DE3131987A1 - "verfahren zum herstellen einer spannungsarmen ausnehmung sowie eines gebietes eines leitungstyps in einem halbleiterkoerper und von mehreren halbleitervorrichtungen auf einem halbleiterkoerper" - Google Patents

"verfahren zum herstellen einer spannungsarmen ausnehmung sowie eines gebietes eines leitungstyps in einem halbleiterkoerper und von mehreren halbleitervorrichtungen auf einem halbleiterkoerper"

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