DE3119251A1

DE3119251A1 - Abtastvorrichtung mit einem lichtstrahlenbuendel

Info

Publication number: DE3119251A1
Application number: DE19813119251
Authority: DE
Inventors: Masaru Asaka Saitama Noguchi
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1980-05-14
Filing date: 1981-05-14
Publication date: 1982-05-13
Also published as: JPS56159615A; US4429220A

Description

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Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Abtastvorrichtung mit einem Lichtstrahlenbündel, bei dem Unregelmäßigkeiten der Abtastgeschwindigkeit eines Lichtflecks in einer Abtastebene korrigiert werden.

Eine Vielzahl von Abtastvorrichtungen mit einem Lichtstrahlenbündel wurde auf diesem Gebiet der Technik vorgeschlagen, welche so arbeiten, daß Dateninformationen auf einem Aufzeichnungsmaterial, vrelches in der Abtastebene des Lichtfleckes angeordnet ist, aufgezeichnet werden oder daß Daten von einem in der Abtastebene angeordneten Vorlage •gelesen werden. Bei den meisten der herkömmlichen Vorrichtungen wird ein Schwingspiegel, wie z.B. ein Galvanometerspiegel oder ein mehrflächiger Drehspiegel als Deflektor für ein Lichtstrahlenbündel verwandt. Bei solchen Vor richtungen ist es erwünscht, daß der Lichtfleck die Abtastebene mit einer konstanten Geschwindigkeit abtastet. Wenn die Abtastgeschwindigkeit unregelmäßig wird, wird ein aufgezeichnetes Muster oder ein Muster, welches durch Wiedergabe von Lesesignalen erhalten wird, ebenfalls ungleichmäßig. Beispielsweise kann in dem Pail, in dem ein Galvanometer als Deflektor für ein Lichtstrahlenbündel verwandt wird, eine Unregelmäßigkeit der Abtastgeschwindigkeit, welcher einer Kombination von Ungenauigkeiten bei der Signalform eines Sägezahn -Treibersignals, den Ungenauig- · keiten des Ansprechvermögens des Galvanometers und Ungenauigkeiten der Wiederholungsrate zugeordnet ist, beträchtlich große Unregelmäßigkeiten bei einem aufgezeichneten Bild hervorrufen. Diese Unregelmäßigkeit nimmt zu, wenn die Abtastgeschwindigkeit zunimmt. Auch in dem Pail, in dem ein

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mehrflächiger Drehspiegel als Deflektor für ein Lichtstrahlenbündel verwandt wird, ist es äußerst schwierig, den Spiegel mit einer konstanten Geschwindigkeit zu drehen, und somit besteht entsprechend die Gefahr, daß die Abtastgeschwindigkeit des Lichtfleckes unregelmäßig ist.

Ein Verfahren zur wesentlichen Korrektur der vorhergehend beschriebenen Unregelmäßigkeiten der Abtastgeschwindigkeit eines Lichtfleckes ist aus dem Stand der Technik bekannt. Bei dieser Technik wird ein Gittermuster mit abwechselnd angeordneten durchscheinenden und undurchlässigen Bereichen, die eine vorbestimmte Periode in der Abtastrichtung aufweisen, in einer Ebene angeordnet, welche im wesentlichen zu einer Abtastebene zum Aufzeichnen oder Lesen von Informationen äquivalent ist. Ein durch das Gittermuster erhaltenes, fotoelektrisches Signal wird als ein Bezugssignal beim Abtastvorgang verwandt.

Beispiele von Abtastvorrichtungen mit einem Lichtstrahlenbündel, die gemäß dem herkömmlichen "Verfahren arbeiten, sind in den Figuren 1 und 2 dargestellt. In dea Figuren Λ und bezeichnet das Bezugszeichen 1 einen optischen Deflektor, 2 eine Abtastlinse, 3 eine Abtastebene (Oberfläche), auf der ein Aufzeichnungsmaterial oder eine Vorlage angeordnet wird, 5 ein Gittermuster, 6 eine Kondensorlinse, 7 einen optischen Detektor, 8 ein erstes Laserstrahlenbündel (dieses ist durch die ausgezogene Linie angegeben), welches zur Abtastung des Aufzeichnungsmaterials oder der Vorlage geeignet ist, und 9 ein zweites Laserstrahlenbündel (welches durch eine unterbrochene Linie dargestellt ist),mit dem das Gittermuster abgetastet werden kann-

Bei dem in Fig. Ί gezeigten Beispiel werden das erste Laserstrahlenbündel 8 und das zweite Laserstrahlenbündel 9 längs im wesentlichen der gleichen Achse des optischen Deflektors 1 zugeführt. Nach der Ablenkung durch den optischen Deflektor 1 gehen die Laserstrahlenbündel durch die Abtastlinse 2 hindurch und gelangen zu einem Strahlteilerspiegel 4·, wodurch sie getrennt werden, so daß das erste Laserstrahlenbündel die Abtastebene 3 abtastet, auf der das Aufzeichnungsmaterial oder die Vorlage angeordnet ist, während das zweite Laserstrahlenbündel das Gittermuster 5 abtastet. In diesem Fall ist die Länge des Gittermusters 5 in- cLer Abtastrichtung gleich oder größer als die Länge des Aufzeichnungsmaterials oder der Vorlage in der Abtastrichtung. Beispielsweise muß im Falle einer Faksimileeinrichtung oder eines Faksimiledruckes die Länge mindestens 210 mm betragen (gleichder Länge der kurzen Seite eines Papierblattes der Größe DIH A4). Dementsprechend muß, um das Laserstrahlenbündel zu sammeln und es auf den optischen Detektor 7 zu richten, nachdem das Strahlenbündel durch das Gittermuster 5 hindurch gegangen ist und durch dieses moduliert wurde, die Kondensorlinse 6 einen beträchtlich großen Durchmesser aufweisen oder es muß ein großes Bündel optischer Fasern verwandt werden. Obgleich eine Fresnel-Linse mit großem Durchmesser ohne weiteres zur Verfügung steht, ist ihre lichtsammelnde Eigenschaft nicht ausreichend groß. Ein optisches Faserbündel ist teuer.

Im Fall der Fig. 2 bilden das erste Laserstrahlenbündel 8 und das zweite Laserstrahlenbündel 9» welche auf den optischen Detektor 7 gericüet sind, einen Winkel, d.h. die Laserstrahlenbündel 8 und 9 beaufschlagen den optischen Detektor 7 unter unterschiedlichen Winkeln. Insbesondere, nachdem das erste

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Laserstrahleribündel 8 von dem optischen. Deflektor 1 abgelenkt worden Ist, geht es durch, die erste A"btastlinse 2 hindurch und tastet die Abtastebene 3 ab, auf der das Aufzeichnungsmaterial oder die Vorlage angeordnet sind. Andererseits wird dadurch das zweite Laserstrahlenbündel 9» welches auf die rückwärtige Oberfläche des optischen Beflektors 1 auffällt, dadurch abgelenkt. Das so abgelenkte zweite Laserstrahlenbündel 9 geht durch die zweite Abtastlinse 2' hindurch und tastet das Gittermuster 5 ab·

Wenn in diesem Fall die Brennweite der zweiten Abtastlinse 2* kleiner als die der ersten Abtastlinse 2 gemacht wird, kann die Länge des Abtastmusters 5 in der Abtastrichtung kürzer als die Länge des Aufzeichnungsmaterials oder der Vorlage in der Abtastrichtung sein. Demgemäß ist es dann möglich, eine herkömmliche Glaslinse als Kondensor linse 6 zu verwenden. Jedoch ist dieses optische System noch in so fern nachteilig als daß die Abbildungseigenschaften der zwei Abtastlinsen 2 und 2' die gleichen sein sollten, damit das optische System richtig arbeitet. Da es wünschenswert ist, daß die Linsen ΐθ Linsen sind_? steigen somit die Herstellungskosten des optischen Systems.

Wie sich ohne weiteres aus der vorhergehenden Beschreibung ergibt, weist das herkömmliche Vorgehen zum Korrigieren der Unregelmäßigkeit der Abtastgeschwindigkeit eines Lichtfleckes in einer Abtastebene Fachteile auf, die darin bestehen, daß die Arbeitsweise unzureichend ist und die Herstellungskosten einer Einrichtung zur Durchführung gemäß diesem Vorgehen hoch sind.

Es ist somit eine Zielsetzung der Erfindung, eine Abtastvorrichtung mit einem Licht strahl enbündel zu schaffen, "bei der alle die vorhergehenden Schwierigkeiten, welche bei einem herkömmlichen Verfahren auftreten, ausgeschlossen sind, und bei der die Unregelmäßigkeiten der Abtastgeschwindigkeit eines Lichtflecks in einer Abtastebene korrigiert sind, wobei sie eine hohe Betriebsgüte und geringe Herstellungskosten aufweist.

Durch die Erfindung wird eine Abtastvorrichtung mit einem Lichtstrahlenbündel geschaffen, bei der die Unregelmäßigkeiten der Abtastgeschwindigkeit eines Lichtflecks in einer Abtastebene korrigiert werden, wobei ein Signal verwandt wird, welches von einem Gittermuster mit in Richtung der Ablenkung eines Lichtstrahlenbündels abwechselnd angeordneten durchscheinenden und undurchlässigen Bereichen erzeugt wird, wobei das Muster in einer Ablenkungsebene längs einer Umfangslinie angeordnet ist, deren Mittelpunkt mit einem Ablenkungspunkt übereinstimmt.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Pig. 1 und 2 schematische Darstellungen zur Erläuterung,

die Beispiele von Abtastvorrichtungen mit einem Lichtstrahlenbündel nach dem Stand der Technik darstellen,

Fig. 3 und 4- schematische Darstellungen zur Erläuterung,

die bevorzugte Ausführungsformen einer Abtastvorrichtung mit einem Lichtstrahlenbündel nach der Erfindung zeigen, und

Jig. 5 ein Diagramm zur Beschreibung der Betriebsweise

einer Abtastvorrichtung mit einem Lichtstrahlenbündel nach der Erfindung.

Pig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung einer ersten, "bevorzugten Ausführungsform einer Abtastvorrichtung mit einem. Lichtstrahlenbündel nach der Erfindung. Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, gelangt .ein erstes Las er strahlenbündel 8, nachdem es von einem schwingenden Spiegel 1 reflektiert worden ist, durch eine Abtastlinse 2 hindurch, um eine Abtastoberfläche 3» auf der ein Aufzeichnungsmaterial oder eine Vorlage angeordnet ist, abzutasten. Ein zweites Laserstrahlenbündel 9 trifft auf die rückwärtige Oberfläche des schwingenden Spiegels 1 durch eine Eokussierlinse 10 hindurchgehend auf. Als Ergebnis hiervon tastet das zweite Laserstrahlenbündel 9 ein Gittermuster 5 ab, welches auf einer AbIenkungsebene längs eines TJmfanges mit dem Ablenkungspunkt des Strahlenbündels als Mittelpunkt angeordnet ist. Die Pokussierlinse 10 wirkt so, daß das Laserstrahlenbündel 9 auf dem Gittermuster 5 fokussiert wird. Dieses Laserstrahlenbündel wird durch das Gittermuster 5 moduliert und wird dann durch eine Kondensorlinse 6 auf einem optischen Detektor gesammelt, wobei in Abhängigkeit von diesem ein fotoelektrisches Signal von dem optischen Detektor 7 abgegeben wird. Das somit erhaltene, fotoelektrische Signal wird für die zeitliche Abstimmung des Abtastvorganges unter Verxfendung bekannter Techniken verwandt. Wenn eine f6 -Linse als Abtastlinse 2 verwandt wird, sollte das Gittermuster 5 so ausgelegt sein, daß durchscheinende Bereiche und undurchlässige Bereiche abwechselnd mit vorbestimmten Intervallen vorgesehen sind.

Eig. 4 zeigt eine zweite, bevorzugte Ausführungsform einer Abtastvorrichtung mit einem Lichtstrahlenbündel nach der Erfindung. Ein erstes Laserstrahlenbündel S gelangt, nachdem es von den reflektierenden Oberflächen 11 eines mehrflächigen Drehspiegels 1 abgelenkt worden ist, durch eine Abtastlinse 2 hindurch zu einer Abtastebene 3» auf der ein Aufzeichnungsmaterial oder eine

Vorlage angeordnet ist. Ein zweites Laserstrahlenbündel 9 wird, nachdem es durch, eine JOkussierlinse 10 hindurchgegangen ist, von den reflektierenden Oberflächen 11 eines mehrflächigen Drehspiegels 1 abgelenkt, um ein Gittermuster 5 abzutasten, welches in einer Ablenkungsebene längs einer Umfangslinie angeordnet ist, die den Ablenkungspunkt des Strahlenbündels als Mittelpunkt hat. Die 3?okussierlinse 10 wirkt so, daß das Laserstrahlenbündel 9 auf dem Gittermuster 5 fokussiert wird. Das Laserstrahlenbündel wird durch das Gittermuster 5 moduliert und wird dann durch eine Kondensorlinse 6 auf einen optischen Detektor 7 gerichtet und ein fotoelektrisches Signal wird entsprechend von dem optischen Detektor 7 abgegeben. Das so abgegebene fotoelektrische Signal wird zur zeitlichen Abstimmung des Abtastvorganges verwandt. In gleicher Weise sollte, wenn eine f9-Linse als Abtastlinse 2 verwandt wird, das" Gittermuster 5 so ausgelegt werden, daß sich in vorbestimmten Intervallen abwechselnde, durchscheinende und undurchlässige Bereiche vorgesehen sind.

Die Beziehung zwischen den Abtastflecken der Laserstrahlenbündel auf der Abtastebene 3 und dem Gittermuster 5 bei den zwei vorhergehend beschriebenen Auiührungsformen der Abtastvorrichtung mit einem Lichtstrahlenbündel nach der Erfindung wird nun erörtert. Da die zwei Ausführungsformen betriebsmäßig ähnlich sind, wird nur die erste · Ausführungsform, welche sich auf die in Fig. gezeigte Torrichtung bezieht, beschrieben. Fig. 5 zeigt eine Draufsicht auf einen Teil der ersten Ausführungsform. Wenn der schwingende Spiegel 1 um einen Winkel Θ/2 von der Ablerikungsmitte ausgelenkt worden ist, werden das erste und das zweite Laserstrahlenbündel 8 und 9 um einen Winkel θ von ihrer Bezugsrichtung 12 abgelenkt. Die Bezugsrichtung 12 fällt mit der optischen Achse der Abtastlinse 2 und mit der Mittelachse des Gittermusters 5 zusammen. Wenn eine fö-Linse mit einer Brennweite f als Abtast-

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• ϊ ' I'll '

- 12 -

linse 2 verwandt wird, kann die Lage χ des Fleckes des ersten, abgelenkten Laserstrahlenbündels auf der Abtastebene 3 durch, den folgenden Ausdruck (1) angegeben werden:

χ β f - θ (1)

Andererseits kann die Lage t des Fleckes des zweiten, abgelenkten Laserstrahlenbündels auf dem Gittermuster 5 durch den folgenden Ausdruck (2) angegeben v/erden:

t = R · Θ, (2) wobei R der Krümmungsradius des Gittermusters ist.

Die Mitte des Krümmungsradius fällt mit der Ablenkungsmitte (auf der rückwärtigen Oberfläche des schwingenden Spiegels 1) des zweiten Laserstrahlenbündels zusammen. Die Lage t des Flecks bewegt sich längs des Gittermusters 5·

Aus den Gleichungen (1) und (2) kann die folgende Gleichung (3) erhalten werden:

x/t = f/R. (3)

Aus der Gleichung (3) sieht man, daß die Lage χ des Fleckes des ersten Laserstrahlenbündels auf der Abtastebene 3 proportional der Lage t des Fleckes des zweiten Laserstrahlenbündels auf dem Gittermuster 5 ist, wobei der Proportionalitätsfaktor f/R ist, welcher in keiner Weise von dem Ablenkwinkel θ des Lasesstrahlenbündels abhängt. Wenn demgemäß das Gittermuster so ausgelegt ist, daß die durchscheinenden und undurchlässigen Bereiche mit einer geeigneten, vorbestimmten Periode vorgesehen

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sind und das durch, das so ausgebildete Gittermuster modulierte, fotoelektrische Signal für die zeitliche Abstimmung des Fleckes ■ des Lichtstrahlenbündels verwandt wird, welches die Abtastebene 3 abtastet, kann eine Unregelmäßigkeit der Abtastgeschwindigkeit korrigiert werden.

Die Erfindung wurde unter Bezugnahme auf den Fall beschrieben, in dem eine f.©-Linse als Abtast linse 2 verwandt wurde. Wenn jedoch eine Linse als Abtastlinse .verwandt wird, bei der die Lage x¹ des Fleckes eines Lichtstrahlenbündels auf der Abtastebene 3 durch die folgende Gleichung (4·) angegeben wird, kann die Lage t¹ des Fleckes eines Lichtstrahlenbündels auf dem Gittermuster 5 durch die folgende Gleichung (5) ausgedrückt werden:

x¹ = f'tan Θ (4) t' = R-e = R-tan"¹ (f^-). (5)

Venn demgemäß die Periode der durchscheinenden und undurchlässigen Bereiche des Gittermusters so abgeändert wird, daß sie dem Wert t' proportional ist, was durch Erhöhung des Wertes x¹ in Gleichung (5) um einen vorbestimmten Wert erhalten werden kann, dann können die Unregelmäßigkeiten der Abtastgeschwindigkeit des Lichtfleckes auf der Abtastebene 3 korrigiert werden.

Die technische Grundidee nach der Erfindung kann wirkungsvoll dann eingesetzt werden, wenn Linsen unterschiedlicher Eigenschaften als die vorhergehend beschriebenen f'0-Linse und die f«tan θ-Linsen als Abtastlinsen 2 verwandt werden.

Aus der vorhergehenden Beschreibung ergibt sich ohne weiteres, daß durch die Erfindung eine Abtastvorrichtung hoher Betriebsgüte mit

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einem Lichtstrahlenbündel geschaffen wird, bei der Unregelmäßigkeiten der Abtastgeschwindigkeit des Lichtfleckes in der Abtastebene korrigiert xirerden können bzw. sind. Ferner wird erfindungsgemäß ein Laserlichtstrahlenbündel, welches durch das Gittermuster hindurchgegangen ist, auf dem optischen Detektor unter Verwendung einer Linse mit einem kleinen Durchmesser gesammelt, was die Nachteile bei der herkömmlichen Methode aufhebt, bei der eine Fresnel-Linse, welche die Betriebsgüte verringert, oder ein großes Glasfaserbündel verwandt wird, welches die· Herstellungskosten erhöht. Ferner ist es bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung nicht erforderlich, daß sich die Oberfläche des Gittermusters und die Abtast ebene in äquivalenten Lagen befindet. Es ist somit nicht notwendig, eine Linse zwischen dem optischen Detektor und dem Gittermuster vorzusehen. Deshalb weist die erfindungsgemäße Vorrichtung eine einfache Konstruktion und geringe Herstellungskosten auf.

Leerseite

Claims

Ho. 210, Nakanuma, Minami Ashigara-Shi,

Kanagawa, Japan

Abtastvorrichtung mit einem Licht strahl eribündel

Patentansprüche

Abtastvorrichtung mit einem Lichtstrahlenbündel und mit einer ein Lichtstrahlenbündel zur Verfügung stellenden Einrichtung, gekennzeichnet durch eine Lichtstrahlenbündelabtasteinrichtung (1) durch die ein erster Teil (8) von auf diese auftreffendem Licht zu einer Abtastebene (3) reflektierbar ist, durch ein Gittermuster (5)ιwelches abwechselnd angeordnete, durchscheinende und undurchlässige Bereiche aufweist, wobei ein zweiter Teil

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(9) des auf die Abtasteinrichtung (1) auffallenden Lichtes auf das Gittermuster (5) lenkbar ist, dessen durchscheinenden und undurchlässigen Bereiche in der Ablenkrichtung des zweiten Teils (9) des auf das Gittermuster fallenden Lichtes angeordnet sind, und durch eine Feststelleinrichtung (7), durch die ein Ausgarg ssignal in Abhängigkeit von dem durch das Gittermuster (5) hindurchgehenden Licht erzeugbar ist.

2. Abtastvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η .-zeichnet , daß das Gittermuster (5) längs einer Kreislinie gebogen ist, deren Mittelpunkt mit einem Ablenkung sp.unkt der Abtasteinrichtung (1) zusammenfällt.

3- Abtastvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Feststelleinrichtung (7) eine Kondensorlinse (6), durch die durch das Gittermuster

(5) hindurchgehendes Licht gesammelt wird, und einen optischen Detektor (7) aufweist, auf den das durch die Kondensorlinse

(6) hindurchgehende Licht fokussierbar ist.

M-. Abtastvorrichtung, gekennz eichnet durch einen schwingenden Spiegel (1), durch eine Einrichtung, um erste und zweite Lichtstrahlenbündel auf die Oberfläche des schwingenden Spiegels (Ί) zu lenken, durch eine Sammellinse (2), um Licht des von dem schwingenden Spiegel (i) reflektierten Lichtstrahlenbündels zu fokussieren, durch ein Gittermuster (5)» welches abwechselnd angeordnete, durchscheinende und undurchlässige Bereiche aufweist, wobei das Gittermuster (5) im Strahlengang des zweiten Lichtstrahlenbündels nach der Reflexion von dem schwingenden Spiegel (1) angeordnet ist und die abwechselnd durchscheinenden und un-

durchlässigen Bereiche in Richtung der Ablenkung des zweiten Lichtstrahlenbündels (9) angeordnet sind, und. durch eine Feststelleinrichtung (7), Vielehe durch das Gittermuster (5) hindurchgehendes Licht empfängt, um ein Ausgangssignal in Abhängigkeit von dem durch das Gittermuster (5) hindurchgehenden Licht zu erzeugen.

5. Abtastvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß das .Gittermuster (5) längs einer Kreislinie gebogen ist, deren Mittelpunkt mit einem Ablenkung spunkt des zweiten Lichtstrahlenbündels auf dem schwingenden Spiegel (1) übereinstimmt.

6. Abtastvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß die Peststeileinrichtung eine Kondensorlinse (6), welche durch das Gittermuster (5) hindurchgehendes Licht empfängt, und einen optischen Detektor (7) aufweist, auf den das durch die Kondensorlinse (6) hindurchgehende Licht fokussierbar ist.

7- Abtastvorrichtung nach Anspruch 4-, dadurch gekennzeichnet , daß das erste, auf den schwingenden Spiegel (1) auffallende Lichtstrahlenbündel auf eine erste Seite von diesem und daß das zweite auf den schwingenden Spiegel (1) auffallende Lichtstrahlenbündel auf eine zvieite Seite von diesem, welche der ersten Seite gegenüberliegt, auftrifft.

8. Abtastvorrichtung, gekennzeichnet durch einen Drehspiegel (1) mit mehreren Oberflächen, durch eine Einrichtung, um ein erstes und ein zweites Lichtstrahlenbündel (8,9) auf die Oberfläche (11) des Drehspiegels (1)

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zu lenken, durch eine Sammellinse (2), um von dem mehrflächigen Drehspiegel (1) von dem Lichtstrahlenbündel reflektiertes Licht -zu fokussieren, durch ein G-ittermuster (5) mit abwechselnd angeordneten durchscheinenden und undurchlässigen Bereichen, wobei das G-ittermuster (5) im Strahlengang des zweiten Lichtstrahlenbündels (9) nach der Reflexion von dem mehrflächigen Drehspiegel (1) angeordnsb ist und die abwechselnd durchscheinenden und undurchlässigen Bereiche in Richtung der Ablenkung des zweiten Lichtstrahlenbündels (9) angeordnet sind, und durch eine Feststelleinrichtung (7)? welche durch das G-ittermuster (5) hindurchgehendes Licht empfängt, um ein Ausgangssignal in Abhängigkeit von dem durch das Gittermuster (5) hindurchgehenden Licht zu erzeugen.

9. Abtastvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daß das Gittermuster längs eines Kreises gebogen ist, dessen Mittelpunkt mit einem Ablenkpunkt des zweiten Lichtstrahlenbündels (9) auf den mehrflächigen Drehspiegel (1) zusammenfällt.

10. Abtastvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daß die Feststelleinrichtung eine Kondensorlinse (6), um durch das Gittermuster (5) hindurchgehende Licht zu empfangen, und einen optischen Detektor

(7) aufweist, auf dem das durch die Kondensorlinse (6) hindurchgehende Licht fokussierbar ist.