JP2731039B2 - 探傷装置 - Google Patents

探傷装置

Info

Publication number
JP2731039B2
JP2731039B2 JP3018182A JP1818291A JP2731039B2 JP 2731039 B2 JP2731039 B2 JP 2731039B2 JP 3018182 A JP3018182 A JP 3018182A JP 1818291 A JP1818291 A JP 1818291A JP 2731039 B2 JP2731039 B2 JP 2731039B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
magnetic domain
domain pattern
film
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3018182A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04313057A (ja
Inventor
勇 増森
勝 羽根田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NIPPON HIKOKI KK
Original Assignee
NIPPON HIKOKI KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NIPPON HIKOKI KK filed Critical NIPPON HIKOKI KK
Priority to JP3018182A priority Critical patent/JP2731039B2/ja
Publication of JPH04313057A publication Critical patent/JPH04313057A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2731039B2 publication Critical patent/JP2731039B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、鋼材および鋼製部品等
の探傷装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、鋼材および鋼製部品の表面傷の探
傷には、磁粉探傷法、渦流探傷法、漏洩磁束法による探
傷装置が利用されている。
【0003】磁粉探傷法による探傷装置は、被検査材を
磁化してその表面に磁粉を散布し、被検査材の傷部分に
発生する漏洩磁束によってこの傷部分に吸着される磁粉
の模様を目視またはカメラで撮像して被検査材の傷の有
無を検査する。
【0004】また、渦流探傷法、漏洩磁束法による探傷
装置は、電気的信号処理により被検査材の傷の有無を検
する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記磁
粉探傷法による探傷装置は、被検査材の表面に吸着した
磁粉の模様から傷の有無を検査するものであるため、傷
の状態を一目して把握することができるが、その反面、
被検査材が大型であるほど大量の磁粉を必要とするし、
また磁粉の散布装置も必要であるため装置が大掛かりな
ものとなるという問題をもっていた。
【0006】一方、渦流探傷法および漏洩磁束法による
探傷装置は、磁粉を必要としないため、装置は比較的簡
素であるが、この渦流探傷法および漏洩磁束法は、電気
的信号処理によって被検査材の傷の有無を検査するもの
であるため、磁粉探傷法のように被検査材の傷の状態を
一目して把握することができないという問題をもってい
る。
【0007】本発明の目的は、簡素な装置で、被検査材
の傷の状態を一目して把握することができる探傷装置
提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の探傷装置は、被
検査材を磁化するための磁化装置と、外部磁界に応じて
磁区模様が変化する磁性膜とその磁区模様を撮像する撮
像素子とを備え前記磁性膜を前記被検査材に近接対向さ
せて配置される磁区模様撮像機と、前記被検査材の被探
傷領域を前記磁区模様撮像機で走査する手段と、前記
区模様撮像機に光ファイバおよび電気ケーブルを介して
接続された制御装置と、前記磁区模様撮像機で撮像した
磁区模様を表示するモニタディスプレイとからなり、前
記制御装置には、光源ランプおよびこのランプからの光
を集光して前記光ファイバに入射させるレンズ系と、前
記磁区模様撮像機の撮像素子を制御するとともにこの撮
像素子からの画像データを前記モニタディスプレイに出
力する撮像制御部とが設けられ、前記磁区模様撮像機
は、前記磁性膜と、この磁性膜の外面に設けられた反射
膜と、前記撮像素子を内蔵し前記電気ケーブルに接続さ
れたカメラヘッドと、前記光ファイバからの出射光を直
線偏光とするための偏光子と、その直線偏光を前記磁性
膜にその内面側から入射させる手段と、前記磁性膜を透
過して前記反射膜で反射され再び前記磁性膜を透過して
出射した光の光束をレンズ系により拡大するとともに前
記磁性膜を透過して出射した光を検光子により前記磁性
膜の磁区模様に対応する像光として前記撮像素子に入射
させる光学系とからなっていることを特徴とするもので
ある。
【0009】
【作用】すなわち、本発明は、被検査材の表面傷を、上
記磁性膜の磁区模様の変化を観察することによって検査
するもので、被検査材を磁化させ、この被検査材に上記
磁性膜を近接対向させると、被検査材の磁性膜を対向さ
せた領域に傷がなければ磁性膜の磁区模様は変化しない
が、被検査材の磁性膜対向領域に傷があると、被検査材
の傷部分に発生する漏洩磁束によって磁性膜の磁区模様
が変化し、この磁性膜の磁区模様が検査材の傷の形状に
対応した模様となる。
【0010】そして本発明では、上記磁性膜の磁区模様
をレンズ系により拡大して撮像素子で撮像し、この撮像
した磁区模様をモニタディスプレイに表示しているた
め、このディスプレイに表示される磁区模様を観察する
ことにより、この磁区模様から被検査材の傷の有無およ
び傷の状態を知ることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
【0012】この実施例の探傷装置は、図1に示した磁
区模様撮像機10を用いて被検査材1を探傷するもので
ある。
【0013】まず、磁区模様撮像機10の構成を説明す
る。この磁区模様撮像機10のボディは、第1ミラー室
11と、この第1ミラー室11の一側に連結筒13を介
して連結された第2ミラー室12と、第1ミラー室11
の前端に交換可能に連結された対物筒15と、第1ミラ
ー室11の後端に交換可能に連結されたレンズ鏡筒16
と、このレンズ鏡筒16の後端に着脱可能に連結された
カメラヘッド取付筒17とで構成されており、カメラヘ
ッド取付筒17の後端には、撮像素子19を内したカ
メラヘッド18が取付けられている。
【0014】そして、上記対物筒15の先端の開口部に
は磁性膜支持枠20が着脱可能に装着されており、この
磁性膜支持枠20には、迷路状の模様をなす磁区をも
ち、その磁区模様が外部磁界に応じて変化する透光性の
磁性膜21が取付けられている。この磁性膜21はガー
ネット膜である。
【0015】図3は上記磁性膜21の一部分を拡大して
示している。この磁性膜21は、Gd Ga ガーネットか
らなるベース膜21aの上に、LPE法により(Gd B
i )3 (Fe Al Ga )5 12、または(Gd Bi )3
(Fe Al )5 12等の磁性ガーネット膜21bを育成
したものである。この磁性ガーネット膜21bは、その
膜面に対して垂直な方向に強い磁気異方性をもってお
り、上向きの磁場をもつ磁区(以下、上向き磁区とい
う)Aと、下向きの磁場をもつ磁区(以下、下向き磁区
という)Bとが、交互にかつガーネット膜全体にわたっ
て分布している。
【0016】図3に示した矢印は、上記磁区A,Bの磁
場の向きを示しており、磁性ガーネット膜21bの磁区
模様は、外部磁界が作用していない初期状態では、迷路
状の上向き磁区Aと下向き磁区Bとがガーネット膜全体
に均等に分布しているパターンとなっており、磁性ガー
ネット膜21bにその磁区A,Bがもっている磁場より
強い磁場をもつ外部磁界が作用すると、その磁区模様が
外部磁界に応じて変化する。
【0017】なお、この磁性膜21は、約16mm×16
mmの正方形膜であり、ベース膜21aの厚さは約450
μm 、磁性ガーネット膜21bの厚さは5〜6μm であ
る。また、各磁区A,Bの幅Wa,Wbはそれぞれ10
〜30μm である。
【0018】この磁性膜21は、その一方の面、例えば
ベース膜21a側の面を外側に向けた状態で図1に示す
ように上記磁性膜支持枠11の開口端に固定されてい
る。
【0019】また、この磁性膜21の外面には、この磁
性膜21にその内面側(第1ミラー室11側)から入射
して磁性ガーネット膜21bおよびベース膜21aを透
過した光を反射させるAl 膜等の反射膜22が設けられ
ている。この反射膜22は、その反斜面を磁性膜21の
外面に密着させて磁性膜支持枠20の先端面に接着され
ている。
【0020】一方、上記第2ミラー室12の後端には光
ファイバ23がコネクタ24によって接続されており、
この第2ミラー室12の光ファイバ接続部には、光ファ
イバ23からの出射光を直線偏光とするための偏光子
(偏光板)25が設けられている。
【0021】さらに、第2ミラー室12の内部には、光
ファイバ23から出射し上記偏光子25により直線偏光
とされて第2ミラー室12に入射した光を第1ミラー室
11に向けて反射する全反射ミラー26が、第1ミラー
室11に対し約45゜の角度で斜めに設けられており、
第1ミラー室11の内部には、上記全反射ミラー26で
反射された光(直線偏光)を上記磁性膜21に向けて反
射させるとともに、この磁性膜21を透過してその外面
の反射膜22で反射され再び磁性膜21を透過して第1
ミラー室11側に出射する反射光は透過させるハーフミ
ラー27が、磁性膜21面に対し約45゜の角度で斜め
に設けられている。
【0022】また、第1ミラー室11とカメラヘッド1
8との間のレンズ鏡筒16およびカメラヘッド取付筒1
7の内部には、上記磁性膜21の磁区模様をカメラヘッ
ド18内の撮像素子19に撮像させるための光学系が設
けられている。
【0023】この光学系は、レンズ鏡筒16内の前端側
と後端側とに設けられた対物レンズ28および拡大レン
ズ29と、カメラヘッド取付筒17内に設けられた検光
子(偏光板)30とで構成されている。
【0024】上記検光子30は、カメラヘッド取付筒1
7内に周方向に回動可能に設けた回転筒31に取付けら
れている。この回転筒31は、カメラヘッド取付筒17
の外周に設けた調整リング32の回転によって回転され
るもので、検光子30は、上記調整リング32を手動回
転することにより回動されて、その透過軸の向きを調整
されるようになっている。
【0025】また、上記カメラヘッド18に内臓された
撮像素子19は、超小型テレビカメラの撮像部に用いら
れているフルカラーCCD撮像素子であり、この撮像素
子19の撮像面の大きさは1/2インチ(6.41mm×
4.8mm)であり、1画素のサイズが12.8μm ×
9.9μm の分解能をもっている。
【0026】すなわち、上記磁区模様撮像機10は、光
ファイバ23を介して導入した光を偏光子25により直
線偏光として迷路状の磁区A,Bをもつ磁性膜21に入
射させ、この磁性膜21の外面の反射膜22で反射され
た光を検光子30を通して撮像素子19に入射させるも
ので、上記偏光子25を透過した直線偏光は、全反射ミ
ラー26およびハーフミラー27で反射されて磁性膜2
1に入射する。
【0027】また、この磁性膜21に入射した光は、磁
性膜21を透過してその外面の反射膜22で反射され、
再び磁性膜21を透過して戻ってくる。この反射光は、
ハーフミラー27を透過して対物レンズ28に入射し、
この対物レンズ28を通った後、拡大レンズ29を通っ
て光束を拡大され、さらに検光子30を通って撮像素子
19に入射する。
【0028】上記反射光は、磁性膜21を透過する過程
でファラデー効果(磁場の向きによって偏向面が回転す
る現象)により旋光された光であり、磁性膜21の上向
き磁区Aを透過した反射光と、下向き磁区Bを透過した
反射光とは、偏光方向が互いに異なる光である。
【0029】したがって、上記反射光を検光子30に通
すと、この光は、磁性膜21の上向き磁区Aに対応する
部分の透過率と、下向き磁区Bに対応する部分の透過率
とが異なる像光となり、この像光、すなわち磁性膜21
の磁区模様が撮像素子19で撮像される。
【0030】なお、撮像素子19で撮像される磁区模様
の色は、磁性膜21の色(磁性膜の組成)によって異な
るが、例えば磁性膜21の色が極く薄い黄色を帯びた色
のもの場合で、上向き磁区(反射膜22側がN極の磁
区)Aに対応する模様の色が青緑色、下向き磁区(反射
膜22側がS極の磁区)Bに対応する模様の色が黄橙色
である。また、撮像素子19で撮像される磁区模様のコ
ントラストは、上記検光子30を回動させてその透過軸
の向きを調整することにより調整できる。
【0031】また、上記レンズ鏡筒16内に設けた対物
レンズ28および拡大レンズ29の焦点距離と、この両
レンズ28,29間の距離は、前記磁性膜21と対物レ
ンズ28との間の距離および拡大レンズ29と撮像素子
19との間の距離に応じて、磁性膜21の磁区模様を撮
像素子19の撮像面にピントの合った像として結像させ
るように設定されている。
【0032】次に、上記磁区模様撮像機10を用いて被
検査材1を探傷する探傷装置の構成を説明すると、この
探傷装置は、図2に示すように、被検査材1を磁化する
ための磁化装置40と、磁区模様撮像機10を制御する
制御装置50と、撮像した磁区模様を表示するモニタデ
ィスプレイ60とで構成されており、磁区模様撮像機1
0は、その第2ミラー室12に接続された光ファイバ2
3と、カメラヘッド18に接続された電気ケーブル33
とを介して制御装置50に接続されている。
【0033】上記磁化装置40は、例えば極間式のもの
で、この極間式磁化装置40は、門形鉄心41と、この
門形鉄心41の両側のポスト部にそれぞれ巻回された磁
化コイル42とからなっている。また、被検査材1が例
えば棒状材である場合、上記門形鉄心41は、その両側
のポスト部の端部にそれぞれ被検査材1の側面に対向す
る磁極部を形成した形状とされており、被検査材1は、
上記門形鉄心41の対向する磁極部間を通されて磁化さ
れる。
【0034】また、上記制御装置50には、図2に示す
ように、ハロゲンランプ等からなる高輝度の光源ランプ
51およびこのランプ51からの光を集光して光ファイ
バ23に入射させる集光レンズ系52と、撮像制御部5
3とが設けられている。
【0035】上記撮像制御部53は、磁区模様撮像機1
0の撮像素子19を制御するとともにこの撮像素子19
からの画像データ(磁区模様データ)をモニタディスプ
レイ60に出力するもので、撮像素子19に走査駆動信
号を送るとともに、この撮像素子19からの画像データ
を1走査ライン分ずつ取込んで、この画像データを順次
モニタディスプレイ60に出力する。なお、54は光源
ランプ51および撮像制御部53の電源部である。
【0036】また、この制御装置50には、付加装置と
して撮像画像の記録装置55が接続されており、またモ
ニタディスプレイ60にはその表示画像(磁区模様)の
ハードコピーをプリントアウトするプリンタ61が接続
されている。なお、上記モニタディスプレイ60は、定
置型のものでも、小型液晶テレビジョン受像機のような
可般型のものでもよい。
【0037】上記モニタディスプレイ60およびプリン
タ61は、フルカラー画像を表示またはプリントするも
のであり、磁区模様撮像機10で撮像された磁区模様
は、カラー画像として表示およびプリントされる。
【0038】図4はモニタディスプレイ60に表示され
る磁区模様を示している。この磁区模様は、磁性膜21
に外部磁界が作用していない初期状態での模様であり、
図では、磁性膜21の上向き磁区Aに対応する青緑色の
磁区模様A′を黒で示し、磁性膜21の下向き磁区Bに
対応する黄橙色の磁区模様B′を白で示している。
【0039】なお、上記磁性膜21の各磁区A,Bの幅
Wa,Wbは、10〜30μm と、肉眼では識別できな
い極く小さい幅であるが、撮像素子19で撮像される磁
区模様は、磁性膜21の中央部の磁区模様を拡大レンズ
29によって拡大した拡大模様であり、またモニタディ
スプレイ60に表示される磁区模様は、撮像素子19の
撮像面とモニタディスプレイ60の画面との面積比に応
じた比率でさらに拡大された模様であるため、モニタデ
ィスプレイ60に表示される磁区模様は、肉眼で容易に
識別することができる。
【0040】また、上記記録装置55は、磁区模様撮像
機10で撮像した磁性膜10の磁区模様の画像データを
そのまま記録するもので、この記録装置55に記録され
た画像データは、必要に応じて画像処理による傷パター
ンの抽出等に利用される。
【0041】上記探傷装置による被検査材1の探傷は、
次のようにして行なう。
【0042】まず、被検査材1の一端側を図2に示すよ
うに磁化装置40に搬入し、この被検査材1の磁化装置
40による磁化領域(門形鉄心41の磁極部間の領域)
の一部に、上記磁区模様撮像機10の先端の磁性膜21
を近接対向させる。なお、この磁区模様撮像機10は、
その磁性膜21の外面の反射膜22が被検査材1面に摺
接するか、あるいは極く微小な間隔で被検査材1面に対
向する位置にセットして、図示しないホルダに保持させ
ておく。
【0043】この後は、被検査材1を長さ方向に搬送し
ながら、磁化装置40の磁化コイル42に直流電流を供
給してこの磁化装置40により被検査材1をその一端側
から順次磁化して行くとともに、この被検査材1面を上
記磁区模様撮像機10で走査して、被検査材1の被探傷
領域をその一端側から他端側に向かって順次探傷して行
く。
【0044】なお、例えば被検査材1が図2に示すよう
な丸鋼棒または丸鋼管であり、その全周面を探傷する場
合は、図2に矢印で示したように、被検査材1を長さ方
向に搬送しながらこの被検査材1をその周方向にも回転
させればよく、このようにすれば、被検査材1の長さ方
向搬送および周方向回転にともなって磁区模様撮像機1
0が被検査材1の周面をスパイラル状に走査するから、
被検査材1の全周面を探傷することができる。
【0045】この被検査材1の探傷は、モニタディスプ
レイ60に表示される磁区模様を目視観察することで行
なえばよく、上記磁区模様撮像機10の磁性膜21の磁
区模様は外部磁界によって変化し、したがってモニタデ
ィスプレイ60に表示される磁区模様も変化するから、
この磁区模様の変化およびその状態から、被検査材1の
表面傷の有無と傷形状を知ることができる。
【0046】すなわち、被検査材1の磁性膜21が対向
している部分に表面傷がなければ、磁性膜21の磁区模
様は、迷路状の上向き磁区Aと下向き磁区Bとが磁性膜
全体に均等に分布している初期状態の模様のままであ
り、したがってモニタディスプレイ60に表示される磁
区模様は、図4に示したように、青緑色の磁区模様A′
と、黄橙色の磁区模様B′とが均等に分布している模様
である。
【0047】しかし、被検査材1に表面傷があると、図
5に示すように、被検査材1の表面傷2の両側にN極と
S極ができてこの傷部分に漏洩磁束Mが発生するため、
この漏洩磁束Mが発生している傷部分を磁区模様撮像機
10が走査するときに、被検査材1に近接対向している
磁性膜21に上記漏洩磁束Mが外部磁界として作用し、
磁性膜21の磁区模様が変化する。
【0048】この磁性膜21の磁区模様の変化は、磁区
A,Bの極性の反転によるもので、被検査材1の傷2の
両側に形成されたN極とS極とのうち、被検査材1のN
極に対向する側では、磁性膜21の磁区A,Bのうち、
被検査材1に対向する側がN極となっている上向き磁区
Aの極性が反転してこの磁区Aが逆極性の下向き磁区B
となり、被検査材1のS極に対向する側では、被検査材
1に対向する側がS極となっている下向き磁区Bの極性
が反転してこの磁区Bが逆極性の上向き磁区Aとなる。
【0049】したがって、磁性膜21の上記漏洩磁束M
が作用した領域の磁区模様は、被検査材1の表面傷2に
対向する位置をはさんで、その一側に上向き磁区Aが一
面に広がり、他側に下向き磁区Bが一面に広がった模様
となり、この磁区模様が拡大されて撮像素子19で撮像
されるとともに、この撮像された磁区模様がさらに拡大
されてモニタディスプレイ60に表示される。
【0050】図6および図7は、被検査材1の表面傷2
のある部分を磁区模様撮像機10が走査したときにおけ
る、磁性膜21の位置とモニタディスプレイ60に表示
される磁区模様との関係を示しており、図7(a)は磁
性膜12が図6のa部分にきたときの表示模様、図7
(b)は磁性膜12が図6のb部分にきたときの表示模
様、図7(c)は磁性膜12が図6のc部分にきたとき
の表示模様である。
【0051】この図のように、被検査材1の周方向回転
にともなって被検査材1の外周をその回転方向と逆方向
に磁区模様撮像機10が走査し、その磁性膜21が図6
のa部分にくると、磁性膜21の磁区模様のうち、被検
査材1の表面傷2がある部分に近い側の磁区模様が傷部
分の漏洩磁束により変化し、モニタディスプレイ60に
表示される磁区模様が、図7(a)のように変化する。
【0052】この表示模様は、被検査材1の表面傷2の
両側に形成されるN極とS極とが図6のように形成され
た場合で、図7(a)において下側つまり傷部分に近い
側に、黄橙色模様B′が広がった模様であり、磁性膜2
1の傷部分から遠い側は、傷部分の漏洩磁束の影響を受
けないため、図7(a)において上側の磁区模様は、青
緑色の磁区模様A′と黄橙色の磁区模様B′とが迷路状
に分布している初期状態の模様のままである。なお、上
記黄橙色模様B′は、磁性膜21が傷部分に近付くのに
連れて上側に広がって行く。
【0053】また、上記磁性膜21が図6のb部分、つ
まり表面傷2の上にくると、磁性膜21の磁区模様が傷
部分を境として、一側に上向き磁区Aが一面に広がり、
他側に下向き磁区Bが一面に広がった模様となり、モニ
タディスプレイ60に表示される磁区模様が、図7
(b)のように変化する。
【0054】この表示模様は、図7(a)において上側
つまり傷部分の一側に黄橙色模様B′が一面に広がり、
下側つまり傷部分の他側に青緑色模様A′が一面に広が
った模様であり、青緑色模様A′が広がった領域と、黄
橙色模様B′が広がった領域との境界の形状は、被検査
材1の表面傷2の形状に対応する形状である。
【0055】さらに、磁性膜21が表面傷2の上を通り
過ぎて図6のc部分にくると、磁性膜21の磁区模様の
うち、傷部分から遠く離れて上記漏洩磁束の影響を受け
なくなった側の模様が、上向き磁区Aと下向き磁区Bと
が迷路状に分布する模様に戻り、モニタディスプレイ6
0に表示される磁区模様が、図7(c)のように変化す
る。
【0056】この表示模様は、図7(c)において上側
つまり傷部分に近い側に、青緑色の磁区模様A′が一面
に広がり、下側つまり傷部分から遠い側は、青緑色の磁
区模様A′と黄橙色の磁区模様B′とが交互に分布する
迷路状模様に戻った模様であり、磁性膜21が傷部分か
ら離れて行くのに連れて、迷路状模様が広がって行く。
【0057】なお、磁性膜21の磁区模様は、外部磁界
の影響を受けたときに変化し、外部磁界の影響が無くな
った後に迷路状模様に戻るが、この迷路状模様は、磁性
膜21が外部磁界の影響を受ける度に前の迷路状模様と
は異なるパターンになる。
【0058】すなわち、上記探傷方法は、被検査材1の
表面傷2を、磁性膜21の磁区模様の変化を観察するこ
とによって検査するもので、被検査材1を磁化させ、こ
の被検査材1に上記磁性膜21を近接対向させると、被
検査材1の磁性膜21を対向させた領域に傷がなければ
磁性膜21の磁区模様は変化しないが、被検査材1の磁
性膜対向領域に表面傷2があると、被検査材1の傷部分
に発生する漏洩磁束Mによって磁性膜21の磁区模様が
変化し、この磁性膜21の磁区模様が被検査材1の傷2
の形状に対応した模様となる。
【0059】そして、上記探傷方法では、磁性膜21の
磁区模様をレンズ系(対物レンズ28および拡大レンズ
29)により拡大して撮像素子19で撮像し、この撮像
した磁区模様をモニタディスプレイ60に表示している
ため、このディスプレイ60に表示される磁区模様を観
察することにより、この磁区模様から被検査材1の傷の
有無および傷の状態を知ることができる。
【0060】なお、上記被検査材1の傷の状態は、モニ
タディスプレイ60に表示させた磁区模様を、適宜プリ
ンタ61によってプリントアウトすることにより、ハー
ドコピーとして保存することができる。
【0061】したがって、この探傷装置によれば、被検
査材1の傷2の状態を一目して把握することができる
し、また、従来の磁粉探傷法による探傷装置のように磁
粉およびその散布装置を必要としないため、図2に示し
たような簡素な装置で被検査材1の探傷を行なうことが
できる。
【0062】なお、撮像素子19で撮像される磁区模様
の拡大率は、レンズ鏡筒16を、倍率の異なる拡大レン
ズ29とそれに対応する焦点距離の対物レンズ28を備
えたものと交換するとともに、対物筒15を、交換した
レンズ鏡筒16に合わせて、磁性膜21の磁区模様を撮
像素子19の撮像面にピントの合った像として結像させ
る筒長のものと交換することにより、任意に選ぶことが
できる。
【0063】この場合、上記拡大レンズ29の倍率を大
きくすると、撮像素子19の視野が狭くなって磁性膜2
1の被撮像面積が小さくなるため、拡大レンズ29の倍
率は、探傷しようとする傷の大きさに応じて選択するの
が望ましい。
【0064】なお、被検査材1を磁化したときにその傷
部分に発生する漏洩磁束の強さは、傷2の方向によって
異なり、磁化方向に対して直交する方向つまり被検査材
1の長さ方向に沿う傷部分に発生する漏洩磁束は十分強
いのに対して、磁化方向に沿う方向つまり被検査材1の
周方向に沿う傷部分に発生する漏洩磁束は弱い。
【0065】このため、上記実施例のように被検査材1
を極間式の磁化装置40で両側から磁化した場合は、被
検査材1の周方向に沿う傷の検査精度が悪いが、被検査
材1を、極間式磁化装置40で両側から磁化して探傷
し、さらにこの被検査材1をその両端に通電電極を接触
させて軸通電法等により長さ方向に磁化して再度探傷す
れば、いずれの方向の傷も精度よく探傷することができ
る。
【0066】また、上記探傷方法は、被検査材1の周面
の探傷だけでなく、被検査材1の端面の探傷にも利用で
きるし、またボルトや板状鋼等、種々の鋼材および鋼製
部品の探傷にも利用できる。
【0067】図8は、上記被検査材1の端面の探傷法を
示しており、この端面の探傷は、被検査材1の端部を図
2に示した極間式磁化装置40で両側から磁化し、この
被検査材1の端面に図1に示した磁区模様撮像機10の
磁性膜21を近接対向させて、被検査材1を周方向に回
転させて、被検査材1の端面を磁区模様撮像機10で走
査する方法で行なう。
【0068】なお、この場合、被検査材1を周方向に回
転させながら、磁区模様撮像機10を被検査材1の径方
向に移動させてやれば、被検査材1の端面全体を磁区模
様撮像機10で走査することができる。
【0069】図9は、図8に鎖線で示した部分を磁区模
様撮像機10が走査したときに、モニタディスプレイ6
0に表示される磁区模様を示しており、この表示模様
は、被検査材1の端面の傷3に対応する部分の一側に青
緑色の磁区模様A′が一面に広がり、上記傷3に対応す
る部分の他側に黄橙色模様B′が一面に広がった模様と
なる。なお、上記傷3の端部より外方の領域に対応する
部分は、青緑色の磁区模様A′と黄橙色の磁区模様B′
とが迷路状に分布している模様である。
【0070】また、図10は、ボルト4の周面の探傷法
を示しており、この被検査ボルト4の探傷は、図2に示
した丸鋼棒または丸鋼管等の探傷と同様にして行なう。
【0071】図11は、被検査ボルト4の図10に鎖線
で示した部分を磁区模様撮像機10が走査したときに、
モニタディスプレイ60に表示される磁区模様を示して
おり、この表示模様は、ボルト周面の傷5がある部分の
一側に黄橙色模様B′が一面に広がり、傷部分の他側に
青緑色模様A′が一面に広がった模様であり、青緑色模
様A′が広がった領域と、黄橙色模様B′が広がった領
域との境界の形状は、上記傷5の形状に対応する形状で
ある。
【0072】なお、このボルト4の探傷においては、磁
性膜21が近接しているボルト山部4aの傷部分に発生
する漏洩磁束は磁性膜21に強く作用するが、磁性膜2
1との距離が大きいボルト谷部4bの傷部分に発生する
漏洩磁束の磁性膜21に対する影響は小さいため、磁性
膜21の磁区模様は、図11のように、ボルト山部4a
の傷部分に対応する部分が細い線状模様となり、ボルト
谷部4bの傷部分に対応する部分の幅が広くなって、こ
ぼ広幅部分に青緑色の磁区模様A′と黄橙色の磁区模様
B′との迷路状に分布している模様となる。
【0073】さらに、上記実施例では、被検査材1(ま
たは被検査ボルト4)の直流電流によって磁化している
が、この被検査材の磁化は、交流電流によって磁化して
もよく、その場合の磁化方法としては、被検査材に交流
電流を通電する磁化方法、門形鉄心に磁化コイルを巻回
した磁化装置の磁化コイルに交流電流を流して交流磁束
を発生させ、この交流磁束を被検査材に流す磁化方法等
を採用すればよい。
【0074】図12は、被検査材1を交流磁化によって
探傷した場合の、磁性膜21が図6のb部分(表面傷2
の上に部分)にきたときに、モニタディスプレイ60に
表示される磁区模様を示しており、このときは、磁性膜
21の磁区A,Bの極性が交流電流の周波数に応じて反
転し、モニタディスプレイ60に表示される磁区模様
が、被検査材1の傷部分に対応する部分が青緑色の磁区
模様A′と黄橙色の磁区模様B′とが迷路状に分布する
帯状模様となり、その両側にそれぞれ黄橙色の磁区模様
B′が一面に広がった模様となる。
【0075】なお、この交流磁化による探傷では、モニ
タディスプレイ60に表示される青緑色の磁区模様A′
と黄橙色の磁区模様B′の色の濃度が交流電流の周波数
に応じた周期で変化するが、上記交流電流の周波数が商
用電源の周波数程度以上であれば、色濃度の変化は肉眼
では識別できないから、表示模様に“ちらつき”を生じ
ることはない。ただし、プリンタ61でプリントアウト
されるハードコピーの色は、そのプリントタイミングに
よって僅かながら変化する。
【0076】また、被検査材を交流磁化によって探傷す
る場合も、被検査材を磁化したときにその傷部分に発生
する漏洩磁束の強さは、表面傷の方向によって異なる
が、例えば板状の被検査材の探傷において、交流磁化の
ための磁化装置として図13に示すような十字型鉄心4
1aをもつ磁化装置(磁化コイルは図示せず)を使用
し、被検査材6の探傷面を互いに直交する2方向から磁
化すれば、この被検査材6の表面傷7がどのような方向
の傷であっても、一度の探傷で精度よく検査することが
できる。
【0077】なお、上記実施例では、撮像素子19によ
って撮像される磁性膜21の磁区模様の色をそのままモ
ニタディスプレイ60に表示させているが、モニタディ
スプレイ60に表示させる磁区模様の色は、モニタディ
スプレイ60の色度調整によって色コントラストを強調
した色にすることが可能である。これは、プリンタ61
によってプリントアウトするハードコピーについても同
様である。
【0078】ただし、上記撮像素子19およびモニタデ
ィスプレイ60とプリンタ61は、例えば白黒のモノク
ローム画像を撮像および表示またはプリントするもので
もよい。
【0079】また、上記実施例では磁性膜21として磁
性ガーネット膜を用いているが、この磁性膜21として
は、例えばFd Fe またはGa Co 等の希土類−遷移金
属合金膜を用いてもよい。
【0080】また、上記実施例では、先端に磁性膜21
を設けた軸写型の磁区模様撮像機10を用いているが、
この磁区模様撮像機は、その側面に磁性膜21を設けた
側写型のものとしてもよい。
【0081】図14は上記側写型の磁区模様撮像機10
aを示している。この磁区模様撮像機10aは、図1に
示した磁区模様撮像機10における対物筒15を、第2
ミラー室12の第1ミラー室11とは反対側の側面に設
け、この対物筒15の先端に磁性膜支持枠20を介して
磁性膜21および反射膜22を設けるとともに、第2ミ
ラー室12の内部に、光ファイバ23から第2ミラー室
12に入射した光を上記磁性膜21に向けて反射させる
とともに、この磁性膜21を透過してその外面の反射膜
22で反射され再び磁性膜21を透過して第2ミラー室
12側に出射する反射光は透過させるハーフミラー27
を設け、第1ミラー室11の内部に、上記ハーフミラー
27を透過した光をレンズ鏡筒16およびカメラヘッド
18に向けて反射させる全反射ミラー26を設けたもの
で、その他の構成は図1に示した磁区模様撮像機10と
同じである。
【0082】この側写型の磁区模様撮像機10aは、そ
の磁性膜21面に対して垂直な方向の高さが小さいか
ら、被検査材1の探傷面の側方の撮像機配置スペースが
小さくても、このスペース内に上記磁区模様撮像機10
aを配置して探傷を行なうことができる。
【0083】
【発明の効果】本発明の探傷装置は、被検査材を磁化装
置により磁化するとともに、この被検査材に磁区模様撮
像機の磁性膜の外面側を近接対向させて、前記被検査材
の被探傷領域を前記磁区模様撮像機で走査することによ
り、前記磁性膜の磁区模様をレンズ系により拡大して撮
像素子により撮像し、この撮像素子で撮像した前記磁区
模様をモニタディスプレイに表示するものであるから、
前記被検査材の傷部分に発生する漏洩磁束による前記磁
性膜の磁区模様の変化を前記ディスプレイ上で観察し
て、この磁区模様の変化から前記被検査材の傷を検査す
ることができ、したがって、磁粉およびその散布装置を
必要としない簡素な装置で、被検査材の傷の状態を一目
して把握することができる。しかも、本発明の探傷装置
においては、磁区模様撮像機とその制御装置とを光ファ
イバおよび電気ケーブルを介して接続し、前記制御装置
に光源ランプおよびこのランプからの光を集光して前記
光ファイバに入射させるレンズ系を設けて、磁区模様撮
像機の磁性膜の磁区模様の撮像に必要な光を制御装置か
ら光ファイバを介して供給するようにしているため、磁
区模様撮像機に光源を組込む必要がなく、したがって、
磁区模様撮像機を小型化および軽量化して、その取扱い
を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明において使用する磁区模様撮像機の断面
図。
【図2】探傷装置の斜視図。
【図3】磁性膜拡大斜視図。
【図4】磁性膜に外部磁界が作用していない状態におけ
るモニタディスプレイに表示される磁区模様図。
【図5】被検査材の傷部分に発生する漏洩磁束を示す
図。
【図6】被検査材に対する磁性膜の対向位置の変化を示
す図。
【図7】図6のa.b,cの位置に磁性膜がきたときの
モニタディスプレイに表示される磁区模様図。
【図8】被検査材の端面の探傷方法を示す図。
【図9】端面の探傷時にモニタディスプレイに表示され
る磁区模様図。
【図10】ボルトの探傷方法を示す図。
【図11】ボルトの探傷時にモニタディスプレイに表示
される磁区模様図。
【図12】交流磁化による探傷時にモニタディスプレイ
に表示される磁区模様図。
【図13】交流磁化に用いる磁化装置の一例を示す斜視
図。
【図14】本発明において使用する他の磁区模様撮像機
の一部切開側面図。
【符号の説明】
1,4,6…被検査材、2,3,…表面傷、10,1
0a…磁区模様撮像機、19…撮像素子、21…磁性
膜、A,B…磁区、22…反射膜、23…光ファイバ、
25…偏光子、26…全反射ミラー、27…ハーフミラ
ー、28…対物レンズ、29…拡大レンズ、30…検光
子、33…電気ケーブル、50…制御装置、60…モニ
タディスプレイ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−65550(JP,A) 特開 昭60−76650(JP,A) 特開 昭62−190444(JP,A) 特開 昭57−174405(JP,A) 特開 昭59−32853(JP,A) 特開 昭59−32852(JP,A) 実開 昭63−67963(JP,U)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査材を磁化するための磁化装置と、
    外部磁界に応じて磁区模様が変化する磁性膜とその磁区
    模様を撮像する撮像素子とを備え前記磁性膜を前記被検
    査材に近接対向させて配置される磁区模様撮像機と、
    記被検査材の被探傷領域を前記磁区模様撮像機で走査す
    る手段と、前記磁区模様撮像機に光ファイバおよび電気
    ケーブルを介して接続された制御装置と、前記磁区模様
    撮像機で撮像した磁区模様を表示するモニタディスプレ
    イとからなり、 前記制御装置には、光源ランプおよびこのランプからの
    光を集光して前記光ファイバに入射させるレンズ系と、
    前記磁区模様撮像機の撮像素子を制御するとともにこの
    撮像素子からの画像データを前記モニタディスプレイに
    出力する撮像制御部とが設けられ、 前記磁区模様撮像機は、前記磁性膜と、この磁性膜の外
    面に設けられた反射膜と、前記撮像素子を内蔵し前記電
    気ケーブルに接続されたカメラヘッドと、前記光ファイ
    バからの出射光を直線偏光とするための偏光子と、その
    直線偏光を前記磁性膜にその内面側から入射させる手段
    と、前記磁性膜を透過して前記反射膜で反射され再び前
    記磁性膜を透過して出射した光の光束をレンズ系により
    拡大するとともに前記磁性膜を透過して出射した光を検
    光子により前記磁性膜の磁区模様に対応する像光として
    前記撮像素子に入射させる光学系とからなっていること
    を特徴とする探傷装置
JP3018182A 1991-01-19 1991-01-19 探傷装置 Expired - Fee Related JP2731039B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3018182A JP2731039B2 (ja) 1991-01-19 1991-01-19 探傷装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3018182A JP2731039B2 (ja) 1991-01-19 1991-01-19 探傷装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04313057A JPH04313057A (ja) 1992-11-05
JP2731039B2 true JP2731039B2 (ja) 1998-03-25

Family

ID=11964472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3018182A Expired - Fee Related JP2731039B2 (ja) 1991-01-19 1991-01-19 探傷装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2731039B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102288805B1 (ko) * 2014-06-04 2021-08-12 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 검사 장치 및 자기 광학 결정의 배치 방법
CN114829922A (zh) * 2019-12-20 2022-07-29 杰富意钢铁株式会社 漏磁检查装置及缺陷检查方法
CN113030243B (zh) * 2021-03-22 2023-08-01 国网江苏省电力有限公司无锡供电分公司 面向成像的地上钢结构件腐蚀缺陷漏磁检测方法及系统

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4625167A (en) * 1983-07-05 1986-11-25 Sigma Research, Inc. Flaw imaging in ferrous and nonferrous materials using magneto-optic visualization
JPS6367963U (ja) * 1986-10-22 1988-05-07
JPH0743417B2 (ja) * 1990-03-17 1995-05-15 財団法人国際超電導産業技術研究センター 超電導体の磁気的内部性状検出方法および検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04313057A (ja) 1992-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4118335B2 (ja) 顕微鏡及び検査方法
JP2547480B2 (ja) 磁場顕微鏡装置
JP2731039B2 (ja) 探傷装置
CN111307723B (zh) 一种磁旋光膜片、磁光传感器、焊缝检测装置及方法
JPH03221804A (ja) 磁性金属板の凹凸検知方法
JPS594670B2 (ja) 磁場分布測定装置
RU2753839C1 (ru) Устройство для магнитооптической визуализации дефектов в электропроводящих материалах и их автоматической фиксации
JPH01212352A (ja) 電磁気探傷方法および装置
JP2672912B2 (ja) 光磁界探傷方法
JPH0725727Y2 (ja) 磁場顕微鏡装置
JP2671243B2 (ja) 光磁界分布測定装置
JP5550141B2 (ja) 磁気光学式欠陥検出方法
JPH1026608A (ja) 非破壊検査方法
JP3753044B2 (ja) 光コネクタ端面検査装置
JP2665294B2 (ja) 磁気光学式欠陥検出方法
JPH06118060A (ja) 磁気光学欠陥検査装置
JPH0240579A (ja) 磁区観察装置
Lee et al. Application of magneto-optical method for inspection of the internal surface of a tube
Dove et al. Kerr Effect and Bitter Pattern Measurements of Easy‐Axis Distributions in Uniaxial Permalloy Films
JPH08247929A (ja) 照明装置
JPH02227655A (ja) 磁気光学探傷方法及びその装置
JPH06109655A (ja) 磁気光学欠陥検査装置
JP2002116188A (ja) 磁粉探傷法および磁粉探傷装置
JPH081458B2 (ja) 光磁界分布測定装置
JPH0240580A (ja) 磁区観察装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees