DE3306790A1 - Lichtquelle - Google Patents

Lichtquelle

Info

Publication number
DE3306790A1
DE3306790A1 DE19833306790 DE3306790A DE3306790A1 DE 3306790 A1 DE3306790 A1 DE 3306790A1 DE 19833306790 DE19833306790 DE 19833306790 DE 3306790 A DE3306790 A DE 3306790A DE 3306790 A1 DE3306790 A1 DE 3306790A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light beam
light
light source
emitter
source according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19833306790
Other languages
English (en)
Other versions
DE3306790C2 (de
Inventor
James R. 94306 Palo Alto Calif. Casciani
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HP Inc
Original Assignee
Hewlett Packard Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hewlett Packard Co filed Critical Hewlett Packard Co
Publication of DE3306790A1 publication Critical patent/DE3306790A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3306790C2 publication Critical patent/DE3306790C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • H01L31/10Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. phototransistors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715Scale reading or illumination devices

Description

Hewlett-Packard Company .*:'*. „ :: : ^/ , .' oouu / uu
Int. Az.: Case 1596 **" " " ""' ' " 23. Februar 1983
Lichtquelle
Die Erfindung betrifft eine Lichtquelle gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Die Qualität einer elektrischen Wellenform, die von einem optischen Drehgeber gemäß der US-PS 42 66 125, deren Inhalt hier mit einbezogen ist, erzeugt wird, ist vom Grad der Kollimation der zum Erfassen der Wellenrotation verwendeten Lichtstrahlen abhängig. Der Grad der Kollimation ist selbst wieder sowohl von der physikalischen Größe der zum Erzeugen des Lichtstromes verwendeten Emitter als auch von der Brennweite der zum Erzeugen kollimierter Lichtstrahlen aus dem Lichtstrom verwendeten Kollimationslinsen abhängig. Somit ist für eine optimale Leistung eine punktförmige Quelle als kollimierte Lichtquelle ideal. Jedoch ist das von einem eine punktförmige Quelle bildenden Emitter ausgestrahlte Licht im allgemeinen zur Verwendung unzureichend und muß der Emitter vergrößert werden. Wenn der Emitter vergrößert wird, um die Gesamtleistung des ausgestrahlten Lichtes zu erhöhen, werden die von einer optischen Codiereinrichtung,beispielsweise von den Speichen einer sich drehenden Codierscheibe, geworfenen Schatten immer mehr verschwommen und undeutlich. Ein nachteiliges Ergebnis der Verwendung verschwommener Schatten besteht darin, daß sich die von der optischen Codiereinrichtung erzeugte elektrische Wellenform von einer optimalen reinen dreieckigen Wellenform auf eine abgerundete dreieckige Wellenform mit einem geringeren Signal-Rausch-Verhältnis verschlechtert. Der Schatten-
Verwischungseffekt eines vergrößerten Emitters ist bei an sich bekannten optischen Drehgebern durch Verkleinern der Codierscheibe und der Phasenplatte etwas verringert worden. Dieser Versuch einer Lösung hat die großen Nachteile, daß der mechanische Aufbau des optischen Drehgebers komplizierter wird, während gleichzeitig das Risiko einer infolge der notwendigen Nähe der Phasenplatte und der sich drehenden Codierscheibe entstehenden mechanischen Störung erhöht wird.
Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Ausbildung der gattungsgemäßen Lichtquelle derart, daß sie einer einachsigen punktförmigen Lichtquelle angenähert ist.
Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, daß die Lichtstrahllängenausdehnung größer als die Lichtstrahlbreitenausdehnung ist und daß die Detektoreinrichtung so angeordnet ist, daß sie den Lichtstrahl im wesentlichen entlang einer zur Längsrichtung des Lichtstrahles senkrechten Achse empfängt und abtastet.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat ein optischer Drehgeber Schlitzemitter, die so angeordnet sind, daß sie mit den Kollimationslinsen, den Codierscheibenspeichen und den Phasenplattenöffnungen fluchten. Die Schlitzemitter sind so geformt,daß ihre Breitenrichtung senkrecht zu der Radialachse der Codierscheibe verläuft und ihre Längsrichtung mit der Radialachse der Codierscheibe zusammenfällt. Der Grad der Liehtkollimation in der zur Radialachse der Codierscheibe senkrechten Richtung ist somit von der Breite der Schlitzemitter abhängig. Demzufolge sind der Grad der Lichtkollimation in dieser Richtung, d. h. auf einer zur Längsrichtung senkrechten Achse,
^5 die Schattendeutlichkeit und die Wellenformklarheit bei einer vorgegebenen Spaltgröße und einer vorgegebenen
-δι Kollimationslinsenbrennweite durch Verringern der Breite der Schlitzemitter für eine einachsige angenäherte Lichtemission von einer punktförmigen Quelle auf einen Höchstwert gebracht. Gleichzeitig kann die Gesamtstärke des von den Schlitzemittern erzeugten Lichtes je nach Bedarf dadurch erhöht \i/erden, daß lediglich die Länge der Schlitzeinitter vergrößert wird, ohne daß die Verwendung erhöhter Emitterstromdichten oder Vergrößerung der punktförmigen Quelle wie beim Stand der Technik erforderlich sind.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher
beschrieben. Es zeigt:
15
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung in auseinandergezogener Anordnung eines optischen Drehgebers der mit einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung aufgebaut ist, 20
Fig. 2 eine Rückansicht des in Fig. 1 gezeigten Emittermoduls,
Fig. 3 eine Draufsicht des in Fig„ 1 gezeigten Emittermoduls,
Fig. 4 eine Vordersicht des in Fig. 1 gezeigten Emittermoduls und
Fig. 5 eine detaillierte Darstellung eines in
Fig. 2 gezeigten Schlitzemitters.
In Fig. 1 ist eine perspektivische Darstellung in auseinandergezogener Anordnung eines optischen Drehgebers gezeigt, der mit einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung aufgebaut ist. Drei kollimierte
Lichtstrahlen werden von einem Emittermodul 10 erzeugt, das eine Emitterschalttafel 15 enthält, und werden von den Schlitzen und Streben, die an einer Codiereinrich*- tung, im vorliegenden Fall an einer sich drehenden Codierscheibe 20, angeordnet sind, und von den Blendenöffnungen, die an einer festen Phasenplatte 30 angeordnet sind, moduliert. Die modulierten Lichtstrahlen werden von einem Detektormodul 40 gespalten und fokussiert und werden von Fotodetektoren, die an einer Schalttafel 45 angeordnet sind, erfaßt. Die Betriebsweise des in Fig. 1 dargestellten optischen Drehgebers wird durch Bezugnahme auf die US-PS 42 6 6 125 besser verständlich, deren Inhalt hier mit einbezogen ist.
Figuren 2 bis 4 zeigen jeweils eine Rück-, Drauf- und Vorderansicht des in Fig. 1 gezeigten Emittermoduls 10. Kollimationslinsen 100, 110 und 120 sind an der Vorderseite des Emittermoduls 10 zum Aufnehmen und Kollimieren des von Schlitzemittern 70, 80 und 90 erzeugten Lichtstromes und zum Richten der drei kollimierten Lichtstrahlen auf die Codierscheibe 20 angeordnet. Die drei Schlitzemitter 70, 80 und 90 sind auf herkömmliche Weise an der Emitterschalttafel 15 befestigt. Die Emitterschalttafel 15 ist an der Rückseite des Emittermoduls
2^ 10 angebracht. Die genauen Befestigungsstellen der Schlitzemitter 70, 80 und 90 an der Emitterschalttafel 15 müssen in bezug auf die optischen Achsen der Kollimationslinsen 100, 110 und 120 und in bezug auf die Schlitze in der Codierscheibe 20 und die Blenden-
Öffnungen in der Phasenplatte 30 bestimmt werden. Die Schlitzemitter 70, 80 und 90 sind so ausgerichtet, daß ihre Zentren und folglich der ausgesandte Lichtstrom mit den optischen Achsen der Kollimationslinsen 100, 110 und 120 fluchten und daß sie auf den.selben radialen Achsen wie die Schlitze in der Codierscheibe 20 und die Blendenöffnungen in der Phasenplatte 30 liegen,
Ί _
wenn die kollimierten Lichtstrahlen moduliert, und abgetastet werden. In der zu den Radial achsen senkrechten Richtung nähern sich die Schlitzemitter der KoIl irnat ion von Licht aus einseinen punktformigen Quellen an, und
5' wegen ihrer Länge werden die Emitter nicht durch einen niedrigen Lichtstromausstoß verschlechtert.
In Fig. 5 ist eine genaue Darstellung des Schlitzemitters 70 gezeigt. Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, die hier beschrieben wird, sind die Schlitzemitter 80 und 90 untereinander identisch, obgleich dies bei anderen Anwendungen nicht unbedingt erforderlich ist. Die Fachleute v/erden in der Lage sein, Schlitzemitter gemäß der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zu entwerfen und zu bauen. Bei anderen Ausführungsformen können die verwendeten Schlitzemitter sehr wohl Abmessungen und Leistungsmerkinale haben, die sich von denen der hier für den Schlitzemitter
70 angegebenen unterscheiden.
20
Der Schlitzemitter 70, der bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung verwendet wird und in Fig. 5 dargestellt ist, wurde epitaktisch auf bekannte Art und Weise auf einem 0,2289 mm dicken GaAS-Substrat aufgebaut. Eine Aluminiumfläche 140 stellt die Plätze für Haftunterlagen, Sondenunterlagen und Fluchtmarken bereit. Eine epitaktische GaASP-Sperrschichtflache umgibt die Lichtemissionsfläche 160, die 0,3175 mm mal 0,0635 mm mißt. Während der Scheibchen (wafer)-
Prüfung strahlte der Schlitzemitter 70 Licht bei einer Nennwellenlänge von 700 Nanometer mit einer minimalen Leistungsdichte von 8,0 Mikrowatt/Steradiant aus, wobei er mit I„ = 10 Mikroamperes gespeist wurde.
In der zu der Radialachse der Codierscheibe 20 senkrechten
— 8 —
Richtung wird der Grad der Kollimation der aus den Kollimationslinsen 100, 110 und 120 herauskommenden Lichtstrahlen auf einen Höchstwert gebracht, wenn die Breite der Lichtemissionsfläche 160 auf einem Minimum gehalten wird. Die untere Grenze der Breite der Lichtemissionsfläche 160 ist sowohl von den bei der Herstellung des Schlitzemitters 70 verwendeten Metallätzverfahren als auch von der Höhe der Stromdichte, die toleriert werden kann, abhängig. Um eine ausreichende
]0 Gesamtleistung zu erzeugen, um die auf der Schalttafel 45 angeordneten Fotodetektoren zu aktivieren, ist es nicht notwendig, den Treibpegel des Schlitzemitters 70 zu erhöhen. Statt dessen wird die Länge der Lichtemission ε däche 160 vergrößert, um die ausgestrahlte Lichtleistung zu erhöhen.

Claims (6)

  1. Hewlett-Packard Company "\*::-,. f : "\": " 3306790
    Int. Az.: Case 1596 ·'■ * -* '-''·-- 23. Februar, 1983
    Lichtquelle
    Patentansprüche
    ( iy Lichtquelle, umfassend Lichtemissionsmittel zum Erzeugen eines länglichen Lichtstrahles, der ein Zentrum, eine Längenausdehnung und eine Breitenausdehnung hat, und eine Detektoreinrichtung zum Erzeugen eines elektrischen Signals als Antwort auf die Erfassung des Lichtstrahles, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtstrahllängenausdehnung größer als die Lichtstrahlbreitenausdehnung ist und daß die Detektoreinrichtung (45) so angeordnet ist, daß sie den Lichtstrahl im wesentlichen entlang einer zur Längsrichtung des Lichtstrahles senkrechten Achse empfängt und abtastet.
  2. 2. Lichtquelle nach Anspruch !,dadurch gekennzeichnet, daß eine Codiereinrichtung (20) zum Modulieren des Lichtstrahles zwischen den Lichtemissionsmitteln (70, 80,90)und der Detektoreinrichtung (45) angeordnet· ist.
  3. 3. Lichtquelle nach Anspruch 2,dadurch g e kennzeichnet, daß das Zentrum des Lichtstrahles mit einer optischen Achse der Codiereinrichtung (20) fluchtet.
  4. 4. Lichtquelle nach Anspruch 1,dadurch g e 3^ kennzeichnet, daß Kollimationsmittel (100, 110, 120) zum Kollimieren des Lichtstrahles,um von dort
    330679U
    aus einen einachsigen kollimierten Lichtstrahl zu erzeugen, so angeordnet sind, daß sie das Licht von den Lichtemissionsmitteln (70, 80, 90) empfangen.
  5. 5. Lichtquelle nach Anspruch 4,dadurch g e kennze ichnet, daß das Zentrum des Lichtstrahles mit einer optischen Achse der Kollimationsmittel (100, 110, 120) fluchtet.
  6. 6. Lichtquelle nach Anspruch 5,dadurch gekennzeichnet, daß die Längenausdehnung des länglichen Lichtstrahles mindestens fünfmal so groß wie seine Broitenausdehnung ist.
DE19833306790 1982-03-05 1983-02-26 Lichtquelle Granted DE3306790A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/355,002 US4508965A (en) 1982-03-05 1982-03-05 Uniaxially collimated light source for optical shaft angle encoders

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3306790A1 true DE3306790A1 (de) 1983-09-15
DE3306790C2 DE3306790C2 (de) 1992-04-30

Family

ID=23395848

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19833306790 Granted DE3306790A1 (de) 1982-03-05 1983-02-26 Lichtquelle

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4508965A (de)
JP (1) JPS58165384A (de)
DE (1) DE3306790A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0184628A2 (de) * 1984-12-08 1986-06-18 Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH Abtastkopf für Schrittgeber, insbesondere Winkelschrittgeber

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1987005693A1 (en) * 1986-03-14 1987-09-24 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Photoelectric displacement detector
US4660242A (en) * 1986-03-24 1987-04-28 International Shoe Machine Corporation Activator
US4952799A (en) * 1989-03-10 1990-08-28 Hewlett-Packard Company Reflective shaft angle encoder
DE19510726C2 (de) * 1994-03-31 2002-06-27 Siemens Microelectronics Inc Verfahren zur Ausrichtung eines Lichtweges bei einer Optikeinrichtung
DE19511474A1 (de) * 1994-03-31 1995-10-05 Siemens Comp Inc Optischer Kodierer
US7244928B2 (en) * 2005-01-07 2007-07-17 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical encoder
CN112304252B (zh) * 2020-10-30 2022-03-22 维沃移动通信有限公司 折叠角度确定方法、折叠设备及电子设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3808447A (en) * 1971-05-28 1974-04-30 Wilkata Codes Inc Photoelectric scanning device using diffuse and specular reflection
US4266125A (en) * 1978-12-21 1981-05-05 Hewlett-Packard Company Optical shaft angle encoder
DE3145098A1 (de) * 1980-11-25 1982-06-16 BEI Electronics, Inc., 93103 Santa Barbara, Calif. Optisches system fuer einen optischen codierer

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3999064A (en) * 1975-01-09 1976-12-21 The Brunton Company Angular displacement measuring apparatus with strobe means
US4319134A (en) * 1978-06-16 1982-03-09 Sensor Technology, Inc. Optical encoder
DE2848612C2 (de) * 1978-11-09 1981-05-27 Pfaff Haushaltsmaschinen GmbH, 7500 Karlsruhe Impulsgeber eines Nähmaschinenantriebes
US4263506A (en) * 1978-12-21 1981-04-21 Hewlett-Packard Company Pulse generating apparatus
JPS56151311A (en) * 1980-04-25 1981-11-24 Hitachi Ltd Detecting device for rotary angle

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3808447A (en) * 1971-05-28 1974-04-30 Wilkata Codes Inc Photoelectric scanning device using diffuse and specular reflection
US4266125A (en) * 1978-12-21 1981-05-05 Hewlett-Packard Company Optical shaft angle encoder
DE3145098A1 (de) * 1980-11-25 1982-06-16 BEI Electronics, Inc., 93103 Santa Barbara, Calif. Optisches system fuer einen optischen codierer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0184628A2 (de) * 1984-12-08 1986-06-18 Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH Abtastkopf für Schrittgeber, insbesondere Winkelschrittgeber
EP0184628A3 (en) * 1984-12-08 1988-02-10 Bodenseewerk Geratetechnik Gmbh Read head for a displacement encoder, in particular an angle encoder

Also Published As

Publication number Publication date
DE3306790C2 (de) 1992-04-30
JPS58165384A (ja) 1983-09-30
US4508965A (en) 1985-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0191440B1 (de) Lithografiegerät zur Erzeugung von Mikrostrukturen
DE2933831C2 (de) Ringförmige Röntgenröhrenanordnung eines Computer-Röntgen-Tomographiegeräts
EP0208894B1 (de) Flugzeit-Massenspektrometer mit einem Ionenreflektor
DE1063286B (de) Verfahren und Einrichtung zum Einstellen der Lage des durch einen Kathodenstrahl erzeugten Brennflecks auf der Antikathode einer Roentgenroehre
DE4023490A1 (de) Einrichtung zur steuerung der brennpunktposition in einer roentgenstrahlroehre
DE2916956A1 (de) Lichtemittierende halbleitervorrichtung
DE1937482B2 (de) Mikrostrahlsonde
DE2803347A1 (de) Roentgenstrahlenquelle
DE3306790A1 (de) Lichtquelle
DE2429113C3 (de) Strahlungsdetektor mit zweifacher Verstärkung
DE2719856A1 (de) Hochgeschwindigkeits-system zum erzeugen tomographischer roentgenbilder
DE8428330U1 (de) Vorrichtung zur Umsetzung der von einer Speicherschicht getragenen Strahlenbildinformationen in eine Fernsehsignalfolge
DE2311369A1 (de) Elektronenstrahlroehre mit einem nichtrotationssymmetrischen element
DE3035241A1 (de) Farbbildwiedergaberoehre und vorrichtung mit einer derartigen roehre
DE2935788A1 (de) Kathodenstrahlroehre
DE7121967U (de) Vorrichtung zur messung der intensitaet eines ionenstrahl
DE4016138A1 (de) Gleichzeitig erfassendes massenspektrometer
DE2628474C3 (de) Aufnahmeeinrichtrung mit Bildwandlertarget für eine Aufnahmeröhre
DE2702448A1 (de) Verfahren zur positionierung eines mit einer marke versehenen werkstueckes relativ zu einem abtastfeld bzw. zu einer maske
DE3150300A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum steuern der elektrodenspannung in elektronenstrahlroehren
EP0156024B1 (de) Detektorsystem
DE1200962B (de) Drehanodenroentgenroehre
DE1942389A1 (de) Vorrichtung zur Faksimile-UEbertragung
EP1075014A2 (de) Gaskammerdetektor mit Gas-Elektronenvervielfacher
DE2329190A1 (de) Roentgenspektrometer

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: BOEHMERT, A., DIPL.-ING., PAT.-ANW. STAHLBERG, W.,

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee