DE3039234C2

DE3039234C2 - Fokussierungs-Überwachungsvorrichtung in einem optischen Aufzeichnungsgerät

Info

Publication number: DE3039234C2
Application number: DE3039234A
Authority: DE
Inventors: Ichiro Isehara Kanagawa Ueno
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1979-10-18
Filing date: 1980-10-17
Publication date: 1983-12-22
Also published as: GB2064846B; DE3039234A1; US4521876A; JPS5658139A; GB2064846A; JPS6021403B2

Description

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Die Erfindung betrifft eine Fokussierungs-Überwachungsvorrichtung in einem optischen Aufzeichnungsgerät mit einer Relativbewegung zwischen der eigentlichen Aufzeichnungseinrichtung und einem ebenen Aufzeichnungsmedium gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Fokussierungs-Überwachungsvorrichtung, die die Lage von zwei optischen Strahlenbrennflecken, die auf die Oberfläche eines Aufzeichnungsmediums fokussiert sind und noch fokussiert werden sollen, mit großer Genauigkeit überwachen kann.

Die Systeme, die bisher zur Aufzeichnung und Wiedergabe von Informationssignalen wie Videosignalen und/oder Audiosignalen auf und von scheibenförmigen, sich drehenden Medien (nachfolgend als Platten bezeichnet) bekannt sind, lassen sich grob einteilen in Systeme, bei denen die Wiedergabe optisch ausgeführt wird, solche Systeme, bei denen die Wiedergabe durch eine Wiedergabcnadel erfolgt, die ein piezoelektrisches Element aufweist, und solche Systeme, bei denen zur Wiedergabe Änderungen der elektrostatischen Kapazität zwischen einer Elektrode an der Wiedergabenadel und der Aufzeichnungsfläche auf der Platte herangezogen werden.

Das Sys'em der elektrostatischen Kapazität erweist sich dabei als besonders vorteilhaft. Die bei den bisher bekannten Systemen dieser Art vorhandenen Nachteile sind durch ein neues System des Anmelders der vorliegenden Erfindung abgestellt, wobei dieses »Aufzeichnungs- und Wiedergabesystem von Informationssignalen« in der US-Patentanmeldung Ser. Nr. 785095 vom 6. April 1977 beschrieben ist.

Bei den bekannten Systemen der elektrostatischen Kapazität wird die Aufzeichnung des Aufzeiehnungssystems so aufgeführt, daß eine spiralförmige Führungsrille in der Platte zur Führung der Wiedergabenadel und gleichzeitig Vertiefungen entsprechend einem Informationssignal, das aufgezeichnet werden soll, auf der Bodenfläche der Rille ausgebildet werden. Bei dem Wiedergabesystem veriest die Wiedergabenadel, die in der Führungsrille geführt wird, die Spur in der Rille und gibt dabei Signale entsprechend den Änderungen der elektrostatischen Kur *.rität wieder.

Da in der Platte eine die Wiedergabenadel führende Rille ausgebildet und die Wiedergabenadel zwangsweise in dieser Führungsrille geführt ist, ist es bei diesem bekannten System nicht möglich, daß die Wiedergabenadel solche Arbeitsschritte ausfuhrt, wie z.B. über die Rillenwand einer Spur hinwegzulaufen und sich in eine andere Spur hineinzubewegen, und nachfolgend in die ursprüngliche Spur zurückzukehren. Wenn die Wiedergabenadel dazu gezwungen würde, eine solche Operation auszuführen, würden die Rille und die Wiedergabenadel beschädigt. Aus diesem Grund war es bei den bisher bekannten Systemen dieser Art nicht möglich, spezielle Wiedergabearten wie Zeitrafferwiedergabe, Zeitlupenwiedergabe und Einzelbildwiedergabe auszuführen.

Da ferner der Berührungsbereich zwischen der Spitze der Wiedergabenadel und der Führungsrille der Platte klein ist, wird die Nadel schnell abgenutzt. Wenn infolge der Abschkifdbnutzung die Nadelspitze die Breite der Rille erreicht, ist die Nutzungsdauer- der Wiedergabenade! beendet. Demnach haben die be« ^nten Systeme dieser Art den Nachteil, daß die Nutzungsdauer der Wiedergabenadel sehr gering ist. Ein weiterer Nachteil liegt darin, daß feine Partikel, die von der Platte durch die Füb'ung der Wiedergabenadel in der Führungsrille abgerieben werden, die Abnutzung weiter fördern und die Nadel und die Führungsrille beschädigen, wodurch auch der Zwischenraum zwischen der Elektrode an der Nadelspitze und der Aufzeichnungsoberfiäche einschließlich der Vertiefungen in der Plattenführungsrille ansteigt, wodurch die Wiedergabe wegen des Abstandsverlustes verschlechtert wird.

Wenn die Drehgeschwindigkeit der Platte auf einen geringen Wert wie beispielsweise 450 U/min festgelegt wird, um die Nutzungsdauer der Nadelspitze zu verlängern, wird die Aufzeichnungswellenlänge des Informationssignals, das in der Führungsrille aufgezeichnet wird. kurz. Aus diesem Grund kann ein Aufzeichnungsgerät einer niedrigen Preisklasse, bei dem Laserlicht verwendet wird, nicht für dieses Aufzeichnungssystem verwendet werden, und die nachteilige Verwendung eines Aufzeichnungsgerätes der hohen Preisklasse, das einen Elektronenstrahl verwendet, wird unvermeidbar.

Die oben beschriebenen, verschiedenen Nachteile der bekannten Systeme abzustellen, hat der Anmelder in der weiter oben genannten Patentanmeldung ein neues System zur Aufzeichnung und Wiedergabe von Informationssignalen vorgeschlagen. Bei diesem Aufzeichnungssystem werden Vertiefungen entsprechend den Informationssignalen entlang einer Spiralspur auf einem Aufzeichnungsmedium einer flachen Scheibenform aufgezeichnet, ohne daß da/in eine Rille ausgebildet wird, und Lji dem Wiedergabesystem folgt die Wiedergabenadel dieser Spur, wobei sie die aufgezeichneten Informationssignale wiedergibt. Bei diesem vorgeschlagenen System werden Kontroll- oder Bezugssignale auf oder in der Nähe einer Spur der Informationssignale wie Videosignale auf der Drehplatte aufgezeichnet. Bei der Wiedergabe werden die Bezugssignale zusammen mit dem Videosignal wiedergegeben, und eine Spurhilfs» steuerung ist so gestaltet, daß die Wiedergabenadel auf das Genaueste der Spur folgt, entsprechend den wiedergegebenen Bezugssignaten.

Da bei diesem nei'en System die Aufzeichnungsspur keine Rille aufweist, besteht überhaupt keine Möglichkeit, daß die Wiedergabenadel oder das Aufzeichnungsmedium beschädigt wird, und die Wiedergabcnadel kann demselben Abschni" der Spur in beliebig häufigen Wiederholungen folgen, wodurch eine .spezielle Wieder-

■ gäbe wie Einzelbild-, Zeitlupen- und Zeitrafferwiedergabe ermöglich ist. Damit sind auch andere Probleme der bekannten Systeme dieser Art gelöst.

Bei dem oben beschriebenen System ist es jedoch erforderlich, das Hauptinformationssignal auf der Hauptspur und das Bezugssignal zur Spurhilfssteuerung auf der Nebenspur des Aufzeichnungsmediums aufzuzeichnen.

Aus diesem Grunde ist es erforderlich, die Aufzeichnung so durchzuführen, daß kein Raum (Schutzfrequenzband) zwischen den Spuren bleibt, um die Aufzeichnungskapazität auf der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums zu erhöhen. Aus diesem Grund werden benachbarte Hauptspuren in enger Anlage aneinander ausgeführt, und die Nebenspuren werden in der Mittellage zwischen den Mittellinien der Hauptspuren ausgebildet und überlappen die Randbereiche der anliegenden Hauptspuren.

A.us diesem Orurw} liegen rlie Hrennflecken. die durch Fokussierung des optischen Hauptstrahls zur Bildung der Hauptspur (für das Hauptinformationssignal) und des optischen Nebenstrahls zur Bildung der Nebenspur (für das Bezugssignal) auf der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums ausgebildet werden, äußerst nahe beieinander. Wenn der Spurabstand der Hauplspur beispielsweise 1.4 μιτι beträgt, dann ist der Abstand zwischen den Mittellinien des Hauptspurabstandes und der Nebenspur 0.1 μηι.

Um bei der Wiedergabe von dem Aufzeichnungsmedium die Entstehung von Schwingungsinterferenzen aufgrund einer Kreuzkopplung oder eine Kopiereffektes zwischen den benachbarten Spuren zu verhindern, muß die Enifernungsabweichung zwischen den beiden obigen optischen Strahlenbrennflecken kleiner als 0.1 μιτι sein.

Demnach ist es vor Beginn der Aufzeichnung auf das Aufzeichnungsmedium erforderlich, eine Einstellung oder Justierung in der Art vorzunehmen, daß die obigen beiden optischen Strahlen vorschriftsmäßig fokussiert und vorschriftsmäßige Strahlenbrennflecken ausgebildet werden, und darüber hinaus ist die Einstellung oder Justierung so vorzunehmen, daß die relative Lage der beiden optischen Strahlenbrennflecken korrekt und vorschriftsmäßig ist.

Die Austrittsrichtung des Laserstrahles, der von einer Laserabgabeeinrichtung abgegeben wird, die als Laserstrahlquelle verwendet wird, variiert mit den Temperaturschwankungen. Die Länge der jeweiligen Lichtwege jedes der beiden obigen Laserstrahlen, die Eigenschaften der optischen Systeme oder dergleichen sind nicht immer vollständig gleich, und somit variiert die Beziehung zwischen den jeweiligen Positionen der Brennflecken der obigen beiden Laserstrahlen mit der Temperatur. Deshalb ist es während der Aufzeichnung auf ein Aufzeichnungsmedium erforderlich, entsprechende Einstellungen vorzunehmen, so daß die Beziehung zwischen den relativen Positionen der beiden Laserstrahlenbrennflecken sich nicht verändern.

Um diese Einstellung oder Justierung genau durchführen zu können, ist es erforderlich, die Entfernung zwischen den beiden Strahlenbrennflecken, die Fokussierung jedes der Strahlenbrennflecken und dergleichen mehr klar und genau zu überwachen.

Wenn jedoch der zulässige Wen Tür einen Fehler im Abstand zwischen den Strahlenbrennflecken klein im Verhältnis zum Durchmesser der Strahlenbrennflecken ist. kann die Entfernung zwischen den Strahlenbrennflecken nicht dadurch genau überwacht oder gemessen werden, daß ein optisches Überwachungssystem angeordnet wird, das nur die von dem Strahlenbrennfleck auf der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums reflektierten Strahlen vergrößert und abbildet, da die Umrisse der Strahlenbrennflecken. die überwacht werden, verschwimmen, da das Abbildungsvermögen oder Auflösungsvermögen des optischen Überwachungssystems gering ist. Dies wird im folgenden anhand eines Rechenbeispiels verdeutlicht.

Wenn beispielsweise ein Laserstrahl verwendet wird mit einer Objektivlinse mit einer numerischen öffnung ίο von 0,9 und einer Wellenlänge von 4579 A. dann ist der Halbwert des Durchmessers des optischen Strahlenbrennfleckes. der durch die Objektivlinse fokussiert und gebildet wird, etwa 0.3 μην Wenn dabei der Abweichungsfehler der Entfernung zwischen den beiden Strahlenbrcnnflecken kleiner als 0.1 μιτι ist, wie weiter oben gesagt wurde, dann ist es selbst dann, wenn die Strahlenbrennflecken vergrößert sind und überwacht werden, sehr schwierig, die Beziehung zwischen der relativen Position der beiden Strahlenbrennflecken bei hohem Abbildungsvermögen zu messen und zu überwachen. Insbesondere wenn eine Schutzplatte direkt vor der Objektivlinse zur genauen Ausbildung der Strahlenbrennflecken in einer gewünschten Form angeordnet ist, oder wenn ein Drehspulmechanismus oder dergleichen zur Versetzung der Objeklivlinse verwendet wird, dann wird die wirksame numerische öffnung (wirksame numerisch öffnung in radialer Richtung des Aufzeichnungsmediums) auf etwa 0,45 bis 0,5 wegen dem oben gesagten festgesetzt, wodurch das Abbildungsvermögen absinkt. Im obigen Fall wird der Durchmesser des Strahlenbrennflecks größer als die obigen 0.3 μιη. und damit wird die Überwachung noch schwieriger.

Aus der DE-OS 28 54474 ist ein Gerät zum optischen Aufzeichnen von Signalen auf einem Aufzeichnungs-J5 träger der oben beschriebenen Art bekannt, bei dem die Lage der Brennflecke wegen des geringen Abbildungsoder Auflösungsvermögens der Fokussieningsoptik nicht mit der erforderlichen Genauigkeit überwacht werden kann.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine neue und wirkungsvolle Fokussierungs-Überwachungsvorrichtung in einem optischen Aufzeichnungsgerät zu schaffen, die klare Umrisse der zu beobachtenden Brennflecke Hefen und eine exakte Überprüfung von Brennfleckform una Abstand der Brennfleckmittelpunkte ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen der Ansprüche 1 und 5 angegebenen Merkmale gelöst. Dabei überwacht die Überwachungsvorrichtung sowohl die Abbildungen, die durch die von den Strahlenbrennflecken reflektierten Strahlen gebild t werden, als auch die Abbildungen, die durch die reflektierten Strahlen entstehen, die durch Reflexion der Lichtstrahlen an einem optischen Bauteil im Lichtweg zu der Fokussierungseinrichtung erhalten werden. Mit Hilfe der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann die tatsächliche Fokussierungslage bzw. der Fokussierungszustand der Strahlenbrennflecken auf dem Aufzeichnungsmedium überwacht werden und zusätzlich kann die Entfernung zwischen den Strahlenbrennflecken mit hohem Abbildungsvermögen überwacht werden. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist, daß sowohl die Abbildungen, die durch die reflektierten Strahlen von den Strahlenbrennflecken gebildet werden, als auch die Abbildungen, die von den reflektierten Strahlen von dem optischen Bauteil in dem Lichtweg gebildet werden, in demselben Blickfeld überwacht werden. Die Überwachung ist bei Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung erheblich vereinfacht. Ferner ist die Über-

wachungsvorrichtung leicht einstellbar oder justierbar, um die obigen Abbildungen in demselben Bildfeld zu überwachen.

Weitere Merkmale, Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung "i.~iiger bevorzugter Ausführungsformen sowiü anhand der Zeichnung. Dabei zeigen:

Fig. 1 in einer systematischen Darstellung ein Beispiel eines optischen Aufzeichnungsgerät« mit der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines vergrößerten Ausschnittes des Aufzeichnungsmediums zur Verdeutlichung der Lage einer Lichtstrahlprojektion auf dem Aufzeichnungsmedium;

Fig. 3 eine systematische Darstellung einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung :

Fig. 4 eine optische Abbildung, die von der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung zu überwachen ist, und

Fig. 5 bis 7 systematische Darstellungen einer zweiten, dritten und vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung.

Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform eines optischen Aufzeichnungsgerätes, das mit einer erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung versehen ist. Ein Laserlichtstrahl wird von einer Laserlichtquelle U ausgesandt und von einem Spiegel 12 reflektiert, wodurch er auf einen L ^:chtmodulator 13 gerichtet wird. Durch eine Endeinrichtung bzw. ein Terminal 14 wird dem Lichtmodulator 13 ein Signal zugeführt, das der Lichtstrahlprojektionsposition auf einem Aufzeichnungsmedium 15 entspricht. Der Lichtmodulator steuert auch die Quantität des Lichtstrahles, das bedeutet, er führt einen sogenannten radialen Ausgleich aus. Nachdem der Lichtstrahl durch den Lichtmodulator 13 und einen Haibspiegel 41 hindurchgegangen isi, wird er ferner in einem Lichtmodulator 16 durch ein Informationssignal moduliert, das durch ein Terminal 17 zugeführt wird. Der modulierte Lichtstrahl wird von einem Spiegel 18 durch eine Linse 19 und zylindrische Linsen 20 und 21 reflektiert, wo er in einen Lichtstrahl von elliptischem Querschnitt geformt wird. Der von der zylindrischen Linse 21 kommende Lichtstrahl wird auf den Schlitz einer Schlitzplatte 22 gerichtet. Bei einem Durchgang durch diesen Schlitz wird ein Teil dieses Lichtstrahles in der Nähe der Längsseiten des Querschnittes abgeschirmt, wobei die schmale Abmessung, d.h. die Abmessung der kurzen Seite, begrenzt ist.

Nach dem Durchgang durch die Schlitzplatte 22 geht so der Lichtstrahl durch eine zylindrische Linse 23, einen Polarisator 24 und einen Halbspiegel 25, woraufhin er von einem Prisma 26 durch eine Objektivlinse 24 reflektiert wird, von wo der Lichtstrahl auf das Aufzeichnungsmedium 15 als ein Hauptstrahl 55 projiziert wird.

Andererseits wird der Lichtstrahl, der von dem Halbspiegel 41 reflektiert wird, einem Lichtmodulator 42 zugeführt und dort entsprechend einem Bezugssignal moduliert, das für das Abtasten bzw. für die Bahnverfolgung verwendet wird und durch ein Terminal 43 eo zugeführt wird. Ein sich so ergebender, zweiter modulierter Lichtstrahl 56 wird als Ausgang des Lichtmodulators 42 erzeugt und geht durch eine Linse 44, eine Schlitzplatte 45 und eine Linse 46, woraufhin er von einem Spiegel 47 reflektiert wird. Die Lichtfortpflanzungsrichtung wird durch den Polarisator 24 geändert, und der Strahl wird durch den Halbspiegel 25 durchgelassen, von dem Prisma 26 reflektiert und geh.t durch die Linse 27 hindurch, woraufhin er auf das Aufzeichnungsmedium 15 als zweiter Nebenstrahl 56 projiziert wird. Das Aufzeichnungsmedium 15 ist auf einem Drehteller 28 angeordnet und dreht sich gleichförmig mit diesem. Gleichzeitig wird das Aufzeichnungsmedium 15 zusammen mit dem Drehteller 28 in radialer Richtung bewegt. Eine Schicht aus einem Fotoresist ist an der Oberfläche des Aufnahmemediums 15 aufgebracht und wird durch den darauf projizierten Lichtstrahl optisch aktiviert. Durch das Entwickeln nach dieser optischen Aktivierung entstehen Vertiefungen entlang einer spiralförmigen Spur.

Fig. 2 zeigt Haupt- und Nebenlichtstrahlen 55 und 56, die durch die Objektivlinse 27 hindurchgehen und auf das Aufzeichnungsmedium 15 projiziert werden. Vertiefungen 57 zeichnen das Hauptinformationssignal entlang einer Spiralspur auf dem Aufzeichnungsmedium 15 entsprechend einem Brennfleck 57 ο des Hauptlichtstrahles 55 auf, während Vertiefungen 58 das Bezugssignal zwischen den Spurfolgen der Vertiefungen 57 entsprechend einem Brennfleck 58 eines Nebenlichtstrahles 56 aufzeichnen. Die Vertiefungen können nicht dadurch ausgebildet werden, daß lediglich Lichtstrahlen auf das Aufzeichnungsmedium 15 projiziert werden. Selbstverständlich ist danach ein Entwicklungsprozeß erforderlich, jedoch sind die Lichtstrahlen und die Vertiefungen gleichzeitig in Fig. 2 dargestellt, damit die Beschreibung einfacher ist.

Wenn bei diesem Aufzeichnungsvorgang sich der Brennfleck des Lichtstrahles 55 und der Brennfleck des Lichtstrahles 56 überlappen, steigt die Lichtmenge, die auf den Überlappungsbereich projiziert wird an. Aus diesem Grunde sind die Lichtbahnen der jeweiligen optischen Systeme des Lichtstrahles 55 und 56 so gelenkt, daß die beiden Brennflecken auf das Aufzeichnungsmedium in voneinander beanstandeten Bereichen projiziert werden, wie in Fig. 2 dargestellt ist, so daß sich diese nicht überlappen.

Um eine große Aufzeichnungsdichte auf dem Aufzeichnungsmedium zu erreichen, ist die Spur des Hauptinformationssignals, die durch die Vertiefungen 57 gebildet wird, so angelegt, daß die benachbarten Spurfolgen eng aneinander anliegen. Die Bezugssignalspur, die durch die Vertiefungen 58 gebildet wird, ist an der Seite der Mittellage angeordnet, im gleichen Abstand zwischen den Mittellinien von benachbarten Spurfolgen des Hauptinformationssignals. Die Bezugssignalspur überdeckt teilweise die Hauptinformationssignalspur. Wenn auf diese Weise eine hohe Aufzeichnungsdichte erreicht wird, hat die erlaubte Abweichung oder Fluktuation der gegenseitigen Position der Strahlenbrennflecke auf dem Aufzeichnungsmedium von den Lichtstrahlen 55 und 56 einen sehr kleinen Wert, und zwar in der Größenordnung von beispielsweise 0,1 μπι oder weniger.

Jedoch treten wegen der verschiedenen, veränderlichen Faktoren, die weiter oben beschrieben sind, Schwankungen der Lichtbahnen oder Lichtpfade auf, und diese Lichtbahnschwankungen treten in einer Zeiteinheit wie von beispielsweise 30 Minuten bis zu 1 Stunde auf, die für die Bespielung eines Aufzeichnungsmediums erforderlich ist, wobei es jedoch erforderlich ist, eine gleichmäßige Aufzeichnung mit gleichbleibenden Lichtbahnen in einem optimalen Zustand durchzuführen.

Infolgedessen ist das vorliegende Ausführungsbeispiel eüvss Aufzeichnungsgerätes mit einer Lichtpfadkontrollvorrjchtung versehen, die nachfolgend beschrieben wird.

Dje Lichtstrahlen 55 und 56 vom Polarisator 24

werden durch den Halbspiegel 25 hindurchgelassen. Gleichzeitig werden Teile dieser Lichtstrahlen von dem Halbspiegel 25 durch eine Linse 49 und einen Polarisator 50 reflektiert. Der Hauptlichtstrahl 55 geht durch diesen Polarisator bzw. durch dieses Polarisationsprisma 50 hindurch und wird auf einen Lichtdetektor 31 projiziert, und die Symmetrie der Lichtintensitätsverteilung dieses Lichtstrahles 55 wird dort erfaßt. Entsprechend der Differenz zwischen den Ausgangswerten der Lichtdetektoren 31a und 316, die zusammen den Lichtdetektor 31 bilden, erzeugt ein Differenzialverstärker 32 ein Ausgangssignal, das einem Antriebsmechanismus 51 zugeführt wird. Dieser Antriebsmechanismus 51 bewirkt beispielsweise, daß die Linse 20 so verschoben wird, daß die Mitte der Lichtintensitätsverteilung des Lichtstrahles, der in den Schlitz der Schlitzplatte 22 eintritt, mit der Mitte dieses Schlitzes zusammenfällt. Dies bedeutet, daß die Lichtintensitätsverteilung des Lichtstrahles 55, der durch den Schlitz der Schiit; platte 22 hindurchgegangen ist. symmetrisch wird.

Von den in den Polarisator 50 eintretenden Lichtstrahlen ändert der Nebenlichtstrahl 56 seine Lichtbahn und wird auf einen Lichtdetektor 52 projiziert. Dieser Lichtdetektor 52 besteht aus zwei Lichtdetektoren 52« und 526, die beispielsweise Fotodioden sind, ähnlich dem Lichtdetektor 31. Die Ausgänge dieser Lichtdetektoren 52« und 526 werden einem Differenzialverstärker 53 zugeführt, der seinerseits einem Antriebsmechanismus 54 ein Ausgangssignal zuführt, das der Differenz zwischen den Werten der Ausgänge der Lichtdetektoren 52« und 52b entspricht. Der Antriebsmechanismus 54 verursacht daraufhin die Verschiebung der Linse 44 in einer Weise, daß die Mitte der Intensitätsverteilung des Lichtstrahles, der in den Schlitz oder das Nadelloch der Schlitzplatte 45 eintritt, mit der Mitte dieses s$ Schlitzes oder Nadelloches zusammenfällt.

Die reflektierten Strahlen von den Sirahlcnbrcnnflecken 57« und 58« auf dem Aufzeichnungsmedium 15 durch die Objektivlinse 27 werden durch das Prisma 26 und den Halbspiegel 25 reflektiert und einer Überwachungsvorrichtung 60 als einfallendes Licht zugeführt. Andererseits wird ein Teil eines jeden Lichtstrahles durch die Polarisatorlinse 24 und von dem Halbspiegel 25 reflektiert, an der Vorderseite des Prisma 26 reflektiert und der Überwachungsvorrichtung 60 als einfallendes «5 Licht zugeführt, nachdem es von dem Halbspiegel 25 reflektiert ist. Damit werden die Strahlenbrennflecken überwacht, wie weiter unten beschrieben wird.

Es werden nun die Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung beschrieben. Fig. 3 zeigt eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung 60. Dabei erhalten in Fig. 3 diejenigen Teile, die mit entsprechenden Teilen in Fig. 1 übereinstimmen, die gleichen Bezugszeichen.

Der Lichtstrahl 55 (oder 56), der vom Polarisierungsprisma 24 kommt und durch den Halbspiegel 25 hindurchgegangen ist, wird an der reflektierenden Oberfläche 26« des Prismas 26 reflektiert und trifft auf die Objektivlinse 27. Von dem reflektierten Lichtstrahl 55 (oder 56) wird nur ein Lichtstrahlteil 61, der auf die Objektivlinse 27 auftrifTt, durch die Objektivlinse 27 fokussiert, ohne von der Drehspuleinheit oder Schwingspuleinheit 67 verdeckt zu werden, die zur Verschiebung der Objektivlinse 27 verwendet wird, und der hJ Brennfleck 57a (oder 58a) wird auf dem Aufzeichnungsmedium 15 ausgebildet. Obwohl der Nebenlichtstrahl 56 in 'A'irklichkeit auf einem gegenüber dem Hauptlichtstrahl 55 leicht versetzten Pfad verläuft, ist in Fig. 3 die Darstellung des Nebenlichtstrahles 56 weggelassen, und nur der Hauptlichtstrahl 55 ist dargestellt. In ähnlicher Weise ist die Darstellung des Nebenlichtstrahles vom Hauptlichtstrahl 61 weggelassen, der nachfolgend beschrieben wird.

Ein reflektierter Lichtstrahl 61 ο von den Brennflecken 57« (oder 58) geht durch die Objektivlinse 27 hindurch. Dieser reflektierte Strahl 61« wird durch die reflektierende Oberfläche 26« des Prismas 26 reflektiert und anschließend von dem Halbspiegel 25 reflektiert, bevor er auf eine Linse 62 trifft. Das durch die Linse 62 durchtretende Licht durchläuft eine Linse 63 und bildet sich an der Stelle einer Skalenplatte oder Teilplatte 64 ab. Diese Abbildung wird von einem menschlichen Auge 66 durch eine Okularlinse 65 überwacnt. In diesem Fall werden Brennfleckabbildung 71« und 72«, die durch die reflektierten Strahlen der Brennflecken 57« und 58« gebildet werden, in einsm Blickfeld 70 überwacht, wie in Fig. 4 dargestellt ist. Die Brennfleckabbildungen 71« und 72« sind durch die reflektierten Strahlen der Brennflecken 57« und 58« selbst gebildet, und damit ist die Fokussierungsanlage der Brennflecken 57a und 58« bekannt. Demnach ist durch Überwachung der Abbildungen 71« und 72a die Fokussierungseinstellung bzw.-justierungdesoptischen Systems einschließlich der Objektiviinse 27 erreicht.

Jedoch ist der Durchmesser des Strahles durch diese Objektiviinse 27 hindurch begrenzt, und die numerische öffnung (numerical aperture. N.A.) des optischen Systems einschließlich der Objektivlinse 27 ist klein. Da das Abbildungsvermögen gering ist und die Umrisse der Abbildungen 71« und 72« jeweils verschwimmen, ist es schwierig, den Abstand zwischen den Mittelpunkten der beiden Abbildungen zu messen. Dieses Problem ist durch die vorliegende Erfindung auf die nachfolgend

Ein Teil des durch den Halbspiegel 25 durchgehenden Lichtstrahles 55 (oder 56) wird an der vorderen Fläche 26b des Prismas 26 als reflektierter Strahl 55« (oder 56a) reflektiert. Der reflektierte Strahl 55a (odes 56a) bildet sich an der Stelle der Skalenplatte 64 durch die Linsen 62 und 63 ab. Diese Abbildungen werden zusammen mit den Abbildungen 71 α und 72a, die durch die reflektierten Strahlen von dem Brennfleck 57a (oder 58a) gebildet sind, als Abbildungen lib und 72b in dem selben Blickfeld 70 durch die Okularlinse 65 überwacht. Diese Abbildungen 716 und 726 werden durch die reflektierten Lichtstrahlen 55a (56a) gebildet, die noch einen großen Durchmesser haben, und so ist das Abbildungsvermögen hoch, und die Umrisse der Abbildungen 716 und 726 sind scharf und nicht verschwommen. Infolgedessen werden diese Abbildungen 716 und 726 dazu verwendet, um den Abstand D zwischen ihren Mittelpunkten zu messen, und das optische System wird so eingestellt bzw. justiert^ daß die Beziehung zwischen den Positionen der Abbildungen 716 und 726 einem vorherbestimmten Wert entspricht.

Der Winkel, der zwischen den reflektierenden Oberflächen 26a und 266 des Prismas 26 ausgebildet ist. oder die Richtung des Einfalls des Lichtstrahls, der der reflektierenden Oberfläche 266 zugeführt wird, ist so eingerichtet, daß die obigen zwei räumlichen Abbildungen so überwacht werden können, daß sie voneinander in dem selben Blickfeld unterscheidbar sind. Demnach können die Fokussieningslage der Brennflekken, die Beziehung zwischen den gegenseifigen Positionen der Haupt- und Nebenlichtstrahlen und der-

gleichen auf dem Aufzeichnungsmedium gleichzeitig mit hoher Genauigkeit vom Beginn bis zum Ende der Aufzeichnung überwacht werden.

Wenn eine Linse mit einer Fokussierungsentfem.ung bzw. Scharfeinstellungsentfernung von 3 mm als Objektivlinse 27 verwendet wird und die numerische öffnung und die öffnung der Objektivlinse 27 in radialer Richtung des Aufzeichnungsmediums 0,45 und 2,7 mm sind, und die Fokussierungsentfernung, die numerische öffnung und die Öffnung der Linse 23 (oder 46) 100 mm, 0,125 (F-Nummer ist 4) und 25 mm betragen, bei Verwendung eines lichtunterbrechenden Materials direkt vor der Objektivlinse 27, dann bildet der Lichtstrahl, der durch die Schutzplatte 22 (oder 45) hindurchgeht, den Brennfleck 57a (oder 58a) reduziert auf 3/100 seiner ursprünglichen Größe auf dem Aufzeichnungsmedium 15.

In dem Fall, daß die Fokussierungsentfernung der Linst 62 100 mm und die Vergrößerung der Linse 63 20 ist, bildet der von dem Brennfieck 57a (55a) reflektierte Strahl 61 α ein Abbild an der Stelle der Skalenplatte 64 ab, das ¹^ x 20mal von seiner ursprünglichen Größe vergrößert ist. Der Brennfleck 56a (58a) wird von einem Lichtstrahl gebildet, der auf ein 3/100 seiner ursprünglichen Größe verkleinert ist, wie oben beschrieben wurde, und demnach wird der Lichtstrahl 55 (oder 56) vergrößert auf das toö ^{x 1}J^{2 x} 20 = 20fache seiner ursprünglichen Größe und so auf der Skalenplatte 64 abgebildet. Außerdem wird der Lichtstrahl durch den Halbspiegel 25, der von der reflektierende;-. Oberfläche 266 des Prismas 26 und dem Halbspiegei 25 reflektiert wird, auf das f$j χ 20= 20fache seiner ursprünglichen Größe vergrößert und an einer Stelle auf der Skalenplatte 64 abgebildet.

Der reflektierte Strahl von dem Brennfleck 57a (58a) und der reflektierte Strahl von der reflektierenden Oberfläche 26b des Prismas 26 werden beide an einer Stelle auf der Skslenplatte 64 mit derselben Vergrößerung (20) abgebildet, um den Vergleich des Abbildungsvermögens zu erleichtern, wie nachfolgend beschrieben wird. Daneben kann die Vergrößerung des optischen Systems hinsichtlich der beiden o. g. reflektierten Strahlen unterschiedlich sein.

Was das Abbildungsvermögen bzw. das Auflösungsvermögen oder die Schärfe des Strahlenbrennflecks anbetrifft, der in einer Position der Skalenplatte 64 abgebildet ist, so ist das Abbildungsvermögen des Brennflecks, der durch den reflektierten Strahl 55α (56α), der von der reflektierenden Oberfläche 566 reflektiert wurde, größer als das Abbildungsvermögen, der von dem reflektierten Strahl 61a von dem Brennfleck 57 a (58a) gebildet wird. Der Grund hierfür liegt darin, daß das optische System ein nicht streuendes System bzw. ein nicht gegen die Regeln verstoßendes System ist, und daß das Abbildungsvermögen des optischen Systems, das durch Kombination verschiedener optischer Systeme gebildet ist, bei Verwendung von kohärentem Licht allgemein durch die wesentliche numerische Öffnung des optischen Systems bestimmt ist, das die kleinste wesentliche numerische öffnung der optischen Systeme hat, aus denen das optische System als Ganzes zusammengesetzt ist.

Dies bedeutet, daß in einem optischen System, das den reflektierten Strahl 61a von den Brennflecken 57a (58a) vergrößert und abbildet, der Durchmesser des reflektierten Strahles 61a durch die Öffnung (2,7 mm in dem dargestellten Fall) der Objektivlinse 27 in Radialrichtung des Aufzeichnungsmediums bestimmt ist. Demnach kann die maßgebliche numerische öffnung der Linse 62 aus dem Durchmesser des reflektierten Strahles bestimmt werden, der durch die öffnung der obigen Objektivlinse 27 in radialer Richtung des Aufzeichnungsmediums, in diesem Falle 2,7 mm, und die Fokussierungsentfernung der Linse 62, die 100 mm ist, bestimmt ist, und sie beträgt Vo£ = 0,0135 mm. Auf ähnliche Weise kann die wahre oder maßgebliche numerische öffnung der Lime

63 zu 0,0135 bestimmt werden. Demzufolge vergrößert das optische Überwachungssystem zur Überwachung des reflektierten Strahles 61a von dem Brennfleck 57a (58a) den durch die Schlitzplatte 22 (45) durchtretenden Strahl mit einer Vergrößerung von 20 und bildet den so erhaltenen Strahl an einer Stelle der Skalenplatte 64 als ein System ab, das eine numerische öffnung von 0,0135 hat.

Der kleinste Halbwert des Brennflecks, der an einer Stelle auf der Skalenplatte 46 durch den reflektierten Strahl 61a von dem Brennfleck 57a abgebildet ist, ist '' ^Λ ^·" * 20 = 400|iru, da der DurciiiTiCsscruCS Brcnn-

flecks umgekehrt proportional zur numerischen öffnung ist.

In einem System, das den reflektierten Strahl 55a (56a) von der reflektierenden Oberfläche 266 des Prismas 26 vergrößert und abbildet, ist die kleinste numerische

öffnung gleich der numerischen öffnung 0,125 der Linsen 62 und 63, und somü ist der Halbwert des kleinsten Brennflecks, der an einer Stelle auf der Platte

64 durch Vergrößerung und Abbildung des reflektierten Strahls 55a (56a) von der reflektierenden Oberfläche 26b des Prismas 26 gebildet wird, etwa 43 μτη. Dieser Wert ist im Vergleich zu dem Halbwert in Höhe von 400 μΐη des kleinsten Brenr.flecks, der durch Vergrößerung und Abbildung des reflektierten Strahles von dem Brennfleck 57a (58a) an einer Stelle der Platte 64 erhalten wird, um annähernd eine Stelle kleiner.

1 μπι auf dem Aufzeichnungsmedium 15 entspricht etwa 670 «m auf der Skalenplatte 64, und demnach entspricht der obige Halbwert 43 μτη an einer Stelle der Schlitzplatte 64 etwa 0,064 |.m auf dem Aufzeichnungs-

♦o medium 15. Deshalb kann die Beziehung zwischen den gegenseitigen Positionen der Haupt- und Nebenstrahlen durch die Verwendung des obigen optischen Systems, das den reflektierten Strahl 55a (56a) von de? reflektierenden Oberfläche 26 b des Prismas 26 vergrößert und abbildet, überwacht und mit einer Genauigkeit von 0.1 μηι oder weniger gemessen werden.

_ Eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen

Überwachungsvorrichtung ist in Fig. 5 dargestellt. In dieser Ausführungsform der Erfindung wird ein Reflektor 80 anstelle des Prismas 26 verwendet. Der Strahl 55 (56) von dem Polarisatorprisma 24 durch den Halbspiegel 25 wird von dem Reflektor 80 reflektiert, und nur der Lichtstrahlteil 61 wird von der Objektivlinse 27 fokussiert. Der reflektierte Strahl von dem Brennfleck 57a (58a) durch die Objektivlinse 27 wird von dem Reflektor 80 und dem Halbspiegel 25 reflektiert, und die Abbildungen 71a und 72a, die in Fig. 4 dargestellt sind, werden durch das Auge 66 durch die Linsen 62, 63 und 65 überwacht.

Ein Teil des Strahles 55 (56) wird von dem Halbspiegel 25 reflektiert und verläuft durch einen Halbspiegel 81 in Richtung der Linse 49. Der Teil des Strahles 55 (56), der von dem Halbspiegel 25 reflektiert ist, wird von dem Halbspiegel 81 reflektiert und trifft auf die Linse 62 durch den Halbspiegel 25. Dieser Strahl wird von dem Auge 66 durch die Linsen 62, 63 und 65 überwacht, und zwar im selben Blickfeld 70 wie die obigen Abbildungen 716 und 12b von Fig. 4.

Wenn in dem obigen Ausfühningsbeispiel der Erfindung die Richtung des Halbspiegels Si in Vorwärtsrichtung des Strahles 55 (oder 56), der von dem Halbspiegel 25 reflektiert wird, etwas relativ zur senkrechten Position verschoben wird, dann überdecken die Abbildungen 716 und 72£ sich nicht mit den Abbildungen 71a und 72 a, und die Einstellung kann so gewählt werden, daß die Abbildungen in dem selben Blickfeld 70 liegen Diese Einstellung kann so durchgeführt werden, daß lediglich der Halbspiegel 81 eingestellt wird, ohne daß der optische Pfad oder das optische System bewegt werden, und darin liegt ein Vorteil dieser Ausfuhrungsform gegenüber der ersten Ausfuhrungsform.

In Fig. 6 ist eine dritte Ausfuhrungsform der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung dargestellt. Diejenigen Teile, die mit entsprechenden Teilen der Fig. 3 vnd 5 übereinstimmen, sind durch dieselben Bezugszeichen gekennzeichnet, und auf ihre Beschreibung wird verachtetT Der von dem Bren.ifleck 57σ (oder 58a) reflektierte Strahl wird von dem Reflektor 80 reflektiert und dem Halhsnieeel 25, und seine Abbildung (entsprechend den Abbildungen 71a und 72a der oben beschriebenen ersten Ausführungsform) wird von dem Auge 6ii in dem optischen System mit den Linsen 62, 63 und 65 überwacht. Ein Teil des Lichtstrahles 55 (oder 56), der von dem Halbspiegel 25 reflektiert wird und zur Linse 49 geht, wird von dem Halbspiegel 90 reflektiert uisd an einer Stelle auf einer Skalenplatte 93 durch die Linsen 91 und 92 abgebildet. Diese Abbildung (entsprechend den Abbildungen 71 b und 72 b der obigen ersten Ausfuhrungsform der Erfindung) wird von dem Auge 66 durch eine Okularlinse 94 überwacht.

Eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen ίο Überwachungsvorrichtung ist in Fig. 7 dargestellt. Diejenigen Teile in Fig. 7, die mit entsprechenden Teilen in Fig. 3, 5 und 6 übereinstimmen, sind mit denselben Bezugszeichen versehen, und auf ihre Beschreibung wird verzichtet. Im Gegensatz zu der Ausfuhrungsform gemäß Fig. 6, in der der Halbspiegel 90 in der optischen Bahn oder dem optischen Pfad angeordnet ist, der von dem Halbspiegel 25 zu der linse 49 führt, ist in der nun betrachteten Ausfuhrungsform der Halbspiegel 90 zwischen dem Polarisationsprisma 24 und dem Halbspiegel 25 angeordnet. Ein Teil des Lichtstrahles von dem PoIarisatorprisma 24 wird durch den Haibspiegc! 90 zu den Linsen 91 und 92 reflektiert, und die Abbildung wird durch das Auge 66 überwacht.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Fokussierungs-Überwachungsvorrichtung in einem optischen Aufzeichnungsgerät mit einer Relativbewegung zwischen der eigentlichen Aufzeichnungseinrichtung und einemiebenen Aufzeichnungsmedium,

a) wobei die Aufzeichnungseinrichtung die folgenden Einrichtungen aufweist: _1Q al) eine Einrichtung zur Erzeugung eines ersten Lichtstrahls, welcher durch ein erstes Signal, das insbesondere die eigentliche Information enthält, moduliert wird,

al) eine Einrichtung zur Erzeugung eines zwei- _|5 ten Lichtstrahls, welcher durch ein zweites Signal, das insbesondere ein Bezugssignal zur Spurverfolgung enthält, moduliert wird.

a3) eine Fokussierungseinrichtung zum gemeinsamen Fokussieren von Anteilen des ersten uifd zweiten modulierten Lichtstrahls in einem ersten und zweiten Brennfieck mit jeweils kleineren Durchmessern als die jeweiligen Anteile des ersten und des zweiten modulierten Lichtstrahls auf die Ebene des Aufzeichnungsmediums, deren Brennfleckmittelpunkte einen bestimmten, konstant zu haltenden Abstand aufweisen,

a4) eine Einrichtung zum Erfassen, Vergrößern und Abbilden in ein und derselben Beobachtupgsebene der von dem Aufzeichnungsmedium im Bereich des ersten und zweiten Brennflecks-iiflektit.ten Lichtanteile,

b) und wobei das Aufzeichnungsmedium in dicht benachbarter Reihenfolg.·-. jnd parallelem Verlauf zwei Spuren mit unterschiedlicher Informationsart enthält, welche jeweils über die sukzessive Folge der ersten und zweiten Brennfleckc erzeugt werden, während das Aufzeichnungsmedium keine Führungsrille besitzt, dadurch gekennzeichnet,

daß eine Reflexionseinrichtung (26b: 25, 81) zum Reflektieren von partiellen Intensitäten des gesamten ersten und zweiten Lichtstrahles auf deren gemeinsamen Weg zu der Fokussierungseinrichtung (27) für die Fokussierung des ersten und zweiten Lichtstrahls in Richtung auf eine Einrichtung (60; 62, 63) zum Erfassen, Vergrößern und Abbilden angeordnet ist. daß die Einrichtung (60; 62. 63) zum Erfassen. Vergrößern und Abbilden aus den reflektierten, partiellen Intensitäten des gesamten ersten und zweiten Lichtstrahles eine Pseudo-Abbildung (Hb, lib) der vergrößerten ersten und zweiten Brennflecke bewirkt, wobei die Pseudo-Abbildung der Brennflecke in derselben Abbildungsebene, aber an unterschiedlicher Stelle, stattfindet, in der auch die realen Brennnecke (71 α. 72a) abgebildet werden, und
daß eine Überwachungseinrichtung (64, 65) angeordnet isi. welche es gestattet, ein quantitativ messendes Auswerten der Abbildungen vorzunehmen, die durch die Einrichtung (60; 62, 63) zum Erfassen, Vergrößern und Abbilden abgebildet werden.

2. Fokussierungs-Überwachungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionseinrichtung eine reflektierende Oberfläche (26/>) aufweist, die in gemeinsamer Ausbreitungsrichtung des ersten und des zweiten Lichtstrahls möglichst nahe bei der Fokussierungseinrichtung (27)

20

25

30

35 unter Verwendung eines ohnehin schon benötigten optischen Bauteils (26) angeordnet ist.

3. Fokussierungs-Überwachungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionseinrichtung einen Halbspiegel (25), der den ersten und den zweiten Lichtstrahl teilweise auf deren gemeinsamen Weg zu der Fokussierungseinrichtung (27) durchläßt und die Lichtstrahlen teilweise in eine erste Richtung von diesem gemeinsamen Weg wegreflektiert, und ein Reflexionsbauteil (81) aufweist, das die von dem Halbspiegel (25) reflektierten Lichtstrahlen in eine zweite Richtung, die der ersten Richtung entgegengesetzt ist, reflektiert, wobei der Halbspiegel (25) die in die zweite Richtung reflektierten Lichtstrahlen ebenfalls teilweise durchläßt und die von dem Aufzeichnungsmedium (15) im Bereich des ersten und zweiten Brennflecks reflektierten Lichtanteile teilweise in die zweite Richtung reflektiert, um sie zu der Einrichtung (60; 62, 63) zum Erfassen, Vergrößern und Abbilden zu leiten.

4. Fokussierangs-Überv/achungsvorrichtung nach Anspruch 3. dadurch gekennzeichnet, daß das Reflexionsbauteil einen Halbspiegel (81) aufweist, der die von dem Halbspiegel (25) reflektierten Lichtstrahlen teilweise in die zweite Richtung reflektiert und teilweise in der ersten Richtung durchläßt.

5. Fokussiermigs-Überwachungsvorrichtung in einem optischen Aufzeichnungsgerät mit einer Relativbewegung zwischen der eigentlichen Aufzeichnungseinrichtung und einem ebenen Aufzeichnungsmedium.

a) wobei die Aufzeichnungseinrichtung die folgenden Einrichtungen aufweist:

al) eine Einrichtung zur Erzeugung eines ersten Lichtstrahls, welcher durch ein erstes Signal, das insbesondere die eigentliche Information enthält, moduliert wird,

•dl) eine Einrichtung zur Erzeugung eines zweiten Lichtstrahl?·, welccir durch ein zweites Signal, das insbesondere ein Bezugssignal zur Spurverfolgung enthält, moduliert wird,

a3) eine Fokussierungseinrichtung zum gemeinsamen Fokussieren von Anteilen des ersten und zweiten modulierten Lichtstrahls in einem ersten und zweiten Brennfleck mit jeweils kleineren Durchmessern als die jeweiligen Anteile des ersten und des zweiten modulierten Lichtstrahles auf die Ebene des Aufzeichnungsmediums, deren Brennflcckmittelpunkte einen bestimmten, konstant zu haltenden Abstand aufweisen.

a4) eine Einrichtung zum Erfassen. Vergrößern und Abbilden in ein und derselben Beobachtungsebene der von dem Aufzeichnungsmedium im Bereich des ersten und zweiten Brennflecks reflektierten Lichtanteile;

b) und wobei das Aufzeichnungsmedium in dicht benachbarter Reihenfolge und parallelem Verlauf zwei Spuren mit unterschiedlicher Informationsart enthält, welche jeweils über die sukzessive Folge der ersten und zweiten Brennflecke erzeugt werden, während das Aufzeichnungsmedium keine Führungsrille besitzt, gekennzeichnet durch

eine Reflexionscinrichtung (90: 25. 90) zum Reflektieren von partiellen Intensitäten des gesamten ersten und zweiten Lichtstrahls auf deren gemeinsamen Weg zu der Fokussierungseinrichtung (27) zum

Fokussieren des ersten und zweiten Lichtstrahles, durch die die partiellen Intensitäten der Lichtstrahlen von diesem gemeinsamen Weg weggelenkt werden,

eine Einrichtung (91, 92) zum Vergrößern und Abbilden, die die reflektierten partiellen Intensitäten der Lichtstrahlen zu einem Pseudo-Abbild der vergrößerten ersten und zweiten Brennflecke auf einer Abbildungsebene abbildet, die von der Abbildungsebene verschieden ist, auf der die realen Abbildungen (71a, 72 a) der ersten und zweiten Brennflecke durch die Einrichtung (62, 63) zum Erfassen, Vergrößern und Abbilden hervorgerufen werden,
eine erste Überwachungseinrichtung (93, 94), welche es gestattet, ein quantitativ messendes Auswerten der Pt*udo-Abbildung vorzunehmen, die durch die Einrichtung (91, 92) zum Vergrößern und Abbilden abgebildet werden, und <

eine zweite Überwachungseinrichtung (64, 65) zur Überwachung der realen Abbildung der ersten und zweiten Brennflecke.