DE3423958C2 - - Google Patents

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DE3423958C2
DE3423958C2 DE3423958A DE3423958A DE3423958C2 DE 3423958 C2 DE3423958 C2 DE 3423958C2 DE 3423958 A DE3423958 A DE 3423958A DE 3423958 A DE3423958 A DE 3423958A DE 3423958 C2 DE3423958 C2 DE 3423958C2
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung von Rissen, Sprüngen, Blasen, Diskontinuitäten o. dgl. in einem nicht-vormagnetisierten Target-Material, insbesondere unter magneto-optischer Sichtbarmachung der Fehlstellen, und eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens.
In vielen wissenschaftlichen, ingenieur- und herstellungstechnischen Anwendungsgebieten müssen oberflächennahe Brüche, Risse, Blasen, Diskontinuitäten und Sprünge in unmagnetischen Eisen- oder nicht-Eisenmaterialien festgestellt werden, um die Strukturfestigkeit des Materials gewährleisten zu können. So ist beispielsweise der einwandfreie Zustand des Materials bei Bauteilen, u. a. bei vielen Luft- und Raumfahrzeugen, für deren angemessenen Betrieb kritisch. Dies gilt insbesondere für hochbelastete Komponenten, wie Turbinen- und Ventilatorflügel, Raketenantriebssysteme, Flugkörperzellen usw.
Es wurden verschiedene Methoden entwickelt und zur Bestimmung von Rissen, Sprüngen o. dgl. in Materialien benutzt. So wurden beispielsweise Magnetteilchenmethoden eingesetzt, die statische oder "Nieder"-Frequenz- (unterhalb von 100 Hz) Magnetfelder verwenden, deren Feldkomponenten parallel zur Oberfläche von Eisenlegierungen verlaufen, wobei in den Eisenlegierungen Ströme parallel zu deren Oberflächen induziert werden. Die oberflächenparallelen Ströme können ihrerseits entweder direkt durch Kontaktelektroden oder indirekt unter Verwendung von das Targetmaterial umgebenden Spulen und niederfrequenter Anregung induziert werden. Zu den Oberflächen des Target-Materials parallel verlaufende Magnetfelder werden von Rissen oder oberflächennahen Sprüngen verzerrt, und diese Verzerrungen können unter Verwendung eines auf dem Material niedergeschlagenen Magnetpulvers bestimmt werden. Es wurden verschiedene Arten von Magnetpulvern zur Sichtbarmachung von Oberflächenrissen entwickelt. Jedes Magnetteilchen dieser Pulver besteht typischerweise aus einer einzigen magnetischen Domäne (d. h. einer Zone von im wesentlichen einheitlicher Magnetisierung). Wenn das Magnetpulver trocken oder in einer nassen Aufschlämmung auf ein einen Riß oder Sprung enthaltendes Target-Material aufgebracht wird, suchen sich die magnetischen Teilchen zu vereinigen und bilden eine Brücke in Zonen von Feld-Ungleichmäßigkeiten, die dem Sprung oder Riß zugeordnet sind. Durch Mischung verschiedener Pigmente, fluoreszierender Farbstoffe o. dgl. mit dem Magnetpulver werden die Risse oder Sprünge sichtbar gemacht.
Die an sich weit verbreitete Magnetpulvermethode ist eine schmutzige und zeitraubende Methode, die die Induktion hoher Oberflächenströme in das Material und aufmerksame Beobachtung erforderlich macht. Magnetteilchenmethoden eignen sich am besten für den Einsatz mit niedrigen Frequenzen und Eisenlegierungen. Die erforderlichen großen Mengen von Magnetteilchen machen die Magnetpulvermethoden unwirksam, wenn hohe Frequenzen verwendet werden.
Die Erfindung räumt die Nachteile herkömmlicherr Fehlstellenanzeigemethoden aus. Ihr liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Anordnung zur direkten optischen Erkennung von Oberflächen- oder oberflächennahen Rissen, Sprüngen usw. in nichtmagnetischen Eisen- und Nichteisen-Materialien anzugeben. Dabei sollen sowohl die verschiedenen Risse oder anderen Fehlstellen in einem Target-Material zugeordneten statischen als auch dynamischen Magnetfelder direkt sichtbar gemacht werden können.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß zur Bestimmung von Rissen, Sprüngen, Blasen, Diskontinuitäten o. dgl. einem nicht vormagnetisierten Target-Material, ein magnetisches Material mit einer Vielzahl von magnetischen Domänen, das wenigstens eine magnetische epitaktische Schicht aufweist, die sich auf einer Oberfläche eines nicht-magnetischen Substrats befindet, nahe des nicht vormagnetisierten Target-Materials angeordnet wird, daß ein Magnet-Wechselfeld an das Target-Material und das magnetische Material angelegt wird, daß polarisiertes Licht auf und durch das magnetische Material projiziert wird und daß die Drehung der Polarisationsebene des projizierten Lichts beobachtet wird, wobei die Polarisationsebene als Folge der durch Magnetfeldstörungen in Zonen des magnetischen Materials nahe eines Sprungs, einer Blase, einer Diskontinuität o. dgl. im Target-Material bewirkten Wiederausrichtung bzw. Neuordnung der magnetischen Domänen gedreht wird, wodurch ein Sprung, eine Blase, eine Diskontinuität o. dgl. durch Beobachtung von Magnetfeldstörungen im magnetischen Material bestimmbar ist.
Dabei werden Risse, Sprünge, Bläschen und andere Diskontinuitäten durch Sichtbarmachung der den verschiedenen Fehlstellen in einem Target-Material zugeordneten statischen und/oder dynamischen umgebenden oder im Material induzierten Magnetfelder bestimmt.
Bei einer Anordnung zur Durchführung dieses Verfahrens zur Lösung der Aufgabe ist vorgesehen:
Ein magnetisches Material mit einer Vielzahl magnetischer Domänen, das in der Nähe des Target-Materials angeordnet ist, wobei das magnetische Material wenigstens eine magnetische epitaktische Schicht umfaßt, die auf einer Oberfläche eines nicht-magnetischen Substrats angeordnet ist, eine Magnetfeld-Erzeugungseinrichtung zum Erzeugen und Anlegen eines Magnet-Wechselfeldes an das Target-Material und an das magnetische Material, eine Lichtquelle, die polarisiertes Licht erzeugt und auf das magnetische Material richtet, eine Analysatoreinrichtung zur Beobachtung der Rotation der Polarisationsebene des polarisierten Lichts nach dessen Projektion auf und durch das magnetische Material, wobei die Polarisationsebene als Folge der durch Magnetfeldstörungen in Zonen des magnetischen Materials nahe eines Sprungs, einer Blase, einer Diskontinuität o. dgl. im Target- Material bewirkten Wiederausrichtung bzw. Neuordnung der magnetischen Domänen gedreht wird, wodurch ein Sprung, eine Blase, eine Diskontinuität o. dgl. durch Beobachtung von Magnetfeldstörungen im magnetischen Material bestimmbar ist.
Zwar ist aus der GB-PS 15 10 658 eine Vorrichtung zur Untersuchung und Überprüfung dünner magnetischer Schichten auf magnetische Defekte bekannt, bei der ein Magnetband auf das zu untersuchende Material aufgelegt wird, auf welches ein streifenförmiges magnetisches Muster aufgezeichnet ist. Durch Defekte in der zu untersuchenden dünnen Magnetschicht wird das auf das aufliegende Band aufgezeichnete statische Magnetfeldmuster verzerrt und diese Verzerrungen werden mit magneto-optischen Mitteln unter Nutzung des Faraday-Effekts sichtbar gemacht.
Unmagnetische Targets können auf diese Weise, mangels einer geeigneten Magnetfelderzeugungseinrichtung für das zu untersuchende Target, jedoch nicht geprüft werden.
Gleiches gilt für die US-PS 38 93 023, aus der eine Vorrichtung zum direkten Sichtbarmachen lokaler externer Magnetfelder bekannt ist, die auch zur Untersuchung magnetischer Materialien verwendet werden kann. Die US-PS 38 93 023 verwendet eine mehrschichtig aufgebaute Vorrichtung, innerhalb derer mit statischen Feldern eine periodische Struktur magnetischer Domänen aufgebaut ist. Die Domänenstruktur der oberen Schicht, die durch das statische Feld in der darunterliegenden Schicht aufrechterhalten wird, kann vorübergehend durch externe Felder oder externe magnetische Materialien gestört werden. Diese Störung wird mit magneto-optischen Mitteln sichtbar gemacht und dient der Anzeige des zu untersuchenden externen Feldes. Die Vorrichtung ist beispielsweise vorgesehen zur Prüfung von Magnetköpfen, Ton- und Videobändern oder zur Aufzeichnung des Feldes eines Permanentmagneten. Zur Untersuchung und Prüfung nicht-magnetischer Materialien ist auch diese Einrichtung nicht geeignet.
Bei der Erfindung wird eine magnetische epitaktische Granatschicht auf einem nicht-magnetischen Substrat niedergeschlagen. Bei einem Ausführungsbeispiel wird ein reflektierender Überzug oder reflektierendes Material nahe der epitaktischen Schicht vorgesehen, und das Substrat mit den zugehörigen Schichten wird dem Target-Material aufgesetzt. Danach wird ein Magnetfeld an das Target-Material und das Substrat angelegt. Polarisiertes Licht wird auf und durch das Substrat und die zugehörige epitaktische Schicht geschickt und bei einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel von dem reflektierenden Überzug derart reflektiert, daß das polarisierte Licht wiederum die epitaktische Schicht durchläuft und zurück auf das Substrat fällt. Die in der epitaktischen Schicht existierende Magnetisierung tritt mit den nahegelegenen Magnetfeldern in Wechselwirkung, die oberflächennahen Rissen bzw. Sprüngen im Target- Material zugeordnet sind, wodurch die Domänenstruktur der epitaktischen Schicht geändert wird. Die geänderte Domänenstruktur induziert eine Rotation der Polarisationsebene des einfallenden Lichts. Bei Betrachtung durch ein polarisiertes Material macht die Rotation des reflektierten Lichts die den Sprüngen oder Rissen zugeordneten Magnetfeldänderungen direkt sichtbar. Auf diese Weise sind Oberflächen- und oberflächennahe Sprünge oder Risse optisch erkennbar. Bei einem alternativen Beispiel wird von einer Transmissionsgeometrie Gebrauch gemacht.
Im folgenden werden Beispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine epitaktische Granatschicht und einen reflektierenden Überzug auf einem nicht-magnetischen Substrat;
Fig. 2a ein Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Verwendung einer Reflexionsgeometrie zur optischen Bestimmung von Sprüngen in einem Testmaterial;
Fig. 2b ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Verwendung einer Transmissionsgeometrie zur optischen Bestimmung von Rissen oder Sprüngen in einem Testmaterial;
Fig. 3 den Faraday-Effekt einer magneto-optisch aktiven Granatschicht auf der Polarisationsebene einer einfallenden Lichtwelle;
Fig. 4a von Strömen induzierte Magnetfelder, welche effektiv einen Sprung oder eine Fehlstelle in einem Testmaterial "überspringen";
Fig. 4b die Domänenstruktur der epitaktischen Schicht im Beisein eines Magnetfeldes; und
Fig. 4c ein Bild, das magneto-optisch von einem Sprung innerhalb eines Testmaterials bei Verwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens erzeugt wird.
Beschrieben wird ein Verfahren zur magneto-optischen Sichtbarmachung von Sprüngen, Einschlüssen, Blasen, Diskontinuitäten usw. (im folgenden insgesamt als "Sprünge" bezeichnet) in Eisen- und Nicht-Eisen-Materialien und eine zugehörige Anordnung zur Durchführung des Verfahrens. In der folgenden Beschreibung werden zu Erläuterungszwecken zahlreiche Einzelheiten z. B. besondere Granatmaterialien, Substrate, optische Konfigurationen, Magnetfelder, Ströme, Frequenzen usw. angegeben, um die Erfindung besser verständlich zu machen. Es ist klar, daß die Erfindung auch ohne diese speziellen Einzelheiten verwirklicht werden kann. In anderen Fällen sind bekannte optische Komponenten, Strukturen und elektrische Behandlungsmittel nicht beschrieben, um die Erfindung nicht mit unnötigen Einzelheiten zu belasten.
Im folgenden wird auf Fig. 1 Bezug genommen, in der ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Verwendung eines nicht-magnetischen Granatsubstrats 10 gezeigt ist, auf welchem eine epitaktische magnetische Granatschicht 20 und optionell eine Schicht 21 angeordnet sind. Gemäß Fig. 1 ist eine reflektierende Oberfläche 22 mit bekannten Niederschlagsmethoden oder Materialien auf die epitaktische Schicht 20 derart aufgebracht, daß das Substrat 10 und die Schichten 20 und 21 durchdringendes Licht durch die Schicht 20, das Substrat 10 und die Schicht 21 zurückgeworfen wird und Sprünge dabei in einer nachfolgend noch genauer erläuterten Weise abgebildet werden. Zu beachten ist, daß die reflektierende Oberfläche 22 einen Frontflächenspiegel oder einen "Scotchlite"- Typ-Überzug sowie andere reflektierende Überzüge aufweisen kann, die in geeigneter Weise niedergeschlagen sind. Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist eine elektrische Spule 24 um das Substrat 10 nebst zugehörigen Schichten herumgelegt. An der Spule 24 liegt eine elektrische Spannung, mit deren Hilfe ein Strom I in der Spule induziert wird, der wiederum ein Magnetfeld sowohl durch das Substrat 10 als auch die magnetischen Schichten 20 und 21 und durch ein nach Sprüngen oder anderen Diskontinuitäten zu untersuchendes Target-Material erzeugt. In der vorliegenden Beschreibung bedeutet der Begriff "epitaktische Schicht" oder "epitaktische Granatschicht" irgendeinen von zahlreichen geeigneten magnetooptisch aktiven Schichttypen mit magneto-optischer Aktivität, wie sie für die Zwecke der vorliegenden Erfindung bei jeder besonderen Anwendung erforderlich ist.
In Fig. 2a ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung gezeigt, bei dem eine Reflexionsgeometrie Verwendung findet. Ein Target- Material 25 ist vorgesehen, das einen innerhalb der Struktur des Materials 25 liegenden unbekannten Sprung 28 enthalten kann. Das Substrat 10 mit den ihm zugeordneten magnetischen epitaktischen Schichten 20 und 21 liegt über einem zu untersuchenden Abschnitt des Target-Materials 25. Ein Magnetfeld wird an das Testmaterial 25 und das Substrat 10 mit den zugehörigen Schichten 20, 21 und 22 dadurch angelegt, daß ein Strom durch die Spule 24 geschickt wird oder - alternativ - durch Anlegen von Elektroden an das Material. Zur Erzeugung einfallender Lichtstrahlbündel 32 ist eine Lichtquelle 30 vorgesehen, welche beispielsweise als Glühlampe, bei einer Wellenlänge emittierender Laser, Leuchtstofflampe o. dgl. ausgebildet sein kann. Ein Diffusor 36 dient zur Diffusion der von der Lichtquelle 30 erzeugten Lichtstrahlen 32. Auch ein Polarisator 38 ist benachbart zu und in optischer Ausrichtung mit dem Diffusor 36 so angeordnet, daß von der Lichtquelle 30 erzeugtes Licht nach dem Durchtritt durch den Diffusor 36 linear polarisiert wird. Wie in Fig. 2a gezeigt ist, wird polarisiertes Licht 33 auf das mit den zugehörigen Schichten über dem Target- Material 25 angeordnete Substrat 10 geworfen, und wie weiter unten noch genauer erläutert werden wird, werden Sprünge 28 durch Beobachtung der an der reflektierenden Fläche 22 reflektierten und einen zweiten Polarisator 44 durchlaufenden Strahlung 42 direkt sichtbar gemacht. Wie gezeigt ist, werden unerwünschte Oberflächenreflexionen 45 derart von der Schicht 21 wegreflektiert, daß sie den zweiten Polarisator 44 nicht erreichen.
Wenn das polarisierte Licht 33 auf die magnetische epitaktische Granatschicht 20 fällt, wird die Polarisationsebene des einfallenden Lichts um einen Winkel gedreht, der durch die folgende Beziehung beschrieben werden kann:
RαRf ·
hierin bedeuten Rf die spezifische Faraday-Drehung der Schicht 20, den Wellenvektor des einfallenden Lichts und die örtliche Magnetisierung der epitaktischen Schicht 20 an demjenigen Punkt, an dem das einfallende Licht die Schicht durchdringt. Das Vorzeichen des Scalar-Produkts · bestimmt die Drehrichtung. Zu beachten ist, daß im Falle eines Festkörpers die Faraday-Drehung nicht von dem Vorzeichen des Wellenvektors , sondern nur von dem Winkel zwischen und abhängig ist. Daher wird der Rotationseffekt durch die Reflexionsfläche 22 zwischen der Oberseite des Target-Materials 25 und der magnetischen epitaktischen Granatschicht 20 verdoppelt. Die Reflexionsfläche 22 gewährleistet, daß das einfallende Licht 33 durch die epitaktische Schicht 20 zurückgeworfen und dadurch die effektive Rotation der Polarisationsebene verdoppelt wird. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist eine an sich nicht erforderliche zweite epitaktische Schicht über dem Substrat 10 angeordnet. Diese zweite epitaktische Schicht 21 ist von der unteren Schicht 20 um die Dicke des Substrats 10, im beschriebenen Beispiel um etwa 0,51 mm beabstandet. Es hat sich gezeigt, daß sie die Empfindlichkeit der beschriebenen Anordnung erhöht und den Kontrast verbessert. Der Einfachheit halber wird bei der Beschreibung der Arbeitsweise der Erfindung angenommen, daß die Schicht 21 nicht vorhanden ist.
Der Unterschied in der Drehung der Polarisationsebene des einfallenden linear polarisierten Lichts 33 und des reflektierten Lichts 42, das die epitaktische Schicht 20 durchläuft, ermöglicht die direkte Sichtbarmachung von Sprüngen im Material 25. Es wurde außerdem gefunden, daß die Erfindung die Sichtbarmachung des existierenden Zustandes der Magnetisierung in Materialien 25 aufgrund früherer magnetischer Vorgänge oder gegenwärtiger Bedingungen, z. B. elektromagnetischer Felder, Belastungsfelder oder Temperaturgradienten ermöglicht. Gewöhnlich sind ohne ein angelegtes magnetisches Feld magnetische Domänen (Zonen gleichmäßiger Magnetisierung in der epitaktischen Schicht 20) relativ klein. In vielen epitaktischen magnetischen Granatschichten, insbesondere den bei magnetischen Bubblespeichern o. dgl. verwendeten, haben die Domänen typischerweise einen Durchmesser von einigen µm. Bei anderen epitaktischen Schichten können angelegte Felder (von beispielsweise 100 Gauss oder weniger) die magnetischen Domänen dazu veranlassen, sich zu großen Domänen von einigen Zentimetern Durchmesser in epitaktischen Schichten mit nur wenig größeren Abmessungen zu vereinigen.
Im folgenden wird auf Fig. 3 Bezug genommen. Dort ist die Wirkung einer magnetischen epitaktischen Granatschicht 20 auf die Polarisationsebene von einfallendem Licht 33 dargestellt. Eine Lichtwelle 50, die ein repräsentativer Strahl des einfallenden Lichts 33 ist, weist einen Wellenvektor + entlang der negativen Z-Achse auf, die linear polarisiert entlang der Y-Achse ist. Die Lichtwelle 50 durchläuft die epitaktische Schicht und läuft zur Oberfläche 22, wobei ihre Polarisation im Gegenuhrzeigersinn um einen Winkel R gedreht wird. Wenn die Lichtwelle 50 auf die Reflexionsfläche 22 trifft, wird der Wellenvektor umgekehrt, und die Lichtwelle 50 durchläuft wieder die epitaktische Schicht 20. Dadurch tritt eine doppelte Faraday-Drehung der Polarisation der Welle 50 auf, so daß die Polarisationsebene der Lichtwelle 50 jetzt 2R mit Bezug auf die Y-Achse oder die ursprüngliche Polarisationsrichtung gedreht ist.
Im folgenden wird auf die Fig. 4a bis 4c Bezug genommen. Aus diesen ist zu erkennen, daß die einem Sprung zugeordneten Magnetfelder in der Lage sind, die Richtung der existierenden Magnetisierung an einem Punkt in der epitaktischen Schicht 20 von + auf - umzuschalten. Wie in Fig. 4a gezeigt ist, hat ein kleiner Sprung 28 eine zugehörige Magnetfeld-("B-Feld")- Verzerrung, die die Magnetisierung der epitaktischen Schicht 20 in Zonen parallel zum Sprung (vgl. Fig. 4b) umschalten. Die Polarisationsebene des durch die Zone mit der Magnetisierung ₁ = - laufenden Lichts wird um einen Winkel
Rα₁ · ₁ < O
gedreht, jedoch wird die Polarisationsebene des durch die benachbarte Zone mit Magnetisierung fallenden Lichts um einen Winkel
R₂α₁ · ₂ < O (|R₁|≃|R₂|≅R)
gedreht. Daher ist der Gesamtwinkel zwischen den Polarisationsebenen der beiden Lichtwellen anfänglich 0, während er nach dem Durchlauf durch die beiden benachbarten Zonen mit entgegengesetzter Magnetisierung die folgende Größe hat:
2R≅|R₁|+|R₂|
Wie in Fig. 3 gezeigt, besteht die Wirkung der Reflexionsfläche 22 in der Verdopplung des Rotationswinkels der Polarisation, wodurch sich ein Winkel von 4 R zwischen den Polarisationsebenen der beiden Lichtwellen nach Durchlauf durch die epitaktische Schicht 20 ergibt. Das Licht 42, das zum Betrachter 43 zurückgeworfen wird, durchläuft einen zweiten Polarisator 44 (bezeichnet als "Analysator"), und der Sprung oder ein anderer Defekt unter der Oberfläche wird dadurch erkennbar. In der Praxis geschieht dies durch Einstellung des Analysators 44 derart, daß eine der beiden Lichtwellen gesperrt und die andere durchgelassen wird, wobei die Polarisationsebenen dieser Lichtwellen um einen Winkel von 4 R auseinanderliegen, wenn die beiden epitaktischen Schichten 20 und 21 verwendet werden. Daher sind zwei benachbarte Zonen mit umgekehrter Magnetisierung ₁ und ₂ in jeder der beiden epitaktischen Schichten 20 und 21 als dunkel (hell) oder hell (dunkel) sichtbar, je nach der Einstellung des Analysators 44. Mit anderen Worten, die Zone der "umgekehrten" Magnetisierung neben der Grenzfläche des Sprungs wird in der in Fig. 4c dargestellten Weise sichtbar gemacht.
Die Erfindung zeigt also Störungen des Zustandes existierender Magnetisierungen in einer besonderen Zone der epitaktischen Schicht 20 dadurch an, daß entweder die Größe und Richtung der existierenden Magnetisierung geändert oder die Magnetisierung in der über dem Sprung im Material 25 gelegenen Zone der Schicht 20 insgesamt umgekehrt (umgeschaltet) wird. Diese Störungen werden dann durch das zurückkehrende polarisierte Licht 42 unter Verwendung des polarisierenden Analysators 44 sichtbar "abgebildet". Der Zusatz der optionellen Schicht 21 ändert die Arbeitsweise der Erfindung nicht, sondern verdoppelt nur die Drehung der Polarisationsebene des einfallenden Lichts 33.
In Fig. 2b ist ein alternatives Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt, bei dem eine Transmissionsgeometrie Verwendung findet. Wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2a ist ein nicht-magnetisches Substrat 10 vorgesehen, auf dem magnetische epitaktische Granatschichten 20 und 21 angeordnet sind. Ein linearer Polarisator 80 ist in Sandwich-Anordnung zwischen die epitaktische Schicht 20 und einer diffuses Licht emittierenden Lichtquelle 85 eingebaut. Das Substrat 10, die epitaktischen Magnetschichten 20 und 21, der Polarisator 80 und die Lichtquelle 85 sind von der Spule 24 umgeben und bilden eine Anordnung, die mit dem zu untersuchenden Material 25, in welchem ein Sprung 28 vorhanden ist, in Kontakt gebracht wird. Die Lichtquelle 85 erzeugt Licht, das aufwärts durch die polarisierende Schicht 80, die Schicht 20, das Substrat 10 und durch die epitaktische Schicht 21 läuft. Durch Betrachtung des durch die epitaktischen Schichten 20 und 21 fallenden Lichts durch den Polarisator 44 können Magnetfeldumkehrungen oder andere Magnetfeldstörungen aufgrund des Sprungs 28 in der epitaktischen Schicht 20 direkt sichtbar gemacht werden. Daher ist die Theorie der Arbeitsweise des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 2b im wesentlichen dieselbe wie diejenige des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 2a. Daher werden wie im Falle der Fig. 2a Sprünge aufgrund der Drehung der Polarisationsebene von einfallendem Licht, das die Schicht 20 und die optionelle Schicht 21 durchläuft, sichtbar gemacht.
In der vorausgegangenen Beschreibung der Erfindung wurde angenommen, daß die Frequenzen im wesentlichen 0 sind. Es ist für den Fachmann klar, daß bei Umkehr der Magnetfelder aufgrund von Stromumkehrungen o. dgl. (d. h. Wechselstromsignalen) diese Felder die Magnetisierung der epitaktischen Schicht 20 von + zu - umschalten können. In solch einem Fall ist das Muster von hell und dunkel durch den polarisierenden Analysator 44 synchron mit diesen Stromumkehrungen. Wenn ein Wechselfeld wie im Falle von Wirbelstrommethoden bekannter Art angelegt wird, kann das durch den Analysator 44 sichtbar gemachte Bild auf einen Mittelwert, also einen einheitlichen Wert kommen und dadurch das Bild des Sprungs "auswaschen". Es gibt eine Anzahl von Methoden, um das Bild des Sprungs im Falle von Stromumkehrungen zu erhalten. Eine Lösung besteht darin, die Beleuchtung der epitaktischen Schicht 20 bei derselben Frequenz und mit einer festen Phasenbeziehung zu den Stromumkehrungen amplitudenzumodulieren. In ähnlicher Weise ist es möglich, eine Amplitudenmodulation der in das Untersuchungsmaterial 25 induzierten Ströme zu verwenden. Bei sehr niedrigen Frequenzen ist es möglich, die einfallende Lichtquelle 33 in Fig. 2a synchron zu den angelegten Magnetfeldern zu zerhacken. Für höherfrequente Anwendungen könnte das einfallende Licht 33 mit Hilfe verschiedener Geräte amplitudenmoduliert werden.
Durch Amplitudenmodulation des einfallenden Lichts 33 auf diese oder eine andere Weise wären dunkle Bereiche einer Fläche stets von einem Detektor oder dem Auge durch den Analysator 44 als dunkel und helle Zonen des Objekts stets auch als hell sichtbar. Daher könnte der Sprung 28 selbst dann direkt sichtbar werden, wenn sich die Felder zeitlich ändern (d. h. im Falle einer Wirbelstromerregung). Durch Einstellen der Frequenz des elektromagnetischen Feldes, das die Wirbelströme erregt, kann man die Hauttiefe (die Eindringtiefe der anregenden Welle) steuern und dadurch eine Information bezüglich der Tiefe der erfindungsgemäß festgestellten Sprünge erhalten.
Gepulste Gleichströme oder amplitudenmodulierte elektromagnetische Felder, welche im wesentlichen gepulste Gleichströme im Testmaterial 25 erregen, können bei der Erfindung ebenfalls Verwendung finden, wenn sich die Felder zeitlich ändern. Wenn daher ein Objekt durch den Analysator 44 betrachtet wird, suchen die Magnetisierungsrichtungen in der epitaktischen Schicht unter Bedingungen konstanter Lichtintensität ihre Richtung aufrechtzuerhalten, so daß das Bild von Sprüngen im Material 25 sichtbar und nicht wie im Falle von zeitlich sich ändernden Strömen und Feldern verschwommen wird.
Beschrieben wurden vorstehend ein Verfahren und eine Anordnung zur direkten Sichtbarmachung von Oberflächen- oder oberflächennahen Rissen, Sprüngen usw. in untersuchten Materialien. Die Erfindung stellt einfache und ökonomische Mittel zur Bestimmung von Sprüngen zur Verfügung. Im Rahmen des Erfindungsgedankens sind verschiedene Abwandlungen und Änderungen möglich. So ist beispielsweise klar, daß die Erfindung über die Feststellung von Sprüngen in anorganischen Materialien hinaus verwendet ist, so z. B. bei der Feststellung von Tumoren oder anderen Diskontinuitäten in biologischen Geweben oder Zellen.

Claims (10)

1. Verfahren zur Bestimmung von Rissen, Sprüngen, Blasen, Diskontinuitäten o. dgl. in einem nicht vormagnetisierten Target-Material, wobei
- ein magnetisches Material mit einer Vielzahl von magnetischen Domänen, das wenigstens eine magnetische epitaktische Schicht aufweist, die sich auf einer Oberfläche eines nicht-magnetischen Substrats befindet, nahe des nicht vormagnetisierten Target-Materials angeordnet wird,
- ein Magnet-Wechselfeld an das Target-Material und das magnetische Material angelegt wird,
- polarisiertes Licht auf und durch das magnetische Material projiziert wird und die Drehung der Polarisationsebene des projizierten Lichts beobachtet wird, wobei die Polarisationsebene als Folge der durch Magnetfeldstörungen in Zonen des magnetischen Materials (20; 21) nahe eines Sprungs (28), einer Blase, einer Diskontinuität o. dgl. im Target-Material (25) bewirkten Wiederausrichtung bzw. Neuordnung der magnetischen Domänen gedreht wird, wodurch ein Sprung, eine Blase, eine Diskontinuität o. dgl. im Target- Material durch Beobachtung von Magnetfeldstörungen im in der Nähe angeordneten magnetischen Material (20, 21) bestimmbar ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als magnetisches Material eine magnetische Eisen-Granat- Epitaxi-Schicht verwendet wird, die auf einem nicht-magnetischen Substrat niedergeschlagen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein reflektierender Überzug auf der Epitaxi- Schicht derart angeordnet wird, daß das einfallende polarisierte Licht durch die Epitaxi-Schicht fällt, durch die Epitaxi-Schicht und das Substrat zurück reflektiert wird und aus dem Substrat nach außen tritt.
4. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, enthaltend:
ein magnetisches Material (20, 21) mit einer Vielzahl magnetischer Domänen, das in der Nähe des Target-Materials angeordnet ist, wobei das magnetische Material (20, 21) mindestens eine magnetische epitaktische Schicht umfaßt, die auf einer Oberfläche eines nicht-magnetischen Substrats (10) angeordnet ist,
eine Magnetfeld-Erzeugungseinrichtung (24) zum Erzeugen und Anlegen eines Magnet-Wechselfeldes an das Target-Material und an das magnetische Material (20, 21),
eine Lichtquelle (30, 36, 38; 85, 80) die polarisiertes Licht (33) erzeugt und auf das magnetische Material (20, 21) richtet,
eine Analysatoreinrichtung (44) zur Beobachtung der Rotation der Polarisationsebene des polarisierten Lichts (42; 90) nach dessen Projektion auf und durch das magnetische Material (20, 21), wobei die Polarisationsebene als Folge der durch Magnetfeldstörungen in Zonen des magnetischen Materials (20, 21) nahe eines Sprungs (28), einer Blase, einer Diskontinuität o. dgl. im Target-Material (25) bewirkten Wiederausrichtung bzw. Neuordnung der magnetischen Domänen gedreht wird, wodurch ein Sprung, eine Blase, eine Diskontinuität o. dgl. durch Beobachtung von Magnetfeldstörungen im magnetischen Material (20, 21) bestimmbar ist.
5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetische epitaktische Schicht (20) eine magnetische epitaktische Granatschicht ist.
6. Anordnung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichterzeugungseinrichtung eine Lichtquelle (30, 36; 85) mit einem polarisierenden Material (38; 80) aufweist, das optisch zu dem magnetischen Material (20, 21) ausgerichtet ist.
7. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf der epitaktischen Schicht (20) ein reflektierender Überzug (22) derart angeordnet ist, daß einfallendes polarisiertes Licht (33) durch das Substrat (10) zurückreflektiert wird und aus letzterem austritt.
8. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (85) und das polarisierende Material (80) in Sandwich-Bauweise zwischen der magnetischen epitaktischen Schicht (20) und dem Target-Material (25) angeordnet sind.
9. Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das einfallende polarisierte Licht (33) synchron mit dem Magnetfeld moduliert ist, so daß der Ausgang des Analysators (44) im wesentlichen konstant bleibt.
10. Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite epitaktische Magneteisen-Granatschicht (21) auf einer zweiten Oberfläche des nicht-magnetischen Substrats (10) angeordnet ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19936552A1 (de) * 1999-08-03 2001-03-01 Manfred Markworth Verfahren und Vorrichtung zur Indizierung von Anrissen bei umlaufenden Transmissionsriemen beliebiger Gestaltung

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4930026A (en) * 1986-10-16 1990-05-29 Kljuev Vladimir V Flaw detector for magnetographic quality inspection
JPH01209356A (ja) * 1988-02-18 1989-08-23 Maakutetsuku Kk 長尺鋼材の磁気探傷装置
US5053704A (en) * 1990-01-11 1991-10-01 Pri Instrumentation, Inc. Flow imager for conductive materials
JP2731039B2 (ja) * 1991-01-19 1998-03-25 日本飛行機 株式会社 探傷装置
US5344720A (en) * 1991-11-08 1994-09-06 Litton Systems, Inc. Bistable magneto-optic single crystal films and method of producing same utilizing controlled defect introduction
JP2671243B2 (ja) * 1992-03-17 1997-10-29 新日本製鐵株式会社 光磁界分布測定装置
JPH06109655A (ja) * 1992-09-28 1994-04-22 Nippon Steel Corp 磁気光学欠陥検査装置
US5446378A (en) * 1993-12-15 1995-08-29 Grumman Aerospace Corporation Magneto-optic eddy current imaging apparatus and method including dithering the image relative to the sensor
US5742036A (en) * 1994-10-04 1998-04-21 Rockwell International Corporation Method for marking, capturing and decoding machine-readable matrix symbols using magneto-optic imaging techniques
US5610517A (en) * 1995-06-07 1997-03-11 Vanderbilt University Method and apparatus for detecting flaws below the surface of an electrically conductive object
US5574368A (en) * 1995-09-07 1996-11-12 Northrop Grumman Corporation Apparatus and method for inducing eddy currents in a structure for magneto-optic testing
US5965446A (en) * 1996-10-24 1999-10-12 Hamamatsu Photonics K.K. Method for placing fluorescent single molecules on surface of substrate and method for visualizing structural defect of surface of substrate
US6404497B1 (en) 1999-01-25 2002-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Polarized light scattering spectroscopy of tissue
US6366101B1 (en) * 1999-08-30 2002-04-02 Advanced Micro Devices, Inc. Method for laser analysis from the back side an electronic circuit formed on the front side of a semiconductor
US6745942B1 (en) 2002-08-05 2004-06-08 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Magnetic symbology reader
US6934068B2 (en) * 2003-02-10 2005-08-23 Lake Shore Cryotronics, Inc. Magnetic field and electrical current visualization system
DE10326216B4 (de) * 2003-06-11 2007-03-15 Bayerische Motoren Werke Ag Verfahren zum Erkennen von Fehlern der Haftung einer Beschichtung auf einem Substrat
DE10326217A1 (de) * 2003-06-11 2004-12-30 Bayerische Motoren Werke Ag Verfahren zum Erkennen von Fehlern der Haftung einer Beschichtung
FR2856791B1 (fr) * 2003-06-27 2005-11-04 Centre Nat Rech Scient Procede et dispositif d'imagerie magneto-optique
JP4911489B2 (ja) * 2005-01-07 2012-04-04 財団法人電力中央研究所 探傷装置
GB2466849A (en) * 2009-01-13 2010-07-14 Alstom Technology Ltd Defect detection using magnetic field and particles
UA94970C2 (ru) 2009-05-28 2011-06-25 Сергей Васильевич Левый Индуктор вихревых токов для магнитографической дефектоскопии и сканер на его основе
US9778202B2 (en) 2010-10-12 2017-10-03 Indian Institute Of Technology Kanpur Systems and methods for imaging characteristics of a sample and for identifying regions of damage in the sample
PL3165615T3 (pl) * 2014-07-03 2023-05-08 Nippon Steel Corporation Zastosowanie urządzenia dla procesów obróbki laserowej dla rafinacji domen magnetycznych blachy cienkiej ze stali elektromagnetycznej o ziarnach zorientowanych
JP6484051B2 (ja) 2015-02-10 2019-03-13 浜松ホトニクス株式会社 検査方法及び検査装置
CN104764798B (zh) * 2015-03-26 2018-08-07 电子科技大学 一种可视化漏磁检测装置
CN109596640B (zh) * 2018-12-05 2021-09-03 京东方科技集团股份有限公司 异物检测方法及装置
CN110514734B (zh) * 2019-08-12 2024-04-09 广东工业大学 一种复合磁场磁光成像无损检测系统及方法
US20240027546A1 (en) * 2022-07-20 2024-01-25 General Electric Company Magneto-Optic Defect Visualization System

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3564924A (en) * 1961-04-12 1971-02-23 Gen Electric Magneto-optic pressure measuring device
US3413055A (en) * 1961-04-12 1968-11-26 Gen Electric Magneto-optic glass body and electric circuit element in read-out apparatus including the same
US3443214A (en) * 1968-03-25 1969-05-06 Massachusetts Inst Technology Light reflecting magnetic liquid apparatus for mapping magnetic fields
US3588223A (en) * 1969-03-20 1971-06-28 Corning Glass Works Magneto-optical process for determining superconductivity
US3594064A (en) * 1969-06-25 1971-07-20 Du Pont Enhanced magneto-optic mirror apparatus
US3650601A (en) * 1970-11-19 1972-03-21 Du Pont Magneto-optic device having alternate layer film structure
NL7301931A (de) * 1973-02-12 1974-08-14
NL7406964A (nl) * 1974-05-24 1975-11-26 Philips Nv Inrichting voor het inspecteren van magne- tische kristallen.
FR2304076A1 (fr) * 1975-03-14 1976-10-08 Hitachi Ltd Photometre a effet magneto-optique
JPS5250780A (en) * 1975-10-22 1977-04-23 Eiwa Denki Kk Apparatus for inspecting defects of steel products
US4064453A (en) * 1976-07-02 1977-12-20 Xerox Corporation Magnetic field detector
SU697905A1 (ru) * 1977-05-13 1979-11-15 Ставропольский государственный педагогический институт Способ магнитной дефектоскопии
JPS58461A (ja) * 1981-06-11 1983-01-05 ジ−・ケ−・エヌ・グル−プ・サ−ビセス・リミテツド 車輌

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19936552A1 (de) * 1999-08-03 2001-03-01 Manfred Markworth Verfahren und Vorrichtung zur Indizierung von Anrissen bei umlaufenden Transmissionsriemen beliebiger Gestaltung
DE19936552C2 (de) * 1999-08-03 2003-11-20 Manfred Markworth Vorrichtung zur Indizierung von Anrissen bei einem umlaufenden Transmissionsriemen mit einer nichtmetallischen und vorwiegend elastischen Grundmasse und Verfahren zum Betrieb dieser Vorrichtung

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FR2548784B1 (fr) 1988-11-10
GB2143042B (en) 1986-12-10
JPH0446376B2 (de) 1992-07-29
GB8415157D0 (en) 1984-07-18
US4625167A (en) 1986-11-25

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