DE3044780A1 - Fotoelektrische einrichtung - Google Patents

Fotoelektrische einrichtung

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Description

HITACHI, LTD., Tokyo,
Japan
Fotoelektrische Einrichtung
Die Erfindung bezieht sich auf eine fotoelektrische Einrichtung, bei der eine Mehrzahl fotoelektrische Elemente, insbesondere Sperrschicht-Fotoelemente, auf einem Substrat angeordnet ist.
Eine solche Einrichtung, z, B. ein opto-elektronischer Koppler, mit einem Lichtabgabeteil und einem fotoelektrischen Teil, die über einen Lichtleiterteil verbunden sind, ist für die Signalübertragung unter Isolierbedingungen einsetzbar und dient dem Zweck, Energie durch Elektrizitäts-Licht-Elektrizitäts-Umwandlung zu übertragen.
Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform eines solchen optoelektronischen Kopplers. Dieser umfaßt eine Lichtquelle bzw. einen Lichtabgabeteil 1 mit mehreren auf einem Substrat angeordneten Leuchtdioden 8 sowie einen fotoelektrischen Teil 2 mit einer Mehrzahl Sperrschicht-Fotoelementen 9, z. B. Solarbatteriezellen, die auf einem Substrat angeordnet sind. Der Lichtabgabeteil 1 und der fotoelektrische Teil 2 sind optisch durch einen Lichtleiterteil 3
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gekoppelt, der aus Glas, Keramik oder einem ähnlichen Isolator besteht, der für die Erzielung einer erwünschten Isolierung sowie einer angestrebten optischen Kopplung geeignet ist. In diesem Lichtleiterteil 3 kann ein speziell ausgebildeter gesonderter Leitweg 3' aus optischem Glas oder einem ähnlichen lichtdurchlässigen Werkstoff angeordnet sein, um den Übertragungswirkungsgrad für Licht, das vom Lichtabgabeteil 1 zum fotoelektrischen Teil 2 gerichtet wird, zu verbessern, Elektrodenzuleitungen 4, 4·' und 5, 5' sind mit dem Lichtabgabeteil 1 bzw. dem fotoelektrischen Teil 2 verbunden, und ferner sind Halterungen 6 und 7 vorgesehen.
Ein opto-elektronischer Koppler gemäß Fig. 1 kann für die Energiezufuhr zu einer isolierten elektronischen Einrichtung verwendet werden, und in seinem Lichtabgabeteil 1 sind viele Leuchtdioden integriert. Eine typische für die Lichtabgabezwecke eingesetzte Leuchtdiode erzeugt eine optische Ausgangsleistung von 50 mW mit einer Wellenlänge von 800 nm. Daher müssen für die Erzeugung einer erwünschten optischen Ausgangsleistung von z. B. 2 W 40 derartige Dioden integriert werden.
Bei Verwendung eines Lichtleiters entsprechend Fig. 1 werden ca. 40 % der optischen Ausgangsleistung von 2 W vom Lichtabgabeteil 1 zum fotoelektrischen Teil 2 übertragen. Es ist jedoch allgemein bekannt, daß die Verbesserung des Lichtübertragungswirkungsgrads in einer ungleichmäßigen Verteilung der Bestrahlungsstärke am fotoelektrischen Teil 2 resultiert.
Andererseits wird, wenn die elektronische Einrichtung für die Verarbeitung digitaler Signale bestimmt ist, eine Spannung von z. B. 5 V benötigt, um der elektronischen Einrichtung die erforderliche Betriebsspannung zuzuführen,
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Aufgrund der speziellen Eigenschaften von Solarbatteriezellen kann eine einzige Solarbatteriezelle, die z. B1 aus Silicium besteht, nur eine Ausgangsspannung von bis zu ca. 0,5 V erzeugen, und selbst eine einzelne Solarbatteriezelle aus Galliumarsenid kann nur eine Ausgangsspannung von ca. 0,7 V erzeugen. Es ist daher erforderlich, viele Solarbatteriezellen in Reihe zu schalten, um die erwünschte Ausgangsspannung von 5 V zu erzielen.
Man sollte annehmen, daß viereckige Solarbatteriezellen bzw. -elemente entsprechend Fig. 2 am einfachsten großtechnisch herstellbar sind. Nach Fig. 2 ist eine Mehrzahl viereckige Solarbatteriezellen 21 in einer kreisrunden Lichtempfangsfläche 23 angeordnet. Bei einer solchen Anordnung ergeben sich jedoch verschiedene Nachteile, die nachstehend erläutert werden. Da die Solarbatteriezellen 21 unter starker Bestrahlung oder Sonnenstrahlung eingesetzt werden, ist im allgemeinen auf der Vorderfläche jeder Zelle 21 eine Gitterelektorde (nicht gezeigt) gebildet, um den Oberflächenwiderstand zu verringern. Eine solche Vorderelektrode jeder Zelle ist mit einer Rückelektrode der nächstbenachbarten Zelle elektrisch verbunden, so daß sämtliche Solarbatteriezellen elektrisch reihengeschaltet sind. Ferner muß zwischen den benachbarten Solarbatteriezellen 21 ein geeignet bemessener Zwischenraum 22 vorgesehen sein, so daß zwischen den einzelnen Zellen 21 keine Kurzschlüsse auftreten können. Infolgedessen wird die Packungsdichte der Solarbatteriezellen 21 so stark verringert, daß das Licht nicht vollwirksam für die Signalübertragung nutzbar ist. Außerdem resultiert die Ungleichmäßigkeit der Lichtstärke oder der Bestrahlungsstärke-Verteilung an der kreisrunden Lichtempfangsfläche 23 in einer Fehinapassung der elektrischen Ausgänge der einzelnen Zellen 21, was wiederum eine verminderte Gesamtausgangsleistung des fotoelektrischen Teils zur Folge hat.
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Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer neuen und verbesserten Fotoelektrischen Einrichtung, bei der sämtliche vorgenannten Nachteile vermieden werden und bei der die fotoelektrischen Elemente, insbesondere Sperrschicht-Fotoelemente, einfach und wirksam reihenschaltbar sind, wobei gleichzeitig die erforderliche hohe Packungsdichte erzielbar ist; dabei sollen die fotoelektrischen Elemente, insbesondere Sperrschicht-Fotoelemente, im wesentlichen gleichförmige elektrische Ausgangswerte erzeugen können, auch wenn die Bestrahlungsstärke-Verteilung am Lichtabgabeteil ungleichmäßig ist.
Durch die Erfindung wird eine fotoelektrische Einrichtung oder eine Sperrschicht-Fotoelementeinrichtung angegeben, die eine Mehrzahl dreieckige Solarbatteriezellen umfaßt, die strahlenförmig auf einem Isoliersubstrat angeordnet sind, wobei auf dem Substrat eine Mehrzahl Metallisierungsmuster gebildet ist. Jedes Metallisierungsmuster ist elektrisch mit einer Rückelektrode der zugeordneten Solarbatteriezelle verbunden und umfaßt einen Zuleitungsteil, der so verläuft, daß er nahe der nächstbenachbarten Solarbatteriezelle endet, und ein Zuleitungsdraht verbindet den Zuleitungsteil des Metallisierungsmusters mit einer Vorderelektrode der nächstbenachbarten Solarbatteriezelle. Somit sind die mehreren Solarbatteriezellen von Dreiecksform miteinander auf dem Substrat reihengeschaltet.
130042/05SJ
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht, die den Aufbau eines opto-elektronischen Kopplers zeigt;
Fig. 2 eine schematische Draufsicht auf die Anordnung von fotoelektronischen Bauelementen in einer fotoelektronischen Einrichtung, die als großtechnisch am leichtesten herstellbar betrachtet werden kann;
Fig. 3 eine schematische Ansicht der Anordnung fotoelektronischer Bauelemente in einer fotoelektronischen Einrichtung nach der Erfindung;
Fig. 4 eine schematische Ansicht eines Ausführungsbeispiels der fotoelektronischen Einrichtung nach der Erfindung;
Fig. 5 eine Schnittansicht eines Teils der Einrichtung nach Fig. 4-;
Fig. 6 ein Beispiel für die Dimensionierung
eines der fotoelektronischen Bauelemente, die bevorzugt in der Einrichtung nach Fig. k verwendet werden;
Fig. 7 eine größere Teilansicht einer Einzelheit des Aufbaus nach Fig. 5;
Fig. 8 eine schematische Ansicht eines weiteren
Ausführungsbeispiels der fotoelektronischen Einrichtung nach der Erfindung;
Fig. 9 eine schematische Ansicht der Abdeckung der Einrichtung nach Fig. 8; und
Fig. 10 eine Schnittansicht, die den Aufbau der Baugruppe und der Abdeckung in der Einrichtung nach Fig. 8 zeigt.
1 30042/066«
30U780
Bei dem Ausführungsbeispiel der fotoelektrischen Einrichtung und/oder der Sperrschicht-Fotoelementeinrichtung entsprechend Fig. 3 sind dreieckige fotoelektrische Elemente und/oder Sperrschicht-Fotoelemente 31 strahlenförmig bzw. radial verlaufend in einer Lichtempfangsfläche 33 (vgl. die Strichpunktlinie) angeordnet.
Durch diese Anordnung der dreieckigen fotoelektrischen Elemente 31 kann der zwischen den benachbarten Elementen 31 zu bildende Zwischenraum auf das Minimum reduziert werden, das für die Vermeidung von Kurzschlüssen infolge eines elektrischen Kontakts zwischen den Elementen 31 unbedingt notwendig ist, so daß vom Lichtabgabeteil durch einen Lichtleiterteil auf den fotoelektrischen und/oder den Sperrschicht-Fotoelement-Teil gerichtetes Licht vollwirksam für die fotoelektrische Umwandlung oder die Umwandlung durch Sperrschicht-Fotoelemente nutzbar ist. Die Ungleichmäßigkeit der Bestrahlungsstärke-Verteilung am fotoelektrischen Teil kann zwar in Radialrichtung verstärkt werden, wenn der optische Übertragungswirkungsgrad des Leiterteils verbessert wird, aber eine gleichmäßige Bestrahlungsstärke-Verteilung kann relativ leicht in Umfangsrichtung erzielt werden, wodurch die an die einzelnen fotoelektrischen Elemente angelegte optische Eingangsgröße gemittelt wird. Somit sind die elektrischen Ausgänge der reihengeschalteten einzelnen fotoelektrischen Elemente 31 gut anpaßbar, so daß die Gesamtausgangsleistung des fotoelektrischen Teils verbessert wird.
1 30042/OSSS
Unter Bezugnahme auf die Fig. 4--1O werden nachstehend bevorzugte Ausführungsbeispiele der Einrichtung nach der Erfindung erläutert.
Nach Fig. 4 ist eine Mehrzahl, z. B. zwölf, fotoelektronische Elemente (und/oder Sperrschicht-Fotoelemente) 4-1 wie Solarbatteriezellen von Dreiecksform radial in einer Lichtempfangsfläche angeordnet. Die Solarbatteriezellen 41 sind in dieser strahlenförmigen Anordnung auf einem Substrat 42 aus einem elektrischen Isolierstoff wie Keramik, Epoxidglas od. dgl. vorgesehen. Die Solarbatteriezellen 41 sind z. B. mechanisch von einem Wafer bzw. Scheibchen abgeschnitten. Statt durch mechanisches Schneiden können die mehreren Solarbatteriezellen 41 auch getrennt voneinander auf einem einzigen Wafer durch die Lebensdauer vermindernde Isolation, z. B. durch Bestrahlen mit einem Elektronenstrahl, vorgesehen werden. Auch können die Elemente 41 nach dem Anschließen der erforderlichen Zuleitungen an einen einzigen Wafer einzeln voneinander getrennt mittels eines Laserstrahls od. dgl. vorgesehen werden. Das Substrat 42 weist eine Mehrzahl Metallisierungsmuster 43 auf, deren jedes elektrisch an die Rückelektrode der zugehörigen Solarbatteriezelle 41 angeschlossen ist und einen Zuleitungsabschnitt 43' hat, der so verläuft, daß er nahe der nächstbenachbarten Solarbatteriezelle 41 endet. Die Rückelektrode kann die gesamte Rückfläche jeder Solarbatteriezelle 41 bedecken, und in Fig. 4 sind durch Strichlinien nur zwei der Metallisierungsmuster 43 gezeigt, die unter den zugeordneten Solarbatteriezellen 41 liegen. Die Zuleitungsabschnitte 43' der Metallisierungsmuster 43 liegen nahe den radial äußeren Seiten der strahlenförmig auf dem Substrat 42 angeordneten Solarbatteriezellen 41.
-n-
In einer Ausführungsform sind die Metallisierungsmuster A-3 durch Kupferfolien gebildet, die auf das Substrat 4-2 aufgebracht sind, wenn der Substratwerkstoff Epoxidglas ist. Bei einer anderen Ausführungsform sind die Metallisierungsmuster A-3 durch eine Molybdänmetallisierungsschicht gebildet, die mit einem Metall, z. B. Gold oder Vergoldung, plattiert ist. Zweckmäßigerweise werden diese Metalle verlötet.
Auf der Vorderseite jeder Solarbatteriezelle A-I ist eine Gitterelektrode A-A- vorgesehen. (In manchen Fällen kann auf der oberflächendiffundierten Schicht jeder Solarbatteriezelle 4-1 einfach ein Anschlußstreifen vorgesehen sein.) Die Gitterelektrode A-A- auf jeder Solarbatteriezelle A-X ist zweckmäßigerweise elektrisch mit dem Metallisierungsmuster 4-3 auf der Unterseite der nächstbenachbarten Zelle 41 z. B. durch eine Zuleitung A-5 verbunden, so daß aneinandergrenzende Zellen A-I miteinander reihengeschaltet werden können. Ferner sind diese Metallisierungsmuster A-3 mit einer Lage Weichlot mit den Rückelektroden der zugeordneten Solarbatteriezellen A-I verbunden. Die Rückelektroden und die Metallisierungsmuster A-3 können beide in zweckmäßiger Form, z. B. gitterförmig, siebförmig oder in Form verstreuter Punkte, aufgebracht sein.
Nach Fig. 5, die einen Teil der Einrichtung nach Fig. A-zeigt, umfaßt der gezeigte Aufbau eine Solarbatteriezelle 51, ein isolierendes Substrat 52, eine Schicht 53, die durch festes Verbinden einer Rückelektrode der Zelle 51 mit einem Metallisierungsmuster, das auf das Substrat 52 aufgebracht ist, gebildet ist, eine Gitterelektrode 5A- auf der Vorderfläche der Zelle 51 und eine
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Zuleitung 55, die die Gitterelektrode 5*t· der Zelle 51 elektrisch mit einem Zuleitungsabschnitt 53' verbindet, der von dem mit der Rückelektrode der nächstbenachbarten Zelle 51 fest verbundenen Metallisierungsmuster ausgeht.
Fig. 6 zeigt ein Dimensionierungsbeispiel für jede dreieckige Solarbatteriezelle in der Einrichtung nach Fig. 4. Das Element von Fig. 6 hat eine Dicke von ca. A-OO um.
Fig. 7 zeigt im einzelnen einen Teil des Aufbaus einer Ausführungsform der Solarbatteriezelle, die in der Einrichtung bevorzugt verwendet wird. Dabei umfaßt die Solarbatteriezelle ein p-leitendes Siliciumsubstrat 71 mit einem spezifischen Widerstand von im wesentlichen 0,5-10 ilcm. Eine η-leitende Diffusionsschicht 70 ist im Oberflächenbereich des p-leitenden Substrats 71 durch Diffusion einer der Gruppe V des Periodensystems angehörenden Verunreinigung wie Phosphor gebildet, so daß ein p-n-Übergang gebildet ist. Auf der Oberfläche der η-leitenden Diffusionsschicht 70 ist eine Gitterelektrode 73 durch Vakuumverdampfen eines Metalls wie Ti, Ni oder Ag und anschließendes Aufbringen einer Weichlotschicht aufgebracht. Bei dem dargestellten Aufbau ist das Material der Gitterelektrode 73 eine Ti-Ag-Zusammensetzung. Auf der p-leitenden Siliciumschicht 71 ist eine Metallschicht, z. B. eine Al-Legierungsschicht, Tk gebildet und von einer Rückelektrode 75 bedeckt, die mit einem Verfahren ähnlich demjenigen für die Herstellung der Gitterelektrode 73 aufgebracht ist. Das Material der Rückelektrode 75 ist eine Ti-Ag-Ni-Zusammensetzung und bedeckt die gesamte Rückfläche. Ein Substrat 76 aus Keramik oder einem ähnlichen Isolierstoff
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ist auf seiner einen Oberfläche mit einer Metallisierungsschicht 77 aus Metall, z. B. Kupfer, versehen, und diese Metallisierungsschicht 77 ist mit der Rückelektrode 75 durch eine Weichlotschicht 78 fest verbunden. Die Vorderfläche der Solarbatteriezelle ist von einem reflexionsmindernden Film 79 aus SiO2 oder einem ähnlichen Material bedeckt, dessen Reflexionsindex und Dicke so optimiert sind, daß eine Reflexion von einfallendem Licht verhindert wird.
Der Werkstoff für die Rückelektrode 75 sowie für die Gitterelektrode 73 ist nicht auf die vorstehend angegebenen Werkstoffe beschränkt und kann irgendeine andere Metallzusammensetzung einschließlich Ti-Ni-Ag und Cr-Ni-Ag sein. Außerdem kann auch die Rückelektrode 75 gitterförmig, siebförmig oder in Form verstreuter Punkte vorgesehen sein.
Nachstehend werden die vorteilhaften Auswirkungen des Ausführungsbeispiels erläutert. Der fotoelektrische Teil der Einrichtung nach der Erfindung wurde dadurch gebildet, daß zwölf fotoelektrische Elemente in Reihe miteinander verbunden wurden, wobei jedes dieser Elemente die Form eines gleichschenkligen Dreiecks mit einem Zentriwinkel von 30 und einer Fläche von 1,07 cm hat. Das Verhältnis des aktiven Bereichs der Elemente zum Gesamtbereich des fotoelektrischen Teils ist 0,74, wogegen dieses Verhältnis bei der Einrichtung nach Fig. 2 ca. 0,5 ist.
Der Lichtquellenteil wurde dadurch gebildet, daß kZ IR-Leuchtdioden, deren jede eine optische Nennausgangsleistung von 50 mW erzeugt, integriert wurden. Diese Dioden wurden reihengeschaltet, und eine Spannung
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von 60 V wurde an die Eingangsanschlüsse angelegt, so daß ein Nenneingangsstrom von 0,2 A zugeführt wurde. Der Lichtleiterteil hatte eine axiale Länge von 50 mm. Die von diesem fotoelektrischen·Teil aufgrund der fotoelektrischen Umwandlung von vom Lichtquellenteil abgegebenem Licht, das durch den Lichtleiterteil übertragen wurde, erhaltene elektrische Ausgangsleistung war 157 mW = 5,6 V · 28 mA.
Bei dem Ausführungsbeispiel der fotoelektrischen Einrichtung und/oder der Sperrschicht-Fotoelementeinrichtung nach Fig. 8 kann das bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. k erforderliche Verbindungsverfahren entfallen.
In Fig. 8 sind mehrere, z. B. vier, im wesentlichen dreieckige Solarbatteriezellen 81 radial angeordnet und in einem Gehäuse 82 voneinander isoliert festgelegt. Das Gehäuse 82, das aus einem keramischen oder ähnlichen warmfesten Isolierstoff besteht, weist Anschlußstreifen 83 zur elektrischen Verbindung mit der Rückfläche der Zellen 81 und metallisierte Schichtabschnitte 85 zum elektrischen Verbinden der einzelnen Anschlußstreifen 83 mit zugehörigen Anschlußstiften 8A-, die von der Außenumfangsflache des Gehäuses 82 vorspringen, auf. Vor dem Einsetzen der Solarbatteriezellen 81 in das Gehäuse 82 wird auf die Anschlußstreifen 83 und die Anschlußstifte 84· Weichlot aufgebracht.
Eine Abdeckung 90 entsprechend Fig. 9 wird in Verbindung mit dem Gehäuse 82 verwendet. Auf der Abdeckung 90 sind Anschlußstifte 94- und 96 gegenüber den Anschlußstiften 84- des Gehäuses 82 bzw. den stiftförmigen Elektroden der Solarbatteriezellen 81 vorgesehen, und Metallisierungsschichtabschnitte 95 stellen elektrische Verbindungen zwischen den Anschlußstiften 94 und 96 der jeweiligen Paare her. Auch auf diese Anschlußstifte 94 und 96 ist Weichlot aufgebracht.
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Nach Fig. 10 ist die Abdeckung 90 von Fig. 9 auf das die Zellen enthaltende Gehäuse 82 von Fig. 8 in einer solchen Lagebeziehung aufgesetzt, daß die zusammengehörigen Elektroden oder Stifte, die mit den Lotwarzen versehen sind, einander gegenüberliegen, woraufhin eine Wärmebeaufschlagung erfolgt, bis der Schmelzpunkt des Lots erreicht ist, so daß eine Verbindung durch Fließlöten erfolgt.
Mit dieser Methode kann die für das Zusammenschalten der Mehrzahl Solarbatteriezellen und für das Unterbringen der Zellen in dem Gehäuse erforderliche Zeit eingespart werden. Somit ist das zweite Ausführungsbeispiel in bezug auf die großtechnische Fertigung gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel vorteilhafter, da bei letzterem die genannten Verbindungs- und Unterbringungsschritte durchzuführen sind.
Die Abdeckung 90 des fotoelektrischen Teils des zweiten Ausführungsbeispiels der Einrichtung ist zwar mit einer Öffnung 91 dargestellt, durch die Licht zu den fotoelektrischen Elementen gelangt. Diese Öffnung 91 kann aber mit einem lichtdurchlässigen Glas oder einem anderen lichtdurchlässigen Werkstoff abgedeckt sein. Wenn der Umfangsbereich der Einrichtung luftdicht verschlossen sein soll, können auf den Umfangsflachen des Gehäuses und der Abdeckung isolierte Metallisierungsschichten vorgesehen sein, so daß die Umfangsflache der Einrichtung luftdicht verschließbar ist, wenn die Abdeckung auf das Gehäuse aufgesetzt und mit letzterem durch Fließlöten fest verbunden wird.
30A478Q
Das zweite Ausführungsbeispiel ist zwar beispielsweise mit vier fotoelektrischen Elementen und/oder Sperrschicht-Fotoelementen dargestellt, die Erfindung ist aber gleichwirksam mit einer fotoelektrischen Einrichtung anwendbar, die mehr fotoelektrische Elemente und/oder Sperrschicht-Fotoelemente umfafit, und mit zunehmender Anzahl dieser Elemente werden die Vorteile der Erfindung noch deutlicher.
130042/056*

Claims (8)

  1. Ansprüche
    - mehreren fotoelektrischen Elementen, die in Reihe liegend in einer Lichtempfangsfläche eines isolierenden Substrats angeordnet sind zur Erzeugung eines fotoelektrischen Umwand lungs-Ausgangswerts,
    dadurch gekennzeichnet,
    - daß die fotoelektrischen Elemente (41; 81) in der Lichtempfangsfläche strahlenförmig angeordnet sind.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    - daß jedes fotoelektrische Element (41; 81) von
    der Mitte der Lichtempfangsfläche zu deren Außenrand verläuft.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
    - daß jedes fotoelektrische Element (41 j 81) einen
    Zentriwinkel von 360°/n (mit η = Anzahl der fotoelektrischen Elemente) hat,
    - wobei die beiden jeden Zentriwinkel definierenden Seiten vom Mittenteil der Lichtempfangsfläche radial verlaufen,
    und
    81-(A 5161-O2)-Schö
    130042/056Ϊ
    ORIGINAL INSPECTED
    - daß die fotoelektrischen Elemente (41; 81) am Umfang der Lichtempfangsfläche reihengeschaltet sind .
  4. 4. Einrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
    - daß das Substrat (42) eine Mehrzahl Metallisierungsmuster (43) an den mehreren fotoelektrischen Elementen (41) entsprechenden Stellen aufweist,
    - wobei die Metallisierungsmuster (43) außerhalb der Anordnung der fotoelektrischen Elemente (41) liegende Zuleitungsabschnitte (431) aufweisen,
    - daß jedes fotoelektrische Element (41) an seiner Rückelektrode mit einem der Metallisierungsmuster (43) und an seiner Vorderelektrode (44) mit dem Zuleitungsabschnitt (431) des nächstbenachbarten Metallisierungsmusters (43) verbunden ist.
  5. 5. Einrichtung nach Anspruch 4,
    dadurch gekennzeichnet,
    - daß der Zuleitungsabschnitt (431) des Metallisierungsmusters (43) an die Vorderelektrode (44) des fotoelektrischen Elements (41) durch festes Verbinden eines Leitungsdrahts (45) zwischen beiden angeschlossen ist.
  6. 6. Einrichtung nach Anspruch 4,
    gekennzeichnet durch
    - eine Abdeckung (90) mit einer Metallisierungsschicht (95), deren Zuleitungsabschnitt mit der Vorderelektrode (85) des fotoelektrischen Elements (81) über einen Teil der Metallisierungsschicht verbunden ist.
    1 30Ö42/OSS*
  7. 7. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
    - daß das Substrat (42; 82) aus Epoxidglas besteht und die i-ietdilisierungsmuster durch Kupfer gebildet sind,
  8. 8. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
    - daß das Substrat (42; 82) aus einem Keramikwerkstoff besteht und die Metallisierungsmuster durch vergoldetes Molybdän gebildet sind.
    130042/OB6I
DE19803044780 1979-11-30 1980-11-27 Fotoelektrische einrichtung Granted DE3044780A1 (de)

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JP (1) JPS5678180A (de)
DE (1) DE3044780A1 (de)

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