DE3128645A1 - Verfahren zur herstellung eines r'(pfeil abwaerts)3(pfeil abwaerts)sinh-enthaltenden silazanpolymeren - Google Patents
Verfahren zur herstellung eines r'(pfeil abwaerts)3(pfeil abwaerts)sinh-enthaltenden silazanpolymerenInfo
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Description
Diese Erfindung betrifft die Herstellung von Silazanpolymeren und ihre Weiterverarbeitung zu keramischem
Siliciumcarbid. Die organischen Silazanpolymeren sind
ausserdem als chemische Zwischenprodukte zur Herstellung von Organosiliciumverbindungen geeignet. Beim Erwärmen
auf hohe Temperaturen bilden sie Siliciumcarbid und keramische Materialien, die Siliciumcarbid enthalten.
Die Erfindung schliesst ein Verfahren zur Herstellung von neuen Silazanpolymeren ein, bei dem Organochlorsilane
mit Disilazanen in einer inerten Atmosphäre in Berührung gebracht und umgesetzt werden, wobei gleichzeitig
die flüchtigen Nebenprodukte abdestilliert werden.
Wie in der Technik gut bekannt ist, reagieren monomere Halogensilane mit Ammoniak und den meisten organischen
Verbindungen, die eine primäre oder sekundäre Aminogruppe enthalten, unter Bildung einer Vielzahl von Silazanen.
So entsteht beispielsweise bei der Umsetzung von Trimethylchlorsilan
und Ammoniak das monomere Silazan Hexamethyldisilazan, wogegen Dimethyldichlorsilan und
Ammoniak cyclische Dimethylsilazane ergeben. Diese beiden Umsetzungen stellen wahrscheinlich den grössten
Teil der kommerziellen Verwendung von Silazanen dar.
Silazane sind im allgemeinen für viele Jahre nur akademische
Kuriositäten gewesen, doch sind eine Vielzahl von Silazanen, wie Monomere, Oligomere, cyclische SiIa-
31286Λ5
und auch niedrigmolekulare Harze und lineare Polymer®
dieser Art durch eine Vielzahl von Arbeitsweisen hergestellt worden. S© berichten zum Beispiel
L. W. Breed et al in der Zeitschrift "Journal of Organic Chemistry", 278 1114 (1962) über die Bildung
von Silazanen durch die Polymerisation von sterisch behinderten Silazanoligomeren, wogegen in der Zeitschrift
"Journal of Polymer Science", A £ 45 (1964) die thermische Krackung von cyclischen trimeren und
tetrameren Silazanen beschrieben ist, wobei Katalysatoren verwendet werden und lineare Polymere entstehen.
Kruger et al haben in dem "Journal of Polymer Science", A 2 3179 (1964) und Redl in "Silazane Polymer", ARPA-19,
Advanced Research Projects Agency, (Oktober 1965) über flüssige, kautschukartige und harzartige Produkte berichtet,
die aus GH3SiGl3, (CHp2SiCl2 und überschüssigem
Ammoniak hergestellt wurden.
Auch in der Pat©ntliteratür sind Angaben über die Herstellung
von Silazanen enthalten. In der US-PS 25 64 ist die Herstellung von niedermolekularen linearen
Silazanpolymeren durch Umsetzung von Halogensilanen
mit überschüssigem Ammoniak in einem Lösungsmittel beschrieben. Die US-PS 38 09"713 zeigt ein ähnliches
Seaktionsschema mit der Modifikation, dass das mitentstandene
feste Ammoniumhalogenid unter Verwendung von
In jüngerer Zeit ist in den US-PSen 38 53 567 und
38 92 583 offenbart, dass Mischungen von CH3SiCl3
und (CH^)9SiCl2 mit Ammoniak oder organischen Aminen
behandelt werden können, wobei Materialien entstehen, die unter Bildung von keramischem SiC/Si3N^ pyrolysiert
werden können.
Bei anderen bekannten Arbeitsweisen- ist die Verwendung
von Disilanen für die Herstellung von Silazanpolymeren auf die Bildung von solchen mit relativ niedrigem Molekulargewicht
beschränkt worden. Ein Beispiel dafür haben Wannagat et al, "Ang. Chem." 75 (7) 345 (1963)
beschrieben, wobei Tetramethyldichlordisilan mit gasförmigem Ammoniak umgesetzt wird, um ein lineares Silazanpolymeres
zu geben. Hengge et.al, "Montash. Chem." 101 I
(2) 325 (1970) haben mit Dimethylaminogruppen substituierte Mischungen von Disilanen aus Dimethylsilan und
chlorhaltigen Disilanmischungen aus der direkten Herstellung
von Chlorsilanen erhalten.
Aufgabe der Erfindung ist es, durch Umsetzung von chlorhaltigen
Monosilanen und Disilazanen hochmolekulare SiIazanpolymere
zur Verfügung zu stellen.
Durch die Erfindung wird diese Aufgabe mittels eines Verfahrens zur Herstellung eines R',.SiNH - enthaltenden
Silazanpolymeren gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass man in einer inerten Atmosphäre ein Organodisilan
oder eine Mischung von Organodisilanen der allgemeinen Formel
R SiCl. η 4-η
mit einem Disilazan der allgemeinen Formel
(Rf 3Si)2NH
bei einer Temperatur im Bereich von 25 bis 3000C umsetzt
und die flüchtigen Nebenprodukte abdestilliert, wobei
R ein. Vinylrest, ein Alkylrest mit 1 bis 3 Kohlenstoffatomen
oder ein Phenylrest ist, R1 ein Vinylrest, Wasserstoff, ein Alkylrest mit
1 bis 3 Kohlenstoffatomen oder ein Phenylrest ist und
η einen Wert'von 1 oder 2 hat.
η einen Wert'von 1 oder 2 hat.
Durch die Erfindung wird eine neue Klasse von Silazanpolymeren, die aus chlorhaltigen Monosilanen und Disilazanen
hergestellt werden, zur Verfügung gestellt. Im wesentlichen wird bei der Erfindung ein einzelnes chlorhaltiges
Monosilan oder eine Mischung von chlorhaltigen
Monosilanen mit einem Disilazan als Stickstoffquelle
in einer solchen Menge behandelt, dass das gesamte Chlor des chlorhaltigen Monosilans verbraucht wird. In der
Regel werden eine äquimolare Menge an Disilazan, bezogen auf den Chlorgehalt des Monosilans oder der Mischung
von Monosilanen, verwendet. Ohne an eine Theorie gebunden zu sein, wird angenommen, dass bei der Erwärmung
der Mischung, die in der Regel in Abwesenheit eines Lösungsmittels und im wesentlichen in einer wasserfreien
Atmosphäre erfolgt, die Umsetzung
^SiCl + R^SiNHSiR^ >
^SiNHSiR^ + R^SiCl
eintritt. Diese Umsetzung ist begleitet von der Bildung
von R'nSiCl, das durch Destillation mit dem Fortschreiten
der Reaktion entfernt wird. Mit der Erhöhung der Temperatur der Reaktionsmischung beginnen Kondensationsreaktionen
einzutreten, wodurch es zur Bildung von höhermolekularen
Silazanen und von [r' Si «NHJ kommt. Die Verbindung
[r' Si 2NIl]wird ebenfalls "'bei ihrer Bildung aus der
Reaktionsmischung abdestilliert. Es wird angenommen, dass sich diese Verbindung wie folgt bildet:
[R'3 si 2
Sobald höhere Temperaturen erreicht werden, tritt eine stärkere Vernetzung ein und jedes etwa in dem Polymeren
noch verbliebene R' SiNH wirkt als Endblockierer. Dieses Verfahren ermöglicht die Unterbrechung der Umsetzung zu
jedem Zeitpunkt, -so dass nahezu jede gewünschte Viskosität eingestellt- werden kann. Die Silazanpolymeren
schwanken in ihren physikalischen Eigenschaften von beweglichen Flüssigkeiten über Flüssigkeiten mit hoher
Viskosität bis zu harten glasartigen Materialien. Diese Materialien lassen sich infolgedessen sehr leicht
handhaben» Sie sind im wesentlichen auch hydrolytisch beständig«
Bei den bei der Erfindung als Ausgangsstoff verwendeten Organochlorsilanen übersteigt die Anzahl der durch Diorganoreste
substituierten Siliciumatome die Anzahl der monoorgano-substituierten Siliciumatome nicht.
Die Erfindung richtet sich auch auf die neuen Silazanpolymeren, die durch das Verfahren gemäss der Erfindung erhalten
werden,,
Ausserdem umfasst die Erfindung auch ein Verfahren zur
Weiterverarbeitung der bei dem Verfahren gemäss der Erfindung erhaltenen Silazanpolymeren zu einem Siliciumcarbid enthaltenden
keramischen Material, bei dem diese Silazanpolymeren in einer inerten Atmosphäre oder im Vakuum
auf eine Temperatur von mindestens 75O0C erwärmt werden,
bis die Silazanpolymeren in ein keramisches Siliciumcarbidmaterial umgewandelt worden sind.
- ίο -
Bei einer besonderen Ausführungsform dieser Weiterverarbeitung
der erfindungsgetnässen Silazanpolymeren wird
(A) ein Gegenstand von der gewünschten Gestalt aus dem. Silazanpol}rmeren hergestellt und (B) dieser Gegenstand
in einer inerten Atmosphäre oder im Vakuum auf eine erhöhte Temperatur von mindestens 75O0C erwärmt, bis
das Silazanpolymere in ein keramisches Siliciumcarbid enthaltendes Material umgewandelt worden ist.
In einer anderen Ausbildungsform der Erfindung kann man einen gefüllten keramischen Gegenstand dadurch
herstellen, dass man (A) ein Silazanpolymeres mit mindestens einem üblichen keramischen Füllstoff
mischt, (B) einen Gegenstand von einer gewünschten Gestalt aus dieser Mischung herstellt und (C) den
Gegenstand in einer inerten Atmosphäre oder im Vakuum auf eine erhöhte Temperatur von mindestens 7500C erwärmt,
bis das Silazanpolymere in ein keramisches Material, das Siliciumcarbid enthält, umgewandelt
worden ist.
Eine andere Abwandlung der Erfindung sieht vor, dass man einen überzogenen Gegenstand mit dem gefüllten
keramischen Material herstellt, wobei man (A) ein Silazanpolymeres mit mindestens einem üblichen keramischen
Füller mischt, (B) ein Substrat mit der Mischung des Silazanpolymeren und des Füllers überzieht
und (C) das überzogene Substrat in einer inerten
- ii -
Atmosphäre oder im Vakuum bei einer erhöhten Temperatur von mindestens 750 C erwärmt, bis der Überzug in ein
Siliciumcarbid enthaltendes keramisches Material umgewandelt worden ist. Bei einer weiteren Ausbildung der
Erfindung wird ein überzogener Gegenstand aus ungefülltem keramischem Material hergestellt, wobei (A)
ein Substrat mit einem erfindungsgemässen Silazanpolymeren
überzogen wird, (B) das überzogene Substrat in einer inerten Atmosphäre oder in einem Vakuum auf
eine erhöhte Temperatur von mindestens 7500C erwärmt wird, bis der Überzug in ein Siliciumcarbid enthaltendes
keramisches Material umgewandelt worden ist. Die neuen Silazanpolymeren gemäss der Erfindung zeichnen sich
dadurch aus,.dass sie im wesentlichen hydrolytisch beständig sind und sich leicht handhaben lassen. Ein besonderer
Vorzug dieser Silazanpolymeren besteht darin, dass sie sich in Siliciumcarbid und in Siliciumcarbid
enthaltende keramische Materialien in einfacher Weise umwandeln lassen. Die Silazanpolymeren lassen sich auch
als Binder in keramischen Materialien verwenden.
Die bei der Erfindung verwendeten Organochlormonosilane entsprechen der Formel
R SiCl. η 4-n
in der R ein Vinylrest oder ein Alkylrest mit 1 bis 3 Kohlenstoffatomen oder ein Phenylrest ist. Beispiele für
geeignete Alkylreste sind der Methyl-, Äthyl- und Propylrest. Bei der Erfindung kann der Rest R gleich oder verschieden
sein. Die in Betracht kommenden Organochlormonosilane
sind im Handel erhältlich. Später werden die Phenyl-, Methyl-, Äthyl- und Vinylreste durch die Symbole
0, Me, Ät und Vi abgekürzt.
In der vorstehenden Formel kann η 1 oder 2 sein. Spezifische Beispiele von geeigneten Organofluormonosilanen
sind CH3SiCl3, C6H5SiCl3, CH2=CHSiCl3, CII3CH2SiCl3 oder
CH^(CH9)9SiCl-3 und doppelt organisch substituierte Silane,
wie (CH3)2SiCl2, (C2Hg)2SiCl2 und (CH2=CIl)(CK3)SiCl2
oder Mischungen von solchen Silanen, wie zum Beispiel von CH3SiCl3 und (CH3)2SiCl2.
Wenn bei der Erfindung Mischungen von Organochlorsilanen verwendet werden, übersteigt die Anzahl der Einheiten
von diorganosubstituierten Siliciumatomen die Anzahl der monoorganosubstituierten Siliciumatome nicht. Obwohl Silazanpolymere auch aus Ausgangsstoffen hergestellt
werden können, bei denen die Anzahl der diorganosubstituierten Einheiten die Anzahl der monoorganosubstituierten
Einheiten übertrifft, wurde gefunden, dass diese Polymere wegen ihrer niedrigen Viskositäten weniger
erwünschte Eigenschaften haben. Auch bei der Weiterverarbeitung zu keramischen Materialien ergeben sie weniger
befriedigende physikalische Eigenschaften.
Der zweite Ausgangsstoff bei der Erfindung ist ein Disilazan der allgemeinen Formel (R' Si)-NH .
R° ist in dieser Formel ein Vinylrest, Wasserstoff,
ei-n Alkylrest mit 1 bis 3 Kohlenstoffatomen oder ein
Phenylrest» Als Alkylreste kommen zum Beispiel Methyl-, Äthyl- oder Propylreste in Betracht. Falls mehrere R1 Reste
vorhanden sind, können diese gleich oder verschieden sein. Beispiele von geeigneten Disilazanen
sind:
[c6H5(CH3)2Si]2NH ,
[H(CH3) 2Si]2NH und
Diese Ausgangsstoffe werden In einer, inerten, im wesentlichen
wasserfreien Atmosphäre zusammengebracht. Für die Zwecke der Erfindung wird unter "inert" verstanden, dass
die Umsetzung in der Atmosphäre eines inerten Gases, wie Argons Stickstoff oder Helium, durchgeführt wird. Unter
"im wesentlichen wasserfrei" wird verstanden, dass die Umsetzung in einer weitgehend absolut wasserfreien
Atmosphäre durchgeführt wird, dass aber Spuren von Feuchtigkeit geduldet werden können.
Wenn die Ausgangsstoffe miteinander in Berührung gebracht werden, beginnt die Umsetzung mit der Bildung einer Aminoverbindung
als Zwischenprodukt. Beim Erwärmen wird weitere Aminoverbindung gebildet und beim weiteren Erwärmen wird
R',SiCl aus der Reaktionsmischung abdestilliert und ein
Silylsilazanpolymeres gebildet. Die Reihenfolge der Zugabe der Ausgangsstoffe ist nicht kritisch. Beim Erhöhen
der Temperatur tritt eine weitere Kondensation mit restlichem R' Si- ein, das aus der Mischung nicht abdestilliert
wird und als Kettenabbrecher wirkt. Durch diese Kontrolle kann die Reaktion zu einem beliebigen Zeitpunkt
unterbrochen werden und nahezu jede gewünschte Viskosität eingestellt werden. Der gewünschte Temperaturbereich
liegt bei der Umsetzung bei 25 bis 3000C. Am meisten bevorzugt ist der Bereich von 125 bis 3000C.
Die Dauer der Umsetzung hängt von der Temperatur und der gewünschten Viskosität ab.
Unter "flüchtigen Produkten" werden destillierbare Nebenprodukte verstanden, die bei dem Verfahren nach
der Erfindung entstehen. Solche Produkte entsprechen insbesondere den Formeln
(CH3)3SiCl , (CH2=CH)(C6H5)2SiCl , CH3(C5H5)2
(CH3)2C6H5SiCl und (CH2=CH)(CH3)2SiCl.
Manchmal erfordern diese Produkte die gemeinsame Anwendung von Vakuum und Wärme, um sie aus der Reaktionsmischung
zu entfernen.
.Die Silazanpolymeren sind dann im wesentlichen fertig
für ihre Verwendung. Bei ihrer Weiterverarbeitung gemäss der Erfindung werden sie in einer inerten Atmosphäre oder im Vakuum bei Temperaturen von mindestens
75O0C pyrolysiert, wobei sie ein Siliciumcarbid enthaltendes
Material ergeben. Wenn das Polymere von einer ausreichenden Viskosität ist, kann es zuerst geformt
werden, zum Beispiel als Faser extrudiert werden, und kann dann pyrolysiert werden, um eine Siliciumcarbid
enthaltende Faser zu geben. Ausserdem kann man die Silazanpolymeren mit keramischen Füllern mischen
und dann bei mindestens 750oc pyrolysieren, um keramische Siliciumcarbid enthaltende Materialien oder
keramische Gegenstände, die Siliciumcarbid enthalten, zu erhalten.
Wenn Mischungen von Organochlorsilanen verwendet werden, ist es am vorteilhaftesten, die Silane vor
dem Berühren und dem Umsetzen mit den Disilazanen zu mischen.
Wie bereits festgestellt wurde, können einige der Silazanpolymeren
gemäss der Erfindung extrudiert werden, um verschiedene Gegenstände, wie Fasern, zu ergeben.
Es hat sich gezeigt, dass diejenigen Silazanpolymeren, die man extrudiert oder in anderer Weise verformen kann,
diejenigen sind, bei denen die Anzahl der diorganosub-
stituierten Siliciumatome die Anzahl der monoorganosubstituierten
Siliciumatome nicht übersteigt.
Wie bereits festgestellt wurde, können die Polymeren nach dem Verfahren gemäss der Erfindung in Abhängigkeit
vom Anwendungsgebiet in füllstoffhaltigem oder ungefülltem Zustand verwendet werden. Auch beim Überziehen
von Substraten können füllstoffhaltige oder ungefüllte Polymere benutzt werden, wobei dann die überzogenen
Substrate zur Herstellung von mit keramischem Siliciumcarbid überzogenen Gegenständen verwendet werden. Die
Füllstoffe und die Zusatzstoffe können auf einem Dreiwalzenstuhl mit den erfindungsgemässen Polymeren gemischt
werden, wobei man in der Regel diese Stoffe mehrere Durchgänge auf dem Walzenstuhl machen lässt.
Alternativ kann man die Polymeren in ein Lösungsmittel geben und die Füllstoffe und die Zusätze hinzufügen.
Nach dem Mischen kann das Lösungsmittel entfernt werden.
Das Überziehen der Substrate mit den erfindungsgemässen
Polymeren kann in üblicher Weise erfolgen. Die verwendeten Arbeitsweisen und Einrichtungen hängen von dem
Polymeren und dem Substrat und dem Anwendungsgebiet ab. So können diese Materialien durch Streichen, Walzen, Tauchen
oder Sprühen aufgebracht werden» Wenn die Polymeren ftillstoffhalttg
sind, ist es manchmal erforderlich, sie auf das Substrat aufzuspachteln. Unabhängig von der Form und
dem Zeitpunkt s zu dem die Polymeren in den keramischen
Zustand überführt werden^ erfolgt dies durch Pyrolyse der Polymeren bei einer Temperatur von mindestens 75O0C
in einer inerten Atmosphäre oder im Vakuum.
Versuche, die Pyrolyse bei oder oberhalb 75O°C ohne Anwendung
einer inerten Atmosphäre durchzuführen, führen zu unerwünschten Nebenreaktionen, deshalb sollten Feuchtigkeit
und andere mögliche reaktionsfähige Stoffe ausgeschlossen werden,,
Die Erfindung wird in den Beispielen noch näher erläutert. Es w.erden dabei folgende analytische Methoden
verwendet %
Die thermogravimetrischen Analysen (TGA) wurden auf einem "Netzsch STA 429" (240O0C) TGA Instrument der
Firma Netzsch Instruments, Selb, Bundesrepublik Deutschland, durchgeführt. Das mittlere Gewicht der Proben
betrug 11 mg, die Programmeinstellung lag bei 100C / min,
die Gasgeschwindigkeit lag bei 200 ecm / min. Einstellung des Anzeigegerätes: 5O0C / 2,54 cm (scale setting
500C / in.) - 0,50C /2,54 cm.
Die Differenzial-thermischen Analysen (DTA) wurden auf dem Netzsch Instrument unter Verwendung von Proben im
Mittel von 13,5 mg, einer Gasgeschwindigkeit von 200 ecm / min, einer Programmeinstellung von 100C / min und einer
Einstellung des Anzeigegerätes auf 500C / 2,54 cm * 0,50C /
2,54 cm durchgeführt.
Der Prozentgehalt an Silicium wurde durch die sogenannte Fusionsmethode bestimmt, bei der das Silikonmaterial in
lösliche Formen des Siliciums umgewandelt wurde und das lösliche Material quantitativ als Gesamtsilicium durch
atomare Absorptionsspektrometrie bestimmt wurde. Die Solubilisierung erfolgte, indem die Probe in einen
Fusionsbecher vom Parr-Typ (etwa 0,3 g) gegeben wurde, 15,0 g Natriumperoxid hinzugegeben wurden, die Mischung
etwa 90 Sekunden erwärmt würde und mit kaltem Wasser abgeschreckt wurde. Das Material wurde in einen Nickelbecher
gegeben, der 150 bis 200 ml destilliertes Wasser enthielt. Es wurden dann 55 ml Essigsäure (analysenrein) hinzugegeben
zur Verdünnung 500 ml Wasser.
Der Prozentgehalt an restlichem Chlor wurde durch Zersetzung mit Natriumperoxid und Titration mit Silbernitrat
bestimmt. An das Schmelzen der Halogenide mit Natriumperoxid schliesst sich eine potentiometrische Titration
mit Standard-Silbernitrat an, indem eine Probe in eine Gelkapsel eingewogen wird, etwa 1,5 g Na_0 , etwa 0,7 g
KNO _ und etwa 0,15 g Zucker in einen kleinen, trockenen Reaktionsbecher gegeben werden und die Kapsel in diese
Mischung eingebettet wird. Der Becher wird dann mit Na„0« gefüllt und in ein Reaktionsgefäss gegeben. Dort
wird er 1 bis 1,5 min erwärmt und mit kaltem Wasser abgeschreckt. Der Becher und das Gefäss werden gewaschen
und das Waschwasser wird gesammelt. Das Waschwasser wird dann erwärmt, um die Feststoffe aufzulösen. Es
werden dann 15 ml kalte 50 %ige wässrige Schwefelsäure zugegeben und man lässt die Mischung 15 bis 20 Sekunden
stehen. Diese Lösung wird mit weiterer Schwefelsäure neutralisiert und titriert.
Kohlenstoff und Wasserstoff werden durch Mikroverbrennung bestimmt. Dazu werden 10 bis 20 mg Proben in ein Mikrosehiffchen
aus Platin gegeben und in einem A. H. Thomas Verbrennungsapparat, Katalog Nr. 6447-E, Philadelphia, Pa.,
USA, behandelt.
Bei diesen Beispielen wurden die Silazanpolymeren
unter Argon in einem wassergekühlten Graphitofen
(Astro Industries Furnace IOOOA, Modell 1000.3060-FP-12) pyrolysiert.
unter Argon in einem wassergekühlten Graphitofen
(Astro Industries Furnace IOOOA, Modell 1000.3060-FP-12) pyrolysiert.
Die Derivatisierungs-Gaschromatographie ist eine Analyse,
bei der das Polymere mit Tetraäthoxysilan (EOS) und KOH behandelt wird, um Organoäthoxysilanderivate
der einzelnen polymeren Einheiten zu ergeben. Die
Gaschromatographie wird dann verwendet, um den Gehalt und die relativen Verhältnisse der verschiedenen Einheiten der Mischung festzustellen. Diese Arbeitsweise wird durchgeführt, indem etwa 0,3 g der Probe des Polymeren in einen 50 ml Rundkolben eingewogen werden. Zu diesem Kolben werden dann 8,ο ml Si(OC2H5), zugegeben. Dann wird eine Schuppe KOH hinzugefügt und der Kolben wird erwärmt, um die Reaktion einzuleiten. Dann wird die Reaktionsmischung 45 Minuten unter Rückflusskühlung gehalten. Es werden zusätzlich' 2,0 ml Si(OC2H5)^
Gaschromatographie wird dann verwendet, um den Gehalt und die relativen Verhältnisse der verschiedenen Einheiten der Mischung festzustellen. Diese Arbeitsweise wird durchgeführt, indem etwa 0,3 g der Probe des Polymeren in einen 50 ml Rundkolben eingewogen werden. Zu diesem Kolben werden dann 8,ο ml Si(OC2H5), zugegeben. Dann wird eine Schuppe KOH hinzugefügt und der Kolben wird erwärmt, um die Reaktion einzuleiten. Dann wird die Reaktionsmischung 45 Minuten unter Rückflusskühlung gehalten. Es werden zusätzlich' 2,0 ml Si(OC2H5)^
zugegeben und dann etwa ein halber Teelöffel pulverförmiges CO- zur Neutralisation der KOH. Die Probe
wird zentrifugiert, um die Phasen voneinander zu trennen. Die Silanschicht wird dann durch standardisierte Gaschromatographie
analysiert.
Bei den nachfolgend geschilderten Umsetzungen wurde im
wesentlichen das gleiche Reaktion'sgefäss verwendet. Es
war ein 500. ml Rundkolben aus Glas mit einem mechanischen Rührer, -Gaseinleitungsrohr, Destillationsapparat
und einem Thermoelement zur Temperaturkontrolle. Der Destillationsapparat war für die Anwendung von
Vakuum eingerichtet.
37,7 g (0,25 Mol) Methyltrichlorsilan, 97,Og
(0,75 Mol) Dimethyldichlorsilan und 364,4 g (2,3 Mol)
[(GH-)„SiJ-NH wurden in dem Reaktionskolben gemischt.
Diese Mischung wurde in einer Argonatmosphäre auf 3000C erwärmt. Die Destillation begann, sobald der
Kolben eine Temperatur von 93°G erreicht hatte. Bei 2000C hatte der Kolbeninhalt eine klare orange Farbe
angenommen. Der Kolben wurde 10 Minuten bei 3000C
gehalten. Das Material wurde in eine Glasflasche überführt und unter einer Argondecke beim Abkühlen auf
Raumtemperatur gehalten. Das Reaktionsprodukt war ein braunes, klebriges Material, das beim Abkühlen auf
Raumtemperatur gummiartig wurde. Das Polymere wurde in einer Ausbeute von 27,9 % der Theorie erhalten.
Die TGA bei 10000C in Argon ergab eine Ausbeute von 36 % an keramischen Materialien. Die DTA bei 5000C
in Argon zeigte keine Veränderungen. Die DTA bei 5000C
in Luft zeigte eine exotherme Reaktion bei 2450C. Der Siliciumgehalt lag bei 42,8 % und die Infrarotanalyse
zeigte das Vorhandensein von -NH- , NH.C1 , SiMe und SiNSi. Die Erwärmung in dem Graphitofen von Raumtemperatur
auf 12000C ergab ein keramisches Material in einer Ausbeute von 33,5 %. Bei Erwärmung auf 1200 bis
16000C erhielt man 82,5 %. Die EOS - Derivatisierung
ergab 4 % Me3Si , 21 % Me2Si und 39 % MeSi.
Aus diesem Material konnten Fasern hergestellt werden.
30,8 g (0,21 Mol) Methyltrichlorsilan, 106,2 g (0,82 Mol) (CH3)2SiCl2 und 355,5 g (2,2 Mol) [(CH^Si^NH
wurden gemischt und in einem Reaktionskolben unter einem Argonstrom erwärmt. Die Destillation begann bei
950C. Die Farbe des Kolbeninhalts änderte sich allmählich
von klar zu gelb bis braun. Der Kolben wurde auf 300°C erwärmt und 15 Minuten bei dieser Temperatur
gehalten. Dann liess man den Kolben im Verlauf von 16 Stunden unter einer Argondecke abkühlen. Das Reaktionsprodukt war eine dunkelbraune Flüssigkeit. Die TGA bei
10000C in Argon ergab 10 % eines keramischen Materials,
Es wurden folgende Ausgangsstoffe in einem Reaktions·
kolben gemischt:
CH3SiCl3 75,6 g (0,51 Mol)
(CH3)2SiCl2 65,7 g (0,51 Mol)
[(CH3)3Si]2NH 409,6g (2,5 Mol)
Diese Materialien wurden auf 3000C in einer Argonatmosphäre
erwärmt und 15 Minuten bei dieser Temperatur gehalten. Das Material wurde dann unter Argon abgekühlt
und es wurden 39,2 g eines sehr harten, gelben Materials erhalten. Die Ausbeute des Polymeren betrug 56,5 %-. Bei
der TGA bei 10000C in Argon wurde ein keramisches
Material in einer Ausbeute von 41 % erhalten. Die DTA
bei 5000C in Argon zeigte keine Veränderungen an. Die DTA in Luft bei 5000C zeigte eine exotherme Reaktion
bei 2200C an. Der Siliciumgehalt lag bei 42,4 %.
Durch Infrarotanalyse wurde die Gegenwart von -NH- , SiCH3 und Si-N-Si festgestellt. Bei der Pyrolyse
in einem Graphitofen bei 12000C wurde Siliciumcarbid in einer Ausbeute von 37,3.% erhalten. Durch Erwärmen
auf 1200 bis 16000C erhielt man das Siliciumcarbid in einer Ausbeute von 84,9 %. Die EOS - Derivatisierung
des Polymeren ergab 0,12 % (CH^Si- , 10,5 %
(CH3)2Si= und 53 % CH3Si; .
Es wurden folgende Ausgangsstoffe in einen Reaktionskolben gegeben:
CH3SiGl3 117,9 g (0,79 Mol)
(CH„)9SiCl9 63,9 g (0,49 Mol)
[(CH3)3Si]2NH - 536,8 g (3,3 Mol)
Diese Materialien wurden unter einer Argonatmosphäre auf 2750C erwärmt und eine Stunde bei dieser Temperatur
gehalten. Dann wurde das Reaktionsprodukt unter Argon auf Raumtemperatur abgekühlt, wobei 54,6 g eines
harten, spröden und gelben Polymeren erhalten wurden. Die Ausbeute des Polymeren betrug 63,6 %. Die TGA bei
10000C in Argon ergab eine Ausbeute von 51 % keramischem
Material. Die DTA bei 5000C in Argon zeigte keine Veränderungen an. Bei der DTA bei 5000C in Luft
wurde eine exotherme Reaktion bei 2000C beobachtet. Der Siliciumgehalt lag bei 42,0 %. Durch Infrarotanalyse
wurde die Gegenwart von -NH- , NH.C1 , SiCH,
und Si-N-Si festgestellt. Bei der Pyrolyse bei 12000C
wurden 44,9 % keramisches Material erhalten. Durch Erwärmen auf 1200 bis 16000C wurde das keramische Material
in einer Ausbeute von 75,8 % erhalten. Die EOS Derivatisierung ergab 7,2 % (CH^Si- , 7,3 %
(CH3)2Si und 61 % CH3Si; .
Beispiele 5 bis 18
Es wurden weitere Reaktionen durchgeführt, um zu erläutern,
dass verschiedene Chlorsilane als Ausgangsstoffe verwendet werden können. Die Umsetzungen wurden in
dem gleichen Reaktionsgefäss, wie in den vorstehenden
Beispielen, durchgeführt. Die Reaktionszeiten und die Reaktionstemperaturen sind in der folgenden Tabelle I
angegeben. Diese Tabelle zeigt auch die Ergebnisse der Reaktion und einige Eigenschaften der pyrolysierten
Produkte.
Silazanpolymeres
Bei spiel |
Ausgangsstoffe | Menge g |
Temp. 0C |
Zeit min |
Beschreibung | la Ausbeute |
Ausbeute keram. Material TGA bei 10000C in Argon |
I | 8645 |
5 | CH3SiCl | 154,9 , | brüchig | N) | |||||
(CH3)2SiCl2 | 68,6 | 275 | 60 | gelb | 76,0 | 45 % | |||
[(CH3)3Si]2NH | 644,0 | ■fest | |||||||
6 | Il | 126,7 45,3 516,0 |
200 | 30 | milchig weiss fest |
43,1 | 55 % | ||
7 | Il | 116,7 33,1 452,0 |
220 | 15 | milchig weiss fest |
63,6 | 52 % | ||
8 | Il | 119,6 27,2 451,8 |
220 | 15 | blass gelb fest |
74,2 | 50 % | ||
9 | Il | 130,8 21,2 467,7 |
220 | 15 | milchig weiss |
71,3 | 54 % | ||
10 | It | 138,7 13,6 465,3 |
220 | 15 | milchig weiss brüchig |
77,0 | 51 % | ||
TABELLE I (Fortsetzung)
Silazanpolymeres
Ausgangsstoffe | Menge g |
Temp, oc |
Zeit min |
Beschreibung | /0 Ausbeute |
Ausbeute keram. Material TGA bei 10000C in Argon |
|
Bei spiel |
CH3SiCl3 | 143,5 | milchig | ||||
11 | (CH3)2SiCl2 | 6,5 | 200 | 15 | weiss | 87,1 | 54,0 % |
[(CH3)3Si]2NH | 476,1 | fest | |||||
Il | 853,5 40,2 2854,4 |
300 | 60 | hart gelb fest |
89,4 | ||
12 | CH3SiCl3 | 150,0 | hart | ||||
13 | [(CH3)3Si]2NH | 483,9 | 180 | 15 | weiss fest |
77,1 | 57,0 % |
Il | 899,6 2910,9 |
300 | 120 | hart gelb fest |
97,6 | ||
14 | CH3(CH2)2SiCl3 | 177,6 | dicker | ||||
15 | [(CH3)3Si]2NH | 486,3 | 261 | 5 | halbfester Gummi |
||
TABELLE I (Fortsetzung)
Silazanpolymeres
Bei spiel |
Ausgangsstoffe | Menge g |
Temp. °C |
Zeit min |
Beschreibung | % Ausbeute Ausbeute keram. Material TGA bei 1000°C in Argon |
16 | (CH3)(C6H5)SiCl2 [(CH3)3Si]2NH |
191,9 330,2 |
300 Vakuum Omm Hg |
wen. Sek. |
hart leicht braun fest |
|
17 | C6H5SiCl3 | 213,3 | weisslich | |||
[(CHj)3Si]2NH | 484,7 | 240 | 5 | hart glatt fest |
||
18 | CH2=CHSiCl3 | 165,5 | zäh | |||
[(CHp3Si]2NH | 486,1 | 300 | 6 | milchig weiss halbfest |
TABELLE I (Fortsetzung)
Bei spiel |
DTA Argon |
DTA 5000C Luft |
7o Si | Infrarot | keramisches Material in % durch Pyrolyse |
12OO-16OO°C 81,1 |
EOS | 3)3Si- 3>2Si= 3Si= |
i K) so I |
5 | zersetzt 310 - 410 |
Exo therme 320OC |
40,8 | NH NH Cl 5SiCH Si-N-Si |
25-12000C 41,7 |
78,9 | 127o(CH 77o(CH — ca |
||
6 | keine Veränderung |
Exo therme 235OC |
41 | Il | 50,6 | 84,2 | 87o " 47o " 637o " |
1« Il |
|
7 | • 1 | Exo therme 240OC |
40,7 | Il | 45,5 | 86,0 | 57o " 5,4 7o 57,4 7o |
Il | |
8 | Il | Exo therme 235°C |
40,7 | Il | 44,8 | 88,1 | 10 7o " 5 7 H 66,3 7o |
• I Il |
—\ NJ OO cn |
9 | mögliche Veränderung bei 235-300°C |
Exo therme 240°C |
42,1 | Il | 49,0 | 87,9 | 8,4 % 4,0 % 67,0 7o |
Il | |
10 | keine Veränderung |
Exo therme 225OC |
41,6 | Il | 48,4 | Q °/ *· O /o 3,3 7o 65 7o " |
|||
TABELLE I (Fortsetzung)
Bei spiel |
DTA 50O0C Argon |
DTA 5000C Luft |
7o Si | Infrarot | keramisches Material in % durch Pyrolyse |
1200-16000C 88,3 |
11 | keine Veränderung |
Exo therme 225°C |
42,0 | NH NH4Cl |
25-1200°C 46,8 |
|
Si-N-Si | ||||||
12 | 41,0 | • 1 | 87,3 | |||
13 | Endotherme 25-120°C |
Endo therme 25-120°C Exo therme 2200C |
41,4 | • I | 50,2 | |
14 | 11 | Il | 42,5 | Il | 74,9 | |
15 | www | — "·"■ | 31,0 | Si-propyl C-N-C Si-N-Si |
3,07 |
EOS
19,5 % 3,0 % (CH3)2Si=
81
70
CH3Si=
/o
"J
la
Il
ι·
TABELLE I (Fortsetzung)
Bei- DTA
spiel 5000C
Argon
spiel 5000C
Argon
DTA
500°C
Luft
% Si Infrarot keramisches Material EOS in % durch Pyrolyse
22,0
OH
NH
NH4Cl
NH
NH4Cl
SiC,H-ο ->
SiCH3 Si-N-Si
NH
NH4Cl
NH4Cl
SiC.H, b D
SiCH3
Si-N-Si Si-O-Si
NH
SiCH=CH
SiCH3
Si(CH,)
Si-N-Si Si-O-Si
(CH3), SiNH3
25-1200°C 1200-16000C
23,7 : 93,1
37,7
61,8
95,9
82,6
co' ·· :
OO CD
CTl
Claims (3)
1. Verfahren zur Herstellung eines R' SiNH - enthaltenden
Silizanpolymeren,
dadurch gekennzeichnet, dass man in einer inerten Atmosphäre ein Organodi·
silan oder eine Mischung von Organodisilanen der allgemeinen Formel
R SiCl,
η 4-n
η 4-n
mit einem Disilazan der allgemeinen Formel
(R1
bei einer Temperatur im Bereich von 25 bis 3000C
umsetzt und die flüchtigen Nebenprodukte abdestilliert,
wobei
R ein Vinylrest, ein Alkylrest mit 1 bis 3 Kohlenstoffatomen oder ein Phenylrest ist,
R1 ein Vinylrest, Wasserstoff, ein Alkylrest mit
1 bis 3 Kohlenstoffatomen oder ein Phenylrest ist und
η einen Wert von 1 oder 2 hat.
2. Verfahren zur Weiterverarbeitung des nach Anspruch erhaltenen Silazanpolymeren,
dadurch gekennzeichnet, dass man dieses Silazanpolymere in einer inerten
Atmosphäre oder im Vakuum auf eine Temperatur von mindestens 7500C erwärmt, bis das Silazanpolymere
in ein keramisches Siliciumcarbid umgewandelt worden ist.
3. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, dass man einen Gegenstand einer gewünschten Ge-
stalt aus dem Silazanpolymeren herstellt und ihn
durch Erwärmen in einen keramischen Siliciumcarbidgegenstand umwandelt.
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---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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DE3128645C2 DE3128645C2 (de) | 1987-03-05 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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NL (1) | NL8101940A (de) |
NO (1) | NO158139C (de) |
SE (1) | SE446452B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0175382A2 (de) * | 1984-09-11 | 1986-03-26 | Dow Corning Corporation | Keramische Werkstoffe aus Silazanpolymeren |
EP0206449A2 (de) * | 1985-06-24 | 1986-12-30 | Dow Corning Corporation | Verfahren zur Herstellung von Keramikwerkstoffen |
DE3743394A1 (de) * | 1986-12-22 | 1991-01-03 | Dow Corning | Alkylpoly(polysilyl)azane und verfahren zu ihrer herstellung |
Families Citing this family (79)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4788309A (en) | 1985-04-26 | 1988-11-29 | Sri International | Method of forming compounds having Si-N groups and resulting products |
US4612383A (en) * | 1985-04-26 | 1986-09-16 | S R I International | Method of producing polysilazanes |
US4395460A (en) * | 1981-09-21 | 1983-07-26 | Dow Corning Corporation | Preparation of polysilazane polymers and the polymers therefrom |
GB2119777B (en) * | 1982-01-21 | 1985-07-10 | Nippon Carbon Co Ltd | Process for the preparation of sintered bodies |
US4783516A (en) * | 1983-03-31 | 1988-11-08 | Union Carbide Corporation | Polysilane precursors containing olefinic groups for silicon carbide |
US4540803A (en) * | 1983-11-28 | 1985-09-10 | Dow Corning Corporation | Hydrosilazane polymers from [R3 Si]2 NH and HSiCl3 |
US4543344A (en) * | 1983-11-28 | 1985-09-24 | Dow Corning Corporation | Silicon nitride-containing ceramic material prepared by pyrolysis of hydrosilazane polymers from (R3 Si)2 NH and HSiCl3 |
US4535007A (en) * | 1984-07-02 | 1985-08-13 | Dow Corning Corporation | Silicon nitride-containing ceramics |
US4668642A (en) * | 1984-09-11 | 1987-05-26 | Dow Corning Corporation | Ceramic materials from silazane polymers |
US4666872A (en) * | 1984-09-21 | 1987-05-19 | Dow Corning Corporation | Ceramic materials from silazane polymers |
US4757035A (en) * | 1984-09-21 | 1988-07-12 | Dow Corning Corporation | Ceramic materials with increased crystallinity from silazane polymers |
FR2577933B1 (fr) * | 1985-02-27 | 1987-02-20 | Rhone Poulenc Rech | Procede de preparation d'organopolysilazanes et d'organopoly(disilyl)silazanes de tenue thermique amelioree et son utilisation notamment comme precurseur de ceramique |
US5008422A (en) * | 1985-04-26 | 1991-04-16 | Sri International | Polysilazanes and related compositions, processes and uses |
US4650837A (en) * | 1985-09-30 | 1987-03-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for converting Si-H containing polycarbosilanes to new and useful preceramic polymers and ceramic materials |
US4645807A (en) * | 1985-07-18 | 1987-02-24 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for forming new preceramic polymers for SiC and Si3 N4 /SiC systems |
US4719273A (en) * | 1985-09-04 | 1988-01-12 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for forming new preceramic polymers containing silicon |
US4639501A (en) * | 1985-09-04 | 1987-01-27 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for forming new preceramic polymers containing silicon |
US4789507A (en) * | 1985-10-28 | 1988-12-06 | Hoechst Celanese Corporation | Production of preceramic and ceramic fibers from friable, thermally sensitive organosilicon preceramic polymers |
FR2590584B1 (fr) * | 1985-11-28 | 1988-03-04 | Rhone Poulenc Spec Chim | Procede de preparation, en deux etapes, de reticulats d'organopolysilazanes de tenue thermique amelioree pouvant servir notamment comme precurseur ceramique |
FR2590580B1 (fr) * | 1985-11-28 | 1988-05-13 | Rhone Poulenc Spec Chim | Procede de traitement catalytique d'un polysilazane comportant en moyenne au moins deux groupes hydrocarbone a insaturation aliphatique par molecule |
US5503817A (en) * | 1986-01-16 | 1996-04-02 | Hoechst Celanese Corp. | Curing of preceramic articles with gaseous hydrogen halide |
US4705837A (en) * | 1986-04-08 | 1987-11-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for converting Si-H containing polysiloxanes to new and useful preceramic polymers and ceramic materials |
US4863799A (en) * | 1986-05-22 | 1989-09-05 | Hoechst Celanese Corp. | Sheath core spun organosilicon preceramic fibers and processes for production |
JPS62290730A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
JPS636113A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-12 | Chisso Corp | 無機繊維の製造方法 |
US4746480A (en) * | 1986-08-11 | 1988-05-24 | Hoechst Celanese Corporation | Process for providing a protective oxide coating on ceramic fibers |
US4720532A (en) * | 1986-08-22 | 1988-01-19 | Massachusetts Institute Of Technology | Organopolysilazane precursors to silicon nitride-rich mixed SiC/Si3 N4 |
US4816497A (en) * | 1986-09-08 | 1989-03-28 | The Dow Corning Corporation | Infusible preceramic silazane polymers via ultraviolet irradiation |
US4869854A (en) * | 1986-10-31 | 1989-09-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Process for manufacturing organic silazane polymers and ceramics therefrom |
US4742143A (en) * | 1986-11-04 | 1988-05-03 | Dow Corning Corporation | Preceramic polymers derived from cyclic silazanes, and halosilanes and a method for their preparation |
US4822697A (en) * | 1986-12-03 | 1989-04-18 | Dow Corning Corporation | Platinum and rhodium catalysis of low temperature formation multilayer ceramics |
US4826733A (en) * | 1986-12-03 | 1989-05-02 | Dow Corning Corporation | Sin-containing coatings for electronic devices |
US4756977A (en) * | 1986-12-03 | 1988-07-12 | Dow Corning Corporation | Multilayer ceramics from hydrogen silsesquioxane |
US4911992A (en) * | 1986-12-04 | 1990-03-27 | Dow Corning Corporation | Platinum or rhodium catalyzed multilayer ceramic coatings from hydrogen silsesquioxane resin and metal oxides |
US4749631B1 (en) * | 1986-12-04 | 1993-03-23 | Multilayer ceramics from silicate esters | |
US4753855A (en) * | 1986-12-04 | 1988-06-28 | Dow Corning Corporation | Multilayer ceramic coatings from metal oxides for protection of electronic devices |
US4753856A (en) * | 1987-01-02 | 1988-06-28 | Dow Corning Corporation | Multilayer ceramic coatings from silicate esters and metal oxides |
JPS63210133A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
US4835238A (en) * | 1987-06-08 | 1989-05-30 | Dow Corning Corporation | Polysilacyclobutasilazanes |
US4774312A (en) * | 1987-06-08 | 1988-09-27 | Dow Corning Corporation | Polydisilacyclobutasilazanes |
US4810443A (en) * | 1987-07-02 | 1989-03-07 | Dow Corning Coporation | Method for forming filaments from a resin |
US4847027A (en) * | 1987-07-06 | 1989-07-11 | Dow Corning Corporation | Infusible preceramic polymers via nitric oxide treatment |
US4798701A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-17 | International Business Machines Corporation | Method of synthesizing amorphous group IIIA-group VA compounds |
US4800221A (en) * | 1987-08-25 | 1989-01-24 | Dow Corning Corporation | Silicon carbide preceramic polymers |
US5176941A (en) * | 1987-11-07 | 1993-01-05 | Hoechst Aktiengesellschaft | Process of producing a ceramic/fiber composite using a molten polysilazone |
US5084423A (en) * | 1987-11-07 | 1992-01-28 | Hoechst Aktiengesellschaft | Polysilazanes, process for the preparation thereof, silicon, nitride-containing ceramic materials which can be prepared therefrom, and the preparation thereof |
US4772516A (en) * | 1987-11-09 | 1988-09-20 | Mahone Louis G | Stable methylpolydisilylazane polymers |
JPH01153730A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
US4929742A (en) * | 1988-11-28 | 1990-05-29 | Dow Corning Corporation | Silane modified polysilacyclobutasilazanes |
US5070116A (en) * | 1989-06-02 | 1991-12-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Preceramic organosilicon-metal carbonyl polymers |
US5547623A (en) * | 1989-08-21 | 1996-08-20 | Dow Corning Corporation | Method for continuous spinning and pyrolysis of ceramic filaments from a resin |
JPH0662776B2 (ja) * | 1989-08-24 | 1994-08-17 | 信越化学工業株式会社 | ポリチタノカルボシラザン重合体及び該重合体を用いたセラミックスの製造方法 |
FR2652081A1 (fr) * | 1989-09-21 | 1991-03-22 | Rhone Poulenc Chimie | Procede de preparation d'un composite si3n4-sic. |
US5171736A (en) * | 1989-10-16 | 1992-12-15 | Massachusetts Institute Of Technology | Preceramic organosilicon-boron polymers |
JPH03190933A (ja) * | 1989-12-20 | 1991-08-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法及び該重合体を用いたセラミックスの製造方法 |
US5545687A (en) * | 1990-02-21 | 1996-08-13 | Dow Corning Corporation | Preparation of high density boron carbide ceramics with preceramic polymer binders |
US5051215A (en) * | 1990-03-21 | 1991-09-24 | Dow Corning Corporation | Curing preceramic polymers by exposure to nitrogen dioxide |
US5783139A (en) * | 1990-04-18 | 1998-07-21 | Curran; Dennis John Gerard | Ceramic materials |
US5292830A (en) * | 1991-06-20 | 1994-03-08 | Tonen Corporation | Thermosetting copolymers, silicon carbide-based fiber and processes for producing same |
US5204380A (en) * | 1991-08-29 | 1993-04-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Preparation of silicon carbide ceramics from the modification of an Si-H containing polysilane |
US6146559A (en) | 1994-07-28 | 2000-11-14 | Dow Corning Corporation | Preparation of high density titanium diboride ceramics with preceramic polymer binders |
US5449646A (en) | 1994-07-29 | 1995-09-12 | Dow Corning Corporation | Preparation of high density zirconium diboride ceramics with preceramic polymer binders |
US5447893A (en) | 1994-08-01 | 1995-09-05 | Dow Corning Corporation | Preparation of high density titanium carbide ceramics with preceramic polymer binders |
CA2154216A1 (en) | 1994-08-01 | 1996-02-02 | Gregg Alan Zank | Preparation of high density zirconium carbide ceramics with preceramic polymer binders |
KR100804873B1 (ko) * | 1999-06-10 | 2008-02-20 | 얼라이드시그날 인코퍼레이티드 | 포토리소그래피용 sog 반사방지 코팅 |
US6368400B1 (en) * | 2000-07-17 | 2002-04-09 | Honeywell International | Absorbing compounds for spin-on-glass anti-reflective coatings for photolithography |
US8053159B2 (en) | 2003-11-18 | 2011-11-08 | Honeywell International Inc. | Antireflective coatings for via fill and photolithography applications and methods of preparation thereof |
EP2104164A4 (de) * | 2006-12-28 | 2012-01-18 | Dow Corning Toray Co Ltd | Poröses siliziumhaltiges auf kohlenstoff basierendes verbundmaterial, daraus zusammengesetzte elektrode und batterie |
US8642246B2 (en) * | 2007-02-26 | 2014-02-04 | Honeywell International Inc. | Compositions, coatings and films for tri-layer patterning applications and methods of preparation thereof |
JPWO2008123311A1 (ja) * | 2007-03-27 | 2010-07-15 | 国立大学法人東京工業大学 | 二次電池用正極材料の製造方法 |
TW200944489A (en) * | 2008-01-30 | 2009-11-01 | Dow Corning Toray Co Ltd | Silicon-containing particle, process for producing the same, organic-polymer composition, ceramic, and process for producing the same |
EP2271702A2 (de) * | 2008-04-30 | 2011-01-12 | Dow Corning Toray Co., Ltd. | Siliciumhaltige partikel, verfahren zu ihrer herstellung, ölzusammensetzung, keramikmaterial und herstellungsverfahren dafür |
US8557877B2 (en) | 2009-06-10 | 2013-10-15 | Honeywell International Inc. | Anti-reflective coatings for optically transparent substrates |
KR20120051719A (ko) | 2009-07-31 | 2012-05-22 | 다우 코닝 도레이 캄파니 리미티드 | 전극활물질,전극 및 축전 디바이스 |
KR20120055565A (ko) | 2009-07-31 | 2012-05-31 | 다우 코닝 도레이 캄파니 리미티드 | 전극활물질,전극 및 축전 디바이스 |
JP2012178224A (ja) | 2011-01-31 | 2012-09-13 | Dow Corning Toray Co Ltd | 表面炭素被覆ケイ素含有炭素系複合材料の製造方法 |
US8864898B2 (en) | 2011-05-31 | 2014-10-21 | Honeywell International Inc. | Coating formulations for optical elements |
JP2013157221A (ja) | 2012-01-30 | 2013-08-15 | Dow Corning Toray Co Ltd | ケイ素含有炭素系複合材料 |
JP6803842B2 (ja) | 2015-04-13 | 2020-12-23 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッドHoneywell International Inc. | オプトエレクトロニクス用途のためのポリシロキサン製剤及びコーティング |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2708635A1 (de) * | 1976-02-28 | 1977-09-01 | Res Inst Iron Steel | Organosiliciumverbindungen mit hohem molekulargewicht, verfahren zur herstellung derselben und daraus gebildete siliciumcarbidformkoerper |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2564674A (en) * | 1947-08-07 | 1951-08-21 | Nicholas D Cheronis | Preparation of organic silicon compounds |
US3146250A (en) * | 1961-10-11 | 1964-08-25 | Dow Corning | Nitrogen-containing cyclic silanes, their preparation and hydrolysis |
IL22431A (en) * | 1964-11-12 | 1968-11-27 | Fuchs J | Process for the production of disilazanes and the products obtained by this method |
US3553242A (en) * | 1968-04-26 | 1971-01-05 | Monsanto Co | Process for preparing 1,3-disilyl-1,3,2,4-diazadisiletidines |
US3755397A (en) * | 1971-06-01 | 1973-08-28 | Dow Corning | Silylating agent |
DE2218960A1 (de) * | 1972-04-19 | 1973-11-08 | Bayer Ag | Formkoerper aus mogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer erstellung |
DE2243527A1 (de) * | 1972-09-05 | 1974-04-18 | Bayer Ag | Formkoerper aus homogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer herstellung |
US3809713A (en) * | 1973-03-01 | 1974-05-07 | Union Carbide Corp | Process for producing silazane compounds |
-
1981
- 1981-02-20 US US06/236,366 patent/US4312970A/en not_active Expired - Fee Related
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- 1981-07-20 DE DE19813128645 patent/DE3128645A1/de active Granted
-
1982
- 1982-02-19 NO NO820517A patent/NO158139C/no unknown
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2708635A1 (de) * | 1976-02-28 | 1977-09-01 | Res Inst Iron Steel | Organosiliciumverbindungen mit hohem molekulargewicht, verfahren zur herstellung derselben und daraus gebildete siliciumcarbidformkoerper |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0175382A2 (de) * | 1984-09-11 | 1986-03-26 | Dow Corning Corporation | Keramische Werkstoffe aus Silazanpolymeren |
EP0175382A3 (en) * | 1984-09-11 | 1987-06-16 | Dow Corning Corporation | Ceramic materials from silazane polymers |
EP0206449A2 (de) * | 1985-06-24 | 1986-12-30 | Dow Corning Corporation | Verfahren zur Herstellung von Keramikwerkstoffen |
EP0206449A3 (de) * | 1985-06-24 | 1987-06-24 | Dow Corning Corporation | Verfahren zur Herstellung von Keramikwerkstoffen |
DE3743394A1 (de) * | 1986-12-22 | 1991-01-03 | Dow Corning | Alkylpoly(polysilyl)azane und verfahren zu ihrer herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT8121495A0 (it) | 1981-05-04 |
SE8103955L (sv) | 1982-08-21 |
FR2500460B1 (de) | 1984-02-17 |
JPS57139124A (en) | 1982-08-27 |
KR830005286A (ko) | 1983-08-13 |
NO158139B (no) | 1988-04-11 |
SE446452B (sv) | 1986-09-15 |
GB2093470A (en) | 1982-09-02 |
AU538466B2 (en) | 1984-08-16 |
FR2500460A1 (fr) | 1982-08-27 |
FI68257B (fi) | 1985-04-30 |
CA1168419A (en) | 1984-06-05 |
IT1136595B (it) | 1986-09-03 |
DK286881A (da) | 1982-08-21 |
US4312970A (en) | 1982-01-26 |
FI68257C (fi) | 1985-08-12 |
JPS6133857B2 (de) | 1986-08-05 |
NL8101940A (nl) | 1982-09-16 |
NO158139C (no) | 1988-07-20 |
BE888787A (fr) | 1981-11-13 |
GB2093470B (en) | 1984-11-14 |
DE3128645C2 (de) | 1987-03-05 |
KR840001711B1 (ko) | 1984-10-16 |
NO820517L (no) | 1982-08-23 |
FI812045L (fi) | 1982-08-21 |
AU6940181A (en) | 1982-08-26 |
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