DE3228183A1 - Flache elektronenstrahlroehre und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Flache elektronenstrahlroehre und verfahren zu ihrer herstellung

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DE3228183A1 DE19823228183 DE3228183A DE3228183A1 DE 3228183 A1 DE3228183 A1 DE 3228183A1 DE 19823228183 DE19823228183 DE 19823228183 DE 3228183 A DE3228183 A DE 3228183A DE 3228183 A1 DE3228183 A1 DE 3228183A1
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von dynamischen Halbleiter-Speicherzellen mit wahlfreiem Zugriff (RAM) nach der Doppel-Polysilizium-Gate-Technologie, bei dem die Isolation benachbarter aktiver Bereiche durch Dick oxidbereiche (2) nach der bekannten LOCOS-Technologie erfolgt und bei dem zur Erhöhung der Zellkapazität in den Speicherbereich unter Verwendung einer Fotolackmaske (4) eine Bor- (6) und Arsen-Ionenimplantation (7) durchgeführt wird. Erfindungsgemäß wird zur Erhöhung der Packungsdichte im Prozeßverlauf die Oxiddicke (2, 2a) im Speicherbereich/Dickoxidtransistorbereich sowohl axial als auch lateral (L ↓v) durch Abätzen reduziert. Das Verfahren wird verwendet bei der Herstellung hochintegrierter Si ↑2-Gate-RAM-Speicher.

Description

  • Flache Elektronenstrahlröhre und Verfahren zu ihrer Her-
  • stellung.
  • ( Zusatz zu Patent . .. .. ... (Patentanm. P 32 22 850.3) Die Erfindung betrifft eine Flachbildröhre gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Ein solches Zwei-Kammer-Dislay zeichnet sich vor allem dadurch aus, daß das in der hinteren Kammer erzeugte Plasma praktisch nicht mehr auf die vordere Kammer übergreifen kann, daß die dargestellten Bilder einen sehr dunklen Hintergrund haben und daß der Aufbau relativ einfach ist und auch kleinste Bildpunktabstände erlaubt.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den im Hauptpatent beschriebenen Röhrentyp für eine mehrfarbige Darstellung auf der Basis dreier Grundfarben anzupassen, und zwar so, daß alle seine Vorteile im wesentlichen gewahrt bleiben. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Elektronenstrahlröhre mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
  • Der Lösungsvorschlag übernimmt das an sich bekannte Konzept, pro Weißpunkt jeweils nur einen Elektronenstrahl zu erzeugen und diesen Strahl durch eine Nachablenkung auf die drei Farbpunkte des Weißpunkts zu führen. Diese Technik, die etwa in der DE-OS 27 42 555 ausführlich diskutiert wird und auch schon ganz allgemein für Zwei-Kammer-Panels vorgeschlagen worden ist (DE-OS 29 39 426), hat gegenüber der konventionellen Methode, jeden Farbpunkt mit einem eigenen Elektronenstrahl anzuregen, eine Reihe von Vorzügen: Der Ansteueraufwand ist insgesamt geringer. Die Steuerstruktur kann ein gröberes Raster haben und ist damit leichter herstellbar, ein Umstand, der vor allem bei Geräten mit hoher Bildauflösung wie Fernsehröhren ins Gewicht fällt. Die gleiche Steuerstruktur kann - mit oder ohne Zusatzteil - für eine farbige oder monochromatische Darstellung benutzt werden und ist somit vielseitig verwendbar. Dabei gestalten sich die Verhältnisse im vorliegenden Fall besonders günstig, weil man die Strahlablenkung mit Elektroden bewerkstelligen kann, die schon aus Gründen der Strahlfokussierung vorhanden sein sollten, und überdies der in den Nachbeschleunigungsraum eintretende Elektronenstrahl in Auslenkungsrichtung sehr schmal ist und dementsprechend eine besonders feine Farbpunktrasterung zuläßt.
  • Die Ablenk- und Fokussiereinheit kann mit einer oder zwei Zwischenelektroden pro Spaltenleiter aufgebaut sein.
  • Beide Alternativen haben ihre spezifischen Vorzüge: Ist den Spalten jeweils nur eine einzige Elektrode zugeordnet, so erhält die Steuerstruktur einen relativ einfachen Aufbau; allerdings muß man beachten, daß Elektronçnstrahlen benachbarter Spalten gegenläufig abgelenkt werden, und den Leuchtschirm und/oder den Schaltungsteil der Röhre entsprechend auslegen. Eine Ausführung mit zwei Zwischenelektroden pro Spalte ist mechanisch etwas komplizierter, zumal die schmalen Spalte zwischen nebeneinanderliegenden Elektrodenpaaren überschlagsfest sein müssen und keine Falschstrahlen passieren lassen dürfen; sie ist dennoch der einfacheren Variante unter Umständen vorzuziehen, da die Nutzstrahlen.sauber voneinander entkoppelt sind und das Display mit einer herkömmlichen Farbpunktverteilung und konventionellen Ansteuereinheiten auskommt.
  • Im allgemeinen wird man die zeilensequentiell adressierte Elektronenstrahlröhre so ansteuern, daß die jeweils selektierte Zeile nacheinander die drei Farbauszüge der gesam- ten Zeileninformation erhält und die Elektronenstrahlen zeitsynchron abgelenkt werden. Daneben besteht aber auch noch die Möglichkeit, die Farbinformationen bild- statt zeilenweise einzuschreiben. ein solcher Bildaufbau könnte sich für farbige Datensichtschirme empfehlen.
  • Die Fertigung einer erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung wird besonders rationell, wenn man die Spaltenleiter durch ein Isolatorgerüst abstützt, das zugleich auch als Träger für die Zwischenelektroden fungieren kann. Hat dieses Gerüst die in Anspruch 4 charakterisierte Form, so läßt es sich durch eine beidseitige Ätzung gewinnen. Eine solche Ätzbehandlung ist unproblematisch, da man rückseitig durch die vorgegebenen Elektronendurchtrittsöffnungen hindurch ätzen kann und bei der Wahl der frontseitigen Ätzöffnungen in weiten Grenzen frei ist. Bemerkenswerterweise sind die eingeätzten Trägerflächen für die Zwischenelektrodenpaare automatisch selbst zentriert, so daß man ohne sonderlichen Justieraufwand zu den richtigen Feldkonfigurationen vor der Spaltenleiterebene- kommt.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand zusätzlicher Ansprüche.
  • Der Lösungsvorschlag soll nun anhand mehrerer Ausführungsbeispiele in Verbindung mit der beigefügten Zeichnung näher erläutert werden. In den Figuren sind einander entsprechende Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen.
  • Es zeigen: Fig. 1 eine erfindungsgemäße Elektronenstrahlröhre, teilweise geschnitten, in einer Perspektivansicht; Fig. 2 die Steuerstrukturaus Fig. 1, teilweise weggebrochen und auseinandergezogen, aus einer anderen Perspektive; Fig. 3 von einer abgewandelten Steuerstruktur den spaltenseitigen Teil, ebenfalls teilweise weggebrochen und in einer perspektivischen Darstellung.
  • Der in der Fig. 1 mit seinen wesentlichen Teilen dargestellte Flachbildschirm dient zur Wiedergabe farbiger Fernsehbilder. Er enthält im einzelnen eine gaagefüllte Hülle somit einer Rückplatte 2, einer Frontplatte 3 und einer Steuerstruktur 4. Alle drei Teile erstrecken sich in zueinander parallelen Ebenen, wobei die Steuerstruktur das Hülleninnere in zwei Räume, einen vorderen Nachbeschleunigungsraum 5 und einen hinteren Gasentladungsraum 6, unterteilt.
  • Die Rückplatte 2 ist auf ihrer Vorderseite mit einer Schar von zueinander parallelen, relativ großflächigen Kathodenstreifen 7 versehen. Die Frontplatte 3 trägt auf ihrer Rückseite ein regelmäßiges Raster aus Phosphorstreifen 8 und darüber eine Nachbeschleunigungsanode 9.
  • Die Phosphorstreifen, die durch die Elektronen zur Lichtabgabe angeregt werden können, emittieren in den Farben rot (R), grün (G) und blau (B). Sie sind auf dem Bildschirm mit einer periodischen Farbfolge verteilt -eine Periode umfaßt sechs Streifenmit dem Farbmuster R-G-B-B-G-R.
  • Die Steuerstruktur 4, die gegen die Frontplatte 3 durch einen Abstandsrahmen 10 abgestützt ist, geht am deutlichsten aus Fig. 2 hervor. Sie hat folgenden Aufbau: Ein Träger aus isolierendem Material ist auf seiner Rück- und Vorderseite jeweils mit einer Schar aus streifenförmigen, zueinander parallelen Leitern (Zeilenleiter 11 bzw. Spaltenleiter 12) versehen. Die Zeilenleiter verlaufen parallel zu den Kathodenstreifen 7, und die Spaltenleiter erstrecken sich senkrecht dazu. In jeden der Leiter 11, 12 sind Öffnungen - Elektroneneintrittsöffnungen 13 in den Zeilenleitern 11 und Elektronenaustrittsöffnungen 14 in den Spaltenleitern 12 - eingebracht. Der isolierende Träger besteht aus einem - randseitig umrahmten - Gitter 15, das seinerseits relativ massive Stützen 16 und vergleichsweise feine Querstreben 17 umfaßt und aus spaltensitigen Stegen 18 zusammengesetzt ist. Das Gitter 15 ist so positioniert, daß die Zeilenleiter an ihren beiden Rändern einer Stütze 16 aufliegen, die überdies den Zwischenraum zwischen benachbarten Zeilenleitern ausfüllt, und in ihren Abschnitten zwischen den Elektroneneintrittsöffnungen 13 auf den Querstreben 17 ruhen.Die Stege 18 stützen die Spaltenleiter 12 in ähnlicher Weise wie die Stützen 16 die Zeilenleiter 11; sie haben allerdings einen wesentlich kleineren Querschnitt und sind außerdem durch Lücken 19 in einzelne Abschnitte aufgeteilt. Während die Stege 18 hinter der Spaltenleiterebene angeordnet sind, befinden sich vor dieser Ebene noch weitere Isolatorteile. Es sind dies zwischen den Spaltenleitern erstreckte Stäbe 20, die auf ihrer Rückseite an den Elektroden und/oder den Stegen fixiert sind und auf ihrer Vorderseite jeweils mit einer Zwischenelektrode 21 in Form eines aufmetallisierten Streifens versehen sind.
  • Die gesamte Steuerstruktur wird folgendermaßen hergestellt und montiert: Zunächst fertigt man das Gitter 15 mit den Zeilenleitern 11 ("Zeilenteil't), die durch Lücken 19 unterbrochenen Stege 18 mit den Spaltenleitern 12 ("Spaltenteil") und die Stäbe 20 mit ihren Zwischenelektroden 21 ("Ablenkteile") als gesonderte Untereinheiten. Zur Herstellung des Zeilenteils erzeugt man auf einer Glasplatte die erforderliche Leiterstruktur und ätzt dann die Platte von beiden Seiten her. Die Ätzung auf der Elektrodenseite erfolgt durch die Elektroneneintrittsöffnungen hindurch, und die elektrodenabgewandte Seite wird mittels einer Maske mit langgestreckten, jeweils einem Zeilenleiter zugeordneten Schlitzen geätzt; die Form der Maskenschlitze ist dabei unkritisch. Das Spaltenteil erhält man, wenn man eine relativ dünne Glasplatte auf ihrer einen Seite mit dem gewünschten Elektrodenmuster versieht und auf ihrer anderen Seite durch eine Maske hindurch ätzt, deren Löcher die breiten Abstände zwischen benachbarten Stegen und die schmalen, definiert plazierten Lücken in den einzelnen Stegen ermöglichen. Nach der Metallisierung der Stäbe fügt man die Untereinheiten zuammen, wobei die Stützen in den Steglücken Aufnahme finden; anschließend verfestigt man die Einzelteile miteinander und erhält ein mechanisch festes, selbsttragendes Gebilde.
  • Im Betrieb der Röhre liegen an den einzelnen Elektroden folgende Spannungen. An den selektierten und nichtselektierten Kathodenstreifen -200V bzw. OV; an den getasteten und nichtgetasteten Zeilenleitern OV bzw. -50V; an den Spaltenleitern 12 zwischen -80V und -30V; an den Zwischenelektroden -100V oder abwechselnd -50V bzw. -50V oder aber - ebenfalls alternierend - -50V bzw. -150V; und an der Nachbeschleunigungsanode +4kV. Die Zeilenleiter werden nacheinander getastet, das heißt, sukzessive auf die Spannung OV angehoben. Während der Tastzeit erhalten die Spaltenleiter parallel die dem Zeileninhalt entsprechenden Signalspannungen, und zwar nacheinander die einzelnen Farbkomponenten des Gesamtinhalts. Die Kathodenspannungen sind mit der Zeilenabtastspannung derart synchronisiert, daß das Plasma bei der Zeilenfortschaltung jeweils z.wischen dem ausgewählten Zeilenleiter und dem gerade gegenüberliegenden Kathodenstreifen brennt. Und die Zwischenelektrodenpotentiale werden im Takt der Tastzeitintervalle so verändert, daß die Elektronenstrahlen, die infolge der an den Zwischenelektroden herrschenden Spannungsverhältnisse entweder nach links oder nach rechts abgelenkt werden oder aber keinerlei Auslenkung erfahren, auf dem farbrichtigen Phosphorstreifen landen.
  • Eine. mehr ins einzelne gehende Darstellung dieses Röhrentyps, insbesondere auch Angaben zur Geometrie der sogenannten "verdeckten" Steuerstruktur, findet sich in der Patentanmeldung P 32 22 850.3, auf die hiermit ausdrücklich verwiesen wird.
  • Bei der geschilderten Steuerstruktur ist die Herstellung der einzelnen Teile relativ unproblematisch. Man muß allerdings eine gewisse Sorgfalt darauf verwenden, die Zwischenelektrodenträger in bezug auf die Spaltenleiter auszurichten. Diese Justierarbeiten sind nicht erforderlich, wenn das Spaltenteil und die Ablenkteile baulich zu einem einzigen, in Fig. 3 dargestellten System zusammengefaßt werden.
  • Der isolierende Grundkörper dieses Systems, der sowohl die Spaltenleiter 12 als auch Zwischenelektroden 21' trägt, hat im wesentlichen die gleiche Form wie das Gitter 15 des Zeilenteils, mit Balken 22 und Querrippen 23 entsprechend den Stützen 16 bzw. den Querstreben 17. Er wird auch grundsätzlich genau so wie das Gitter hergestellt, also durch eine doppelseitige Ätzung aus einer Glasplatte herausgearbeitet. Wie die Fig. 3 zeigt, trägt jeder Balken 22 auf seinen durch die frontseitige Ätzung entstandenen Flanken jeweils einen aufmetallisierten Streifen, der als Zwischenelektrode 21' dient. Das bedeutet, daß zu jedem Spaltenleiter zwei Zwischenelektrodengehören, die sich folgendermaßen ohne sonderlichen Aufwand realisieren lassen: Bei dem fertig geätzten Grundkörper werden diejenigen Bereiche, in denen sich benachbarte Balken am nächsten kommen, durch Lackpfropfen verschlossen und die Frontflächen der Balken mit einer Lackschicht abgedeckt. Dann bedampft man das System von vorn, und zwar senkrecht zu seiner Erstreckungsebene mit einem geeigneten Metall und erhält somit mit einem einzigen Aufdampfschritt sämtli- che Zwischenelektroden. In einer Variante hierzu könnte man zur Abdeckung der Balkenfrontflächen auf die Lackschicht zurückgreifen, die zur Ätzung des Grundkörpers verwendet worden war. Man spart dann am Maskierungsaufwand, kommt jedoch nicht umhin, die geradzahligen und ungeradzahligen Zwischenelektroden aus zwei verschiedenen, schrägen Richtungen aufzudampfen, da die wiederverwendeten Ätzöffnungen nur relativ schmal sind. Im Rahmen dieses photolitographischen Verfahrens sollten zugleich mit den Zwischenelektroden die erforderlichen Anschlüsse erzeugt werden, und zwar auf ungeätzten Grundkörperbereichen am Bildschirmrand. Dies ist ohne weiteres möglich, da die geradzahligen und ungeradzahligen Zwischenelektroden jeweils auf eine Spannungsquelle geschaltet werden können und die entsprechende Interdigitalstruktur mit einem höchst einfachen Zuleitungsmuster auskommt.
  • Eine Röhre mit zwei statt einer Zwischenelektrode pro Spaltenleiter kann prinzipiell mit den gleichen Betriebsspannungen an den einzelnen Elektroden arbeiten. Oer'wesentliche Unterschied besteht darin, daß benachbarte Elektronenstrahlen nicht mehr gegensinnig, sondern gleichsinnig abgelenkt werden. Dementsprechend können die Phosphorstreifen auf der Frontplatte das gewohnte Muster bilden, bei dem beispielsweise das Farbentripel R-G-B periodisch aufeinander folgt. Die Ansteuerschaltung selbst ist in beiden Fällen die gleiche. Sie braucht im vorliegenden Zusammenhang nicht näher erläutert zu werden, da sie keinerlei Schwierigkeiten bereitet; als Vorlage könnte beispielsweise die in der bereits zitierten DE-OS 27 42 555 ausführlich behandelte Schaltung dienen.
  • Die Erfindung beschränkt sich natürlich nicht nur auf die dargestellten Ausführungsbeispiele, da es lediglich darauf ankommt, daß das Zwei-Kammer-Panel mit einer ver- deckten Steuerplatte eine Strahlablenkung im Nachbeschleunigungsraum erhält. Deshalb ist vor allem der konstruktive Gestaltungsspielraum noch relativ groß: So könnten etwa die Zwischehelektroden auch in der Spaltenleiterebene plaziert sein und/oder die Form von Drähten statt'Bändern haben. Davon abgesehen könnte auch die aus den Zeilenleitern, Spaltenleitern und dem zwischengeordneten Träger bestehende Steuerplatte beliebig geformt sein, wenn nur dafür gesorgt ist, daß die Elektronenaustrittsöffnungen "auf Lücke zwischen den Elektroneneintrittsöffnungen stehen.
  • 5 Patentansprüche 3 Figuren

Claims (5)

  1. Patentansprüche Flache Elektronenstrahlröhre mit folgenden Merkmalen: 1) eine gasgefüllte Hülle enthält zwei in Betrachtungsrichtung hintereinander liegende, parallele Platten (Frontplatte, Rückplatte); 2) das Hülleninnere ist durch eine parallel zu den Platebenen erstreckte Steuerplatte in eine vordere Kammer, den Nachbeschleunigungsraum, und eine hintere Kammer, den Gasentladungsraum,. unterteilt; 3) die Rückplatte trägt auf ihrer Innenseite mindestens eine Kathode, die Gasentladungskathode; 4) die Frontplatte trägt auf ihrer Innenseite eine durch Elektronen anregbare Lumineszenzschicht und eine Anode, die Nachbeschleunigungsanode; 5) die Steuerplatte trägt auf ihrer dem Gasentladungsraum zugewandten Seite eine erste Schar aus zueinander parallelen, streifenförmigen Leitern, den Zeilenleitern, sowie eine erste Anzahl von regelmäßig angeordneten Öffnungen, den Elektroneneintrittsöffnungen, und auf ihrer dem Nachbeschleunigungsraum zugewandten Seite eine zweite Schar aus zueinander parallelen, streifenförmigen Leitern, den Spaltenleitern, sowie eine zweite Anzahl von regelmäßig angeordneten Öffnungen, den Elektronenaustrittsöffnungen, wobei die Spaltenleiter zu den Zeilenleitern gekreuzt sind und die Elektronenaustrittsöffnungen jeweils mittels Durchbrechungen in der Steuerplatte bestimmten Elektroneneintrittsöffnungen zugeordnet sind und die einander zugeordneten Öffnungen, gesehen in einer Richtung senkrecht zur Plattenebene, sich nicht überlappen; 6) jedem Spaltenleiter sind eine oder zwei ebenfalls streifenförmige, zu ihm parallel-verlaufende, strahlfokussierende Zwischenelektroden zugeordnet; 7) die Zeilenleiter werden nacheinander angesteuert, das heißt, auf ein in bezug auf das Potential der Gasent- ladungskathoden derart positiveres Potential gelegt, daß zwischen der gegenüberliegenden Gasentladungskathode und dem angesteuerten Zeilenleiter eine Elektronen liefernde Gasentladung brennt; 8) die Spaltenleiter erhalten während der Zeit, in der ein bestimmter Zeilenleiter angesteuert ist, die zugehörigen Signalspannungen; 9) die Nachbeschleunigungsanode liegt auf einem derart hohen positiven Potential, daß die Elektronen, die aus der Gasentladung in den Nachbeschleunigungsraum gelangen, auf einige kV beschleunigt werden und schließlich auf den Lumineszenzschirm treffen; 10)die Spaltenleiter liegen stets auf einem negativeren Potential als der gerade angesteuerte Zeilenleiter; nach Patent (Patentanmeldung P 32 22 850.3); d a d u r c h g e k e n n z.e i c h n e t, daß zur Darstellung farbiger, aus drei Grundfarben aufgebauter Bilder 11) die Zwischenelektroden (21, 21') auf einem periodisch derart modulierten Potential liegen, daß die Elektronenstrahlen.während jeder Modulationsperiode nacheinander in drei Richtungen ausgelenkt werden und dabei jeweils auf einen von drei Lumineszenzschichtbereichen treffen, die in verschiedenen Grundfarben leuchten.
  2. 2. Elektronenstrahlröhre nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Modulationsperiode der Ansteuerzeit für-einen der Zeilenleiter ("Tastzeit") entspricht.
  3. 3. Elektronenstrahlröhre nach den Ansprüchen 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die geradzahligen Zwischenelektroden (21, 21') mit einer ersten Spannungsquelle und die ungeradzahligen Zwischenelektroden (21, 21') mit einer zweiten Spannungsquelle verbunden sind.
  4. 4. Elektronenstrahlröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Elektronenaustrittsöffnungen Löcher in den Spaltenleitern sind und jedem der Spaltenleiter ieweils zwei Zwischenelektroden zugeordnet sind, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Spaltenleiter (12) von einem isolierenden Grundkörper aus Balken (22) und Querrippen (23) getragen werden, wobei die Balken (22) jeweils zwischen zwei nebeneinanderliegenden Spaltenleitern (12) verlaufen und die Querrippen (23) sich jeweils zwischen benachbarten Löchern (14) eines Spaltenleiters (12) erstrecken, und daß die Balken (22) auf ihren einander zugewandten Flächen jeweils mit einer der Zwischenelektroden (21') versehen ist.
  5. 5. Verfahren zur Herstellung einer Elektronenstrahlröhre gemäß Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n n z e i chn e t, daß zur Herstellung der Steuerstruktur, die aus der Steuerplatte und dem mit den Zwischenelektroden versehenen Grundkörper gebildet ist, folgendermaßen vorgegangen wird: 1) Auf einer Glasplatte wird die Zeilenleiterschar erzeugt; 2) aus der so beschichteten Glasplatte wird das Gitter herausgearbeitet, und zwar durch eine beidseitige Ätzung, wobei die zeilenleiterseitige Ätzung durch die Zeilenleiteröffnungen hindurch erfolgt; 3) auf einer weiteren Glasplatte wird die Spaltenleiterstruktur erzeugt; 4) aus der so beschichteten Glasplatte wird der Grundkörper herausgearbeitet, und zwar durch eine beidseitige Ätzung, wobei die spaltenleiterseitige Ätzung durch die Spaltenleiteröffnungen hindurch erfolgt; 5) auf die Balken des Grundkörpers, und zwar auf ihre durch die frontseitige Ätzung gebildeten Flanken, werden die Zwischenelektroden aufmetallisiert; 6) die beiden Teile werden zusammengesetzt und miteinander verfestigt; 7) die so hergestellte Steuerstruktur wird mit den übrigen Röhrenteilen montiert.
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