung des Pfeiles 56 zurückkehrt, wie Fig. 1 zeigt.

Wie bereits erwähnt, werden Teilchen, Trümmer und dergleichen in der Mulde 40 für eine vorbestimmte Zeit oder bis eine vorbestimmte Bedingung erfüllt ist, angesammelt. Solch eine Bedingung könnte das Ansteigen des Flüssigkeitspegels in der Mulde 40 sein, das das Auslösen der Entleerung der Mulde 40 bewirkt, aber vorzugsweise wird es der Ablauf einer vorgegebenen Zeitdauer sein, wie eine vorbestimmte Anzahl von Sekunden, die von einem geeigneten Taktgeber T gesteuert werden könnte. Die Entleerung der Mulde 40 wird ohnehin, was die vorbestimmten Parameter betrifft, durch eine Woge von Behandlungsflüssigkeit bewirkt, die in Richtung des Pfeiles 64 in Fig. 3 zu einer Verbindungsleitung 63 in Form eines Antriebsmittels fließt, um die Ansammlung von Abfall in der Mulde 40 voranzutreiben, und zwar vom rechten Rand in Richtung des

Pfeiles 65 in Fig. 3 zum linken Rand in den Schacht 51 und über die Leitung 52 zur Pumpe 54. I.τι wesentlichen gleichzeitig mit dem Arbeiten des Taktgebers T, der den plötzlichen Flüssigkeitsstrom durch die Leitung 63 steuert und der entweder durch einen Elektromagneten 66, der ein Ventil 67 steuert, das einen Flüssigkeitsstrom über eine Leitung 68 zur Leitung 63 zur Folge hat, oder anderswie in Betrieb gesetzt wird, wird dieser Taktgeber T auch über eine elektrische Leitung 70 den Elektromagneten -3 U aktivieren, um das Ventil 57 zu öffnen, wobei die Behandlungsflüssigkeit, die den soeben aus der Mulde 40 entfernten Abfall enthält, über ein T-Stück 72 in der Leitung 55 nach links abfließt, wie Fig. 1 zeigt, und weiter über die Leitung 58 in Richtung des Pfeiles 71, wobei sie den kürzesten Weg mit dem geringsten Widerstand nimmt, um den Abfall und die Behandlungsflüssigkeit aus der Mulde 40 über eine Leitung 74 zu einer Filtereinrichtung 73 zu befördern. Der Antrieb der Behandlungsflüssigkeit aus der Leitung 63 wird ebenfalls durch den Taktgeber T zeitlich gesteuert, um während einer vorgegebenen Zeit anzudauern, nach welcher der Taktgeber T über den Elektromagneten 6 6 das Schließen des Ventils 67 bewirkt, und im wesentlichen gleichzeitig damit wird die Aktivierung des Elektromagneten 60 bewirken, daß das Ventil 57 geschlossen wird. Nach Ablauf einer ausreichenden Zeit, die in den Taktgeber T eingegeben worden ist, haben alle aus der Mulde 40 entfernten Teilchen und die Behandlungsflüssigkeit die Pumpe 54 passiert. Danach kehrt die Flüssigkeit aus der Pumpe 54 über die Leitung 39 wieder zu den Kopfstücken 41 und 42 zurück.

Es versteht sich von selbst, daß die Pumpe 54 von einen geeigneten Motor 75, der auf einem Ständer 76 montiert ist, angetrieben wird.
35

Es versteht sich ebenfalls von selbst, daß die durch die Siebe 36 und 37 hindurchgehende Behandlungsflüssigkeit in

dem unteren Teil 14 der Kammer 11 gesammelt wird und zu einer (nicht dargestellten) Hauptpumpe in dem erweiterten Sammelbehälterteil 25 des unteren Teils 14 der Kammer 11 gelangt, um durch eine Hauptförderleitung 77 in Richtung des Pfeiles 78 in Fig. 1 nach oben zu Hauptförderleitungan 80 und 81 zurückzufließen, die das obere und das untere Sprühkopfstück 31 und 32 speisen. Es sollte ebenfalls beachtet werden, daß jede der Leitungen 80 und 81 mit einer geeigneten Strömungssteuerung versehen sind, i;;. 0 allgemeinen in der Form von von Hand einstellbaren Ventilen 82 und 83 oder dergleichen.

Bezüglich Fig. 5 soll erwähnt werden, daß die Leitung 63, die den großräumigen Antrieb in Form der Behandlungsflüssigkeit zu der Mulde 40 liefert, ebenfalls ein Entschäumungsmittel 94 aus einem Entschäumungsmittelbehälter 91 liefert, vorzugsweise durch Erzeugen eines Teilvakuum am Zuflußort der Verbindung 92 mit der Leitung 63, wobei das Vakuum durch ein Einwegventil oder ein Rückschlagventil 93, das verhindert, daß Flüssigkeit nach links durch das Ventil 93 fließt, wie Fig. 5 zeigt, das Entschäumungsmittel 94 aus dem Behälter 91 saugt, und zwar durch eine Leitung 95, über einen Strömungsmesser 96, durch eine Leitung 97 und durch das Rückschlagventil 93, um das Entschäumungsmittel in die Mulde 40 mit der Behandlungsflüssigkeit zu befördern, die als Antriebskraft für die Entleerung der Mulde 40 dient. So wird ein Schäumen des Aufwärtsstromes der Pumpe 54 verhindert, während die Pumpe den Abfall, die Teilchen oder dergleichen handhabt, so daß Luftblasen in der Pumpe 54 vermieden werden.

Die Vorrichtung zum Abscheiden der entfernten Teilchen aus der Behandlungsflüssigkeit gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt ferner das Kennzeichen eines optimalen Gegenstromflusses. Diese Eigenschaft beruht auf der Zuführung der Behandlungsflüssigkeit zur Rückseite oder Unterseite der Siebe 36 und 37 in einer Weise, die eine Vibration der

Siebe bewirkt und die den Sieben Flüssigkeit in Aufwärtsrichtung zuführt, was dazu beiträgt, die Teilchen, den Abfall und dergleichen von den Oberflächen der Siebe 35 und 37 wegzuspülen, und zwar abwärts zu der Mulde 40. Die Art, in der der Gegenstromfluß erreicht wird, ist der Fluß aus der Hauptförderleitung 77 durch eine Leitung 100, zu einer Einlaßöffnung 101 in das Innere der Kammer 11 (Figuren 1 und 4), wo ein beweglicher Schlauch 102 die Behandlungsflüssigkeit an Kopfstücke 103 und 104 liefert, d L.-; mit einer geeigneten Technik neben der Mulde 40 an Teilen 105 und 106 befestigt sind und der Reihe nach drehbare Sprüheinrichtungen 107 tragen. Die Sprüheinrichtungen 107 sind alle im wesentlichen gleich in ihrer Konstruktion, so daß nur eine davon im einzelnen beschrieben zu werden braucht.

Jede Sprüheinrichtung 107 ist auf einer Rohrverbindung 108 montiert, die die Behandlungsflüssigkeit von ihrem entsprechenden Kopfstück 103 oder 104 empfängt und an einen sich drehenden Kopf 110 weitergibt, der von den Gegendruck der Behandlungsflüssigkeit angetrieben wird, die durch diesen Kopf 110 hindurchfließt und dafür sorgt, daß er und von ihm getragene Sprühdüsen 111 und 112 sich drehen, wobei die Behandlungsflüssigkeit von den Düsen 111 und 112 in sich bewegenden Bögen wirkungsvoll auf im wesentlichen die vollständige Unterseite der Siebe 36 und 37 gesprüht wird, um die Teilchen mit dem durch die Siebe 36 und 37 fließenden Gegenstrom wegzuspülen.

In Bezug auf Fig. 1 sollte beachtet werden, daß die Filtereinrichtung 73 eine Ausgangsleitung 115 für den Durchfluß der Behandlungsflüssigkeit aufweist, die durch Ausfiltern der Rückstände aus der Mulde 40 gereinigt worden ist, wobei das Ausfiltern in dem Filter 73 erfolqt.

Die gefilterte Behandlungsf lussigkeit flioi't Ίαηη ''\\mr Ίί·> Leitung 115 in Richtung des Pfeiles 116 durch die üinlafiöffnung 101 in die Kammer 11 zurück. Es vorsteht sich von

BAD ORIGINAL

selbst, daß der Flüssigkeitsstrom durch die Leitung 100 zur Rückkehr der gefilterten Flüssigkeit in dia Kammer 11 auf der Wirkung des Teilvakuum in der Leitung 115 beruht. Es versteht sich ebenfalls von selbst, daß in dem Fall, deiß das Merkmal des Gegenstromflusses gemäß der Erfindung nicht verwendet wird und dadurch die» Sprüheinrichtungen 107 nicht mit Flüssigkeit über den Schlauch 102 versorgt werden, die Behandlungsflüssigkeit entweder gleichmäßig über die Leitung 100 und die Einlaßöffnung 101 in r.i-a Kammer 11 befördert wird, um den Mischvorgang für die Rückführung der gefilterten Flüssigkeit von dem Filter 73 über die Leitung 115 zu bewirken, oder als Alternative die Einlaßöffnung 101 für eine direkte Entleerung in den Sammelbehälter 25 geändert werden kann.

Die Filtereinrichtung 73 ist mit einem (nicht dargestellten) abnehmbaren Filterkorb versehen, der den Abfall nach und nach ansammelt, bis er einen festen, dichten Kuchen bildet, der von Hand entfernt werden muß. Das kann regelmäßig kontrolliert werden, z.B. täglich, abhängig von der Erfahrung des Bedienungspersonals. Der Filterkorb kann entweder ausgetauscht oder mehrmals zur Wiederverwendung ausgekippt werden. Falls der Filterkorb nicht kontrolliert wird und Abfälle in der Filterkammer 73 entstehen, so daß der Filter nicht mehr arbeiten kann und Flüssigkeit angestaut wird, kann eine Pegelstandskontrolle 120 ansprechen, um die Tätigkeit des Elektromagneten 66 des Ventils 67 durch eine Leitung 121 zu ersetzen, wobei die Entleerung der Mulde 40 durch Zuführen von Behandlungsflüssigkeit über die Leitung 63 aufgehoben v/erden kann, um zu verhindern, daß die Pumpe 54 v/eitere Abfälle, Teilchen oder dergleichen zusammen mit der Behandlungsflüssigkeit über die Leitung 74 zu der Filtereinrichtung 73 ounpt, bis der Filterkorb entleert worden ist.

Bezüglich der obigen Erfindung sollte beachtet werden, daß innerhalb des Umfangs der Erfindung, wie er in den Ansprü-

BAD ORIGINAL

350023a

chen angegeben ist, verschiedene Änderungen der Merkmale vorgenommen werden können. Zum Beispiel könnte für die Siebe 36 und 37 der Winkel mit der Horizontalen von 30°, der sich für einen ausreichenden Flüssigkeitsdurchgang als günstig erwiesen hat, in einer anderen Größe ebenfalls als angemessen erscheinen. Ferner ist es offensichtlich, da.3 anstelle der bevorzugten Ausführungsformen der Abscheidsiebe 35 und 37 auch andere Filtereinrichtungen, die kaine technischen Siebe sind, verwendet werden können. Es ist weiterhin offensichtlich, daß verschiedene andere Einzelheiten und Arbeitsweisen der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung innerhalb des Erfindungsgedankens und des Umfangs der Ansprüche verändert werden können.

So ist zu erkennen, daß die vorliegende Erfindung den Bewurf und das sich daraus ergebende Füllen von Filtersieben zu verhindern sucht, was der Nachteil der bisherigen Methoden war.

Die vorliegende Erfindung ist insbesondere nützlich, wo die entfernten Masken oder Schichten Polymere sind, die die Möglichkeit haben, sich an der Filteroberfläche zu sammeln und zu trocknen, und die vorliegende Erfindung erreicht das durch Anordnen der Siebe in der Prozeßkammer, wo sie eine große Flüssigkeitsmenge aufnehmen können, zum Beispiel 150 Liter Lösung pro Minute, um die Siebe zu spülen und von gesammelten Abfällen zu befreien, was auch das Austrocknen der Siebe verhindert und andererseits bewirkt, daß die Polymere, falls solche verwendet './erden, an den Filtermitteln kleben bleiben.

Claims

Dr. Dieter Weber Klaus Seiffert Dipl.-Chem. Dr.Dieter Weber ■ Dipl.-Phye. Klaue Selflert Poetfach 61456200 Wiesbaden Deutsches Patentamt Zweibrückenstr. 12 8000 München 2 Patentanwälte D-6200 Wiesbaden Gustav-Frey tajj-Stratte 25 Telefon 0 6121 /37 27 20 ♦ 37 25 80 Telegrammadresse: Willpaient Telex: 4-186 247 Telekopierer Gr III06121/3721 H Postecheck: Frankfurt/Main 67 63-602 Bank: Dresdner Bank AG1 Wiesbaden, Konto-Nr.27680700 (BLZ61080060) Datum 3# jan# 1985 S/Kl/st Chemcut Corporation 500 Science Park Road, State College Pennsylvania 16801, USA Vorrichtung zum Abscheiden von Teilchen aus einer Lösung 10 Priorität: USA-Patentanmeldung Serial Nr. 570 459 Anmeldetag: 13. Januar 1984 15 Patentansprüche

1. Vorrichtung zum chemischen Entfernen fester Stoffe von durch eine chemische Behandlungsflüssigkeit behandel-

20 ten Gegenständen, bestehend aus einer Behandlungskammer, einem Halter in einem oberen Teil dieser Kammer zum Haltern der zu behandelnden Gegenstände, einer Fördereinrichtung zum Fördern der Behandlungsflüssigkeit in diese Kammer zum Sprühen auf die darin gelagerten Gegen-

25 stände zum Entfernen der festen Stoffe von den Gegenständen durch das Besprühen mit der Behandlungsflüssig-

keit, einer Abscheideinrichtung in dieser Kammer zum Abscheiden der festen Stoffe aus der Behandlungsflussigkeit und einer Sammeleinrichtung in dieser Kammer zum Sammeln der Behandlungsflüssigkeit zum Zurückführen zu der Fördereinrichtung, gekennzeichnet durch

a) ein Abscheidfilter in der Abscheideinrichtung, das in einem ausreichend spitzen Winkel zur Senkrechten angeordnet ist, um zu ermöglichen, daß sinkende Flüssigkeit hindurchgeht und daß die festen Stoffe nicht durchgelassen, sondern am Filter entlang zu einer Verweilzone gespült werden,

b) eine Filterspüleinrichtung in der Abscheideinrichtung zum Fördern der Behandlungsflussigkeit durch das Filter, um die festen Stoffe an diesem entlang zu der Verweilzone zu spülen, und

c) eine Entleerungseinrichtung in der Abscheideinrichtung, um das Entleerungsgut aus Behandlungsflüssigkeit und festen Stoffen aus der Verweilzone zu entleeren.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweites Filter vorgesehen ist, das zum Aufnehmen des Entleerungsgutes und Herausfiltern der festen Stoffe aus der Behandlungsflüssigkeit mit der Entleerungseinrichtung verbunden ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Zurückführen der aus dem Entleerungsgut herausgefilterten Behandlungsflüssigkeit zu der Kammer.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verweilzone eine Mulde zur Aufnahme der festen Stoffe und der Behandlungsflüssigkeit aufweist, wobei mit der Mulde eine Ausgangsleitung verbunden ist, welche Mittel zur Aufnahme der in die Mulde fließenden Behandlungsflüssigkeit und zu deren Zurückführung zu einem oberen Teil der Kammer enthält, und wobei die Entlee-

rungseinrichtung eine Antriebseinrichtung für die periodische Zufuhr eines Strahles der Behandlungsflüssigkeit durch die Mulde enthält, um die angesammelten festen Stoffe daraus zu entfernen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verweilzone eine Mulde zur Aufnahme der festen Stoffe und der Behandlungsflüssigkeit aufweist, wobei mit der Mulde eine Ausgangsleitung verbunden ist, wel-

ehe Mittel zur Aufnahme der in die Mulde fließenden Behandlungsflüssigkeit und zu deren Zurückführung zu einem oberen Teil der Kammer enthält, und wobei die Entleerungseinrichtung eine Antriebseinrichtung für die periodische Zufuhr eines Strahles der Behandlungsflüs-

¹^ sigkeit durch die Mulde enthält, um die angesammelten festen Stoffe daraus zu entfernen, wobei die Ausgangsleitung aus dieser Mulde ein Ventil und Mittel zum betrieblichen Verbinden dieses Ventils mit der Antriebseinrichtung enthält, wobei durch Betätigen der Antriebseinrichtung bewirkt wird, daß das Ventil im wesentlichen gleichzeitig von einer Stellung für normalen Durchfluß zwischen der Ausgangsleitung und der Kammer auf eine andere Stellung für den Durchfluß zwischen der Ausgangsleitung und dem zweiten Filter umgeschaltet wird, wobei die angesammelten festen Stoffe zu dem zweiten Filter befördert werden.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine in der Kammer neben dem Filter angeordnete Gegenstromeinrichtung mit Mitteln zu ihrer Verbindung mit einer Quelle für die Behandlungsflüssigkeit, wobei die Gegenstromeinrichtung eine Abflußeinrichtung enthält, die die Behandlungsflüssigkeit gegen die Unterseite des angewinkelten Filters abfließen läßt, um die festen Stoffe von diesem leicht wegzuspülen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine in der Kammer neben dem Filter angeordnete Gegenstrom-

einrichtung mit Mitteln zu ihrer Verbindung mit einer Quelle für die. Behandlungsflüssigkeit, wobei die Gegenstromeinrichtung eine Abflußeinrichtung enthält, die die Behandlungsflüssigkeit gegen die Unterseite des angewinkelten Filters abfließen läßt, um die festen Stoffe von diesem leicht wegzuspülen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum im wesentlichen gleichmäßigen Hinzufügen eines Entschäumungsmittels zu der Behandlungsflüssigkeit.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter für die Gegenstände eine Einrichtung zum Fördern dieser Gegenstände durch die Kammer an deren oberen Seite entlang eines im wesentlichen horizontalen Weges von einer länglichen Einlaßöffnung zu einer länglichen Auslaßöffnung enthält, wobei die Einrichtung zum Fördern der Behandlungsflüssigkeit Sprühdüsen über und unter dem Förderweg enthält und wobei die Sammeleinrichtung einen Behälterteil am Boden der Kammer aufweist, dem eine Pumpe zugeordnet ist, um die Behandlungsflüssigkeit zu den Sprühdüsen zurückzupumpen, wobei das Filter ein Sieb enthält und wobei die Spüleinrichtung Sprühdüsen, zum Sprühen der Behandlungsflüssigkeit an dem Filter entlang aufweist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter ein Paar Siebe enthält, die in einem spitzen Winkel von etwa 30° zur Horizontalen angeordnet sind.

11. Vorrichtung zum Behandeln gedruckter Schaltungsplatten, Filme oder ähnlicher Gegenstände, die Teile mit einem polymeren Schutzlack haben, der mit einer lackentfernenden Lösung beseitigt werden soll, indem die Lösung auf die Gegenstände gesprüht wird, während diese entlang dem Förderweg befördert werden, wobei die

Vorrichtung eine Behandlungskammer, eine Fördereinrichtung in der Kammer zum Befördern der Gegenstände von einer Einlaßöffnung an der einen Seite zu einer Auslaßöffnung an der anderen Seite, in der Kammer angeordnete Sprühdüsen zum Sprühen der lackentfernenden Lösung auf die Gegenstände, eine Abscheideinrichtung zum Abscheiden der Schutzlackteilchen aus der lackentfernenden Lösung und einen Sammelbereich in der Kammer ' zum Sammeln der lackentfernenden Lösung zum Zurückführen zu den Sprühdüsen hat, gekennzeichnet durch

a) mindestens ein Sieb, das einen Teil der Abscheideinrichtung bildet und das in einem ausreichend spitzen Winkel zur Senkrechten angeordnet ist, um zu ermöglichen, <3aß sinkende Flüssigkeit hindurchgeht, während Schutzlackteilchen ausgesiebt und durch das Sieb nicht durchgelassen, sondern an diesem entlang zu einer Mulde gespült werden,

b) mindestens eine Siebspüldüse, die einen Teil der Abscheideinrichtung bildet und die im allgemeinen an dem oberen Ende des Siebes angeordnet ist, um dieses zu besprühen und die Schutzlackteilchen an diesem entlang zu der Mulde zu spülen,

c) eine Entleerungseinrichtung an einem Teil der Abscheideinrichtung, um die Lösung und die Teilchen aus der Mulde zu entleeren.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch ein Filter, das mit der Entleerungseinrichtung verbunden ist, um die Lösung und die Teilchen aus der Mulde aufzunehmen.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Mulde eine Ausgangsleitung verbunden ist, um die Lösung aus der Mulde zu der Kammer zurückzuleiten, wobei die Entleerungseinrichtung eine Antriebs-

einrichtung für die periodische Zufuhr eines ausreichenden Strahles der Lösung zu der Mulde aufweist, um die angesammelten Teilchen daraus zu entfernen.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Mulde eine Ausgangsleitung verbunden ist, um die Lösung aus der Mulde zu der Kammer zurückzuleiten, wobei die Entleerungseinrichtung eine Antriebseinrichtung für die periodische Zufuhr eines ausreichenden Strahles der Lösung zu der Mulde aufweist, um die angesammelten Teilchen daraus zu entfernen, wobei die Ausgangsleitung aus dieser Mulde ein Ventil und Mittel zum betrieblichen Verbinden dieses Ventils mit der Antriebseinrichtung enthält, wobei durch Betätigen der Antriebseinrichtung bewirkt wird, daß das Ventil im wesentlichen gleichzeitig von einer Stellung für normalen Durchfluß zwischen der Ausgangsleitung und der Kammer auf eine andere Stellung für den Durchfluß zwischen der Ausgangsleitung und dem Filter umgeschaltet wird, wobei die angesammelten Teilchen periodisch zu dem Filter befördert werden.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch eine Rückführleitung zum Zurückführen der gefilterten Lösung von dem Filter zu der Kammer.

16. Vorrichtung nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch eine in der Kammer neben dem Filter angeordnete Gegenstromeinrichtung mit Mitteln zu ihrer Verbindung mit einer Quelle für die Lösung, wobei die Gegenstromeinrichtung mindestens eine drehbare Lösungsprühdüse neben dem Sieb aufweist, die die Lösung nach oben durch das Sieb sprüht, um zu helfen, die Teilchen an dem Sieb entlangzuspülen.

17. Vorrichtung zum Abscheiden von Flocken, Teilchen oder anderem Material aus einer chemischen Lösung, in der die Lösung zur Bearbeitung von Gegenständen, bei der

das Material von diesen entfernt wird, in einer Kammer mit diesen Gegenständen in Berührung gebracht wird, gekennzeichnet durch

a) ein Filtermedium in der Kammer, in das die Lösung eingreift, die das entfernte und filternde Material daraus auf mindestens einer Filteroberfläche enthält,

b) eine Einrichtung zum Wegspülen des entfernten Materials von der Filteroberfläche in eine Verweilzone und

c) eine Einrichtung zum Ausladen des entfernten Materials aus der Verweilzone.