DE3330702A1 - Verfahren zur chemisch-thermischen behandlung von erzeugnissen mit hilfe einer glimmentladung und anlage zu deren durchfuehrung - Google Patents

Verfahren zur chemisch-thermischen behandlung von erzeugnissen mit hilfe einer glimmentladung und anlage zu deren durchfuehrung

Info

Publication number
DE3330702A1
DE3330702A1 DE19833330702 DE3330702A DE3330702A1 DE 3330702 A1 DE3330702 A1 DE 3330702A1 DE 19833330702 DE19833330702 DE 19833330702 DE 3330702 A DE3330702 A DE 3330702A DE 3330702 A1 DE3330702 A1 DE 3330702A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
products
discharge
treated
discharge chamber
current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19833330702
Other languages
English (en)
Other versions
DE3330702C2 (de
Inventor
Anatolij G. Istra Moskovskoi oblasti Aizenštein
Viktor N. Dedovsk Moskovskoi oblasti Blinov
Oleg G. Moskva Bulatov
Vladimir V. Kiričenko
Sergei F. Istra Moskovskoi oblasti Kravtsov
Vitalij A. Sverdlovsk Sinepolsky
Jurij P. Istra Moskovskoi oblasti Starostin
Anatolij I. Moskva Tsarenko
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VNI PK I T I ELEKTROTERMICESKO
Original Assignee
VNI PK I T I ELEKTROTERMICESKO
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VNI PK I T I ELEKTROTERMICESKO filed Critical VNI PK I T I ELEKTROTERMICESKO
Priority to DE19833330702 priority Critical patent/DE3330702A1/de
Publication of DE3330702A1 publication Critical patent/DE3330702A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3330702C2 publication Critical patent/DE3330702C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917Plasma diagnostics
    • H01J37/32935Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Discharge Heating (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • BESCHREIBUNG Die vorliesende Erfindung bezieht sich auf Verfahren zur Behandlung von Erzeugnissen, die zur Erwärmung der Erzeugnisse elektrische Entladungen benutzen, und auf Anlagen zur Durchführung dieser Verfahren und betrifft insbesondere Verfahren zur chemisch-thermi.chen Behandlung von Erzeugniseen unter Zuhilfenahme einer Gliuinentladung und Anlagen zu deren Durchführung.
  • Die Erfindung kann zur chemisch-thermischen behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe einer Glimmentladung für die Ionennitrierung, Ionenzementierung, lonennitrozementierung und das Auftragen von Uberzügen nach lonenverfahren verwendet werden und kann weitgehend in dem Maschinenbau, Werkzeugmaschinenbau, bei der Herstellung verschiedener Motoren und in anderen Zweigen der Tectmik, wo man Baugruppen und Teile verschiedener Metallerzeugnisse verfestigen muß, verwendet werden.
  • Gegenwartig flnden Verfahren zur chemisch-thermischen Behandlung unter Benutzung einer Glimmentladung eine immer weitere Verbreitung. Jedoch ist die Glimmentladung bei Strömen, die einige Ampere übersteigen, eine unstabile Form der Gasentladung, da sie unter dem Einfluß verschiedencr Störeinwirkungen in eine Lichtbogenentladung übergehen kann. Dies führt zu einer örtlichen Aufwärmung der zu behandelnden Teile, einer Beschadlgungr VOA/ Oberfläche und einer Uberlastung der Stromquelle. Deshalb erfordern die heutigen Anlagen, die GlimmentladungenbeEutzen, spezielle Behandlungsverfahren und Stromversorgungseinrichtun gen.
  • Bekannt ist ein Verfahren zur Behandlung von Erzeugnissen unter Benutzung einer Glimmentladung (s. zum Beispiel, GB-PS 1255321), bei dem man in einer als Anode dienenden Entladungskammer die zu behandelnden Erzeugnisse, die als kathode dienen, unterbringt, diese Kammer evakuiert und in dieser eine Glimmentladung zündet, indem man an diese Spannung anlegt. Hierbei wird die Glimmentladung durch einen pulsierenden Strom mit regelbarem Impulspausenverhältnis aufrechterhalten. Nach der Zündung der Gllmmentladung in der Entladungskammer werden die Erzeugnisse aufgew&rmt und gereinigt, der Druck in der Entladungskammer durch Eingeben eines zur Behandlung erforderlichen Gases erhöht und die zu behandelnden Erzeugnisse dort in Anwesenheit des Gases und der Glimmentladung bei der erforderlichen Temperatur über die fUr die Wsrmegehalten. behandlung nötige Zeit / Die Aufwärmung und Einhaltung der für die ,7ärmebehandlung erforderlichen Temperatur erfolgt durch Regelung des Impulspausenverhältnisses des die Glimmentladung aufrechterhaltenden stromes. Hierbei wird das Gas in die Entladungskammer entweder vor oder nach Aufwärmung der Erzeugnisse auf die Wärmebehandlungstemperatur eingeführt. Zur Verhinderung eines unstabilen Brennens der Entladung zwischen den Stromimpulsen wird eine Pause eingestellt. Die Dauer der Pause wird grösser als die zur Entionisierung der Entladungsstrecke benötigte Zeit gewählt.
  • Bei Bildung einer Lichtbogenentladung wird dor Beschädigungsgrad der zu behandelnden Teile durch die in das Erzeugnis wahrend des Bestehens der Lichtbogenentladung eingeführte Energie bestimmt. Bei dem benchriebenen Verfahren wird die in das zu behandelnde Erzeugnis durch beiden Impuls eingeführte Energie nicht kontrolliert und ändert sich in Abhängigkeit von den Parametern (Leitfähigkeit der Entladungsstrecke, Spannung) und der Art (Glimmentladung, Lichtbogcnentladunp") der Entladung Bei Bildung einer Lichtbogenentladung steigt die Stromimpulsenergie wegen der Zunahrne des Entladungsstromes an, da der Bogenentladungsstrom um einige Grös3enordnungen höher als der Glirn£rientladungsstrom ist. Dies schafft Voraussetzungen zur Beschadigung der zu behandelnden Erzeugnisse durch die Lichtbogenentladung. Darüber hinaus erfolgt die Löschung der Lichtbogenentladung dadurch, dass die Pause zwischen den Stromimpulsen grösser als die hntioninierungszeit der Xntladung,sstrecke unabhängig von der Art der Entladung in der Kammer vorgegeben wird. Dies ist nicht notwendig. Im Falle, wenn keine Lichtbogenentladung bei Einwirkung eines Stromimpulses entstanden ist,k°nntN2der folgende Impuls nach einer Zeit gegeben werden, die kleiner als die ntionisierungszeit der Entladungsstrecke ist.
  • Stellt man aber alle Zeitintervalle zwischen den Impulsen größer als die Entionisierungszeit der Entladungestrecke ein, ovo kommt es zur geringeren Produktivität, da während der Pause die Behandlung der Erzeugnisse entweder überhaupt nicht stattfindet oder mit wesentlich kleinerer Intensität geschieht.
  • Auch ist eine Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens bekannt (siehe z.B., GB-PS 1255321) die eine von einem Drehstromnetz gespeiste Gleichrichterbrücke enthält, deren nichtsteuerbare Anodenventilgruppe über einen strombegrenzenden Widerstand mit den zu bearbeitenden Erzeugnissen, die sich in der Entladungskammer des Ofens befinden und als Katode dieser Entladungskammer dienen, verbunden ist. Die pe der Gleichrichterbrücke ist mit der Anode (dem Körper) der Entladungskammer, die mit dem Eingang der Steuereinheit in Verbindungv steht, verbunden. Die Ausgänge der Steuereinheit sind mit don Steuerelektroden der Kathodenventilgruppe verbunden. Die Regelung der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse erfolgt mit Hilfe einer aus einem Thermoelement mit Verstärker bestehenden Vorrichtung, die mit einer Vergleichseinheit, in der die verstärkte Spannung des Thermoelementes mit der Bezugsspannung verglichen wird, verbunden ist. Die Bezugsspannung wird mit Hilfe eines Reelwiderstandes geändert, womit der erforderliche Temperaturwert geändert wird. Vom Ausgang der der Vergleichseinheit wird auf den Generator der Steuereinheit ein Verstimmungsslgnal gegeben. Hierbei ändert sich die Folgefrequenz der Steuerimpulse, die von der Steuereinheit auf die Steuerelektrode der Ventile der Gleichrichterbrücke gegeben werden, was die Liöglichkeft bietet, die der Entladungsknmmer zugeführte Leistung zu regeln und damit die Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse zu ändern.
  • Die Benutzung einer halbgesteuerten Gleichrichterbrücke in der Einrichtung schafft Voraussetzungen dazu, daß die Stromimpulsenergie bei Entstehung <in der Entlad ungsksnimer einer Lichtbogenentladung</>wesentlich gegenüber der Stromimpulsenergie beim Brennen einer Glimmentladung in der Ent- ladungskanimer ansteigt, wodurch eine Beschädigung der zu behandelnden Erzeugnisse stattfindet. Darüber hinaus vermindert der in dem Entladungskreis liegende strombegrenzende Widerstand den Wirkungsgrad der Anlage, was besonders bemerkbar bei Erhöhung der Leistung der verwendeten Ofen ist.
  • Bekannt ist auch ein Verfahren zur ohemlech--thermischen Behandlung von Erzeugnissen unter Verwendung einer Glimmentladung (s. UdSSR-Erfinderschein 623274), bei dem man in einer als Anode dienenden Entladungskammer, die zu behandelnden Erzeugnisse, die als Katode dienen, unterbringt. Dann evakuiert man die Entladungskammer und zündet in dieser eine Glilltmentladung duroh Anlegen von Spannungsimpulsen mit regelbarer Folgefreguenz. Nun erwärmt man die ErzeuLraisse auf die fur die Behandlung erforderliche Temperatur mit glcichzeltiger Einführung des für die Behandlunz bendtigten Gases in die Entladungskammer. Danaoh hält man die Erzeugnisse in der Entladungskammer bei erforderlicher Temperatur und Druck in Anwesenheit der Glimmentladung und des für die Behandlung benötigten Gases im Laufe der für die Behandlung erforderlichen Zeit aus. Zum Verhindern eines unstabilen Brennens der Entladung wird zwischen den Impulsen des die Glimmentladung aufrechterhaltenden Stromes eine Pause eingestellt, deren Dauer größer als die für die Entionisierung der Entladungsstrecke erforderliche Zeit ist. Dabei wird die mit jedem Spannungsimpuls übertragene Energie auf einen konstanten vorgegebenen Wert begrenzt. Dieser Wert wird derart gewählt, daß die Spannungsimpulsenergie stets kleiner gS die energie list, die eine Beschadigungt der zu behandelnden Erzeugnisse durch die entstehenden Lichtbogenentladungen hervorruft. Auf diese Weise wird eine Beschädigung der zu behandelnden Erzeugnisse in allen Behandlungszuständen verhindert. Die in der Entladungskammer entstehenden Lichtbogenentladungen rufen jedoch bei hinreichend großen Leistungen und Brenndauer nicht nur eine Beschädigung der zu behandelnden Erzeugnisse hervor, sondern tragen zu einer intensiven llelnigung der zu behandelnden Erzeugnisse von Verschmutzungen bei, die eine erhöhte Elektronenemission an der Oberfläche dieser Erzeugnisee hervorrufen. Deshalb führt das Streben nach einer maximalen Verminderung der Leistung und Brenndauer der Lichtbogenentladungen zu einer wecentlichn Vergrößerung der lür die Xcln1gung der Erzeugnisse erforderlichen Zeit, wodurch die Produktivität vermindert wird. Dieses Verfahren zur Wärmebehandlung von Erzeugnissen gestattet es, im Verlaufe der Behandlung das Impulsenergiebegrenzungsniveau bei Entstehung von Lichtbogenentladungen in der Entladungskammer zu ändern.
  • Bekannt ist auch eine Anlage zur Durchführung des Verfahrens zur chemisch-thermischen Behandlung von Erzeugnissen (s. z.B. UdSSA-Erfinderschein 623274), die eine Gleichspannungsquelle enthält, deren positiver Anschluß über eine mit einer Steuereinheit verbundene Thyristorbrücke mit einem in der Diagonale geechalteten Kondensator und eine Elnrlohtung zur Kontrolle der Glimmentladung mit dem Körper der Entladungskammer verbunden ist. Die in der Entladungskammer untergebrachten Teile sind mit einem der Anschlüsse einer strombegrenzenden Induktivität verbunden. Der andere Anschluß der strombegrenzenden Induktivität ist mit dem negativen Anschluß der Gleichspannungsquelle verbunden. An den negativen Anschluß der C;le ich3parLnun63quelle ist auch die Anode einer Rückspeisediode angeschlossen. Die Kathode der Rückspeisediode ist mit dem Körper der Entladungskammer verbunden.
  • Zur Kontrolle und Stabilisierung der Temperatur wird ein mit der Steuereinheit in Verbindung stehender Temperaturgeber benutzt. Zur Kontrolle des Zustandes der Entladung in der Kammer wird eine mit der Entladungskammer und der Steuereinheit verbundene Einrichtung zur Kontrolle der Glimentladung benutzt.
  • Die Regelung der für die Aufwärmung der zu behandelnden Erzeugnisse zugeführten Leistung erfolgt durch Änderung der Folgefrequenz der die Entladungskammer speisenden Spannungsimpulse. Hierbei liegt ständig im Kreis der in der Diagonale der Thyristorbrücke geschaltete Kondensator. Die Dauer des Entladunsstrotnirnpulses wird durch die z ; der dung dieses Kondensators von der Gleiohspannungsquelle bestimmt. Die Einzelspannungsimpulsenergie wird auf ein Niveau, das keine Beschädigung der zu behandelnden Teile durch die Lichtbogenentladuneen hervorruft, begrenzt und Iäost sich nach der Formel W = 2 Un2. C (1) errechnen. Hierin bedeuten: W - Wert der in einem Einzelimpuis während eines Arbeitstsktes der Anlage übertragenen Energie.
  • Uh- Spannung am Ausgang der Gleichspannungsquelle, C - Kapazität des in der Diagonale der Thyristorbrücke p,ench31teten Kondensators.
  • Da der Wert der im Spannungsimpule zu übertragenden Energie auf ein Niveau begrenzt ist, das keine Beschidigung der zu behandelnden Teile durch die Lichtbogenentladungen hervorruft, so erweisen oich - wie aus der Formel(l) hervorgeht - auch die Spannung am Ausgang der Gleichapannungsquelle und die Kapazität des in der Diagonale der Thyrietorbrücke geschalteten Kapazität als begrenzt. Da die Impulsfolrefrequenz der die Entladungskammer speisenden Spannung durch die Frequenzeigenschaften der in der Anlage verwendeten Thyristoren begrenzt ist, so ist such die Leistung, die von der Anlage zur Aufwärmung der zu behandelnden Teile abgegeben wird, ebenfalls begrenzt. Infolgedessen kann die beschriebene Anlage nicht zur Behandlung von Erzeugnissen benutzt werden, die für die Aufwarmung Leistungen erfordern, die den Höchstwert für diese Anlage übersteigen.
  • Darüber hinaus gestattet diese Anlage keine operative Anderung des Begrenzungsniveaus der im Impuls zu übertragenden energie wahrend des Behandlungsvorganges.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe einer Glimmentladung und eine Anlage zur Durchführung dieses Verfahrens zu schaffen, bei welchen die Art der Begrenzung der zugeführten Leistung es gestattet, die Produktivität und Quali tnt der Behandlung zu erhöhen und die für die Reinigung und Aufwärmung der Erzeugnisse benötigte Zeit zu reduzieren. einem Dies wird dadurch erreicht, dass man bei / Verfahren zur chemisch-thermischen Behandlung von Erzeugnissen mit Hilre einer Glimmentladung, bei dem man die zu bearbeitenden Erzeugnisse in einer Entladungskammer unterbringt, diese evakuiert, an die Entladungskammer zur Zündung der Glimmentladung Spannungsimpulse anlegt, wobei man die Größe der in jedem Spannungsimpuls zu übertragenden Energie bei Entstehung von Lichtbogenentladungen auf ein Niveau begrenzt, das die Verhinderung einer Beschädigung der Oberfläche der zu behandelnden Teile durch die entstehenden Lichtbogenentladungen sichert, die Erzeugnisse unter gleichzeitiger Zuführung von Gas auf eine für die Behandlung erforderliche Temperatur, die durch Regelung der Folgefrequenz der Spannungsimpulse erreicht wird, aufwärmt und im Laufe der für die Behandlung erforderlichen Zeit hält, gemäß der Erfindung ab dem Zeitpunkt der Anlegung der Spannung an die Entiadungekammer einen der technologischen Parameter de3 Behandlungsvorganges mißt und be nach Änderung desselben bei Entstehung von Lichtbogenentladungen das Begrenzungsniveau der Impulsenergie derart ändert, daß der Größe des zu messenden technologischen Parameters zu jedem Zeitpunkt ein eigenes Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie entspricht, das dem größten Wert, bei dem Beschädigungen der Oberfläche der zu behandelnden Erzeurnis2e durch die entcb.½eibon steheIlden £aichtborenentladungen / nahe ist.
  • Es ist zweckmäßig, daß man zwecks Verhinderung einer Beschädigung der Oberfläche der zu bearbeitenden Erzeugnisse das Begrenzurjgsniveau der Impulsenergie nach linearem Gesetz bei Anstieg der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse vermindert.
  • Es ist auch zweckmäßig, daß man zwecks operativer Änderung des Begrenzungsniveaus der Impuls energie bei Entstehung von Lichtbogenentladungen in der Entladungskammer das Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie durch Regelung der Dauer des zugeführten Spannungsimpulses ändert.
  • Dies wird auch dadurch erreicht, daß die Anlage zur Durchführurg des Verfahrens zur chemisch-thermischen Behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe einer Glimmentladung, die eine Reihenschaltung einer Gleichspannungsquelle, einer an eine Steuereinheit angeschlossenen Thyristorbrücke mit einem in der Diagonale geschalteten Kondensator, deren Anodengruppe an den positiven Anschluß der Gleichspannungsquelle angeschlossen ist, einer Entladungskammer, an welche eine mit der Steuereinheit verbundene Einrichtllng zur Kontrolle der Glimmenentludung angeschlo:?sen ist, deren Körper als Anode dient, leitend mit der Kathodengruppe der Thyristorbrücke und mechanisch mit einer Vorrichtung zur Förderung und Evakuierung des Gases verbunden ist, während die in dieser Kammer untereebrachten zu behandelnden Erzeugnisse als Katode dienen, an welche ein mit der Steuereinheit verbundener Temperaturgeber angeschlossen ist, einer strombegrenzenden Induktivität, deren einer Anschluß mit dem negativen AnsallluS der Gleichspannungsquelle und deren anderer Anschluß mit den zu behandelnden Erzeugnissen verbunden ist, sowie einer Rückspeisediode, deren Anode an den negativen Anschluß der Gleichspannungsquelle gelegt ist und deren Ka-Anode mit dem Körper der Entladungskammer in Verbindung steht, enthält, gemäß der Erfindung zusätzlich eine Reihenschaltung einer Einheit zur zwangsläufigen Kommutierung des Entladungsstromes, die mit dem positiven und negativen Anschlup der Gele Gleichspannungsquelle und dein eruten Anschluß der strolabegrenzenden Induktivität verbunden ist, und einer Einheit zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen, deren Eingänge mit dem Temperaturgeber und der Einheit zur Kontrolle der Glimmentladung und deren Ausgang mit der Einheit zur zwangsläufigen Kommutierung des Entladungsstromes verbunden sind, sowie ein erstes Ventil, dessen Anode an den ersten Anschluß der strombegrenzenden Induktivität, deren Katode an den negativen AwlschluB der Gleichstromquelle und teuerelektrode - an die oteuereinheit angeschlossen sind, ein zweites Ventil, dessen Anode an den ersten Anschluß der strombegrenzenden Induktivität und dessen Katode an den positiven Anschluß der Gleichstromquelle angeschlossen sind, und ein drittes Ventil, dessen Anode mit dem Körper der Entladungskammer, dessen Kathode mit dem zu behandelnden Erzeugnissen und dessen Steuerelektrode mit dem anderen Ausgang der Einheit zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen verbunden sind, vorgesehen ist.
  • Es ist zweckmäBig,wenn zwecks operat-iver Änderung des Begrenzungsniveaus der im Spannungsimpuls zu übertragenden Energie bei Entstehung von Licht bogenentladungen in der Kammer die Einheit zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen einen Summierer dessen Eingänge an die Gleichspannungsquelle und den Temperaturgeber angeschlossen sind, ein Verzögerungselement, deren Eingänge an die Ausgänge des Summierers und der Einrichtung zur Kontrolle der Glimmentladung angeschlossen sind, und zwei AnpassurEselemente, deren Eingange an das Verzögerungselement, angeschlossen sind, wobei der Ausgang des einen Verzögerungselementes mit der Einheit zur zwansläufigen Konunutierung des Entladungs stromes und der Ausgang des anderen mit der Steuerelektrode des dritten Ventils verbunden sind, enthält.
  • Die Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe von Glimmentladungen und der Anlage zu dessen Durchführung verhindern Beschädigungen der Oberfläche der zu bearbeitenden Zrzeugnisse bei entstehenden Lichtbogenentladungen. Die Behandlung der Erzeugnisse erfolgt unter optimalen Bedingungen, was die Möglichkeit bietet, die Behandlungszeit zu verkürzen und die Behandlungsgüte der Erzeugnisse und die Leistungsfähigkeit der Anlage zu erhöhen.
  • Nachstehend wird die Erfindung durch die Beschreibung eines Ausführungsbeispiel.¢ unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen erläutert. Es zeigen: Fig. 1 eine Abhängigkeit des zulässigen Energiewertes, der nicht zur Beschädigung der Oberfläche der zu behandelnden Erzeugnisse durch entstehende Lichtbogenentladungen führt, von der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse, gemäß der Erfindung; Fig. 2 eine Abhängigkeit der Dauer der Speisespannungsimpulse von der Temperatur der zu bearbeitenden Erzeugnisse, gemäß der Erfindung; 2 3 ein Funktionsschema einer Anlage zur chemisoh--thermischen Behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe der Glimmentladung, die das erfindungsgemäße Verfahren anwendet.
  • Fig. 4 ein elektrisches Schaltbild einer Einheit zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladung, gemäß der Erfindung.
  • Das Verfahren zur chemisch-thermischen Behandlung von Erzeugnissen unter Zuhilfenahme einer Glimmentledung besteht darin, das man die zu behandelnden Teile in einer Entladungskammer unterbringt, diese evakuiert und an diese Impulsspannung zum Zünden der Glimmentladung anlegt. Dann erwärmt man die Erzeugnisse auf die erforderliche Behandlungstemperatur. Gleichzeitig führt man in die Entladungskammer Gas ein. Die Aufwärmung der Erzeugnisse erfolgt durch Regelung der Folgefrequenz der auf die Entladungskammer gegebenen Spannungsimpulse, hierbei ändert sich die Größe der den i!;rzeunissen zut;o£uhrten Leistung. Dann hält mari die Erzeugnisse in der Entladungskammer in Anwesenheit des darin sättigenden Gases und der Glimmentladung bei erforderlicher Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse und Druck des sättigenden Gases im Laufe der für die Behandlung erforderlichen Zeit. Hierbei begrenzt man im Falle einer Entstehung von Lichtbogenentladungen in der Kammer die Spannunsimpulsenergie aul ein Niveau, bei dem das Ausbleiben von Beschädigungen der zu behandelnden Erzeugnisse durch die entstehenden Lichtbogenentladungen gesichert ist.
  • Die bei der Behandlung in der Entladungskammer entstehenden Lichtbogenentladungen wirken auf den technologischen Prozeß ein. Einerseits können die Lichtbogenentadungen bei hinreichend großer Energie und Brenndauer eine Beschädigung der Oberfläche der zu behandelnden Erzeugnisse hervorrufen.
  • Andererselts traten die Lichtbogenentladungen zu einer lntensiven ReinlgungP der Oberfläche der zu behandelnden Erzeugnisse von Verschmutzungen die eine erhöhte Elektronenmission hervorrufen bei, während eine unvertretbare Senkung der Energie und Brennzeit eine Verminderung der Leistungsfähigkeit der Anlage zur Folge hätte. Es ist nun zweckmäßig, die Energie der entstehenden Lichtbogenentlad ungen auf einenlbestimmten Grenzniveau, das keine Beschädigung der zu behandelnden Erzeugnisse hervorruft, zu halten. Der Wert dieses Niveaus hängt von der Zusammensetzung des Arbeitsgasgemisches, dem Zustand der Oberfläche der zu behandelnden Erzeugnisse und den Forderungen an deren Oberfläche, von dem Material der ErzeusPnioee und den technologischen Parametern des Behandlungsvorganges (Druck und Temperatur) ab und ändert eich bei Messung derselben im Verlaufe der Behandlung. Den gröbsten Einfluß auf den Wert des zulässigen Begrenzungsniveaus der im Impuls zu übertragenden Energie übt die Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse aus.
  • Bei dem erfindungsremäßen Verfahren zur chemisch--thermischen Behandlung von Erzeugnissen mißt man ab dem Anlegen der Spannungsimpulse an die Entladungskanirner die Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse und vermindert je nach Zunahme derselben bei EntstehungP von Lichtbogenentladungen in der Kammer das Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie derart, daß der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse zu jedem Zeitpunkt ihr Begrenztings niveau der Impulsenergie entspricht, das dem grdßten Wert, bei dem das Ausbleiben von Beschädigungen der Oberfläche der zu behandelnden Erzeugnisse durch die entstehenden Lichtbogenentladungen gesichert ist, nahe ist.
  • Die Verhinderung einer Beschädigung der Oberfläche der zu behandelnden Erzeugnisse durch die in der Kammer entstehenden Lichtbogenentladungen bei der Aufwärmung der Erzeugnisse wird dadurch erreicht, daß man das Begrenzungsnivea der im Impuls zu übertragenden Energie nach einem linearen Gesetz bei Anstieg der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse vermindert. Den Änderungsverlauf dieses Niveaus für das hier zu behandelnde Ausführtmgsbeispiel zeigt die Kurve 1 (Fig.l).
  • Die Änderung des Begrenzungsniveaus der im Impuls zu übertragenden Energie erfolgt bei dem erfindungsgemäßen Verfahren durch Änderung der Dauer des die Entladungskammer speisenden Spannungsimpulses. Hierbei wird die Dauer der die Entladungskammer speisenden Spannungsimpulse derart geandert, das Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie nach linearem Gesetz bei Anstieg der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse vermindert wird.
  • Wenn das Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie entsprechend der Kurve 1 geändert wird, soll sich die Dauer der die Entladungskammer speisenden Spannungsimpulse entsprechend der Kurve 2 (Fig. 2) ändern.
  • Die praktische Änderung der Dauer der die Entladungskammer speisenden Spannungsimpulse erfolgt entsprechend der Kurve 3.
  • Die erfindungsgemäße Anlage zur Realisierung des Verfahrens zur chemisch-thermischen Behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe einer Glimmentladung enthält eine Gleichspannungsquelle 4 (Fig. 3), die einen aus Halbleiterdioden 5 bestehenden Dreiphasengleichrichter und einen Speicherkondensator 6 anl Ausgang aufweist. An den positiven Anschluß 7 und den negativen Anschluß 8 der Gleichspannungsquelle 4 ist eine Einheit 9 zur zwangsläufigen gommutierung des Entladungsstromes angeschlossen. Die Einheit 9 zur zwangsläufigen Kommutierung des Entladuncsstromes ist mit einem Widerstand 10 versehon, der mit einem seiner Anschlüsse an den positiven Anschluß 7 der Gleicnspannungsquelle 4 gelegt ist. Die weiter Einheit 9 enthält / parallel geschaltete Glieder, von welchen das eine aus einer an den zweiten Anschluß des Widerstandes 10 angeschlossenen Drossel 11 und einer mit dieser in Reihe geschalteten Halbleiterdiode 12, das andere aus einem Halbleiterthyristor 13, dessen Anode an den zweiten Anschluß des Widerstandes 10 angeschlossen ist, und das dritte aus einem Widerstand 14 ud einem mit dieser in Reihe liegenden hondensators 15 besteht, dessen Belag an den zweiten Anschluß des Widerstandes 10 anseschlossen ist. Die Anode der Halbleiterdiode 12, die Katode des Thyristors 13 und der zweite Anschluß des Widerstandes 14 sind an den ne-6ativen'Anschluß 8 der Gleichspannungsquelle 4 angeschlossen.
  • An den Verbindungspunkt zwischen dem Kondensator 15 und dem Widerstand 14 sind die Anode eines ersten Ventile 16, dessei Kat%Je an den negativen Anschluß 8 der GlelchYpannungsqueile 4 angeschlos2en ist, und die Anode eines zweiten Ventils 17, dessen Kathode an den positiven Anschluß 7 der Gleichspannungsquelle 4 angeschlossen ist, gelegt. Die Steuerelektrode des ersten Ventils 16 ist an eine Steuereinheit 18 angeschlossen. An den positiven Anschluß 7 der Gleichspannungsquelle 4 ist auch die Anodengruppe 19 einer Thyristorbrücke 20 gelegt. Die Thyristorbrücke 20 besteht aus Halbleiterthyristoren 21, 22, 23 und 24 und einem in der Diagonale dieser Brücke 20 geschalteten Kondensator 25. Die Steuerelektroden der Thyristoren 21, 22, 23 und 24 sind an die Steuereinheit 18 angeschlossen. Die Kattdengruppe 26 der Thyristorbrücke 20 ist mit der Anode eines dritten Venteils 27 verbunden, dessen Kathode mit einem der Anschlüsse einer strombegrenzenden Induktivität 28 und der Kathode einer Rückspeisediode 29 in Verbindung steht Die Anode der Rückspeisediode 29 ist mit dem negativen Anschluß 8 der Gleichspannungsquelle 4 verbunden. Der zweite Anschluß der strombegrenzenden Induktivität 2d ist mit der Anode des erh sten Ventile 16 verbunden. Die Katodengruppe 26 der TIW-ristorbrücke 20 ist auch mit einer Einrichtung 30 zur Kontrolle der Glimmentladung verbunden. Die Einrichtung 30 zur Kontrolle der Glimmentladung besteht aus einem Nebenschluß 3 der mit einem Anschluß an die Anode des dritten Ventils 27 weiter gelegt ist. Die Einrichtung 30 enthält / in Reihe geschaltete Widerstände 32 und 33, die einen Spannungsteiler bilden, und eine Schwellenwertschaltung 34, deren Eingang £e mit den beiden Anschlüssen des Nebenschlusses 31 und dem Verbindungspunkt der in Reihe geschalteten Widerstände 32 und 33 verbunden sind. Der zweite Anschlup des Nebenschlusses 31 ist mit dem Anschluß des Widerstandes 32 verbunden. h Der zweite Anschluß des Widerstandes 33 ist mit der Katode des dritten Ventils 27 verbunden. Der Ausgang 35 der Schwellenwertschaltung 34 ist mit einem der Eingänge der Steuereinheit ld und dem Eingang 36 einer Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladung verbunden. Der eine Ausgang 38 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladung ist an die Steuerelektrode des Thyristors 13 und der andere Ausgang 39 an die Steuerelektrode des dritten Ventils 27 angeschlossen. Der zweite Eingang 40 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Licht bogenentladung ist mit dem Ausgang eines Temperaturgebers 41 verbunden.
  • Der Ausgang des Temperaturgebers 41 iot auch mit einer Tem- peraturstabilisierungseinheit 42 verbunden. Der Ausgang der Temperaturstabilisierungseinheit 42 ist mit dem zweiten Eingang der Steuereinheit 18 verbunden.
  • Der Eingang des Temperaturgebere 41 ist mit den in der Satladungskammer 43 untergebrachten zu behandelnden Erzeugnissen 44 verbunden. Die zu behandelnden Erzeugnisse 44 sind auch mit der Katode des dritten Ventils 27 und dem ersten Anschluß der strombegrenzenden Induktivität 28 verbunden. Der geerdete Körper 45 der Entladungskammer 43 ist mit dem zweiten Ende des Nebenschlusses 31 verbunden. Der Körper 45 der Entladungskammer 43 ist mechanisch über ein Sperrventil 46 mit einer Einrichtung 47 zur Evakuierung des Gases (einer Pumpe) und über ein Ventil 48 mit einer aus einer Gasflasche 50, einem Druckminderer 51 und einem Reaktor 52 bestehenden Vorrichtung 49 zur Förderung des Gases in die Entladungskammer 43 verbunden.
  • Die Einheit 3' (J?iL. 4) zur steuerung der Dauer der Lichtbogenentladung ist mit einer Bezugsspannungsquelle 53 und einem Summierer 54 versehen. Der eine Eingang des Summierers 54 ist an die Bezugsspannungsquelle 53 angeschlossen.
  • Der zweite Eingang des Summierers 54, der als Eingang 40 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladung dient, ist an den Temperaturgeber 41 angeschlossen. Der Ausgang des Swnmierers 54 ist an den Steuereingang eines regelburen Verzögerunssgl1edes 55 angeechlossen. Der Inrorma tionseingang des regelbaren Verzögerungsgliedes 55 dient als Eingang 36 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbouenentladung und ist mit der Einrichtung 30 zur Kontrolle der Glimmentladung verbunden. Der Ausgang des regelbaren Verzögerungsgliedes 55 ist mit den Eingängen der Anpassungselemente 56 und 57 verbunden.
  • Der Ausgang des Anpassungselementes 57 dient als Ausgang 3 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der. Lichtbogenentladung und ist an die Steuerelektrode des Thyristors 13 angeschlossen. Der Ausgang des Anpassungselementes 56 dient als Ausgang 39 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtboeenentladung und ist an die Steuerelektrode des dritten Ventils 27 angeschlossen.
  • Die erfindungsgemäße Anlage zur Durchführung des Verfahrens zur chemisch-thermische Behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe einer Glimmentladung, in derer Nitrierung der Erzeu;nisJe vorgenommen wird, funktioniert wie folgt.
  • In einer Entladungskammer 43 (Fig. 3) br ingt man die zu behandelnden Erzeugnisse 44 unter. Dann legt man an die se den Temperaturgeber 41 an, schließt die Kammer 43 ab, schaltet die Unterdruckpumpe 47 ein und öffnet das Sperrventil 46. Nach der Evakuierung der Entladungskammer 43 schließt man d ie die Gleichspannungsquelle an das Drehstromnetz ABC an. An den Anschlüssen 7 und 8 dieser Quelle 4 erscheint dabei eine Gleichspannung. Infolgedessen wird der Speicherkondensator 6 mit Gleichstrom auf die Ausgangsspannung der Diode 5 des nicht steuerbaren Gleichrichters aufgeladen. Gleichzeitig findet eine Aufladung des Kondenstators 15 von der Gleichspannungsquelle 4 über den Widerstand 10 und 14 auf den Wert der Spannung am Ausgang der Gleichspannungsquelle 4 statt. Hierbei erhält der Belag "a" des Kondensators 15 ein positives und der Belag "b" ein negatives Potential. Danach schaltet man die Steuereinheit 18 ein. Der Arbeitsalgorithmus der Steuereinheit 18 ist derart gewshlt daß die Steuerimpulse in jedem zweiten Takt auf die Steuerelektroden eines der Thyristorpaare 21 un( 23 bzw. 22 und 24 der Brücke 20 und gleichzeitig in jedem Takt auf die Steuerelektrode des ersten Ventils 16 gegeben werden. Die Folgefrequenz der Steuerimpulse wird sowohl manuell als auch automatisch geregelt.Im letzteren Falle wirc die Folgefrequenz der Steuerimpulse durch ein Signal, das am Eingang der Steuereinheit 18 von der Temperaturstabilisierungseinheit 42 eintrifft, bestimmt. In der Anfangsperiode der Behandlung, solange<noch>die Temperatur der zu handelnder Erzeugnisse 44 den erforderlichen Wert<>nicht erreicht hat, wird die Folgefrequenz der Steuerimpulse manuell geregelt Werden nach der Einschaltung der Steuereinheit 16. die Steuerimpulse auf das '2hyristorpaar 21, 23 und das erste Ventil 16 gegeben, so werden die Thyristoren 21 und 23 sowie das erste Ventil 16 geöffnet, und der Strom von der Gleichspannungsquelle 4 fließt über folgenden Kreis: positiven Anschluss 7 der Gleichspannungsquelle 4-Thyristor 21-Kondeneator 25-Thyristor 23-Nebonechluse 31-Körper 45 (Anode) der Entladungskammer 43 - zu behandelnde Erzeugnisse 44 (katode) - strombegrenzende Induktivität 28 erstes Ventil 16 - negativer Anschluss 8 der Gleichspannungsquelle 4. Der Kondensator 25 lädt sich dabei auf den Wert der Spannung am Ausgang der Gleichspannungsquelle auf. Im zweiten Arbeitstakt der Steuereinheit 18 werden die Steuerimpulse auf das Thyristorpaar 22, 24 und das erste Ventil 16 gegeben. Hierbei werden die Thyristoren 22 und 24 sowie das erste Ventil 16 geöffnet und der Kondensator 25 lädt sich von der Gleichstromquelle 4 über folgenden Kreis um: positiverAnschluse 7 der Gleichspannungsquelle 4-Thyristor 22-Kondensator 25-?hyristor 24-Nebenschluss 31-Körper 45 der Entladungskammer 43 - zu behandelnde Erzeugnisse 44--strombegrenzende Induktivität 28 - erstes Ventil 16-negativen Anschluss 8 der Gleichspannunsquelle 4. Im weiteren werden die Arbeltszyklen der ThyristorbrUck wiederholt. Angefangen vom zweiten Arbeitstakt der Steuereinheit 18 wird die Dauer des die Entladungskammer durchfliessenden Impulsstromes durch die Zeit der Umladung des Kondensators 25 von der Gleichspannungsquelle 4 bestimmt. hierbei wird an die Entladungskammer 43 ein Spannungsimpuls mit einer etwa der doppelten Ausgangaspannung der Gleichspannungsquelle 4 gleichen Amplitude angelegt. Die Form dieses Impulses hängt von den Parametern der Schaltung und der Art der ratladung in der Entladungskammer 43 ab, während die im Impuls zu übertragenden Energie konstant und unabhangig von der Art der Entladung in der Entladungskammer 43 ist.
  • Beim Anlegen von Spannungsimpulsen an die Entladung kammer 43 wird in dieser eine elektrische Entladung gezündet. Hierbei führt Jeder in der Anfangsperiode der Behandlung der Erzeugnisae 44 suf die Entladungskammer gegebene Spannungsimpuls zur Entstehung einer Lichtbogenentladung in dieser. Das Signal über die Entsteheung einer Lichtbosenentladung in der Entladungekammer 43 wird am Ausgang 35 der Einrichtung 30 zur Kontrolle der Glimmentladung formiert. Hauptelement der Einrichtung 30 zur Kontrolle der Gllmmentladung ist die Schwellenwertschaltung 34, die zwei stabile Zustände besitzt. Bei dem Übergang der Glimmentladung in eine Lichtbogenentladung findet daher ein starker Anstieg des Entladungsstrom in der Kammer 43 statt, während die Brennspannung der Lichtbogenentladung wesentlich kleiner als die Brennspannung der Glimmentladung ist. Deshalb steigt beim Uebergang der Glimmentladung in eine Lichtbogenentladung das Signal, das an der Schwellenwertschaltung 34 vom Nebenschluß 31 eintrifft, wesentlich an, während das Signal, das an dieser Schaltung 34 von dem durch die Widerstände 32 und 33 gebildeten parallel zur Entladungskammer 43 geschalteten Spannung teiler eintrifft, stark abnimmt. Hierbei wird die Schwellenwertschaltung 34 aus dem Zustand, der durch das Vorhandensein einer Glimmentladung in der Kammer 43 bedingt ist, in einen Zustand, der dem Vorhandensein einer Lichtbogenentladung in der Kammer 43 entspricht, umgesteuert.
  • Am Ausgang 35 dieser schaltung 34 erscheint ein Fnal, das von dem Ubergang der Glimmentladung in eine Lichtbogenentladung zeugt. Dieses Signal trifft am Eingang der Steuereinheit 18 ein und blokiert die Steuerimpulsgabe auf die Thyristoren 21, 22, 23, 24 der Brücke 20 und das erste Ventil 16 für die Zeit, innerhalb der eine Lichtbogenentladung in der Entladungskammer 43 besteht, und dann findet eine Entionisierung in dieser Kammer 43 statt. Gleichzeitig ge-1 anlegt ein Signal vom Ausgang 55 der Schwellenwertschaltung 34 auf den Eingang 36 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Ltchtbogenenladungen. Auf den zweiten Eingang 40 der Einheit 37 gelangt ein Signal von dem Temperaturgeber 41, das der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse proportional ist. Die Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen zusammen mit dem dritten Ventil 27 ermöglicht die Änderung der Dauer der die EntladunC-skammer 43 speisenden SpKnnunusimpulse bei Entstehung von Lichtbogenentladungen in dieser, was die Möglichkeit bietet, den Wert der der Entladungskammer 43 zugeführten Energie zu ändern. Hierbei ändert sich die Dauer der die Entladungskammer 43 speisenden Spannungs impulse in Abhängigkeit von der Temperatur der zu bearbeitenden Erzeugnisse 44. Zwecks Vereinfachung der Schaltung der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen erfolgt die Änderung der Dauer der die Entladungskammer 43 speisenden Spannungsimpulse bei Entstehung von Lichtbogenentladungen in dieser entsprechend der durch die Kurve 3 (Fig. 3) beschriebenen Abhängigkeit.
  • Hierbei liegt die zulässige Dauer der die Entladungsknamer 43 (Fig. 3) speisenden Spannungsimpulse für jeden Temperaturwert der zu behandelnden Erzeugnisse 44 etwas niedriger als die höchstzulässige Dauer dieser Impulse, die sich aus der Kurve 2 (Fig. 2). ergibt. Jedoch ist diese Verminderung der zulässigen Dauer der die Entladungskammer 43 (Fig. 3) speisenden Impulse unwesentlich und vergrößert praktisch die Dauer der Reinigung der Erzeugnisse 44 nicht. An den Eingangen der Einheit 37 (Fi. 4) zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen treffen zwei Signale ein. Am Eingang 40 trifft das Signal vom Temperaturgeber (Fig. 3) und am Eingang 36 (Fig. 4) das Signal von der Einrichtung 30 (Fig. 3) zur Kontrolle der Glimmentladung ein. Das Signal vom Eingang 40 (Fig. 4) des Temperaturgebers 41 gelangt an den Eingang 40 (Fig. 4) des Summierers 54. An den zweiten Eingang des Summierers 54 gelangt das Signal von der Bezugsspannungsquelle, welches die zur Behandlung der ErzeuE,nisse 44 (Fig. 3) erforderliche Temperatur bestimmt. In dem Summierer 54 (Fig. 4) findet ein Vergleich der zur Behandlung der Erzeugnisse 44 (Fig. 3) erforderlichen Temperatur mit der laufenden Temperatur dieser Erzeugnisse 44 statt. Falls sich die laufende Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse 44 von der zur Behandlung dieser Erzeugnisse 44 erforderlichen Temperatur unterscheldet, so erscheint am Ausgang des umqierers 54 (Fig. 4) ein Verstiiuaune,ssignal. Dieses Signal ist umso größer, je mehr sich die laufende Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse 44 (Fig. 3) von der zur Behandlung erforderlichen Temperatur unterscheidet. Im Falle einer Gleichheit des laufenden und des für die Behandlung erforderlichen Temperaturwertes ist das Verstimmungssignal gleich Null. Vom Ausgang des Summierers 54 (Fig. 4) gelangt das Verstimmungssignal, das ein Steuersignal ist, an einen der Eingänge des regelbaren Verzögerungsgliedes 55. Am zweiten Eingang 36 des Verzögerungegliedes 55 trifft das Signal vom Ausgang 35 (Fig. 3) der Schwellenwertschaltung 34 der Einrichtung 30 zur Kontrolle der Glimmentladung ein.
  • In dem Verzögerungsglied 55 (Fig. 4) findet eine Verzögerung des von der Schwellenwertschaltung 34 (Fig. 3) der Einrichtung 30 zur Kontrolle der Glimmentladung eintreffenden Signals statt. Hierbei ist die Verzögerung dieses Signals in dem Verzögerungsglied 55 (i. 4) von der GroBe des Verstimmungssignals, das am Eingang dieses Gliedes 55 von dem Summierer 54 eintrifft, abhängig. Je großer das Verstimmungssignal ist, desto gröber ist die Verzögerung des von der Schwellenwertschaltung 34 (Fig. 3 ) eintreffenden Signals in dem Verzögerungsglied 55 (Fig. 4). Bei einem Nullverstimmungssignal ist die Verzögerung des erwähnten Signals minimal. Im Änderungsbereich des Verstimmungssignals findet eine lineare Änderung der Verzögerung des von der Schwellenwertschaltung 34 (Fig. 3) eintreffenden signals in dem Verzögerungsglied 55 (Fi6r. 4) statt. Vom Ausgang des Verzögerungsgliedes 55 gelangt das Signal an die Eingänge der Anpassungselemente 56 und 57, die die Parameter dieses Signals auf die zur Zündung des Thyristors 13 (Fig. 3) und des dritten Ventils 27 erforderlichen Werte bringen.
  • Somit wird vom Ausgang 35 der Schwellenwertsctialtung 34 ein Signal, das von der Entstehung einer Lichtbogenentladung in der Kammer 43 zeugt, mit einer Verzögerung, die durch die Differenz zwischen der laufenden und erforderlichen Temperatur bestimmt wird, auf die Steuerelektroden des Thyristors 13 und des dritten Ventils 27 gegeben. Falls nach dem Einschalten der Steuereinheit 18, der Thyristoren 22, 24 der Brücke 20 und des ersten Ventils 16 in der Entladungskglmer 43 eine Lichtbogenentladung entsteht, so lädt slch der Kondensator 25 nach dem Schwingungsverlauf über folgenden Kreis: "positiven Anschluß 7 der Gleichspannungsquelle-Thyristor 22-Kondensator 25-Thyristor 24-Nebenschluß 31-Körper 45 der Entladungskammer 43- zu behandelnde Erzeugnisse 44--strombegrenzende Induktivität 28-erstes Ventil 16-negativen Anschluß 8 der Gleichspannungsquelle" schnell um. Hierbei wird ein Teil der während dieser Zeit übertragenen Energie in der Entladungskammer 43 zerstreut, und ein Teil der Energie gelangt an die strombegrenzende Induktivität 28. Nach der Umladung des Kondensators 25 auf den Wert der Ausgangsspannung der Gleichspannungsquelle 4 hört der Strom über die Thyristoren 22 und 24 auf und diese werden gesperrt. Gleichzeitig wird die Itüok2pel3edlode 29 leitend und bildet sich ein Kreis zur Auskopplung der in der strombegrenzenden Induktivität 28 gespeicherten Energie. Die Auskopplung der in der strombegrenzenden Induktivität 28 gespeicherten Energie erfolgt über den Kreis: "strombegrenzende Induktivität 28-erstes Ventil 1S-Rückspeisediode 29-NebenschluB 31-Körper 45 der Entladungskammer 43-zu bearbeitende Erzeugnisse 44-strombegrenzende Induktivität 28". Hierbei brennt in der EntladuR uknriler 43 die Lichtbogenentladung weiter. Den %eitpunkt der Entstehung der Lichtbogenentladung in der Entladungakaujiner 43 fixiert die Zinrichtung 30 zur Kontrolle der Glimmentladung. Am Ausgang 35 dieser Einrichtung 30 erscheint ein Signal, das davon zeugt daß in der Entladungskammer 43 eine Licht bogenentladung entsteht. Dieses Signal verhindert, daß Steuersignale auf die Thyristoren 21, 22, 23 und 24 der Brücke 20 und auf die Steuerelektrode des ersten Ventils 16 von der Steuereinheit 18 gegeben werden. Gleichzeitig gelangt dieses Signal an den Einfang 36 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen. Mit einer zeitlichen Verzogerung, deren Wert durch die Differenz zwischen der laufenden Temperatur und der für die Behandlung der Erzeugnisse 44 erforderlichen Temperatur bestimmt wird, erscheinen an den Auslangen 38 und 39 der Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen Steuerimpulse, die eweils an die Steuerelektroden des Thyristors 13 und des dritten Ventils 27 gelangen. Zu dieser Zeit ladet sich der Kondensator 25 auf den Wert der Ausgangsspannung der Gleichstromquelle 4 um und die Thyristoren 22 und 24 der Brücke werden gesperrt.
  • Beim Eintreffen von Steuerimpulsen an den Steuerelektroden des Thyristors 13 und des dritten Ventils 27 werden die se geöffnet.
  • Das Einschalten des dritten Ventils 27 führt dazu, dab der die Lichtbogenentladung in der Entladungskammer 43 aufrechterhaltende Strom über das Ventil 27 fließt. Hierbei erlischt die Lichtbogenentladung in der Entladungskammer 43 Somit gestattet es die Einheit 37 zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen zusammen mit dem dritten Ventil 27 und dem Temperaturgeber 41 die Brenndauer der Lichtbogenentladung in der Entladungskammer 43 in Abhängigkeit von der Temperatur der zu bearbeitenden Erzeugnisse 44 zu ändern. Dabei erfolgt die Änderung der Dauer der die Entladungskammer 43 speisenden Spannungsimpulse, die die Bogenentladung in der Entladungskammer 43 aufrechterhalten, in Abhängigkeit von der Temperatur der zu behandelnden Teile 4 linear entsprechend der Kurve 3 (Fig. 2).
  • Das Einschalten des Thyristors 13 (Fig. 3) Leiohzeitig mit dem dritten Ventil 27 führt dazu, daB an den eingeschalteten ersten Ventil 16 die Spannung von dem zuvor aufgeladenen Kondensator 15 angelegt wird. Dabei ist diese Spannung für das erste Ventil 16 eine Sperrspannung. Infolge dessen wird dieses gesperrt. Hierbei fließt der Strom der Licht bogenentladung, der früher über das erste Ventil 16 und die Entladungskammer 43 geflossen ist, nach dem Einschalten des Thyristors 13 und des dritten Ventils 27 über den Kreis: "strombeerenzende Induktivität 28-Sondensator 15-Thyristor 13-perrdiode 29-drittes Ventil 27-strombegrenz ende Induktivität 28". Der Kondensator 15 wird dabei nach dem Schwingungsverlauf umgeladen. Der Belag "b" des Kondensators 15 erlangt ein positives Potential und der Belag "a" ein negatives Potential. Sobald die Spannung am Kondensator 15 gleich der Ausgangsspannung der Gleichspannungsquelle 4 wird, öffnet sich das zweite Ventil 17 und es wird ein neuer Kreis zur Auskopplung der in der strombegrenzenden Induktivität 28 gespeicherten Energie gebildet. Die Energieauskopplung aus der strombegrenzenden Induktivität 28 erfolgt über den Kreis: "strombegrenzende Induktivität 28-zweites Ventil 17-gondensator 6-Rückspeisediode 29-drittes Ventil 27-strombegrenzende Induktivität 28. Somit geschieht die Energieauskopplung aus der strombegrenzenden Induktivität 28 in die Gle tohspannunga9uelle 4, es findet also eine rgiertoklieferung aus der strombegrenzenden Induktivität 28 in die Gleichspannungsquelle 4 statt, was den Wirkungsgrad der Anlage erhöht. Dic Energieauskopplung aus der strombegrenzenden Induktivität 28 erfolgt in einer kurzen Zeit, was eine hohe Folgefrequenz der d te Kammer 43 speisenden Spannung impulse ermöglicht und zur Erhöhung der Leistungsfähigkeit der Anlage beiträgt. Nach der Energieauskopplung aus der strorribegrenzenden Induktivität 28, bekommt die Steuere inheit 18 die Möglichkeit, Steuerimpulse auf das nächste Tby ristorpaar 21 und 23 der Brücke 20 und das erste Ventil 16 zu weben. Dabei werden die Thyristoren 21, 23 sowie das erste Ventil 16 geöffnet. Der Kondensator 15 der Einheit zur zwangsläufigen Kommutierung des Entladungsstromes ladet sich nach dem Schwin;ung;sverlauf über den Kreis: "Belag "b" des Kondensators 15-erstes Ventil 16-Diode 12-Droseel ll-Belag "a" des Kondensators 15" schnell um. hierbei erhält der Belag "a" des Kondensators 15 ein positives Potential und der Belag "b" dieses Kondensators 15 - ein negatives Belag. Nach einer derartigen Umladung des Kondensators 15 ist die Einheit 9 zur zwangsläuSi;en Kommutierung des Entladungsstromes zum nächsten Arbeitstakt vorbereitet. Im Laufe der weiteren Behandlung der Erzeugnisse 44 nimmt die Intensität der Entstehung von LLcht bogenantladungen in der Entladungskammer 43 ab, da die Erzeugnisse 44 allmiiiiiich gereinigt werden.
  • Dabei rufen nicht alle die Entladungsknmer 43 speisende Impulse eine Lichtbogenentladung in dieser hervor. Zuerst führen einzelne die Kntladungskammer 43 speisende Spannungsimpulse zur Entstehung einer Glimmentladung in dieser, dann nimmt die Zahl der die Entladungskammer 43 speisenden Impulse, die, zur Entstehung einer Glimmentladung führen, allmählich zu. Die behandelten Erzeugnisse 44 in der Kammer 43 werden allmählich aufgewärmt. Zur Erhöhung der Intensität der Aufwärmung der zu behandelnden Teile 44 hat man den Druck in der Entladungskammer 43 zu erhöhen. Dazu wird der Reaktor 52 eingeschaltet und der Druckminderer 51 an der Gasflasche 50 der Vorrichtung 49 zur Gasförderung Ln die Entladungskammer 48 geöffnet. Dann erhöht man allmählich den Druck in der Entladungskammer 43 mit Hilfe des Ventils 48.
  • Gleichzeitig erhöht man die Folgefrequenz der die Entladungakammer 43 speisenden Spannungsimpulse. Auf diese Weise wird eine allmähliche Aufwärmung der zu behandelnden Erzeugnisse se 44 auf die erforderliche Behandlungstemperatur bewirkt.
  • Der Druckanstieg in der Kammer 43 erfolgt allmählich damit beim Erreichen der erforderlichen Behandlungstemperatur der Druck in der Entladungskammer 43 den für die Behandlung erforderlichen Wert erreicht. Zum Zeitpunkt, wo die erforderliche Behandlungstemperatur erreicht ist, brennt in der Entladungskammer fast ständig eine Glimmentladung und es finden nur einzelne kurzzeitige Lichtbogenentladungen in dieser statt. Beim Brennen einer Glimmentladung in der Entladungskammer 43 erzeugt die Steuereinheit 18 abwechselnd Steuerimpulse für die Thyristorpaare 21 und 23 bzw.
  • 22 und 24 und in jedem Arbeitstakt der Steuereinheit 18 wird ein Steuerimpuls auf die Steuerelektrode des ersten Ventils 16 gegeben. Je nach dem in der Entladuny;akaramer 43 herrschenden Druck hat die Anlage zwei Betriebszustände. Bei einem niedrigen Druck in der Entladun6skammer 43 findet die Umladung des Kondensators 25 beim Einschalten der Thyristoren 21, 23 der Brücke 20 und des ersten Ventils 16 in aperiodischeinVerlauf statt. Hierbei fließt der die Glimmentladung in der Entladungskammer 43 aufrechterhaltende Strom über den Kreis: "positiver Anschluß 7 der Gleichspannungsquelle 4-Thyristor 21-gondensator 25-Thyr istor 25-Thyristor 23-Nebenschlud 31-Körper 45 der Entladungskammer 43- zu behandelnde Erzeugnisse 44-strombegrenzende Induktivität 28-erstes Ventil 16-negativen Anschluß 8 der Gleichspannungsquelle". Bei erhöhtem Druck in der Entladungskammer 43 führt das Einschalten der Thyristoren 21, 23 der Brücke und des ersten Ventils 16 zur Umladung des Kondensators 25 nach dem Schwlngungsverlauf. Hierbei ladet sich der Kondensator 25 über den Kreis: 1,positiver Anschluß 7 der Gleichstromquelle 4-Thyri.qtor 21-Kondensator 25-Thyristor 23-Nebenschluß 31-Körper der Entladungskammer 43- zu behandelnde Erzeugnisse 44--strombegrenzende Induktivität 28-erstes Ventil 16-negativer Anschluß 8 der Gleichspannungsque Ile 4" schnell um. Nach der Umladung des Kondensators 25 auf den.Wert der Ausgangsspannung der Gle iohspannungequelle hört der Strom über die Thyristoren 21 und 23 auf und diese werden gesperrt. Gleichzeitig öffnet sich die Rückspeisediode 29 und die in der trombegrenzenden Induktivität gespeicherte Energie wird aus dieser über den Kreis: "strombegrenzende Induktivität 28-erstes Ventil 16-Rückspeisediode 29-Nebenschluß 31-görper 45-der Entladungskammer 43-zu behandelnde Erzeugnisse se 44-strombegrenzende Induktivität 28" ausgekoppelt. Hierbei wird in der Entladungskammer 43 eine Glimmentladung aufrechterhalten.
  • Nach dem Erreichen der für die Behandlung der Erzeugnisse 44 erforderlichen Temperatur wird die Steuereinheit auf automatischen Betrieb umgestellt. Hierbei wird die Folgefrequenz der die Entladungskammer 43 speisenden Spannungsimpulse durch das an der Steuereinheit 18 von der Temperaturstabilisierungseinheit 42 eintreffende Signal bestimmt. Die Temperaturstabilisierungseinheit 42 wirkt auf die Steuereinheit derart ein, daß jede beliebige Abweichung der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse 44 von dem erforderlichen Wert zu einer solchen änderung der Folgefrequenz der die Kammer 43 speisenden Spannungsimpulse führt, daß die Temperatur der Erzeugnisse 44 auf den nötigen Wert gebracht wird.
  • Nach dem Erreichen der für die Behandlung der Erzeugnisse 44 erforderlichen Temperatur- und Druckwerte in der Entladungskammer 43 werden die Erzeugnisse bei.den erreichten Temperatur- und Druckwerten bei Vorhandenset GlimmentladurE im Laufe der für die Behandlung erforderlichen Zelt in der Kammer 43 gehalten. Danach wird die Gleichstromquelle 4 von dem, Drehstromnetz ABC abgeschaltet, das Präzisionsregelungsventil 48 und der Druckminderer 51 geschlossen und der Reaktor 52 abgeschaltet. Die Entladungakammer 43 wird erneut auf niedrigen Druck evakuiert, dann wird das Ventil 46 geschlossen und die Pumpe 47 abgeschaltet. Nachdem die behandelten Teile 44 abgekühlt sind, werden diese aus der Kammer 43 herausgenommen.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren und die Anlage zur chemisch-thermischen Behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe von Glimmentladung gestatten es, BesohädigungexL der zu behandeln den Erzeugnisse durOwi entstehende Lichtbogenentladungen völlig auszuschließen sowie die Qualität der zu behandelnden Erzeugnisse und die Leistungsfähigkeit der Anlage durch Verkürzung der gesamten Behandlungszeit zu erhöhen. Die erfindungsgemäße Anlage funktioniert zuverlässig bei technologiechen Kurzschlüssen der Belastung, welohe eine Ursache für die Entstehung von Lichtbogenentladungen sind, bietet die Möglichkeit, den Wirkungsgrad zu erhöhen, und sichertgu te Regelung des mittleren Wertes der die Kammer speisenden Spannung mit gutem cos #. - Leerseite -

Claims (5)

  1. VERFAHREN ZUR CHEMISCH-THERMISCHEN BEHANDLUNG VON XR-ZEUGNISSEN MIT HILFE EINER GLIMMENTLADUNG UND ANLAGE ZU DEREM DURCHFÜHRUNG - Patentansprüche Verfahren zur chemisch-thermischen Behandlung von Erzeugnissen mit Hilfe einer Glimmentladung, bei dem man - die zu behandelnden Erzeugnisse in einer Entladungskammer unterbringt, - die Entaldungskammer evakuiert, - an die Entladungskammer Spannungsimpulse zum Zünden der Glimmentladung anlegt, - die in jedem der Spannungsimpulse zu übertragende Energie bei Entstehung von Lichtbogenentladungen auf ein Niveau begrenzt, bei welchem 3e2chädigungen an der Oberfläche der zu behandelnden Erzeugnisse durch die entstehenden Llohtbogenentladungen ausbleiben - die zu behandelnden Erzeugnisse unter gleichzeitilger Zuführung von Gas auf die für die Behandlung erforderliche Temperatur, die durch Regelung, der panfiungs impulsfolgefrequenz erreicht wird, erwärmt, - die Erzeugisse in der Entladungsammer im Laufe der für dia Behandlung erforderlichen Zeit hält, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß man - nach dem Anlegen der Spannung an die Entladungskam- mer einen der technologischen Parameter des Behandlungsvorganges mißt, - je nach Anderung des zu messenden technologischen Parameters bei Entstehung von Lichtbogenentladungen das Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie derart ändert, daß der Größe des zu messenden technologiscnen Parameters zu Jedem Zeitpunkt ein eigenes Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie entspricht, das dem größten Wert, bei dem Beschädigungen der Oberfläche der zu behandelnden Erzeugnisse durch die entstehenden Lichtbogenentladungen ausbleiben, nahe liegt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g ek e n n z e i c h n e t, daß man - das Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie nach linearem Gesetz bei Anstieg der Temperatur der zu behandelnden Erzeugnisse vermindert.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r o h B ek e n n z e 1 c h n e t, daß man - das Begrenzungsniveau der im Impuls zu übertragenden Energie durch Regelung der Impulsdauer der zugeführten Spannung ändert.
  4. 4. Anlage zur Durchführung des Verfahrens zur chemisch-thermischen Behandlung von Erzeusnissen mit Hilfe elner Glimmentladung, enthaltend eine Reihenschaltung einer Gle icnspannungsquelle (4), - einer an die Steuereinheit 18 angeschlossenen Thyristorbrücke (20) mit einem in der Diagonale der Brücke geschalteten Kondensator (25), deren Anodengruppe (19) an den positiven Anschluß (7) der Gleichspannungsquelle (4) angeschlossen ist, - einer Entladungskammer (43), an welohe eine mit der Steuereinheit (18) verbundene Einrichtung (30) zur Kontrolle der Glimmentladung angeschlossen ist, deren Körper (45) als Anode dient, leitend mit der Kathodengruppe (26) der Thyristorbrücke (20) und mechanisch mit Vorrichtungen (47,49) zur Förderung und Evakuierung des Gases verbunden ist, während die in dieser Kammer untergebrachten zu benandelnden Erzeugnisse (44) als Katode dienen, an welche ein mit der Steuereinheit (18) verbundener Temperaturgeber (41) angeschlossen ist, - einer strombegrenzenden Induktivität (28), deren einer Anschluß mit dem negativen Anschluß (8) der Gleichepannungsquelle (4) und deren anderer Anschlup mit den zu behandelnden Erzeugnissen (44) verbunden ist, - einer Rückspeisediode (29), deren Anode an den negativen Anschluß (8) der Gleichspannungsquelle (4) gelegt ist und deren Katbode mit dem Körper (45) der Entladungsksmmer (43) verbunden ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß sie zusätzlich eine Reihenschaltung - einer Einheit (9) zur zwangsläufigen Kommutierung des Entladungsstromes die mit dem positiven und negativen Anschluß (7, 8) der Glcichspaririungsquellc (4) und dem ersten Anschluß der strombe6renzenden Induktivität (28) verbunden ist, und - einer Einheit (37) zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen, deren Eingänge (36, 40) mit dem Temperaturgeber (41) und der Einrichtung (30) zur Kontrolle der Glimmentladung und deren Ausgang (38) mit der Einheit (9) zur zwangslätifigen Koiamutierung des Entladungsatromes verbunden ist, - ein erstes Ventil (16), dessen Anode an den ersten Anschluß der strombegrenzenden Induktivität (26), dessen h Katode an den negativen Anschluß (8) der Gleichspannungsquelle (4) und dessen Steuerelektrode an die Steuereinheit (18) anbeschlo9sen ist, - ein zweites Ventil (17), dessen Anode an den ersten Anschluß der strombegrenzenden Induktivität (28) und desh sen Katode an den negativen Anschluß (7) der Gleichspannungsquelle (4) angeschlossen ist, - ein drittes Ventils (27), dessen Anode mit dem Körper (45) der intladingskammer (43), dessen Katode mit den zu behandelnden Erzeugnissen (44) und dessen Steuerelektrode mit dem anderen Ausgang (39) der Einheit (37) zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen verbunden list, enthält.
  5. 5. Anlage nach Anspruch 4, dadurch g e k e n n- z e i c h n e t, daß die Einheit zur Steuerung der Dauer der Lichtbogenentladungen - einen Swsmierer, dessen Eingänge an die Bezugaspannungsquelle und den 11emperatureber angeschlossen sind, - ein Verzögerungselement, dessen Eingänge an die Ausgänge des Summierers und der Einrichtung zur Kontrolle der Glimmentladung angeschlossen sind und - zwei Anpassungselemente, deren Eingänge an das Verzögerungselement angeschlossen sind, wobei der Ausgang des einen Anpassungselementes mit der Einheit zur zwangsläufigen Kommutierung des Entladungsstromes und der Ausgang des anderen mit der Steuerelektrode des zweiten Ventils verbunden ist, enthält.
DE19833330702 1983-08-25 1983-08-25 Verfahren zur chemisch-thermischen behandlung von erzeugnissen mit hilfe einer glimmentladung und anlage zu deren durchfuehrung Granted DE3330702A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833330702 DE3330702A1 (de) 1983-08-25 1983-08-25 Verfahren zur chemisch-thermischen behandlung von erzeugnissen mit hilfe einer glimmentladung und anlage zu deren durchfuehrung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833330702 DE3330702A1 (de) 1983-08-25 1983-08-25 Verfahren zur chemisch-thermischen behandlung von erzeugnissen mit hilfe einer glimmentladung und anlage zu deren durchfuehrung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3330702A1 true DE3330702A1 (de) 1985-03-07
DE3330702C2 DE3330702C2 (de) 1989-04-27

Family

ID=6207434

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19833330702 Granted DE3330702A1 (de) 1983-08-25 1983-08-25 Verfahren zur chemisch-thermischen behandlung von erzeugnissen mit hilfe einer glimmentladung und anlage zu deren durchfuehrung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3330702A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2595719A1 (fr) * 1986-03-14 1987-09-18 Walker Magnetics Group Inc Alimentation pour appareil de nitruration
WO1991015027A1 (en) * 1990-03-23 1991-10-03 Halmar Electronics, Inc. Arc diverter

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1255321A (en) * 1968-03-11 1971-12-01 Lucas Industries Ltd Surface diffusion processes using electrical glow discharges
DE2346053A1 (de) * 1973-02-19 1974-09-05 Berghaus Elektrophysik Anst Stromversorgungseinrichtung zum betrieb von gasentladungsbehaeltern
DE3123214A1 (de) * 1981-06-05 1983-01-05 Evgenij Leizerovi&ccaron; Agres Verfahren und einrichtung zum steuern einer chemischthermischen behandlung von werkstuecken in einer glimmentladung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1255321A (en) * 1968-03-11 1971-12-01 Lucas Industries Ltd Surface diffusion processes using electrical glow discharges
DE2346053A1 (de) * 1973-02-19 1974-09-05 Berghaus Elektrophysik Anst Stromversorgungseinrichtung zum betrieb von gasentladungsbehaeltern
DE3123214A1 (de) * 1981-06-05 1983-01-05 Evgenij Leizerovi&ccaron; Agres Verfahren und einrichtung zum steuern einer chemischthermischen behandlung von werkstuecken in einer glimmentladung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2595719A1 (fr) * 1986-03-14 1987-09-18 Walker Magnetics Group Inc Alimentation pour appareil de nitruration
WO1991015027A1 (en) * 1990-03-23 1991-10-03 Halmar Electronics, Inc. Arc diverter
AU645792B2 (en) * 1990-03-23 1994-01-27 Halmar Robicon Group, Inc Arc diverter

Also Published As

Publication number Publication date
DE3330702C2 (de) 1989-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2804605C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur thermochemischen Behandlung von Metallen
DE3007420A1 (de) Anlage zur chemisch-thermischen behandlung von metallischen werkstuecken bei glimmentladung
EP3138649B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum kondensatorentladeschweissen
DE3708071A1 (de) Energieversorgungsvorrichtung, insbesondere fuer eine gasentlandungsvorrichtung
DE1912114B2 (de) Oberflaechen-diffusionsverfahren unter verwendung von elektrischen glimmentladungen
DE1928198C3 (de) Kurzschluß-Lichtbogenschweißvorrichtung
DE1128063B (de) Schaltanordnung fuer Elektro-Erosion mit pulsierendem Gleichstrom
DE3330702A1 (de) Verfahren zur chemisch-thermischen behandlung von erzeugnissen mit hilfe einer glimmentladung und anlage zu deren durchfuehrung
DE2929818A1 (de) Regelschaltung fuer ein netzgeraet
DE2606396B2 (de) Vorrichtung zum Aufheizen und Einstellen einer vorgegebenen Behandlungstemperatur von Werkstücken mittels stromstarker Glimmentladung
DE2019157A1 (de) Versorgungseinrichtung mit einem saettigbaren Transduktor
DE2140241B2 (de) Verfahren zur Regelung des Betriebszustandes einer Anlage zur Plasmalichtbogenbearbeitung von Werkstücken und Plasmalichtbogenbearbeitungsanlage
DE1465047A1 (de) Anordnung zum Schweissen
DE3010541C2 (de)
CH444336A (de) Verfahren zum Wechselstrom-Lichtbogenschweissen von Leichtmetall unter Schutzgas und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens
DE3432963A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum anschweissen von bauteilen, insbesondere bolzen, an werkstuecken
DE663264C (de) Verfahren zum Regeln von Stromverbrauchern, insbesondere von elektrischen Widerstandsschweissmaschinen
CH680624A5 (de)
DE2100650A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Arbeiten mit einem Wechselstromlichtbogen unter Verwendung einer abschmelzenden Elektrode
DD203840A1 (de) Verfahren und steueranordnung zum widerstandsschweissen
DE2549019C3 (de) Anordnung zur Schnellabschaltung eines Verbrauchergleichstromes
DE898037C (de) Verfahren zum Ausbrennen der Metallschichten an Schwachstellen von metallischen Dielektrikumschichten fuer elektrische Kondensatoren
DE3829251C2 (de) Gleichspannungsversorgung mit abgestufter Schnellabschaltung
DE1589239C3 (de) Schaltungsanordnung zum Zünden und/oder Speisen einer Gas- und/oder Dampfentladungsröhre
DE700108C (de) Verfahren zur Verhinderung von Stoerungen bei elektrischen Entladungsgefaessen in Gleichrichterschaltung

Legal Events

Date Code Title Description
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: VON FUENER, A., DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT. EBBINGHAUS

8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee