DE3440391A1 - Magnetooptisches aufzeichnungsmaterial - Google Patents
Magnetooptisches aufzeichnungsmaterialInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial,
das beispielsweise bei einem magnetooptischen Speicher oder einer Magnetaufzeichnungs- und -anzeigevorrichtung
verwendet wird und sich für das Auslesen von Information unter Anwendung eines magnetooptischen Effekts wie z.B. des
magnetischen Kerr-Effekts oder des Faraday-Effekts eignet,
und die Erfindung bezieht sich insbesondere auf ein Dünnschicht-Magnetaufzeichnungsmaterial
mit verbesserter Korrosionsbeständigkeit.
Polykristalline Dünnschichten wie z.B. MnBi-und MnCuBi-Dünnschichten,
amorphe Dünnschichten wie z.B. GdCo-,GdFe-,TbFe-, DyFe-,GdTbFe-und TbDyFe-Dünnschichten und Einkristall-Dünnschichtenaus
z.B. Gd-Fe-Granat sind als magnetooptische Aufzeichnungsmaterialien bekannt.
Unter diesen Dünnschichten sind in neuerer Zeit die amorphen Dünnschichten in Anbetracht von Eigenschaften wie z.B. des
Filmbildungsvermögens, das die Herstellung einer Dünnschicht
/2 5
-4- DE 4400
mit einer großen Fläche bei einer in der Nähe der Raumtemperatur liegenden Temperatur ermöglicht, des Wirkungsgrades
beim Aufzeichnen bzw. Schreiben von Signalen unter Aufwendung einer geringen Licht-Wärme-Energie und des Wirkungsgrades
beim Auslesen der geschriebenen bzw. aufgezeichneten Signale mit einem guten S/N-Verhältnis als ausgezeichnete
magnetooptische Aufzeichnungsmaterialien bzw. Aufzeichnungsträger angesehen worden. Besonders GdTbFe, das einen
^Q großen Kerr-Drehungswinkel und eine Curie-Temperatur von
etwa 150 C hat, ist als magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial
bestens geeignet. Die Erfinder haben ferner Untersuchungen mit dem Ziel der Verbesserung des Kerr-Drehungswinkels
durchgeführt und als Ergebnis festgestellt, daß
p. GdTbFeCo ein magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial ist,
das einen ausreichend großen Kerr-Drehungswinkel hat und ein Auslesen von Information mit einem guten S/N-Verhältnis
ermöglicht.
Als eine Eigenschaft eines amorphen magnetischen Materials wie z.B. GdTbFe oder GdTbFeCo kann jedoch eine schlechte
Korrosionsbeständigkeif erwähnt werden. D.h., wenn ein solches Material mit der atmosphärischen Luft oder mit Wasserdampf
in Berührung kommt, werden nicht nur seine magnetischen Eigenschaften verschlechtert, sondern es wird
schließlich auch vollständig oxidiert und wird lichtdurchlässig.
Infolgedessen ist ein scheiben- bzw. plattenförmiges Aufzeichnungsmaterial
vorgeschlagen worden, bei dem auf der 30
Aufzeichnungsschicht eine Schutzschicht ausgebildet ist oder bei dem die Aufzeichnungsschicht durch Inertgas umhüllt
is»t.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein magnetooptisches Aufzeich-35
nungsmaterial zur Verfügung zu stellen, das magnetische Ei-
-5- DE 4400
genschaften hat, die für die Aufzeichnung und Wiedergabe von Information bestens geeignet sind, und eine ausgezeichnete
Korrosionsbeständigkeit zeigt.
Diese Aufgabe wird durch ein magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial
mit den im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs angegebenen Merkmalen gelöst.
-LQ Die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung werden nachstehend
unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 und 2 sind grafische Darstellungen, die die Ergebnisse von Korrosionsbeständigkeitsversuchen zeigen, die
mit Ausführungsformen der Erfindung, die eine GdTbFeNiCr-Dünnschicht enthalten, durchgeführt wurden.
„n Fig. 3 und 4 sind grafische Darstellungen, die die Ergebnisse
von Korrosionsbeständigkeitsversuchen zeigen, die mit Ausführungsformen der Erfindung, die eine
GdTbFeCoNiCr-Dünnschicht enthalten, durchgeführt wurden.
Fig. 5 bis 7 sind grafische Darstellungen, die die Ergebnisse von Korrosionsbeständigkeitsversuchen zeigen,
die mit Ausführungsformen der Erfindung, die eine
TbFeCoNiCr-Dünnschicht enthalten, durchgeführt wurden.
Fig. 8 ist eine grafische Darstellung, die das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs zeigt, der
mit einer Ausführungsform der Erfindung, die eine GdTbFeCoNi-Dünnschicht enthält, durchgeführt wurde.
-6- DE 4400
Das erf indung'S,gemäße magnetooptische Aufzeichnungsmaterial enthält als Aufzeichnungsschicht eine Dünnschicht aus einer
amorphen magnetischen Legierung. Diese Dünnschicht hat in einer zu ihrer Oberfläche senkrechten Richtung eine Achse
der leichten Magnetisierbarkeit und eignet sich für die Aufzeichnung von Information mit hoher Dichte. Wenn auf
dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterial bzw. Aufzeichnungsträger
Information aufgezeichnet werden soll, wird auf
2Q die aus der Legierung bestehende Dünnschicht, die in einer
vorher festgelegten Richtung gleichmäßig magnetisiert ist, ein durch ein Informationssignal moduliertes Strahlenbündel
auftreffen gelassen. Dann wird der Bereich, auf den das Strahlenbündel auftreffen gelassen worden ist, auf die Curie-
jg Temperatur oder eine höhere Temperatur erhitzt und dann abgekühlt,
wodurch das Informationssignal in Form einer Folge von Aufzeichnungsbits, deren Magnetisierungsrichtung umgekehrt
ist, aufgezeichnet wird. Wenn das auf diese Weise aufgezeichnete Informationssignal ausgelesen werden soll, wird
on in die aus der Legierung bestehende Dünnschicht ein linear
polarisierter Lichtstrahl eintreten gelassen, und der in Übereinstimmung mit der Information hinsichtlich seiner
Polarisationsrichtung modulierte Lichtstrahl wird durch den magnetooptischen Effekt ermittelt.
Im Rahmen der Erfindung zeigt die nichtkristalline magnetische Legierung, aus der die Dünnschicht besteht, die folgende
Zusammensetzung:
<(GdxTb1-x) P (FeyCo1-y)l-p>q(^izCr1-z)1-q >
worin ° ~ x ~ °'9<
d.h., die auf die Gesamtmenge von Gd und Tb bezogene Gd-30
Menge muß in dem Bereich von 0 bis 90 Atom-I liegen. Wenn
die Gd-Menge 90 Atom-? überschreitet, wird die Koerzitivkraft
kleiner, und ein dauerhaftes Bestehen sehr kleiner Aufzeichnungsbits wird schwierig. Ferner wird die Curie-Temperatur
höher, lind infolgedessen ist die Durchführung 35
des Schreibens bzw. Aufzeichnens mit Temperaturkompensation
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unvermeidlich, was strenge Filmbildungsbedingungen notwendig
macht. Ferner gilt, daß 0,2 ^=. y ^= 1 ,0; d.h. , die auf
die Gesamtmenge von Fe und Co bezogene Co-Menge muß in dem Bereich von 0 bis 80 Atom-! liegen. Wenn die Co-Menge 80
Atom-! überschreitet, wird die Curie-Temperatur wieder höher, und das Schreiben bzw. Aufzeichnen von Signalen wird
schwierig. Im Hinblick auf die Aufzeichnungsempfindlichkeit
ist es besonders erwünscht, daß 0,35 ^= y ^=. 1 ,0; d.h. , daß
,Q die CorMenge 65 Atom-! oder weniger beträgt.
Ferner müssen Obergangsmetalle (Fe, Co) und Seltenerdmetalle (Gd, Tb) in einem geeigneten Zusammensetzungsverhältnis vorhanden
sein, damit das erfindungsgemäße magnetooptische Auf- Λ p. Zeichnungsmaterial eine zu der Oberfläche der Dünnschicht
senkrechte Achse der leichten Magnetisierbarkeit haben kann. Infolgedessen ist es erforderlich, daß 0,1έρό0,5; d.h.,
die Mischung aus Gd und Tb muß in einer auf die Gesamtmenge von Fe, Co, Gd und Tb bezogenen Gesamtmenge vorhanden sein,
die in dem Bereich von 10 bis 50 Atom-! liegt. Wenn dieser Bereich verlassen wird, wird die Achse der leichten Magnetisierbarkeit
parallel zu der Oberfläche der Dünnschicht, und die aus der Legierung bestehende Dünnschicht kann keine
quermagnetisierte Dünnschicht sein. Ferner ist es im Hin-
blick auf die Stabilisierung der magnetischen Eigenschaften
25
erwünscht, daß die auf die Gesamtmenge von Fe, Co, Gd und Tb bezogene Gesamtmenge von Gd und Tb 15 bis 30 Atom-! beträgt
(0,15ο ρ £= 0,3).
Im Rahmen der Erfindung ist es notwendig, daß 0,001 — 1-q
< 0,35; d.h.; daß die auf die Gesamtmenge der magnetischen Legierung bezogene Gesamtmenge der Mischung aus Ni und Cr
in dem Bereich von 0,1 bis 35 Atom-! liegt, damit die Korrosionsbeständigkeit verbessert wird, weil die Korrosionsbeständigkeit
nicht in ausreichendem Maße verbessert werden kann, wenn die Gesamtmenge von Ni und Cr weniger als 0,1
-8- DE 4400
Atom-! beträgt und weil die magnetischen Eigenschaften beeinträchtigt
werden und die Erzielung einer quermagnetisierten Dünnschicht schwierig wird, wenn die Gesamtmenge von
Ni und Cr 35 Atom-! überschreitet.
Ferner muß die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene
Ni-Menge in dem Bereich von 5 bis 100 Atom-! liegen (0,05 — ζ ^s 1,0). Wenn die Ni-Menge jedoch zu groß ist, besteht
2Q infolge der ferromagnetischen Eigenschaften von Ni die Neigung,
daß die Achse der leichten Magnetisierbarkeit der Legierung eine Richtung hat, die zu der Oberfläche der Dünnschicht
parallel ist. Es ist infolgedessen erwünscht, daß die auf die Gesamtmenge der Legierung bezogene Ni-Menge 30
,,- Atom-! oder weniger beträgt. Es wird infolgedessen bevorzugt,
daß die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge in dem Bereich von 20 bis 90 Atom-! liegt. (0,2έ ζ
— 0,9). Ferner ist im Hinblick auf die Korrosionsbeständigkeit ein gutes Ergebnis erhalten worden, wenn die auf die
Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge in dem Bereich von 60 bis 80 Atom-! liegt (0,6έ ζ *= 0,8).
Aus der vorstehenden Beschreibung ist ersichtlich, daß besonders bevorzugte Legierungsmaterialien die chemischen Zusammensetzungen
GdTbFeNiCr, TbFeCoNiCr und GdTbFeCoNiCr haben. Man könnte auch an TbFeNiCr denken, jedoch ist diese
Zusammensetzung gegen thermische Beeinflussung mehr oder
weniger empfindlich, weil ihre Curie-Temperatur einen niedrigen Wert von 100 bis 1200C hat. GdTbFeNiCr hat eine geeignete
Curie-Temperatur (150 bis 2000C), einen relativ Q
großen Kerr-Drehungswinkel (0,25 bis 0,27 ) und eine große
Koerzitivkraft und ist infolgedessen für eine Aufzeichnung mit hoher Dichte unter Erzeugung sehr kleiner Aufzeichnungsbits geeignet. Ferner hat TbFeCoNiCr eine geeignete Curie-Temperatur
und einen großen Kerrdrehungswinkel von 0,3 . 35
GdTbFeCoNiCr hat einen größeren Kerr-Drehungswinkel von
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0,35 bis 0,45 und ist ein Material mit ausgezeichneten Ausleseeigenschaften.
(Beispiel 1)
In einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung wurde die Schwingquarzplatte einer Schichtdicken-Meßvorrichtung, bei
der ein Quarzoszillator verwendet wird, als Substrat ein-2Q
gesetzt, während quadratische Stücke aus Gd und aus Tb, deren Seiten jeweils eine Länge von 5 mm hatten und die
auf Fe mit einem Durchmesser von 10,16 cm angeordnet waren, als erstes Target verwendet wurden und eine Legierung aus
401 Cr und 601 Ni mit einem Durchmesser von10,16 cm als
. r- zweites Target verwendet wurde. Das Innere der Kammer wur-
-5 de evakuiert, bis ein Vakuum von 1,5 χ 10 Pa oder weniger erreicht war, und danach wurde in die Kammer Ar-Gas bis zur
Erzielung von 4x10 Pa eingeleitet, und der Ar-Druck
wurde durch Betätigung des Hauptventils des Evakuiersystems auf einen Wert von 3 Pa gebracht. Dem ersten Target wurde
aus einer Hochfrequenz-Stromquelle eine konstante Zerstäubungsleistung
von 250 W zugeführt, und gleichzeitig wurden dem zweiten Target verschiedene Zerstäubungsleistungen zugeführt,
wodurch GdTbFeNiCr-Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 pm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend
gezeigt werden, hergestellt wurden:
Zusammensetzung
Probe1"1: tf
,,V%,V,y
Probe 1-2: {^,5^0,5 V21FeO,79}o,9O(NiO,6CrO,4^0,10
Probe 1-3: i^\^^\
Probe 1-4: ((Gd^,.iy5)0)21Fe0>79>0>
Ferner wurde durch eine ähnliche Vorrichtung eine Dünn schicht aus einer Legierung mit der folgenden Zusammen
-10- DE 4400
Setzung, die kein Cr enthielt, hergestellt:
Probe 1-5: {^,5™0,5 V2I1V9V97^O3
Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt worden, daß diese Dünnschichten nichtkristalline Dünnschichten
sind.
Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der mit Legierungsdünnschichten des vorstehend beschriebenen
Aufbaus, die in einen Thermohygrostaten mit 8O0C und einer
relativen Feuchte von 85! hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde, ist in Fig. 1 gezeigt. In Fig. 1 stellt
die Ordinate die Gewichtszunahme des Aufzeichnungsmaterials,
die in einem willkürlichen Maßstab unter Anwendung einer Schichtdicken-Meßvorrichtung, bei der ein Quarzoszillator
verwendet wird, gemessen wurde, dar,und die Abszisse stellt die Anzahl der Tage dar, d.h., die Zeit, während der die
Legierung in dem Thermohygrostaten belassen wurde. Eine in Fig. 1 gezeigte Gewichtszunahme entspricht einem Fortschreiten
der Korrosion. Die in Fig. 1 angegebenen Bezugszahlen entsprechend den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet
werden. Zum Vergleich wurde unter denselben Bedingungen ein Korrosionsbeständigkeitsversuch mit magnetooptischen Auf-Zeichnungsmaterialien
der üblichen Zusammensetzung durchgeführt, und Kurve 17 zeigt das Ergebnis, das mit einer GdTbFe-Dünnschicht
erhalten wurde, während Kurve 18 das Ergebnis zeigt, das mit einer GdTbFeCr-Dünnschicht erhalten wurde.
Im Fall einer GdTbFe-Dünnschicht, die weder Ni noch Cr enthielt, verschwand der Metallglanz fast vollständig, und das
Metall war nach Ablauf eines Tages vollständig korrodiert, während festgestellt wurde, daß die Gewichtszunahme, d.h.,
das Ausmaß der Oxidation, geringer und die Korrosionsbeständigkeit verbessert wird, wenn die Menge von Ni und Cr zunimmt.
Es ist auch festgestellt worden, daß die GdTbFe-Dünnschicht eine bessere Korrosionsbeständigkeit hat als
-11- DE 4400
eine GdTbFeCr-Dünnschicht. Ferner war im Fall einer GdTbFeNiCr-Dünnschicht der Prozentsatz der Verminderung
des Kerr-Drehungswinkels, der mit dem Wirkungsgrad beim
Auslesen in Beziehung steht, selbst in dem Fall klein, wenn die Menge von Ni und Cr größer wurde, und dieser Prozentsatz
betrug z.B. bei der Probe 1-4 etwa 18%.
(Beispiel 2)
Unter Verwendung einer Legierung aus 201 Cr und 801 Ni als
zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich blieben, wurden GdTbFeNiCr-Dünnschichten
mit einer Dicke von 0,2 pm und verschiedenen . p. Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt:
Tabel | le 2 | |
20 | ||
Probe | 2-1 : | |
Probe | 2-2: | |
25 | ||
Probe | 2-3: | |
Probe | 2-4: |
Zusammensetzung )Q^χFeQ^ 79>Q^iNi0^
Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt wor den, daß diese Dünnschichten amorph sind.
Tn Fig. 2 wird das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeits
Versuchs gezeigt, der mit den GdTbFeNiCr-Dünnschichten des vorstehend erwähnten Aufbaus, die in denseLben Thermo
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hygrostaten mit 8O0C und einer relativen Feuchte von 851,
der in Beispiel 1 verwendet wurde, hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde. Die in Fig. 2 angegebenen Bezugszahlen
entsprechen den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, und auch die Ergebnisse derselben Vergleichsversuche
wie in Fig. 1 und die Ergebnisse von Probe 1-5 werden gezeigt. In diesem Beispiel ist wie in Beispiel
1 festgestellt worden, daß die Korrosionsbeständigkeit in ^q höherem Maße verbessert wird als bei GdTbFe oder GdTbFeCr,
Ferner war der Prozentsatz der Verminderung des Kerr-Drehungswinkels, der den Wirkungsgrad beim Auslesen wiedergibt,
geringer als in Beispiel 1 und betrug bei Probe 2-4 etwa 101.
(Beispiel 3)
Stücke aus 50! Gd und 50? Tb, deren Seiten jeweils eine Länge
von 5 mm hatten und die auf einer Legierung aus 301 Co _n und 70! Fe gleichmäßig angeordnet waren, wurden als erstes
Target verwendet, und eine Legierung aus 40! Cr und 60! Ni wurde als zweites Target verwendet, um ähnlich wie in
Beispiel 1 GdTbFeCoNiCr-Dünnschichten mit einer Dicke von 0,2 pm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend
j. gezeigt werden, herzustellen.
Zusammensetzung
Probe 3-1: {(GdQ,S1130,5)0,22(Fe0,7Co0,3)0,78>0,95(Ni0,6^,43O5OS
PrObe 3"2: ^S,5Tb0,5)0,22(Fe0,7Co0,3)0,78}0,90(Ni0,6Cr0,4)0,10
Probe 3-3: {(Gd0,5Tb0,5)0,22CFe0,7Co0,3}0,78>0,85(Ni0,6Cr0,4)0,15
Probe 3-4: {(GdQ,5^0,530,22(Fe0,700O5S30,78>0,80(NiO,6CrO,4)0,20
Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt wor-35
den, daß diese Dünnschichten amorph sind.
-13- DE 4400
Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der
ähnlich wie in Beispiel 1 mit den Dünnschichten des vorstehend beschriebenen Aufbaus, die in einen Thermohygrostaten
mit 80 C und einer relativen Feuchte von 85% hineingebracht worden waren, durchgeführt wurde, werden in Fig.
gezeigt. Die in Fig. 3 angegebenen Bezugszahlen entsprechen den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden y.
und auch die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele wie ^q in Fig. 1 und das Ergebnis der Probe 1-5 werden gezeigt,
und ferner wird das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs gezeigt, der unter den selben Bedingungen mit einem
aus GdTbCo gebildeten magnetooptischen Aufzeichnungsmaterials durchgeführt wurde.
Es ist festgestellt worden, daß eine GdTbFeCoNiCr-Dünn-
schicht im Vergleich mit einer GdTbFeCo-Dünnschicht eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit hat und eine bessere
Korrosionsbeständigkeit hat als GdTbFe- und GdTbFeCr-Dünn-„n
schichten. Ferner betrug der Prozentsatz der Verminderung des Kerr-Drehungswinkels bei Probe 3-4 etwa 121.
(Beispiel 4)
2f- Unter Verwendung einer Legierung aus 201 Cr und 801 Ni als
zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich blieben, wurden GdTbFeCoNiCr-Dünnschichten
mit einer Dicke von 0,2 pm und verschiedenen
Zusammensetzungen, die nachfolgend gezeigt werden, herge-Stellt:
Zusammensetzung
Probe 4-1: ((Gd0,515O,5)0,22(FeO,7CoO,3)0,78lo,95(NiO,8CrO,2)0,05
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1 | Probe | 4-2: |
Probe | 4-3: | |
Probe | 4-4: | |
5 | ||
V22(F%7&0,3)0,7e>0,80(Ni0,8 Cr0,2)0,20
Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt worden, daß diese Dünnschichten amorph sind.
Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der ähnlich wie in Beispiel 1 mit den Dünnschichten des vorstehend
beschriebenen Aufbaus, die in einen Thermohygrostaten mit δθ C und einer relativen Feuchte von 8 51 hineingebracht
worden waren, durchgeführt wurde, ist in Fig. 4 gezeigt. Die in Fig. 4 gezeigten Bezugszahlen entsprechen
den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, und auch die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele wie in
Fig. 3 und das Ergebnis von Probe 1-5 werden gezeigt. In Beispiel 4 ist festgestellt worden, daß GdTbFeCoNiCr-Dünn-
20
schichten, bei denen das Verhältnis von Ni zu Cr Ni/Cr =
δ/2, eine höhere Haltbarkeit haben als die Dünnschichten von Beispiel 3. Ferner war der Prozentsatz der Verminderung
des Kerr-Drehwinkels kleiner als der Prozentsatz in Bei- ·
spiel 3 und betrug bei Probe 4-4 etwa 7%. 25
(Beispiel 5)
In einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung wurde die
Schwingquarzplatte einer Schichtdicken-Meßvorrichtung, bei
or)
der ein Quarzoszillator verwendet wird, als Substrat eingesetzt, während Tb-Stücke, deren Seiten jeweils eine Länge
von 5 mm hatten und die gleichmäßig auf einer Platte aus 301 Co und 70S Fe mit einem Durchmesser von 10,16 cm angeordnet
waren, als erstes Target verwendet wurden und eine Legierung aus 401 Cr und 601 Ni als zweites Target verwendet
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wurde. Das Innere der Kammer wurde evakuiert, bis ein Vakuum
von 1,5 χ 10 Pa oder weniger erreicht war, und danach wurde in die Kammer Ar-Gas bis zur Erzielung von 4x10 Pa
eingeleitet, und der Ar-Druck wurde durch Betätigung des Hauptventils des Evakuiersystems auf einen Wert von 3 Pa
gebracht. Zu dieser Zeit wurde an die Substratseite aus einer RF-Stromquelle eine Spannung angelegt, so daß die
Eigenvorspannung 80 V betrug. Auf diese Weise wurden TbFeCoNiCr-Dünnschichten
mit einer Dicke von 0,2 μπι und verschiedenen
Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt:
Zusammensetzung
Probe 5-1: {™0,18(Ρβ0,7*0,3 Wo,95CNiO,6&G,4Vo5
Probe 5"2: i™0,18(F%7^0,3^82*0,90(VeCr0,430,10
Probe 5-3: {>0,18(Fe0 Jto0,3V82>0,
Probe 5-4:
Probe 5-4:
Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt
worden, daß diese Dünnschichten amorphe Dünnschichten sind.
Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der mit den Legierungsdünnschichten des vorstehend beschriebenen
Aufbaus, die in denselben Thermohygrostaten mit 80 C
und einer relativen Feuchte von 851, der in Beispiel 1 verwendet wurde, hineingebracht worden waren, durchgeführt wur
de, ist in Fig. 5 gezeigt. Die in Fig. 5 angegebenen Bezugs
-16- DE 4400
zahlen entsprechen den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden. Ferner werden die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele
wie in Beispiel 1 und das Ergebnis eines Beispiels mit TbFeCo (als Kurve 20) gezeigt.
In Beispiel 5 ist festgestellt worden, daß die TbFeCoNiCr-Dünnschicht
im Vergleich zu der TbFeCo-Dünnschicht, die weder Ni noch Cr enthält, hinsichtlich der Korrosionsbe-
■jo ständigkeit in besonderem Maße verbessert ist. Es ist auch
festgestellt worden, daß die TbFeCoNiCr-Dünnschicht eine bessere Korrosionsbeständigkeit hat als die üblichen
GdTbFe- und GdTbFeCr-Dünnschichten. Ferner war bei der
TbFeCoNiCr-Dünnschicht der Prozentsatz der Verminderung
,p. des Kerr-Drehungswinkels, der mit dem Wirkungsgrad beim
Auslesen in Beziehung steht, selbst in dem Fall klein, wenn die Menge von Ni und Cr größer wurde, und dieser Prozentsatz
betrug bei Probe 5-4 etwa 101.
(Beispiel 6)
Dünnschichten wurden in —der gleichen Weise wie in Beispiel
5 hergestellt. In diesem Fall war die Eigenvorspannung gleich 0, und TbFeCoNiCr-Dünnschichten mit einer Dicke von
_p- 0,2 pm und verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend
gezeigt werden, wurden hergestellt:
Zusammensetzung Probe 6-1:
Probe 6-2
Probe 6-3
-17- DE 4400
Probe 6-4:
Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt worden, daß diese Dünnschichten amorph sind.
Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der ähnlich wie in Beispiel 1 mit diesen Dünnschichten, die
in einen Thermohygrostaten mit 80 C und einer relativen Feuchte von 851 hineingebracht worden waren, durchgeführt
wurde, ist in Fig. 6 gezeigt. Die in Fig. 6 angegebenen Bezugszahlen entsprechen wieder den Zahlen, mit denen die
Proben bezeichnet werden, und ferner werden die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele wie in Fig. 5 und das Ergebnis
von Probe 5-5 gezeigt.
In Beispiel ist wieder festgestellt worden, daß die TbFeCoNiCr-Dünnschicht eine höhere Korrosionsbeständigkeit
hat als GdTbFe-, GdTbFeCr- und TbFeCo-Dünnschichten.
Ferner betrug der Prozentsatz der Verminderung des Kerr-Drehungswinkels
bei Probe 6-4 nach 10 Tagen etwa 131. Da die Vorspannung während der Herstellung der Dünnschichten
in Beispiel 6 0 betrug, trat eine auffällige säulenartige Struktur auf, und im Vergleich zu Beispiel 5 war die Dichte
gering und die Korrosion schnell. Daraus ist geschlossen worden, daß die Korrosionsbeständigkeit in höherem Maße
verbessert wird, wenn Dünnschichten mit einer an das Mate- ■ rial angelegten Vorspannung hergestellt werden.
(Beispiel 7)
Unter Verwendung einer Legierung aus 201 Cr und 801 Ni als
zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 6 ähnlich blieben, wurden TbFeCoNiCr-Dünnschichten
mit einer Dicke von ü,2 μτη und verschiedenen
' :
3-44Ö391
-18- DE 4400
Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt:
Zusammensetzung
Probe 7-1: {
Probe 7-2:
Probe 7-3:
15
15
Probe 7-4: {Tb0,17(Fe0,7to0,3^83>0
Als Ergebnis der Röntgenstrahlbeugung ist festgestellt
worden, daß diese Dünnschichten amorph sind.
Das Ergebnis eines Korrosionsbeständigkeitsversuchs, der ähnlich wie in Beispiel 1 mit den Dünnschichten des vorstehend
beschriebenen Aufbaus, die in einen Thermohygrostaten mit 850C und einer relativen Feuchte von 851 hineingebracht
worden waren, durchgeführt wurde, ist in Fig. 7 gezeigt. Die in Fig. 7 angegebenen Bezugszahlen entsprechen
wieder den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, und ferner werden die Ergebnisse derselben Vergleichsbeispiele
wie in Fig. 5 und das Ergebnis von Probe 5-5 gezeigt.
In Beispiel 7 ist wieder festgestellt worden, daß die TbFeCoNiCr-Dünnschicht im Vergleich zu GdTbFe-, TbFeCo-und
GdTbFeCr-Dünnschichten eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit hat. Ferner betrug der Prozentsatz der Verminderung
des Kerr-Drehungswinkels bei Probe 7-4 nach Ablauf von 10 Tagen etwa 8 %.
-19- DE 4400
(Beispiel 8)
In einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung wurde eine
Weißglasplatte, deren Seiten jeweils eine Länge von 76,2 mm hatten, als Substrat eingesetzt, während Gd-, Tb- und Co-Stücke,
deren Seiten jeweils eine Länge 5 mm hatten und die auf Fe mit einem Durchmesser von 10,16 cm gleichmäßig angeordnet
waren, als erstes Target verwendet wurden und Ni -,Q mit einem Durchmesser von 10,16 cm als zweites Target verwendet
wurde.
Das Innere der Vorrichtung wurde bis zu einem Vakuum von 1,5 χ 10 Pa oder weniger evakuiert, und danach wurde in
, ,- die Vorrichtung Ar-Gas bis zur Erzielung von 4x10 Pa
eingeleitet, und der Ar-Druck wurde durch Betätigung des Hauptventils des Evakuiersystems auf einen Wert von 3 Pa
gebracht. Dem ersten Target wurde aus einer Hochfrequenz-Stromquelle
eine konstante Zerstäubungsleistung von 250 W zugeführt, und gleichzeitig wurden dem zweiten Target verschiedene
Zerstäubungsleistungen zugeführt, wodurch auf dem Substrat GdTbFeCoNi-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen,
die nachstehend gezeigt werden, hergestellt wurden:
Zusammensetzung Probe 8-1: {(Gd 5Tb0 5)Q (Fe gCo )Q g}Q gQ7Ni
Probe 8-2: {(Gd^iy^^ (Fe^Co^ 1 )0i79}o;9gNio;oi
Probe 8-3: UGd^Tb^)^^ fFe^gCo^ , )0)79}0)95Ni0,05
"··'··'" -:- - 3ÜÖ391
-20- DE 4400
1 | Probe | 8-4: |
Probe | 8-5: | |
5 | Probe | 8-6: |
^^Ι (Fe0,9Co0,1 ^Ο^Λ,^Ο,Ι
V2I (F^9C^,1 V79}o,85NiO,15
Die vorstehend erwähnten GdTbFeCoNi-Dünnschichten und die ^q GdTbFeCo-Dünnschichten (Vergleichsbeispiele) wurden einem
Korrosionsbeständigkeitsversuch in einem Thermohygrostaten mit 550C und einer relativen Feuchte von 75! unterzogen.
Die Ergebnisse des Versuchs sind in Fig. 8 gezeigt.
.p. In Fig. 8 stellt die Ordinate das Verhältnis der Koerzitivkraft
zu dem Anfangswert in einem willkürlichen Maßstab dar, und die Abszisse stellt den Zeitablauf dar, und die
Verminderung der Koerzitivkraft zeigt das Fortschreiten der Korrosion. Die Meßwerte der einzelnen Proben sind mit Bezugszahlen
bezeichnet, die den Zahlen, mit denen die Proben bezeichnet werden, entsprechen, und die Bezugszahl 21 zeigt
zum Vergleich das Ergebnis, das bei einem Vergleichsbeispiel in Form der bekannten GdTbFeCo-Dünnschicht, zu der
kein Ni hinzugegeben wurde, erhalten wurde.
Wie aus Fig. 8 hervorgeht, zeigte die GdTbFeCo-Dünnschicht, die kein Ni enthält, in etwa 200 h eine merkliche Verminderung
der Koerzitivkraft. Wenn der Ni-Gehalt in GdTbFeCo zunimmt, wird die Verminderung der Koerzitivkraft geringer,
und die Korrosionsbeständigkeit nimmt zu. Ferner neigt ei-30
ne amorphe magnetische Dünnschicht bei einer relativ niedrigen Temperatur dazu, eine Strukturänderung wie z.B. eine
Kristallisation hervorzurufen, und ihre Eigenschaften als magnetooptisches Material werden manchmal beeinträchtigt,
jedoch wurde durch die Zugabe von Ni die Kristallisations-35
temperatur erhöht und die Wärmebeständigkeit verbessert.
-21- DE 4400
(Beispiel 9)
GdTbFeNiCr-Dünnschichteji mit verschiedenen Zusammensetzungen,
g die nachstehend gezeigt werden, wurden in derselben Weise wie in Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch die Anzahl der
auf dem ersten Target angeordneten Gd- und Tb-Stücke verändert wurde. Dann wurden diese Dünnschichten und die ähnlich
hergestellte GdTbFe-Dünnschicht als Vergleichsbeispiel
-,Q einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der dem
in Beispiel 1 durchgeführten Versuch ähnlich war. Die Gewichtszunahmen nach 4 Tagen, die bei diesem Versuch mit den
Dünnschichten von Beispiel 9 gemessen wurden, werden nachstehend zusammen mit den Zusammensetzungen dieser Dünn-
, p- schichten gezeigt, wobei die Gewichtszunahmen als Vergleichswerte angegeben sind, die auf die Gewichtszunahme bei der
GdTbFe-Dünnschicht nach 4 Tagen, der ein Wert von 100 zugeordnet wird, bezogen sind.
Zusammensetzung Gewichtszunahme
21Fe0 ^Ο,ΘΟ^οΛΛ, 10
Probe 9-1: {(GdQjos^O.gsV 21Fe0 ^ΟΘΟ^οΛΛ 10 55
Probe 9-2: i(«Oj 10™0,90 V21F%79h,90(Ni0,6Cr0,4)0,10 50
Probe 9-3: ((^^^V 21*0,79*0 V^Ä^™ 50
Probe 9-4: {(Gd^^50^ 10Fe0^gQ}0^(Ni0^Cr0^10 40
Probe 9-5: i(Gd0)50Tb0j50)Q>15Fe0j85}0)90(Ni0)6Cr0)4)0j10 45
Probe 9-6: {(Gd050Tb050)025Fe075}090(Ni06Cr04)010 50
Probe 9-7: 1^^^^)^^ ^Fe0 ^0 ^m0 ^ ^) Q ^ 50
Probe 9-8: ί ^,50 VsoV SS^OsVsO^O^O^OJO 55
-22- DE 4400
(Beispiel 10)
Unter Verwendung einer Legierung aus 90g Cr und 101 Ni,
einer Legierung aus 80! Cr und 20! Ni und einer Legierung
aus 5! Cr und 95s Ni als zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich waren,
wurden GdTbFeNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt.
Diese Dünnschichten wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt
wurde, und das Ergebnis des Versuchs wird nachstehend ähnlich wie in Beispiel 9 gezeigt.
Zusammensetzung Gewichtszunahme
Probe 10-1 : ((^,50™0,50 ^ZI^V^O^O^O,10 60
Probe 10-2: (C^,50^50 V^O,79)θ,90 (NiO,2OCrO,8oViO 55
Probe lO-SiiCGdo^oTbo^^^^Fe^^o^QCNi^gQCrQ^Q)^^ 45
(Beispiel 11)
In Beispiel 1 wurde als erstes Target eine Legierung aus 30! Cr und 70! Fe mit darauf angeordneten Gd- und Tb-Stücken,
deren Anzahl verändert wurde, verwendet, und die anderen Bedingungen waren ähnlich wie die Bedingungen in Beispiel 1,
wodurch GdTbFeCoNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt
wurden. Dann wurden diese Dünnschichten und die in ähnlicher Weise hergestellte GdTbFeCo-Dünnschicht als Vergleichsbeispiel
einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde. Die Gewichts-
-23- DE 4400
zunahmen, die in Beispiel 11 bei diesem Versuch nach 4 Tagen erhalten wurden, werden nachstehend zusammen mit den
Zusammensetzungen gezeigt, wobei die Gewichtszunahmen als Vergleichswerte angegeben sind, die auf die Gewichtszunahme
bei der GdTbFeCo-Dünnschicht nach 4 Tagen, der ein Wert von 100 zugeordnet wird, bezogen sind.
Tabelle 11 Zusammensetzung Gewichtszunahme
Probe 11-1:
^Nl0,60Cr0,40)0,10
Probe 11-2: U^^^^i^^CD^)^^^
Probe 11-3: (Ni0,60Cr0,40Vi0
Probe 11-4: {^ο^ο^ο,ΒΟ^Ο,ΙΟ^Ο,ΤΟ^Ο^Ο^Ο,Α,ΘΟ
Probe 11-5:
u 0,60 0,4(r0,10 Probe 11-6:
jiii))90 3Q
^
Probe 11-7: ί^0,50^0,5O3O5SO^O,70000,30}0,70^0,90
-24- DE 4400
Probe 11-8:
(Nl0,60Cr0,40^0,10
(Beispiel 12)
Unter Verwendung von FeCo-Degierungen mit \rerschiedenen
Zusammensetzungen als erstes Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich waren,
wurden GdTbFeCoNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt.
Diese Dünnschichten wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt
wurde, und die Ergebnisse des Versuchs werden nach-
stehend ähnlich wie in Beispiel 11 gezeigt.
Zusammensetzung Gewichtszunahme
Probe 12-1: i(Gd0>50Tb0j50)0)22(Fe0)95Co0i05)0j78}0>90 3S
^1O,60Cr0,40^0,10
Probe 12"2: ■^(Gd0,50Tb0,50)0,22(Fe0,90Co0,10)0,78>0,90 35
(NlO,60CrO,40-O,10
Probe 12-3: {
30
30
Probe 12-4: {(Gd0}50 Tb0,50)0,22(Fe0,60Co0,40)0,78J0,90 30
■* 344G391
-25- DE 4400
Probe 12-5:
Probe 12-6{0j500}500;220>350j650)78>0)90
^0,600170,40 ^ 0,10
Probe 12-7: i
^1O,60070,4(P 0,10
(Beispiel 13)
, ,- Unter Verwendung einer Legierung aus 301 Co und 701 Fe als
erstes Target und einer Legierung aus 901 Cr und 101 Ni,
einer Legierung aus 801 Cr und 201 Ni, einer Legierung aus
51 Cr und 95s Ni und von 1001-igem Ni als zweites Target,
wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen von Beispiel 1 ähnlich waren, wurden GdTbFeNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen
Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, und eine GdTbFeNi-Dünnschicht hergestellt. Diese Dünnschichten
wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde, und
das Ergebnis des Versuchs wird nachstehend ähnlich wie in Beispiel 11 gezeigt.
Zusammensetzung Gewichtszunahme
Probe 13-1: •f(Gd0,50Tb0,50)0522(Fe0,70Co0,30)0,78^0,90 40
(Nio, OS01O^ 0,10
PrObe 13"2: £(SVVSO3O12Z0^OJO00OVo,73*0,90 35
Probe 13-3:
-26- DE 4400
Vo,?^ 0,90 25
Probe 13-4: «S,50^0,50 V22(Fe0,70Co0,30)0,78>0,90 60
Ni0,10
(Beispiel 14) 10
TbFeCoNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, wurden unter denseL-ben
Bedingungen wie in Beispiel 5 hergestellt, wobei die Anzahl der auf dem ersten Target angeordneten Tb-Stücke
jedoch verändert wurde. Dann wurden diese Dünnschichten und die in ähnlicher Weise hergestellte TbFeCo-Dünnschicht als
Vergleichsbeispiel einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde.
Die Gewichtszunahmen, die in Beispiel 14 bei diesem Versuch nach 4 Tagen erhalten wurden, werden nachstehend zusammen
mit den Zusammensetzungen gezeigt, wobei die Gewichtszunahmen als Vergleichswerte angegeben sind, die auf die
Gewichtszunahme bei der TbFeCo-Dünnschicht nach 4 Tagen, der ein Wert von 100 zugeordnet wird, bezogen sind.
25
Zusammensetzung Gewichtszunahme
Probe 14-1: {T\i0(Fe0,70&0,30V9oV90(NiO,60CrO,40}0,10 30
30
Probe 14-2: fnJojs^O.yO^O.SO^.esJo.gO^O.ÖO^O^O^.IO 35
Probe 14-3: {™0,25 ^0,7O00O1SoVs* 0,90^0,6001OVo,10 40
35
-27- DE 4400
Probe 14-4: (Tb^30(Fe0 ^Co0 ^)0j70>0,90(NiO,60CroVo,10 40
Probe 14-5: £™0,35(ΡβΟ,70&0 Vo.öS^gO^O.ÖO^oVo.iO 45
(Beispiel 15)
Unter Verwendung von FeCo-Legierungen mit verschiedenen Zusammensetzungen
und eines Tb-Stückes als erstes Target
oder von Tb-Stücken und Co-Stücken, deren Seiten jeweils eine Länge von 5 mm hatten und die auf Fe angeordnet waren,
als erstes Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen in Beispiel 5 ähnlich waren, wurden TbFeCoNiCr-Dünnschichten
mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nach-
stehend gezeigt werden, hergestellt. Diese Dünnschichten
wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt wurde, und das
Ergebnis des Versuchs wird nachstehend ähnlich wie in Beispiel 14 gezeigt.
20
20
Zusammensetzung Gewichtszunahme
o.no.ggo.o^o.eso.goo.eo.^o.io 4S
Probe 15-2: fa0 jy^OgO^IO^esJo V^OÖ^O^O™ 4Q
Probe 15-3:
30
30
Probe 15-4: {Tb0)17(Fe0j60Co0)40)0}83}0)90(Ni0j6Cr0)4)05l0 3f-
Probe 15-5:
'-' -" : ' · 344Ü391
-28- DE 4400
Probe 15-6: H17(F%35C
,17(F%35C%65 Vs^SO^Ö^ViO 25
Probe 15-7:
(Beispiel 16)
Unter Verwendung einer Legierung aus 901 Cr und 101 Ni,
einer Legierung aus 80? Cr und 201 Ni und einer Legierung
aus Sl Cr und 951 Ni als zweites Target, wobei die anderen Bedingungen den Bedingungen in Beispiel 5 ähnlich waren,
wurden TbFeCoNiCr-Dünnschichten mit verschiedenen Zusammensetzungen, die nachstehend gezeigt werden, hergestellt.
Diese Dünnschichten wurden einem Korrosionsbeständigkeitsversuch unterzogen, der ähnlich wie in Beispiel 1 durchgeführt
wurde, und das Ergebnis des Versuchs wird nachstehend ähnlich wie in Beispiel 14 gezeigt.
Tabelle 16
20
20
Zusammensetzung Gewichtszunahme
Probe 16-1:
Probe 16-2: ^0,ly^OJoS^O^.SS^O^O^O^O^O,8O3OJO 40
Probe 16-3:
Wenn eine bekannte Schutzschicht oder eine auch als Schutzschicht dienende Antireflexschicht oder eine Wärmeisolierschicht
auf dem erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsmaterial ausgebildet wird und das Aufzeichnungsmaterial
dadurch hergestellt wird, daß die Aufzeichnungsschicht
beispielsweise durch das in den Beispielen angewandte Zer-35
stäubungsverfahren oder das Vakuumaufdampfungsverfahren auf
-29- DE 4400
ein Substrat wie z.B. Glas, Metall oder Kunststoff laminiert wird, wird die Korrosionsbeständigkeit weiter verbessert.
Natürlich wird die Korrosionsbeständigkeit auch verbessert, wenn aus dem Aufzeichnungsmaterial in der bekannten Weise
eine Luftsandwichstruktur, in die Inertgas eingeschlossen ist, hergestellt wird.
Claims (1)
- T1edtke-Bühling-K^ä;-Grdpe:::P f* ** "Cj* ------ *- - Dipl.-Ing. H.TiedtkeHELLMANN - URAMS - OTRUIF Dipl.-Chem. G. BühiingDipl.-Ing. R. Kinne Dipl.-Ing. R Grupe Dipl.-lng. B. Pellmann Dipl.-Ing. K. Grams 3 91 Dipl.-Chem. Dr. B. StruifBavariaring 4, Postfach 2024( 8000 München 2Tel.: 0 89-539653 Telex: 5-24845 tipat Telecopier: 0 89-537377 cable: Germaniapatent Münchi5. November 1984 DE 4400Patentansprüche1. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial mit einer Dünnschicht aus einer amorphen magnetischen Legierung, dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschicht aus einer Legierung mit der folgenden Zusammensetzung besteht und
eine Achse der leichten Magnetisierbarkeit in einer zu der Oberfläche der Dünnschicht senkrechten Richtung hat:py
worin 0 £ χ £0,9, 2 sr y & 1,00,05^ ζ £ 1 ,00,1 ^ ρ £0,52. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch L, dadurch gekennzeichnet, daß die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge 20 bis 90 Atom-! beträgt.3. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die auf die Gesamtmenge von Ni und Cr bezogene Ni-Menge 60 bis 80 Atom-? beträgt.4. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die auf die Gesamtmenge von-2- DE 4400Gd, Tb, Fe und Co bezogene Gesamtmenge von Gd und Tb 15 bis30 Atom-! beträgt.5 5. Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aus der Legierung bestehende Dünnschicht Gd und/oder Co enthält.
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