DE3425111A1 - Vorrichtung zur durchfuehrung von plasmaentladungen in gasen - Google Patents

Vorrichtung zur durchfuehrung von plasmaentladungen in gasen

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DE3425111A1
DE3425111A1 DE19843425111 DE3425111A DE3425111A1 DE 3425111 A1 DE3425111 A1 DE 3425111A1 DE 19843425111 DE19843425111 DE 19843425111 DE 3425111 A DE3425111 A DE 3425111A DE 3425111 A1 DE3425111 A1 DE 3425111A1
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DE19843425111
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Rolf Dr.-Ing. 5000 Köln Manz
Friedrich Dipl.-Chem. 5353 Mechernich Suppan
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Walther and Co AG
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Walther and Co AG
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    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J12/00Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor
    • B01J12/002Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor carried out in the plasma state
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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    • B01J19/08Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/087Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
    • B01J19/088Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
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    • C01B13/11Preparation of ozone by electric discharge
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    • C01B2201/40Preparation of ozone by electrical discharge using several dischargers in series
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    • C01INORGANIC CHEMISTRY
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Description

  • Vorrichtung zur Durchführung von Plasmaentladungen in
  • Gasen Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung von Plasmaentladungen in Gasen, mit mindestens einem Strömungskanal, dessen Wände Elektroden aufweisen, zwischen denen die Entladungen erfolgen, und mit einer elektrischen Energiequelle, die aufeinanderfolgende Impulse an die Elektroden legt.
  • Es ist bekannt, durch Plasmaentladungen chemische Reaktionen in Gasen hervorzurufen. Beispielsweise wird auf diese Weise Ozon (03) erzeugt. Ozon, das großtechnisch im wesentlichen für die Aufbereitung von Trinklvasser benutzt- und in Mengen bis zu 200 kg pro Stunde erzeugt wird, kann theoretisch mit einer spezifischen Energie von 1,43 klVH/kg O3 hergestellt werden. In der Praxis variiert jedoch der spezifische Energiebedarf je nach Konzentration und Betriebsgas zwischen 7 und 35 Wh pro g O3. Im günstigsten Falle wird also ein Wirkungsgrad von 20% erreicht. Der Rest der zugeführten Energie, 80%, wird in Wärme umgewandelt und muß mit Hilfe von Kühlflüssigkeit abgeführt werden, da sie die mit der Ozonbildung gleichzeitig einhergehende Ozonzerstörung stark begünstigt. So würde sich ein Gasvolumen von 10m3 Sauerstoff, aus welchem bei einer Konzentration von 100 g O3 / Nm3 1 kg Ozon pro Stunde mit einem Energieaufwand von 7 KWh hergestellt werden kann, bei adiabatischer Prozeßführung um ca.
  • 1397° C erwärmen. Einer Engergiebegrenzung stehen bei den konventionellen Verfahren eine Reihe technischer Hindernisse entgegen. Man hat zwar die Energieausbeute dadurch steigern können, daß das Betriebsgas sehr kurzen energiereichen Entladungsimpulsen ausgesetzt wird oder daß die Energie der Plasmaentladung in Richtung zunehmender Ozonkonzentration reduziert wird; eine durchgreifende Verbesserung ist jedoch nicht erzielt worden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, daß die thermischen Energieverluste bei der Entladungsreaktion wesentlich herabgesetzt werden.
  • Die Lösung dieser Aufgabe besteht erfindungsgemäß darin, daß in dem Strömungskanal Entladungsstrecken, die beidseitig von Elektroden begrenzt sind, und Kühlstrecken, in denen keine Entladung stattfindet, einander abwechseln.
  • Die Erfindung geht von folgendem Gedanken aus: Bei der Ozonerzeugung wird an einer Entladungsstrecke aus der Luft, die diese Entladungsstrecke durchströmt, zunächst ein Teil des molekularen Sauerstoffs, 02, gespalten.
  • Dabei entsteht aomarer Sauerstoff. Dieser atomare Sauerstoff verbindet sich mit molekularem Sauerstoff O2 zu O3. Bei einer durchgehenden Entladungsstrecke erhöht sich infolge der über die gesamte Länge erfolgenden Plasmaentladung die Temperatur des die Vorrichtunq durchströmenden Gases stetig. Aufgrund der hohen Gastemperatur zerfällt ein Teil des gebildeten Ozons wieder. Außerdem entstehen in hohem Maße schädliche Ionen, die im Ozon unerwünscht sind. Nach der Erfindung wird das Gas jeweils nur beim Durchströmen einer kurzen Entladungsstrecke der Plasmaentladung ausgesetzt und beim Durchströmen der anschließenden Kühlstrecke wieder gekühlt, bevor die nächste Entladungsstrecke erreicht wird. Dadurch wird das Gas während des Durchströmens des Kanals relativ kühl gehalten, so daß es nicht die hohen Temperaturen annehmen kann, wie bei den konventionellen Vorrichtungen. Die Folge sind eine erhöhte Ozonausbeute, da das gebildete Ozon nicht durch Wärmeeinwirkung wieder zerlegt wird, und ein erheblich verringerter Energieaufwand. Außerdem werden Ionen, die beim Durchströmen der einzelnen Entladungsstrecken frei werden, beim Durchlaufen der Kühlstrecken durch elektrostatische Kräfte aus dem Gas abgezogen.
  • Die Impulse, die an die Elektroden gelegt werden, müssen nicht notwendigerweise Rechteckimpulse sein. Als "Impulse sind in diesem Zusammenhang alle variierenden Spannungsverläufe zu verstehen, also auch beispielsweise eine Sinusspannung, deren beide Halbwellen jeweils funktionsmäßig als ein Impuls zu betrachten sind.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß die Gasgeschwindigkeit im Bereich jeder Entladungsstrecke wenigstens annähernd entsprechend der Beziehung v= Q k gewählt ist, wobei Q die Länge der Entladungsstrecke ist und k die Anzahl der Impulse pro Sekunde angibt.
  • Hierbei ist die Gasgeschwindigkeit an die Länge einer Entladungsstrecke derart angepaßt, daß jedes Volumenelement des Gases beim Durchlaufen der Entladungsstrecke jeweils der Wirkung genau eines Impulses ausgesetzt ist. Eine Volumeneinheit von der Größe des Volumens der Entladungsstrecke wird der Wirkung eines Impulses ausgesetzt und die sich daran anschließende nächstfolgende Volumeneinheit des Gases wird der Wirkung des nächstfolgenden Impulses ausgesetzt. Auf diese Weise erreicht man, daß das gesamte Gas in der Entladungsstrecke abschnittsweise behandelt wird, wobei die einzelnen Abschnitte sich direkt aneinander anschließen. Wenn der Kanal über seine gesamte Länge durchgehend konstanten Querschnitt hat, sind die Strömungsgeschwindigkeiten in den Bereichen der einzelnen Entladungsstrecken einander im wesentlichen gleich, so daß alle Entladunsstrecken die gleiche Länge haben können, wenn sie mit Impulsen derselben Frequenz beaufschlagt werden. Wenn sich dagegen die Gasgeschwindigkeit im Verlaufe des Kanals verändert, z.B. durch Änderung der Größe des Strömungsquerschnitts oder durch thermische Volumenänderung des Gases, dann ist es zweckmäßig, die Längen der nachfolgenden Entladungsstrecken an die veränderte Strömungsgeschwindigkeit anzupassen.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Längen der Kühlstrecken so bemessen, daß die zum Durchströmen einer Kühlstrecke benötigte Zeit ein ganzzahliges Vielfaches der zum Durchströmen einer Entladungsstrecke benötigten Zeit ist. Wenn die zu beiden Seiten einer Kühlstrecke angeordneten Entladungsstrecken mit gleichphasigen Impulsen angesteuert werden, wird diejenige Teilmenge des Gases, die in der ersten Entladungsstrecke einem Impuls ausgesetzt worden ist, nach Durchlaufen der Kühlstrecke in der nachfolgenden Entladungsstrecke ebenfalls einem Impuls ausgesetzt, so daß im Prizip jeweils die gleiche Teilmenge eine Einheit oder ein Bündel bildet, das nacheinander den einzelnen Entladungsstrecken zugeführt wird, ohne aufgeteilt zu werden. Die einzelnen Teilmengen bzw.
  • Bündel schließen sich direkt aneinander an, so daß das gesamte strömende Gas die gleiche Behandlung erfährt.
  • In den Kühlzonen sind Kühlvorrichtungen angeordnet, die das Gas auf eine Temperatur kühlen, die annähernd derjenigen Temperatur entspricht, mit der das Gas in die vorhergehende Entladungsstrecke eingeströmt ist.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann zahlreiche Strömungskanäle in vertikalen und/oder horizontalen Ebenen untereinander bzw. nebeneinander aufweisen. Hierbei können einige der Elektroden und der Kühlvorrichtungen doppelt genutzt werden, d.h. für einander benachbarte Strömungskanäle.
  • Zweckmäßigerweise weist der Strömungskanal auf der einen Seite eine durchgehende einzige Gegenelektrode und auf der gegenüberliegenden Seite mehrere mit Abständen angeordnete Elektroden auf. Die Gegenelektroden, die vorzugsweise an Massepotential liegen, erstrecken sich also über die gesamte Länge des Strömungskanals und somit auch über die Kühlzonen hinweg.
  • Dadurch können im Bereich der Kühlzonen Ionen nach Massepotential abgeleitet werden. Ferner besteht die Möglichkeit, die Gegenelektrode zugleich als Kühlvorrichtung auszubilden, die sich auch über den Bereich der Entladungsstrecken erstreckt.
  • Wenn das Gas in einer ersten Entladung ionisiert worden ist, kann es zweckmäßig sein, die nachfolgenden Entladungen mit geringerer Energiedichte durchzuführen.
  • Dies ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung dadurch möglich, daß die nachfolgenden Entladungsstrecken mit geringeren Spannungen betrieben werden oder daß die Dielektrizitätskonstanten der Dielektrika, die die Elektroden der nachfolgenden Entladungsstrecken bedecken, in Strömungsrichtung abnehmen.
  • Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung muß nicht notwendigerweise der Strömungskanal über seine gesamte Länge durchgehend und umfangsmäßig geschlossen sein. Es besteht auch die Möglichkeit, ein System von miteinander verzweigten Strömungskanälen zu schaffen. Wichtig ist nur, daß in jedem Kanalabschnitt, in dem eine Entladungsstrecke vorhanden ist, nachfolgend eine Kühlstrecke vorgesehen ist bzw. daß die Strömungsgeschwindigkeit in jeder Entladungsstrecke der oben angegebenen Beziehung v = Q k entspricht.
  • Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.
  • Es zeigen: Fig. 1 einen schematischen Querschnitt durch eine Vorrichtung zur Ozonerzeugung, Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie II-II von Fig. 1 und Fig. 3 die Impulsverhältnisse, denen zwei aufeinanderfolqende Teilmengen der Gasströmung beim Durchlaufen einer Entladungsstrecke ausgesetzt sind.
  • Gemäß Fig. 1 sind zwei parallele Strömungskanäle 10 vorgesehen, die in Richtung der eingezeichneten Pfeile kontinuierlich von Luft mit konstanter Strömungsgeschwindigkeit durchströmt werden. Jeder Kanal 10 ist auf einer Seite von einer Gegenelektrode 11 begrenzt, die an Massepotential liegt und sich über die gesamte Länge dieses Strömungskanals erstreckt. Die Gegenelektroden 11 sind als Kühlvorrichtungen ausgebildet, d.h. sie haben Hohlräume, die von einem Kühlmedium durchflossen werden. Es besteht auch die Möglichkeit, solche Kühlvorrichtungen zu verwenden, die nach dem Peltier-Effekt arbeiten.
  • Auf der der Gegenelektrode 11 abgewandten Seite des Strömungskanals 10 befinden sich mehrere Elektroden 121,122,123 usw.. Diese Elektroden sind auf der dem Strömungskanal 10 zugewandten Seite mit einem Dielektrikum 13 mit hoher Dielektrizitätskonstante bedeckt. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind sämtliche Elektroden 12 an eine gemeinsame Energiequelle 14 in Form eines Wechselspannungsgenerators angeschlossen.
  • Die Elektroden 12 bestehen aus metallischen Beschichtungen, die an den Flächen eines Stützkörpers 15 angebracht sind.
  • Zwischen jeweils zwei Elektroden 12 befindet sich an derselben Wand des Strömungskanals eine Kühlvorrichtung 16. Derjenige Längenbereich des Strömungskanals 10, in dem sich eine Elektrode 12 befindet, bildet eine Entladungsstrecke 17 von der Länge Q und der anschließende Bereich, in dem der Strömungskanal von der Kühlvorrichtung 16 begrenzt ist, bildet die Kühlstrecke 18. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel hat die Kühlstrecke die Länge 3Q.
  • Wie Fig. 2 zeigt, sind zahlreiche Kanäle 10, die abwechselnd Entladungsstrecken 17 und Kühlstrecken 18 aufweisen, nebeneinander in einer gemeinsamen Ebene angeordnet und durch Zwischenwände 19 voneinander getrennt. Der Stützkörper 15 erstreckt sich über die gesamte Querschnittsfläche der Entladungsvorrichtung, also zwischen zwei horizontalen Ebenen, von denen jede eine Gruppe von Kanälen 10 enthält. Die Vorrichtung weist also einen Schichtaufbau auf, wobei die einzelnen Schichten abwechselnd aus einer Gegenelektrode 11 und einem Stützkörper 15 mit den zugehörigen Elektroden 12, Dielektrika 13 und Kühlvorrichtungen 16 bestehen. Es können beliebig viele solcher Schichten übereinandergelegt werden. Jeweils ein Stützkörper 15 ist dabei für zwei Schichten von Kanälen 10 vorgesehen.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel besteht die Energiequelle 14 aus einem Wechselspannungsgenerator, der eine annähernd sinusförmige Wechselspannung erzeugt, die in Fig. 3 dargestellt ist. Die einzelnen Halbwellen dieser Wechselspannung werden als Impulse betrachtet. Die Impulse treten an den einzelnen Elektroden 121,122,123 ... gleichphasig zueinander auf. In Fig. 3 ist jeweils auf der Abszisse die Wegstrecke s des Gases im Strömungskanal 10 aufgetragen, vährend au; der Ordinate die Spannungsamplitude U aufgetragen ist.
  • Die Strömungsgeschwindigkeit des Gases im Strömungskanal 10 ist so bemessen, daß ein Gasmolekü-l im Mittel genau die Zeit eines Impulses (einer Halbwelle) benötigt, um die Entladungsstrecke 17 von der Länge 9 einer Elektrode 12 zu durchlaufen. Anschließend benötigt das Gasmolekül die Zeitdauer von drei Impulsen, um die Kühlstrecke 18 von der Länge 3Q zu durchlaufen.
  • Ein Abschnitt des Gasstromes von der Länge Q wird also an der Elektrode 121 einer Entladung durch den positiven Impuls 20 ausgesetzt (Fig. 3a). Der sich unmittelbar hieran anschließende Abschnitt des Gasstromes wird an derselben Elektrode 121 einem negativen Entladungsimpuls 21 ausgesetzt (Fig. 3b). Auf diese Weise wird die Gesamtlänge des Gasstromes an der Elektrode 121 mit gleicher Entladungsenergie beaufschlagt. Wenn diejenige Gasmenge, die an der Elektrode 121 mit einem positiven Impuls 20 beaufschlagt worden ist, nach drei Impulsen die nächstfolgende Elektrode 122 erreicht, wird sie dort wiederum mit einem positiven Impuls 20 beaufschlagt. Das gleiche gilt, wenn diese Gasmenge einer der nachfolgenden Elektroden 123 ... erreicht.
  • Für die sich daran anschließende Gasmenge gelten die Verhältnisse der Fig. 3b. Dies bedeutet, daß d-iese Gasmenge in Intervallen stets negativen Entladungsimpulsen 21 ausgesetzt wird. Dies liegt daran, daß die zum Durchlaufen einer Kühlstrecke 18 benötigte Zeit ein ungeradzahliges Vielfaches derjenigen Zeit ist, die zum Durchlaufen einer Entladungsstrecke 17 benötigt wird.
  • Die Anwendung von Impulsen wechselnder Polarität für die Energiezufuhr zu dem betrachteten Gasvolumen ist ebenfalls möglich. In diesem Fall muß die Zeit zum Durchlaufen der Kühlstrecke stets ein geradzahliges Vielfaches der Entladungszeit sein, da nur dann ein und dasselbe Gasvolument in der der Kühlstrecke folgenden Entladungszone mit dem gewünschten Impuls entgegengesetzter Polarität beaufschlagt wird.
  • Anstelle der nahezu sinusförmigen Spannung kann auch eine Rechteck-Impulsspannung benutzt werden Die Untergrenze der Frequenz liegt bei etwa 200 Hz. Der Impulsbetrieb ist zweckmäßig, damit keine Anhäufung von Ladungen gleicher Polarität auftritt, die zu einem Zusammenbruch der Entladung führt. Anstelle der Impulse 20 und 21 mit wechselnder Polarität können auch Impulse gleicher Polarität benutzt werden.
  • - Leerseite -

Claims (9)

  1. ANSPRUCHE 1. Vorrichtung zur Durchführung von Plasmaentladungen in Gasen, mit einem Strömungskanal, dessen Wände Elektroden aufweisen, zwischen denen die Entladungen erfolgen und mit einer elektrischen Energiequelle, die aufeinanderfolgende Impulse an die Elektroden legt, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Strömungskanal (10) Entladungsstrecken (17), die beidseitig von Elektroden (11,12) begrenzt sind, und Kühlstrecken (18), in denen keine Entladung stattfindet, einander abwechseln.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasgeschwindigkeit (v) im Bereich jeder Entladungsstrecke (17) wenigstens annähernd entsprechend der Beziehung v.= g g k gewählt ist, wobei (Q) die Länge der Entladungsstrecke (17) ist und (k) die Anzahl der Impulse pro Sekunde angibt.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Längen der Kühlstrecken (18) so bemessen sind, daß die zum Durchströmen einer Kühlstrecke benötigte Zeit ein ganzzahliges Vielfaches der zum Durchströmen einer Entladungsstrecke (17) benötigten Zeit ist.
  4. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zahlreiche Strömungskanäle (10) in vertikalen und/oder horizontalen Ebenen übereinander bzw. nebeneinander angeordnet sind.
  5. 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Strömungskanal (10) auf der einen Seite eine durchgehende einzige Gegenelektrode (11) und auf der gegenüberliegenden Seite mehrere mit Abständen angeordnete Elektroden (121,122,123,...) aufweist.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (12) auf ihren dem Kanal (10) zugewandten Oberflächen mit einem Dielektrikum (13) beschichtet sind.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Gegenelektrode (11) zwei benachbarte Kanäle (10) begrenzt.
  8. 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Energiedichte der Entladungen an den Entladungsstrecken (17) in Strömungsrichtung des Gases abnimmt.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Dielektrizitätskonstanten der Dielektrika (13) an den Entladungsstrecken (17) in Strömungsrichtung abnehmen.
DE19843425111 1984-07-07 1984-07-07 Vorrichtung zur durchfuehrung von plasmaentladungen in gasen Withdrawn DE3425111A1 (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997003746A1 (de) * 1995-07-14 1997-02-06 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und vorrichtung zur plasmachemischen zersetzung und/oder vernichtung von schadstoffen
DE102020124138A1 (de) 2020-09-16 2022-03-17 Tdk Electronics Ag Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung einer dielektrischen Barriereentladung

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1997003746A1 (de) * 1995-07-14 1997-02-06 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und vorrichtung zur plasmachemischen zersetzung und/oder vernichtung von schadstoffen
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