DE19627509C2 - Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Ozon - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Erzeugung von Ozon nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. nach dem Oberbegriff des Anspruchs 21.

Eine derartige Vorrichtung und ein solches Verfahren sind z. B. aus der DE 41 41 025 A1 bekannt. Dabei dient ein zwischen den Elektroden angeord­ netes Dielektrikum zur Erzeugung der sogenannten stillen Entladung.

Das Prinzip der Ozonerzeugung beruht auf der Disso­ ziation molekularen Sauerstoffs (O₂) zunächst zu atomarem Sauerstoff (O), der durch anschließende Anlagerung an Sauerstoffmoleküle (O₂) zur Bildung von Ozon (O₃) führt. Dabei werden die chemischen Reaktionen im einfachsten Fall unter Berücksichtigung der notwendigen Reaktionsenergien folgendermaßen beschrieben:

O₂ → 2 O - 5,116 eV

O + O₂ → O₃ + 1,084 eV

Hieraus folgt die Gesamtreaktion:

3/2 O₂ → O₃ - 1,474 eV

Daraus errechnet sich ein spezifischer Energiemin­ destaufwand von 0,82 kWh/kg, was zu einer maximalen, theoretischen Ozonausbeute von 1.220 g/kWh führt. Kommer­ zielle Ozonanlagen erreichen unter günstigsten Bedingungen jedoch im Verhältnis zur theoretisch möglichen Ozonaus­ beute nur eine Energieausnutzung von 14%.

Bei den bisher bekannt gewordenen Ozongeneratoren galt als Zielpunkt die Ozongenerierung zur Nutzung des Ozons, obwohl bekannt war, daß Ozon hochtoxisch ist und eine Halbwert­ zeit von mehr als 5 Stunden hat. Viele Anwendungen nutzen den toxischen Bereich (Keim-, Virenabtötung u. a. m.), andere den oxidativen Bereich (Bleichprozesse, industri­ elle Oxidation u. a. m.). So strebten die technischen Verbes­ serungen in der Hauptsache an, die Ozonausbeute zu verbes­ sern. Dabei besteht die Hauptproblematik darin, daß der Energieauf­ wand relativ hoch ist, da der größte Teil der in die Entladung eingespeisten Energie für die Ozonsynthese verloren geht und letztlich in Wärme umgewandelt wird. Da dieser Verluste wegen, der langen Halbwertszeit zur Erlan­ gung der für Oxidationsvorgänge notwendigen O-Radikale und der anschließenden Zerstörung des Restozons in vielen Anwendungsbereichen der Einsatz von Ozon unwirtschaftlich wurde, wird dieses Medium heute relativ zu seinen Einsatz­ möglichkeiten wenig genutzt.

Seit 1987 wird die Ozonproduktion erweitert in zwei Mechanismen beschrieben:

• - Zerfall des molekularen Sauerstoffs in den Grundzustand O₂(³Σ^-g)
• - Aktivierung des molekularen Sauerstoffs [O₂(¹Δg), O₂(¹Σ⁺g), O₂(³Σ^-g,v)]

Dabei können aktivierte Ozonstrukturen produziert werden:

• - Grundzustand [O₃(¹A₁)]
• - erregter Zustand [O₃(³B₂), O₃(¹A₁,v) und O₃(¹B₂)]
• - ionisierter Zustand O₃ ^- und O₃ ⁺

Aus einer schematischen Sicht läßt sich, wie oben beschrieben, der Prozeß ausgehend vom Grundzustand zusammenziehen:

3/2 O₂ → O₂ + O → O₃ oder O*
3/2 O₂ → O₂* O → O₃ oder O₃*

wobei O₃* die aktivierten Ozonstrukturen [O₃(³B₂), O₃(¹A₁,v) und O₃(¹B₂), O₃ ^- und O₃ ⁺] repräsentiert.

Die Halbwertzeit dieser aktivierten Ozonstrukturen wird als zwischen 70 msec und 70 sec liegend beschrieben, d. h. es stehen in kürzerer Zeit wesentlich mehr Radikale zu Oxidationszwecken zur Verfügung.

Für die Ozonsynthese in einer elektrischen Entladung ist grundsätzlich ein Plasma notwendig, das durch eine hohe Elektronentemperatur und eine niedrige Gastemperatur gekennzeichnet ist.

Die Produktion von aktivierten Ozonstrukturen wird erreicht, indem man nach der Dissoziation des molekularen Sauerstoffes (O₂) in atomaren Sauerstoff (O) und der darauf folgenden Bildung von Ozon (O₃) dieses schnellstmög­ lich dem Entladungsspalt entzieht. Damit wird u. a. verhin­ dert, daß durch Elektronenstoß im Entladungspalt bereits wieder der Zerfall bewirkt wird.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung und eine Verfahren zu schaffen, welche bzw. welches eine Produktion von Ozon mit erhöhter ozonäquivalenter Oxidati­ onsfähigkeit ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung nach Anspruch 1 sowie durch ein Verfahren nach Anspruch 21 gelöst.

Die erfindungsgemäße Lösung weist eine erstaunliche Vielzahl von Vorteilen auf:

Durch die Löcher wird Gas aus dem Strömungsweg, der bisweilen auch als Entladungsspalt bezeichnet wird, in den Abfführungsweg gelangen, und zwar sowohl das eingeführte Gas, als auch dissozierter Sauerstoff und bereits gebilde­ tes Ozon.

Das in den Abführungsweg gelangte Gas befindet sich in einem geschützten Raum; es ist nämlich keinen weiteren durch von außen angelegte Spannungen erzeugten Stoßentladungen ausgesetzt. Bereits gebildetes Ozon kann deshalb auch nicht durch induzierte Stöße zerstört werden.

Daraus folgt, daß mit der erfindungsgemäßen Vorrich­ tung der Anteil oder die Ausbeute von erzeugtem Ozon wesentlich höher als bei den bekannten Ozonisatoren ist.

Die Erfindung ist auch noch in einer anderen Hinsicht vorteilhaft:

In dem Abführungsweg werden sich weitere Sauerstoffa­ tome mit Sauerstoffmolekülen zu Ozon verbinden. Auch dieses erzeugte Ozon kann nicht mehr durch induzierte Stöße zerstört werden.

Hinzu kommt der weitere, bedeutsame Effekt, daß in dem Abführungsweg befindliche Moleküle und Atome, bei Elektrodenberührung elektrisch aufgeladen werden. Neu­ trale Sauerstoffatome werden je nach Art der Wandladung im Moment der Berührung positiv bzw. negativ aufgeladen. Diese elektrisch aufgeladenen Sauerstoffatome bilden zusammen mit Sauerstoffmolekülen aktivierte Ozonstruktu­ ren. Damit ist Ozon auf verschieden Energieniveaus und ionisiertes Ozon gemeint.

Es können auch elektrisch neutrale Ozonmoleküle mit der Elektrode in Berührung kommen und dabei elektrisch aufgeladen werden, wodurch ebenfalls aktivierte Ozonstrukturen gebildet werden.

Auch elektrisch geladene Sauerstoffatome können mit der Elektrodenwand in Berührung kommen und dabei elek­ trisch umgeladen werden. Das stört nicht, weil sowohl positiv geladene als auch negativ geladene Sauerstoffatome zusammen mit Sauerstoffmolekülen aktivierte Ozonstrukturen bilden können.

Die Tatsache, daß ein sehr hoher Anteil aktivierten Ozons gebildet wird, ist von erheblicher Bedeutung. Die Zerfallszeit aktivierten Ozons liegt nämlich im Bereich von Sekunden. Die Zerfallszeit von neutralem Ozon, wie es mit den bekannten Ozonisatoren erzeugt wird, liegt dagegen im Bereich von Stunden bis Tagen. Die Erfin­ dung erlaubt es somit, in gleicher Zeit wesentlich mehr Radikale zur Verfügung zu stellen, was für Oxidationsvorgänge entscheidend ist. Daher ist die ozonäquivalente Oxidationsfähigkeit bei gleichem Energie­ aufwand etwa um den Faktor 10³ größer als bei den bekannten Vorrichtungen und Verfahren.

Schließlich ist auch noch der Vorteil zu nennen, daß die erfindungsgemäße Vorrichtung und das entsprechende Verfahren mit wesentlich weniger oder auch ganz ohne Außenkühlung der Elektroden betrieben werden können. Das liegt daran, daß das durch die in Strö­ mungsrichtung gesehen ersten Löcher in den Abführungsweg austretende Gas nur geringfügig erwärmt ist. Es trägt somit im Abführungsweg sowohl durch direkten Kontakt mit der Elektrode als auch durch Verwirbelung des Gases im Abführungsweg zur Kühlung der Elektrode bei.

Mit dem Durchtritt durch die gasdurchlässige Elek­ trode werden die für die optimalen Reaktionsphasen wichti­ gen plasma-physikalischen Bedingungen erfüllt, daß die Elektronentemperatur größer sein muß als die Temperatur der im Gas vorhandenen Ionen, Atome und Moleküle.

Die Bildung des erregten Zustandes O₃(³B₂), O₃(¹A₁,v) und O₃(¹B₂) und O₃ ^- und O₃ ⁺ wird darüber hinaus durch die Kollision mit der Elektrodenwandung bzw. dem elektrisch leitenden Füllmaterial der Elektrode wesentlich begünstigt, bei der ein Elektronenaustausch stattfindet. Diese erzeugten Ozonstrukturen werden in einen Verwendungsraum oder -behälter geführt.

Auch können beide Elektroden Löcher zu Abführungswegen hin aufweisen, was eine Erhöhung der Ausbeute bewirkt.

Die äußere Begrenzungswand der Abführungswege kann im wesentlichen parallel zu der bzw. den Löcher aufweisenden Elektrode(n) angeordnet sein. Dadurch können gleiche Verhält­ nisse im den Entladungskanal bildenden Strömungsweg und im Abführungsweg aufrechterhalten werden.

Nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung hat die äußere Begrenzungswand der Abführungswege in Richtung des Strömungsweges gesehen einen veränderlichen Abstand zu der die Löcher aufweisenden Elektrode. Der Querschnitt kann in Längsrichtung größer oder kleiner oder wellenartig größer und wieder kleiner werden. Durch den veränderlichen Querschnitt der Abführungswege können die Druck- und die Stoßströmungsverhältnisse in gewünschter Weise beeinflußt werden.

Vorzugsweise sind die Elektroden mit elektrisch leitendem Material beschichtet. Bei Druckbelastungen kann dadurch stabileres Material nutzbar gemacht werden.

Der bzw. die Abführungsweg(e) kann/können an der dem Eingang des Strömungsweges zugewandten Seite geschlossen und an seinem/ihrem gegenüberliegenden Ende offen sein. Diese Weiterbildung dient zur Gestaltung der Führung der Strömung.

Der Strömungsweg kann an seinem dem Eingangsende gegenüberliegenden Ende geschlossen sein. Durch diese Weiterbildung der Erfindung wird alles im Strömungsweg befindliche Gas zwangsmäßig in und durch den/die Abführweg(e) geleitet.

Nach einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist die Elektrode bzw. sind die Elektroden so geteilt, daß sie jeweils einen Abführungsweg bildet/-n, wobei der dem Strömungsweg zugewandte Teil Löcher aufweist und der andere Teil ge­ schlossen ist. Diese Weiterbildung bringt eine bessere Nutzung der Wandeffekte.

Beide Teile der geteilten Elektrode können elektrisch miteinander verbunden sein. Sie können aber auch wahlweise mit verschiedenem Potential beaufschlagbar elektrisch angeschlossen sein. Das ermöglicht eine Nutzung der Poten­ tialdifferenzen zur Unterstützung der Kinetik der Ionisa­ tion.

Die Gasdurchlaßöffnungen der Löcher der Elektroden sind bevorzugt wahlweise regelbar ausgebildet, und zwar vorzugsweise entweder gleichmäßig oder auch variabel über die Länge des Strömungsweges. Diese Ausbildung bringt den Vorteil der möglichen Regelung der Druckverhältnisse zwischen Strömungsweg und Abführungsweg und damit auch die Möglichkeit der Wärmebeeinflussung.

Der oder die Abführungsweg(e) kann/können ein gasdurchlässiges Material enthalten. Das enthaltene Material verringert das verfügbare Durchströmungsvolumen und erhöht dadurch Molekül- bzw. Körperstoß zur O₃-Bildung.

Nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist das gasdurchlässige Material ein elektrisch leitendes Material. Das gasdurchlässige Material kann als Lage oder Lagen ausgebildet und mit elektrisch leitendem Material beschichtet sein.

Vorzugsweise ist/sind der bzw. die Abführungsweg(e) mit Gaszuleitungen verbunden. Dadurch ist die wahlweise Zuführung gewünschter Gase möglich, zum Beispiel, um die Bildung von Molekülen zu unterstützen oder zur Reduktion von NO_x-Bildung.

Ferner kann der Strömungsweg mit einer Druckregelein­ heit verbunden sein, welche den Betrieb wahlweise mit gleichbleibendem Druck, Überdruck oder Unterdruck ermög­ licht. Durch Einstellung der Druckbedingungen lassen sich die Leistung des Generators, die Belastung der Elektroden und höhere Spannungen und damit der Ablauf und die Effizienz des Verfahrens steuern.

Die Elektroden sind mit einer Stromversorgungseinheit verbunden, welche den Betrieb wahlweise mit Gleich­ strom, Wechselstrom oder steilflankigem Impulsstrom ermög­ licht. Durch optimale Einstellung läßt sich die O₃-Ausbeute in g/m³ erhöhen.

Es können mehrere Vorrichtungs- oder Ozonerzeugungseinheiten nach einem der vorhergehenden Ansprüche zu einer Einheiten-Gruppe zusammengeschaltet sein, wodurch der Leistungsdurchsatz erhöht werden kann. Die Einheiten einer Gruppe können mit einer gemeinsamen Gasverteilungseinheit kommunizierend verbunden sein. Auch das kann zu einer Erhöhung der Lei­ stung des Durchsatzes und zur Anpassung an Raumbedingungen genutzt werden.

Als Material für die Elektroden kann Aluminium, Titan oder anderes geeignete Material verwendet werden.

Zu den plasma-physikalischen Bedingungen gehört auch der Druck im Entladungskanal, der in den vorliegenden Unterlagen Strömungs­ weg genannt wird. Er beeinflußt die Zeit, über die in einem nichtther­ mischen Plasma die Bedingung aufrechterhalten werden muß, daß die Elektronentemperatur größer als die Temperatur der im Gas vorhandenen Ionen, Atome und Moleküle sein muß.

In den Schutzumfang fällt auch ein Verfahren zur Erzeugung von Ozon unter Verwendung der vorstehend in verschiedenen Varianten angegebenen Vorrichtung.

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen sowie den nachfolgend in Verbindung mit der Zeichnung beschriebenen Ausführungs­ beispielen.

In letzterer zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht eines erfindungsgemäßen Ozonisators,

Fig. 2 eine Anzahl von parallel geschalteten Ozongeneratoren, und

Fig. 3 einen Ozongenerator mit gasdurchlässigem Material in den Abführungswegen.

Die Fig. 1 zeigt eine schematische Schnittansicht eines erfindungsgemäßen Ozonisators oder Ozongenerators. Zwei geteilte Elektroden 10 sind mit etwa parallelem Abstand voneinander jeweils in einer Halterung 12 befestigt. Zwischen den beiden Elektroden 10 ist ein Dielektrikum 17 angeordnet. Zwischen jeder Elektrode 10 und dem Dielektrikum 17 ist ein Entladungskanal gebildet, der in der vorliegenden Beschreibung als Strömungsweg 14 bezeichnet ist.

Das Dielektrikum 17 ist an seinem in der Figur rechten Ende durch Teile 18 gehaltert, welche gleichzeitig das ihnen zugewandte Ende der Strömungswege 14 abschließen.

Die dem Strömungsweg 14 zugewandte Seite 10a jeder Elektrode 10 weist Löcher 20 auf, durch welche Gas aus dem Strömungsweg in die Abführungswege 16 strömen kann. Die andere Seite 10b jeder Elektrode 10 ist geschlossen.

Die Elektroden 10 sind mit einer Stromversorgung 22 elektrisch verbunden.

Die Abführungswege 16 sind über Ventile 24 an Leitungen 26 angeschlossen, über die wahlweise gewünschtes Gas in die Abführungswege 16 eingeleitet werden kann.

Im Betrieb wird das gewünschte Gas, z. B. Luft oder Sauerstoff, in Pfeilrichtung in die Strömungswege 14 eingeleitet, während die Elektroden 10 mit der gewünschten Spannung beaufschlagt werden. In den Strömungswegen 14 findet die sogenannte stille Entladung statt, bei der atomarer Sauerstoff und, durch Kombination atomaren Sauerstoffs mit molekularem Sauerstoff O₂, auch Ozon gebildet werden.

Die Sauerstoffatome und Ozonmoleküle, die durch eines der Löcher 20 in einen der Abführungswege 16 gelangen, befinden sich in einer sicheren Zone, in der keine hohen Spannungen vorhanden sind. Das dort befindliche Ozon wird durch den Ausgang der Abführungswege 16 abgeleitet und steht zur Nutzung zur Verfügung.

Es wird darauf hingewiesen, das bei den bekannten Ozonisatoren alles gebildete Ozon die gesamte Länge des Ionisierungsspaltes in Form der Strömungswege 14 durchströmen muß. Ein erheblicher Teil des bereits gebildeten Ozons wird dort auf seinem weiteren Weg durch den Ionisierungsspalt unter anderem durch elektrisch induzierte Stöße wieder vernichtet. Dadurch wird der Wirkungsgrad der bekannten Ozonisatoren erheblich herabgesetzt.

Durch den Zustrom von Gasen durch die verschiedenen Löcher 20 der Elektroden 10 in die Abführungswege 16 findet dort eine erheblich Verwirbelung statt. Diese fördert die gewünschten Wandkontakte der Gase. Damit werden zwei Vorteile sichergestellt. Zum einen werden Sauerstoffatome und Ozonmoleküle elektrisch aufgeladen oder umgeladen, was erwünscht ist. Zum anderen wird eine starke Erwärmung der den Strömungsweg 14 begrenzenden Elektroden 10 verhindert.

Die Fig. 2 zeigt eine Anzahl von Ozonerzeugungsvorrichtungen die parallel zueinander zu einer Einheiten-Gruppe zusammengeschaltet sind. Eine solche Ozongeneratoren- Batterie ermöglicht eine entsprechend erhöhte Erzeugung von Ozon und von Radikalen.

Die Fig. 3 zeigt eine Ozongeneratoreinheit, bei der in den Abführungswegen 16 gasdurchlässiges Material enthalten ist, dessen Wirkung oben beschrieben wurde.

Claims (23)

1. Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon mit einer Hochspan­ nungsquelle und mindestens zwei im Abstand zueinander angeordneten Rohr- oder Plattenelektroden (10) mit einem dazwischen angeordneten, mindestens einen zur Dissoziati­ on ankommenden Sauerstoffes verwendeten Strömungsweg ent­ lang den Elektroden bildenden Dielektrikum (17), wobei mindestens eine der Elektroden (10) Löcher (20) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Löcher (20) den Strömungsweg (14) mit einem Ab­ führungsweg (16) verbinden, in dem keine hohen Spannungen vorhanden sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide Elektroden (10) Löcher (20) zu Abführungswegen (16) hin aufweisen.

3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die äußere Begrenzungswand des wenigstens einen Abführungsweges (16) im wesentlichen parallel zu der bzw. den Löcher (20) aufweisenden Elek­ trode(n) (10) angeordnet ist.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die äußere Begrenzungswand des wenigstens einen Abführungsweges (16) in Richtung des Strömungswegses (14) gesehen einen veränderlichen Abstand zu der bzw. den Löcher (20) aufweisenden Elektrode(n) (10) hat.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Elektroden (10) mit elek­ trisch leitendem Material beschichtet sind.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß der bzw. die Abführungsweg(e) (16) an der dem Eingang des Strömungsweges (14) zugewand­ ten Seite geschlossen und an seinem/ihrem gegenüberlie­ genden Ende offen ist/sind.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß der Strömungsweg (14) an seinem dem Eingangsende gegenüberliegenden Ende geschlossen ist.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Elektrode oder Elektroden (10) so geteilt ist/sind, daß sie jeweils einen Abfüh­ rungsweg (16) bildet/-n, wobei der dem Strömungsweg (14) zugewandte Teil (10a) Löcher (20) aufweist und der andere Teil (10b) geschlossen ist.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß beide Teile einer geteilten Elektrode (10) elektrisch miteinander verbunden sind.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß beide Teile einer geteilten Elektrode (10) wahlweise mit verschiedenem Potential be­ aufschlagbar elektrisch angeschlossen sind.

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Gasdurchlaßöffnungen der Löcher (20) der Elektrode(n) (10) wahlweise regelbar aus­ gebildet sind.

12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Entladungselektroden (10) platten- oder rohrförmig sind.

13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß der oder die Abführungsweg(e) (16) ein gasdurchlässiges Material enthalten.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das gasdurchlässige Material ein elektrisch leitendes Material ist.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß das gasdurchlässige Material als Lage ausgebildet und mit elektrisch leitendem Material be­ schichtet ist.

16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß der bzw. die Abführungsweg(e) (16) mit Gaszuleitungen (26) verbunden sind.

17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß der Strömungsweg (14) eingangs­ seitig mit einer Druckregeleinheit verbunden ist, welche den Betrieb wahlweise mit gleichbleibendem Druck, Über­ druck oder Unterdruck ermöglicht.

18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Elektroden (10) mit einer Stromversorgungseinheit (22) verbunden sind, welche den Betrieb wahlweise mit Gleichstrom, Wechselstrom oder steilflankigem Impulsstrom ermöglicht.

19. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß mehrere Ozonerzeugungseinheiten nach einem der vorhergehenden Ansprüche zu einer Einhei­ ten-Gruppe zusammengeschaltet sind.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19 dadurch gekennzeichnet, daß die Ozonerzeugungseinheiten einer Gruppe mit einer ge­ meinsamen Gasverteilungseinheit kommunizierend verbunden sind.

21. Verfahren zur Erzeugung von Ozon unter Verwendung einer Hochspannungsquelle und mindestens zwei im Abstand zuein­ ander angeordneten Rohr- oder Plattenelektroden (10) mit einem dazwischen angeordneten, mindestens einen zur Dis­ soziation ankommenden Sauerstoffes verwendeten Strömungs­ weg (14) entlang den Elektroden (10) bildenden Dielektri­ kum (17), wobei mindestens eine der Elektroden (10) Lö­ cher (20) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß Gas aus dem Strömungsweg (14) durch Löcher (20) der Elektrode oder der Elektroden (10) in einen Abführungsweg (16) geführt wird, in dem keine hohen Spannungen vorhan­ den sind.

22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß Gas in dem Abführungsweg (16) durch ein Gas durchlässiges Material hindurchgeführt wird.

23. Verfahren nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeich­ net, daß dem Abführungsweg (16) wahlweise Gase zugeführt werden.