DE3336405A1 - Verfahren zum aufbau einer wanderwellenroehre mit gekoppelten hohlraeumen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbau einer Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen und insbesondere, wenn auch nicht ausschließlich, einer Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen für den Millimeter-Wellenbereich, d.h. zum Betrieb bei einer Frequenz in Bereich von 35 GHz bis zu 9 5 GHz und darüber hinaus.

Ein typische Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen,wie sie derzeit bekannt ist, ist in den Fig. 1 und 2 der Zeichnung dargestellt, wobei

Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen Teil des Langsamwellen-Aufbaus der Röhre und

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie A-A der Fig. 1 darstellt.

In der Darstellung nach Fig. 1 und 2 besteht der Langsamwellen-Aufbau oder die Langsamwellen-Struktur aus einer Reihe von zylindrischen Hohlräumen 1 mit konstanter Höhe. In jeder die Hohlräume 1 voneinander trennenden Endwand 2 befindet sich ein gekrümmt ausgeführter Kopplungsschlitz 3, 4, von denen die Schlitze 3 in jeder zweiten Enawand 2 gegenüber den Schlitzen 4 in den jeweils anderen Endwänden 2 versetzt sind. Die Kopplungsschlitze 3 und 4 ergeben eine HF-Kopplung zwischen den Hohlräumen 1.

In der Mitte jeder Endwand 2 ist ein in Axialrichtung ausgerichtetes Triftrohr oder Hülse 5 vorgesehen, durch welche im Betrieb der Elektronenstrahl durch die Gesamtlänge der Langsamwellen-Struktur von einem (nicht dargestellten) Elektronenstrahlerzeuger bis zu einem (ebenfalls nicht dargestellten) Kollektor hindurchtritt.

Die Abmessungen und die Lagen der einzelnen Triftrohre 5 beeinflussen sowohl den Wirkungsgrad als auch die Bandbreite der Wanderwellenröhre.

Das normalerweise zum Aufbau der in Fig. 1 und 2 dargestellten Langsamwellen-Struktur benutzte Aufbauverfahren ist folgendes:

Der Langsamwellenaufbau odar die Langsamwellen-Struktur besteht aus Abschnitten, die jeweils eine Wand 2, einen Kopplungsschlitz 3 oder 4, ein Triftrohr 5 und einen kurzen Abschnitt der zylindrischen Außenwand 6 der Langsamwellen-Struktur enthalten. Jeder Abschnitt wird zunächst ausgestanzt und dann auf die Endabmessungen baarbeitet.

Daraufhin wird die vollständige Struktur so aufgebaut, daß die Einzelabschnitte mit in der erforderlichen Weise dazwischen eingefügten Hartlot-Draht-oder -Folienstücken aufeinander gestapelt werden. Die gesamte Anordnung wird dann zum Ausrichten zusammengespannt und im Ofen hartgelötet.

Derartige Aufbauverfahren sind für Wanderwellenröhren mit gekoppelten Hohlräumen, die für geringere Frequenzen als den Millimeterwellenbereich bestimmt sind, recht zufriedenstellend. Bei der Anwendung derartiger Fertigungsverfahren zur Herstellung von Wanderwellenröhren der genannten Art zum Betrieb im Millimeterwellenbereich treten jedoch Schwierigkeiten auf wegen der extrem geringen Toleranzen, die für die Einzelabmessungen und den Zusammenbau der Langsamwellenstrukturen solcher Röhren erforderlich sind. Es ist einzusehen, daß bei derartigen Wanderwellenröhren für <?en Millimeterwellenbereich die Gesamtabmessungen jedes Hohlraumes der Langsamwellenstruktur sehr gering sind, und in jeder Röhre sind typischerweise drei Langsamwellenstruktur en mit jeweils bis zu 30 Hohlräumen erforderlich.

Es kann abgeschätzt werden, daß für den zufriedenstellenden Betrieb insbesondere bei Röhren, die im Bereich von 9 5 GHz arbeiten, Abmessungs- und Zusammenbautoleranzen der Größenordnung von 2,5 pm (1/10 mil) erforderlich sind.

Toleranzen dieser Größenordnung können jedoch bei normalen Betriebsbedingungen mit üblichen Bearbeitungsmaschinen nicht erreicht werden. Um eine Bearbeitung der Einzelabschnitte in der beschriebenen Weise in denen bei normaler Fertigung erforderlichen Mengen zu erreichen, sind hochpräzise Dreh- und Fräsmaschinen und eine Steuerausrüstung erforderlich, wie sie beim Diamantdrehen von optischen Bauteilen verwendet werden, und diese müssen bei streng eingehaltenen Umgebungsbedingungen betrieben werden. Für Fertigungszwecke wird eine solche Bearbeitung als praktisch nicht ausführbar angesehen, und, auch wenn die Bearbeitung so durchgeführt würde, ergäbe sich wahrscheinlich eine sehr geringe Ausbeute von brauchbaren Abschnitten.

Auch wenn die Einzelabschnitte mit Einhaltung der erforderlichen Toleranzen bearbeitet werden könnten, so ist doch der Aufbau der vollständigen Struktur durch Aufeinanderstapeln der einzelnen Abschnitte für das Aufrechterhalten der Abmessungstoleranzen während der OfenlÖtung schädlich.

Zu diesen beschriebenen Fertigungsproblernen kommen noch die Schwierigkeiten, die bei der Prüfung, Messung und dem Umgang mit den Strukturen auftreten.

Damit besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung darin, ein Verfahren zur Herstellung oder zum Aufbau einer Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen, und insbesondere der zugehörigen Wanderwellenstruktur zu schaffen, das unter normalen Fertigungsbedingungen die Erzielung der erforderlichen Toleranzen bei guter Ausbeute gestattet.

Dieses Ziel wird erreicht wird mit dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Aufbau einer Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen, bei dem eine Langsamwellen-Struktur für die Röhre aus mindestens einem sich in Längsrichtung erstreckenden Teil ausgebildet wird, durch das eine Vielzahl von Öffnungen unter Benutzung eines Senkverfahrens ausgebildet wird,wobei jede Öffnung zumindest einen Teil eines in der vollständigen Langsamwellen-Struktur erforderlichen Hohlraums bildet.

Vorzugsweise besteht das Senkverfahren darin, daß in einen Knüppel aus einem Material, aus dem ein sich in Längsrichtung erstreckendes Teil gefertigt werden soll, tief eingesenkt wird, und ein Schnitteil aus dem Knüppel herausgenommen wird, welches das . längsgerichtete Teil ergibt, wobei die Öffnungen vollständig von einer vorderen sich in Längsrichtung erstreckenden Fläche zu einer hinteren sich in Längsrichtung erstreckenden Fläche durchgesenkt werden.

Bei einem erfindungsgemäßen Aufbauverfahren bildet jede derartige Öffnung einen Teil eines erforderlichen Hohlraumes, und es wird ein zweites komplementäres, sich in Längsrichtung erstreckendes Teil geschaffen, das längs einer sich in Längsrichtung erstreckenden Fläche mit der entsprechenden Fläche des ersten Teils so vereinigt wird, daß die Teilhohlräume in einem Teil gemeinsam mit den Teilhohlräumen in dem anderen Teil die in der vollständigen Struktur erforderlichenHohlräume bilden.

Normalerweise wird jeder Teilhohlraum als ein .HaIb-Hohlraum ausgebildet.

Vorzugsweise werden in jedem sich in Längsrichtung erstreckenden Teil halbe Strahlöffnungen in den die Halbhohlräume, trennenden Zwischenwänden bei dem gleichen Senkvorgang ausgebildet, bei dem die Halbhohlräume gebildet werden.

Vorzugsweise werden die Rückseiten der Teilhohlräume in jedem sich in Längsrichtung erstreckenden Teil durch eine Platte abgeschlossen, die durch Hartlöten oSer auf andere Weise an der Rückfläche jedes Teils befestigt wird, vorzugsweise vor der Vereinigung der beiden sich in Längsrichtung erstreckenden Teile an den jeweiligen Flächen.

Vorzugsweise werden, bevor die Teilhohlräume in jedem sich in Längsrichtung erstreckenden Teil durch eine Platte abgeschlossen werden und bevor die beiden sich in Längsrichtung erstreckenden Teile flächig vereint werden, HöhIraum-Koppelöffnungen in der erforderlichen Weise in den Teil-Trennwänden der beiden Teile ausgebildet, beispielsweise durch übliche Bearbeitung oder Funkenerosion.

Bei einem anderen erfindungsgemäßen Aufbauverfahren, bei dem jede Öffnung insgesamt einen erforderlichen Hohlraum bildet, wird nur ein solches sich in Längsrichtung erstreckendes Teil geschaffen, durch welches die Öffnungen mittels eines Senkvorgangs ausgebildet werden, und hier wird die erforderliche Strahlöffnung durch Bearbeitung (z.B. durch Bohren oder durch Funkenerosion) von einem Ende des sich in Längsrichtung erstreckenden Teils zu dem anderen hin ausgebildet.

Vorzugsweise geschieht das Senken in solcher Form, daß an mindestens einer Seite und vorzugsweise an beiden Seiten nach außen stehende Ansätze an jeder Hohlraum-Trennwand belassen werden, wobei dann die Strahlöffnung durch diese Ansätze hindurch gebohrt oder anderweitig ausgebildet wird.

Bei dem Durchstoßungs- oder Bohrvorgang über und unter dem durch einen solchen Ansatz verbleibendes Ansatzmaterial kann entfernt werden, so daß eine aus der jeweiligen Hohlraum-Trennwand, zu der der Ansatz gehört, hervorstehende F.ohrform zurückbleibt.

In den Hohlraum-Trennwänden erforderliche Hohlraum-Kopplungsöffnungen können in diesen beispielsweise durch übliche Bearbeitung oder Funkenerosion ausgebildet werden, und nach dieser Ausbildung werden Platten an die entgegengesetzt liegenden Seitenflächen des sich in Längsrichtung erstreckenden Teils hart angelötet oder auf andere Weise befestigt, um die Hohlräume abzuschließen.

Vorzugsweise werden jedoch c\ie Hohlraum-Kopplungsöffnungen selbst während des Senkvorgangs ausgebildet. Das kann dadurch erreicht werden, daß ein Senkstempel benutzt wird, der Hohlraum-Trennwände oder Teil-Hohlraum-Trennwände ausbildet, die sich nicht oder mindestens nicht in voller Höhe quer über die gesamte Breite des Hohlraums erstrecken, so daß ein Wandabschnitt an einer Seite bei jeder zweiten Hohlraum-Trennwand oder Teil-Hohlraum-Trennwand fehlt und ein Wandabschnitt an der anderen Seite der jeweils dazwischenliegenden Hohlraum-Trennwand oder Teil-Hohlraum-Trennwand fehlt.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Figuren 3 bis 8 der Zeichnung näher erläutert; es zeigen:

Figur 3 einen Längsschnitt durch einen Teil einer Langsam-Wellen-Struktur bei einem Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen,

Figur 4 eine Schnittdarstellung längs Linie B-B in der Fig. 3,

Figur 5 eine grundsätzliche Darstellung des bei der Herstellung der in Fig. 3 und 4 gezeigten Langsamwellen-Struktur benutzten Senkverfahrens,

Figur 6 in auseinandergezogener Darstellung mit teilweise abgeschnittenen oder weggebrochenen Teilen eine Langsamwellen-Struktur eines weiteren Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen,

Figur 7 eine Längsschnittdarstellung mit abgebrochenen Teilen einer Langsamwellen-Struktur eines weiteren Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen, und

Figur 8 einen Schnitt nach Linie C-C der Fig. 7.

In den Fig. 3 bis 8 sind für entsprechende Teile die gleichen Bezug: zahlen wie in Figuren 1 und 2 benutzt.

Bei dem in Fig. 3 und 4 gezeigten Ausführungsbeispiel besteht jede Langsamwellen-Struktur aus zwei gleichartigen Hälften, die sich jeweils über die gesamte Axiallänge der Langsamwellen-Struktur erstrecken und jeweils wie dargestellt ausgebildet sind.

Zur Herstellung jeder Hälfte wird, wie in Fig. 5 gezeigt, ein Knüppel oder Rohling 10 aus angelassenem oder weichgemachten Kupfer in einem Arbeitsvorgang in Richtung des Pfeiles 11 gesenkt, so, daß sich die in Fig. 4 gezeigte Form ergibt. Der Senkvorgang erfolgt tief in den Rohling oder Knüppel 10 hinein, jedoch nicht über die gesamte Tiefe. Der Knüppel oder Rohling 10 wird dann durch einen Schnitt 10' getrennt und von außen bearbeitet, um das sich in Längsrichtung erstreckende Teil gemäß Fig. 3 und 4 herzustellen.

In diesem Ausführungsbeispiel erhält das Schnitteil 10" die halbe Höhe des jeweiligen Hohlraums.

Auf diese Weise beträgt die Hohe h (die senkrecht auf der Zeichenebene in Fig. 3 stehende Dimension) des sich in Längsrichtung erstreckenden Teils nach Fig. 3 und 4 ebenfalls die Hälfte der Hohlraumhöhe.

Es ergibt sich so eine Art Gitterwerk, bestehend aus den zwei durchgehenden Seitenflächen 12 und 13, die durch die sich in Querrichtung erstreckenden Wände 2 verbunden sind, wobei jede von diesen eine Hälfte einer Hohlraum-Trennwand in einer vollständigen Langsamwellen-Struktur bildet. Es ist zu sehen, daß bei der Darstellung in den Fig. 3 und 4 die ausgebildete Langsamwellen-Struktur hülsenlos ausgebildet wird, d.h., daß keine Hülsen oder Triftrohre von den Wänden 2 vorstehend, vorgesehen sind, die Triftrohre also vollständig innerhalb der Wände 2 der vollendeten Struktur enthalten sind.

Gleichfalls ist zu sehen, daß die ausgebildeten Hohlräume einen quadratischen oder rechtwinkligen Querschnitt besitzen.

Die Technik des Senkens ist an sich bekannt und besteht darin, daß eine Senkform, mit anderen Worten ein Körper, der die erforderliche Gestalt in Negativform enthält, in ein relativ weiches Material, z.B. angelassenes Kupfer, eingedrückt wird.

Beim Herstellen der Senkform wird ein Rohling aus gehärtetem Werkzeugstahl so geschliffen, daß der erforderliche Stempel entsteht, und zwar in so kontrollierter Weise, daß die erforderliche Genauigkeit erreicht wird. Es hat sich bei der praktischen Anwendung gezeigt, daß Toleranzen der erforderlichen Größenordnung, ja sogar noch bessere Toleranzwerte beim derartigen Herstellen einer Senkform erreicht werden.

Im Gebrauch kann ein Formverschleiß während der Lebensdauer der Senkform als unbedeutsam angesehen werden, da die Senkform

normalerweise nach etwa einigen hunderten Senkvorgängen durch Bruch zerstört wird. Damit kann erwartet werden, daß während der Lebensdauer der Senkform Einzelteile wiederholt mit hohem Genauigkeitsgrad angefertigt werden können.

Die soweit beschriebene Struktur, die insgesamt ein Gitterwerk darstellt, ist in der betrachteten Darstellung nach hinten und vorne offen. Diese Öffnungen werden als Zugang benutzt und es werden durch einen getrennten Arbeitsgang die in den Wänden 2 erforderlichen Kupplungsschlitze oder -öffnungen hergestellt, in diesem Fall beispielsweise durch Funkenerosion. In der in Fig. 4 dargestellten Wand 2 ist ein bearbeiteter Kupplungsschlitz 14 gezeigt. Die zu beiden Seiten der in Fig. 4 benachbarten Wand vorhandenen Wände besitzen an dieser Stelle keine eingearbeiteten Kupplungsschlitze 14, da die in der fertigen Struktur vorhandenen Kupplungsschlitze gegeneinander versetzt vorhanden sein müssen. So werden in jeder zweiten Halb-HonlfWmtrennwand 2 in Fig. 3 und 4 Kupplungsschlitze eingearbeitet, während in der anderen HaIb-Struktur bei ihrer Fertigung die jeweils an die bearbeiteten Wände, anschließenden Halbwände nicht bearbeitet werden, während die restlichen Wände ebenfalls Kupplungsschlitze 14 erhalten.

Wenn alle Bearbeitungsvorgänge an den beiden Halbstrukturen beendet sind, wird die Rückseite jeder H'albstruktur durch eine (nicht dargestellte) über die gesamte Länge durch Hartlöten aufgebrachte Platte abgeschlossen, und dann werden die beiden Halbstrukturen

an ihren noch offenen Flächen aneinandergelegt und durch Hartlöten oder Diffusionsverbinden miteinander vereinigt.

Wenn es bei dem anhand der Fig. 3 und. 4 beschriebenen Verfahren erforderlich ist, daß Hülsen- oder Triftrohre aus den Hohlraum-Trennwänden hervorstehen, werden die Teil-Strahlöffnungen 5 in jeder Teilwand 2 der beiden Halbstrukturen in Übergröße hergestellt und

einzelne Hülsen- oder Triftrohre in jeder Teil-Strahlöffnung einer der beiden HaIbstrukturen vor dem Vereinigen der beiden Halbstrukturen durch Hartlöten befestigt. Das Einlöten der einzelnen Hülsen in die Teil-Strahlöffnungen der anderen Halbstruktur wird dann beim Abschluß-Ofenlöten vollzogen.

Bei der in Fig. 6 dargestellter. Struktur wird wiederum ein Rohling oder Knüppel 10 aus angelassenem oder weichgemachten Kupfer gemäß Fig. 5 einem Senkvorgang unterzogen, jedoch wird in diesem Fall nur ein Schnitteil mit der gesamten Hohlraumhöhe genommen. Anders als bei dem anhand der Fig. 3 und 4 beschriebenen Verfahren wird hier der Hauptteil der LangsamweIlen-Struktur in einem Stück und nicht aus zwei HaIbstrukturen gebildet.

Die Form des bei dem mit Bezug auf Fig. 6 zu beschreibenden Verfahren verwendeten Senkstempels ist so ausgebildet, daß die Hohlräume 1 wiederum allgemein quadratisch oder rechtwinklig ausgebildet sind, jedoch werden hier Ansätze 15 von beiden Seiten der Hohlraum-Trennwände 2 vorstehend belassen. Die Ansätze 15 erstrekken sich in Blickrichtung von oben nach unten an den Wänden 2.

Dann wird die Strahlöffnung 5 durch die Gesamtlänge der Struktur von einem Ende zum anderen durch alle Trennwände und Ansätze hindurchgebohrt. Die Ansätze 15 wirken dann wie vorstehende Triftrohre, und erforderlichenfalls kann das Ansatzmaterial über und unter der gebohrten Strahlöffnung 5 durch Bearbeiten oder durch Funkenerosion entfernt werden, so daß eine von beiden Seiten einer Trennwand 2 abstehende Rohrform zurückbleibt.

Wiederum werden in die Trennwände 2 die erforderlichen Kopplungsöffnungen eingearbeitet, bevor die obere und die untere Platte und 17 in der erforderlichen Lage durch Hartlöten befestigt werden,, so daß die Hohlräume verschlossen sind.

Eel dem in Fig. 7 und 8 gezeigten Ausführungsbeispiel besitzt das aus dem Rohling 10 entnommene Scnnitteil wiederum die volle Hohlraumhöhe h, wie es mit Bezug auf Fig. 6 beschrieben wurde, jedoch ist in diesem Fall die Form des Senkstempels so ausgeführt, daß jede Hohlraum-Trennwand sich nur teilweise, nämlich mehr als die Hälfte über die Breite eines Hohlraumes erstreckt. Es fehlt so ein Wandabschnitt an einer Seite jeder zweiten Hohlraum-Trennwand 18 und ein Wandabschnitt der anderen Seite der übrigen Hohlraum-Trennwände 19. Damit findet die Kopplung über ein Gebilde statt, das als Serpentinen-Wellenleiter beschrieben werden kann.

Wiederum sind auch in diesem Ausführungsbeispiel Ansätze 15 von beiden Seiten der Wände 16 und 17 vorstehend belassen, und die Strahlöffnung 5 wird, wie vorher beschrieben, durch einen Bearbeitungsvorgang (z.B. Bohren oder Funkenerodieren) von einem Ende des sich in Längsrichtung erstreckenden Teils bis zum anderen Ende ausgebildet.

Die Hohlräume werden wiederum durch (nicht dargestellte) den Platten 16 und 17 in Fig. 6 entsprechende Platten verschlossen.

Es ist einzusehen, daß das mit Bezug auf die Fig. 7 und 8 beschriebene Verfahren auch so abgewandelt werden kann, daß sich ein "hülsenloser" Aufbau ergibt, indem der Senkstempel zur Ausbildung der Wände 18 und 19, jedoch nicht der Ansätze 15 geformt wird.

Dabei kann auch eine Abwandlung in der Form erfolgen, daß das anhand der Fig. 6, 7 und 8 beschriebene Verfahren bei einem Aufbau eingesetzt wird, bei dem zwei sich in Längsrichtung erstreckende Teile von jeweils der halben Hohlraumhöhe mit ihren Flächen aneinandergefügt werden, wie es allgemein mit Bezug auf Fig. 3 und 4 beschrieben wurde.

Claims (14)

1. Patentansprüche:

   /1. Verfahren zum Aufbau einer Wanderwellenröhre mit gekoppelten Hohlräumen, dadurch gekennzeichnet , daß die zugehörige Langsamwellen-Struktur mit einem Senkverfahren als mindestens ein sich in Längsrichtung erstreckendes Teil (1O¹) ausgebildet wird, durch welches eine Vielzahl von gesenkten Öffnungen gebildet ist, wobei jede Öffnung zumindest einen Teil eines erforderlichen Hohlraumes (1) in der fertigen Langsamwellen-Struktur bildet.
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem Senkverfahren tief in einen Materialrohling (10) eingesenkt wird, aus welchem ein sich in Längsrichtung erstreckendes Teil erhalten wird, und das ein Schnitteil (10') oder Schnitteile aus dem Rohling (10) zur Erzielung des sich in Längsrichtung erstreckenden Teils entnommen wird bzw. werden, wobei die eingesenkten öffnungen von einer vorderen sich in Längsrichtung erstreckenden Fläche zu einer hinteren sich in Längsrichtung erstreckenden Fläche durchgehen.
3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungen jeweils einen Teil eines erforderlichen Hohlraumes (1) bilden, daß ein zweites komplementäres, sich in Längsrichtung erstreckendes Teil vorgesehen wird, welches längs einer sich in Längsrichtung erstreckenden Fläche mit der sich in Längsrichtung erstreckenden Fläche des ersten Teils so verbunden wird, daß die Teilhohlräume in einem Teil mit den Teilhohlräumen in dem anderen Teil die erforderlichen Hohlräume der vollendeten Struktur bilden.
4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Teilhohlraum ein Halb-Hohlraum ist.
5. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in jedem üich in Längsrichtung erstreckenden Teil Halb-Strahlöffnungen (5) in den Halb-Hohlraum-Trennwänden (2) bei dem gleichen Senkvorgang zur Bildung der HaIb-Hohlräume ausgebildet werden.
6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennz eichnet, daß die Rückseiten der Teil-Hohlräume in jedem sich in Längsrichtung erstreckenden Teil durch je eine ar_t die Rückfläche jedes Teils durch Hartlöten oder auf andere Weise befestigte Platte (16, 17) abgeschlossen werden.
7. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückseiten der Teil-Hohlräume in jedem sich in Längsrichtung erstreckenden Teil durch eine mit Hartlöten oder auf andere Weise an der Rückfläche jedes Teils befestigte Platte abgeschlossen werden, bevor die beiden sich in Längsrichtung erstreckenden Teile an ihren Vereinigungsflächen vereinigt werden.
8. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Abschließen der Teil-Hohlräume in jedem sich in Längsrichtung erstreckenden Teil durch eine Platte (16, 17) und vor dem Vereinigen der sich in Längsrichtung erstreckenden Teile mit aufeinandergelegten Flächen Hohlraum-KopplungsÖffnungen (14) in der erforderlichen Weise in den Teil-Trennwänden (2) der beiden Teile ausgebildet werden.
9. 9. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jede Öffnung die Gesamthöhe eines erforderlichen Hohlraumes besitzt und daß ein und nur ein sich in Längsrichtung erstreckendes Teil vorgesehen ist, durch das die Öffnungen mit eine Senkverfahren hergestellt werden, und daß die erforderliche Strahlöffnung (5) durch Bearbeiten von einem Ende des sich in Längsrichtung erstrekkenden Teils zum anderen Ende ausgebildet wird.
10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem Senkvorgang Ansätze (15) von mindestens einer Seite jeder Hohlraum-Trennwand (2; 18, 19) abstehend ausgebildet werden und daß die Strahlöffnung (5) durch die Ansätze (15) hindurchgebohrt wird,
11. 11. Verfahren nach Anspruch 1O, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem Senkvorgang Ansätze (15) an beiden Seiten jeder Hohlraum-Trennwand (2; 18, 19) vorstehend ausgebildet werden und daß die Strahlöffnung (5) durch die Ansätze (15) hindurchgebohrt wird.
12. 12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Ansatzmaterial über und unter der du: einen Ansatz (15) hindurchgehenden Strahlöffnung (5) entfernt wird, um eine von der Hohlraum-Trennwand (2; 18, 19), von der der Ansatz (15) einen Teil bildet, abstehende Rohrform zurückzulassen.
13. 13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet , daß erforderliche Hohlrauin-Kopplungsöffnungen {14) in den Hohlraum-Trennwänden (2) durch herkömmliche Bearbeitung oder Funkenerosion ausgebildet werden und daß danach Platten (16, 17) durch Hartlöten oder auf andere Weise an den entgegengesetzt liegenden Flächen des sich in Längsrichtung erstreckenden Teils befestigt werden, um die Hohlräume abzuschließen.
14. 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet , daß die Hohlraum-Kopplungsöffnungen selbst bei dem Senkvorgang dadurch erzeugt werden, daß ein Senkstempel benutzt wird, der Hohlraum-Trennwände oder Teil-Hohlraum-Trennwände (18, 19) ausbildet, die sich nicht oder wenigstens nicht in voller Höhe quer über die Gesamtbreite eines Hohlraumes erstrecken, so daß an jeder Seite bei jeder zweiten Hohlraum-Trennwand (18) oder Teil-Hohlraum-Trennwand ein Wandabschnitt fehlt und an den restlichen Hohlraum-Trennwänden (19) oder Teil-Hohlraum-Trennwänden ein Wandabschnitt an der anderen Seite fehlt.